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DE2940393C2 - - Google Patents

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Publication number
DE2940393C2
DE2940393C2 DE2940393A DE2940393A DE2940393C2 DE 2940393 C2 DE2940393 C2 DE 2940393C2 DE 2940393 A DE2940393 A DE 2940393A DE 2940393 A DE2940393 A DE 2940393A DE 2940393 C2 DE2940393 C2 DE 2940393C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
lead
piezoelectric
composition
resonance frequency
Prior art date
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Expired
Application number
DE2940393A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2940393A1 (de
Inventor
Walter Ing.(Grad.) 8505 Roethenbach De Christoffers
Helmut 7440 Nuertingen De Hanisch
Hermann Dr.-Ing. 7146 Tamm De Schichl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel Lucent Deutschland AG
Original Assignee
Standard Elektrik Lorenz AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Standard Elektrik Lorenz AG filed Critical Standard Elektrik Lorenz AG
Priority to DE19792940393 priority Critical patent/DE2940393A1/de
Publication of DE2940393A1 publication Critical patent/DE2940393A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2940393C2 publication Critical patent/DE2940393C2/de
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • C04B35/491Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
    • C04B35/493Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT containing also other lead compounds
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine piezoelektrische Keramik auf der Basis einer festen Lösung von Bleititanat, Bleizirkonat und Bleiniobat gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine derartige piezoelektrische Keramik ist aus der DE-OS 24 56 050 bekannt. Dort kann das Niob des Bleiniobats gemäß einer Anweisung zu einem Drittel durch die Elemente Mg, Zn, Cd, Sn, Mn, Fe, Co und Ni ersetzt sein oder ein Viertel des Niobs kann durch Lithium oder Kupfer ersetzt sein. Man erhält so eine Vielzahl von Möglichkeiten einer Zusammensetzung mit entweder nur 1/3-Anteilen oder nur 1/4-Anteilen des Ersatzes von Niob durch ein anderes Element. Gemäß einer anderen Bemessungsregel erhält man eine piezoelektrische Keramik, die zwei Arten von Bleiniobat enthält, wobei entweder nur Drittelanteile oder nur Viertelanteile des Niobs bei beiden Arten der Bleiniobverbindungen durch die genannten Elemente ersetzt sind. Diesen keramischen Versätzen kann zusätzlich noch Mangandioxid zugesetzt sein.
Diese Vielfalt von Möglichkeiten der Zusammensetzungen einer festen Lösung von Bleititanat, Bleizirkonat und Bleiniobat ergeben eine piezoelektrische Keramik hoher mechanischer Festigkeit.
Solche Massen werden in an sich bekannter Weise durch Pressen und Sintern der gut gemischten Ausgangssubstanzen hergestellt und anschließend durch Anlegen einer Gleichspannung zwischen Elektroden polarisiert, um ihnen die für die Verwendung erforderlichen Eigenschaften zu verleihen. Neben einer möglichst geringen Porosität der Endprodukte, die insbesondere durch eine Sinterung unter vermindertem Druck erzielt werden kann, sind, je nach dem Verwendungszweck, die verschiedenen elektrischen Eigenschaften der Keramik von besonderer Bedeutung.
Die elektrrischen Eigenschaften und piezoelektrischer Keramik hängen sehr wesentlich von der Zusammensetzung der Keramik ab. Dabei spielen die Art und der Anteil der in der Masse vorhandenen chemischen Elemente eine große Rolle. Es sind bereits piezoelektrische Keramiken der unterschiedlichsten Zusammensetzung bekannt, die jeweils unterschiedliche elektrische Eigenschaften haben. Aufgrund einer bekannten chemischen Zusammensetzung lassen sich jedoch die elektrischen Eigenschaften nicht voraussagen, wie auch umgekehrt es nicht möglich ist, bestimmte elektrische Eigenschaften planmäßig durch Auswahl einer bestimmten Zusammensetzung zu erzielen. Da sich eine große Anzahl von chemischen Elementen als Bestandteil für piezoelektrische Keramik eignet und schon deren Kombinationsmöglichkeit sehr groß ist, und außerdem bei vorgegebenen chemischen Bestandteilen die Variationsmöglichkeit der Anteile der einzelnen Bestandteile wiederum sehr groß ist, ist es nicht möglich, durch eine begrenzte Anzahl von Versuchen piezoelektrische Keramiken bestimmter Eigenschaften zu erhalten.
Für Oszillatoren und Frequenzfilter werden Bauelemente verlangt, deren zeitliche und thermische Änderung möglichst gering ist. Die Erfindung befaßt sich daher mit der Aufgabe, eine piezoelektrische Keramik mit hoher piezoelektrischer Aktivität, hoher mechanischer Festigkeit und geringer Zeit- und Temperaturabhängigkeit zu schaffen, die sich insbesondere für frequenzstabile Schwinger eignet, d. h. eine piezoelektrische Keramik mit geringer zeitlicher Änderung der Resonanzfrequenz und einem geringen Temperaturkoeffizienten der Resonanzfrequenz.
Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Zusammensetzung der piezoelektrischen Keramik gelöst.
Aus der DE-OS 16 46 740 und aus der DE-AS 16 46 823 sind bereits piezoelektrische Keramiken der Zusammensetzung Pb(Mn1/3Nb2/3)TiZrO3 bekannt. Weiter ist aus der DE-AS 19 50 317 eine piezoelektrische Keramik der Zusammensetzung Pb(Cu1/4Nb3/4)TiZrO3 bekannt.
Es war jedoch nicht vorauszusehen, daß eine piezoelektrische Keramik, welche durch bestimmte Kobmination der genannten bekannten Zusammensetzungen erhalten wird, gerade eine Resonanzfrequenz mit geringer zeitlicher Änderung und mit einem geringen Temperaturkoeffizienten haben wird. Außerdem war es für den Fachmann nicht naheliegend gewesen, gerade aus diesen beiden bekannten Zusammensetzungen einen neuen Stoff zu schaffen, da es noch sehr viele andere Möglichkeiten gibt, aus bekannten Zusammensetzungen eine neue Zusammensetzung zu bilden. Schließlich war es auch nicht naheliegend, die Anteile der einzelnen Bestandteile der neuen piezoelektrischen Keramik gerade in dem im Anspruch 1 angegebenen Mengenverhältnis zu wählen.
Die piezoelektrische Keramik gemäß der Erfindung wird in an sich bekannter Weise so hergestellt, daß die Ausgangssubstanzen, und zwar die Carbonate und Oxide der einzelnen Bestandteile, im entsprechenden Mengenverhältnis bis zur Homogenisierung gemahlen und gemischt und bei einer Temperatur von 700-900°C kalziniert werden. Anschließend wird nochmals gemahlen und das so erhaltene Pulver durch einen isostatischen Preßvorgang bei Raumtemperatur mit einem Druck von etwa 3,6 · 10⁸N/m² zu Körpern gepreßt, die einer Sinterung zwischen 1250 und 1300°C unterworfen werden. Der erste Teil der Sinterung wird unter vermindertem Druck vorgenommen und der zweite Teil der Sinterung bei Normaldruck in oxidierender Atmosphäre. Hierbei werden weitgehend porenfreie Körper hoher Dichte erhalten.
In den nachfolgenden Tabellen sind Beispiele für Zusammensetzungen gemäß der Erfindung und deren elektrische Eigenschaften angegeben.
In den Tabellen bedeuten:
x: Molarer Anteil an Pb(Cu1/4Nb3/4)O3 y: Molarer Anteil an Pb(Mn1/3Nb2/3)O3 z: Molarer Anteil an PbTiO₃u: Molarer Anteil an PbZrO₃fs: Die Resonanzfrequenz in kHz tanδ: Der Verlustfaktor bei 1 kHz k r : Der Kopplungsfaktor der Radialschwingung e: Die Permitivität TK ε : Der Temperaturkoeffizient der Permitivität TK fs : Der Temperaturkoeffizient der Resonanzfrequenz Q: Die Güte ϕ: Die Dichte N: Die Schaltgeschwindigkeit
Aus den Tabellen kann entnommen werden, daß der Temperaturkoeffizient der Resonanzfrequenz sehr kleine, teils negative und teils positive Werte hat, so daß durch Auswahl einer geeigneten dazwischen liegenden Zusammensetzung praktisch ein Temperaturkoeffizient Null erzielt werden kann. Die Dichte ist sehr hoch und liegt fast beim theoretischen Wert. Die zeitliche Änderung der Resonanzfrequenz ist sehr gering und ist kleiner oder gleich 0,1‰ pro Zeitdekade. Der Temperaturkoeffizient der Resonanzfrequenz liegt unter 30 ppm pro °C.
Zusätzlich wird eine hohe piezoelektrische Aktivität erhalten, so daß die piezoelektrische Keramik gemäß der Erfindung sich nicht nur für Schwinger für frequenzstabile Oszillatoren eignet, sondern auch sehr gut für Filteranwendungen geeignet ist.
Wie aus den Tabellen weiterhin entnommen werden kann, können Gütewerte bis 4500 erreicht werden.
Tabelle 1
Tabelle 2
Tabelle 3
Tabelle 4

Claims (5)

1. Piezoelektrische Keramik auf der Basis einer festen Lösung von Bleititanat, Bleizirkonat und Bleiniobat, wobei ein Viertel des Niobs durch Kupfer ersetzt ist, und einem Zusatz von Mangan, gekennzeichnet durch eine Zusammensetzung gemäß der Formel Pb(Cu1/4Nb3/4) x (Mn1/3Nb2/3) y Ti z Zr u O3,worinx + y + z + u = 1 mit
x = 0,01-0,34
y = 0,01-0,34
x + y = 0,2-0,35 und
z = 0,1-0,75ist.
2. Piezoelektrische Keramik nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß x und y gleich oder fast gleich sind.
3. Piezoelektrische Keramik nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß x = y = 0,06.
4. Piezoelektrische Keramik nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß x = y = 0,03.
5. Piezoelektrische Keramik nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß x = 0,06 und y = 0,065.
DE19792940393 1979-10-05 1979-10-05 Piezoelektrische keramik Granted DE2940393A1 (de)

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DE2940393A1 DE2940393A1 (de) 1981-04-16
DE2940393C2 true DE2940393C2 (de) 1988-03-24

Family

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DE19792940393 Granted DE2940393A1 (de) 1979-10-05 1979-10-05 Piezoelektrische keramik

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