DE1266439B - Vorrichtung zum Erzeugen sehr niedriger Gasdruecke mittels einer mehr als einen Expansionsraum aufweisenden Kaltgas-Kuehlmaschine - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. Cl.:

F04b

Deutsche Kl.: 27 d- 6/02

Nummer: 1266 439

Aktenzeichen: N27045Ic/27d

Anmeldetag: 14. Juli 1965

Auslegetag: 18. April 1968

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen sehr niedriger Drücke mit einem zu entlüftenden Raum, der von einer oder mehreren Wänden aus gut wärmeleitfähigem Material gebildet ist, die mit der Wand eines Expansionsraumes einer mehr als einen Expansionsraum aufweisenden Kaltgas-Kühlmaschine in gut thermischer Verbindung stehen.

Eine Kaltgas-Kühlmaschine der genannten Art ist bekannt.

Wenn in einer solchen Vorrichtung ein bestimmter Prozeß abläuft, kann es vorkommen, daß der Gasdruck nicht hinreichend niedrig bleibt. Verschiedene bei einem solchen Prozeß freikommende Gase, wie Stickstoff, Kohlenmonoxyd, Methan u. dgl. haben bei einer Temperatur von 80° K, also einer Temperatur, die die Wand des Expansionsraumes einer Kaltgas-Kühlmaschine annehmen kann, noch einen viel zu hohen Sattdampfdruck. Es ist dann erwünscht, eine niedrigere Temperatur anzuwenden.

Dies wird bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Außenwand des zu entlüftenden Raumes in thermischer Verbindung mit der Wand desjenigen Expansionsraumes steht, in welchem eine höhere mittlere Temperatur als in einem zentral zu dem erstgenannten Expansionsraum gelegenen zweiten Expansionsraum vorherrscht, von dem eine Wand in thermischer Berührung mit einer in dem zu entlüftenden Raum angeordneten inneren Wand steht.

Bei der Vorrichtung nach der Erfindung werden die niedrigen Temperaturen in den Stufen der Kühlmaschine vollständig ausgenutzt.

Die Wand des zu entlüftenden Raumes ist z. B. ifc guter thermischer Verbindung mit der ersten Stufe einer solchen Kaltgas-Kühlmaschine bei etwa 80° K, während ein gesonderter Teil mit hinreichend großer Oberfläche, z. B. eine flache Platte, die den Boden des Vakuumarbeitsraumes bildet, oder eine gesonderte Buchse im Innern dieses Raumes, in gut thermischer Berührung mit der zweiten Stufe steht und somit eine niedrigere Temperatur z. B. von 15 bis 20° K aufweist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat gegenüber der Vorrichtung, bei der der ganze zu entlüftende Raum, also auch dessen Außenwand, die gleiche niedrige Temperatur hat, den Vorteil, daß die Strahlung in Richtung auf den Teil mit der niedrigsten Temperatur naturgemäß sehr gering ist.

Es zeigt sich, daß eine Temperatur der Außenwand des zu entlüftenden Raumes von etwa 80° K Vorrichtung zum Erzeugen sehr niedriger
Gasdrücke mittels einer mehr als einen
Expansionsraum aufweisenden
Kaltgas-Kühlmaschine

Anmelder:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,

Eindhoven (Niederlande)

Vertreter:

Dipl.-Ing. H. Zoepke, Patentanwalt,

8000 München 12, Ridlerstr. 37

Als Erfinder benannt:

Albertus Venema,

Gijsbert Prast, Eindhoven (Niederlande)

Beanspruchte Priorität:

Niederlande vom 17. Juli 1964 (6 408 166)

ausreicht, um schnell in den ultrahohen Vakuumbereich zu gelangen.

Um die erzeugte Kälte weitestgehend auszunutzen, ist es erwünscht, den Teil mit der niedrigsten Temperatur vor Strahlung abzuschirmen, die im Innern des zu entlüftenden Raumes z. B. infolge des durchzuführenden Prozesses entsteht.

Bei einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist bzw. sind deshalb zwischen dem Arbeitsraum in dem zu entlüftenden Raum und der mit der Wand des Expansionsraumes mit der niedrigeren, mittleren Temperatur in thermischer Berührung stehenden Wand ein oder mehrere für Gas durchlässige Strahlungsschirme angeordnet, die in gut wärmeleitender Verbindung mit den Wänden des zu entlüftenden Raumes stehen.

Diese Strahlungsschirme sollen derart ausgebildet sein, daß der Einzelteil mit der niedrigsten Temperatur die wärmeren Teile gleichsam nicht »sieht«, dennoch aber eine hinreichende Durchlässigkeit für die Gasmoleküle gewährleistet sein soll.

Solche Strahlungsschirme sind an sich bekannt.

Die Zeichnung zeigt ein Ausführungsbeispiel in einer in teilweise schematischem Längsschnitt wiedergegebenen Ansicht.

809 539/64

Mit 1 ist die Wand eines Zwischenexpansionsraumes einer Kaltgas-Kühlmaschine bezeichnet, die im Betrieb eine Temperatur von z. B. etwa 80° K annehmen kann.

Mit der Wand 1 ist die Außenwand 2 eines zu entlüftenden Raumes 3, z. B. durch eine Lötverbindung, in gut wärmeleitender Verbindung. Die Außenwand 2 ist oben durch einen Deckel 4 luftdicht verschlossen.

Bei 5 ist die Wand eines zweiten Expansions- ίο raumes der Kaltgas-Kühlmaschine dargestellt, wo in diesem Fall die niedrigste Temperatur von z. B. 15 bis 20- K vorherrscht.

Mit der Wand 5 ist eine wandartige Platte 6 — z. B. durch Löten — in inniger, gut wärmeleitender Berührung. Über der Platte 6 ist ein für Gas durchlässiger Strahlungsschirm 7 angeordnet, der gut wärmeleitend mit der Außenwand 2 des zu entlüftenden Raumes verbunden ist.

Der Raum 8 über der Platte 6 ist der Arbeitsraum, in dem ein äußerst hohes Vakuum erzeugt werden kann.

Claims (3)

Patentansprüche: 25

1. Vorrichtung zum Erzeugen sehr niedriger Drücke mit einem zu entlüftenden Raum, der von einer oder mehreren Wänden aus gut wärmeleitendem Material gebildet ist, die mit der Wand eines Expansionsraumes einer mehr

als einen Expansionsraum aufweisenden Kaltgas-Kühlmaschine in gut thermischer Verbindung stehen, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenwand (2) des zu entlüftenden Raumes in thermischer Verbindung mit der Wand (1) desjenigen Expansionsraumes steht, in welchem eine höhere, mittlere Temperatur als in einem zentral zu dem erstgenannten Expansionsraum gelegenen zweiten Expansionsraum vorherrscht, von dem eine Wand in thermischer Berührung mit einer in dem zu entlüftenden Raum angeordneten inneren Wand (6) steht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in dem zu entlüftenden Raum angeordnete innere Wand (6) als Platte ausgebildet ist, die den Boden des Arbeitsraumes in dem Vakuumsystem bildet.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Arbeitsraum in dem zu entlüftenden Raum und der mit der Wand des Expansionsraumes mit der niedrigeren, mittleren Temperatur in thermischer Berührung stehenden Wand (6) ein oder mehrere für Gas durchlässige Strahlungsschirme (7) angeordnet sind, die in gut wärmeleitender Verbindung mit den Wänden (2) des zu entlüftenden Raumes stehen.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 1013 672.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

809 539/64 4.68 © Bundesdruckerei Berlin