DE602004006426T2

DE602004006426T2 - Nicht auslaufendes klebstoffsystem und seine verwendung im immersionsobjektiv

Info

Publication number: DE602004006426T2
Application number: DE602004006426T
Authority: DE
Inventors: Emile J. Verstegen; Johan G. Kloosterboer; Hendrik R. Stapert; Jacobus H. Neijzen; Helmar Van Santen
Original assignee: Koninklijke Philips Electronics NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 2003-08-20
Filing date: 2004-08-05
Publication date: 2008-01-10
Anticipated expiration: 2024-08-06
Also published as: US20060225840A1; EP1658343A2; TWI358439B; CN1839187B; CA2535967A1; US20100071848A1; ATE361962T1; US7642297B2; CN1839187A; KR20060070549A; HK1091227A1; KR101305354B1; DE602004006426D1; MXPA06001812A; US7935213B2; JP2007502882A; WO2005019365A3; TW200525003A; JP2011252154A; WO2005019365A2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet von Klebstoffsystemen und insbesondere ein nicht auslaufendes Klebstoffsystem, bei dem keine schädlichen Komponenten oder Verunreinigungen in eine Flüssigkeit auslaufen, die mit dem Klebstoffsystem in Kontakt ist oder mit diesem in Kontakt gelangt, wenn es ausgehärtet ist. Der Ausdruck „nicht auslaufend" bezeichnet dabei das Ausbleiben des Auslaufens von Verbindungen, die für die Anwendung, bei der der Klebstoff verwendet wird, nachteilig sind. Beispiele derartiger Anwendungen beinhalten die Verwendung beim Deep-UV-Mastering von optischen Platten mit hoher Dichte, die Verwendung bei der Deep-UV-Lithografie von Siliciumscheiben, die Verwendung bei der Wasserimmersionslithografie und der Immersionsmikroskopie auf biologischem Gebiet. Weitere wichtige Anwendungen sind die Montage von Kathetern und anderen biomedizinischen Vorrichtungen für Anwendungen, bei denen es wahrscheinlich ist, dass sie mit Fluiden und Gewebe in Kontakt gelangen, sowie die Konstruktion von Biosensoren, insbesondere jene, die montierte Mikrofluidstrukturen enthalten. Es gibt außerdem viele Anwendungsmöglichkeiten im Veterinärwesen und in der Lebensmittel- und Getränkeindustrie. Es ist bei diesen Anwendungen von höchster Wichtigkeit, dass die Flüssigkeit, die mit dem gehärteten Klebstoff in Kontakt gelangt, äußerst rein und somit frei von Verunreinigungen bleibt.
Bei der Wasserimmersionsmikroskopie werden z. B. die numerische Apertur (NA) und demzufolge die Auflösung des Mikroskopobjektivs vergrößert, indem eine Immersionsflüssigkeit zwischen der festen Linse und einem festen Objekt eingebracht wird. Die Adhäsionskräfte der Flüssigkeit halten das Objekt untergetaucht. Wenn sich das Objekt jedoch bewegt, kann ein Ausfall der Immersion auftreten, indem entweder die Flüssigkeit von der Linse gezogen wird oder Gas unter das Objektiv gezogen wird. Das Hauptproblem bei der Anwendung der Wasserimmersion in einem dynamischen System wie etwa einer Masteringmaschine besteht deshalb darin, einen stabilen Flüssigkeitsfilm zwischen der feststehenden Linse und dem beweglichen Substrat aufrechtzuerhalten.
Bei kritischen Anwendungen, wie z. B. dem Deep-UV-Mastering von optischen Platten mit hoher Dichte (Blu-ray Disc) unter Verwendung eines Wasserimmersionsobjektivs mit großer NA zum Schreiben von Informationen in eine Fotoresist-Schicht auf eine Masterplatte, wird die einwandfreie Entwicklung des Fotoresists häufig durch eine geringe Konzentration von Verunreinigungen in der Immersionsflüssigkeit erschwert. Diese (möglicherweise sehr geringe) Kontamination erfolgt aufgrund des Auslaufens von Verunreinigungen aus Klebstoffen, die beim Aufbau des Objektivs und des Immersionszubehörs verwendet werden.
Gewöhnlich werden Epoxy-Amin- oder Epoxy-Anhydrid-Zweikomponenten-Klebstoffsysteme verwendet. Es kommt dann häufig vor, dass alkalische Verunreinigungen aus dem Klebstoff oder, wenn der Klebstoff in ungeeigneter Weise dosiert, gemischt und/oder gehärtet wurde, nicht umgesetzte Amine in die Wasserphase und anschließend in das Resist auslaufen. (Selbst Epoxy-Anhydrid-Systeme können auslauffähige tertiäre Amin-Beschleuniger enthalten.) Der angestrebte Kontrast zwischen belichteten und nicht belichteten Bereichen wird dann lokal geändert oder sogar beseitigt, was sich dann in der Masterplatte als Punktdefekte oder Flecken zeigt. Derartige Defekte werden anschließend außerdem auf die Pressstempel und die reproduzierten Platten, die von diesen Masterplatten hergestellt werden, übertragen.
Das gleiche Problem von teilweise oder vollständig unentwickeltem Resist wurde bei mehreren Positivton-Resists beobachtet, die z. B. zum Typ Novolak-Diazochinon-Resist gehören.
Die vorliegende Erfindung stellt nun ein Klebstoffsystem bereit, bei dem keine schädlichen Verunreinigungen oder Komponenten auslaufen und das dadurch eine einwandfreie Entwicklung der belichteten Resistschicht und eine nachfolgende Pressstempelherstellung ermöglicht.
Die Erfindung betrifft insbesondere ein nicht auslaufendes härtbares Klebstoffsystem, das mindestens ein Monomer, ausgewählt aus der Gruppe der Acrylat- und Methacrylatmonomere, Allylmonomere, Norbornenmonomere, Gemische dieser Monomere, Hybridmonomere, die chemisch verschiedene polymerisierbare Gruppen in einem Monomer enthalten, und multifunktionelle Thiolmonomere, unter der Voraussetzung, dass das Thiol in Kombination mit mindestens einem der Nicht-Thiolmonomere verwendet wird; sowie einen Polymerisationsinitiator umfasst. Vorzugsweise enthält mindestens eines der Monomere, das kein Thiol ist, mindestens zwei funktionelle Gruppen, wobei die Gruppen am Polymerisationsprozess beteiligt sind, um ein quervernetztes Polymernetz zu erhalten. Der hier verwendete Ausdruck „multifunktionell" bedeutet, dass die Anzahl der Monomere, die pro Monomer gekoppelt werden können, größer als 1 ist.
Obwohl in dem vorliegenden Klebstoffsystem praktisch jedes Monomer verwendet werden kann, das durch Initiierung mittels freier Radikale polymerisierbar ist, sind jene Verbindungen bevorzugt, mit denen ein quervernetztes Produkt mit guten Klebeeigenschaften an Glas und Metallen hergestellt werden kann. Es wird angemerkt, dass der hier verwendete Ausdruck „Glas" sich auch auf Quarzglas bezieht.
Bei dem im vorliegenden Klebstoffsystem besonders bevorzugten Diacrylatmonomer handelt es sich um 2,2-Di[4-(3-acryloyloxy-2-hydroxypropoxy)-phenyl]-propan.
Alternativ können Thiolensysteme, die aus Multithiolen und Multiallylmonomeren sowie einem (radikalen) Polymerisationsinitiator bestehen, entweder separat oder in Kombination mit den oben angegebenen (Meth-)Acrylaten verwendet werden. Nicht einschränkende Beispiele von Thiolen sind Trimethylolpropantrithiol, Pentaerythritoltetrathiol und ihre ethoxylierten Homologe. Nicht einschränkende Beispiele von Allylmonomeren sind der Diallylester des Isophorondiisocyanats, Triallylcyanurat und -isocyanurat und die Di- und Triallylether des Trimethylolpropans.
Wie oben angegeben, enthält das Klebstoffsystem außerdem einen Polymerisationsinitiator. Vorzugsweise wird ein einziger Initiator verwendet, der sowohl durch Wärme als auch durch Strahlung, vorzugsweise durch UV-Strahlung, aktiviert werden kann.
Azobisisobutyronitril ist ein gutes Beispiel, obwohl auch viele Azoester verwendet werden können.
Azoester-Initiatoren haben den Vorteil, dass sie neben ihrer fotochemischen Zersetzung eine verhältnismäßig hohe Zersetzungsrate bei relativ niedrigen Temperaturen haben, was die Verwendung dieser Initiatoren selbst bei niedrigen und mittleren Temperaturen ermöglicht.
Beispiele von Fotoinitiatoren, die sich nur bei höheren Temperaturen zersetzen und in der vorliegenden Erfindung ebenfalls verwendet werden können, sind α-Hydroxyketone, wie Irgacure 184 und Darocure 1173 (beides Handelsmarken der Ciba- Geigy AG); α-Aminoketone, wie Irgacure 907 und Irgacure 369 (beides Handelsmarken der Ciba-Geigy AG) und Benzyldimethylketal, wie Irgacure 651 (= DMPA: α,α-Dimethoxy-α-phenylacetophenon) (Handelsmarke der Ciba-Geigy AG).
Das vorliegende Klebstoffsystem umfasst ferner in einer vorteilhaften Ausführungsform ein reaktives Verdünnungsmittel. Es wird in diesem Zusammenhang beobachtet, dass die Di(meth)acrylatmonomere, die in dem vorliegenden Klebstoffsystem verwendet werden sollen, bei einer Betriebstemperatur von z. B. 60 °C eine Viskosität aufweisen können, die für eine geeignete Anwendung auf den empfindlichen zu verklebenden Substraten zu hoch ist. In diesen Fällen ist die Verwendung eines reaktiven Verdünnungsmittels vorzuziehen.
Das reaktive Verdünnungsmittel ist entweder ein Monoacrylat oder vorzugsweise ein Di- oder Multiacrylat- und/oder ein Methacrylatverdünnungsmittel, wobei Beispiele hiervon 1,6-Hexandioldiacrylat und Tripropylenglycoldiacrylat sind. Weitere Beispiele sind ethoxylierte Trimethylolpropantri(meth)acrylate und Pentaerythritoltetra(meth)acrylate mit ausreichend geringer Viskosität.
Um die Klebeeigenschaften des vorliegenden Klebstoffsystems an einem Substrat, insbesondere einem Metall- oder Glassubstrat, zu unterstützen, ist es vorzuziehen, derartige Substrate mit einem geeigneten Oberflächenaktivierungsmittel vorzubehandeln. Eine derartige Oberflächenvorbehandlung hilft bei der Vermeidung der Ablösung oder anderer Arten des Lösens des Klebstoffs von dem Substrat.
Die Erfindung betrifft deswegen außerdem eine nicht auslaufende härtbare Klebstoffzusammensetzung auf der Grundlage von Monomeren, die (a) ein Klebstoffsystem, das oben definiert wurde, und (b) ein Oberflächenaktivierungsmittel umfasst.
Das Oberflächenaktivierungsmittel ist vorzugsweise ein Acrylsilan- oder Methacrylsilankopplungsmittel. Diese Mittel können sowohl bei (Meth)acrylat- als auch bei Thiolen-Systemen verwendet werden. Alternativ kann bei den Thiolen-Systemen außerdem ein Thiol- oder ein Allylkopplungsmittel verwendet werden. Es wird in diesem Zusammenhang angemerkt, dass die Verwendung eines Silankopplungsmittels zusammen mit einer Klebstoffzusammensetzung zum Verkleben von Metallsubstraten an sich aus dem Patent EP-A-1 005 037 bekannt ist. Dennoch fehlen in dieser Referenzangabe spezielle Beispiele eines derartigen Kopplungsmittels. Des Weiteren betrifft das Patent EP-A-1 005 037 eine kationische UV-härtbare Zusammensetzung, die vorzugsweise aus einem Epoxidharz als Hauptkomponente und einem Fotoinitiator vom kationischen Polymerisationstyp besteht. Derartige Systeme sind dadurch gekennzeichnet, dass ionische Verbindungen auslaufen können, bei denen es wahrscheinlich ist, dass sie das Resistverhalten beeinflussen.
Wie oben angegeben, betrifft die vorliegende Erfindung dagegen ein Klebstoffsystem auf der Grundlage von Acrylat- und/oder Methacrylatmonomeren, Allylmonomeren, Norbornenmonomeren, Hybridmonomeren dieser Monomere, die chemisch verschiedene polymerisierbare Gruppen enthalten, Gemischen dieser Monomere und multifunktionellen Thiolmonomeren, unter der Voraussetzung, dass das Thiol in Kombination mit mindestens einem der anderen Nicht-Thiolmonomere verwendet wird, sowie eines Polymerisationsinitiators, wobei bei diesem System, wenn es gehärtet ist, keine gefährlichen Komponenten in eine Flüssigkeit auslaufen, die mit dem Klebstoffsystem in Kontakt gelangt.
Bei dem Methacrylsilankopplungsmittel der vorliegenden Erfindung handelt es sich vorzugsweise um γ-Methacryloyloxypropyltrimethoxysilan.
Die vorliegende Erfindung betrifft ferner einen Prozess zum Gewährleisten der Metall-Metall- und der Metall-Glas-Haftung durch das Auftragen einer Beschichtung aus einem nicht auslaufenden härtbaren Klebstoffsystem, das oben beschrieben wurde, auf die Oberflächen der zu verbindenden Teile, durch das Verbinden der auf diese Weise beschichteten Oberflächen der Teile und durch das Härten der Kombination, wobei die zu verbindenden Oberflächen vor dem Auftragen des Klebstoffsystems mit einem Oberflächenaktivierungsmittel vorbehandelt werden.
Eine derartige Vorbehandlung verhindert ferner, wie oben angegeben, ein Ablösen und/oder das Auslaufen von Wasser.
Bei dem Oberflächenaktivierungsmittel handelt es sich vorzugsweise um ein Acryl- oder Methacrylsilankopplungsmittel, besonders bevorzugt um γ-Methacryloyloxypropyltrimethoxysilan.
Die Vorbehandlung der Oberfläche, die mit einem Klebstoff gemäß der vorliegenden Erfindung versehen werden soll, besteht vorzugsweise daraus, dass die Oberfläche dem Dampf des Kopplungsmittels ausgesetzt wird, das bei Bedarf in einem geeigneten Lösungsmittel gelöst ist, oder aus einer Behandlung der Oberfläche mit einer Lösung des Kopplungsmittels in einem geeigneten Lösungsmittel oder aus irgendeinem anderen geeigneten Prozess.
Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung des vorliegenden Klebstoffsystems für das Anhaften eines Metallfilms an einem anderen Metallfilm oder an einem Glassubstrat eines Wasserimmersionsobjektivs, das für die Herstellung eines Substrats, insbesondere einer optischen Masterplatte verwendet wird.
Wie oben erläutert, hat ein Auslaufen von Spuren der Komponenten aus dem Klebstoff, der bei der Konstruktion des Immersionsobjektivs und des Immersionszubehörs verwendet wird, in die Immersionsflüssigkeit häufig zur Folge, dass die einwandfreie Entwicklung der Resistschicht auf einer Masterplatte in dem Immersionsmikroskop erschwert wird. Die dadurch erhaltenen Defekte zeigen sich als Punktdefekte oder als Flecken; sie erscheinen nicht nur in der Resistschicht der Masterplatte, sondern werden auch auf die Pressstempel und die reproduzierten Platten, die aus derartigen Masterplatten hergestellt werden, übertragen.
Die Verwendung des vorliegenden Klebstoffs verhindert das Auftreten dieses Auslaufproblem überraschenderweise vollständig.
Die Erfindung betrifft ferner ein Wasserimmersionsobjektiv, das im Anspruch 16 definiert ist.
Die oben angegebenen sowie weitere Aspekte der Erfindung werden durch Bezugnahme auf die Zeichnungen und die folgenden Beispiele verdeutlicht und erklärt, die in keinerlei Hinsicht als Einschränkung des Anwendungsbereichs der vorliegenden Erfindung zu interpretieren sind.
Die 1a und 1b zeigen einen Querschnitt bzw. eine Unteransicht des Konzepts der Wasserimmersion, das beim Mastering optischer Platten angewendet wird.
1c zeigt Einzelheiten der Ausführungsform der Halterung von Immersionslinsen und des Zubehörs zur Wasserversorgung von 1a.
2 zeigt Punktdefekte, die auf einer reproduzierten Platte durch die Verwendung eines herkömmlichen Klebstoffs in dem Wasserimmersionsmikroskop erhalten werden.
3 zeigt Flecken, die auf einer reproduzierten Platte durch Verwendung eines herkömmlichen Klebstoffs in dem Wasserimmersionsobjektiv erhalten werden.
4 ist ein AFM-Bild, das Punktdefekte auf dem Mutterpressstempel aufweist, der unter Verwendung eines herkömmlichen Klebstoffs in dem Wasserimmersionsobjektiv erzeugt wurde.
5a zeigt eine reproduzierte Platte, die unter Verwendung eines erfindungsgemäßen Klebstoffs ohne Flecken oder Punktdefekte erhalten wird (10fache Vergrößerung).
5b zeigt die selbe Platte wie 5a, jedoch bei 20facher Vergrößerung.
Die Einstellung, die zum Immersionsschreiben von Masterplatten für Blu-ray Discs verwendet wird, wurde, wie in den 1a, b und c dargestellt, unter Verwendung des Konzepts der Wasserimmersion realisiert.
Eine Wasserimmersion wird erreicht, indem ein Wasserfilm lokal zwischen dem letzten Linsenelement 5 des Objektivs 6 und der rotierenden Mastering-Platte 2 mit dem Fotoresist 4 aufrechterhalten wird (siehe 1a). Wasser stellt bei dieser Anwendung eine natürliche Auswahl für die Immersionsflüssigkeit dar, da es für Strahlung mit einer Wellenlänge von 257 nm, die zum Schreiben verwendet wird, durchlässig und mit der Resistverarbeitung kompatibel ist. Das verwendete Objektiv ist eine handelsübliche Linse (numerische Apertur (NA) = 0,9, λ = 257 nm), die in eine Wasserimmersionslinse mit NA = 1,23 umgewandelt wird indem ein nahezu halbkugelförmiges abschließendes Linsenelement (nicht gezeigt) hinzugefügt wird. Das Wasser wird durch ein Loch 9 unmittelbar vor der Immersionslinse 5 bei einem Druck, der ausreichend hoch ist, um einen Gaseinschluss zu vermeiden, und ausreichend niedrig ist, um die Freigabe von gelöstem Gas zu vermeiden, ununterbrochen zugeführt. Die Unteransicht von 1b zeigt, wie die Relativgeschwindigkeit von Linse und beschichteter Platte das Wasser unter die Linse zieht, was eine stabile Wasserspur um die Fokusposition zur Folge hat. Die Wasserspur ist bei Schreibgeschwindigkeiten von bis zu 5 m/s typischerweise 7 μm hoch und 200 μm breit. Die Kräfte, die durch diese schmale Wasserspur auf die Linse 5 ausgeübt werden, sind minimal, sodass der Fokusantrieb durch das Vorhandensein des Wasserfilms nicht behindert wird.
Die Konstruktion der Halterung der Immersionslinse und der Wasserversorgung musste in dem ursprünglichen Arbeitsabstand des Fernfeldobjektivs realisiert werden, der lediglich 250 μm beträgt. Dies hatte eine sehr kleine Halterung für die Immersionslinse mit einer Dicke von lediglich 200 μm zur Folge, die einen Wasserzufuhrkanal 8 enthält. Die Linsenhalterung besteht aus einem Stapel aus vier Metallfolien 7, in 1c gezeigt, die in der Weise geformt und miteinander verklebt sind, dass ein Wasserzufuhrkanal 8 erzeugt wird.
Das Wasser verläuft durch ein Loch 9 in der unteren Folie des Folienstapels 7, um die Grenzfläche zwischen dem Objektiv 6 und der Platte 2 zu erreichen. Das bedeutet, dass das zur Immersion verwendete Wasser in engem Kontakt mit dem Klebstoff ist. Der Klebstoff in dem Folienstapel 7 muss thermisch gehärtet werden, da er für UV-Licht nicht erreichbar ist.
Das abschließende Immersionslinsenelement muss an dem Folienzubehörteil fest angebracht werden. Dies wird ebenfalls durch Kleben erreicht. Dabei ist ein UV-härtbarer Klebstoff bevorzugt, da hohe Temperaturen vermieden werden müssen, um den Aufbau von Spannungen, deren Entspannung und eine daraus resultierende ungenaue Positionierung des Immersionslinsenelements 5 zu vermeiden.
Wenn herkömmliche Klebstoffe verwendet werden, wie etwa Klebstoffe auf Epoxy-Amin/Anhydrid-Basis, kommt es häufig vor, dass das Resist nach dem Abspülen oder Einsprühen mit der wässrigen Entwicklerlösung oder nach dem Eintauchen in diese teilweise oder vollkommen unentwickelt bleibt. Die Defekte zeigen sich als Punktdefekte (2) oder als Flecken (3). Die Defekte bilden sich nicht nur in der Resistschicht, sondern werden außerdem auf die Pressstempel und die reproduzierten Platten, die aus derartigen Master hergestellt werden, übertragen. Ein Detail eines Punktdefekts auf einem Mutterpressstempel ist in 4 gezeigt. Das Resist ist lokal unentwickelt.
In den 2 und 3 beträgt die Spurbreite 0,7 mm, während in 4 der Spurabstand 320 nm beträgt.
Die 5a und 5b zeigen eine reproduzierte Platte, die unter Verwendung eines in den 1a, 1b und 1c beschriebenen Immersionsmikroskops erzeugt wurde, das unter Verwendung eines erfindungsgemäßen Klebstoffs aufgebaut wurde. In den 5a und 5b beträgt die Spurbreite 0,4 mm.
Beispiel 1
Ein Klebstoff wurde hergestellt durch Mischen einer 80%igen (w/w) Lösung von 2,2-Di[4-(3-acryloyloxy-2-hydroxypropoxy)-phenyl]-propan (= Di-GAA) in 1‚6-Hexandioldiacrylat mit 0,1 Gew.-% Azobisisobutyronitril.
Dieser Klebstoff wurde beim Laminieren des Folienstapels und beim Verkleben der Objektivlinse verwendet, wie in den 1a und 1b gezeigt. Der Klebstoff zwischen den Folien wurde durch Erwärmen des Stapels auf 90 °C für 12 Stunden gehärtet. Die Objektivlinse wurde an dem Folienstapel durch Belichten des Stapels mit UV-Licht (Wellenlängenbereich 320-390 nm, Intensität 40 mW·cm^–2, Belichtungszeit 1 Minute) befestigt.
Es bestätigte sich, dass aus dem Klebstoffsystem keine Verunreinigungen ausgelaufen sind, wie durch eine geeignete Entwicklung der belichteten Resistschicht und der anschließenden Pressstempelherstellung durch ein Immersionsmikroskopobjektiv, wie es in den 1a, 1b und 1c dargestellt ist, nachgewiesen wurde.
Die ausgezeichnete Qualität des Klebstoffsystems wird des Weiteren durch das Fehlen von Flecken und feinen Löchern auf reproduzierten Platten nachgewiesen, wie in 5a und 5b gezeigt.
Beispiel 2
Ein Klebstoff wurde gemäß Beispiel 1 hergestellt, jedoch unter Verwendung von Di-GAA als 75%ige (w/w) Lösung in Tripropylenglycoldiacrylat.
Es wurden die gleichen, in Beispiel 1 angegebenen Ergebnisse erzielt.
Beispiel 3
Um des Weiteren ein Ablösen und/oder Auslaufen von Wasser zu verhindern (wenn dies überhaupt möglich ist), wurden die miteinander zu verklebenden Oberflächen einer Vorbehandlung mit einem flüssigen Silankopplungsmittel unterzogen. Insbesondere wurden die Metallfolien und die Immersionslinse in einen Trockenapparat eingebracht, der ein offenes Gefäß mit γ-Methacryloyloxypropyltrimethoxysilan enthielt.
Der Trockenapparat wurde evakuiert und die Metallfolien und die Linse wurden über Nacht dem Dampf des Kopplungsmittels ausgesetzt. Anschließend wurden die Teile unter Verwendung des Klebstoffs und der Prozedur, die im Beispiel 1 angegeben sind, miteinander verbunden.
Bei der Entwicklung der Masterplatten, die unter Verwendung der in 1b dargestellten Mastering-Einrichtung hergestellt wurden, wurden weder Flecken noch Punktdefekte beobachtet.
Vergleichsbeispiel 1
Platten, die mittels Pressstempeln reproduziert wurden, welche unter Verwendung eines in 1c dargestellten Wasserimmersionsmikroskopsystems hergestellt wurden, das unter Verwendung eines herkömmlichen Epoxy-Amin-Klebstoffs – und zwar Araldite 2011 (Handelsmarke von Vantico) – aufgebaut wurde, zeigten viele Punktdefekte und Flecken, wie in den 2 und 3 gezeigt. Die Defekte waren bereits auf dem Pressstempel vorhanden, der für das Reproduzieren der Platten verwendet wurde (4).
Während die vorliegende Erfindung im Hinblick auf deren spezielle Ausführungsformen beschrieben wurde, wird anerkannt, dass verschiedene Modifikationen und Variation hiervon ausgeführt werden können, ohne vom Anwendungsbereich und dem Geist der Erfindung abzuweichen, die durch Bezugnahme auf die hier beigefügten Ansprüche deutlicher verstanden werden. Des Weiteren sollen Bezugszeichen in den Ansprüchen nicht als Einschränkung des Anwendungsbereichs der Erfindung ausgelegt werden. Text in den Figuren Fig. 1a

6 Objektiv mit NA = 0,9

Claims

Nicht auslaufendes härtbares Klebstoffsystem, das mindestens ein Monomer, ausgewählt aus der Gruppe der Acrylat- und Methacrylatmonomere, Allylmonomere, Norbornenmonomere, Gemische dieser Monomere, Hybridmonomere, die chemisch verschiedene polymerisierbare Gruppen in einem Monomer enthalten, und multifunktionellen Thiolmonomere, unter der Voraussetzung, dass das Thiol in Kombination mit mindestens einem der Nicht-Thiolmonomere verwendet wird, sowie einen Polymerisationsinitiator umfasst.
Nicht auslaufendes härtbares Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem mindestens eines der Monomere, das kein Thiol ist, mit mindestens zwei funktionellen polymerisierbaren Gruppen versehen ist.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem das Allylmonomer aus der Gruppe des Diallylesters des Isophorondiisocyanats, des Triallylcyanurats und -isocyanurats und der Di- und Triallylether des Trimethylolpropans ausgewählt ist.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem das multifunktionelle Thiol aus der Gruppe des Trimethylolpropantrithiols, Pentaerythritoltetrathiols und ethoxylierten Homologen dieser Verbindungen ausgewählt ist.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem das Acrylatmonomer 2,2-Di[4-(3-acryloyloxy-2-hydroxypropoxy)-phenyl]-propan ist.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem der Initiator ein Fotoinitiator, insbesondere ein UV-Initiator, ein thermischer Initiator oder eine Kombination von beiden ist.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem das System ferner ein reaktives Verdünnungsmittel enthält.
Nicht auslaufendes Klebstoffsystem nach Anspruch 1, bei dem das reaktive Verdünnungsmittel ein Acrylat- oder ein Methacrylatverdünnungsmittel, vorzugsweise ein Di- oder Mehrfachacrylat- oder -methacrylatverdünnungsmittel ist.
Nicht auslaufende härtbare Klebstoffzusammensetzung, die (a) ein Klebstoffsystem, das im Anspruch 1 definiert ist, und (b) ein Oberflächenaktivierungsmittel umfasst.
Klebstoffzusammensetzung nach Anspruch 9, bei der das Oberflächenaktivierungsmittel ein Acryl- oder Methacrylsilankopplungsmittel ist.
Klebstoffzusammensetzung nach Anspruch 10, bei der das Methacrylsilankopplungsmittel γ-Methacryloyloxypropyltrimethoxysilan ist.
Prozess für die Metall-Metall- und Metall-Glas-Verklebung durch Auftragen einer Beschichtung aus einem härtbaren Klebstoffsystem, das auf Monomeren basiert und im Anspruch 1 definiert ist, auf die Oberflächen von zu verbindenden Teilen, durch Verbinden der auf diese Weise beschichteten Oberflächen der Teile und durch Härten der Kombination, wobei die zu verbindenden Oberflächen vor dem Auftragen des Klebstoffsystems mit einem Oberflächenaktivierungsmittel vorbehandelt werden.
Prozess nach Anspruch 12, bei dem das Oberflächenaktivierungsmittel ein Acryl- oder Methacrylsilankopplungsmittel ist.
Prozess nach Anspruch 13, bei dem das Methacrylsilankopplungsmittel γ-Methacryloyloxypropyltrimethoxysilan ist.
Verwendung eines nicht auslaufenden härtbaren Klebstoffsystems, das auf den in Anspruch 1 definierten Monomeren basiert, für das Verkleben eines Metallfilms mit einem anderen Metallfilm oder einem Glassubstrat eines Wasserimmersionsobjektivs, welches für die Herstellung eines Substrats, insbesondere einer optischen Masterplatte verwendet werden soll.
Wasserimmersionsobjektiv, das für die Herstellung eines Substrats, insbesondere einer optischen Masterplatte, verwendet werden soll, umfassend einen Stapel aus Metallfilmen (8), eine Immersionsobjektivlinse (5), die in einem Durchgangsloch (9) in dem Stapel aus Metallfilmen vorgesehen ist, und ein Substrat (2), das mit einer Fotoresist-Schicht (4) versehen ist, die der Immersionslinse (5) zugewandt ist, wobei die Fotoresist-Schicht und die Immersionslinse durch einen Wasserfilm (1) getrennt sind, wobei dessen Wasserzufuhrkanal (3) zwischen dem Stapel aus Metallfilmen (8) und durch diesen hindurch vorgesehen ist, sodass der Wasserzufuhrkanal in die Grenzfläche zwischen der Objektivlinse und dem Substrat entlädt, wobei die Metallfilme und die Immersionslinse mittels des Klebstoffsystems nach Anspruch 1 miteinander verklebt sind.
Verwendung eines nicht auslaufenden härtbaren Klebstoffsystems, das auf den im Anspruch 1 definierten Monomeren basiert, für die gegenseitige Verklebung von mindestens zwei Körpern, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die Metallfilme, (Quarz-) Glassubstrate und Polymerfilme enthält, für die Herstellung und/oder Montage von Kathetern, Biosensoren und anderen biomedizinischen Einrichtungen, bei denen es wahrscheinlich ist, dass sie mit Fluiden und Gewebe in Kontakt gelangen.