DE1087705B - Legierungsform zum Auflegieren von Kontakten auf halbleitende Koerper - Google Patents

Description

DEUTSCHES

Die Erfindung betrifft eine Legierungsform zum Auflegieren von Kontakten auf halbleitende Körper, insbesondere zur Herstellung von Transistoren, Kristalldioden und ähnlichen Halbleiteranordnungen.

Es ist üblich, zu diesem Zweck eine aus Graphit bestehende Vorrichtung, im folgenden kurzhin als »Legierform« bezeichnet, zu verwenden, in der ein oder mehrere Räume ausgespart sind, die als Lagerort für ebenso viele halbleitende Körper dienen und bei der eine entsprechende Anzahl öffnungen vorgesehen sind, in denen das Material für die Kontakte untergebracht wird. Dieses Material ist vorher meist in Form von sehr kleinen Kugeln gebracht. Das Aufschmelzen selbst erfolgt dadurch, daß die Legierform in einen Ofen eingeführt und in diesem der Wärmebehandlung unterzogen wird. Die Legierformen bestehen meist aus Graphit, weil dieser Werkstoff in sehr hoher Reinheit hergestellt werden kann, die hierbei wesentlich ist. Auch sind Legierformen aus keramischem Material oder nichtrostendem Stahl hergestellt worden. Bei der Verwendung dieser letztgenannten Werkstoffe lassen sich Verunreinigungen als beim Graphit vermeiden. Dieser ist jedoch grobkörnig im Vergleich zu den winzigen darin anzubringenden öffnungen. Außerdem dürfen wegen der geringen Festigkeit des Graphits die Formteile nicht zu klein bemessen werden. Infolgedessen ist die Zusammensetzung des Gases am Ort der Legierung schwer kontrollierbar.

Nach der Erfindung werden nun Legierformen verwendet, die aus Glimmer bestehende Teile besitzen, in denen öffnungen vorgesehen sind, um das Kontaktmaterial an Ort und Stelle zu halten. Es hat sich gezeigt, daß Glimmer nach ausreichender Reinigung keine störenden Verunreinigungen abgibt. Außerdem wird infolge seiner geringen Dicke der Gaszutritt am Ort der Legierungsschmelze nicht wesentlich behindert.

Die Legierungsform nach der Erfindung wird im folgenden an Hand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Die Figur zeigt im Schnitt eine Legierform in vergrößertem Maßstab.

Eine aus Graphit oder Chromeisen bestehende Platte besitzt eine Höhlung 2, in der ein halbleitender Körper 3, z. B. eine Germaniumscheibe, untergebracht ist.

Legierungsform zum Auflegieren
von Kontakten auf halbleitende Körper

Anmelder:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)

Vertreter: Dr. rer. nat. P. Roßbach, Patentanwalt,
Hamburg I₁ Mönckebexgstr. 7

Beanspruchte Priorität:
Niederlande vom 8. August 1957

Leendert Pellekaan, Eindhoven (Niederlande),
ist als Erfinder genannt worden

Auf der Platte 1 liegt eine Glimmerplatte 4 mit zwei öffnungen 5, in denen zwei Kügelchen 6 aus Kontaktmaterial, z. B. Indium, liegen. Die Legierform kann, nachdem sie auf diese Weise gefüllt worden ist, in einen Ofen eingeführt werden.

Es ist möglich in eine 200 μ starke Glimmerplatte Löcher zu bohren oder zu stanzen, die einen Durchmesser von 100 μ und einen gegenseitigen Abstand von 50 μ haben. Solche Abmessungen sind bei der Verwendung von Graphit als Material für ein solches Formteil praktisch nicht erreichbar.

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Legierungsform zum Auflegieren von Kontakten auf halbleitende Körper, insbesondere zur Herstellung von Transistoren, Kristalldioden und ähnlichen Halbleiteranordnungen mit mindestens einem Raum als Lagerort für die halbleitenden Körper und einem mit Öffnungen versehenen Formteil, in denen das Legierungsmaterial angeordnet wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Formteil mit den öffnungen aus Glimmer besteht.

   In Betracht gezogene Druckschriften:
   Französische Patentschrift Nr. 1 088 286;
   USA-Patentschrift Nr. 2 805 968.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen