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DE1061951B - Vakuumpumpe - Google Patents

Vakuumpumpe

Info

Publication number
DE1061951B
DE1061951B DEM31867A DEM0031867A DE1061951B DE 1061951 B DE1061951 B DE 1061951B DE M31867 A DEM31867 A DE M31867A DE M0031867 A DEM0031867 A DE M0031867A DE 1061951 B DE1061951 B DE 1061951B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
vacuum
vacuum pump
substances
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEM31867A
Other languages
English (en)
Inventor
Michael Edward Haine
Ronald Noel Bloomer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd
Original Assignee
Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd filed Critical Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd
Publication of DE1061951B publication Critical patent/DE1061951B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
KL.27d 3/02
INTERNAT. KL. F 04 f
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT 1061951
M 31867 Ia/27d
ANMELDETAG: 27. SEPTEMBER 1956
B EKANNTMACHDNG DER ANMELDUNG UND AUSGABE DER AUSLEGESCHRIFT: 23. JULI 1959
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe.
Es ist bekannt, daß einige Metalle, z. B. Zirkon und Titan, in heißem Zustand durch einen Lösungsoder Absorptionsvorgang Gas absorbieren. Diese Erscheinung ist seit vielen Jahren zur Getterung oder zum Absaugen der Restgase in abgeschmolzenen Vakuumgefäßen verwendet worden. Es kann jedoch nur eine begrenzte Menge des Gases absorbiert werden, da sonst das Metall gesättigt wird.
Es sind bereits Vakuumpumpen zum Abziehen gasförmiger Stoffe mit Hilfe eines fortlaufenden oder endlosen Metalldrahtes, -bandes od. dgl. bekannt. Ein solches Band befördert Gasreste von der Hochvakuum Seite einer Röhre zur Pumpenseite, an der ein geringeres Vakuum herrscht. An dieser Seite wird das Band von einer Heizung erwärmt, damit die Gasreste aus dem Metall austreten und von einer angeschlossenen Pumpe abgezogen werden können. Eine solche Pumpanlage kann jedoch nur betrieben werden, wenn bereits ein gutes Vakuum auf andere Weise hergestellt ist, da sonst die Gasreste von der Pumpenseite zur Hochvakuumseite der Anlage zurückströmen und nicht entfernt werden können. Außerdem ist die bekannte Anlage nur funktionsfähig, wenn das absorbierende Metallband ununterbrochen umläuft.
Bei einer derartigen Pumpe zum Abziehen gasförmiger Stoffe aus einer Kammer mit einem fortlaufenden Metallband oder -draht, der in heißem Zustand diese Stoffe absorbiert, werden gemäß der Erfindung Teile des Drahtes durch Vakuumdichtungen sukzessiv in die zu evakuierende Kammer eingeführt und nacheinander wieder herausgezogen.
Eine derartige Vakuumpumpe kann beim Evakuieren in einer Anlage benutzt werden, welche durch einen fortlaufenden Abgabevorgang Gase erzeugt oder in die das Gas infolge von kleinen Undichtigkeiten eindringt.
Eine Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in der Zeichnung angedeutet. Das aktive Metall 1 (ein Draht, ein Band oder auch eine andere Form) wird von einer Vorratsspule 2 auf eine Aufnahmespule 3 übertragen und dazwischen z. B. durch einen elektrischen. Strom oder durch Elektronenbeschuß erhitzt. Die Teile des aktiven Metalls, die in Berührung mit der Zuführungsvorrichtung stehen, werden z. B. dadurch gekühlt, daß die Wärme von dem aktiven Metall an die Vorratsspulen abgegeben wird, die eine verhältnismäßig große thermische Kapazität aufweisen und in gutem thermischem Kontakt mit der kalten Umgebung stehen. In besonderen Anwendungsfällen können die Temperaturgradienten an den beiden Enden des erwärmten Teiles des aktiven Metalls verschieden sein, indem z. B. verschiedene Wärmeableitgeschwindigkeiten an der Aufnahmespule und der Vakuumpumpe
Anmelder:
Metropolitan-Vickers Electrical Company Limited, London
Vertreter: Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt, Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13
Beanspruchte Priorität: Großbritannien vom 27. September 1955
Michael Edward Haine, Sulhamstead, Berkshire, und Ronald Noel Bloomer, Upper Basildon, Berkshire
(Großbritannien), sind als Erfinder genannt worden
Vorratsspule wirksam sind. Eine derartige Zuführungseinrichtung kann einen Vorrat des aktiven Materials aufnehmen, der für den fortlaufenden Betrieb über eine längere Zeit ausreicht.
Bei einer anderen Anordnung wird das aktive Material nach der Erhitzung in eine getrennte Vakuumkammer durch geeignete Vakuumabdichtungen oder Stopfbuchsen eingeführt und wird dann auf eine hohe Temperatur erhitzt, um die bei der ersten Erhitzung in der Pumpkammer aufgenommenen Gase wieder abzugeben, worauf das Material wieder in. die Pumpkammer zur neuen Verwendung eingeführt wird. Bei dieser Ausführung können das Gas oder die in der zweiten Kammer abgegebenen Gase entweder wiedergewonnen werden, wenn sie z. B. wertvoll sind, oder sie können auch abgesaugt werden.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Vakuumpumpe zum Abziehen gasförmiger Stoffe aus einer Kammer mit Hilfe eines fortlaufenden Drahtes, Streifens od. dgl. aus einem Metall, das in heißem Zustand die Stoffe absorbiert, dadurch gekennzeichnet, daß durch Vakuumdichtungen Teile des Drahtes sukzessiv in die Kammer einführbar und nacheinander aus der Kammer herausziehbar sind.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus der Kammer herausgezogenen Teile derart erwärmbar sind, daß sich cl.ic gasförmigen Stoffe, die von ihnen absorbiert wurden, vor einer erneuten Einführung der Teile in die Kammer ablösen.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 907 094; französische Patentschrift Nr. 834 938; Martin Litt mann, Getterstoffe und ihre Anwendung in der Hochvakuumtechnik, 1938, S. 7.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DEM31867A 1955-09-27 1956-09-27 Vakuumpumpe Pending DE1061951B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB1163877X 1955-09-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1061951B true DE1061951B (de) 1959-07-23

Family

ID=10878935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEM31867A Pending DE1061951B (de) 1955-09-27 1956-09-27 Vakuumpumpe

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE1061951B (de)
FR (1) FR1163877A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1099689B (de) 1957-07-12 1961-02-16 Commissariat Energie Atomique Mit Metallverdampfung unter Abspulung eines Drahtes arbeitende Vakuumpumpe

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR834938A (fr) * 1936-07-06 1938-12-06 Eastman Kodak Co Perfectionnements aux procédés et appareils pour la production de vide poussé
DE907094C (de) * 1950-07-05 1954-03-22 Cinema Television Ltd Vorrichtung zum Verdampfen von Gettern

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DE1099689B (de) 1957-07-12 1961-02-16 Commissariat Energie Atomique Mit Metallverdampfung unter Abspulung eines Drahtes arbeitende Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
FR1163877A (fr) 1958-10-02

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