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DE3330349A1 - Verfahren zur elektrochemischen kompensation der luftoxidation bei der elektrochemischen regenerierung von chloridhaltigen kupferaetzloesungen - Google Patents

Verfahren zur elektrochemischen kompensation der luftoxidation bei der elektrochemischen regenerierung von chloridhaltigen kupferaetzloesungen

Info

Publication number
DE3330349A1
DE3330349A1 DE3330349A DE3330349A DE3330349A1 DE 3330349 A1 DE3330349 A1 DE 3330349A1 DE 3330349 A DE3330349 A DE 3330349A DE 3330349 A DE3330349 A DE 3330349A DE 3330349 A1 DE3330349 A1 DE 3330349A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
anode
electrochemical
chloride
copper
regeneration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE3330349A
Other languages
English (en)
Inventor
Rudi Dipl.-chem. Dr. 7145 Markgröningen Ott
Heribert 7000 Stuttgart Reith
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
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Priority to EP84108467A priority patent/EP0141905B1/de
Priority to DE8484108467T priority patent/DE3460905D1/de
Publication of DE3330349A1 publication Critical patent/DE3330349A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46Regeneration of etching compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Description

19.8.1983 Pf/Kc
ROBERT BOSCH GMBH, TOOO Stuttgart 1
Verfahren zur elektrochemischen Kompensation der Luftoxidation bei der elektrochemischen Regenerierung
von chloridhaltigen Kupferätzlösungen
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren nach der Gattung des Hauptanspruchs. In Ätzlösungen für Metalle, die Kupfer (II)-chlorid oder.Eisen(III)-chlorid enthalten, wird das beim Ätzen entstehende Kupfer (I )-chlor'id bzw. Sisen(ll)-chlorid zu einem Teil durch den Sauerstoff der Luft wieder zum CuII oder FeIII oxidiert gemäß der Reaktionsgleichung
(1)2 CuCl + 1/2 O2 * CuCl2 + CuO
Das dabei intermediär entstehende Kupfer(II)-0xid reagiert, nach (2) unter Verbrauch von zusätzlicher Salzsäure weiter
(2) CuO + 2 HCl ► CuCl2 + H3O
Diese Nebenreaktion macht sich durch einen pH-Anstieg bei chloridhaltigen Kupferätzlösungen bemerkbar. Die Luftoxidation von CuCl trit"C ganz besonders in Erscheinung, wenn die Ätzlösung zum Sprühätzen eingesetzt wird, da dann die der Luft ausgesetzte Lösungsoberfläche besonders groß ist.
COPY
Derartige Ätzlösungen wie beispielsweise CuCl -Salzsäure oder CuCl -Alkalichlorid, lassen sich durch entsprechende Zlektrolyseeinrichtungen elektrochemisch nach den· chemischen Gleichungen (3), (M » (5) regenerieren:
(3) Cu2+ + 2e~ Ψ- Cu° . ' '
(M 2 Cl" ' > Cl2 + 2e~
.(5)2 CuCl + Cl2 * 2 CuCl2.
Sin derartiges, mit Alkalichloriden arbeitendes Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Regenerierung einer kupfer^ haltigen Ätzlösung ist in der DE-OS 33 03 59h beschrieben. Bei konventionellen Elektrodenanordnungen, wie sie auch in der soeben genannten DE-OS vorgesehen sind, erfolgt die anodische Teilreaktion (M in chloridhaltigen Lösungen in der Regel mit 100 % Chlorausbeute. In der Praxis stehen diesen 100 % Chlorausbeute jedoch verschiedene störende iJebenreaktionen gegenüber, nämlich zum einen eine kathodische Reduktion von Wasserstoffionen und zum anderen die oben bereits erwähnten Reaktionen (1) und (2). Diese 2-Iebenreaktionen machen sich auch bei der elektrochemischen Regenerierung von Kupferätzlösungen infolge des Verbrauchs an HCl durch eine Erhöhung des pH-Wertes sowie durch sine unerwünschte Chiorgasentwicklung bemerkbar.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäSe Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, da3 an der Anode neben der normalerweise bevorzugten Chlor idoxidai: ion' auch eine elektrochemische Zerlegung von Wasser in gasförmigen Sauerstoff und Wasserstoffionen gemäß der Reaktionsgleichung
[ο) Ξ3 *> 1/2 O^ + 2 K + 2e
realisiert werden, kann. Der bei dieser Reaktion entstehende
• Sauerstoff entweicht im wesentlichen gasförmig aus der
• Ätzlösüng, da die Löslichkeit für Sauerstoff im Gegensatz zu derjenigen für Chlor nur sehr gering ist. In der Lösung verbleiben die Wasserstoffionen,·die in der gewünschten Weise dafür sorgen, daß der·pH-Wert im wesentlichen konstant bleibt und somit die insbesondere beim Sprühätzen.auftretende Luftoxidation von CuCl kompensiert
: wird.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Verfahrens möglich. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung von Polypropylen-Filtertuch-Material, das in Streifen geschnitten und auf Stoß um die Anode herumgewickelt wird, um auf diese Weise Spalte oder Öffnungen in der Umhüllung zu belassen, damit das Sauerstoff-Chlor-Gemisch von der Anode entweichen kann.
Beschreibung eines. Ausführungsbeispiels
In einer Ätzanlage wurden Leiterplatten nach dem Sprühätzverfahren geätzt, indem die Ätzlösung mit einem Druck "von 2,5 bar auf die Leiterplatten gesprüht wurde. Die Ätzlösung hatte ein Volumen von 66o 1, enthielt 150 g/l KCl und 50 g/l Cu und hatte eine Temperatur von 50 C. ! s Diese Lösung wurde von der Ätzanlage in eine Regenerier,-j anlage gepumpt, wie sie in der DE-OS 33 03 59^· beschrieben j ist. Dabei.waren zwei Zellen hintereinander geschaltet und die Anoden bestanden aus Titanstäben von 8 mm Durchmesser mit einer Iridiuaoxidbeschichtung. Die Anodenoberfläche betrug pro Zelle 14,3 dm . Das Anodenmaterial war mit einem Filtertuch aus Polypropylen in Form vor. 3 .-um breiten Streifen umwickelt derart, daß die Streifen aneinander stoßen, um Spalte in der Umhüllung zu erhalten, damit die an der Anode freisesetzten Oase Sauerstoff und
. 4 f) f^ t*
■ ' ήh
Chlor ent-«eichen können. In den hintereinander geschalteten Regenier zellen floß ein Strom von 550 A "bei einer Spannung von 19,5 V. Um zu verhindern, daß mehr Chlor gebildet als für die Oxidation benötigt wird, erfolgte eine Steuerung des elektrochemischen Vorgangs durch Erfassen der Kupfer (I)-Ionen mit Hilfe des Redoxpotentials und Abschaltung des Stroms bei einem Wert von 375 mV. Wurde die Regenerieranlage gefahren, ohne daß Leiterplatten geätzt wurden, so fiel der pE-Wert von anfänglich 2,5 auf etwa 1,9 nach etwa 1 1/2 Stunden. Wurde dagegen sprühgeätzt, ohne daß die Regenerieranlage eingeschaltet war - und dies entspricht auch etwa den Verhältnissen bei eingeschalteter Regenerieranlage, aber ohne die umhüllung der Anoden -, so stieg der pH-Wert im Verlauf von etwa 20 Minuten von 1,9 auf 2,5· Wurde dagegen sprühgeätzt und gleichzeitig regeneriert, so blieb der pH-Wert konstant auf 2,0, was bedeutet, daß unter -diesen Umständen die vorzugsw-eise beim Sprühätzen auftretende Luftoxidation von Cu(I) kompensiert war.
Versuche haben gezeigt, laß die Stromausbeute für die Re- ■i aktion nach Gleichung (ό) abhängig ist von der Stromdichte, [ mit' der die Regenerieranlage gefahren wird und beispiels- -
weise bei 30 A/dm2 bei 20 %, bei 50 A/dm2 bei h-5 % und
ο i
bei 90 A/dm" schließlich bei 60 % liegt. Die Wahl der j
anodischen Stromdichte ist daher eine Möglichkeit, die —L-
Menge der gebildeten Wasserstoffionen an die Menge der I
lurch die Luft oxidierten Cu(l)-Ionen anzupassen, indem man beispielsweise die anodische Stromdichte so steuert, daß der pH-Wert konstant auf beispielsweise 2,0 gehalten wird. Andere Möglichkeiten der Abstimmung der gebildeten H -Menge auf äie durch die Luft oxidierte Cu (I}-.Ionen-Menge lisgt in der Art ier Anodenumhüllung, indem man hier lie Porösität ändert oder die Anzahl und die Art
j_uv 3"3.3 3 03.2.""35"I 7 H ΓΙ 1 2 Γ ~
. ORl(BINAL INSPECTED
Es sei noch betont, daß diese Art der Kompensation der Luftoxidation sich nicht nur bei Ätzlösungen, die als Komplexbildner Alkalichloride enthalten, verwirklichen läßt, sondern daß dies genauso gut möglich ist bei Ätzlösungen, die als Komplexbildner Salzsäure enthalten. Ebenso ist· sie anwendbar auf Lösungen, die statt Kupferchlorid, CuCl , Eisenchlorid, FeCl_ , enthalten.
COPY

Claims (1)

  1. ■ ^ _ ■ 333034-
    Λ 55 Q O 7
    19.8.1983 Pf/Kc
    ROBERT BOSCH GMBH, 7OOO Stuttgart 1
    Ansprüche
    1.) Verfahren zur elektrochemischen Kompensation der Luftoxidation bei der elektrochemischen Regenerierung von kupferhalt igen At zlösung.e.n, wobei die Ätzlösung durch eine Regenerieranlage geleitet wird, die eine Kathode und eine unlösliche Anode aufweist, an die eine Gleichspannung angelegt wird, so daß an der Kathode metallisches Kupfer abgeschieden wird, w-ährend sich an der Anode Chlor bildet, das Kupfer (I)-chlorid zu Kupfer(II)-chlorid oxidiert, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode zwecks Zerlegung von Wasser in gasförmigen Sauerstoff und Wasserstoffionen von einem porösen, als Diaphragma wirkenden Material umgeben wird, das den Zutritt von Chlorionen an'die Anode hemmt. ■
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, da3 das poröse Material straff auf dem Anodenmaterial aufliegt.
    3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, da3 das Anodenmaterial aus mir einem Platinmetall beschichteten Titan, Niob oder Tantal, aus metalloxidbeschichteten: Titan, Niob oder Tantal, wobei die Oxide vorzugsweise solche der Platinmetalle sind, oder aus Graphit besteht.
    OBiGINAL INSPECTED Copy
    h. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das poröse Material aus einem Filtermaterial besteht.
    5· Verfahren nach Anspruch U, dadurch gekennzeichnet,, daß das poröse Material aus Polypropylen-Filtertuch-Material
    besteht.
    6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Polypropylen-Filtertucti-Material in Form-von Streifen auf Stoß um die Anode herumgewickelt wird.
DE3330349A 1983-08-23 1983-08-23 Verfahren zur elektrochemischen kompensation der luftoxidation bei der elektrochemischen regenerierung von chloridhaltigen kupferaetzloesungen Withdrawn DE3330349A1 (de)

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DE8484108467T DE3460905D1 (en) 1983-08-23 1984-07-18 Process for the electrochemical compensation of the oxidation in the electrochemical regeneration of copper etching solutions containing chloride

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EP0141905A1 (de) 1985-05-22

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