DE1061951B

DE1061951B - Vacuum pump

Info

Publication number: DE1061951B
Application number: DEM31867A
Authority: DE
Inventors: Michael Edward Haine; Ronald Noel Bloomer
Original assignee: Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd
Current assignee: Metropolitan Vickers Electrical Co Ltd
Priority date: 1955-09-27
Filing date: 1956-09-27
Publication date: 1959-07-23
Also published as: FR1163877A

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

KL.27d 3/02 KL.27d 3/02

INTERNAT. KL. F 04 fINTERNAT. KL. F 04 f

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFT 1061951EXPLAINING PUBLICATION 1061951

M 31867 Ia/27dM 31867 Ia / 27d

ANMELDETAG: 27. SEPTEMBER 1956REGISTRATION DATE: SEPTEMBER 27, 1956

B EKANNTMACHDNG DER ANMELDUNG UND AUSGABE DER AUSLEGESCHRIFT: 23. JULI 1959REPORTING THE REGISTRATION AND ISSUE OF THE EDITORIAL: JULY 23, 1959

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe.The invention relates to a vacuum pump.

Es ist bekannt, daß einige Metalle, z. B. Zirkon und Titan, in heißem Zustand durch einen Lösungsoder Absorptionsvorgang Gas absorbieren. Diese Erscheinung ist seit vielen Jahren zur Getterung oder zum Absaugen der Restgase in abgeschmolzenen Vakuumgefäßen verwendet worden. Es kann jedoch nur eine begrenzte Menge des Gases absorbiert werden, da sonst das Metall gesättigt wird.It is known that some metals, e.g. B. zirconium and titanium, absorb gas in a hot state through a dissolution or absorption process. This appearance has been used for gettering or for sucking off residual gases in melted off for many years Vacuum vessels have been used. However, only a limited amount of the gas can be absorbed, otherwise the metal will be saturated.

Es sind bereits Vakuumpumpen zum Abziehen gasförmiger Stoffe mit Hilfe eines fortlaufenden oder endlosen Metalldrahtes, -bandes od. dgl. bekannt. Ein solches Band befördert Gasreste von der Hochvakuum Seite einer Röhre zur Pumpenseite, an der ein geringeres Vakuum herrscht. An dieser Seite wird das Band von einer Heizung erwärmt, damit die Gasreste aus dem Metall austreten und von einer angeschlossenen Pumpe abgezogen werden können. Eine solche Pumpanlage kann jedoch nur betrieben werden, wenn bereits ein gutes Vakuum auf andere Weise hergestellt ist, da sonst die Gasreste von der Pumpenseite zur Hochvakuumseite der Anlage zurückströmen und nicht entfernt werden können. Außerdem ist die bekannte Anlage nur funktionsfähig, wenn das absorbierende Metallband ununterbrochen umläuft.There are already vacuum pumps for drawing off gaseous substances with the help of a continuous or endless metal wire, band or the like. Known. Such a belt conveys gas residues from the high vacuum side a tube on the pump side with a lower vacuum. On this side that will Band heated by a heater so that the gas residues escape from the metal and connected by a Pump can be withdrawn. However, such a pumping system can only be operated if a good vacuum has already been created in another way, otherwise the gas residues from the pump side to the The high vacuum side of the system flows back and cannot be removed. In addition, the well-known The system only works if the absorbent metal band is rotating continuously.

Bei einer derartigen Pumpe zum Abziehen gasförmiger Stoffe aus einer Kammer mit einem fortlaufenden Metallband oder -draht, der in heißem Zustand diese Stoffe absorbiert, werden gemäß der Erfindung Teile des Drahtes durch Vakuumdichtungen sukzessiv in die zu evakuierende Kammer eingeführt und nacheinander wieder herausgezogen.In such a pump for drawing off gaseous substances from a chamber with a continuous Metal tape or wire which, when hot, absorbs these substances, are made in accordance with the invention Parts of the wire are successively introduced into the chamber to be evacuated through vacuum seals and one after the other pulled out again.

Eine derartige Vakuumpumpe kann beim Evakuieren in einer Anlage benutzt werden, welche durch einen fortlaufenden Abgabevorgang Gase erzeugt oder in die das Gas infolge von kleinen Undichtigkeiten eindringt.Such a vacuum pump can be used when evacuating in a system, which by A continuous release process generates gases or in which the gas as a result of small leaks penetrates.

Eine Ausführungsform der Erfindung ist schematisch in der Zeichnung angedeutet. Das aktive Metall 1 (ein Draht, ein Band oder auch eine andere Form) wird von einer Vorratsspule 2 auf eine Aufnahmespule 3 übertragen und dazwischen z. B. durch einen elektrischen. Strom oder durch Elektronenbeschuß erhitzt. Die Teile des aktiven Metalls, die in Berührung mit der Zuführungsvorrichtung stehen, werden z. B. dadurch gekühlt, daß die Wärme von dem aktiven Metall an die Vorratsspulen abgegeben wird, die eine verhältnismäßig große thermische Kapazität aufweisen und in gutem thermischem Kontakt mit der kalten Umgebung stehen. In besonderen Anwendungsfällen können die Temperaturgradienten an den beiden Enden des erwärmten Teiles des aktiven Metalls verschieden sein, indem z. B. verschiedene Wärmeableitgeschwindigkeiten an der Aufnahmespule und der VakuumpumpeAn embodiment of the invention is indicated schematically in the drawing. The active metal 1 (a wire, a tape or some other form) is transferred from a supply reel 2 to a take-up reel 3 transferred and between z. B. by an electric. Electricity or heated by electron bombardment. The parts of the active metal which are in contact with the delivery device are e.g. B. cooled by dissipating heat from the active metal to the supply coils, the one have relatively large thermal capacity and in good thermal contact with the cold Surrounding area. In special applications, the temperature gradients at the two ends of the heated part of the active metal may be different, e.g. B. different heat dissipation speeds on the take-up spool and the vacuum pump

Anmelder:Applicant:

Metropolitan-Vickers Electrical Company Limited, LondonMetropolitan-Vickers Electrical Company Limited, London

Vertreter: Dr.-Ing. W. Reichel, Patentanwalt, Frankfurt/M. 1, Parkstr. 13Representative: Dr.-Ing. W. Reichel, patent attorney, Frankfurt / M. 1, Parkstrasse 13th

Beanspruchte Priorität: Großbritannien vom 27. September 1955Claimed priority: Great Britain September 27, 1955

Michael Edward Haine, Sulhamstead, Berkshire, und Ronald Noel Bloomer, Upper Basildon, BerkshireMichael Edward Haine, Sulhamstead, Berkshire; and Ronald Noel Bloomer, Upper Basildon, Berkshire

(Großbritannien), sind als Erfinder genannt worden(Great Britain) have been named as inventors

Vorratsspule wirksam sind. Eine derartige Zuführungseinrichtung kann einen Vorrat des aktiven Materials aufnehmen, der für den fortlaufenden Betrieb über eine längere Zeit ausreicht.Supply reel are effective. Such a delivery device can hold a supply of the active material record that is sufficient for continuous operation over a long period of time.

Bei einer anderen Anordnung wird das aktive Material nach der Erhitzung in eine getrennte Vakuumkammer durch geeignete Vakuumabdichtungen oder Stopfbuchsen eingeführt und wird dann auf eine hohe Temperatur erhitzt, um die bei der ersten Erhitzung in der Pumpkammer aufgenommenen Gase wieder abzugeben, worauf das Material wieder in. die Pumpkammer zur neuen Verwendung eingeführt wird. Bei dieser Ausführung können das Gas oder die in der zweiten Kammer abgegebenen Gase entweder wiedergewonnen werden, wenn sie z. B. wertvoll sind, oder sie können auch abgesaugt werden.In another arrangement, the active material is placed in a separate vacuum chamber after heating Introduced through suitable vacuum seals or glands and then placed on a high Temperature heated to restore the gases absorbed in the pump chamber during the first heating dispense, whereupon the material is reintroduced into. The pumping chamber for new use. at In this embodiment, the gas or the gases given off in the second chamber can either be recovered if they z. B. are valuable, or they can also be aspirated.

Claims

Patent claims:

1. Vacuum pump for withdrawing gaseous substances from a chamber with the help of a continuous Wire, strip or the like made of a metal that absorbs the substances when hot, characterized in that parts of the wire successively into the chamber through vacuum seals are insertable and sequentially withdrawn from the chamber.

2. Vacuum pump according to claim 1, characterized in that that the parts pulled out of the chamber can be heated in such a way that cl.ic gaseous substances that have been absorbed by them before reintroducing the parts peel into the chamber.

Considered publications:

German Patent No. 907 094; French Patent No. 834,938; Martin Littmann, Getter substances and their application in high vacuum technology, 1938, p. 7.

1 sheet of drawings