JP2002030490A

JP2002030490A - 化学処理装置およびそれを用いた化学処理方法

Info

Publication number: JP2002030490A
Application number: JP2000209520A
Authority: JP
Inventors: Michihiko Yamamoto; 充彦山本; Kozo Kanetani; 幸三金谷
Original assignee: SETO ENGINEERING CO Ltd; Casio Computer Co Ltd; Casio Micronics Co Ltd
Current assignee: SETO ENGINEERING CO Ltd; Casio Computer Co Ltd; Casio Micronics Co Ltd
Priority date: 2000-07-11
Filing date: 2000-07-11
Publication date: 2002-01-31
Anticipated expiration: 2020-07-11
Also published as: JP3974314B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数のメッキ処理部を直列に配置したメッキ
処理装置において、全体としての配管の長さを短くす
る。【解決手段】複数のメッキ処理部４１の各外部処理槽
４２にはメッキ液タンク６１が設けられている。各メッ
キ液タンク６１内のメッキ液６２は各ポンプ６６の駆動
により各供給管６４を介して各内部処理槽４３内に噴出
され、各内部処理槽４３内を通過中のテープ５３の表面
に当てられる。各内部処理槽４３内に噴出されたメッキ
液６２の大部分は、各内部ドレイン管７７、７８を介し
て各メッキ液タンク６１内に回収される。各内部処理槽
４３内に噴出されたメッキ液６２の一部は、各スリット
４７、４８から各外部処理槽４２内に流出し、各外部ド
レイン管７３、７４を介して各メッキ液タンク６１内に
回収される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、メッキ処理やエ
ッチング処理等を行う化学処理装置およびそれを用いた
化学処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】化学処理装置の１つであるメッキ処理装
置には、ＢＧＡ、ＣＳＰ、ＣＯＦ等の半導体技術におい
て、表面に銅やアルミニウム等からなるリード配線等の
表面層を有する長尺なテープを縦にしてつまりテープ幅
方向を垂直にして搬送しながら、テープの表面層に対し
て金や銅、ニッケル等の電解メッキ処理を行うようにし
たものがある。

【０００３】図１１は従来のこのようなメッキ処理装置
の一例の概略構成図を示したものである。このメッキ装
置では、複数のメッキ処理部１が直列に配置されてい
る。メッキ処理部１は、図１２および図１３に示すよう
に、外部処理槽２を備えている。外部処理槽２内の中央
部には内部処理槽３が設けられ、外部処理槽２の上部に
は蓋４が設けられている。この場合、外部処理槽２の底
部は内部処理槽３の底部を兼ねている。外部処理槽２の
図１２および図１３における左側壁および右側壁の各所
定の箇所には縦長の矩形孔からなるスリット５、６が設
けられている。内部処理槽３の図１２および図１３にお
ける左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長の溝か
らなるスリット７、８が設けられている。内部処理槽３
の図１３における上側壁および下側壁は左側壁および右
側壁よりもやや低くなっており（図１２参照）、これら
の低くなった部分はオーバーフロー部９となっている。
内部処理槽３内の所定の箇所にはアノード電極１０が設
けられている。

【０００４】各外部処理槽２間および図１１における最
も左側の外部処理槽２の左側に設けられたローラ室（図
示せず）内には搬送ローラ１１および電極ローラ（カソ
ード電極）１２が互いに対向して設けられている。図１
１における最も左側のローラ室の左側には供給リール
（図示せず）が設けられている。供給リールには、銅や
アルミニウム等の金属箔からなり、回路パターンおよび
回路パターンを接続するメッキ用パターンが表面層とし
て形成されたテープ１３が巻回されている。

【０００５】供給リールから繰り出されたテープ１３
は、複数のメッキ処理部１を順次通過した後、図１１に
おける最も右側のメッキ処理部１の右側に設けられた巻
取リール（図示せず）に巻き取られるようになってい
る。この場合、テープ１３は、各メッキ処理部１におい
て、ローラ室内の搬送ローラ１１と電極ローラ１２との
間、外部処理槽２のスリット５、内部処理槽３のスリッ
ト７、８および外部処理槽２のスリット６を順次通過す
るようになっている。また、図示していないが、電極ロ
ーラ１２によるテープ１３の表面層に対する接触不良を
防止してスパークが発生しないようにするために、純水
タンク内の純水をポンプで汲み上げてシャワーで電極ロ
ーラ１２とテープ１３との接触部に吹き付け、ローラ室
内の吹き付け後の純水をドレイン管を介して純水タンク
内に回収するようになっている。

【０００６】内部処理槽３の底部中央部には供給管２１
の一端部が接続されている。各供給管２１の途中には流
量センサ２２およびポンプ２３が介在されている。ポン
プ２３は、流量センサ２２の流量信号に基づく制御部２
４の制御により駆動されるようになっている。各供給管
２１の他端部は、共通供給管２５を介して共通メッキ液
タンク２６に接続されている。共通メッキ液タンク２６
内にはメッキ液２７が収容されている。外部処理槽２の
スリット５、６と内部処理槽３のスリット７、８との間
における外部処理槽２の底部にはドレイン管２８、２９
の一端部が接続されている。各ドレイン管２８、２９の
他端部は、共通ドレイン管３０を介して共通メッキ液タ
ンク２６に接続されている。

【０００７】次に、このメッキ処理装置の動作について
説明する。供給リールから繰り出されたテープ１３は、
複数の搬送ローラ１１が所定の方向に回転されると、複
数の内部処理槽３内を順次通過して巻取リールに巻き取
られる。このとき、各ポンプ２３が駆動すると、共通メ
ッキ液タンク２６内のメッキ液２７は共通供給管２５お
よび各供給管２１を介して各内部処理槽３内に噴出さ
れ、各内部処理槽３内を通過中のテープ１３の表面層に
当てられる。そして、アノード電極１０と電極ローラ１
２との間にメッキ電流が流れると、各内部処理槽３内を
通過中のテープ１３の表面層にメッキが施される。各内
部処理槽３内に噴出されたメッキ液２７は、各内部処理
槽３のオーバーフロー部９からオーバーフローして各外
部処理槽２内に流出し、各ドレイン管２８、２９および
共通ドレイン管３０を介して共通メッキ液タンク２６内
に回収される。

【０００８】ここで、外部処理槽２のスリット５、６お
よび内部処理槽３のスリット７、８の幅は、テープ１３
の厚さよりもかなり大きく、例えば１０ｍｍ程度となっ
ている。このようにスリット５〜８の幅を大きくしてい
るのは、テープ１３が内部処理槽３内に噴出されたメッ
キ液２７中で踊っても、テープ１３の表面層がスリット
５〜８の各内壁面に接触しないようにするためである。
この結果、各内部処理槽３内に噴出されたメッキ液２７
は、各内部処理槽３のオーバーフロー部９からオーバー
フローして外部処理槽２内に流出するばかりでなく、各
内部処理槽３のスリット７、８からも各外部処理槽２内
に流出する。

【０００９】一方、テープ１３としては、一般的に、幅
３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍのものを用いている。こ
のようなテープ１３の場合には、幅が比較的小さいの
で、内部処理槽３の高さ（深さ）は比較的低く（浅く）
てよく、スリット７、８の上下方向の長さも比較的短く
てよい。このため、内部処理槽３のスリット７、８から
外部処理槽２内に流出するメッキ液２７の量が比較的少
なくて流出の勢いも比較的弱く、外部処理槽２のスリッ
ト５、６からローラ室内に流出することはほとんどな
い。

【００１０】ところで、最近では、テープとして、例え
ば幅１５８ｍｍと比較的幅広のものを用いることが試み
られている。しかしながら、このようなテープの場合に
は、幅が比較的大きいので、内部処理槽３の高さ（深
さ）が比較的高く（深く）なり、スリット７、８の上下
方向の長さも比較的長くなる。この結果、内部処理槽３
のスリット７、８から外部処理槽２内に流出するメッキ
液２７の量が比較的大きくて流出の勢いも比較的強くな
り、外部処理槽２のスリット５、６からローラ室内に流
出してしまう。ローラ室内にメッキ液２７が流入する
と、メッキ液２７が無駄となり、コスト高となるばかり
でなく、純水タンク内の純水にメッキ液２７が混入し、
この混入液の吹き付けにより電極ローラ１２の表面がメ
ッキされ、電気的接触に不具合が生じてしまう。

【００１１】また、テープ１３の幅が比較的大きく、内
部処理槽３の高さ（深さ）が比較的高く（深く）、スリ
ット７、８の上下方向の長さも比較的長い場合には、内
部処理槽３のスリット７、８から外部処理槽２内に流出
するメッキ液２７の量が比較的大きくて流出の勢いも比
較的強くなるばかりでなく、内部処理槽３のオーバーフ
ロー部９から外部処理槽２内にオーバーフローするとき
の高低差が比較的大きくなり、いずれにしても、酸素等
を含む気泡を巻き込みやすくなる。一方、例えば表面層
のメッキが金メッキの場合、メッキ液としては、シアン
系メッキ液と非シアン系メッキ液とがあるが、非シアン
系メッキ液の場合には、酸素等を含有する気泡を巻き込
むと、寿命が短くなってしまう。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
メッキ処理装置では、共通メッキ液タンク２６内のメッ
キ液２７を共通供給管２５および各供給管２１を介して
各内部処理槽３内に噴出させ、内部処理槽３から外部処
理槽２内に流出されたメッキ液２７を各ドレイン管２
８、２９および共通ドレイン管３０を介して共通メッキ
液タンク２６内に回収しているので、全体としての配管
の長さがかなり長くなってしまう。この結果、非シアン
系メッキ液の場合には、これらの配管内に自然に析出さ
れる金の量が比較的多くなり、ひいては極めて高価な金
の無駄な使用量が多くなり、コスト高となってしまう。
また、上述した如く、非シアン系メッキ液は、酸素等を
含む気泡を含むと寿命が短くなってしまうものである
が、従来では、各内部処理槽３内のメッキ液２７を共通
メッキ液タンク２６に導く共通ドレイン管３０の流出口
が、メッキ液面の上方に位置していたため、気泡の巻き
込み量を増大させ、寿命の低下の原因となっていた。こ
の発明の課題は、全体としての配管の長さを短くし、且
つ気泡の巻き込み量を低減することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係る化学処理装置は、外部処理槽に設けられたテープ搬
入用およびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処
理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦
長のスリットを挿通するテープの表面層を、前記内部処
理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う表面処
理部が複数直列に配置された化学処理装置において、前
記各表面処理部の前記各外部処理槽直下に化学液が収容
された化学液タンクを設け、前記各化学液タンク内の化
学液を対応する前記内部処理槽内に噴出させる化学液噴
出手段を設け、前記各外部処理槽に、該外部処理槽と前
記化学液タンクとを連通し且つ前記化学液タンク内に収
容された化学液の液中に延出された外部ドレイン管を設
けたものである。請求項１３に記載の発明に係る化学処
理方法は、外部処理槽および内部処理槽を有する表面処
理部を複数直列に配置し、各表面処理部において前記外
部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用
の縦長のスリットおよび前記内部処理槽に設けられたテ
ープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットにテー
プを挿通して、該テープの表面層を、前記内部処理槽内
に噴出される化学液により化学処理を行う化学処理方法
であって、前記各表面処理部の前記各外部処理槽直下に
化学液が収容された化学液タンクを設け、前記各化学液
タンク内の化学液を対応する前記内部処理槽内に噴出さ
せる化学液噴出手段を設け、前記各外部処理槽に、該外
部処理槽と前記化学液タンクとを連通し且つ前記化学液
タンク内に収容された化学液の液中に延出された外部ド
レイン管を設け、前記内部処理槽内に噴出して前記テー
プの表面層を処理した化学液を前記外部ドレイン管を介
して前記各化学液タンク内の化学液中に収容するように
したものである。この発明によれば、各表面処理部の各
外部処理槽直下に化学液タンクを設け、各外部処理槽
に、該外部処理槽と化学液タンクとを連通する外部ドレ
イン管を設けているので、全体としての配管の長さを短
くすることができる。また、外部ドレイン管を化学液タ
ンク内に収容された化学液の液中に延出させ、内部処理
槽内に噴出してテープの表面層を処理した化学液を外部
ドレイン管を介して化学液タンク内の化学液中に収容す
るようにしているので、気泡の巻き込み量を低減するこ
とができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の第１実施形態に
おけるメッキ処理装置の概略構成図を示したものであ
る。このメッキ処理装置では、複数のメッキ処理部４１
が直列に配置されている。メッキ処理部４１は、図２お
よび図３に示すように、外部処理槽４２を備えている。
外部処理槽４２内の中央部には内部処理槽４３が設けら
れ、外部処理槽４２の上部には蓋４４が設けられてい
る。この場合、外部処理槽４２の底部、図３における上
側壁および下側壁は内部処理槽４３の底部、上側壁およ
び下側壁を兼ねている。外部処理槽４２の図２および図
３における左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長
の矩形孔からなるスリット４５、４６が設けられてい
る。内部処理槽４３の図２および図３における左側壁お
よび右側壁の各所定の箇所には縦長の溝からなるスリッ
ト４７、４８が設けられている。内部処理槽４３内の所
定の箇所にはアノード電極４９が設けられている。

【００１５】各外部処理槽４２間および図１における最
も左側の外部処理槽４２の左側に設けられたローラ室
（図示せず）内には搬送ローラ５１および電極ローラ
（カソード電極）５２が互いに対向して設けられてい
る。図１における最も左側のローラ室の左側には供給リ
ール（図示せず）が設けられている。供給リールには、
銅、アルミニウム等の金属箔からなり、回路パターンお
よび回路パターンを接続するメッキ用パターンが表面層
として形成されたテープ５３が巻回されて射る。

【００１６】供給リールから繰り出されたテープ５３
は、複数のメッキ処理部４１を順次通過した後、図１に
おける最も右側のメッキ処理部４１の右側に設けられた
巻取リール（図示せず）に巻き取られるようになってい
る。この場合、テープ５３は、各メッキ処理部４１にお
いて、ローラ室内の搬送ローラ５１と電極ローラ５２と
の間、外部処理槽４２のスリット４５、内部処理槽４３
のスリット４７、４８および外部処理槽４２のスリット
４６を順次通過するようになっている。また、図示して
いないが、電極ローラ５２によるテープ５３の表面層に
対する接触不良を防止してスパークが発生しないように
するために、純水タンク内の純水をポンプで汲み上げて
シャワーで電極ローラ５２とテープ５３との接触部に吹
き付け、ローラ室内の吹き付け後の純水をドレイン管を
介して純水タンク内に回収するようになっている。

【００１７】各外部処理槽４２の下側にはメッキ液タン
ク６１が設けられている。メッキ液タンク６１内にはメ
ッキ液６２が収容されている。内部処理槽４３の底部の
中央部には供給孔６３が設けられ、この供給孔６３には
供給管６４の一端部が接続されている。各供給管６４は
対応するメッキ液タンク６１の底部（または側壁）を液
密に貫通してメッキ液タンク６１の外部に延出され、こ
の延出部の途中には流量センサ６５およびポンプ６６が
介在されている。ポンプ６６は、流量センサ６５の流量
信号に基づく制御部６７の制御により駆動されるように
なっている。各供給管６４の他端部は、対応するメッキ
液タンク６１に接続されている。

【００１８】外部処理槽４２のスリット４５、４６と内
部処理槽４３のスリット４７、４８との間における外部
処理槽４２の底部には外部ドレイン孔７１、７２が設け
られ、これらの外部ドレイン孔７１、７２には外部ドレ
イン管７３、７４の上端部が接続されている。内部処理
槽４３のスリット４７、４８の内側における内部処理槽
４２の底部には内部ドレイン孔７５、７６が設けられ、
これらの内部ドレイン孔７５、７６には内部ドレイン管
７７、７８の上端部が接続されている。外部ドレイン管
７３、７４および内部ドレイン管７７、７８の下端部
は、対応するメッキ液タンク６１内のメッキ液６２中に
浸されるようになっている。

【００１９】ここで、テープ５３の幅は例えば１５８ｍ
ｍと比較的大きくなっている。このため、内部処理槽４
３の高さ（深さ）は比較的高く（深く）、スリット４
７、４８の上下方向の長さも比較的長くなっている。ま
た、この場合も、外部処理槽４２のスリット４５、４６
および内部処理槽４３のスリット４７、４８の幅は、テ
ープ５３の厚さよりもかなり大きく、例えば１０ｍｍ程
度となっている。

【００２０】次に、このメッキ処理装置の動作について
説明する。供給リールから繰り出されたテープ５３は、
複数の搬送ローラ５１が所定の方向に回転されると、複
数の内部処理槽４３内を順次通過して巻取リールに巻き
取られる。このとき、各ポンプ６６が駆動すると、各メ
ッキ液タンク６１内のメッキ液６２は各供給管６４を介
して各内部処理槽４３内に噴出され、各内部処理槽４３
内を通過中のテープ５３の表面に当てられる。そして、
アノード電極４９と電極ローラ５２との間にメッキ電流
が流れると、各内部処理槽４３内を通過中のテープ５３
の表面にメッキが施される。

【００２１】ここで、メッキ処理部４１が複数に分離さ
れている理由は、テープ５３を所定のスピードで搬送し
てメッキするには形成するメッキ厚に対応したメッキ時
間が必要であり、テープ５３のメッキ処理長さはこのメ
ッキ時間に対応する長さとなる。しかして、テープ５３
に形成されたパターンへの電圧の印加は電極ローラ（カ
ソード電極）５２により行うのでテープ５３のメッキ処
理長さが長くなると、パターンの抵抗値により電極ロー
ラ５２近傍と電極ローラ５２間の中央部側との電圧の差
が大きくなり、メッキ厚のばらつきが大きくなるので、
メッキ処理部４１を複数に分離し、電極ローラ５２間を
短くするのである。

【００２２】各内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液
６２の大部分は、各内部処理槽４３の内部ドレイン管７
７、７８を介して各メッキ液タンク６１内に回収され
る。この場合、内部処理槽４３の高さが比較的高くて
も、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部
分は内部処理槽３の外側にオーバーフローすることなく
メッキ液タンク６１内に回収されるので、酸素等を含む
気泡を巻き込むことはほとんどない。また、内部ドレイ
ン管７７、７８の下端部はメッキ液タンク６１内のメッ
キ液６２中に浸されているので、ここにおいても気泡を
巻き込むことはほとんどない。

【００２３】一方、各内部処理槽４３内に噴出されたメ
ッキ液６２の一部は、各内部処理槽４３のスリット４
７、４８から各外部処理槽４２内に流出し、各外部処理
槽４２の外部ドレイン管７３、７４を介して各メッキ液
タンク６１内に回収される。ところで、内部処理槽４３
のスリット４７、４８の上下方向の長さが比較的長いの
で、内部ドレイン管７７、７８が無い場合には、これら
のスリット４７、４８から流出するメッキ液６２の量が
比較的多い上、比較的勢いよく流出するので、気泡を巻
き込みやすく、また外部処理槽４２のスリット４５、４
６からローラ室内に流出しやすい。

【００２４】これに対し、内部処理槽４３のスリット４
７、４８の直ぐ内側に内部ドレイン管７７、７８がある
と、スリット４７、４８の直ぐ内側における液圧が低く
なり、ひいてはスリット４７、４８から流出するメッキ
液６２の量が少なくなり、流出の勢いも弱くなる。この
結果、内部処理槽４３のスリット４７、４８から流出す
るメッキ液６２中に巻き込まれる気泡が低減する。ま
た、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部
分は内部ドレイン管７７、７８を介して回収される上、
内部処理槽４３のスリット４７、４８から外部処理槽４
２内に流出するメッキ液６２の量を低減することができ
るので、外部処理槽４２のスリット４５、４５からロー
ラ室内へのメッキ液６２の流出が防止される。さらに、
外部ドレイン管７３、７４の下端部はメッキ液タンク６
１内のメッキ液６２中に浸されているので、ここにおい
て気泡を巻き込むことはほとんどない。

【００２５】以上のように、このメッキ処理装置では、
外部処理槽４２のスリット４５、４６からローラ室内へ
のメッキ液６２の流出を防止することができるので、メ
ッキ液６２が無駄とならないようにすることができ、ひ
いてはコストを低減することができる。また、ローラ室
内にメッキ液６２が流入しないようにすることができる
ので、ローラ室にドレイン管を介して接続された純水タ
ンク内の純水にメッキ液６２が混入することがなく、ひ
いては電極ローラ５２の表面がメッキされることがな
く、テープ搬送機能が損なわれないようにすることがで
きる。また、このメッキ処理装置では、回収されるメッ
キ液６２中に気泡が巻き込まれにくいようにすることが
できるので、メッキ液６２が非シアン系メッキ液であっ
ても、メッキ液全体としての寿命を長くすることができ
る。

【００２６】さらに、このメッキ処理装置では、各外部
処理槽４２の下側にメッキ液タンク６１を設けているの
で、供給管６４、外部ドレイン管７３、７４および内部
ドレイン管７７、７８の長さを可及的に短くすることが
できる。この結果、メッキ液６２が非シアン系メッキ液
である場合、これらの配管内に自然に析出される金の量
を可及的に少なくすることができ、ひいては極めて高価
な金の無駄な使用を可及的に少なくすることができ、コ
ストを低減することができる。

【００２７】次に、図４はこの発明の第２実施形態にお
けるメッキ処理部の要部の断面図を示し、図５はその蓋
を省略した状態の平面図を示し、図６は図５のＸ−Ｘ線
に沿う断面図を示したものである。これらの図におい
て、図２および図３と同一部分には同一の符号を付し、
その説明を適宜省略する。

【００２８】このメッキ処理部４１は、内部ドレイン管
７７、７８を設けずに、その代わりに、内部処理槽４３
に、図４および図５における左側壁および右側壁を利用
してオーバーフロー案内部８０を形成したものである。
オーバーフロー案内部８０は、内部処理槽４３の左側壁
または右側壁の上面両端部に形成された切欠部８１と、
各側壁の外側に設けられた、高さが内部処理槽４３の高
さと同じである平面ほぼＬ字状の案内壁８２とを有し、
オーバーフローしたメッキ液６２を切欠部８１から流入
して、左側壁と案内壁８２または右側壁と案内壁８２と
の間に導くものである。オーバーフロー案内部８０の案
内壁８２の下部の所定の箇所には方形状の開口部８３が
設けられ、その外側にはシャッタ８４が上下動可能に設
けられている。

【００２９】つまり、このメッキ処理部４１では、内部
処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の一部を切欠部
８１からオーバーフロー案内部８０内に導き、このオー
バーフロー案内部８０の開口部８３から外部処理槽４２
内に流出し、外部ドレイン管７３、７４を介してメッキ
液タンク６１内に回収される。この場合、シャッタ８４
で開口部８３の開口量を調整することにより、オーバー
フロー案内部８０内におけるメッキ液６２の液面が切欠
部８１の底面よりも下がらないようにする。つまり、オ
ーバーフロー案内部８０（側壁と案内壁８２との間に囲
まれた空間）内が常にメッキ液６２により充満されてい
る状態を維持するよう調整することが可能となるので、
このオーバーフロー案内部８０に流出するメッキ液６２
中に気泡が巻き込まれないようにすることができる。

【００３０】また、内部処理槽４３内に噴出されたメッ
キ液６２の大部分をオーバーフロー案内部８０から流出
させることにより、内部処理槽４３内のメッキ液圧を低
減するので、スリット４７、４８から流出するメッキ液
６２の量をその分少なくすることができ、また流出の勢
いも弱くすることができる。この結果、スリット４７、
４８から流出するメッキ液６２中に気泡が巻き込まれに
くいようにすることができる。また、外部処理槽４２の
スリット４５、４６からローラ室内へのメッキ液６２の
流出が防止される。

【００３１】次に、図７はこの発明の第３実施形態にお
けるメッキ処理部の要部の平面図を示し、図８はそのＸ
−Ｘ線に沿う部分に相当する断面図を示したものであ
る。これらの図において、図４〜図６と同一部分には同
一の符号を付し、その説明を適宜省略する。

【００３２】このメッキ処理部４１では、スリット４７
およびスリット４８から流出するメッキ液６２の量を第
２実施形態の場合よりも少なくしてメッキ液６２中に巻
き込まれる気泡をさらに低減するものである。この目的
のため、第３実施形態におけるメッキ処理部４１は、内
部処理槽４３のスリット４７、４８の近傍に中間槽９０
を有する。中間槽９０はいずれも同じ構造を有し、図７
ではスリット４７側に設けた一方のみを示す（図４〜図
６におけるスリット４８の場合も同じであるが、図示せ
ず）。中間層９０は、高さが内部処理槽４３の高さと同
じである平面ほぼコ字状の仕切壁９１を有する。この場
合、外部処理槽４２の底部は中間槽９０の底部を兼ねて
いる。仕切壁９１の所定の箇所には、スリット４７と同
様のスリット９２が設けられている。中間槽９０の底部
の中央部には中間ドレイン孔９３が設けられ、この中間
ドレイン孔９３には中間ドレイン管９４の上端部が接続
されている。中間ドレイン管９４の下端部はメッキ液タ
ンク６１内のメッキ液（図示せず）中に浸されるように
なっている。

【００３３】中間槽９０内においてテープ搬送路の両側
には一対の流量規制ローラ９５が配置されている。一対
の流量規制ローラ９５のテープ５３に対応する部分は小
径部９５ａとなっている。中間槽９０の上部には上部支
持板９６が設けられ、中間槽９０内の下部の所定の箇所
には下部支持板９７が設けられている。一方の流量規制
ローラ９５の上軸９５ｂおよび下軸９５ｃは、本体部が
中間層９０の壁面４３ａにほぼ接触するように近接した
位置で、上部支持板９６および下部支持板９７に回転可
能に支持されている。他方の流量規制ローラ９５の上軸
９５ｂおよび下軸９５ｃは、本体部が中間層９０の壁面
４３ａにほぼ接触するように近接した位置で、上部支持
板９６および下部支持板９７に設けられた長円孔９６
ａ、９７ａに回転可能に且つ図８において左右方向に移
動可能に支持されている。つまり、一対の流量規制ロー
ラ９５の一方は、テープ５３に対して相対的に固定され
た位置で回転可能に設けられ、他方は、テープ５３に対
して近接および離間可能に且つ回転可能に設けられてい
る。一対の流量規制ローラ９５の本体部下面と下部支持
板９７との間には流路用の隙間が設けられている。ま
た、下部支持板９７の所定の複数箇所には流路用の貫通
孔９７ｂ（図７においては図示せず）が設けられてい
る。

【００３４】上記構成により、他方の流量規制ローラ９
５を、一方の流量規制ローラ９５から離間させた位置に
保持して、テープ５３を一対の流量規制ローラ９５間に
挿通することができる。そして、その状態で、内部処理
槽４３内にメッキ液を噴出すると、メッキ液の一部がス
リット９２を介して中間槽９０内に流入する。中間槽９
０内に流入されたメッキ液は、一対の流量規制ローラ９
５によってスリット４７に向かう流量を規制される。こ
のため、中間槽９０内に流入されたメッキ液の一部は、
下部支持板９７の貫通孔９７ｂおよび中間ドレイン管９
４を介してメッキ液タンク６１内に回収される。残りの
メッキ液の一部は、各流量規制ローラ９５の小径部９５
ａと中間層４３の壁面９１ａとの間を流れ、このメッキ
液の流圧により、一対の流量規制ローラ９５の他方は、
一方の流量規制ローラ９５側に移動され、一方の流量規
制ローラ９５に圧接される。ここで、この圧接状態にお
いて、一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ間の間
隔は、テープ５３の厚さよりも１ｍｍ程度大きくなって
いる。そして、残りのメッキ液は、一対の流量規制ロー
ラ９５の小径部９５ａ間の隙間および各流量規制ローラ
９５と中間槽９０の壁面４３ａとの間の隙間を通った
後、スリット４７から外部処理槽４２内に流出し、外部
ドレイン管７３を介してメッキ液タンク６１内に回収さ
れる。

【００３５】ところで、他方の流量規制ローラ９５が、
一方の流量規制ローラ９５に圧接された状態では、メッ
キ液は、このメッキ液の流れに沿って、各流量規制ロー
ラ９５を、それぞれ、図７において矢印で示す方向に回
転させながら一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ
間の隙間を流れるが、一対の流量規制ローラ９５の小径
部９５ａ間の隙間が小さくなっている分、ここを流れる
メッキ液の流量は少なくなる。また、各流量規制ローラ
９５は壁面４３ａにほぼ接触する位置とされているの
で、各流量規制ローラ９５と壁面４３ａとの間を流れる
メッキ液の流量も少なくなる。したがって、スリット９
２から中間層９０に流入されたメッキ液のうち大部分は
中間ドレイン管９４等を介してメッキ液タンク６１内に
回収され、スリット４７から流出する流量は大変少なく
なる。この結果、スリット４７から外部処理槽４２内に
流出するメッキ液の液面の高さが低くなり、流出の勢い
も弱くなり、これに伴って、スリット４７から流出する
メッキ液中に巻き込まれる気泡が低減する。また、スリ
ット４７から流出する流量が大変少なくなるので、外部
処理槽４２のスリット４５からローラ室内へのメッキ液
６２の流出がより一層防止される。

【００３６】なお、上記第３実施形態では、スリット４
７の部分における内部処理槽４３の内側に中間槽９０お
よび一対の流量規制ローラ９５を設けた場合について説
明したが、これに限らず、例えば図９に示すこの発明の
第４実施形態のように、スリット４７の部分における内
部処理槽４３の外側に中間槽９０および一対の流量規制
ローラ９５を設けるようにしてもよい。また、このよう
な流量規制手段は、流量規制ローラ９５に限らず、例え
ば図１０に示すこの発明の第５実施形態のように、丸み
をおびた平面長方形状の流量規制部材９８としてもよ
い。ただし、この場合、一対の流量規制部材９８の相対
向する面においてテープ５３に対応する部分に凹部９８
ａを設ける。また、流量規制部材９８の軸９８ｂは２本
とし、一方の流量規制部材９８は固定し、他方の流量規
制部材９８は一方の流量規制部材９８に対して接離可能
とする。さらに、第３〜５実施形態において、一対の流
量規制ローラ９５または流量規制部材９８は、小径部９
５ａまたは凹部９８ａを有するものとしたが、テープ５
３のパターンが形成されていない面側に配置される流量
規制ローラ９５または流量規制部材９８は、小径部９５
ａまたは凹部９８ａを設けなくてもよい。

【００３７】また、この発明は、メッキ処理に限らず、
脱脂処理、酸化膜除去処理、メッキ前処理等の他の化学
処理にも適用することができる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、各表面処理部の各外部処理槽直下に化学液タンクを
設け、各外部処理槽に、該外部処理槽と化学液タンクと
を連通する外部ドレイン管を設けているので、全体とし
ての配管の長さを短くすることができる。また、外部ド
レイン管を化学液タンク内に収容された化学液の液中に
延出させ、内部処理槽内に噴出してテープの表面層を処
理した化学液を外部ドレイン管を介して化学液タンク内
の化学液中に収容するようにしているので、気泡の巻き
込み量を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態におけるメッキ処理装
置の概略構成図。

【図２】図１に示すメッキ処理部の要部の断面図。

【図３】図２に示すメッキ処理部のうち蓋を省略した状
態の平面図。

【図４】この発明の第２実施形態におけるメッキ処理部
の要部の断面図。

【図５】図４に示すメッキ処理部のうち蓋を省略した状
態の平面図。

【図６】図５のＸ−Ｘ線に沿う断面図。

【図７】この発明の第３実施形態におけるメッキ処理部
の要部の平面図。

【図８】図７のＸ−Ｘ線にほぼ沿う部分に相当する断面
図。

【図９】この発明の第４実施形態におけるメッキ処理部
の要部の平面図。

【図１０】この発明の第５実施形態におけるメッキ処理
部の要部の平面図。

【図１１】従来のメッキ処理装置の一例の概略構成図。

【図１２】図１１に示すメッキ処理部の一部の断面図。

【図１３】図１２に示すメッキ処理部のうち蓋を省略し
た状態の平面図。

【符号の説明】

４１メッキ処理部４２外部処理槽４３内部処理槽４５〜４８スリット５３テープ６１メッキ液タンク６２メッキ液６４供給管６６ポンプ７３、７４外部ドレイン管７７、７８内部ドレイン管８０オーバーフロー案内部８１切欠部８２案内壁８３開口部８４シャッタ９０中間槽９４中間ドレイン管９５流量規制ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/60 ３１１Ｈ０１Ｌ 21/60 ３１１Ｗ (72)発明者山本充彦東京都青梅市今井３丁目10番地６カシオマイクロニクス株式会社内 (72)発明者金谷幸三千葉県柏市藤心上人塚前962番地瀬戸技研工業株式会社内Ｆターム(参考） 4K024 BB13 BC01 CB01 CB03 CB10 CB13 CB15 CB19 CB26 EA04 5F044 MM23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部処理槽に設けられたテープ搬入用お
よびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処理槽に
設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のス
リットを挿通するテープの表面層を、前記内部処理槽内
に噴出される化学液により化学処理を行う表面処理部が
複数直列に配置された化学処理装置において、前記各表
面処理部の前記各外部処理槽直下に化学液が収容された
化学液タンクを設け、前記各化学液タンク内の化学液を
対応する前記内部処理槽内に噴出させる化学液噴出手段
を設け、前記各外部処理槽に、該外部処理槽と前記化学
液タンクとを連通し且つ前記化学液タンク内に収容され
た化学液の液中に延出された外部ドレイン管を設けたこ
とを特徴とする化学処理装置。
【請求項２】請求項１に記載の発明において、前記外
部処理槽の底部に前記外部ドレイン管への流出口を設け
たことを特徴とする化学処理装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の発明におい
て、前記各内部処理槽に該内部処理槽と前記化学液タン
クとを連通し且つ前記化学液タンク内に収容された化学
液の液中に延出された内部ドレイン管を設けたことを特
徴とする化学処理装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の発明に
おいて、前記内部処理槽の底部に前記内部ドレイン管へ
の流出口を設けたことを特徴とする化学処理装置。
【請求項５】請求項１に記載の発明において、前記内
部処理槽に該内部処理槽からオーバーフローする化学液
を前記外部処理槽に流出するオーバーフロー案内部を設
けたことを特徴とする化学処理装置。
【請求項６】請求項４に記載の発明において、前記オ
ーバーフロー案内部の内部には、前記テープの表面層の
化学処理中、化学液が充満されることを特徴する化学処
理装置。
【請求項７】請求項５または６に記載の発明におい
て、前記オーバーフロー案内部は、前記外部処理槽に流
出する化学液の量を調整する流量調整手段を有すること
を特徴とする化学処理装置。
【請求項８】請求項１〜７のいずれかに記載の発明に
おいて、前記内部処理槽の内側と外側とのうち少なくと
も一方に、前記内部処理槽から前記外部処理槽に流出す
る化学液の流量を規制する中間槽が設けられ、前記中間
槽に、該中間槽と前記化学液タンクとを連通し且つ前記
化学液タンク内に収容された化学液の液中に延出された
中間ドレイン管を設けたことを特徴とする化学処理装
置。
【請求項９】請求項８に記載の発明において、前記中
間槽の底部に前記中間ドレイン管への流出口を設けたこ
とを特徴とする化学処理装置。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれかに記載の発明
において、前記各表面処理部に、前記化学液タンク内に
収容された化学液を吸引し、前記内部処理槽内に噴出す
るポンプを設けたことを特徴とする化学処理装置。
【請求項１１】請求項１〜１０のいずれかに記載の発
明において、前記化学液はメッキ液であることを特徴と
する化学処理装置。
【請求項１２】請求項１１に記載の発明において、前
記メッキ液は非シアン系メッキ液であることを特徴とす
る化学処理装置。
【請求項１３】外部処理槽および内部処理槽を有する
表面処理部を複数直列に配置し、各表面処理部において
前記外部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ
搬出用の縦長のスリットおよび前記内部処理槽に設けら
れたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリット
にテープを挿通して、該テープの表面層を、前記内部処
理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う化学処
理方法であって、前記各表面処理部の前記各外部処理槽
直下に化学液が収容された化学液タンクを設け、前記各
化学液タンク内の化学液を対応する前記内部処理槽内に
噴出させる化学液噴出手段を設け、前記各外部処理槽
に、該外部処理槽と前記化学液タンクとを連通し且つ前
記化学液タンク内に収容された化学液の液中に延出され
た外部ドレイン管を設け、前記内部処理槽内に噴出して
前記テープの表面層を処理した化学液を前記外部ドレイ
ン管を介して前記各化学液タンク内の化学液中に収容す
ることを特徴とする化学処理方法。
【請求項１４】請求項１３に記載の発明において、前
記各内部処理槽に該内部処理槽と前記化学液タンクとを
連通し且つ前記化学液タンク内に収容された化学液の液
中に延出された内部ドレイン管を設け、前記内部処理槽
内に噴出して前記テープの表面層を処理した化学液を前
記内部ドレイン管を介して前記各化学液タンク内の化学
液中に収容することを特徴とする化学処理方法。
【請求項１５】請求項１４に記載の発明において、前
記内部処理槽にオーバーフロー案内部を設け、前記内部
処理槽からオーバーフローする化学液を前記外部処理槽
に流出することを特徴とする化学処理方法。
【請求項１６】請求項１５に記載の発明において、前
記オーバーフロー案内部の内部に化学液を充満して前記
テープの表面層を化学処理することを特徴する化学処理
方法。
【請求項１７】請求項１５または１６に記載の発明に
おいて、前記オーバーフロー案内部に流量調整手段を設
け、前記内部処理槽から流出する化学液の量を調整可能
となしたことを特徴とする化学処理方法。
【請求項１８】請求項１３〜１７のいずれかに記載の
発明において、前記内部処理槽の内側と外側とのうち少
なくとも一方に、前記内部処理槽から前記外部処理槽に
流出する化学液の流量を規制する中間槽を設け、前記中
間槽に、該中間槽と前記化学液タンクとを連通し且つ前
記化学液タンク内に収容された化学液の液中に延出され
た中間ドレイン管を設け、前記内部処理槽内に噴出して
前記テープの表面層を処理した化学液を前記中間ドレイ
ン管を介して前記各化学液タンク内の化学液中に収容す
ることを特徴とする化学処理方法。
【請求項１９】請求項１３〜１８のいずれかに記載の
発明において、前記各表面処理部に、前記化学液タンク
内に収容された化学液を吸引し、前記内部処理槽内に噴
出するポンプを設け、前記各表面処理部毎に前記化学液
タンク内に収容された化学液を循環することを特徴とす
る化学処理方法。
【請求項２０】請求項１３〜１９のいずれかに記載の
発明において、前記化学処理は電解メッキ処理であるこ
とを特徴とする化学処理方法。
【請求項２１】請求項２０に記載の発明において、前
記電解メッキ処理のメッキ液は非シアン系メッキ液であ
ることを特徴とする化学処理方法。