DE10224817B4

DE10224817B4 - Method and device for vertical dipping of film-like material to be treated in baths of electroplating and etching plants

Info

Publication number: DE10224817B4
Application number: DE10224817A
Authority: DE
Inventors: Britta Scheller; Orlando Wex
Original assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Current assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Priority date: 2002-06-05
Filing date: 2002-06-05
Publication date: 2005-04-14
Anticipated expiration: 2022-06-06
Also published as: DE10224817A1; JP2005529243A; US20050224357A1; CN1650679A; TW200403014A; WO2003105546A1; EP1510111A1; BR0308809A; KR20050008772A; AU2003240725A1

Abstract

Verfahren zur nasschemischen oder elektrochemischen Behandlung von flachem, biegsamem Behandlungsgut in Galvanisier- oder Ätzanlagen, bei denen das Behandlungsgut vertikal an Warenträgern befestigt wird und die Warenträger mittels horizontaler Fahrbewegungen und vertikaler Hub- und Senkbewegungen in die einzelnen Behandlungsstationen der Anlage befördert werden, dadurch gekennzeichnet, dass dem Bad zugeordnet, das die Behandlungsflüssigkeit aufnimmt, mindestens ein Schutzkorb vorhanden ist, in den das Behandlungsgut in leerem Zustand eingebracht wird und Mittel vorhanden sind, die das Füllen des Schutzkorbes mit Behandlungsflüssigkeit nach dem Einbringen des Behandlungsgutes in den Schutzkorb derart ermöglichen, dass das Behandlungsgut dadurch seine Form und/oder Lage nicht wesentlich verändert.method for the wet-chemical or electrochemical treatment of flat, flexible material to be treated in electroplating or etching equipment in which the material to be treated vertical to goods carriers is fastened and the goods carriers by means of horizontal travel movements and vertical lifting and lowering movements be transported to the individual treatment stations of the plant, characterized in that associated with the bath containing the treatment liquid takes up, at least one protective cage is present, in which the material to be treated is introduced in an empty state and funds are available, the the filling the protective basket with treatment liquid after insertion allow the material to be treated into the protective basket in such a way that the material to be treated thereby does not substantially affect its shape and / or position changed.

Description

Die Vorrichtung und das Verfahren betreffen das vertikale Eintauchen von Behandlungsgut bei chemischen oder elektrolytischen Prozessen. Hierzu zählt das Reinigen, Aktivieren, Galvanisieren und Nachbehandeln von besonders dünnen Leiterfolien. Bei einem Behandlungsgut, das im Inneren aus einem elektrisch nicht leitfähigen Werkstoff besteht, werden in mehreren Behandlungsschritten ein Leiterbahnmuster und Durchkontaktierungslöcher erzeugt. Die Dicke der Folien beträgt bei speziellen Anwendungen nur noch 30–50 μm und ist gegen mechanische Belastungen hochempfindlich. Oft ist die Oberfläche weich und der Transport kann nicht zwischen Walzen erfolgen. In diesem Falle erfolgt die Behandlung in vertikalen Galvanisieranlagen. Die Leiterfolien werden hierzu am äußeren Rand mittels Klemmen oder Schrauben an einem Warenträger befestigt. In der Regel sind an einem Warenträger mehrere Folien in Reihe nebeneinander und manchmal auch untereinander angeordnet. In der Druckschrift DE 36 12 220 C2 ist eine derartige Klammer für Tauchbadanlagen beschrieben. Zum elektrolytischen Aufbringen der Leitschicht wird die Leiterfolie über die Klemmen und den Warenträger mit dem Minuspol der Stromquelle verbunden. Die Gegenelektrode, hier eine Anode, ist dementsprechend mit dem Pluspol elektrisch leitend verbunden. Beim elektrolytischen Ätzen sind die Polaritäten vertauscht. Das Behandlungsgut ist dann anodisch gepolt.The device and the method relate to the vertical immersion of material to be treated during chemical or electrolytic processes. This includes cleaning, activating, electroplating and after-treatment of particularly thin conductor foils. In a material to be treated, which consists of an electrically non-conductive material inside, a conductor pattern and via holes are produced in several treatment steps. The thickness of the films is in special applications only 30-50 microns and is highly sensitive to mechanical stress. Often the surface is soft and the transport can not take place between rollers. In this case, the treatment is carried out in vertical electroplating plants. For this purpose, the conductor foils are fastened to a product carrier at the outer edge by means of clamps or screws. As a rule, several films are arranged in a row next to one another and sometimes also below one another on a goods carrier. In the publication DE 36 12 220 C2 is such a clip for Tauchbadanlagen described. For electrolytic application of the conductive layer, the conductor foil is connected via the terminals and the goods carrier to the negative pole of the current source. The counterelectrode, here an anode, is accordingly electrically connected to the positive pole. In electrolytic etching, the polarities are reversed. The material to be treated is then poled anodically.

Zur Behandlung wird das an den Warenträgern derart befestigte Behandlungsgut mittels Transportwagen von Tauchbad zu Tauchbad transportiert und in das jeweiligen Bad eingesenkt und nach der Behandlung wieder ausgehoben.to Treatment is the treated on the goods carriers such treated Transported by dipping bath from dipping bath to dipping bath and sunk into the respective bath and after the treatment again excavated.

Um das dünne Behandlungsgut in die Behandlungsbäder, die mit einer wässrigen Flüssigkeit gefüllt sind, einzubringen, ist eine gewisse Steifigkeit und eine möglichst ebene Oberfläche erforderlich. Ist dies nicht gegeben, werden die Folien beim Einsenken in die Flüssigkeit in horizontaler Richtung abgelenkt und stoßen gegen den Behälterrand oder in der Nähe befindliche Einbauteile wie Anoden, Heizungseinrichtungen, Kühlungen, Sensoren und dergleichen. Dabei besteht die Gefahr der Beschädigung dieser empfindlichen Folien bis hin zum Kurzschluss, wenn es sich um ein elektrolytisches Bad handelt. Der Grund liegt in der mangelhaften Führung des Behandlungsgutes durch die Klammern oder Gestelle, oder in der fehlenden Steifigkeit des Materials. In der Badflüssigkeit vorhandene Strömungen durch Umwälzpumpen, Lufteinblasung und dergleichen können die Folien ebenfalls auslenken. Ein herkömmliches Eintauchen wie bei bisher vorhandenem dickeren Behandlungsgut ist nicht mehr möglich.Around the thin one To be treated in the treatment baths with an aqueous Liquid are filled, to bring in, is a certain rigidity and one possible flat surface required. If this is not the case, the films are sinking into the liquid deflected in the horizontal direction and collide against the container edge or nearby installed components such as anodes, heating equipment, cooling, Sensors and the like. There is a risk of damage to this sensitive foils to the point of short circuit, if it is a electrolytic bath is. The reason lies in the poor guide of the material to be treated through the brackets or racks, or in the lack of rigidity of the material. In the bath liquid existing currents by circulating pumps, Air injection and the like can also deflect the slides. A conventional immersion as in previously existing thicker material is no longer possible.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, welche die Beschädigungen des Behandlungsgutes während des Einsenkens sicher vermeiden.task the invention is to provide a method and a device, which the damages of the material to be treated during safely avoid sinking.

Ein derartiges Verfahren ist in Anspruch 1 und die zugehörige Vorrichtung in Anspruch 12 beschrieben. Spezielle Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.One Such method is in claim 1 and the associated device described in claim 12. Special embodiments of the invention are in the subclaims described.

Das Einsenken des Warenträgers in die Behandlungsbäder erfolgt dabei erfindungsgemäß nicht in die Flüssigkeit, sondern in einen Schutzkorb der zum Zeitpunkt des Einsenkens nicht mit Behandlungsflüssigkeit gefüllt ist. Der Schutzkorb besteht aus einem für die verwendeten Chemikalien und vorgesehenen Badtemperaturen geeignetem Material, wie zum Beispiel Kunststoff oder Metall. Im Boden und/oder in den Seitenwänden sind Öffnungen zum Einleiten der Behandlungsflüssigkeit mittels Schwerkraft vorgesehen. Die Öffnungen sind so bemessen, dass die Behandlungsflüssigkeit langsam einströmt und das empfindliche Behandlungsgut nicht wegdrückt oder verbiegt. Vorzugsweise sind die Öffnungen über die Flächen gleichmäßig verteilt und haben jeweils eine Durchtrittsfläche von 1 Quadratmillimeter bis 500 Quadratmillimeter. Um die besondere Beschaffenheit, wie zum Beispiel der Oberflächenspannung der verwendeten Badflüssigkeiten oder die Empfindlichkeit des Behandlungsgutes zu berücksichtigen, können die Öffnungen in den Schutzkörben der einzelnen Behandlungsstationen unterschiedlich gefertigt oder einstellbar sein. Das Einstellen kann über verschiebbare Blenden oder Lochplatten geschehen, die in der Lage sind, die Öffnungen im Schutzkorb teilweise abzudecken. Dadurch kann bei sonst gleichen Gegebenheiten mehr oder weniger Flüssigkeit durchtreten. Durch Verschieben der Blende oder Lochplatte werden die Öffnungen im Schutzkorb teilweise verschlossen und der Zufluss pro Zeiteinheit verringert. Die Behandlungsflüssigkeit wird in den Schutzkorb durch das Gefälle, das durch unterschiedliche Badspiegel innerhalb und außerhalb des Schutzkorbes erzeugt wird, eingeleitet. Dieses Gefälle wird durch die Verdrängung der Flüssigkeit beim Einsenken des Schutzkorbes in den Behandlungsbehälter erzeugt. Bei stationärem Korb wird das Gefälle mit einer Pumpe erzeugt, die die Behandlungsflüssigkeit von einem Vorratstank in den Behandlungsbehälter über entsprechende Rohrleitungen fördert. Die Behandlungsflüssigkeit wird in diesem Falle vor dem Einsenken des Warenträgers in einem separaten Vorratstank gehalten und nach dem vollständigen Einsenken des Warenträgers in den Arbeitsbehälter außerhalb des Schutzkorbes gepumpt. Der Vorratstank kann separat neben dem Arbeitsbehälter aufgestellt sein, oder durch ein abgetrenntes Seitenabteil im oder am Behandlungsbehälter gebildet werden. Einrichtungen zur Aufbereitung der Behandlungsflüssigkeit wie z. B. Rührwerke, Heizungen, Kühlungen oder dergleichen können in den Vorratstank eingebaut sein. Ist die chemische oder elektrochemische Behandlung beendet, wird der Warenträger mit dem Behandlungsgut aus dem Behälter ausgehoben und gleichzeitig kann die Behandlungsflüssigkeit wieder in den Vorratstank zurückgepumpt werden.The sinking of the goods carrier in the treatment baths is carried out according to the invention not in the liquid, but in a protective basket which is not filled with treatment liquid at the time of sinking. The protective cage consists of a suitable for the chemicals used and intended bath temperatures material, such as plastic or metal. In the bottom and / or in the side walls openings for introducing the treatment liquid by means of gravity are provided. The openings are dimensioned so that the treatment liquid flows in slowly and does not push away or bend the sensitive material to be treated. Preferably, the openings are evenly distributed over the surfaces and each have a passage area of 1 square millimeter to 500 square millimeters. In order to take into account the special nature, such as the surface tension of the bath liquids used or the sensitivity of the material to be treated, the openings in the protective baskets of the individual treatment stations can be manufactured or adjusted differently. The adjustment can be done via sliding panels or perforated plates, which are able to cover the openings in the protective cage partially. As a result, more or less liquid can pass through otherwise identical conditions. By moving the aperture or perforated plate, the openings in the protective cage are partially closed and the inflow per unit of time is reduced. The treatment liquid is introduced into the protective cage through the gradient created by different levels of the bath inside and outside the protective cage. This gradient is generated by the displacement of the liquid during sinking of the protective basket in the treatment vessel. In the case of a stationary basket, the gradient is generated by a pump which conveys the treatment liquid from a storage tank into the treatment tank via corresponding pipelines. The treatment liquid is held in this case before sinking the goods carrier in a separate storage tank and pumped after the complete lowering of the goods carrier in the working container outside the protective basket. The storage tank can be placed separately next to the work container, or by a separate side compartment in or on Behandlungsbehäl be formed ter. Facilities for the treatment of the treatment liquid such. B. agitators, heaters, cooling or the like can be installed in the storage tank. Once the chemical or electrochemical treatment has ended, the article carrier is lifted out of the container with the item to be treated, and at the same time the treatment liquid can be pumped back into the storage tank.

In einer weiteren Ausführungsform ist der Schutzkorb mit einem stationären Hubwerk versehen. Vor dem Einsenken des Warenträgers fährt der Schutzkorb in eine oberer Stellung. In dieser Position ist der Schutzkorb so weit aus dem Behandlungsbehälter ausgehoben und dabei die Behandlungsflüssigkeit ausgelaufen, dass das Behandlungsgut nicht in die Behandlungsflüssigkeit eintaucht. Zum schnelleren Auslaufen der Behandlungsflüssigkeit während des Aushebens können am Boden des Schutzkorbs zusätzliche Auslaufklappen vorhanden sein, die nach dem Auslaufen der Flüssigkeit wieder geschlossen werden. Danach wird der Schutzkorb und das Behandlungsgut synchron in den Arbeitsbehälter eingesenkt. Dabei wird die im Behandlungsbehälter vorhandene Flüssigkeit verdrängt und der Flüssigkeitspegel steigt an. Dadurch strömt die Behandlungsflüssigkeit durch die vorgesehenen Öffnungen gleichmäßig in den Schutzkorb ein, ohne das Behandlungsgut zu beschädigen. Die Flüssigkeitsdurchtrittsfläche der Öffnungen muss dabei an die Senkgeschwindigkeit der Hubeinrichtung angepasst sein, damit die Flüssigkeit langsam einströmt. Die Entnahme des Behandlungsgutes kann nach der Behandlung, wie bei derartigen Anlagen üblich, direkt mittels eines Transportwagen-Hubwerkes erfolgen. Danach erfolgt der Transport mittels Fahrbewegung des Transportwagens zur nächsten Behandlungsstation. Der Schutzkorb verbleibt in unterer Stellung an der Behandlungsstation bis das nächste Behandlungsgut über der Behandlungsstation bereitsteht, um die Fahrbewegungen des Transportwagens nicht zu behindern.In a further embodiment the protective cage is provided with a stationary hoist. Before the Sinking the goods carrier the protective cage moves in an upper position. In this position, the protective cage is like this far from the treatment tank dug while doing the treatment liquid leaked that the material to be treated is not immersed in the treatment liquid. For the faster Leakage of the treatment liquid during the Excavation can additional at the bottom of the protective cage Outlet flaps may be present after the leakage of the liquid be closed again. Thereafter, the protective basket and the material to be treated synchronously in the working container sunk. In this case, the existing liquid in the treatment tank repressed and the liquid level rises. Thereby flows the treatment liquid through the openings provided evenly in the Protection basket, without damaging the material to be treated. The fluid passage area of the openings must be adapted to the lowering speed of the lifting device, with it the liquid flows in slowly. The removal of the material to be treated can, as after treatment usual in such systems, directly by means of a trolley hoist done. After that takes place the transport by means of driving movement of the trolley to the next treatment station. The protective cage remains in the lower position at the treatment station until the next one Over the treatment station is ready to the driving movements of the trolley not to hinder.

In einer besonderen Ausführungsform der Erfindung kann das normalerweise an den Transportwagen angebrachte Behandlungsgut-Hubwerk ersetzt werden. In diesem Fall ist an jeder Behandlungsstation ein Hubwerk erforderlich. Der ankommende Transportwagen nimmt den Warenträger auf, nachdem das Hubwerk diesen aus der Station ausgehoben und in die obere Stellung gebracht hat. Der Schutzkorb senkt ab und danach kann der nunmehr frei hängende Warenträger zur nächsten Behandlungsstation gefahren werden. Hier fährt der dortige Schutzkorb hoch und übernimmt den Warenträger und senkt diesen in das Behandlungsbad ab. Der Transportwagen kann danach zur nächsten Arbeitsstation verfahren.In a particular embodiment The invention may normally be attached to the trolley Treatment goods hoist to be replaced. In this case, everyone is Treatment station a hoist required. The arriving dolly takes the goods carrier after the hoist has lifted it out of the station and into has brought the upper position. The protective cage lowers and then can the now free hanging goods carriers to the next Treatment station to be driven. Here goes the local shelter high and takes over the goods carrier and lowers this into the treatment bath. The trolley can then to the next Move workstation.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Schutzkorb am Warenträger montiert und hat für den Be- und Entladevorgang des Behandlungsgutes an der Beschickungs- und Endladestation an der Vorderseite Türen. In dieser Ausführung wird der Warenträger mit dem Schutzkorb zur jeweiligen Behandlungsstation gebracht und dort langsam in das Bad eingesenkt. Während des Einsenkvorganges strömt die Behandlungsflüssigkeit in den Schutzkorb von den Seiten gleichmäßig ein, ohne die Folien zu verformen.In a further embodiment According to the invention, the protective cage is mounted on the goods carrier and has and unloading of the material to be treated at the loading and End-loading station on the front doors. In this embodiment, the goods carriers brought with the protective cage to the respective treatment station and slowly sunk into the bathroom. During the Einsenkvorganges flows the treatment liquid in the protective cage from the sides evenly, without the slides too deform.

Bei dieser Ausführungsform ist der apparative Aufwand sehr gering , aber andererseits ist die Verschleppung von Behandlungsflüssigkeit durch Mitnahme von Flüssigkeitsresten an den Wänden und Öffnungen des Schutzkorbes von einem Bad zum nächsten deutlich höher.at this embodiment the equipment cost is very low, but on the other hand is the carryover of treatment liquid by entrainment of liquid residues on the walls and openings of the protective basket from one bath to the next.

Eine besonders vorteilhafte Ausführung besteht deshalb darin, den Schutzkorb mittels Transportwagen einzusenken und auszuheben. Zu diesem Zweck ist der Transportwagen, der die Warenträger von Bad zu Bad transportiert, mit einem separaten Hubwerk für den Schutzkorb ausgestattet. Der Schutzkorb ist vor der Beschickung des naßchemischen Bades in der jeweiligen Behandlungsstation abgelegt. Der Transportwagen kommt wie bei Tauchbad-Anlagen dieser Art üblich, mit der zu behandelnden Ware in gehobenen Zustand an der Behandlungsstation an. Anstatt den Warenträger in die Behandlungsstation sofort abzusenken, wird erfindungsgemäß zunächst mit dem Schutzkorb-Hubwerk der Schutzkorb soweit angehoben, dass das Behandlungsgut sich danach im Schutzkorb befindet. Dann wird der Warenträger und der Schutzkorb mit gleicher Geschwindigkeit langsam in die Flüssigkeit der Behandlungsstation eingesenkt. Damit strömt während des Einsenkens die Behandlungsflüssigkeit gleichmäßig in den Schutzkorb mit den darin befindlichen empfindlichen Leiterfolien, ohne diese auszulenken oder zu verformen. Beim Ausheben wird dann nur der Warenträger mit dem Behandlungsgut-Hubwerk angehoben. Das Schutzkorb-Hubwerk verbleibt in unterer Stellung und der Transportwagen fährt zu nächsten Station. Durch diese Ausführungsform ist an der Behandlungsstation kein eigenes ortsfestes Hubwerk für den Schutzkorb erforderlich und die notwendige Raumhöhe entspricht nahezu dem Bedarf bei einer herkömmlicher Anlage.A particularly advantageous embodiment is therefore to sink the protective cage by means of transport vehicles and dig out. For this purpose, the dolly, the Goods carrier of Bath to bath transported, with a separate lifting mechanism for the protective cage fitted. The protective cage is before the loading of the wet chemical Bades stored in the respective treatment station. The dolly comes as usual with dipping baths of this kind, with the to be treated Goods in lifted state at the treatment station. Instead of the goods carrier Immediately lower in the treatment station, according to the invention initially with the protective cage hoist the protective cage raised so far that the Afterwards, the material to be treated is in the protective cage. Then the goods carriers and the protective basket at the same speed slowly into the liquid of Countersunk treatment station. Thus flows during the sinking the treatment liquid evenly into the Protective cage with the sensitive conductor foils therein, without deflecting or deforming them. When digging then only the goods carrier lifted with the material to be handled hoist. The protective cage hoist remains in lower position and the trolley moves to the next station. By this embodiment At the treatment station, there is no separate stationary hoist for the protective cage required and the necessary room height is almost equal to the need for a conventional one Investment.

Handelt es sich bei dem Bad um ein Galvanisier- oder elektrochemisches Ätzbad so können die für das Bilden der elektrolytischen Zelle benötigten Anoden für das Galvanisieren bzw. Kathoden für das Ätzen an den Wänden des Schutzkorbes befestigt sein, besonders wenn es sich um z. B. unlösliche Anoden handelt. Soweit die chemische Beständigkeit des Schutzkorbmaterials und das elektrochemische Verfahren dies zulassen, können die Wände selbst die Funktion der Anode bzw. Kathode übernehmen.If the bath is an electroplating or electrochemical etching bath, the anodes for electroplating required for forming the electrolytic cell or cathodes for the etching may be fixed to the walls of the protective cage, especially if they are, for example B. insoluble anodes. Insofar as the chemical resistance of the protective basket material and the electrochemical process allow it, the walls themselves may assume the function of the anode or cathode.

Sind die Anoden in der üblichen Art beidseitig des Behandlungsgutes in der Nähe des Behälterrandes befestigt, kann der Schutzkorb außer der Schutzfunktion auch die Abblendung von elektrischen Feldlinien übernehmen. Hierzu sind die Bohrungen des Schutzkorbes zum Einleiten der Behandlungsflüssigkeit so verteilt, dass insbesondere in der Nähe der äußeren Ränder der Folien wesentlich weniger Bohrungen angebracht sind. Auf diese Weise wird die unerwünscht hohe Feldlinienkonzentration im Randbereich der Folien vermieden. Das Material des Korbes darf in diesem Fall zumindest an der Oberfläche keine elektrische Leitfähigkeit besitzen, da sonst die elektrischen Feldlinien nicht mehr in den Korb zum Behandlungsgut gelangen können.are the anodes in the usual Type attached on both sides of the material to be treated in the vicinity of the container edge, can the protective cage except the protective function also take over the dimming of electric field lines. For this purpose, the holes of the protective basket for introducing the treatment liquid so distributed that, especially in the vicinity of the outer edges of the slides essential fewer holes are installed. In this way, the undesirably high Field line concentration avoided in the edge region of the films. The Material of the basket may in this case, at least on the surface no electric conductivity otherwise the electric field lines will no longer be in the basket can get to the material to be treated.

Anhand der Figuren wird die Erfindung näher erläutert. Die Behandlungsstationen (Behälter) aller Figuren sind zur besseren Darstellung mit teilweise aufgeschnittener Vorderwand gezeichnet.Based of the figures, the invention is explained in detail. The Treatment stations (containers) all figures are for better representation with partially cut open Drawn front wall.

1 zeigt eine Behälterreihe einer Galvanisieranlage in einer Seitenansicht mit stationären Schutzkörben und Vorratstank. 1 shows a row of containers of a galvanizing plant in a side view with stationary baskets and storage tank.

2 zeigt einen Behälter aus der Reihe der Behälter der 1 mit stationären Schutzkörben und einem direkt angebauten Vorratstank. 3 zeigt einen Behälter der Behälterreihe einer Galvanisieranlage mit einem, mittels stationärer Hubstation aushebbaren, Schutzkorb. 2 shows a container from the series of containers 1 with stationary baskets and a directly attached storage tank. 3 shows a container of the container row of a galvanizing plant with a liftable by stationary lifting station, protective cage.

4 zeigt eine Vorderansicht eines Behälters einer Galvanisieranlage mit einem, durch den Transportwagen aushebbaren, Schutzkorb. 4 shows a front view of a container of a galvanizing plant with a liftable by the trolley, protective cage.

In der 1 sind drei Behälter 3, 24 und ein Vorratsbehälter 7 in einer Seitenansicht dargestellt. Dabei erstreckt sich das Behandlungsgut 1, in diesem Falle dünne Leiterfolien, in die Tiefe des Figurenblattes hinein, ebenso der Warenträger 2, hier eine rechteckige Kupferschiene mit den Tragarmen 23, mittels der ein nicht dargestellter Transportwagen den Warenträger aufnimmt und zu den einzelnen Behandlungsstationen der Galvanisieranlage befördert. Das Behandlungsgut 1 ist mit einer Halterung 4 am Warenträger 2 befestigt. Der Behälter 24 hat keinen Schutzkorb. Die hier vorgesehene Behandlung findet in gasartiger Umgebung statt, so dass normalerweise kein Schutzkorb erforderlich ist. Sollten auch hier starke Strömungen, zum Beispiel eine Luftumwälzung mittels starker Ventilatoren, auftreten, so kann der Schutzkorb mit angepassten Öffnungen 6 auch hier angewandt werden. Im Behälter 3 ist ein fest eingebauter Schutzkorb 5 vorhanden, der sich ebenfalls in die Tiefe des Figurenblattes hinein erstreckt. Der Schutzkorb hat in mindestens einer Seitenwand Öffnungen 6, durch die die Behandlungsflüssigkeit in den Schutzkorb mit kontrollierter Geschwindigkeit einströmen kann. Im Behandlungszustand ist der Behälter 3 bis zum Badspiegel 21 mit Behandlungsflüssigkeit gefüllt.In the 1 are three containers 3 . 24 and a storage container 7 shown in a side view. The material to be treated extends 1 , in this case thin conductor foils, into the depth of the figure sheet, as well as the goods carrier 2 , here a rectangular copper rail with the support arms 23 , By means of a transport carriage, not shown, receives the goods carrier and transported to the individual treatment stations of the galvanizing. The material to be treated 1 is with a bracket 4 on the product carrier 2 attached. The container 24 has no protective cage. The treatment provided here takes place in gaseous environment, so that normally no protective cage is required. If strong currents occur here as well, for example air circulation by means of powerful fans, the protective cage can be equipped with adapted openings 6 also be applied here. In the container 3 is a permanently installed protective cage 5 present, which also extends into the depth of the figure sheet inside. The protective cage has openings in at least one side wall 6 through which the treatment liquid can flow into the protective cage at a controlled rate. In the treatment state is the container 3 to the bathroom mirror 21 filled with treatment liquid.

Soll der Behälter mit neuem zu behandelndem Behandlungsgut beschickt werden, befindet sich die Behandlungsflüssigkeit im Vorratsbehälter 7. Das Behandlungsgut wird vom Transportwagen zur Behandlungsstation gebracht und in den zu diesem Zeitpunkt leeren Behälter 3 eingesenkt. Danach wird über die Pumpe 8 die Behandlungsflüssigkeit vom Vorratsbehälter 7 über Verbindungsrohrleitungen 9 in den Behälter 3 gepumpt. Der Behälter 3 füllt sich mit Behandlungsflüssigkeit. Durch den dabei entstehenden Höhenunterschied des Flüssigkeitsspiegels innerhalb und außerhalb des Schutzkorbes wird dieser kontrolliert aufgefüllt. Die im Korb auftretende Fließgeschwindigkeit wird in Abhängigkeit von der Leistung der Pumpe und durch die Größe der Öffnungen 6 bestimmt. Sie liegt in der Praxis im Bereich von 0,01 bis max. 1 m/s. Während der Behandlung hat der Schutzkorb auch die Aufgabe stärkere Strömungen, wie sie z. B. durch Filterkreisläufe oder Rührwerke für die gleichmäßige Temperaturverteilung oder zur Dosierlösungsverteilung entstehen, vom Behandlungsgut fernzuhalten.If the container to be loaded with new treated to be treated, the treatment liquid is in the reservoir 7 , The material to be treated is brought by the trolley to the treatment station and in the empty at this time container 3 sunk. After that it will be over the pump 8th the treatment liquid from the reservoir 7 over connecting pipelines 9 in the container 3 pumped. The container 3 fills with treatment liquid. Due to the resulting height difference of the liquid level inside and outside of the protective basket, this is filled in a controlled manner. The flow rate occurring in the basket will depend on the power of the pump and the size of the openings 6 certainly. In practice, it is in the range of 0.01 to max. 1 m / s. During treatment, the protective cage also has the task of stronger currents, such as. B. caused by filter circuits or stirrers for the uniform temperature distribution or Dosierlösungsverteilung to keep away from the treated.

Nach der Behandlung wird der Warenträger mittels Hubwerk am Transportwagen wieder aus der Behandlungslösung ausgehoben und zur nachfolgenden Behandlung, in der Regel eine Spülstation gebracht. Gleichzeitig wird die Behandlungslösung durch Umschaltung von nicht dargestellten Ventilen, mit der Pumpe 8, oder durch einen Höhenunterschied zwischen Behandlungsstation und Vorratstank in den Vorratsbehälter zurückgefördert.After treatment, the goods carrier is lifted by means of hoist on the trolley again from the treatment solution and brought to the subsequent treatment, usually a rinsing station. At the same time the treatment solution by switching from valves, not shown, with the pump 8th , Or conveyed back by a height difference between the treatment station and storage tank in the reservoir.

Die 2 zeigt in gleicher Ansicht ebenfalls eine Behandlungsstation 10 mit stationärem Schutzkorb 5, bei dem der Vorratstank 25 direkt an die Behandlungsstation 10 angebaut ist. Die Flüssigkeitsmenge, die der Vorratstank 25 mindestens aufnehmen muss, kann kleiner sein als der Arbeitsbehälter 3 fasst, da für die erfindungsgemäße Funktion nicht der gesamte Inhalt des Arbeitsbehälters umgepumpt werden muss. Es genügt das Umpumpen bis zu einen Restbadspiegel, der knapp unterhalb der Unterkante des in die Behandlungsstation eingefahrenen Behandlungsgutes liegt.The 2 also shows a treatment station in the same view 10 with stationary protective cage 5 in which the storage tank 25 directly to the treatment station 10 is grown. The amount of liquid that the storage tank 25 at least can be smaller than the work container 3 sums up, since for the function according to the invention not the entire contents of the working container must be pumped. It is sufficient to pump over to a residual bath level, which is just below the lower edge of the retracted into the treatment station material.

Die 3 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der ein Schutzkorb 5 einer Behandlungsstation 10 zugeordnet ist. Die Station ist mit einer nicht dargestellten Hubvorrichtung ausgestattet, die den Schutzkorb in Richtung des Pfeils 26 senkrecht auf und ab bewegen kann. Der Hub- und Senkweg entspricht etwa der Hub- und Senkbewegung des Warenträgers 2 mit dem Behandlungsgut 1. Der Warenträger wird in oberer Stellung mit dem Transportwagen herangebracht. Danach fährt der leere Schutzkorb 5 in die obere Stellung und nimmt dabei das Behandlungsgut in sich auf. Dann fährt der Schutzkorb 5 langsam und synchron mit dem Behandlungsgut in den Behälter 3 hinein, bis das vorgesehene Behandlungsniveau erreicht ist. Zum Entnehmen des Behandlungsgutes verbleibt der Schutzkorb in unterer Stellung und nur der Warenträger mit dem daran befestigtem Behandlungsgut fährt mittels des Hubwerkes des Transportwagens aus der Station aus.The 3 shows a device according to the invention, in which a protective cage 5 a treatment station 10 assigned. The station is equipped with a lifting device, not shown, the protective cage in the direction of the arrow 26 can move vertically up and down. The lifting and lowering path corresponds approximately to the lifting and lowering movement of the goods carrier 2 with the material to be treated 1 , The goods carrier is brought in the upper position with the trolley. Then the empty protective cage moves 5 in the upper position and takes the material to be treated in it. Then the protective cage moves 5 slowly and synchronously with the material to be treated in the container 3 into it until the intended treatment level is reached. To remove the material to be treated the protective cage remains in the lower position and only the goods carrier with the attached material to be treated moves out of the station by means of the hoist of the trolley.

Die 4 zeigt die Vorrichtung gegenüber den bisherigen Figuren in einer um 90° horizontal gedrehten Ansicht von vorne, das heißt von der Beschickungsseite der Galvanisieranlage aus gesehen. In dieser Ausführung ist der Schutzkorb 5 mit Einweisungen 11 an beiden Seiten ausgestattet, die in abgesenktem Zustand auf den Auflagen 12 am Behälterrand der Behandlungsstation aufliegen und damit den Schutzkorb tragen. Ferner sind am Schutzkorb 5 Tragarme 17 angebracht, mit denen ein nur in Fragmenten dargestellter Transportwagen über die Aufnahmearme 18 und die Zugeinrichtung 20 den Schutzkorb 5 senkrecht anheben kann. Der Transportwagen hat zwei Hubwerke, eines für den Warenträger und ein zweites für den Schutzkorb. Die Teile der Hubwerke (Aufrollspindel, Hub-Getriebemotor, Führungen für den Schutzkorb usw.) sind in der 4 nicht dargestellt. Das Behandlungsgut 1 ist am Warenträger 2 nebeneinander mittels der Halterungen 4 befestigt. Der Warenträger 2 hat Tragarme 23 an denen das Warenträger-Hubwerk den Warenträger 2 mittels der Aufnahmearme 22 ergreift und heben/senken kann. Zur Ablage dienen am Warenträger die Einweisungen 13 und auf dem Schutzkorbträger die Auflagen 14. Der Transportwagen fährt das Behandlungsgut zur Behandlungsstation 10 in angehobener Lage. Danach hebt das mit seinen Aufnahmearmen 18 unter die Tragarme 17 gefahrene Schutzkorb-Hubwerk den Schutzkorb mittels Zugeinrichtung 20 hoch, bis sich das Behandlungsgut vollständig in diesem befindet. Der Hubbalken des Behandlungsgut-Hubwerkes hat die Bezugsziffer 15 und der des Schutzkorb-Hubwerkes die Bezugsziffer 16. Die Bezugsziffer 19 kennzeichnet die Zugeinrichtung für das Behandlungsgut. Beim Anheben des Schutzkorbes 5 läuft die darin befindliche Behandlungsflüssigkeit durch die Öffnungen 6 aus dem Schutzkorb aus und in den Behälter 3 zurück. Zum schnellen Entleeren der Flüssigkeit aus dem Schutzkorb 5 können im Boden des Schutzkorbes zu sätzliche großflächige Entleerungsschieber oder Klappen 27 angebracht sein, die beim Anheben zum Beispiel durch die Hubbewegung über ein Hebelgestänge oder durch Schwimmer automatisch geöffnet und durch die Senkbewegung automatisch wieder geschlossen werden können. Der Bewegungsmechanismus der Klappen ist in den Figuren nicht dargestellt.The 4 shows the device over the previous figures in a rotated by 90 ° horizontally view from the front, that is seen from the feed side of the galvanizing from. In this version, the protective cage 5 with admissions 11 equipped on both sides, in the lowered state on the pads 12 resting on the container edge of the treatment station and thus carry the protective cage. Furthermore, on the protective cage 5 carrying arms 17 attached, with which a transport carriage shown only in fragments on the receiving arms 18 and the drawbar 20 the protective basket 5 can lift vertically. The trolley has two hoists, one for the goods carrier and a second for the protective cage. The parts of the hoists (reel spindle, lifting gear motor, guides for the protective cage, etc.) are in the 4 not shown. The material to be treated 1 is at the goods carrier 2 next to each other by means of the brackets 4 attached. The goods carrier 2 has support arms 23 where the goods carrier hoist the goods carrier 2 by means of the pickup arms 22 can grab and lift / lower. For storage serve on the goods carrier the instructions 13 and on the basket holder the pads 14 , The trolley moves the material to be treated to the treatment station 10 in a raised position. After that, that lifts with his pickup arms 18 under the support arms 17 driven protective cage hoist the protective cage by means of pulling device 20 high until the material is completely in this. The lifting beam of the material handling hoist has the reference number 15 and that of the protective cage hoist the reference numeral 16 , The reference number 19 identifies the pulling device for the material to be treated. When lifting the protective basket 5 the treatment liquid contained therein passes through the openings 6 out of the protective cage and into the container 3 back. For quick emptying of the liquid from the protective cage 5 can in the bottom of the protective cage to additional large-scale drain valves or flaps 27 be attached, which can be opened automatically when lifting, for example by the lifting movement via a lever linkage or by floats and automatically closed again by the lowering movement. The movement mechanism of the flaps is not shown in the figures.

Nachdem der Schutzkorb leer ist und die obere Position erreicht hat, senkt der Transportwagen mittels des Behandlungsgut-Hubwerkes 15 und des Schutzkorb-Hubwerkes 16 gleichzeitig den Schutzkorb und den Warenträger langsam und synchron, d. h. mit gleicher Geschwindigkeit, in die Behandlungsstation ein. Durch die Verdrängung der im Behälter 3 befindlichen Behandlungsflüssigkeit steigt der Badspiegel außerhalb des Schutzkorbes an und die Flüssigkeit strömt entsprechend der Auslegung der Öffnungen 6 mit mäßiger Geschwindigkeit in den Schutzkorb ein.After the protective cage is empty and has reached the upper position, the trolley lowers by means of the handling hoist 15 and the protective cage hoist 16 at the same time the protective cage and the goods carrier slowly and synchronously, ie at the same speed, in the treatment station. By the displacement of the container 3 located treatment liquid, the bath level rises outside of the protective basket and the liquid flows according to the design of the openings 6 at moderate speed into the protective cage.

Selbstverständlich können verschiedene Ausführungsformen der Erfindung in einer Galvanisieranlage miteinander kombiniert werden.Of course, various embodiments of the invention combined in a galvanizing plant become.

11: Behandlungsguttreated
22: Warenträgergoods carriers
33: Behälter für die Behandlung in Flüssigkeit (Arbeitsbehälter)Container for the treatment in liquid (Process container)
44: Halterung für das Behandlungsgut am Warenträgerbracket for the Material to be treated on the product carrier
55: Schutzkorbprotective cage
66: Öffnungen zu Ein- und Austritt der Behandlungsflüssigkeitopenings to inlet and outlet of the treatment liquid
77: Vorratsbehälterreservoir
88th: Pumpepump
99: Verbindungsleitung vom Vorratstank zum Behälterconnecting line from the storage tank to the container
1010: Behandlungsstationtreatment station
1111: Einweisungen am Schutzkorbadmissions at the protective cage
1212: Auflagen an der Behandlungsstationpads at the treatment station
1313: Einweisungen am Warenträgeradmissions on the goods carrier
1414: Auflagen am Schutzkorb-Trägerpads on the protective cage carrier
1515: Hubbalken am Behandlungsgut-Hubwerk des Transportwagenswalking beam on the material handling hoist of the trolley
1616: Hubbalken am Schutzkorb-Hubwerk des Transportwagenswalking beam on the protective cage hoist of the trolley
1717: Tragarme am Schutzkorb-Trägercarrying arms on the protective cage carrier
1818: Aufnahmearme des Schutzkorb-Hubbalkensup arms of the protective cage lifting beam
1919: Zugeinrichtung des Behandlungsgut-Hubwerkesdrawbar of the material handling hoist
2020: Zugeinrichtung des Schutzkorb-Hubwerkesdrawbar of the protective cage hoist
2121: BadspiegelBathroom mirror
2222: Aufnahmearme des Behandlungsgut-Hubbalkensup arms of the treatment material lifting beam
2323: Tragarme am Warenträgercarrying arms on the goods carrier
2424: Behälter zur Trocken-BehandlungContainer for Dry processing
2525: Anbau-VorratstankAdd-on storage tank
2626: Bewegungsrichtung des Schutzkorbes und des Warenträgersmovement direction the protective basket and the goods carrier
2727: Entleerungsklappendrop door

Claims

Process for the wet chemical or electrochemical treatment of flat, flexible material to be treated in galvanizing or etching plants, in which the material to be treated is fastened vertically to goods carriers and the goods carriers are conveyed by means of horizontal travel movements and vertical lifting and lowering movements into the individual treatment stations of the installation, characterized assigned to the bath, which receives the treatment liquid, at least one protective basket is present, in which the material to be treated is introduced in an empty state and means are provided which allow the filling of the protective basket with treatment liquid after the introduction of the material to be treated in the protective cage such that Material to be treated thereby does not substantially change its shape and / or position.

Method according to claim 1, characterized in that that means for filling the treatment liquid in the protective cage at least one opening in at least one Wall of the protective cage are and that an existing level difference the treatment liquid inside and outside of the protective basket, the filling process causes.

Method according to claims 1 and 2, characterized in that through the openings ( 6 ) in the form of holes in the walls of the protective cage, which are preferably evenly distributed in the two side walls of the protective cage, which run parallel to the item to be treated, the treatment liquid flows into the protective cage.

Method according to claims 1 to 3, characterized in that through openings ( 27 . 6 ) in the bottom of the protective basket, the treatment liquid flows in and out.

Method according to Claims 1 to 4, characterized that the passage area the openings to inflow the treatment liquid changeable in the protective basket and adaptable to the mechanical sensitivity of the material to be treated is.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that for rapid emptying of the protective cage, an emptying flap ( 27 ) is opened.

A method according to claim 1, characterized in that the required level difference for filling the treatment liquid in the protective cage is generated by at least one pump via a connecting pipe, the treatment liquid from a reservoir ( 7 ) in the bath container ( 3 ) outside the protective cage, from where it passes through the at least one opening ( 6 ) of the protective cage flows by gravity into the protective cage.

A method according to claim 1, characterized in that the level difference for filling the treatment liquid in the protective basket by a uniform lowering movement of the protective basket with the material to be treated in the bath container ( 3 ) is generated by displacement of the liquid, so that the treatment liquid flows through the at least one opening of the protective basket by gravity into the protective cage.

Method according to at least one of the preceding Claims, characterized in that the lowering movement of the protective basket a stationary, at the treatment station existing hoist is generated and that while resting on the protective cage or its supporting structure goods carriers is lowered together with the material to be treated.

Method according to at least one of the preceding Claims, characterized in that the lowering movement of the protective basket a mounted on the trolley separate hoist is generated and that while the hanging on the dolly treated with the assigned hoist lowered synchronously with the movement of the protective basket becomes.

Method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the openings ( 6 ) in the walls of the protective cage ( 5 ) are missing in the edge area, or are used with smaller diameters and / or in smaller numbers, for dimming the electric field lines.

Apparatus for wet-chemical or electrochemical treatment of flat flexible material to be treated in galvanizing or etching plants, in which the material to be treated is fastened vertically to goods carriers and the product carriers are conveyed by means of horizontal travel movements and vertical lifting and lowering movements into the individual treatment stations of the installation, characterized by a protective cage ( 5 ), which is associated with the treatment bath which receives the treatment liquid, with at least one opening in a wall of the protective basket, through which treatment liquid can be filled into the protective cage, and by a means for creating a level difference of the treatment liquid inside and outside the basket during the process filling.

Apparatus according to claim 12, characterized in that the openings in the protective cage for the inflow of the treatment liquid are bores in the walls of the protective cage, the front preferably evenly ver shares in the 2 side walls / and or 2 end walls and / or mounted in the bottom of the protective basket.

Apparatus according to claim 12 and 13, characterized in that the openings ( 6 ) in the protective cage ( 5 ) for the inflow of the treatment liquid each have a liquid passage area of 1 square millimeter up to 500 square millimeters.

Device according to at least one of the preceding claims 12 to 14, characterized in that displaceable at least on a guard basket wall Apertures to change the opening surface attached are.

Device according to at least one of the preceding claims 12-15, characterized in that in the bottom of the protective cage ( 5 ) an emptying flap ( 27 ) is provided.

Device according to at least one of the preceding claims 12 16, characterized in that the means for generating the Level difference inside and outside of the protective basket from a reservoir with pump and connecting Pipelines exist, with the help of the treatment liquid in the treatment tank outside of the protective basket is pumpable.

Device according to at least one of the preceding claims 12-17, characterized in that the means for producing the level difference inside and outside the protective cage ( 5 ), during the filling process from one of the treatment container ( 3 ) mounted stationary lifting device with which the protective cage and the material to be treated is simultaneously lowered into the treatment liquid of the treatment container.

Device according to at least one of the preceding claims 12-18, characterized in that the means for producing the level difference inside and outside the protective cage ( 5 ) consists of an additional hoist attached to the trolley, with which the protective cage ( 5 ) is countersunk into the treatment container synchronously with the material to be treated.

Device according to at least one of the preceding claims 12-19, characterized in that the holes in the walls of the Protection baskets in the edge zone are missing, or with smaller diameters and / or in lesser numbers are present in relation to the Counter electrode to achieve a dazzling effect.