DE10224817A1

DE10224817A1 - Method and device for the vertical immersion of film-like material to be treated in baths of electroplating and etching systems

Info

Publication number: DE10224817A1
Application number: DE10224817A
Authority: DE
Inventors: Britta Scheller; Orlando Wex
Original assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Current assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Priority date: 2002-06-05
Filing date: 2002-06-05
Publication date: 2003-12-24
Anticipated expiration: 2022-06-06
Also published as: JP2005529243A; CN1650679A; BR0308809A; DE10224817B4; EP1510111A1; WO2003105546A1; KR20050008772A; TW200403014A; AU2003240725A1; US20050224357A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum nasschemischen oder elektrolytischen Behandeln von flachem biegsamen Behandlungsgut, wie zum Beispiel Leiterfolien in vertikalen Galvanisierunganlagen, bei denen das Behandlungsgut vertikal an Trägern befestigt wird und mittels Transportsystemen zu den einzelnen Behandlungsstationen gefahren, vertikal in die einzelnen Bäder eingesenkt und nach der Behandlung wieder ausgehoben wird. DOLLAR A Es wird vorgeschlagen, dem Behandlungsbad zugeordnet, einen Schutzkorb mit Öffnungen vorzusehen, in den das Behandlungsgut in flüssigkeitslosem Zustand eingebracht wird. Es sind Mittel vorhanden, die ein langsames Einströmen der Flüssigkeit in den Schutzkorb sicherstellen, nachdem das Behandlungsgut in den Schutzkorb eingebracht wurde. Dadurch wird ein Auslenken oder Beschädigen des mechanisch empfindlichen Behandlungsgutes beim Einsenken in das Tauchbad vermieden.The invention relates to a method and a device for the wet chemical or electrolytic treatment of flat, flexible material to be treated, such as, for example, conductor foils in vertical electroplating systems, in which the material to be treated is fastened vertically to supports and driven by means of transport systems to the individual treatment stations, vertically sunk into the individual baths and is lifted again after the treatment. DOLLAR A It is proposed that the treatment bath be assigned a protective basket with openings into which the material to be treated is introduced in a liquid-free state. Means are available which ensure that the liquid flows slowly into the protective basket after the material to be treated has been introduced into the protective basket. This prevents deflection or damage to the mechanically sensitive material to be treated when it is immersed in the immersion bath.

Description

Die Vorrichtung und das Verfahren betreffen das vertikale Eintauchen von Behandlungsgut bei chemischen oder elektrolytischen Prozessen. Hierzu zählt das Reinigen, Aktivieren, Galvanisieren und Nachbehandeln von besonders dünnen Leiterfolien. Bei einem Behandlungsgut, das im Inneren aus einem elektrisch nicht leitfähigen Werkstoff besteht, werden in mehreren Behandlungsschritten ein Leiterbahnmuster und Durchkontaktierungslöcher erzeugt. Die Dicke der Folien beträgt bei speziellen Anwendungen nur noch 30-50 µm und ist gegen mechanische Belastungen hochempfindlich. Oft ist die Oberfläche weich und der Transport kann nicht zwischen Walzen erfolgen. In diesem Falle erfolgt die Behandlung in vertikalen Galvanisieranlagen. Die Leiterfolien werden hierzu am äußeren Rand mittels Klemmen oder Schrauben an einem Warenträger befestigt. In der Regel sind an einem Warenträger mehrere Folien in Reihe nebeneinander und manchmal auch untereinander angeordnet. In der Druckschrift DE 36 12 220 C2 ist eine derartige Klammer für Tauchbadanlagen beschrieben. Zum elektrolytischen Aufbringen der Leitschicht wird die Leiterfolie über die Klemmen und den Warenträger mit dem Minuspol der Stromquelle verbunden. Die Gegenelektrode, hier eine Anode, ist dementsprechend mit dem Pluspol elektrisch leitend verbunden. Beim elektrolytischen Ätzen sind die Polaritäten vertauscht. Das Behandlungsgut ist dann anodisch gepolt. The device and the method relate to the vertical immersion of Material to be treated in chemical or electrolytic processes. This includes that Cleaning, activating, electroplating and post-treatment of particularly thin ones Conductor foils. In the case of a material to be treated that is made up of an electrical component inside non-conductive material consists of several treatment steps creates a trace pattern and via holes. The thickness of the Foil is only 30-50 µm in special applications and is against mechanical loads highly sensitive. The surface is often soft and the transport cannot take place between rollers. In this case the Treatment in vertical electroplating plants. The conductor foils will be on outer edge by means of clamps or screws on a product carrier attached. There are usually several foils in a row on a product carrier arranged side by side and sometimes also one below the other. In the publication DE 36 12 220 C2 Such a clamp is described for immersion bath systems. For the electrolytic application of the conductive layer, the conductive foil is placed over the Clamps and the goods carrier connected to the negative pole of the power source. The counter electrode, here an anode, is accordingly with the positive pole electrically connected. In electrolytic etching, the polarities are reversed. The material to be treated is then anodically poled.

Zur Behandlung wird das an den Warenträgern derart befestigte Behandlungsgut mittels Transportwagen von Tauchbad zu Tauchbad transportiert und in das jeweiligen Bad eingesenkt und nach der Behandlung wieder ausgehoben. For treatment, it is attached to the product carriers in this way Treated goods are transported from immersion bath to immersion bath by means of transport carts and into the each bath sunk in and lifted again after the treatment.

Um das dünne Behandlungsgut in die Behandlungsbäder, die mit einer wässrigen Flüssigkeit gefüllt sind, einzubringen, ist eine gewisse Steifigkeit und eine möglichst ebene Oberfläche erforderlich. Ist dies nicht gegeben, werden die Folien beim Einsenken in die Flüssigkeit in horizontaler Richtung abgelenkt und stoßen gegen den Behälterrand oder in der Nähe befindliche Einbauteile wie Anoden, Heizungseinrichtungen, Kühlungen, Sensoren und dergleichen. Dabei besteht die Gefahr der Beschädigung dieser empfindlichen Folien bis hin zum Kurzschluss, wenn es sich um ein elektrolytisches Bad handelt. Der Grund liegt in der mangelhaften Führung des Behandlungsgutes durch die Klammern oder Gestelle, oder in der fehlenden Steifigkeit des Materials. In der Badflüssigkeit vorhandene Strömungen durch Umwälzpumpen, Lufteinblasung und dergleichen können die Folien ebenfalls auslenken. Ein herkömmliches Eintauchen wie bei bisher vorhandenem dickeren Behandlungsgut ist nicht mehr möglich. To transfer the thin material to be treated into the treatment baths with a watery liquid is a certain stiffness and a as flat a surface as possible is required. If this is not the case, the Films are deflected in the horizontal direction when sinking into the liquid and bump against the edge of the container or nearby installation parts such as Anodes, heating devices, cooling, sensors and the like. there there is a risk of damaging these sensitive foils up to Short circuit if it is an electrolytic bath. The reason is in the poor management of the material to be treated by the clips or Frames, or in the lack of rigidity of the material. In the bath liquid existing flows through circulation pumps, air injection and The like can also deflect the films. A conventional immersion as with the thicker material to be treated, it is no longer possible.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, welche die Beschädigungen des Behandlungsgutes während des Einsenkens sicher vermeiden. The object of the invention is a method and an apparatus To provide the damage to the material to be treated during Avoid sinking safely.

Ein derartiges Verfahren ist in Anspruch 1 und die zugehörige Vorrichtung in Anspruch 12 beschrieben. Spezielle Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben. Such a method is in claim 1 and the associated device in Claim 12 described. Special embodiments of the invention are in described the subclaims.

Das Einsenken des Warenträgers in die Behandlungsbäder erfolgt dabei erfindungsgemäß nicht in die Flüssigkeit, sondern in einen Schutzkorb der zum Zeitpunkt des Einsenkens nicht mit Behandlungsflüssigkeit gefüllt ist. Der Schutzkorb besteht aus einem für die verwendeten Chemikalien und vorgesehenen Badtemperaturen geeignetem Material, wie zum Beispiel Kunststoff oder Metall. Im Boden und/ oder in den Seitenwänden sind Öffnungen zum Einleiten der Behandlungsflüssigkeit mittels Schwerkraft vorgesehen. Die Öffnungen sind so bemessen, dass die Behandlungsflüssigkeit langsam einströmt und das empfindliche Behandlungsgut nicht wegdrückt oder verbiegt. Vorzugsweise sind die Öffnungen über die Flächen gleichmäßig verteilt und haben jeweils eine Durchtrittsfläche von 1 Quadratmillimeter bis 500 Quadratmillimeter. Um die besondere Beschaffenheit, wie zum Beispiel der Oberflächenspannung der verwendeten Badflüssigkeiten oder die Empfindlichkeit des Behandlungsgutes zu berücksichtigen, können die Öffnungen in den Schutzkörben der einzelnen Behandlungsstationen unterschiedlich gefertigt oder einstellbar sein. Das Einstellen kann über verschiebbare Blenden oder Lochplatten geschehen, die in der Lage sind, die Öffnungen im Schutzkorb teilweise abzudecken. Dadurch kann bei sonst gleichen Gegebenheiten mehr oder weniger Flüssigkeit durchtreten. Durch Verschieben der Blende oder Lochplatte werden die Öffnungen im Schutzkorb teilweise verschlossen und der Zufluss pro Zeiteinheit verringert. Die Behandlungsflüssigkeit wird in den Schutzkorb durch das Gefälle, das durch unterschiedliche Badspiegel innerhalb und außerhalb des Schutzkorbes erzeugt wird, eingeleitet. Dieses Gefälle wird durch die Verdrängung der Flüssigkeit beim Einsenken des Schutzkorbes in den Behandlungsbehälter erzeugt. Bei stationärem Korb wird das Gefälle mit einer Pumpe erzeugt, die die Behandlungsflüssigkeit von einem Vorratstank in den Behandlungsbehälter über entsprechende Rohrleitungen fördert. Die Behandlungsflüssigkeit wird in diesem Falle vor dem Einsenken des Warenträgers in einem separaten Vorratstank gehalten und nach dem vollständigen Einsenken des Warenträgers in den Arbeitsbehälter außerhalb des Schutzkorbes gepumpt. Der Vorratstank kann separat neben dem Arbeitsbehälter aufgestellt sein, oder durch ein abgetrenntes Seitenabteil im oder am Behandlungsbehälter gebildet werden. Einrichtungen zur Aufbereitung der Behandlungsflüssigkeit wie z. B. Rührwerke, Heizungen, Kühlungen oder dergleichen können in den Vorratstank eingebaut sein. Ist die chemische oder elektrochemische Behandlung beendet, wird der Warenträger mit dem Behandlungsgut aus dem Behälter ausgehoben und gleichzeitig kann die Behandlungsflüssigkeit wieder in den Vorratstank zurückgepumpt werden. The product carrier is lowered into the treatment baths According to the invention not in the liquid, but in a protective basket for Is not filled with treatment liquid at the time of sinking. The Protective cage consists of a for the chemicals used and provided bath temperatures suitable material, such as plastic or Metal. There are openings in the floor and / or in the side walls for introduction the treatment liquid provided by gravity. The openings are dimensioned so that the treatment liquid flows in slowly and that does not push or bend sensitive items to be treated. Are preferred the openings are evenly distributed over the surfaces and each have one Passage area from 1 square millimeter to 500 square millimeters. To the special condition, such as the surface tension of the used bath fluids or the sensitivity of the material to be treated to take into account, the openings in the protective baskets of each Treatment stations can be manufactured differently or be adjustable. The Adjustment can be done via sliding panels or perforated plates that are in are able to partially cover the openings in the protective cage. Thereby can have more or less liquid under otherwise identical conditions pass. By moving the panel or perforated plate, the openings in the Protective cage partially closed and the inflow per unit of time reduced. The treatment liquid is in the protective cage by the slope that due to different bathroom mirrors inside and outside the protective cage is generated. This gradient is caused by the displacement of the Liquid is generated when the protective cage is lowered into the treatment tank. In the case of a stationary basket, the gradient is generated with a pump that Treatment liquid from a storage tank into the treatment tank promotes appropriate pipelines. The treatment liquid is in In this case, before sinking the product carrier in a separate Storage tank held and after the product carrier has been completely sunk into the Work container pumped outside the protective cage. The storage tank can be placed separately next to the working container, or by a separate side compartment are formed in or on the treatment tank. Devices for processing the treatment liquid such. B. agitators, Heaters, coolers or the like can be installed in the storage tank. is the chemical or electrochemical treatment is ended, the Goods carrier with the items to be treated are lifted out of the container and at the same time the treatment liquid can be pumped back into the storage tank become.

In einer weiteren Ausführungsform ist der Schutzkorb mit einem stationären Hubwerk versehen. Vor dem Einsenken des Warenträgers fährt der Schutzkorb in eine oberer Stellung. In dieser Position ist der Schutzkorb so weit aus dem Behandlungsbehälter ausgehoben und dabei die Behandlungsflüssigkeit ausgelaufen, dass das Behandlungsgut nicht in die Behandlungsflüssigkeit eintaucht. Zum schnelleren Auslaufen der Behandlungsflüssigkeit während des Aushebens können am Boden des Schutzkorbs zusätzliche Auslaufklappen vorhanden sein, die nach dem Auslaufen der Flüssigkeit wieder geschlossen werden. Danach wird der Schutzkorb und das Behandlungsgut synchron in den Arbeitsbehälter eingesenkt. Dabei wird die im Behandlungsbehälter vorhandene Flüssigkeit verdrängt und der Flüssigkeitspegel steigt an. Dadurch strömt die Behandlungsflüssigkeit durch die vorgesehenen Öffnungen gleichmäßig in den Schutzkorb ein, ohne das Behandlungsgut zu beschädigen. Die Flüssigkeitsdurchtrittsfläche der Öffnungen muss dabei an die Senkgeschwindigkeit der Hubeinrichtung angepasst sein, damit die Flüssigkeit langsam einströmt. Die Entnahme des Behandlungsgutes kann nach der Behandlung, wie bei derartigen Anlagen üblich, direkt mittels eines Transportwagen-Hubwerkes erfolgen. Danach erfolgt der Transport mittels Fahrbewegung des Transportwagens zur nächsten Behandlungsstation. Der Schutzkorb verbleibt in unterer Stellung an der Behandlungsstation bis das nächste Behandlungsgut über der Behandlungsstation bereitsteht, um die Fahrbewegungen des Transportwagens nicht zu behindern. In a further embodiment, the protective cage is stationary Provide hoist. The protective basket moves before the product carrier is lowered in an upper position. In this position the protective cage is so far out of the way Treatment tank excavated and the treatment liquid leaked that the material to be treated is not in the treatment liquid dips. For a faster leakage of the treatment liquid during the Additional outlet flaps can be lifted out at the bottom of the protective cage be present, which closed again after the liquid runs out become. The protective cage and the material to be treated are then synchronized into the Work container sunk. The existing in the treatment tank Liquid displaces and the liquid level rises. This flows through Treatment liquid evenly through the openings provided Protective basket without damaging the items to be treated. The Liquid passage area of the openings must match the lowering speed of the Be adjusted lifting device so that the liquid slowly flows in. The Removal of the material to be treated can be carried out after treatment, as with such systems are usually done directly by means of a dolly hoist. Then the transport takes place by means of the movement of the transport carriage next treatment station. The protective cage remains in the lower position the treatment station until the next item to be treated above the Treatment station is ready to stop the movement of the trolley to hinder.

In einer besonderen Ausführungsform der Erfindung kann das normalerweise an den Transportwagen angebrachte Behandlungsgut-Hubwerk ersetzt werden. In diesem Fall ist an jeder Behandlungsstation ein Hubwerk erforderlich. Der ankommende Transportwagen nimmt den Warenträger auf, nachdem das Hubwerk diesen aus der Station ausgehoben und in die obere Stellung gebracht hat. Der Schutzkorb senkt ab und danach kann der nunmehr frei hängende Warenträger zur nächsten Behandlungsstation gefahren werden. Hier fährt der dortige Schutzkorb hoch und übernimmt den Warenträger und senkt diesen in das Behandlungsbad ab. Der Transportwagen kann danach zur nächsten Arbeitsstation verfahren. In a particular embodiment of the invention, this can normally be done treatment goods hoist attached to the transport trolley can be replaced. In this case, a hoist is required at each treatment station. The arriving trolley picks up the goods carrier after the Hoist lifted this out of the station and brought into the upper position Has. The protective cage lowers and then the hanging one can hang freely Goods carriers are moved to the next treatment station. Here is the the protective cage up there and takes over the product carrier and lowers it the treatment bath. The trolley can then go to the next one Move work station.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Schutzkorb am Warenträger montiert und hat für den Be- und Entladevorgang des Behandlungsgutes an der Beschickungs- und Endladestation an der Vorderseite Türen. In dieser Ausführung wird der Warenträger mit dem Schutzkorb zur jeweiligen Behandlungsstation gebracht und dort langsam in das Bad eingesenkt. Während des Einsenkvorganges strömt die Behandlungsflüssigkeit in den Schutzkorb von den Seiten gleichmäßig ein, ohne die Folien zu verformen. In a further embodiment of the invention, the protective cage is on Goods carrier mounted and has for the loading and unloading process of the material to be treated Doors at the loading and unloading station on the front. In this Execution is the product carrier with the protective basket to the respective Brought treatment station and slowly sunk there into the bath. During the The treatment liquid flows into the protective basket the sides evenly without deforming the foils.

Bei dieser Ausführungsform ist der apparative Aufwand sehr gering, aber andererseits ist die Verschleppung von Behandlungsflüssigkeit durch Mitnahme von Flüssigkeitsresten an den Wänden und Öffnungen des Schutzkorbes von einem Bad zum nächsten deutlich höher. In this embodiment, the expenditure on equipment is very low, however on the other hand, the carryover of treatment liquid by taking along Liquid residues on the walls and openings of the protective cage from one Bad to the next much higher.

Eine besonders vorteilhafte Ausführung besteht deshalb darin, den Schutzkorb mittels Transportwagen einzusenken und auszuheben. Zu diesem Zweck ist der Transportwagen, der die Warenträger von Bad zu Bad transportiert, mit einem separaten Hubwerk für den Schutzkorb ausgestattet. Der Schutzkorb ist vor der Beschickung des naßchemischen Bades in der jeweiligen Behandlungsstation abgelegt. Der Transportwagen kommt wie bei Tauchbad-Anlagen dieser Art üblich, mit der zu behandelnden Ware in gehobenen Zustand an der Behandlungsstation an. Anstatt den Warenträger in die Behandlungsstation sofort abzusenken, wird erfindungsgemäß zunächst mit dem Schutzkorb-Hubwerk der Schutzkorb soweit angehoben, dass das Behandlungsgut sich danach im Schutzkorb befindet. Dann wird der Warenträger und der Schutzkorb mit gleicher Geschwindigkeit langsam in die Flüssigkeit der Behandlungsstation eingesenkt. Damit strömt während des Einsenkens die Behandlungsflüssigkeit gleichmäßig in den Schutzkorb mit den darin befindlichen empfindlichen Leiterfolien, ohne diese auszulenken oder zu verformen. Beim Ausheben wird dann nur der Warenträger mit dem Behandlungsgut-Hubwerk angehoben. Das Schutzkorb-Hubwerk verbleibt in unterer Stellung und der Transportwagen fährt zu nächsten Station. Durch diese Ausführungsform ist an der Behandlungsstation kein eigenes ortsfestes Hubwerk für den Schutzkorb erforderlich und die notwendige Raumhöhe entspricht nahezu dem Bedarf bei einer herkömmlicher Anlage. A particularly advantageous embodiment is therefore the protective cage to sink and lift using a transport trolley. For this purpose the Transport trolley that transports the goods carriers from bath to bath with one separate hoist for the protective cage. The protective cage is in front of the Feeding the wet chemical bath in the respective treatment station stored. The transport trolley comes as with immersion bath systems of this type usual, with the goods to be treated in high condition on the Treatment station. Instead of the goods carrier in the treatment station immediately lowering, is first according to the invention with the protective hoist Protective basket raised so far that the material to be treated then Protective cage is located. Then the product carrier and the protective basket come with slowly into the liquid of the treatment station at the same speed sunk. The treatment liquid thus flows during the sinking evenly into the protective basket with the sensitive ones inside Conductor foils without deflecting or deforming them. Then when lifting only the goods carrier with the material to be lifted. The Protective cage hoist remains in the lower position and the trolley moves to the next station. This embodiment is the Treatment station does not require its own fixed hoist for the protective cage and the required room height almost corresponds to the need for a conventional one Investment.

Handelt es sich bei dem Bad um ein Galvanisier- oder elektrochemisches Ätzbad so können die für das Bilden der elektrolytischen Zelle benötigten Anoden für das Galvanisieren bzw. Kathoden für das Ätzen an den Wänden des Schutzkorbes befestigt sein, besonders wenn es sich um z. B. unlösliche Anoden handelt. Soweit die chemische Beständigkeit des Schutzkorbmaterials und das elektrochemische Verfahren dies zulassen, können die Wände selbst die Funktion der Anode bzw. Kathode übernehmen. Is the bath a galvanizing or electrochemical one? Etching bath so the anodes needed for forming the electrolytic cell for electroplating or cathodes for etching on the walls of the Protective cage be attached, especially if it is z. B. insoluble Anodes. As far as the chemical resistance of the protective cage material and the electrochemical process allow this, the walls themselves can Take over the function of the anode or cathode.

Sind die Anoden in der üblichen Art beidseitig des Behandlungsgutes in der Nähe des Behälterrandes befestigt, kann der Schutzkorb außer der Schutzfunktion auch die Abblendung von elektrischen Feldlinien übernehmen. Hierzu sind die Bohrungen des Schutzkorbes zum Einleiten der Behandlungsflüssigkeit so verteilt, dass insbesondere in der Nähe der äußeren Ränder der Folien wesentlich weniger Bohrungen angebracht sind. Auf diese Weise wird die unerwünscht hohe Feldlinienkonzentration im Randbereich der Folien vermieden. Das Material des Korbes darf in diesem Fall zumindest an der Oberfläche keine elektrische Leitfähigkeit besitzen, da sonst die elektrischen Feldlinien nicht mehr in den Korb zum Behandlungsgut gelangen können. Are the anodes in the usual way on both sides of the material to be treated Attached near the edge of the container, the protective cage can be placed outside the Protection function also take over the dimming of electrical field lines. For this are the holes in the protective cage for introducing the treatment liquid so distributed that especially near the outer edges of the foils significantly fewer holes are drilled. In this way the undesirable high field line concentration in the edge area of the foils avoided. In this case, the material of the basket must at least not be on the surface have electrical conductivity, otherwise the electrical field lines will not can get more into the basket to be treated.

Anhand der Figuren wird die Erfindung näher erläutert. Die Behandlungsstationen (Behälter) aller Figuren sind zur besseren Darstellung mit teilweise aufgeschnittener Vorderwand gezeichnet. The invention is explained in more detail with reference to the figures. The Treatment stations (containers) of all figures are partially for better illustration cut open front wall.

Fig. 1 zeigt eine Behälterreihe einer Galvanisieranlage in einer Seitenansicht mit stationären Schutzkörben und Vorratstank. Fig. 1 shows a row of containers of an electroplating system in a side view with stationary protective baskets and storage tank.

Fig. 2 zeigt einen Behälter aus der Reihe der Behälter der Fig. 1 mit stationären Schutzkörben und einem direkt angebauten Vorratstank. Fig. 2 shows a container from the series of containers of Fig. 1 with stationary protective baskets and a directly attached storage tank.

Fig. 3 zeigt einen Behälter der Behälterreihe einer Galvanisieranlage mit einem, mittels stationärer Hubstation aushebbaren, Schutzkorb. Fig. 3 shows a container, the container having a series of an electroplating system, aushebbaren means of stationary lifting transfer, protection basket.

Fig. 4 zeigt eine Vorderansicht eines Behälters einer Galvanisieranlage mit einem, durch den Transportwagen aushebbaren, Schutzkorb. Fig. 4 shows a front view of a container of an electroplating with one, aushebbaren by the transport carriage, the protective hood.

In der Fig. 1 sind drei Behälter 3, 24 und ein Vorratsbehälter 7 in einer Seitenansicht dargestellt. Dabei erstreckt sich das Behandlungsgut 1, in diesem Falle dünne Leiterfolien, in die Tiefe des Figurenblattes hinein, ebenso der Warenträger 2, hier eine rechteckige Kupferschiene mit den Tragarmen 23, mittels der ein nicht dargestellter Transportwagen den Warenträger aufnimmt und zu den einzelnen Behandlungsstationen der Galvanisieranlage befördert. Das Behandlungsgut 1 ist mit einer Halterung 4 am Warenträger 2 befestigt. Der Behälter 24 hat keinen Schutzkorb. Die hier vorgesehene Behandlung findet in gasartiger Umgebung statt, so dass normalerweise kein Schutzkorb erforderlich ist. Sollten auch hier starke Strömungen, zum Beispiel eine Luftumwälzung mittels starker Ventilatoren, auftreten, so kann der Schutzkorb mit angepassten Öffnungen 6 auch hier angewandt werden. Im Behälter 3 ist ein fest eingebauter Schutzkorb 5 vorhanden, der sich ebenfalls in die Tiefe des Figurenblattes hinein erstreckt. Der Schutzkorb hat in mindestens einer Seitenwand Öffnungen 6, durch die die Behandlungsflüssigkeit in den Schutzkorb mit kontrollierter Geschwindigkeit einströmen kann. Im Behandlungszustand ist der Behälter 3 bis zum Badspiegel 21 mit Behandlungsflüssigkeit gefüllt. In Fig. 1, three containers 3, 24 and a reservoir tank 7 are shown in a side view. The item to be treated 1 , in this case thin conductor foils, extends into the depth of the figure sheet, as does the article carrier 2 , here a rectangular copper bar with the support arms 23 , by means of which a transport carriage (not shown) receives the article carrier and to the individual treatment stations of the electroplating system promoted. The items to be treated 1 are fastened to the goods carrier 2 with a holder 4 . The container 24 has no protective cage. The treatment provided here takes place in a gaseous environment, so that normally no protective cage is required. If strong currents also occur here, for example air circulation by means of strong fans, the protective cage with adapted openings 6 can also be used here. In the container 3 there is a permanently installed protective cage 5 , which also extends into the depth of the figure sheet. The protective cage has openings 6 in at least one side wall, through which the treatment liquid can flow into the protective cage at a controlled speed. In the treatment state, the container 3 is filled with treatment liquid up to the bath level 21 .

Soll der Behälter mit neuem zu behandelndem Behandlungsgut beschickt werden, befindet sich die Behandlungsflüssigkeit im Vorratsbehälter 7. Das Behandlungsgut wird vom Transportwagen zur Behandlungsstation gebracht und in den zu diesem Zeitpunkt leeren Behälter 3 eingesenkt. Danach wird über die Pumpe 8 die Behandlungsflüssigkeit vom Vorratsbehälter 7 über Verbindungsrohrleitungen 9 in den Behälter 3 gepumpt. Der Behälter 3 füllt sich mit Behandlungsflüssigkeit. Durch den dabei entstehenden Höhenunterschied des Flüssigkeitsspiegels innerhalb und außerhalb des Schutzkorbes wird dieser kontrolliert aufgefüllt. Die im Korb auftretende Fließgeschwindigkeit wird in Abhängigkeit von der Leistung der Pumpe und durch die Größe der Öffnungen 6 bestimmt. Sie liegt in der Praxis im Bereich von 0,01 bis max. 1 m/s. Während der Behandlung hat der Schutzkorb auch die Aufgabe stärkere Strömungen, wie sie z. B. durch Filterkreisläufe oder Rührwerke für die gleichmäßige Temperaturverteilung oder zur Dosierlösungsverteilung entstehen, vom Behandlungsgut fernzuhalten. If the container is to be loaded with new items to be treated, the treatment liquid is in the storage container 7 . The material to be treated is brought from the transport trolley to the treatment station and sunk into the container 3 which is empty at this time. Thereafter, the treatment liquid is pumped from the storage container 7 via connecting pipes 9 into the container 3 via the pump 8 . The container 3 fills with treatment liquid. The resulting difference in height of the liquid level inside and outside the protective basket fills it up in a controlled manner. The flow rate occurring in the basket is determined depending on the performance of the pump and the size of the openings 6 . In practice, it is in the range of 0.01 to max. 1 m / s. During the treatment, the protective cage also has the task of stronger currents, such as, for. B. caused by filter circuits or agitators for even temperature distribution or for dosing solution distribution to keep away from the material to be treated.

Nach der Behandlung wird der Warenträger mittels Hubwerk am Transportwagen wieder aus der Behandlungslösung ausgehoben und zur nachfolgenden Behandlung, in der Regel eine Spülstation gebracht. Gleichzeitig wird die Behandlungslösung durch Umschaltung von nicht dargestellten Ventilen, mit der Pumpe 8, oder durch einen Höhenunterschied zwischen Behandlungsstation und Vorratstank in den Vorratsbehälter zurückgefördert. After the treatment, the goods carrier is lifted out of the treatment solution again by means of a hoist on the transport trolley and brought to the subsequent treatment, usually a rinsing station. At the same time, the treatment solution is conveyed back into the storage container by switching over valves (not shown) with the pump 8 or by means of a height difference between the treatment station and the storage tank.

Die Fig. 2 zeigt in gleicher Ansicht ebenfalls eine Behandlungsstation 10 mit stationärem Schutzkorb 5, bei dem der Vorratstank 25 direkt an die Behandlungsstation 10 angebaut ist. Die Flüssigkeitsmenge, die der Vorratstank 25 mindestens aufnehmen muss, kann kleiner sein als der Arbeitsbehälter 3 fasst, da für die erfindungsgemäße Funktion nicht der gesamte Inhalt des Arbeitsbehälters umgepumpt werden muss. Es genügt das Umpumpen bis zu einen Restbadspiegel, der knapp unterhalb der Unterkante des in die Behandlungsstation eingefahrenen Behandlungsgutes liegt. The Fig. 2 also shows in the same view, a treatment station 10 with a stationary protective hood 5, in which the reservoir tank 25 is attached directly to the treatment station 10. The amount of liquid which the storage tank 25 must at least hold can be smaller than the working container 3 holds, since the entire contents of the working container do not have to be pumped around for the function according to the invention. It is sufficient to pump up to a residual bath level that is just below the lower edge of the material to be treated that has entered the treatment station.

Die Fig. 3 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung, bei der ein Schutzkorb 5 einer Behandlungsstation 10 zugeordnet ist. Die Station ist mit einer nicht dargestellten Hubvorrichtung ausgestattet, die den Schutzkorb in Richtung des Pfeils 26 senkrecht auf und ab bewegen kann. Der Hub- und Senkweg entspricht etwa der Hub- und Senkbewegung des Warenträgers 2 mit dem Behandlungsgut 1. Der Warenträger wird in oberer Stellung mit dem Transportwagen herangebracht. Danach fährt der leere Schutzkorb 5 in die obere Stellung und nimmt dabei das Behandlungsgut in sich auf. Dann fährt der Schutzkorb 5langsam und synchron mit dem Behandlungsgut in den Behälter 3 hinein, bis das vorgesehene Behandlungsniveau erreicht ist. Zum Entnehmen des Behandlungsgutes verbleibt der Schutzkorb in unterer Stellung und nur der Warenträger mit dem daran befestigtem Behandlungsgut fährt mittels des Hubwerkes des Transportwagens aus der Station aus. Fig. 3 shows an inventive device in which a protective hood 5 is assigned to a treatment station 10. The station is equipped with a lifting device, not shown, which can move the protective cage vertically up and down in the direction of arrow 26 . The lifting and lowering path corresponds approximately to the lifting and lowering movement of the goods carrier 2 with the item 1 to be treated. The goods carrier is brought up with the transport trolley in the upper position. Then the empty protective basket 5 moves into the upper position and takes up the material to be treated. The protective basket 5 then moves slowly and synchronously with the material to be treated into the container 3 until the intended treatment level is reached. To remove the items to be treated, the protective cage remains in the lower position and only the goods carrier with the items to be treated moves out of the station by means of the lifting mechanism of the transport trolley.

Die Fig. 4 zeigt die Vorrichtung gegenüber den bisherigen Figuren in einer um 90° horizontal gedrehten Ansicht von vorne, das heißt von der Beschickungsseite der Galvanisieranlage aus gesehen. In dieser Ausführung ist der Schutzkorb 5 mit Einweisungen 11 an beiden Seiten ausgestattet, die in abgesenktem Zustand auf den Auflagen 12 am Behälterrand der Behandlungsstation aufliegen und damit den Schutzkorb tragen. Ferner sind am Schutzkorb 5 Tragarme 17 angebracht, mit denen ein nur in Fragmenten dargestellter Transportwagen über die Aufnahmearme 18 und die Zugeinrichtung 20 den Schutzkorb 5 senkrecht anheben kann. Der Transportwagen hat zwei Hubwerke, eines für den Warenträger und ein zweites für den Schutzkorb. Die Teile der Hubwerke (Aufrollspindel, Hub-Getriebemotor, Führungen für den Schutzkorb usw.) sind in der Fig. 4 nicht dargestellt. Das Behandlungsgut 1 ist am Warenträger 2 nebeneinander mittels der Halterungen 4 befestigt. Der Warenträger 2 hat Tragarme 23 an denen das Warenträger-Hubwerk den Warenträger 2 mittels der Aufnahmearme 22 ergreift und heben/senken kann. Zur Ablage dienen am Warenträger die Einweisungen 13 und auf dem Schutzkorbträger die Auflagen 14. Der Transportwagen fährt das Behandlungsgut zur Behandlungsstation 10 in angehobener Lage. Danach hebt das mit seinen Aufnahmearmen 18 unter die Tragarme 17 gefahrene Schutzkorb-Hubwerk den Schutzkorb mittels Zugeinrichtung 20 hoch, bis sich das Behandlungsgut vollständig in diesem befindet. Der Hubbalken des Behandlungsgut-Hubwerkes hat die Bezugsziffer 15 und der des Schutzkorb-Hubwerkes die Bezugsziffer 16. Die Bezugsziffer 19 kennzeichnet die Zugeinrichtung für das Behandlungsgut. Beim Anheben des Schutzkorbes 5 läuft die darin befindliche Behandlungsflüssigkeit durch die Öffnungen 6 aus dem Schutzkorb aus und in den Behälter 3 zurück. Zum schnellen Entleeren der Flüssigkeit aus dem Schutzkorb 5 können im Boden des Schutzkorbes zusätzliche großflächige Entleerungsschieber oder Klappen 27 angebracht sein, die beim Anheben zum Beispiel durch die Hubbewegung über ein Hebelgestänge oder durch Schwimmer automatisch geöffnet und durch die Senkbewegung automatisch wieder geschlossen werden können. Der Bewegungsmechanismus der Klappen ist in den Figuren nicht dargestellt. FIG. 4 shows the device compared to the previous figures in a view rotated horizontally by 90 ° from the front, that is to say seen from the loading side of the electroplating system. In this embodiment, the protective cage 5 is equipped with instructions 11 on both sides, which in the lowered state rest on the supports 12 at the container edge of the treatment station and thus carry the protective cage. Furthermore, 5 support arms 17 are attached to the protective cage, with which a transport trolley, which is only shown in fragments, can lift the protective cage 5 vertically via the receiving arms 18 and the pulling device 20 . The transport trolley has two hoists, one for the goods carrier and a second for the protective cage. The parts of the lifting mechanisms (reel spindle, lifting gear motor, guides for the protective cage, etc.) are not shown in FIG. 4. The items to be treated 1 are fastened to the goods carrier 2 next to one another by means of the holders 4 . The goods carrier 2 has support arms 23 on which the goods carrier hoist grips the goods carrier 2 by means of the receiving arms 22 and can raise / lower them. Instructions 13 are used for storage on the goods carrier and supports 14 on the protective basket carrier. The trolley moves the material to be treated to the treatment station 10 in a raised position. Thereafter, the protective cage lifting mechanism, which has been moved under the supporting arms 17 with its receiving arms 18 , lifts the protective cage by means of a pulling device 20 until the material to be treated is completely in it. The lifting beam of the material to be handled hoist has the reference number 15 and that of the protective hoist has the reference number 16 . The reference number 19 denotes the pulling device for the material to be treated. When the protective cage 5 is raised, the treatment liquid therein runs out of the protective cage through the openings 6 and back into the container 3 . For rapid emptying of the liquid from the protective cage 5 , additional large-area emptying slides or flaps 27 can be attached in the bottom of the protective cage, which can be automatically opened when lifting, for example by the lifting movement via a lever linkage or by floats, and can be closed again automatically by the lowering movement. The movement mechanism of the flaps is not shown in the figures.

Nachdem der Schutzkorb leer ist und die obere Position erreicht hat, senkt der Transportwagen mittels des Behandlungsgut-Hubwerkes 15 und des Schutzkorb-Hubwerkes 16 gleichzeitig den Schutzkorb und den Warenträger langsam und synchron, d. h. mit gleicher Geschwindigkeit, in die Behandlungsstation ein. Durch die Verdrängung der im Behälter 3 befindlichen Behandlungsflüssigkeit steigt der Badspiegel außerhalb des Schutzkorbes an und die Flüssigkeit strömt entsprechend der Auslegung der Öffnungen 6 mit mäßiger Geschwindigkeit in den Schutzkorb ein. After the protective cage is empty and has reached the upper position, the transport trolley simultaneously lowers the protective cage and the goods carrier slowly and synchronously, ie at the same speed, into the treatment station by means of the material to be handled lifting mechanism 15 and the protective cage lifting mechanism 16 . By displacing the treatment liquid in the container 3 , the bath level rises outside the protective cage and the liquid flows into the protective cage at a moderate speed in accordance with the design of the openings 6 .

Selbstverständlich können verschiedene Ausführungsformen der Erfindung in einer Galvanisieranlage miteinander kombiniert werden. Bezugszeichenliste 1 Behandlungsgut
2 Warenträger
3 Behälter für die Behandlung in Flüssigkeit (Arbeitsbehälter)
4 Halterung für das Behandlungsgut am Warenträger
5 Schutzkorb
6 Öffnungen zu Ein- und Austritt der Behandlungsflüssigkeit
7 Vorratsbehälter
8 Pumpe
9 Verbindungsleitung vom Vorratstank zum Behälter
10 Behandlungsstation
11 Einweisungen am Schutzkorb
12 Auflagen an der Behandlungsstation
13 Einweisungen am Warenträger
14 Auflagen am Schutzkorb-Träger
15 Hubbalken am Behandlungsgut-Hubwerk des Transportwagens
16 Hubbalken am Schutzkorb-Hubwerk des Transportwagens
17 Tragarme am Schutzkorb-Träger
18 Aufnahmearme des Schutzkorb-Hubbalkens
19 Zugeinrichtung des Behandlungsgut-Hubwerkes
20 Zugeinrichtung des Schutzkorb-Hubwerkes
21 Badspiegel
22 Aufnahmearme des Behandlungsgut- Hubbalkens
23 Tragarme am Warenträger
24 Behälter zur Trocken-Behandlung
25 Anbau-Vorratstank
26 Bewegungsrichtung des Schutzkorbes und des Warenträgers
27 Entleerungsklappen
Of course, different embodiments of the invention can be combined with one another in a galvanizing system. 1 Treatment item
2 product carriers
3 containers for treatment in liquid (working container)
4 Holder for the items to be treated on the goods carrier
5 protective cage
6 openings for the inlet and outlet of the treatment liquid
7 storage containers
8 pump
9 Connection line from the storage tank to the container
10 treatment station
11 instructions on the protective cage
12 pads at the treatment station
13 Instructions on the goods carrier
14 cushions on the protective cage support
15 walking beams on the handling unit lifting gear of the transport trolley
16 walking beams on the protective cage hoist of the transport vehicle
17 support arms on the protective cage support
18 Support arms of the protective cage lifting beam
19 Traction device of the material handling hoist
20 Pulling device of the protective cage hoist
21 bathroom mirror
22 pick-up arms of the treatment goods walking beam
23 support arms on the goods carrier
24 containers for dry treatment
25 add-on storage tank
26 Direction of movement of the protective cage and the goods carrier
27 emptying flaps

Claims

1. Process for the wet-chemical or electrochemical treatment of flat, flexible material to be treated in electroplating or etching systems, in which the material to be treated is vertically mounted on goods vehicles and the goods carrier by means of horizontal movements and vertical hoisting and lowering movements are conveyed into the individual treatment stations of the installation, characterized characterized in that the bath which holds the treatment liquid is assigned, at least one protective basket is present, into which the material to be treated is introduced when empty, and means are provided which enable the protective basket to be filled with treatment liquid after the treatment material has been introduced into the protective basket, that the material to be treated does not change its shape and / or position significantly.

2. The method according to claim 1, characterized in that the means for Pour at least one treatment liquid into the protective cage Opening in at least one wall of the protective cage and that one existing level difference of the treatment liquid within and causes the filling process outside the protective cage.

3. The method according to claim 1 and 2, characterized in that through the openings ( 6 ) in the form of holes in the walls of the protective cage, which are preferably evenly distributed in the two side walls of the protective cage, which run parallel to the material to be treated, the treatment liquid flows into the protective cage.

4. The method according to claim 1 to 3, characterized in that the treatment liquid flows in and out through openings ( 27 , 6 ) in the bottom of the protective cage.

5. The method according to claim 1 to 4, characterized in that the Passage area of the openings for the flow of the treatment liquid in the protective cage changeable and the mechanical sensitivity of the Treatable goods is customizable.

6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that a built-in emptying flap ( 27 ) is opened for rapid emptying of the protective cage.

7. The method according to claim 1, characterized in that the required level difference for filling the treatment liquid in the protective cage is generated by at least one pump via a connecting pipeline, which the treatment liquid from a reservoir ( 7 ) in the bath tank ( 3 ) outside the protective cage pumps from where it flows into the protective cage through the at least one opening ( 6 ) of the protective cage by gravity.

8. The method according to claim 1, characterized in that the level difference for filling the treatment liquid into the protective basket by a uniform lowering movement of the protective basket with the material to be treated in the bath container ( 3 ) is generated by displacement of the liquid, so that the treatment liquid by the at least one Opening of the protective cage flows into the protective cage by gravity.

9. The method according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that the lowering movement of the protective cage by a stationary, existing at the treatment station hoist is generated and that the one lying on the protective cage or its supporting structure Product carrier is lowered together with the items to be treated.

10. The method according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that the lowering movement of the protective cage by a Transport trolley attached separate hoist is generated and that the items to be treated hanging on the trolley with the assigned hoist lowered synchronously with the movement of the protective cage becomes.

11. The method according to at least one of the preceding claims, characterized in that the openings ( 6 ) in the walls of the protective cage ( 5 ) are missing in the edge area, or are used with smaller diameters and / or in smaller numbers for dimming the electrical field lines.

12. Device for wet-chemical or electrochemical treatment of flat, flexible material to be treated in electroplating or etching systems, in which the material to be treated is fastened vertically to product carriers and the product carriers are conveyed into the individual treatment stations of the system by means of horizontal travel movements and vertical lifting and lowering movements a protective cage ( 5 ), which is assigned to the treatment bath which receives the treatment liquid, with at least one opening in a wall of the protective cage, through which the treatment liquid can be filled into the protective cage, and by means for producing a difference in the level of the treatment liquid inside and outside the basket during the filling process.

13. The apparatus according to claim 12, characterized in that the Openings in the protective cage for the treatment liquid to flow in in the walls of the protective cage, which are preferably even distributed in the 2 side walls and / or 2 end walls and / or in the bottom of the Protective cage are attached.

14. The apparatus according to claim 12 and 13, characterized in that the openings ( 6 ) in the protective basket ( 5 ) for the inflow of the treatment liquid each have a liquid passage area of 1 square millimeter to 500 square millimeters.

15. The device according to at least one of the preceding claims 12 to 14, characterized in that at least on a protective cage wall Slidable panels are attached to change the opening area.

16. The device according to at least one of the preceding claims 12-15, characterized in that an emptying flap ( 27 ) is provided in the bottom of the protective cage ( 5 ).

17. The device according to at least one of the preceding claims 1216, characterized in that the means for generating the Level difference inside and outside the protective cage from one Storage tanks with a pump and connecting pipes exist, with their Help the treatment liquid in the treatment tank outside of the Protective cage is pumpable.

18. The device according to at least one of the preceding claims 12-17, characterized in that the means for generating the level difference inside and outside the protective cage ( 5 ) during the filling process consists of a stationary lifting device attached to the treatment container ( 3 ), with which the Protective cage and the material to be treated can be simultaneously lowered into the treatment liquid of the treatment container.

19. The device according to at least one of the preceding claims 12-18, characterized in that the means for generating the level difference inside and outside of the protective cage ( 5 ) consists of an additional hoist attached to the trolley, with which the protective cage ( 5 ) synchronously with the Treated material can be lowered into the treatment container.

20. The device according to at least one of the preceding claims 12-19, characterized in that the holes in the walls of the Protective cage is missing in the edge zone, or with smaller diameters and / or are present in fewer numbers compared to the counter electrode to achieve a glare.