DE3239092C2 - - Google Patents
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- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 claims description 30
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 claims description 23
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 16
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 claims description 13
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 12
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 claims description 6
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N propane-1,3-diol Chemical compound OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 claims 1
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 claims 1
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 claims 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 43
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 24
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 5
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910000074 antimony hydride Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 230000036541 health Effects 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 3
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- OUULRIDHGPHMNQ-UHFFFAOYSA-N stibane Chemical compound [SbH3] OUULRIDHGPHMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 3
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Stibin (SbH3) Chemical class 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- LWJROJCJINYWOX-UHFFFAOYSA-L mercury dichloride Chemical compound Cl[Hg]Cl LWJROJCJINYWOX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 2
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 description 2
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 2
- IHGSAQHSAGRWNI-UHFFFAOYSA-N 1-(4-bromophenyl)-2,2,2-trifluoroethanone Chemical compound FC(F)(F)C(=O)C1=CC=C(Br)C=C1 IHGSAQHSAGRWNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000002234 Allium sativum Species 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
- 229910003641 H2SiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001245 Sb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000209140 Triticum Species 0.000 description 1
- 235000021307 Triticum Nutrition 0.000 description 1
- 229960000583 acetic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002140 antimony alloy Substances 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910000070 arsenic hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- LULLIKNODDLMDQ-UHFFFAOYSA-N arsenic(3+) Chemical compound [As+3] LULLIKNODDLMDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007844 bleaching agent Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- RCTYPNKXASFOBE-UHFFFAOYSA-M chloromercury Chemical compound [Hg]Cl RCTYPNKXASFOBE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000003958 fumigation Methods 0.000 description 1
- 235000004611 garlic Nutrition 0.000 description 1
- QUZPNFFHZPRKJD-UHFFFAOYSA-N germane Chemical compound [GeH4] QUZPNFFHZPRKJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052986 germanium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012362 glacial acetic acid Substances 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 229940093915 gynecological organic acid Drugs 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012994 industrial processing Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000009940 knitting Methods 0.000 description 1
- 229940046892 lead acetate Drugs 0.000 description 1
- 231100000518 lethal Toxicity 0.000 description 1
- 230000001665 lethal effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- ZADYMNAVLSWLEQ-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-);silicon(4+) Chemical class [O-2].[O-2].[O-2].[Mg+2].[Si+4] ZADYMNAVLSWLEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- NGYIMTKLQULBOO-UHFFFAOYSA-L mercury dibromide Chemical compound Br[Hg]Br NGYIMTKLQULBOO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052987 metal hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004681 metal hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 231100000344 non-irritating Toxicity 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000008262 pumice Substances 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 150000003378 silver Chemical class 0.000 description 1
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L silver sulfate Chemical compound [Ag+].[Ag+].[O-]S([O-])(=O)=O YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000367 silver sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- FKHIFSZMMVMEQY-UHFFFAOYSA-N talc Chemical compound [Mg+2].[O-][Si]([O-])=O FKHIFSZMMVMEQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 231100000027 toxicology Toxicity 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung betrifft ein Mittel zum Nachweis von gasförmigen
Hydriden gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1
und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich im allgemeinen auf das
Aufspüren und Überwachen von toxischen Dämpfen und Gasen und
insbesondere auf das Aufspüren von und Warnen vor gasförmigen Hydriden
speziell in industriellen Umgebungen. Eine Vielzahl von toxischen
gasförmigen Hydriden werden in industriellen Verarbeitungs-
und Herstellungsverfahren eingesetzt oder gebildet.
Metallische Hydride, wie Arsin (AsH₃) und Phosphin (PH₃)
sind hochgiftige, farblose, nichtreizende Gase, die häufig
einen schwachen Knoblauchgeruch haben. Diese Gase können in
wäßriger Lösung gebildet werden und sind in Alkohol und alkalischen
Lösungen schwach löslich. Wenn bespielsweise naszierender
Wasserstoff in Gegenwart von
Arsen erzeugt wird oder wenn Wasser mit einem metallischen
Arsenid reagiert, bildet sich Arsin. Die meisten Fälle von
Arsin- und Phosphinvergiftungen standen im Zusammenhang mit
der Verwendung von Säuren und Rohmetallen, von denen eines
oder beide Arsen oder Phosphor als Verunreinigung enthielten.
In der industriellen Erstarrungstechnik können Vergiftungen
mit gasförmigen Hydriden auch die Folge einer zufälligen Bildung des Gases
sein. So haben beispielsweise Freisetzungen von Arsin, über
die am meisten berichtet wurde, während des Schmelzens und
Raffinierens von Metallen stattgefunden, da Erze, die mit Arsen
verunreinigt sind, Arsin freisetzen, wenn sie mit Säure
behandelt werden. Es gibt jedoch noch zahlreiche weitere Situationen,
die laut Berichten zur Freisetzung von letalen
Konzentrationen von Hydridgasen geführt haben, so beim Galvanisieren,
Löten, Ätzen und Plattieren mit Blei. Arsin kann
in Gegenwart von Arsen auch von Pilzen erzeugt werden, insbesondere
in Abwässern. Das neuerwachte Interesse an Kohle
als Energiequelle kann die Häufigkeiten der Freisetzungen
von Arsin vergrößern, da Kohle beträchtliche Mengen an Arsen
enthält.
Wie Arsin ist auch Phosphin ein farbloses giftiges Gas, das
in Wasser, Alkohol und alkalische Lösungen löslich ist. Phosphin
ist auch in Äther löslich. Ähnlich wie Arsin kann Phosphin
durch Bildung von naszierendem Wasserstoff in Gegenwart
von Phosphor oder durch die Einwirkung von Säuren oder Wasser
auf metallische Phosphide gebildet werden. Arsin und
Phosphin werden gewerblich für die Verwendung als Reagenzien
für organische Synthesen und als Dotierungsmittel oder Imprägnierungsmittel
in der Feststoffelektrotechnik hergestellt.
Zusätzlich zu Arsin und Phosphin werden weitere gasförmige Hydride
einschließlich Stibin (SbH₃), Diboran (B₂H₆) und German
(GeH₄) häufig als Dotierungsgase bei der Herstellung von
Halbleitern verwendet. Halbleiter umfassen Siliziumplättchen,
welche mit hohen Konzentrationen von Gasen, die als
Verunreinigungen zur Bildung von kontrollierten Strombändern
für den Elektronenfluß gedopt bzw. imprägniert sind.
Idealerweise werden die Gase in einem geschlossenen System
als Dotierungsmittel eingesetzt, wie z. B. in einem Hoch
temperaturdiffusionsofen oder einer Ionenimplantationseinrichtung.
Trotz der Sicherheitsvorkehrungen besteht jedoch
die Möglichkeit eines Gaslecks oder einer Zylinderexplosion.
Ein solcher Unfall stellt eine schwere Gesundheitsbedrohung
dar.
Es besteht deshalb ein Bedürfnis für eine Methode zum Aufspüren
und Überwachen von bzw. Warnen vor gasförmigen Hydriden
in industriellen Betrieben und Umgebungen. Bisher
wurde eine halbquantitative Methode zum Nachweis von gasförmigen
Hydriden wie Arsin und Phosphin unter Verwendung von Papierstreifen
angewandt, welche mit Quecksilberbromid (HgBr₂)
oder Quecksilberchlorid (HgCl₂) imprägniert sind. Bei Einwirkung
des Gases wird eine gelbe Verfärbung auf dem Streifen
entsprechend der folgenden Reaktion gebildet:
M x H n + n HgCl₂ → M x (HgCl) n + n HCl
wobei M ein Metall, X eine ganze Zahl von 1 oder 2 und n
eine ganze Zahl von 3 bis 6 sind.
Die optischen Eigenschaften dieser Verfärbung erlauben jedoch
nicht das Feststellen von niedrigen Konzentrationen der
Hydride. So können innerhalb der bevorzugten Prüfzeit von
fünf Minuten tatsächlich nur Konzentrationen oberhalb des
Zehnfachen des Grenzwertes gefunden werden. Dabei bedeutet
der Grenzwert (threshold limit value, TLV) die maximal zulässige
Konzentration, der Menschen der Einwirkung des Gases
für längere Zeit ausgesetzt sein dürfen, entsprechend der
Definition des American Congress of Government Industrial
Hygienists.
Vorrichtungen, die sich mit diesem Problem der industriellen
Sicherheit befassen, sind Gegenstand des US-Patentes Nr.
40 73 621 (Bull et al.) und der US-Anmeldung Nr. 5 67 379 vom
11. April 1975. Das Schutzrecht bzw. die Schutzrechtsanmeldung
sind auf den Anmelder übertragen. Es wird auf ihren Inhalt
Bezug genommen.
Speziell beschreibt das Bull et al.-Patent 40 73 621 ein
Lese- Aufzeichnungsgerät für Bänder zur Feststellung von toxischen
Gaskonzentrationen, das die Gaskonzentration gegen
die Zeit und die gesamte Gasdosis über einen Achtstundenzeitraum,
wie diese von dem der Einwirkung ausgesetzten Band in
einem Gasmonitor bestimmt werden, diagrammartig aufzeichnet.
Das der Einwirkung des Gases ausgesetzte Band wird durch einen
optischen Leser der Vorrichtung geleitet, und es wird
die Intensität der gemessenen Verfärbung gegen die Zeit aufgezeichnet,
wobei man sofort eine leicht lesbare, ständige
Aufzeichnung der Gaskonzentration als eine Funktion der Zeit
erhält. Während die Funktion der Gaskonzentration gegen die
Zeit erstellt wird, integriert die Vorrichtung gleichzeitig
die Konzentration als Funktion der Zeit, um die Gesamtdosis
für einen gegebenen Zeitraum, z. B. eine Achtstundenschicht,
zu bestimmen. Diese Gesamtdosis wird auf der Karte in Form
eines Rechteckdiagramms am Ende der Konzentration/Zeit-Kurve
aufgezeichnet.
Die US-Anmeldung Nr. 5 67 379 beschreibt demgegenüber einen
tragbaren Miniaturmonitor, der eine Rolle von gasempfindlichem,
chemisch behandeltem Band in der Atmungszone eines
Arbeiters freigibt. Bei der Einwirkung des Gases entwickelt
sich auf einem Teil des Bandes eine Verfärbung, welche später
auf einem Lesegerät, wie dies in der US-Patentschrift
Bull et. al. beschrieben ist, gelesen bzw. ausgewertet wird.
Da das Lesen des Bandes nach der Einwirkung des Gases erfolgt,
weist der Monitor noch geeignete Einrichtungen auf,
um eine Verunreinigung von benachbarten Schichten des Bandes
zu verhindern. Am Ende der Arbeitsschicht wird das dem Gas
ausgesetzte Band aus dem Monitor entfernt und in den Leseaufzeichner
gegeben, um eine permanente graphische Darstellung
der Konzentration gegen die Zeit als Gesamtdosiswerte
zu erhalten. Aus dieser Information können ein zeitabhängiger
Durchschnittsbelastungsspiegel sowie auch Ausreißer
über einen vorbestimmten Maximalwert bestimmt werden.
Eine Reihe von direkten Methoden wurden schon entwickelt,
um die Phosphinkonzentration zu bestimmen, wobei die Fähigkeit
von Phosphin, Silbersalze zu metallischem Silber bzw.
Silberverbindungen zu reduzieren, ausgenutzt wird. Die erhaltene
Farbänderung kann auf Silicagel gemessen werden
(Nelson, J. P. and Milum, A. J., "Rapid Determination of
Phosphine in Air", Analytical Chemistry, 29, 1665 (1957))
oder auf Papier. Zusätzlich kann das reduzierte Silber auch
chemisch bestimmt werden (Jones, A. T. et. al., "Environmental
and Clinical Aspects of Fumigation of Bulk Wheat
with Aluminum Phosphide Containing Tablets", New South
Wales Division of Occupational Health, Australia (1962)).
Arsinkonzentrationen können in ähnlicher Weise bestimmt
werden. Die Verwendung von mit Silbernitrat imprägnierten
Adsorptionsmitteln, wie Bims und Kieselgel, in Prüfröhrchen
zum quantitativen Nachweis von Arsin ist in der DAS 10 16 963 beschrieben.
Ein weiteres gasförmiges Hydrid, nämlich Stibin, wird nur in geringerem
Umfang in der chemischen Industrie, beim Polieren und
Dekorieren von Metallen und in der pharmazeutischen Industrie
verwendet. In bezug auf die Verwendung von Stibin wurde
bisher noch nicht über schwere hygienische Probleme berichtet.
Die Freisetzung von Stibindämpfen kann jedoch während
des Beladens von Akkumulatoren erfolgen als Folge der
Einwirkung von naszierendem Wasserstoff auf das in den Akkuplatten
vorhandene Antimon. Stibin kann auch aus antimonhaltigen
Legierungen gebildet werden, die mit einer reduzierenden
Säure behandelt werden. Zur Zeit ist kein direkt
lesendes Instrument für die quantitative Bestimmung von
Stibinkonzentrationen vorhanden. Eine schnelle halbquantitative
Auswertung kann jedoch mit Hilfe von Silbernitrattestpapieren
durchgeführt werden (Patty, R. A. "Industrial
Hygiene an Toxicology", 2nd Ed., Interscience Publishers,
New York (1963)). Bei einem genaueren Verfahren wird das
Gas in einer Quecksilberchloridlösung absorbiert, wonach
eine kolorimetrische Bestimmung mit Rhodamin B durchgeführt
wird (siehe oben).
Es ist somit bekannt, daß Silbernitrat (AgNo₃) mit bestimmten
Metallhydriden reagiert, wobei Silbernitrat reduziert
wird und Silber bzw. Silberverbindungen unter Bildung einer
charakteristischen schwarzen oder dunkelbraunen Färbung ausgefällt
werden. Diese Methode zum Aufspüren von
gasförmigen Hydriden wurde zwar vorgeschlagen, hat jedoch
den Nachteil, daß Silbernitrat extrem lichtempfindlich und
instabil ist. Ein Indikatorband, das mit Silbernitrat beschichtet
ist, wird innerhalb von 24 Stunden braun, selbst
wenn es in einem schwarzen lichtdichten Behältnis eingesiegelt
ist. Das Band muß deshalb lichtbeständig sein, um eingesetzt
und analysiert werden zu können.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein
gewerblich brauchbares Mittel zum Nachweis von gasförmigen Hydriden
zu schaffen, das über einen Zeitraum
von mindestens sechs Monaten stabil ist, wenn es bei
Raumtemperatur und geschützt gegen Einwirkung von Licht und
Luft aufbewahrt wird und das außerdem wenigstens
einige Tage stabil ist, auch wenn es Licht ausgesetzt wird.
Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 gekennzeichnete
Mittel gelöst.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf die Herstellung
des Mittels, insbesondere in Form eines mit
einem Absorptionsmittel beschichteten und mit einer Prozeßlösung
imprägnierten, lichtbeständigen Bandes zur Bestimmung
und Überwachung von Konzentrationen von gasförmigen Hydriden. Dabei
enthält die Prozeßlösung Silbernitrat, eine Säure, einen
Alkohol und ein Glycol. Eine Diagrammaufzeichnung der Gaskonzentration
gegen die Zeit und eine Achtstunden-Gesamtdosisbestimmung
aus dem dem Gas ausgesetzten Band können sofort
angefertigt werden. Die Intensität der Verfärbung des Bandes
steht in direkter Beziehung zur Konzentration des Gases.
Das dem Gas ausgesetzte Band wird durch den
optischen Leseteil eines Leserkordes geführt und die Intensität
der gemessenen Verfärbung wird in Abhängigkeit von
der Zeit aufgezeichnet, um eine leicht lesbare dauernde Aufzeichung
der Gaskonzentration gegen die Zeit zu erhalten.
Während die Funktion der Konzentration gegen die Zeit aufgestellt
wird, wird die Konzentration als Funktion der Zeit
integriert, um die Gesamtdosis während einer gegebenen Zeitdauer,
z. B. acht Stunden, zu bestimmen. Diese Gesamtdosis
wird auf eine Karte in Form eines Rechtecks bzw. Stabdiagramms
am Ende der Konzentration/Zeit-Kurve aufgezeichnet.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den Unteransprüchen.
Anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele
soll die Erfindung im folgenden näher erläutert werden. Es zeigt
Fig. 1 ein Blockdiagramm eines Leseaufzeichners
Fig. 2 eine vereinfachte Darstellung der mechanischen
Verbindung zwischen dem Antriebsmotor, dem Bandantrieb
und dem Antrieb für die Aufzeichnungskarte
und
Fig. 3 ein typisches Konzentration/Zeit-Diagramm und
einen Ausdruck der Gesamtgaskonzentration in
Form eines Rechteckdiagramms.
Die folgenden Ausführungsbeispiele beziehen sich auf einen Detektor,
insbesondere ein Prüfband, zur Überwachung des Vorhandenseins
von Hydridgasen in der Umgebung. Ein poröses Material bzw.
Erzeugnis, insbesondere ein Band, ist mit einem Adsorptionsmaterial
beschichtet und mit einer Imprägnierung aus Silbernitrat,
einer organischen oder anorganischen Säure, einem
Alkohol und einem Glycol versehen, wobei die Imprägnierung
vorzugsweise mit einer Lösung dieser Materialien vorgenommen
wurde.
Das Adsorptionsmittel besitzt eine feste Oberfläche mit Teilchen,
auf denen Gase, Flüssigkeiten oder aufgelöste Substanzen
kondensiert werden können. Nach der Erfindung geeignete
Adsorptionsmittel sind u. a. Kieselsäure (H₂SiO₃), FLORISIL
(ein aktiviertes Magnesiumsilikat, wie es in der US-Patentschrift
23 93 625 beschrieben ist), Magnesiumoxid (MgO) und
Aluminiumoxid (Al₂O₃). Ein poröses Band, das aus Cellulose
o. dgl. bestehen kann, ist mit dem Adsorptionsmittel beschichtet.
Auf diese Weise enthält das Band Feststoffteilchen,
auf deren Oberfläche die Adsorption des Gases erfolgen
kann. Wie im nachfolgenden beschrieben wird, wird das Hydridgas
auf der Oberfläche des Bandes adsorbiert und reagiert
mit dem Silbernitrat unter Bildung einer Verfärbung, deren
Intensität in optischen Systemen zur Bestimmung der Konzentration
des Gases quantitativ gemessen werden kann.
Das mit dem Adsorptionsmittel beschichtete Band wird dann mit
der Prozess- bzw. Wirklösung behandelt, welche die organische
oder anorganische Säure enthält. Das erhaltene Band ist gegenüber
Lichteinwirkung stabiler und behält seinen weißen
Hintergund über eine längere Zeitdauer, als wenn keine Säure
in der Lösung vorhanden wäre. Diese Erhöhung der Stabilität
ist auf die durch die Säure induzierte Desaktivierung
der in der Cellulose des Bandes vorhandenen alkoholischen
Gruppen zurückzuführen. So oxidiert Salpetersäure beispielsweise
diese alkoholischen Gruppen oder verbindet sich mit
ihnen, wobei sie für eine nachfolgende Reaktion mit Silbernitrat
unzugänglich gemacht werden. Ohne eine solche Säurebehandlung
besteht für die aktiven Alkoholstellen die potentielle
Möglichkeit, Silbernitrat zu reduzieren und dadurch
einen braunen Bandhintergrund zu bilden.
Die Wirklösung hat vorzugsweise einen Silbernitratgehalt
zwischen 0,5 und 2,0 Gewichtsprozent. Es hat sich gezeigt,
daß ein Band, das mit einer 0,5prozentigen Silbernitratlösung
behandelt ist, gesättigt ist und innerhalb einer kurzen
Zeitdauer vollständig mit dem Hydridgas reagiert, selbst
bei relativ niedrigen Gaskonzentrationen. Andererseits kann
in Abhängigkeit von der Konzentration des Hydridgases ein
Band, das unter Verwendung einer Silbernitratlösung von mehr
als 2% hergestellt ist, zu einer Verfärbung führen, die für
eine genaue Auswertung durch die hier beschriebene Einrichtung
zu intensiv sein kann. Bei einer bevorzugten Ausführungsform
ist das Band mit einer Lösung mit einem Silbernitratgehalt
von ca. 1 Gewichtsprozent aktiviert.
Anorganische Säuren wie Salzsäure, Schwefelsäure und Phosphorsäure
können grundsätzlich für die Herstellung der Wirklösung
verwendet werden. Organische Säuren wie Eisessig oder
Trichloressigsäure sind ebenso geeignet. Die Zugabe von Salzsäure
zur Imprägnierungslösung hat jedoch die Bildung und
Ausfällung von Silberchlorid zur Folge, das zur Reaktion mit
Hydridgasen wenig geeignet ist. Schwefelsäure verursacht in
Verbindung mit der Bandimprägnierungslösung die Ausfällung
von Silbersulfat, wenn auch Silbernitrat in der Lösung verbleibt.
Ein Band, das mit Schwefelsäure behandelt ist, bleibt
weiß, wenn es vor Licht geschützt wird, ist jedoch im Vergleich
zu einem salpetersäurehaltigen Band nur 30% so wirksam
gegenüber Arsin und Phosphin. Ein Trichloressigsäure-
Band ist auf der anderen Seite 50% so reaktiv gegenüber Hydridgasen
wie ein Salpetersäure-Band, wird jedoch purpurfarben
nach einer nur eintägigen Einwirkung von Licht und Luft.
Deshalb ist Salpetersäure die bevorzugte anorganische Säure
zur Stabilisierung des Bandes.
Aufgrund dieser Beobachtungen wurde eine Reihe von Bändern
unter Verwendung von Salpetersäure gefertigt, wobei jedes
Band mit einer Wirklösung behandelt wurde, die eine andere
Konzentration an Salpetersäure enthielt. Der Säuregehalt der
Wirklösungen lag im Bereich von 0,13 bis 2,7 Volumenprozent
Salpetersäure. Nach Aufbewahrung in schwarzen Beuteln während
eines Zeitraumes von über sechs Monaten behielten alle
Bänder ihren ursprünglichen weißen Hintergrund.
Während die Zugabe von niedrigen Säurekonzentrationen wie
0,13 Volumenprozent das Band ausreichend stabilisieren, so
bieten höhere Konzentrationen doch den Vorteil eines Schutzes
des Bandes für längere Zeiträume, während der das Band Licht
und Luft ausgesetzt ist. Bänder, die mit niedrigem Säuregehalt
behandelt sind, sind genau so beständig wie diejenigen,
die mit hohem Säuregehalt behandelt sind, wenn sie unter geschützten
Bedingungen unter Ausschluß von Licht und Luft aufbewahrt
werden. Da sehr hohe Mengen an Säure möglicherweise
zu einem Abbau des Papierbandes führen können, ist es bevorzugt,
die Salpetersäurekonzentration für die Aktivierung des
Bandes im Bereich von 0,1 bis 0,5% zu halten.
Die Wirklösung enthält Silbernitrat,
die organische oder anorganische Säure, wie oben
beschrieben, einen Alkohol und ein Glycol. Der Alkohol wurde
als Lösungsmittel gewählt, weil er aufgrund seiner leichten
Flüchtigkeit im Vergleich zu einer Lösung auf wässriger Basis
es ermöglicht, das behandelte Band schnell trocknen zu
lassen. Wenn das Band nicht richtig trocken ist, dann ist
seine Zugfestigkeit schlecht. Das Glycol erhöht die Adsorptionfähigkeit
des Bandes, indem das Band feucht genug gehalten
wird, um die beabsichtigte Reaktion zwischen dem hinzutretenden
Hydridgas und den Reagenzien des Bandes stattfinden
zu lassen. Während die Lösung jeden geeigneten Alkohol
und jedes geeignete Glycol enthalten kann, sind zum
Zwecke der Erläuterung die Verwendung von Methanol und Glycerin
beschreiben. So enthält die Behandlungslösung für das
Band bei einer Ausführungsform nach der Erfindung die folgenden
Bestandteile:
1,5 mlkonzentrierte Salpetersäure,
25 mlGlycerin und
224 mlMethanol.
2,5 g Silbernitrat werden der Lösung zugegeben, wonach ein
Papierband, das mit Kieselsäure (oder Silicagel) beschichtet
ist, in die Wirklösung eingetaucht und dann getrocknet wird.
Ein auf diese Weise hergestelltes Band behält seinen weißen
Hintergund während mindestens 6 Monaten unter normalen Auf
bewahrungsbedingungen bei Raumtemperatur und Lichtschutz.
Darüber hinaus behält das Band nach 6 Monaten immer noch seine
ursprüngliche Empfindlichkeit ±10%) gegenüber gasförmigen Hydriden.
Es ist verständlich, daß auch andere Alkohole einschließlich
Äthylalkohol, Isopropylalkohol u. dgl. bei der Formulierung
verwendet werden können. In gleicher Weise
sind auch andere Glycole bzw. mehrwertige Alkohole, wie
Äthylenglycol, Propylenglycol und Trimethylenglycol geeignet.
Die Verwendung von Methanol und Glycerin ist jedoch aus wirtschaftlichen
Gründen bevorzugt. Die Behandlungslösung kann
5 bis 20 Gewichtsprozent Glycol enthalten, wobei die prozentuale
Zusammensetzung der Behandlungslösung nach Gewicht
die folgende sein kann:
0,1 - 5%Säure
5 - 20%Glycol und
94,1 - 75%Alkohol.
Wenn beispielsweise Salpetersäure, Glycerin und Methanol verwendet
werden, dann enthält eine bevorzugte Mischung 1 Volumenprozent
Salpetersäure, 10 Volumenprozent Glycerin und
89 Volumenprozent Methanol.
Spürbänder für gasförmige Hydride, die auf diese Weise hergestellt sind
und in einer Vorrichtung, wie sie von Bull et al. im US-Patent
40 73 621 beschrieben ist, verwendet werden, können Gas
konzentrationen von lediglich 0,02 ppm Arsin oder 0,05 ppm
Phosphin in einer Prüfzeit von 3 Minuten feststellen. Der
Grenzwert für Arsin und Phosphin beträgt demgegenüber
0,05 ppm bzw. 0,30 ppm.
In Fig. 1 ist ein Blockdiagramm einer Vorrichtung zum Lesen
und Aufzeichnen des Bandes erläutert. Ein
nach der Erfindung hergestelltes, gegenüber gasförmigen Hydriden
empfindliches Band wird, nachdem es für die Einwirkung von Gas
freigegeben ist, in einen Bandleseabschnitt geführt, welcher
einen Bandantrieb 10 zum Bewegen des Bandes vorbei an einem
optischen Leser 12 mit Fotozelle aufweist. Der optische Leser
12 mit Fotozelle verwendet die Technik der Anwendung einer
Lichtquelle bekannter Intensität für das Band und Messen
des vom Band reflektierten Lichts als Maß für die Verfärbungsintensität.
Um das Licht in der richtigen Intensität aufrechtzuerhalten,
wird eine Fotozelle zum Messen des von einem unverfärbten
Bandabschnitt reflektierten Lichtes verwendet.
Der Ausgang des optischen Lesers 12 mit Fotozelle wird einem
Verstärker 14 zugeführt, um die Stärke des Signals auf
ein für die Verwendung durch den Rest des Stromkreises ausreichendes
Maß zu erhöhen. Vom Verstärker 14 wird das Signal
der Fotozelle, das eine direkte Funktion der Farbintensität
des Bandes ist, über eine Leitung 18 einem Diagrammaufzeichner
16 zugeführt, wenn ein elektronischer Schalter
20 durch eine Folgesteuerschaltung 22 betätigt ist.
Der Ausgang des Verstärkers 14 ist außerdem mit einer
Linearisierungsschaltung 24 verbunden. Die Linearisierungsschaltung
ist im einzelnen in der Bull-Patentschrift beschrieben.
Kurz gesagt liegt ihr Zweck darin, eine lineare
Beziehung zwischen der Verfärbungsintensität und der Aus
gangsspannung des Verstärkers 14 zu erzeugen, so daß eine
unmittelbare Integration der Fläche unter der Kurve von Farbintensität
gegen Zeit durchgeführt werden kann. Der Ausgang
der Linearisierungsschaltung 24 ist über einen elektronischen
Schalter 26 mit einem Integrator 28 verbunden. Der Ausgang
des Integrators ist mit einem Fronteinbauinstrument 30 verbunden,
so daß der Wert während der Ausführung der Erfindung
kontinuierlich überwacht werden kann. Mit Hilfe eines elektronischen
Schalters 32 ist der Ausgang des Integrators 28
weiterhin mit dem Diagrammaufzeichner 16 verbunden, so daß
am Ende eines Bandsegmentes die Gesamtdosis direkt durch den
Diagrammaufzeichner ausgedruckt werden kann. Wenn der Schalter
32 verwendet wird, um den Integrator 28 mit dem Diagrammaufzeichner
zu verbinden, dann wird der Schalter 20 geöffnet,
um das direkte Signal zu unterbrechen.
Die Folgesteuerung 22 umfaßt zusätzlich zur genauen Betätigung
der elektronischen Schalter 20, 26 und 32 auch die notwendige
Zeiteinteilungslogik für den Betrieb der mechanischen
Abschnitte der Erfindung. Speziell ist die Zeiteinteilungslogik
dafür vorgesehen, den Antriebsmotor über die Motorsteuerung
34 an- und abzuschalten. Ein Hauptvorteil dieser
Einrichtung ist eine direkte proportionale Beziehung zwischen
Abständen auf dem Band, das gelesen wird, und Abständen
auf der Karte bzw. dem Diagramm, das durch den Diagrammaufzeichner
hergestellt wird. Dies wird vorzugsweise erreicht,
indem ein einziger Motor vorgesehen ist, um sowohl
das Band, als auch das Blatt bzw. die Karte für das Diagramm
anzutreiben. Es besteht somit ein bekanntes Verhältnis zwischen
dem Bandantrieb und dem Antrieb 36 für den Diagrammaufzeichner.
Diese Beziehung kann mit Vorteil ein ganzzahliges
Verhältnis sein, so z. B. eins zu eins oder zwei zu eins,
so daß ein gegebener Bandabschnitt, der beispielsweise einem
Ablauf von acht Stunden entspricht, in wiederholbarer Weise
einer vorgegebenen Aufzeichnungslänge des Diagrammaufzeichners
entspricht. Diese Ausgangs- bzw. Aufzeichnungslänge kann
dann charakterisiert werden als Diagramm eines Achtstundenablaufs
der Freigabe des Bandes zur Einwirkung eines Hydridgases.
In ähnlicher Weise ist unter diesen Umständen das
Integral der Fläche unter einer solchen Kurve repräsentativ
für die gesamte Dosis während dieser Zeitdauer. Aus einer
solchen Information kann der zeitbezogene Durchschnittswert
schnell durch Teilen der für die gegebene Zeitdauer erhaltenen
Gesamtdosis durch die Zahl der Stunden dieser Zeitdauer
errechnet werden.
In Fig. 2 ist ein Schema des mechanischen Karten- bzw.
Blattantriebs erläutert.
Das Band und der Aufzeichner für das Diagrammpapier werden
beide vom Motor 38 über dessen Antriebswelle 40 angetrieben.
Der Bandantrieb verwendet ein schlupfloses Band 42 von
der Antriebswelle zum Antreiben einer Walze 44, welche das
Band am optischen Teil der Vorrichtung vorbeiführt. Ein
schlupffreies Band 46, das seine Antriebskraft ebenfalls
von der Welle 40 erhält, wird zum Antreiben einer Walze 48
verwendet, welche die Bewegung des Diagrammpapiers vorbei am
Aufzeichnungsstift 50 steuert. Der Aufzeichnungsstift 50 wird
in der durch die Pfeile angegebenen Richtung durch das auf
das Diagrammpapier aufgetragene Signal der Leitung 18 bewegt.
Dies bedeutet die Y-Koordinate des Diagramms nach
Fig. 3. Aufgrund der Tatsache, daß der Bandantrieb und der
Aufzeichnerantrieb mit derselben Antriebswelle 14 verbunden
sind, wird ein definiertes festes Verhältnis zwischen der
Bandbewegung und der Bewegung des Diagrammpapiers erhalten.
Dies ist aus folgenden Gründen in hohem Maße erwünscht. Wenn
der Aufzeichner und das Band in einem festen Verhältnis, beispielsweise
eins zu eins, durch einen Synchronmotor angetrieben
werden, dann entsprechen Abstände auf dem Band und somit
entlang der Aufzeichnung auf dem Diagramm der Zeitdauer der
Einwirkung, was ein wesentlicher Vorteil gegenüber älteren
Systemen ist. Dies ermöglicht auch die Folgesteuerung der
Erfindung durch interne Zeiteinteilungskomponenten.
Wenn das Band während der Freigabe zur Einwirkung von gasförmigen Hydriden
mit einer Geschwindigkeit von 2 cm/h wandert, dann sind
16 cm Band während einer normalen Achtstundenschicht freigegeben.
Beim Lesen können Band und Karte bzw. Papier beispielsweise
mit einer Geschwindigkeit von 1 cm/sec. wandern. Es
wird somit 16 Sekunden dauern, ein Achtstundenband zu lesen.
In Fig. 3 sind die Aufzeichnungen des Diagrammaufzeichners 16
dargestellt. Durch Kuppeln des Diagrammaufzeichners mit dem
Bandantrieb können die Aufzeichnungen des Diagrammaufzeichners
in Achtstundensegmente kalibriert werden entsprechend
einer Achtstunden-Arbeitsschicht. Fig. 3 zeigt nun eine typische
wellenförmige Kurve der Konzentration der gasförmigen Hydride, der
ein Arbeiter während einer Achtstundenzeitdauer ausgesetzt
ist. Die Wellenform 52 zeigt eine Vielzahl von Konzentrationswerten
während der Achtstundenschicht mit drei Überschreitungen
des Konzentrationsspiegels von 0,1 ppm. Am Ende
der Achtstundenschicht geht der Aufzeichnungsstift auf Null
zurück, wenn die Verbindung mit dem Verstärker 14 unterbrochen
ist. Ist dann der Integrator mit dem Aufzeichner verbunden,
dann druckt dieser danach eine Wellenform 54 nach Art
eines Rechteckdiagramms aus, die das Integral der Fläche
unter der Kurve 52 angibt. Dieser Wert ist die Gesamtdosis
während 8 Stunden. Um die zeitbezogene Durchschnittsbelastung
zu erhalten, ist es lediglich erforderlich, das
Rechteckdiagramm durch die Anzahl der Gaseinwirkungsstunden
zu teilen.
Das Band kann verwendet werden, um
Konzentrationen von gasförmigen Hydriden in den meisten Umgebungen zu messen. Da
jedoch starke Reduktionsmittel, wie Schwefelwasserstoff
(H₂S) und Hydrazin (N₂H₄) mit dem Silbernitrat zur Erzeugung
einer charakteristischen braunen Verfärbung reagieren
können, muß das Band vor einer Offenlegung gegenüber diesen
Reagenzien geschützt werden. Eine Störung durch Schwefelwasserstoff
kann vermieden werden, indem ein Bleiacetatvorfilter
in der Probeaufnahmeleitung der Vorrichtung angeordnet
wird. Die Gegenwart von Hydrazin bedeutet demgegenüber
jedoch kein praktisches Problem, da Hydrazin in industriellem
Maßstab nicht häufig angewendet wird und es bei
den meisten Herstellungsverfahren nicht als Nebenprodukt anfällt.
Ein weiteres Problem der negativen Störung oder Farbausbleichung
kann jedoch auftreten, wenn hohe Konzentrationen
von Säuren in der zu untersuchenden Luft vorhanden sind.
Die Säurekonzentrationen, die zur Erzeugung einer Ausbleichung
der Verfärbung erforderlich sind, sind jedoch so hoch,
daß ein solcher Zustand als solcher schon eine schwere
Gesundheitsbeeinträchtigung für jeden darstellen würde, der
eine solche Atmosphäre einatmet. Deshalb stellen erhöhte
Säurekonzentrationen in der Atmosphäre keine signifikante
Quelle für eine Störung dar.
Claims (9)
1. Mittel zum Nachweis von gasförmigen Hydriden, welches bei
Kontakt mit gasförmigen Hydriden eine feststellbare Farbänderung
zeigt, mit einem mit Silbernitrat
imprägnierten Adsorptionsmaterial, dadurch gekennzeichnet,
daß ein poröser Träger mit dem Adsorptionsmaterial
beschichtet ist und die Imprägnierung zusätzlich eine
Säure und ein Glycol enthält.
2. Mittel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Adsorptionsmaterial Kieselsäure, Magnesiumsilicat,
Magnesiumoxid und/oder Aluminiumoxid ist.
3. Mittel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Säure Schwefelsäure, Phosphorsäure,
Essigsäure, Trichloressigsäure und insbesondere Salpetersäure
ist.
4. Mittel nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Glycol Äthylenglycol,
Propylenglycol, Trimethylenglycol und/oder Glycerin ist.
5. Verfahren zur Herstellung des Mittels nach einem
der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
der mit dem Absorptionsmittel beschichtete poröse Träger
mit einer alkoholischen Lösung aus Silbernitrat, Säure
und Glycol imprägniert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der poröse Träger mit einer Lösung imprägniert wird, die
das Silbernitrat in einer Menge im Bereich von 0,5 bis
2,0 Gewichtsprozent Silbernitrat enthält.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Lösung verwendet wird, die die Säure in einer
Menge im Bereich von 0,1 bis 5,0 Volumenprozent enthält.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Lösung verwendet wird, in der
das Glycol in einer Menge im Bereich von 5 bis 20 Volumenprozent
vorhanden ist.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß als Alkohol Methylalkohol, Äthylalkohol
und/oder Isopropylalkohol verwendet wird und dieser
in einer Menge im Bereich von 70 bis 95 Volumenprozent
der Lösung vorhanden ist.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/313,651 US4420567A (en) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | Hydride gas detecting tape |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3239092A1 DE3239092A1 (de) | 1983-06-09 |
| DE3239092C2 true DE3239092C2 (de) | 1987-11-26 |
Family
ID=23216558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19823239092 Granted DE3239092A1 (de) | 1981-10-22 | 1982-10-22 | Zusammensetzung zum aufspueren von hydridgasen |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4420567A (de) |
| JP (1) | JPS5899753A (de) |
| CA (1) | CA1181330A (de) |
| DE (1) | DE3239092A1 (de) |
| GB (1) | GB2108662B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10108359A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-12 | Walther Enslin | Nachweisverfahren für reduzierende Substanzen |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6130765A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-13 | Kawasaki Steel Corp | 金属材料中のりん偏析部検出試薬、りん偏析部検出材およびりん偏析部検出方法 |
| JPS60105961A (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-11 | Kawasaki Steel Corp | 鋼材中のりん偏析検出法 |
| JPS61296268A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Nippon Paionikusu Kk | 検知剤 |
| JPS6451860U (de) * | 1987-09-29 | 1989-03-30 | ||
| JP2641559B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1997-08-13 | 理研計器株式会社 | 水素化物検出用紙、及び水素化物検出用紙調製溶液 |
| DE4020753A1 (de) * | 1989-09-22 | 1991-04-04 | Draegerwerk Ag | Kolorimetrisches pruef- und messgeraet fuer hydridgas |
| DE4121633C2 (de) * | 1991-06-29 | 1998-09-17 | Draegerwerk Ag | Kolorimetrisches Prüf- und Meßgerät für Gase |
| US4933159A (en) * | 1989-11-02 | 1990-06-12 | Phillips Petroleum Company | Sorption of trialkyl arsines |
| US4971608A (en) * | 1989-12-05 | 1990-11-20 | Phillips Petroleum Company | Sorption and detection of trialkyl arsines |
| US5183763A (en) * | 1990-06-06 | 1993-02-02 | Southwest Research Institute | Composition and method for detecting vapor and liquid reactants |
| JPH0510938A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-19 | Nippon Steel Corp | 金属試料中の燐および硫黄の分析方法およびその装置 |
| GB2261949A (en) * | 1991-11-27 | 1993-06-02 | Marconi Gec Ltd | Detection of analyte species in gaseous media |
| US5250260A (en) * | 1992-07-02 | 1993-10-05 | Riken Keiki Co., Ltd. | Tape for detecting hydrides |
| JP2883253B2 (ja) * | 1992-12-18 | 1999-04-19 | 理研計器株式会社 | シランガス検出用テ−プ |
| US6217827B1 (en) | 1999-03-25 | 2001-04-17 | Zellweger Analytics, Inc. | Hydride gas detecting tape |
| JP3895604B2 (ja) * | 2002-01-17 | 2007-03-22 | 日本パイオニクス株式会社 | ゲルマンの検知剤及び検知方法 |
| SG120277A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-28 | Zellweger Analytics Ag | Extended life mineral acid detection tape |
| GB0607470D0 (en) * | 2006-04-13 | 2006-05-24 | Smiths Group Plc | Detection Apparatus And Methods |
| US20100151115A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-06-17 | Honeywell International Inc. | Method and system for producing a gas-sensitive substrate |
| US20090246883A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-01 | Honeywell International Inc. | Paper Tapes Sensitive To Multiple Gases |
| WO2011112222A2 (en) | 2009-12-15 | 2011-09-15 | Nomadics, Inc. | Multi-analyte detection system and method |
| CN110312826A (zh) * | 2017-02-17 | 2019-10-08 | 日东电工株式会社 | 气体传感元件及其制造方法 |
| JPWO2024204326A1 (de) * | 2023-03-31 | 2024-10-03 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1016963B (de) * | 1956-03-24 | 1957-10-03 | Auergesellschaft Ag | Pruefroehrchen zum quantitativen Nachweis von Arsenwasserstoff |
| US4073621A (en) * | 1976-02-25 | 1978-02-14 | Mda Scientific, Inc. | Reader recorder for toxic gas concentration tapes |
| JPS5461986A (en) * | 1977-10-27 | 1979-05-18 | Toyo Roshi Kaisha | Substance and test piece for detecting chlorine in milk* and method of making said substance and test piece |
-
1981
- 1981-10-22 US US06/313,651 patent/US4420567A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-10-21 CA CA000413894A patent/CA1181330A/en not_active Expired
- 1982-10-21 GB GB08230143A patent/GB2108662B/en not_active Expired
- 1982-10-22 JP JP57185919A patent/JPS5899753A/ja active Granted
- 1982-10-22 DE DE19823239092 patent/DE3239092A1/de active Granted
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| DE10108359B4 (de) * | 2001-02-21 | 2008-03-27 | Enßlin, Walther, Dr. | Nachweisverfahren für reduzierende Substanzen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2108662B (en) | 1986-02-12 |
| GB2108662A (en) | 1983-05-18 |
| CA1181330A (en) | 1985-01-22 |
| DE3239092A1 (de) | 1983-06-09 |
| US4420567A (en) | 1983-12-13 |
| JPS5899753A (ja) | 1983-06-14 |
| JPH0368345B2 (de) | 1991-10-28 |
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| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8363 | Opposition against the patent | ||
| 8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
| 8380 | Miscellaneous part iii |
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