DE1061951B - Vakuumpumpe - Google Patents
VakuumpumpeInfo
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- DE1061951B DE1061951B DEM31867A DEM0031867A DE1061951B DE 1061951 B DE1061951 B DE 1061951B DE M31867 A DEM31867 A DE M31867A DE M0031867 A DEM0031867 A DE M0031867A DE 1061951 B DE1061951 B DE 1061951B
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
KL.27d 3/02
INTERNAT. KL. F 04 f
PATENTAMT
M 31867 Ia/27d
B EKANNTMACHDNG
DER ANMELDUNG
UND AUSGABE DER
AUSLEGESCHRIFT: 23. JULI 1959
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe.
Es ist bekannt, daß einige Metalle, z. B. Zirkon und Titan, in heißem Zustand durch einen Lösungsoder Absorptionsvorgang Gas absorbieren. Diese Erscheinung
ist seit vielen Jahren zur Getterung oder zum Absaugen der Restgase in abgeschmolzenen
Vakuumgefäßen verwendet worden. Es kann jedoch nur eine begrenzte Menge des Gases absorbiert werden,
da sonst das Metall gesättigt wird.
Es sind bereits Vakuumpumpen zum Abziehen gasförmiger Stoffe mit Hilfe eines fortlaufenden oder
endlosen Metalldrahtes, -bandes od. dgl. bekannt. Ein solches Band befördert Gasreste von der Hochvakuum Seite
einer Röhre zur Pumpenseite, an der ein geringeres Vakuum herrscht. An dieser Seite wird das
Band von einer Heizung erwärmt, damit die Gasreste aus dem Metall austreten und von einer angeschlossenen
Pumpe abgezogen werden können. Eine solche Pumpanlage kann jedoch nur betrieben werden, wenn
bereits ein gutes Vakuum auf andere Weise hergestellt ist, da sonst die Gasreste von der Pumpenseite zur
Hochvakuumseite der Anlage zurückströmen und nicht entfernt werden können. Außerdem ist die bekannte
Anlage nur funktionsfähig, wenn das absorbierende Metallband ununterbrochen umläuft.
Bei einer derartigen Pumpe zum Abziehen gasförmiger Stoffe aus einer Kammer mit einem fortlaufenden
Metallband oder -draht, der in heißem Zustand diese Stoffe absorbiert, werden gemäß der Erfindung
Teile des Drahtes durch Vakuumdichtungen sukzessiv in die zu evakuierende Kammer eingeführt und nacheinander
wieder herausgezogen.
Eine derartige Vakuumpumpe kann beim Evakuieren in einer Anlage benutzt werden, welche durch
einen fortlaufenden Abgabevorgang Gase erzeugt oder in die das Gas infolge von kleinen Undichtigkeiten
eindringt.
Eine Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in der Zeichnung angedeutet. Das aktive Metall 1
(ein Draht, ein Band oder auch eine andere Form) wird von einer Vorratsspule 2 auf eine Aufnahmespule
3 übertragen und dazwischen z. B. durch einen elektrischen. Strom oder durch Elektronenbeschuß erhitzt.
Die Teile des aktiven Metalls, die in Berührung mit der Zuführungsvorrichtung stehen, werden z. B.
dadurch gekühlt, daß die Wärme von dem aktiven Metall an die Vorratsspulen abgegeben wird, die eine
verhältnismäßig große thermische Kapazität aufweisen und in gutem thermischem Kontakt mit der kalten
Umgebung stehen. In besonderen Anwendungsfällen können die Temperaturgradienten an den beiden Enden
des erwärmten Teiles des aktiven Metalls verschieden sein, indem z. B. verschiedene Wärmeableitgeschwindigkeiten
an der Aufnahmespule und der Vakuumpumpe
Anmelder:
Metropolitan-Vickers Electrical Company Limited, London
Vertreter: Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt, Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13
Beanspruchte Priorität: Großbritannien vom 27. September 1955
Michael Edward Haine, Sulhamstead, Berkshire, und Ronald Noel Bloomer, Upper Basildon, Berkshire
(Großbritannien), sind als Erfinder genannt worden
Vorratsspule wirksam sind. Eine derartige Zuführungseinrichtung kann einen Vorrat des aktiven Materials
aufnehmen, der für den fortlaufenden Betrieb über eine längere Zeit ausreicht.
Bei einer anderen Anordnung wird das aktive Material nach der Erhitzung in eine getrennte Vakuumkammer
durch geeignete Vakuumabdichtungen oder Stopfbuchsen eingeführt und wird dann auf eine hohe
Temperatur erhitzt, um die bei der ersten Erhitzung in der Pumpkammer aufgenommenen Gase wieder
abzugeben, worauf das Material wieder in. die Pumpkammer zur neuen Verwendung eingeführt wird. Bei
dieser Ausführung können das Gas oder die in der zweiten Kammer abgegebenen Gase entweder wiedergewonnen
werden, wenn sie z. B. wertvoll sind, oder sie können auch abgesaugt werden.
Claims (2)
1. Vakuumpumpe zum Abziehen gasförmiger Stoffe aus einer Kammer mit Hilfe eines fortlaufenden
Drahtes, Streifens od. dgl. aus einem Metall, das in heißem Zustand die Stoffe absorbiert,
dadurch gekennzeichnet, daß durch Vakuumdichtungen Teile des Drahtes sukzessiv in die Kammer
einführbar und nacheinander aus der Kammer herausziehbar sind.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die aus der Kammer herausgezogenen Teile derart erwärmbar sind, daß sich
cl.ic gasförmigen Stoffe, die von ihnen absorbiert wurden, vor einer erneuten Einführung der Teile
in die Kammer ablösen.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 907 094; französische Patentschrift Nr. 834 938;
Martin Litt mann, Getterstoffe und ihre Anwendung
in der Hochvakuumtechnik, 1938, S. 7.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB1163877X | 1955-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1061951B true DE1061951B (de) | 1959-07-23 |
Family
ID=10878935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEM31867A Pending DE1061951B (de) | 1955-09-27 | 1956-09-27 | Vakuumpumpe |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1061951B (de) |
| FR (1) | FR1163877A (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1099689B (de) | 1957-07-12 | 1961-02-16 | Commissariat Energie Atomique | Mit Metallverdampfung unter Abspulung eines Drahtes arbeitende Vakuumpumpe |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR834938A (fr) * | 1936-07-06 | 1938-12-06 | Eastman Kodak Co | Perfectionnements aux procédés et appareils pour la production de vide poussé |
| DE907094C (de) * | 1950-07-05 | 1954-03-22 | Cinema Television Ltd | Vorrichtung zum Verdampfen von Gettern |
-
1956
- 1956-09-26 FR FR1163877D patent/FR1163877A/fr not_active Expired
- 1956-09-27 DE DEM31867A patent/DE1061951B/de active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR834938A (fr) * | 1936-07-06 | 1938-12-06 | Eastman Kodak Co | Perfectionnements aux procédés et appareils pour la production de vide poussé |
| DE907094C (de) * | 1950-07-05 | 1954-03-22 | Cinema Television Ltd | Vorrichtung zum Verdampfen von Gettern |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1099689B (de) | 1957-07-12 | 1961-02-16 | Commissariat Energie Atomique | Mit Metallverdampfung unter Abspulung eines Drahtes arbeitende Vakuumpumpe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR1163877A (fr) | 1958-10-02 |
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