DE1564855A1 - Verfahren zur Herstellung von Kontaktierungsstreifen fuer Halbleiterbauelemente - Google Patents

Description

• "Verfahren :zur Herstellung von Kontakt.ierungsstreifen für Halbleiterbauelemente" D.ie Erfindung betrifft ein Verfahren. zurr Herstellung von Kontaktierungsstreifen f`ür Halbleiterbauelemente, die aus durch Holmen miteinander verbundenen Sprossen bestehen., auf denen serienweise die Elektroden der Halbleiterbauelemente kontaktiert werden, wobei der Streifen während der Fertigung in Magazinen transportiert und gehaltert wird. Das erfindungsgemäße Verfahren besteht darin., daß die Kontaktierungsstreifen in bestimmten Bereichen mit Hilfe der Photeätztechnik derart behandelt werden, daß Teile aus den Kontaktierungsstreifen ausgebogen und als Führungs- und Ilalterungselemente in den Magazinen verwendet werden können. F,;;: -tau:xdexi bereits Kontaktierungsstreifen für Halbleiterbauelemente- vorgeschlagen,-die leiternförmig ausgebildet s in@i , W ob e:i die, Sprossen zux° Aufnahme bzw. zur Kont akt ierung Tier lialbIei terbd.tlelemente dienen. Je nasch der Zahl der für jedes Bauelement vorgesehenen Sprossen können mit derarti- gen Streifen serienweise Dioden, Planartransistoren und in- tegrierte Schaltungen kontaktiert werden. Zur Erläuterung ist in Figur 1 ein derartiger Kontaktierungsstreifen dar- gestellt. Zur Kontaktierung jedes Bauelementes,in diesem Fall handelt es sich um Planartransistoren 7, sind drei Sprossen 4, 5 und 6 vorgesehen, die über die Holmen 1 und 2 miteinander verbunden sind. Auf die Sprosse 5 wird der Planartransistor mit seinem Kollektorkörper aufgelötet, die Basis- und die Emitterelektroden werden mit Hilfe dün- ner Zuleitungsdrähte 8 und 9 mit. den Sprossen 4 bzw. 6 elek- trisch leätend verbunden. In-die Holmen 1 und 2 sind Lö- cher 3 zum Transport des Kontaktierungsstreifens in den Fertigungsgeräten eingebracht worden.
• Im Verlauf des weiteren Fertigungsverfahrens wird im An- schluß an die Kontaktierung der Halbleiterbauelemente der Holmen 2 des Kontaktierungs3treifens abgeschnitten und alle auf dem Streifen untergebrachten Planartransistoren werden durch Eintauchen des Streifens in Gießharz oder in einen anderen geeigneten, isolierenden Stoff eingebettet. Durch Abtrennen des anderen Holmen 1 werden die fertig ein- gegossenen Bauelemente darin vereinzelt; die Sprossen können entweder als Elektrodenzuleitungen verwendet oder mit sol- chen eines Gehäusesockels verbunden werden.

  Zu sind auch tontaktierungastreifen vorgeschlagen worden,

  bei denen für jeden Planartransistor nur zwei Sprossen vor-

  gesehen sind. Durch das Auftrennen einer der beiden Sprossen

  werden dann gleichfalls drei IContaktierunasteile für die drei

  Elektroden des Hauelementes geschaffen. Es können auch Strei-

  fen verwendet werden,- die nur einen Holmen aufweisen. Wiederum

  andere Streifen für integrierte Schaltungen werden soviele

  Sprossen oder Sprossenteile aufweisen, wie das Bauelement zu

  kontaktierende Elektroden aufweist.

  Um wieder auf den äontaktierunasatreifen nach Figur i zurüok-

  zukowen, werden derartige Streifen vorteilhaft beim Transport

  oder bei verschiedenen Fertigungsschritten, beispielsweise bei

  der gingießuna der Elemente in Gießharz, in Magazinen aufbe-

  wahrt, durch diese Magazine wird gleichzeitig eine unsachge-

  mäß* Lagerung der Streifen in den Fertigungspausen vermieden.

  Ein geeignetes Magazin ist in Figur 2 dargestellt. Ein Aufnahme-

  körper !o weit einen schlitz im auf, dessen Tiefe etwa der

  Breite eines Holaen,entsprieht und in den die Kontaktierungs-

  streifen gemäß Figur i senkrecht einaesehoben werden. In dem

  Schlitz 11 befindet sich eine Nut 12, die zur Aufnahme der Trans-

  Port- und Halteruagselemente auf den tontaktierungsatreifen vorge-

  sehen ist, so daß der =ontaktierungsstreifen nicht unten aus

  den Magazin herausfallen kann. Es hat sich nun erwiesen, daß

  es zieht Zröglfeh -ist, in des Nahm des Zestahtierwn.satraitsns t

  steh `aiasugro@s,, da eist sonst die streites infolge des na-

  terLaltIasses- verziehen. Bei eia@r Diapressen, der tiskea in

  dem Asgasbl@ahstreiteer@ also berrr aus äiosm die sgressea

  sei die Kelte herausgearbeitet worden" würde ein teneser am4

  aufwendiger J»tiervsrSaui erto-derlish sein, Bei der IPerti-

  derwrtiser ttjroitoa mt berqoicsiehtigt warden# das die

  SZroisew oft lcavr !Weiter sind als die lrlatortalstärlte des ßtroi#

  tose i außerdem werden . am die #treiten hohe Tolorasstseise

  gestellt.

  Ave d1««- Irtiadm ist saa dazu tbergegaagen, dis streiten aasä

  #» bekannte« ?boteitsvertahren herzustellen und anstelle der Bielrom

  ?eile aas des lel»a freisurtsw. wrnd aas dieses ~umbiegen*

  Der Vorteil der gstindr« besteht darin, dad diese Traugporrt#

  r" Aelomate naah der Fertigstellung des streite» in

  'einem ursysWlisierten Arbeitsgans aas den Helmen herausgearbei#

  tot werten Umren, ohne das die -gtroitea vorlegen worden. Die

  gotordertem -Voleransea tönnob bei der Verwendung derartiger strei-

  ten Voll eingehalten werden.

  Die frtisimg soll neeh auluand einiger A»sb»isgiele

  aller erläutert worden"

  In .Figur 3 wird in der Draufsicht und im Schnitt ein Ausführungsbespiel=des Kontaktierungsstreifens gezeigt.,Aus .. dem Holmen 1 wurden Teile 13 mit Hilfe der Photoätztechnik freigeätzt--und-anschließend ausgebogen. Dabei ist die ausge- bogene Zunge 14 so breit, daß sie in die Nut 12 des Maga- zins 1o (Figur.2)-passt. Die Teile 13 sind -rechteckförmig und zu ihrer Herstellung wurden an drei Seiten der Recht- ecke schmale Bereiche ausgeätzt, so daß die freigelegten Bereiche-mit einem einfachen. Biegewerkzeug aus dem Holmen her-ausgebogen oder herausgedrückt werden-können.
• Eine andere Ausführungsform der Führungs- und Halterungezungen für Kontaktierungsstreifen zeigt Figur 4. Hierbei wurden aus dem.,Holmen des-Kontaktierungsstreifena schmale HalbkreisrInge 15 herausgeätzt und anschließend wurden die halbkreisförmigen Zungen 16 aus dem Kontaktierunasstreifen herausgebogen In Figur 5 ist noch eine weitere Ausführungsform der Halterungselemente dargestellt, wobei zwei einander-entgegengerichtete Zungen 14a und 14b.aus dein Holmen des Kontaktierungsstreifens herausgeätzt und ausgebogen eerdon. Bai- de abgewinkelten Zungen verlaufen dann in, der Nut den Magszins so, daß die Nutkante nicht mehr mit dem Zungenende in

  Berührung kommt, sondern die Kanten am'Rüeken 17 der aus-

  gebogenen Zungen schleifen. Auf diese Weise wird ein Ver-,

  kanten oder Verklemmen der aufgebogenen Teile in der Führungs-

  nute des Magazins vermieden.

  Neben den hier beschriebenen Formen sind auch andere For-

  men der Führungselemente denkbar. Bedeutungsvoll ist je-

  doch bei all- diesen Arten von Führungselementen deren

  Herstellung mit Hilfe-der Photoätzung. Die Abmessungen

  der Führungs- und Halterungselemente entsprechen dabei

  in etwa denen der Führungsnut in dem Aufnahmemagazin.

Claims (1)

1. - f 1) Verfahren zur Herstellung von Kontaktierungaatreifenf für Halbleiterbauelements,, die aufs durch Holmen-miteinander--iverbundenen Sprossen bestehen.,; auf, denen serienweise die: Elektro'den@ von R#alblsterbaüeläaentert kontäktiert worden, -. wobei dfe Streifen während der -Fertigung; in 'lataznen transkportiert = und gehaltert werden, dadurch gekennzeichnet" date di.e KQataktieruri:gsstreifen--in@ bentimt.en Bereichen .mIt Hilfe dar-'Pho.toätztochnik derart behandelt worden" .dai: Teile aus dein:- rontaktierungsstreifen- ausgebogen und ala führungs- und H alterungselemente in den Magazinen verwendet werden können. 2) Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet. durch seine Verwendung zur Herstellung von Führungs- und Halterungselesenten auf den ebenen üolnen-leiterfürmiger Kontaktierungsstreifen, der bei der Fertigung der Halbleiterbauelemente in einen-Magazin untergebracht und dort gehal- tert wird. 3) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in den Holmen Bereiche derart freigeätzt werden, daß diese an einer Kante noch mit dem Holmen verbunden sind und aus diesem ausgebogen werden. 4) Verfahren nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Holmen rechteckförmige Bereiche auf drei Sei- ten freigeätzt und dann aus dem Holmen ausgebogen werden. 5) Verfahren nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß halbkreisförmige Bereiche auf dem Holmen freigeätzt und aus diesem ausgebogen werden. 6) Verfahren nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils zwei benachbarte Zungen auf einem Streifen freigeätzt und aus diesem derart ausgebogen werden, daß die ausgebogenen Zungen einander entgegengerichtet sind und zwischen ihnen ein schmaler Steg im Holmen verbleibt. 7) Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, daß die Abmessungen der ausgebogenen Zungen den Abmessungen der seitlich in den Aufnahmeschlitz des Magazins eingebrachten Nut entsprechen.