DE3219310A1

DE3219310A1 - Target fuer eine zerstaeubungsvorrichtung

Info

Publication number: DE3219310A1
Application number: DE19823219310
Authority: DE
Inventors: George Barry Bury Lancashire Sugden
Original assignee: General Engineering Co Ltd
Current assignee: General Engineering Co Ltd
Priority date: 1981-07-18
Filing date: 1982-05-22
Publication date: 1983-01-27
Also published as: FR2509754A1; GB2102027A

Description

Glawe, DeIfs, Moll & Partner - "ρ 10*332/82 - Seite 6

Beschreibung

Die Erfindung betrifft ein Target (Ziel für den Beschüß mit Ionen) einer Zerstäubungsvorrichtung (Sputtering- Vorrichtung) , mit Hilfe dessen es möglich ist, einen Metallfilm auf die Oberfläche eines Werkstückes aufzubringen, der wenigstens Chrom und Eisen enthält.

Mit Hilfe des Zerstäubungsverfahrens kann z.B. ein Substrat wie z.B. Glas oder Kunststoff mit einem Metall oder Metallen beschichtet werden, um eine dekorativ attraktive, schützende, abnutzungsfeste Oberfläche oder Oberfläche mit anderen Funktionen zu erreichen.

Das Zerstäuben wird unter Vakuumbedingungen durchgeführt, indem eine Technik benutzt wird, die als "magnetisch verstärktes Zerstäuben" bekannt ist. Im Unterschied zu anderen Verfahren zum Aufbringen von Materialien im Vakuum erfordert das Zerstäubungsverfahren nicht das Schmelzen und anschließende Verdampfen des Metalls, das abgelagert werden soll.

Das Target weist das Metall auf, das abgelagert werden soll, und kann Röhrenform haben. Ein typisches röhrenförmiges Target kann ungefähr 180 mm Durchmesser und 2000 mm Länge haben. Andererseits kann ein Target aber auch die Form einer flachen Platte haben.

Mit bekannten Zerstäubungsverfahren können einzelne Metalle zerstäubt werden, um so eine Beschichtung mit

Glawe, DeIfs, Moll"& Partner '- ρ ib'332/82 - Seite 7

einer Legierung auf dem Substrat zu erhalten. Es ist möglich, in einer geeigneten Vakuumkammer zwei oder mehr Targets vorzusehen, damit die Materialien, die auf ein Werkstück aufgebracht werden sollen, um die Beschichtung mit einer Legierung zu erhalten, gleichzeitig zerstäubt werden können. Es ist daher möglich, auf einem Werkstück eine Legierung aufzubringen, deren Bestandteile an Metallen auf einfache Weise nicht durch andere konventionelle Aufbringungstechniken auf dem Werkstück aufgebracht werden können. In einigen Fällen kann es natürlich erwünscht sein, eine konventionelle Legierung auf einem Werkstück aufzubringen; in diesem Falle bereitet es keine Schwierigkeiten, den röhrenförmigen Träger des Targets entsprechend vorher zu beschichten. Ist aber, wie oben beschrieben, vorgesehen, ein Werkstück mit einer Reihe von verschiedenen Metallen zu beschichten, um eine Beschichtung mit einer Legierung zu bilden, so kann eine solche Beschichtung nicht auf einfache Weise bewirkt werden. Das vorhergehende Beschichten des Trägers, der das Target bildet, ist daher sehr teuer und es ist schwierig, eine gute Wärmeleitung zwischen Legierung und Träger zu erreichen. Außerdem gibt es Bedingungen, bei denen es unmöglich ist, ein Target aus einer Legierung herzustellen, das die gewünschte Kombination von Metallen in Legierungsform enthält. Dann ist das Beschichten eines einzelnen Trägers mit der Legierung, die auf das Werkstück aufgebracht werden soll, nicht möglich.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Target zu schaffen, das diese Nachteile nicht hat.

Eine Lösung der Erfindung besteht darin, daß ein Target für eine Zerstäubungsvorrichtung zur Benutzung bei einem Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen eines Metallfilmes auf der Oberfläche eines Werkstückes geschaffen wird, das

Glawe, Delfs, Moll S Partner -¹ ρ 10332/82 - Seite 8

einen Hauptteil aus nichtmagnetischem rostfreien Stahl hat_r der auf einen Teil seiner Oberfläche mit Chrom platiert ist, wobei der prozentuale Flächenanteil des platierten Hauptteiles zwischen 60 und 80 % der Fläche des Hauptteiles liegt.

Eine weitere erfindungsgeruäße Lösung besteht darin, daß ein Target für eine Zerstäubungsvorrichtung zur Benutzung bei einem Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen eines Metallfilms auf der Oberfläche eines Werkstückes geschaffen wird, wobei das Target einen Hauptteil aus nichtmagnetischem rostfreien Stahl aufweist, der auf einem Teil seiner Oberfläche mit Chrom platiert ist und der auf einem anderen Teil seiner Oberfläche in getrennten Gebieten mit Titan bedeckt ist, wobei der prozentuale Anteil an der Gesamtfläche des Targets, an dem die drei Metalle an der Oberfläche angeordnet sind, für Chrom im Bereich von 60 bis 75 %, für rostfreien Stahl im Bereich von 38 bis 19 % und für Titan im Bereich bis zu 5 % liegen.

Gemäß einer weiteren erfindungsgemäßen Lösung wird ein Target für eine Zerstäubungsvorrichtung zur Benutzung bei einem Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen eines Metallfilms auf der Oberfläche eines Werkstückes geschaffen, wobei das Target einen Hauptteil aus Titan aufweist, der über einer. Teil seiner Oberfläche mit Chrom platiert ist und getrennte Stücke aus rostfreiem Stahl oder Eisen trägt, wobei der prozentuale Anteil an der Gesamtfläche des Targets, an dem die drei Metalle an der Oberfläche liegen, für Chrom im Bereich von 60 bis 75 %, für rostfreien Stahl oder Eisen im Bereich von 38 bis 19 % und für Titan im Bereich von bis zu 5 % liegen.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung kann eines

Glawe, Delfs, Moll S Pa*rfnfer:- ρ ΊΟ332-/82 - Seit^. ^{IJO IU}

oder mehrere der folgenden vorteilhaften Merkmale aufweisen.

(a) Die prozentualen Anteile an der Gesamtfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, betragen ungefähr 76 % für Chrom, ungefähr 19,7% für rostfreien Stahl und ungefähr 4,3 % für Titan.

(b) Die prozentualen Anteile an der Gesamtfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, liegen für Chrom im Bereich von 60 bis 75 %, für rostfreien Stahl oder Eisen im Bereich von 38 bis 19 % und für Titan im Bereich von bis zum 5 %.

(c) Die prozentualen Anteile an der Gesamtfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, betragen ungefähr 73 % für Chrom, ungefähr 25,5 % für rostfreien Stahl und ungefähr 1,5 % für Titan.

(d) Die prozentualen Anteile an der Gesaratfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, betragen ungefähr 69,5 % für Chrom, 28,75 % für rostfreien Stahl und 1,75 % für Titan.

(e) Die prozentualen Anteile an der Gesamtfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, betragen ungefähr 65 % für Chrom, ungefähr 33 % für rostfreien Stahl und ungefähr 2,0 % für Titan.

(f) Die prozentualen Anteile an der Gesamtfläche des Targets, an denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, betragen ungefähr 60 % für Chrom, ungefähr 38 % für rostfreien Stahl und ungefähr 2 % für Titan.

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Glawe, DeIf s, MoILiB-tfartnW ~ ■ ρ ίθ·3*3ΐ/·β2 - Seite 10

(g) Ein Teil des Hauptteiles aus rostfreiem Stahl ist dadurch platiert worden, indem der Teil des Hauptteiles, der nicht platiert werden soll, bedeckt wird, wobei dann anschließend der Hauptteil in ein Bad zum Elektroplatieren getaucht worden ist und dann das bedeckende Material entfernt worden ist, um so darunter die nichtplatierten Bereiche aus rostfreiem Stahl freizulegen.

(h) Die voneinander getrennten Gebiete, an denen Titan vorgesehen sind, haben die Form von Höckern, die an den unplatierten Gebieten des Hauptteiles aus rostfreiem Stahl angeschweißt sind.

(i) Die getrennten Stücke aus rostfreiem Stahl oder Eisen haben Höckerform und sind an die Titangebiete angeschweißt.

(j) Die getrennten Stücke aus rostfreiem Stahl oder Eisen haben Höckerform und sind an die chromplatierten Gebiete angeschweißt.

(k) Der Hauptteil ist plattenförmig.
(1) Der Hauptteil ist röhrenförmig.

Die Erfindung wird im Folgenden beispielsweise anhand von vorteilhaften Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Targets;

Fig. 2 eine Seitenansicht eines Teiles des Targets der Fig. 1 in vergrößertem Maßstab;

... 11

Glawe, Delfs, Moll & Partner - ρ 10332/82 - Seite 11

Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Ausführungsform des Targets in Form einer rechteckigen Platte;und

Fig. 4 ein Target in Form einer kreisförmigen Platte.

Bei der in den Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsform weist das Target einen hohlen röhrenförmigen Träger 1 aus nichtmagnetischem rostfreien Stahl auf, auf dem ein schraubenförmiger Streifen 2 aus Chrom aufgebracht ist. Der rostfreie Stahl ist nicht magnetisch, um so irgendwelche unerwünschten Einflüsse auf das Verfahren zum Zerstäuben mit magnetischer Verstärkung während der Benutzung des Targets zu vermeiden. Es wird rostfreier Stahl mit einem verhältnismäßig hohen Chromgehalt bevorzugt verwendet. Insbesondere wurde gefunden, daß man gute Resultate mit rostfreiem Stahl erhält, der den britischen Standards B.S. 1501 Pt.4 304 und B.S. 1501 Pt.3 310S genügt.

Der schraubenförmige Chromstreifen 2 wird vorteilhafterweise auf dem Hauptteilrohr 1 durch Elektroplatieren aufgebracht. Das gewünschte Gebiet der äußeren Oberläche der Röhre 1 wird dafür abgedeckt, indem ein Streifen gleichförmiger Breite von Abdeckmaterial um die Röhre schraubenförmig herumgewickelt wird. Die so teilweise abgedeckte Röhre 1 wird dann in ein Elektroplatierungsbad eingetaucht und mit Chrom in einer Dicke von z.B. 2 mm elektroplatiert. Nachdem die Röhre aus dem Bad entfernt ist, wird das Abdeckmaterial entfernt, wodurch eine Spirale unplatierten rostfreien Stahls darunter freigelegt wird. Diese Spirale ist in den Figuren 1 und 2 mit der Bezugsziffer 3 bezeichnet. Zur Vervollständigung des Targets werden Hocker 4 aus Titan auf diese Spirale 3 aus rostfreiem Stahl aufgeschweißt. Es ist äußerst schwierig, Titan zu schweißen. Die Schweißverbindung ist jedoch von solcher Natur, daß eine aus-

... 12

Glawe, Delfs, Molir.Ä .Parther -'ρ T.Q3X2/82 - Seite 12

reichende thermische Verbindung erhalten wird, obwohl keine mechanische Verbindung erreicht wird, die man

normalerweise als gut bezeichnen würde. Es ist jedoch |

die thermische Verbindung und nicht die mechanische §

Verbindung, die für das Zerstäubungsverfahren wesent- |

lieh ist. Es hat sich als äußerst vorteilhaft beim 1

gesamten Zerstäubungsverfahren erwiesen, die notwendige '

Menge von Titan in dieser Weise auf dem Target vorzu- ί

sehen. ':].

Daß Target wird beim Zerstäubungsverfahren dazu vtsr- _s

wendet, auf einem Werkstücksubstrat eine Chrompiatier- 3

ung von annehmbaren Glanz und annehmbarer Qualität zu %

erzeugen. Diese Chromplatierung enthält die einzelnen .*'

Elemente, die auf dem Target vorhanden sind, obwohl dies s

nicht notwendigerweise im selben Verhältnis der Fall sein i

muß. Dies beruht darauf, daß die Zerstäubungsraten nicht |

nur von der Größe der zur Verfügung stehenden Oberfläche f

des Metalles abhängen, sondern auch vom Metall selber, |

das zerstäubt wird. Da außerdem der rostfreie Stahl der |

Hauptteilröhre 1 selbst aus mehreren Bestandteilen be- §

steht und verhältnismäßig viel Chrom enthält, kann er- Jj

wartet werden, daß der rostfreie Stahl ebenfalls zur f

Chrommenge auf dem Werkstück beiträgt, und nicht nur |

das Eisen liefert. ;jj

Obwohl bei den meisten Bedingungen ein gewisser Anteil 1 Titan auf dem Werkstück und daher auf dem Target gewünscht wird, braucht das Titan nicht in allen Fällen J wesentlich zu sein. Es können auch verhältnismäßig kleine Anteile anderer Metalle vorhanden sein, z.B. Nickel insbesondere im rostfreien Stahl. Die Größe der Oberflächen der Hauptmetalle im Target liegt in den folgenden Bereichen:

Chrom rostfreier Titan

Stahl

60 - 80 % 18 - 40 % 0 - 5 % |

. . . 13

I Glawe, Delfs, Moll· 'α -Partner - ρ 10-3327*82 - Seite 13

Innerhalb dieser Bereiche haben sich die folgenden Verhältnisse als besonders vorteilhaft herausgestellt, die wieder den Anteil an der Gesamtfläche wiedergeben.

% Chrom	% rostfreier Stahl	% Titan
76	19,7	4,3
75	23,5	1,5
73	25,5.	1,5
69,5	28,75	1,75
65	33,0	2,0
60	38,0	2,0

; Das beschriebene Target wird bei Benutzung wie üblich in einer Vakuumkammer angebracht. Magnetische Verstärkung wird erreicht, indem Permanentmagneten innerhalb des

J Rohres 1 angeordnet werden. Wenn diese Magnete fest-

i stehen, wird sich das magnetische Feld entlang der

; axialen Länge der Röhre verändern. Durch diese Änderung

ί wird die Gleichförmigkeit der Erosion ungünstig beein-

:; flußt. Um dem entgegenzuwirken, können die Magnete

ι in Axialrichtung innerhalb der Röhre hin- und herbe-

I wegt werden, um das Magnetfeld in Axialrichtung der

.; Röhre zeitlich zu variieren. Die zu beschichtenden Werk-

I stücke werden normalerweise um das Target herum gedreht,

ί um sicherzustellen, daß alle Werkstücke ähnlich beschichtet

I werden.

I Das Target kann eine Form haben, die von der beschriebenen

§ abweicht. Anstelle einer Spirale kann die Chromplatierung

I dre Form von in Abständen angeordneten Ringen haben, die

I ··· ¹⁴

Glawe, Delfs, ΜοΙΓ V Pttitner -ρ 1O33"27S2 - Seite 14

in Unifangsrichtung um die Röhre 1 herum angeordnet sind. In dem Falle, daß die Magneten hin- und herbewegt werden, sollte die Amplitude dieser Hin- und Herbewegungen nicht größer sein als die Breite der benachbarten Ringe. Targets, die eine ebene Form haben, können ebenfalls verwendet werden. Sie sind z.B. in den Figuren 3 und 4 gezeigt. Figur 3 zeigt ein rechteckiges ebenes Target und Figur 4 ein kreisförmiges ebenes Target. In Figur 3 hat der rechteckige Hauptteil 31 aus nichtmagnetischem rostfreien Stahl mit Chrom platierte Streifen 32, die darauf aufgebracht sind. Bei der Ausführungsform der Figur 4 weist die kreisförmige Platte 41 aus nichtmagnetischem rostfreien Stahl darauf aufgebrachte Ringe 42 einer Chroraplatierung auf. Titanhöcker 34 sind auf die unplatierten Streifen 33 aus rostfreiem Stahl aufgeschweißt; Titanhöcker 44 sind auf die unplatierten Ringe 43 aus rostfreiem Stahl aufgeschweißt. Ein solches ebenes Target wird bei Benutzung in der üblichen Vakuumkammer so angebracht, daß es eine Vielzahl von Magneten bedeckt, und die zu beschichtenen Werkstücke werden über das Target bewegt und dabei falls notwendig gedreht.

Als weitere Variante kann das Chrom auf der inneren Oberfläche eines röhrenförmigen Targets in ähnlicher Weise aufgebracht werden, wie die äußere Oberfläche platiert wird. Bei einem solchen Target werden die Werkstücke innerhalb der Röhre angebracht, während die Magneten außen angeordnet werden.

Bei allen bisher besprochenen Ausführungsformen ist das Material des Hauptteiles nichtmagnetischer rostfreier Stahl. Ein solcher Stahl ist ohne Schwierigkeiten in röhrenförmiger oder plattenförmiger Form erhältlich; zumindest in dieser Hinsicht bereitet die Herstellung der Targets keine Schwierigkeiten. Aber auch Titan ist in Röhrenform oder Plattenform ohne weiteres erhältlich.

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Glawe, DeIf s, MoIL*4 Sartrfer *-■ ρ Τθ332/·82 - Seite 15

Obwohl es wesentlich teurer ist als rostfreier Stahl, sind damit weitere Ausführungsformen der Erfindung möglich.

Bei diesen Ausführungsformen besteht der Hauptteil aus Titan (in Röhrenform oder Plattenform) und wird mit Chrom wie bei den vorhergehenden Ausführungsformen elektroplatiert. Höcker aus rostfreiem Stahl oder Eisen werden dann entweder auf die Chromplatierung oder auf das Titan aufgeschweißt. In diesem Fall kann wegen der verhältnismäßig kleinen Abmessungen der Hocker magnetischer rostfreier Stahl oder magnetisches Eisen verwendet werden, da die Verzerrung des Magnetfeldes, das durch diese Hocker bei Benutzung des Targets bewirkt wird, auch verhältnismäßig klein ist und normalerweise toleriert werden kann. Ein Vorteil der Ausführungsformen mit Hauptteil aus Titan besteht darin, daß das Target benutzt werden kann, bis die Chromplatierung praktisch verschwunden ist. Da nur verhältnismäßig wenig Titan vom Hauptteil zerstäubt worden ist, kann der Hauptteil dann von irgendwelchen Resten der Chromplatierung gereinigt werden, und es können die Hocker entfernt werden. Der Hauptteil kann dann erneut verwendet werden, indem er wieder platiert und mit Höckern versehen wird, um ein neues Target herzustellen. Dies kann immer wieder gemacht werden, wodurch der ursprünglich teure Hauptteil aus Titan auf sehr wirksame und ökonomische Weise verwendet werden kann.

Man wird verstehen, daß die Bereiche der Flächenanteile und deren Werte, die in Zusammenhang mit den Ausführungsformen der Figuren 1 und 2 angegeben worden sind, auch für die letztgenannten Ausführungsformen Gültigkeit haben.

Claims

Patentansprüche
2.

Target für eine Zerstaubungseinrichtung zur Benutzung bei einem Zerstäubungsverfahren (Sputtering) zum Aufbringen eines Metallfilms auf der Oberfläche eines Werkstückes, wobei das Target einen Hauptteil aus nicht magnetischem rostfreien Stahl aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptteil (1,31,41) auf einem Teil (2, 32, 42) seiner Oberfläche mit Chrom plattiert ist, wobei die plattierte Fläche des Hauptteils zwischen 60 und 80 % der Gesamtfläche des Hauptteiles beträgt.

Target für eine Zerstäubungsvorrichtung zur Verwendung bei einem Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen eines Metallfilms auf der Oberfläche eines Werkstückes,

Glawe, DeIfs, Moll * Partner - ρ 10332/82 - Seite 2 -

wobei das Target einen Hauptteil aus unmagnetischem Stahl aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Oberfläche des Hauptteils (1, 31,41) mit Chrom plattiert ist und daß andere separate Teile der Oberfläche mit Titan (4, 34, 44) bedeckt sind, wobei die prozentualen Anteile der Gesamtfläche des Targets, an denen sich die drei Metalle an der Oberfläche befinden, für Chrom im Bereich von 60 - 75 %, für rostfreien Stahl im Bereich von 38 - 19 % und für Titan im Bereich bis zu 5 % liegen.
3. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung zur Benutzung bei einem Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen eines Metallfilms auf der Oberfläche eines Werkstückes, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Hauptteil (1,31,41) aus Titan aufweist, der auf einem Teil seiner Oberfläche (2,32,42) mit Chrom plattiert ist und separate, voneinander getrennte Stücke (4,34,44) aus rostfreiem Stahl oder Eisen trägt, wobei die prozentualen Anteil· der Gesamtfläche des Targets, bei denen die drei Metalle an der Oberfläche liegen, für Chrom im Bereich von 60 - 75 %, für rostfreien Stahl oder Eisen im Bereich von 38 - 19 % und für Titan im Bereich von bis zu 5 % liegen.
4. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil der Gesamtfläche des Targets für die drei Metalle ungefähr 76 % für Chrom, ungefähr 19,7 % für rostfreien Stahl und ungefähr 4,3 % für Titan beträgt.

Glawe, DeIf s, Moll'"&'Partner - ρ 10332/82 - Seite 3
5. Vorrichtung für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil der Gesamtfläche des Targets für die drei Metalle ungefähr 75% für Chrom, ungefähr 23,5% für rostfreien Stahl und ungefähr 1,5% für Titan beträgt.
6. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil der Gesamtfläche des Targets
für die drei Metalle ungefähr 73% für Chrom, ungefähr 25,5% für rostfreien Stahl und ungefähr 1,5% für Titan beträgt.
7. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil dor Gesamtfläche des Targets für die drei Metalle ungefähr 69,5% für Chrom, 28,7% für rostfreien Stahl und 1,75% für Titan beträgt.
8. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil der Gesamtfläche des Targets für die drei Metalle ungefähr 65% für Chrom, ungefähr 33% für rostfreien Stahl und ungefähr 2,0 % für Titan beträgt.
9. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Anteil an der Gesamtfläche des Targets für die drei Metalle ungefähr 60% für Chrom, ungefähr 38% für rostfreien Stahl und ungefähr 2% für Titan beträgt.

Glawe, Delfs, Moll & Partner - ρ 10332/82 - Seite 4
10. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil des Hauptteiles (1,31,41) aus rostfreiem Stahl dadurch platiertist, daß der Teil, der nicht platiert werden soll, bedeckt worden ist, dann der Hauptteil in ein Elektroplatierungsbad eingetaucht ist und dann das bedeckende Material entfernt worden ist, wodurch die nichtplatierten Bereiche (3,33,4 3) aus rostfreiem Stahl freigelegt sind.
11. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 2 oder nach einem der Ansprüche 4 bis 10, soweit sich dieselben auf Anspruch 2 beziehen, dadurch gekennzeichnet, daß die getrennten Titangebiete die Form von Höckern (4,34,44) haben, die an die unplatierten Bereiche (3,33,43) des Hauptteiles aus rostfreiem Stahl angeschweißt sind.
12. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder nach einem der Ansprüche 4 bis 10, soweit dieselben auf Anspruch 3 zurückbezogen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die getrennten Stücke (4,34,44) aus rostfreiem Stahl oder Eisen die Form von Höckern haben und an die Titanbereiche (3,33,43) angeschweißt sind.
13. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder nach einem der Ansprüche 4 bis 10, soweit dieselben auf Anspruch 3 zurückbezogen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die getrennten Stücke (4,34,44) aus rostfreiem Stahl oder Eisen die Form von Höckern haben und an die Chrombereiche (2, 32, 42) angeschweißt sind.
14. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptteil die Form einer Platte (31,41) hat.

Glawe, Delfs, Moll "4. .Partner - ρ 1θ·3*32/'82 - Seite 5
15. Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptteil die Form einer Röhre (1) hat.
16- Target für eine Zerstäubungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der rostfreie Stahl die Anforderungen der britischen Standards BS 1501 Pt.4 304 oder B.S. 1501 Pt 310S erfüllt.
17. Zerstäubungsverfahren zum Aufbringen einer Metallschicht auf ein Werkstück, dadurch gekennzeichnet, daß es nach einem der Ansprüche 1 bis 16 durchgeführt wird.
18. Werkstück, dadurch gekennzeichnet, daß es unter Zuhilfenahme eines Targets eines der Ansprüche 1 bis 16 mit einer Metallschicht versehen ist.