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DE1160266B - Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen - Google Patents

Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen

Info

Publication number
DE1160266B
DE1160266B DES57521A DES0057521A DE1160266B DE 1160266 B DE1160266 B DE 1160266B DE S57521 A DES57521 A DE S57521A DE S0057521 A DES0057521 A DE S0057521A DE 1160266 B DE1160266 B DE 1160266B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vapor deposition
metal
condensation
insulating material
production
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DES57521A
Other languages
English (en)
Inventor
Dipl-Phys Gerhard Mayer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DES52322A external-priority patent/DE1134566B/de
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DES57521A priority Critical patent/DE1160266B/de
Publication of DE1160266B publication Critical patent/DE1160266B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H01G13/06Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00 with provision for removing metal surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/002Inhomogeneous material in general
    • H01B3/004Inhomogeneous material in general with conductive additives or conductive layers

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

In dem Hauptpatent 1134 566 wird eine Vorrichtung zur Bedampfung von Isolierstoffbändern, die vorzugsweise zur Herstellung selbstheilender Kondensatoren verwendet werden, mit einem kondensationsverhindernden Stoff beschrieben, und zwar zur Bedampfung solcher Teile dieser Isolierstoffbänder, die bei einer nachfolgenden Bedampfung mit Metall nicht metallisiert werden sollen. Diese Vorrichtung, die Gegenstand des älteren Patents ist, besteht aus einem Vorratsgefäß für den kondensationsverhindernden Stoff, einer Verdampferdüse, die über ein Rohr mit dem Vorratsgefäß verbunden ist, einem Docht, der in den kondensationsverhindernden Stoff eintaucht und der etwa vor der Verdampferdüse endet, und aus einer Heizvorrichtung, die mindestens einen Teil des Dochtes, der aus dem kondensationsverhindernden Stoff herausragt, erhitzt.
Es hat sich nun gezeigt, daß bei der Anwendung dieser Vorrichtung zur Erzeugung isolierender Streifen zwischen kondensierten Metallschichten die Isolierstreifenbänder noch eine gewisse Unscharfe aufweisen. Fernerhin ist die Breite dieser isolierenden Streifen nicht immer konstant, sondern schwankt um einen Mittelwert. Diese Schwankung wirkt sich insbesondere bei selbstheilenden Kondensatoren, für welche isolierende Streifen von konstanter Breite mit möglichst scharfen Rändern gefordert werden, sehr ungünstig aus.
Zur Erzielung randscharfer isolierender Streifen wird nun vorgeschlagen, bei der nach Hauptpatent 1134 566 bekannten Vorrichtung erfindungsgemäß zwischen der Düse des Verdampfers 1 und der auf einer Umlaufrolle 3 umlaufenden Trägerfolie 2 eine Blende 4 anzuordnen, welche vorzugsweise eine quadratische oder rechteckige Blendenöffnung 5 aufweist. Die in einem möglichst geringen Abstand von der Folie 2 angebrachte Blende 4 ist aus möglichst dünnem Blech, z. B. von 0,1 mm Stärke, gefertigt, was zur Erzeugung randscharfer isolierender Streifen auf den Folien sehr wesentlich ist. Selbstverständlich empfiehlt es sich, eine das Austauschen der Blenden ermöglichende Halterung für diese anzubringen.
Zur weiteren Erläuterung können die Figuren dienen. Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur Erzeugung randscharfer isolierender Streifen, bestehend aus einer Blende 4 mit einer Blendenöffnung 5, die zwischen der Düse des Verdampfers 1 und der zu bedampfenden Folie 2 angeordnet ist. Die Folie 2 wird hierbei über eine Umlenkrolle 3 geleitet, um dieser eine definierte Lage zu geben. Die Blende 4 wird in möglichst kleinem Abstand α von der Folie 2 angeordnet, der z. B. 0,2 mm betragen kann, um einen möglichst Vorrichtung zum Herstellen
von Isolierstoffbändern durch Bedampfen
mit Metall unter Anwendung einer örtlich
begrenzten Vorbedampfung mit konden-
sationshindernden Stoffen
Zusatz zum Patent 1134 566
Anmelder:
Siemens & Halske Aktiengesellschaft,
Berlin und München,
München 2, Wittelsbacherplatz 2
Dipl.-Phys. Gerhard Mayer, München,
ist als Erfinder genannt worden
scharfen Rand der Abdeckung zu erzielen. In Fig. 2 ist eine Frontalansicht der Blende 4 dargestellt. Die Breite b der Bandöffnung 5 ist je nach der gewünschten Isolierstreifenbreite zu bestimmen. Die Öffnungshöhe h muß so gewählt werden, daß die Entfernung der oberen und unteren Begrenzung der Öffnung 5 nicht zu weit von der Folie 2 entfernt ist. Sie hängt auch vom Durchmesser der Umlenkrolle 3 ab.
Blenden bei Aufdampfvorrichtungen zu verwenden, ist an sich bekannt. Die Vorrichtung des Hauptpatents sollte dazu dienen, die zur Abdeckung des Metalldampfstrahls bisher nötigen Blenden zu vermeiden, d. h. diese zu ersetzen. Es ist daher nicht ohne weiteres selbstverständlich, bei der die Blenden im Metalldampfstrahl ersetzenden Vorrichtung zusätzlich Blenden beim Ölaufdampfen anzuwenden. Daß dies sinnvoll ist, zeigt der Erfolg, nämlich die Möglichkeit, völlig randscharfe Niederschlage zu erzeugen. Die erfindungsgemäß benutzten Blenden bedürfen im übrigen keiner zeitraubenden Reinigung, da das kondensierende Öl abläuft.

Claims (4)

Patentansprüche-
1. Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoff-So bändern durch Bedampfen mit Metall, vorzugsweise zum Herstellen selbstheilender Kondensatoren, wobei vorher ein kondensationshindernder
309 770/222
Stoff, z.B. Kohlenwasserstoff, aufgedampft wird, um die Unterlage örtlich begrenzt vom Metalldampf freizuhalten, nach Hauptpatent 1134 566, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Verdampferdüse und 2xi bedampfenden Folie eine Blende angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch I3 dadurch gekennzeichnet, daß eine Blende mit einer quadratischen oder rechteckigen Blendenöffnung angeordnet ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Blende aus dünnem Blech von z. B. 0,1 mm Stärke angeordnet ist.
4. Anordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende auswechselbar angeordnet ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DES57521A 1957-02-13 1958-03-25 Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen Pending DE1160266B (de)

Priority Applications (1)

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DES57521A DE1160266B (de) 1957-02-13 1958-03-25 Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES52322A DE1134566B (de) 1957-02-13 1957-02-13 Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoff-baendern durch Bedampfen mit Metall unter Anwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensations-hindernden Stoffen
DES57521A DE1160266B (de) 1957-02-13 1958-03-25 Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1160266B true DE1160266B (de) 1963-12-27

Family

ID=25995347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES57521A Pending DE1160266B (de) 1957-02-13 1958-03-25 Vorrichtung zum Herstellen von Isolierstoffbaendern durch Bedampfen mit Metall unterAnwendung einer oertlich begrenzten Vorbedampfung mit kondensationshindernden Stoffen

Country Status (1)

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DE (1) DE1160266B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1008668A4 (de) * 1997-03-19 2004-04-28 Matsushita Electric Industrial Co Ltd Verfahren und vorrichtung zur herstellung dünner filme, dünnfilmlaminat und elektronische teile

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1008668A4 (de) * 1997-03-19 2004-04-28 Matsushita Electric Industrial Co Ltd Verfahren und vorrichtung zur herstellung dünner filme, dünnfilmlaminat und elektronische teile

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