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DE1269449B - Vorrichtung zum fortlaufenden Aufdampfen von Schichten aus fluessigen oder fettartigen Substanzen auf Baender im Auschluss an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten - Google Patents

Vorrichtung zum fortlaufenden Aufdampfen von Schichten aus fluessigen oder fettartigen Substanzen auf Baender im Auschluss an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten

Info

Publication number
DE1269449B
DE1269449B DE19621269449 DE1269449A DE1269449B DE 1269449 B DE1269449 B DE 1269449B DE 19621269449 DE19621269449 DE 19621269449 DE 1269449 A DE1269449 A DE 1269449A DE 1269449 B DE1269449 B DE 1269449B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
oil
vapor deposition
layers
tapes
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19621269449
Other languages
English (en)
Inventor
Dipl-Phys Gerhard Mayer
Dipl-Phys Hans-Eberhard Wiehl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE19621269449 priority Critical patent/DE1269449B/de
Publication of DE1269449B publication Critical patent/DE1269449B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58After-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum fortlaufenden Aufdampfen von Schichten aus flüssigen oder fettartigen Substanzen auf Bänder im Anschluß an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten Zusatz zur Anmeldung: S 68597 VI b/48 b -Auslegeschrift 1251618 Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum fortlaufenden gleichmäßigen Aufdampfen von Schichten aus flüssigen oder fettartigen Substanzen mit niedrigem Dampfdruck auf Bänder, insbesondere zum Vakuumaufdampfen einer Trennschicht aus Öl oder Fett auf Kunststoffbänder im Anschluß an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten nach Patentanmeldung S 68597 V1 b/48 b. In der Hauptpatentanmeldung wird vorgeschlagen, daß zur Verhinderung einer zu starken Haftung der beim fortlaufenden Bedampfen von Kunststoffbändern mit Metall im Vakuum zu einer Rolle aufgespulten Lagen des Kunststoffbandes auf eine oder beide Seiten der Bänder eine Trennschicht aus Öl oder Fett mit einem niedrigen Dampfdruck aufgedampft, aufgedruckt oder aufgestrichen wird. Die Stärke dieser Trennschicht muß außerordentlich gering sein, vorzugsweise G 50 A betragen, um nicht die Eigenschaften des aus den Kunststoffbändern hergestellten Kondensators zu verschlechtern. Andererseits muß die Trennschicht sehr gleichmäßig über die ganze Fläche aufgebracht werden. Es ist deshalb von ausschlaggebender Bedeutung, daß die Öl- oder Fettschicht über die ganze Folienbreite gleichmäßig dick aufgebracht wird.
  • Es wird daher vorgeschlagen, zum Aufdampfen eine Vorrichtung zu verwenden, die gemäß der Erfindung aus einem mit einem Schlitz für den Austritt des dampfförmigen Öls od. dgl. versehenen Ölbehälter besteht, in dem dünne Bänder aus Widerstandsmaterial angeordnet sind, die durch Stromdurchgang beheizt werden und von denen ein Teil nur teilweise in das Öl hineinragt. Die Verwendung dünner Heizbänder hat sich als zweckmäßig erwiesen, da diese eine im Vergleich zum Querschnitt große Oberfläche besitzen, wodurch der übergang der Wärme auf das Öl erleichtert wird und insbesondere eine überhitzung des Öls in der Umgebung der Heizbänder und damit eine Zersetzung des Öls vermieden wird. Die zum Teil aus dem Öl herausragenden Bänder erleichtern die Verdampfung des Öls, da sie die verdampfende Oberfläche infolge ihrer Benetzung mit dem Öl vergrößern.
  • Um zu vermeiden, daß sich an dem Schlitz, durch den das Öl aus dem Verdampfer heraustritt, Öldampf kondensiert und dann in Form von Öltröpfchen auf den Bändern niedergeschlagen wird, hat es sich als zweckmäßig erwiesen, den Schlitz in seiner Umgebung zu beheizen. Dies erfolgt vorzugsweise dadurch, daß in der Nähe des Verdampferschlitzes ein Heizblech angeordnet wird, das die Umgebung des Schlitzes zusätzlich beheizt. Zur weiteren Erläuterung der Erfindung kann die Figur dienen.
  • In dem Ölbehälter 1, der mit einem Schlitz 2 zum Austritt des Öldampfes versehen ist, sind übereinander und seitlich gegeneinander versetzt. Heizbänder 3 und 4 angeordnet, die durch Stromdurchgang erhitzt werden und von denen ein Teil 3 vollständig im Ölvorrat angeordnet ist, während ein weiterer Teil 4 zum Teil aus dem Öl herausragt. Zwischen dem Boden des Ölbehälters und den Heizbändern soll ein gewisser Abstand verbleiben, um eine gute Konvektion im Öl zu ermöglichen. Zur Beheizung der Umgebung des Schlitzes 2 ist ein Heizblech 5 angeordnet.
  • In einem Ausführungsbeispiel wurden mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf mit einer Geschwindigkeit von 4 m/sec an dem Schlitz vorbeilaufende Bänder Ölschichten in einer Stärke von 20 A aufgedampft. Die Temperatur in dem Verdampfer betrug hierbei 140° C. Die Schlitzhöhe war 3 mm. Der Dampfdruck des Diffelens beträgt bei dieser Temperatur 2.10-2 Torr, während in dem Rezipienten, in dem die Aufdampfung vorgenommen wurde, ein Druck herrscht, der unter 10-s Torr lag. Es konnten auf diese Weise Profile einer Breite von 15 cm konstanter Dicke aufgedampft werden.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Vorrichtung zum fortlaufenden gleichmäßigen Aufdampfen von Schichten aus flüssigen oder fettartigen Substanzen mit niedrigem Dampfdruck auf Bänder, insbesondere zum Vakuumaufdampfen einer Trennschicht aus Öl oder Fett auf Kunststoffbänder im Anschluß an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten nach Patentanmeldung S 68597 VIb/48 b, gekennzeichnet durch einen mit einem Schlitz (2) für den Austritt des dampfförmigen Öls od. dgl. versehenen Ölbehälter (1), in dem übereinander und seitlich gegeneinander versetzt Heizbänder (3,4) aus Widerstandsmaterial angeordnet sind, die durch Stromdurchgang beheizt werden und von denen die Heizbänder (3) vollständig im Öl eingetaucht sind, während die Heizbänder (4) zum Teil aus dem Öl herausragen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein in der Nähe des Schlitzes (2) angeordnetes Heizblech (5) zur Beheizung der Umgebung des Schlitzes. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentanmeldung p 39476 VIII d/21 h D (bekanntgemacht am 3. 11.1955); britische Patentschrift Nr. 827 575; USA.-Patentschrift Nr.1448 510.
DE19621269449 1960-05-20 1962-07-05 Vorrichtung zum fortlaufenden Aufdampfen von Schichten aus fluessigen oder fettartigen Substanzen auf Baender im Auschluss an eine Vakuumbedampfung mit Metallschichten Pending DE1269449B (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4268541A (en) 1976-02-16 1981-05-19 Fuji Photo Film Co., Ltd. Process for producing a material having a vapor-deposited metal layer, and process for producing a recording material

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1448510A (en) * 1921-04-16 1923-03-13 Percy A E Armstrong Apparatus for electrical heating of fluids
GB827575A (en) * 1957-02-13 1960-02-10 Siemens Ag Improvements in or relating to vapour-deposition apparatus

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