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JP1762250S - 半導体ウエハ収納カセット用把持機 - Google Patents

半導体ウエハ収納カセット用把持機

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JP1762250S
JP1762250S JP2023012779F JP2023012779F JP1762250S JP 1762250 S JP1762250 S JP 1762250S JP 2023012779 F JP2023012779 F JP 2023012779F JP 2023012779 F JP2023012779 F JP 2023012779F JP 1762250 S JP1762250 S JP 1762250S
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storage cassettes
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Abstract

本物品は、半導体ウエハ収納カセットを把持するために、ロボットアームの先端に取付けられて使用される半導体ウエハ収納カセット用把持機である。本物品は、対向配置された一対の第１アーム部および第２アーム部によって半導体ウエハ収納カセットを保持することにより、半導体ウエハ収納カセットを把持することができる。第２アーム部の第１アーム部に対向する領域には、距離計測機が固定されている。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4770590A (en) * 1986-05-16 1988-09-13 Silicon Valley Group, Inc. Method and apparatus for transferring wafers between cassettes and a boat
US5102291A (en) * 1987-05-21 1992-04-07 Hine Design Inc. Method for transporting silicon wafers
US4892455A (en) * 1987-05-21 1990-01-09 Hine Derek L Wafer alignment and transport mechanism
KR0152324B1 (ko) * 1994-12-06 1998-12-01 양승택 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
JP3549141B2 (ja) * 1997-04-21 2004-08-04 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板保持装置
USD444157S1 (en) * 1998-07-14 2001-06-26 Bayer Corporation Gripper finger
US6256555B1 (en) * 1998-12-02 2001-07-03 Newport Corporation Robot arm with specimen edge gripping end effector
US6986636B2 (en) * 2000-06-09 2006-01-17 Brooks Automation, Inc. Device for positioning disk-shaped objects
US6468022B1 (en) * 2000-07-05 2002-10-22 Integrated Dynamics Engineering, Inc. Edge-gripping pre-aligner
FR2835337B1 (fr) * 2002-01-29 2004-08-20 Recif Sa Procede et dispositif d'identification de caracteres inscrits sur une plaque de semi-conducteur comportant au moins une marque d'orientation
US6769861B2 (en) * 2002-10-08 2004-08-03 Brooks Automation Inc. Apparatus for alignment and orientation of a wafer for processing
TWD126122S1 (zh) * 2007-06-06 2008-11-21 東京威力科創股份有限公司 晶圓保持具
TWD126123S1 (zh) * 2007-06-06 2008-11-21 東京威力科創股份有限公司 晶圓保持具
USD594424S1 (en) * 2007-07-12 2009-06-16 Hiwin Mikrosystem Corp. Wafer carrier
JP5823742B2 (ja) * 2010-07-02 2015-11-25 芝浦メカトロニクス株式会社 把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法
USD674366S1 (en) * 2011-01-20 2013-01-15 Tokyo Electron Limited Wafer holding member
USD674761S1 (en) * 2011-10-20 2013-01-22 Tokyo Electron Limited Wafer holding member
JP6088243B2 (ja) * 2012-12-28 2017-03-01 川崎重工業株式会社 エンドエフェクタ
US10249524B2 (en) * 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
USD911986S1 (en) * 2019-05-03 2021-03-02 Raytheon Company Handheld semiconductor wafer handling tool

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