WO2024043343A1

WO2024043343A1 - 弾性波装置

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Publication number: WO2024043343A1
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Inventors: 昌和三村; 翔永友; 直弘野竹
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Abstract

フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ入力電位及び出力電位以外に接続される電極の電気抵抗を低くすることができる、弾性波装置を提供する。　本発明に係る弾性波装置１０は、圧電体からなる圧電層１４を含む圧電膜と、圧電層１４上に設けられており、第１のバスバー２２と、第１のバスバー２２に一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指２５とを有する第１の櫛形電極１７と、圧電層１４上に設けられており、第２のバスバー２３と、第２のバスバー２３に一端がそれぞれ接続されており、複数の第１の電極指２５と間挿し合っている複数の第２の電極指２６とを有する第２の櫛形電極１８と、第１の電極指２５及び第２の電極指２６が並ぶ方向において、平面視において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６と並ぶように、それぞれ圧電層１４上に設けられている複数の第３の電極指２７と、隣り合う第３の電極指２７同士を接続している少なくとも１本の第３のバスバー２４とを有し、第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８とは異なる電位に接続される、第３の電極２７と、圧電層１４上に設けられている絶縁体層２９とを備える。第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８のうち一方は入力電位に接続される。第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８のうち他方は出力電位に接続される。第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が並んでいる順序は、第１の電極指２５から開始した場合において、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６及び第３の電極指２７を１周期とする順序である。第１の櫛形電極１７の一部及び第３の電極２７の一部、並びに第２の櫛形電極１８の一部及び第３の電極２７の一部のうち少なくとも一方が、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。

Description

弾性波装置

　本発明は、弾性波装置に関する。

　従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。近年においては、下記の特許文献１に記載のような、厚み滑りモードのバルク波を用いた弾性波装置が提案されている。この弾性波装置においては、支持体上に圧電層が設けられている。圧電層上に、対となる電極が設けられている。対となる電極は圧電層上において互いに対向しており、かつ互いに異なる電位に接続される。上記電極間に交流電圧を印加することにより、厚み滑りモードのバルク波を励振させている。

米国特許第１０４９１１９２号明細書

　弾性波装置とは、例えば弾性波共振子であり、例えばラダー型フィルタに用いられる。ラダー型フィルタにおいて良好な特性を得るためには、複数の弾性波共振子間において、静電容量比を大きくする必要がある。この場合、ラダー型フィルタにおける一部の弾性波共振子の静電容量を大きくする必要がある。

　弾性波共振子の静電容量を大きくするためには、例えば、弾性波共振子を大型にすることを要する。よって、当該弾性波共振子をラダー型フィルタに用いる場合には、ラダー型フィルタが大型になりがちである。特に、静電容量の小さい厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波共振子を有するラダー型フィルタは大型化してしまう。

　本発明者らは、弾性波装置の構成を以下の構成とすることにより、弾性波装置がフィルタ装置に用いられた場合に、大型化せずして好適なフィルタ波形を得られることを見出した。当該構成とは、入力電位に接続される電極、及び出力電位に接続される電極の間に、基準電位などの、入力電位及び出力電位と異なる電位に接続される電極を配置する構成である。

　しかしながら、本発明者らは、上記構成においては、基準電位などに接続される電極のレイアウト上の制約が大きいこと、及び該電極の幅が狭くなり易く、かつ該電極を引き回す長さが長くなり易いことも見出した。この場合には、基準電位などに接続される電極の電気抵抗が高くなり易く、該電極の電位が不安定になり易い。そのため、フィルタ装置に用いられた場合、フィルタ装置のフィルタ特性が劣化するおそれがある。

　本発明の目的は、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ入力電位及び出力電位以外に接続される電極の電気抵抗を低くすることができる、弾性波装置を提供することにある。

　本発明に係る弾性波装置は、圧電体からなる圧電層を含む圧電膜と、前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指とを有する第１の櫛形電極と、前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指とを有する第２の櫛形電極と、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、平面視において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している少なくとも１本の第３のバスバーとを有し、前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極とは異なる電位に接続される、第３の電極と、前記圧電層上に設けられている絶縁体層とを備え、前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極のうち一方が入力電位に接続され、前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極のうち他方が出力電位に接続され、前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、前記第１の櫛形電極の一部及び前記第３の電極の一部、並びに前記第２の櫛形電極の一部及び前記第３の電極の一部のうち少なくとも一方が、前記圧電層上において、前記絶縁体層を介して交叉している。

　本発明によれば、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ入力電位及び出力電位以外に接続される電極の電気抵抗を低くすることができる、弾性波装置を提供することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図３は、図２中のＩＩ－ＩＩ線に沿う模式的断面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の通過特性及び反射特性を示す図である。図５は、参考例の弾性波装置の模式的平面図である。図６は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図７は、本発明の第１の実施形態の変形例における、第３のバスバーが、絶縁体層及び第１の電極指と積層されている部分付近を示す模式的正面断面図である。図８は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図９は、本発明の第２の実施形態における、第１のバスバーが、絶縁体層及び第３の電極指と積層されている部分付近を示す模式的正面断面図である。図１０は、本発明の第２の実施形態の変形例における、第１のバスバーが、絶縁体層及び第３の電極指と積層されている部分付近を示す模式的正面断面図である。図１１は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１２は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１３は、本発明の第４の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１４は、本発明の第４の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１５は、本発明の第４の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１６は、本発明の第５の実施形態における、第３のバスバーが延びる方向と直交する方向に沿う第３のバスバーの模式的断面図である。図１７は、本発明の第６の実施形態における、第３のバスバーが延びる方向と直交する方向に沿う第３のバスバーの模式的断面図である。図１８は、本発明の第７の実施形態における機能電極の一部を示す模式的平面図である。図１９は、本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２０は、本発明の第８の実施形態の変形例における第３のバスバーが、絶縁体層及び第１の電極指と積層されている２箇所の部分の間付近を示す模式的正面断面図である。図２１（ａ）～図２１（ｃ）は、第８の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための模式的平面図である。図２２（ａ）～図２２（ｄ）は、第８の実施形態の変形例に係る弾性波装置の製造方法の一例を示す図である。図２３（ａ）は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の外観を示す略図的斜視図であり、図２３（ｂ）は、圧電層上の電極構造を示す平面図である。図２４は、図２３（ａ）中のＡ－Ａ線に沿う部分の断面図である。図２５（ａ）は、弾性波装置の圧電膜を伝搬するラム波を説明するための模式的正面断面図であり、図２５（ｂ）は、弾性波装置における、圧電膜を伝搬する厚み滑りモードのバルク波を説明するための模式的正面断面図である。図２６は、厚み滑りモードのバルク波の振幅方向を示す図である。図２７は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の共振特性を示す図である。図２８は、隣り合う電極の中心間距離をｐ、圧電層の厚みをｄとした場合のｄ／ｐと共振子としての比帯域との関係を示す図である。図２９は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の平面図である。図３０は、スプリアスが現れている参考例の弾性波装置の共振特性を示す図である。図３１は、比帯域と、スプリアスの大きさとしての１８０度で規格化されたスプリアスのインピーダンスの位相回転量との関係を示す図である。図３２は、ｄ／２ｐと、メタライゼーション比ＭＲとの関係を示す図である。図３３は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図３４は、音響多層膜を有する弾性波装置の正面断面図である。図３５は、ラム波を利用する弾性波装置を説明するための部分切り欠き斜視図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図２は、第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。なお、図１は、図２中のＩ－Ｉ線に沿う模式的断面図である。図２においては、各電極を、ハッチングを付して示す。図２においては、基準電位の記号により、後述する第３の電極が基準電位に接続されることを模式的に示している。図２以外の模式的平面図においても同様に、電極にハッチングを付し、基準電位の記号を用いることがある。

　図１に示す弾性波装置１０は、厚み滑りモードを利用可能に構成されている。弾性波装置１０は音響結合型フィルタである。以下において、弾性波装置１０の構成を説明する。

　弾性波装置１０は、圧電性基板１２と、機能電極１１とを有する。圧電性基板１２は圧電性を有する基板である。具体的には、圧電性基板１２は、支持部材１３と、圧電膜としての圧電層１４とを有する。圧電層１４は圧電体からなる層である。一方で、本明細書において圧電膜とは、圧電性を有する膜であって、必ずしも圧電体からなる膜を指すものではない。もっとも、本実施形態では、圧電膜は単層の圧電層１４であり、圧電体からなる膜である。なお、本発明においては、圧電膜は、圧電層１４を含む積層膜であってもよい。本実施形態では、支持部材１３は、支持基板１６と、絶縁層１５とを含む。支持基板１６上に絶縁層１５が設けられている。絶縁層１５上に圧電層１４が設けられている。上記に限られず、支持部材１３は支持基板１６のみにより構成されていてもよい。あるいは、支持部材１３は必ずしも設けられていなくともよい。

　圧電層１４は第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂを有する。第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂは互いに対向している。第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂのうち、第２の主面１４ｂが支持部材１３側に位置している。第１の主面１４ａに機能電極１１が設けられている。

　機能電極１１は、１対の櫛形電極と、第３の電極１９とを有する。１対の櫛形電極は、具体的には、第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８である。第１の櫛形電極１７は入力電位に接続される。第２の櫛形電極１８は出力電位に接続される。第３の電極１９は、本実施形態においては、基準電位に接続される。本実施形態では、第３の電極１９は基準電位電極である。

　なお、第１の櫛形電極１７は出力電位に接続されてもよい。第２の櫛形電極１８は入力電位に接続されてもよい。このように、第１の櫛形電極１７は、入力電位及び出力電位のうち一方の電位に接続されればよい。第２の櫛形電極１８は、入力電位及び出力電位のうち他方の電位に接続されればよい。

　第３の電極１９は、必ずしも基準電位に接続されなくともよい。第３の電極１９は、第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８とは異なる電位に接続されればよい。もっとも、第３の電極１９が基準電位に接続されることが好ましい。

　第１の櫛形電極１７及び第２の櫛形電極１８は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。第１の櫛形電極１７は、第１のバスバー２２と、複数の第１の電極指２５とを有する。複数の第１の電極指２５の一端はそれぞれ、第１のバスバー２２に接続されている。第２の櫛形電極１８は、第２のバスバー２３と、複数の第２の電極指２６とを有する。複数の第２の電極指２６の一端はそれぞれ、第２のバスバー２３に接続されている。

　第１のバスバー２２及び第２のバスバー２３は互いに対向している。複数の第１の電極指２５と複数の第２の電極指２６とは互いに間挿し合っている。第１の電極指２５及び第２の電極指２６が延びる方向と直交する方向において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６は交互に並んでいる。

　第３の電極１９は、１本の第３のバスバー２４と、複数の第３の電極指２７とを有する。複数の第３の電極指２７は、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。複数の第３の電極指２７同士は、第３のバスバー２４により電気的に接続されている。

　第１の電極指２５及び第２の電極指２６が並ぶ方向において、第１の電極指２５及び第２の電極指２６と並ぶように、複数の第３の電極指２７がそれぞれ設けられている。よって、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７は、一方向において並んでいる。複数の第３の電極指２７は、複数の第１の電極指２５及び複数の第２の電極指と平行に延びている。

　以下においては、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が延びる方向を電極指延伸方向とし、電極指延伸方向と直交する方向を電極指直交方向とする。第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７が並んでいる方向を電極指配列方向としたときに、電極指配列方向は、電極指直交方向と平行である。電極指配列方向は、本実施形態では、第１のバスバー２２、第２のバスバー２３及び第３のバスバー２４が延びる方向とも平行である。本明細書では、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７をまとめて、単に電極指と記載することがある。第１のバスバー２２、第２のバスバー２３及び第３のバスバー２４をまとめて、単にバスバーと記載することがある。

　複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指２５から開始した場合において、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６及び第３の電極指２７を１周期とする順序である。よって、複数の電極指が並んでいる順序は、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６、第３の電極指２７、第１の電極指２５、第３の電極指２７、第２の電極指２６…というように続く。入力電位をＩＮ、出力電位をＯＵＴ、基準電位をＧＮＤにより表わし、複数の電極指の順序を接続される電位の順序として表わすと、ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ、ＧＮＤ、ＩＮ、ＧＮＤ、ＯＵＴ…というように続く。

　本実施形態では、複数の電極指が設けられている領域において、電極指直交方向における両端部に位置している電極指は、いずれも第２の電極指２６である。なお、該領域において、電極指直交方向における端部に位置している電極指は、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７のうちいずれの種類の電極指であってもよい。

　機能電極１１において、第３の電極１９を除いた構成は、ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極の構成と同様である。電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第２の電極指２６が重なり合っている領域が交叉領域Ｅである。もっとも、交叉領域Ｅは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７、または隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７が重なり合っている領域であるともいえる。

　図２に示すように、第３の電極１９の第３のバスバー２４は、複数の第３の電極指２７同士を電気的に接続している。具体的には、第３のバスバー２４は、交叉領域Ｅと、第１のバスバー２２との間の領域に位置している。この領域には、複数の第１の電極指２５も位置している。もっとも、複数の絶縁体層２９によって、第３のバスバー２４及び複数の第１の電極指２５は、互いに電気的に絶縁されている。

　図３は、図２中のＩＩ－ＩＩ線に沿う模式的断面図である。

　絶縁体層２９は、圧電層１４の第１の主面１４ａに、第１の電極指２５を覆うように設けられている。より具体的には、本実施形態では、１本の第１の電極指２５の電極指延伸方向における一部を、１個の絶縁体層２９が覆っている。

　なお、図２に示すように、複数の絶縁体層２９が、電極指直交方向に沿って並んでいる。各絶縁体層２９が、１本の第１の電極指２５の一部を覆うように設けられている。一方で、複数の第３の電極指２７は、絶縁体層２９により覆われていない。第１の主面１４ａ上、複数の絶縁体層２９上及び複数の第３の電極指２７上にわたり、第３のバスバー２４が設けられている。

　このように、第１の櫛形電極１７の一部である複数の第１の電極指２５と、第３の電極１９の一部である第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。これにより、第３のバスバー２４及び複数の第１の電極指２５は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第３のバスバー２４は、複数の第３の電極指２７を電気的に接続している。第３のバスバー２４の材料及び第３の電極指２７の材料は同じである。もっとも、第３のバスバー２４の材料及び第３の電極指２７の材料は、互いに異なっていてもよい。

　本実施形態では、第３のバスバー２４は、交叉領域Ｅと、第１のバスバー２２との間の領域に位置している。言い換えれば、第３のバスバー２４は、複数の第２の電極指２６の先端と、第１のバスバー２２との間の領域に位置している。そのため、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて、第３のバスバー２４と対向している。一方で、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて、第２のバスバー２３と対向している。

　なお、第３のバスバー２４は、複数の第１の電極指２５の先端と、第２のバスバー２３との間の領域に位置していてもよい。この場合、複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、ギャップを隔てて、第３のバスバー２４と対向している。一方で、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、ギャップを隔てて、第１のバスバー２２と対向している。

　これらのように、弾性波装置１０は、第３の電極１９が基準電位電極である場合、以下のように構成されていればよい。複数の第１の電極指２５の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。同様に、複数の第２の電極指２６の先端はそれぞれ、該電極指と異なる電位であり、かつ入力電位、出力電位及び基準電位のうちいずれかである電位に接続される電極と、電極指延伸方向において、ギャップを隔てて対向していればよい。

　弾性波装置１０は、厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成された弾性波共振子である。図２に示すように、弾性波装置１０は、複数の励振領域Ｃを有する。複数の励振領域Ｃにおいて、厚み滑りモードのバルク波や、他のモードの弾性波が励振される。なお、図２においては、複数の励振領域Ｃのうち２つの励振領域Ｃのみを示している。

　全ての励振領域Ｃのうち一部の複数の励振領域Ｃは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間の領域である。残りの複数の励振領域Ｃは、電極指直交方向から見たときに、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７が重なり合う領域であり、かつ隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間の領域である。これらの励振領域Ｃが、電極指直交方向において並んでいる。上記交叉領域Ｅには、複数の励振領域Ｃが含まれている。なお、交叉領域Ｅ及び励振領域Ｃは、機能電極１１の構成に基づいて定義される、圧電層１４の領域である。

　本実施形態の特徴は、以下の構成を有することにある。１）第１の櫛形電極１７の第１の電極指２５と、第２の櫛形電極１８の第２の電極指２６との間に、第３の電極１９の第３の電極指２７が位置していること。２）第１の櫛形電極１７の一部である複数の第１の電極指２５と、第３の電極１９の一部である第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉していること。それによって、弾性波装置１０がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。加えて、入力電位及び出力電位以外に接続される第３の電極１９の電気抵抗を低くすることができる。これを以下において説明する。

　弾性波装置１０の通過特性及び反射特性の一例を図４により示す。

　図４は、第１の実施形態に係る弾性波装置の通過特性及び反射特性を示す図である。なお、図４は、ＦＥＭ（Ｆｉｎｉｔｅ　Ｅｌｅｍｅｎｔ　Ｍｅｔｈｏｄ）シミュレーションによる結果を示す。

　図４に示すように、１個の弾性波装置１０においても、フィルタ波形を好適に得られることがわかる。弾性波装置１０は音響結合型フィルタである。より詳細には、図２に示すように、弾性波装置１０は、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間に位置する励振領域Ｃと、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間に位置する励振領域Ｃとを有する。これらの励振領域Ｃにおいて、厚み滑りモードのバルク波を含む複数のモードの弾性波が励振される。これらのモードを結合させることにより、１個の弾性波装置１０においても、フィルタ波形を好適に得ることができる。

　弾性波共振子として弾性波装置１０をフィルタ装置に用いる場合に、フィルタ装置を構成する弾性波共振子が１個、あるいは少ない個数でもフィルタ波形を好適に得ることができる。よって、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　加えて、図２及び図３に示すように、本実施形態においては、第１の櫛形電極１７の一部及び第３の電極１９の一部が、絶縁体層２９を介して交叉している。これにより、第３の電極１９の長さを短くすることができる。

　より詳細には、例えば、図５に示す参考例においては、第３の電極１０９はミアンダ状の形状を有する。具体的には、第３の電極１０９は、複数の第３の電極指に相当する部分を有する。これらの部分の一端同士または他端同士が接続されていることにより、第３の電極１０９がミアンダ状の形状とされている。そのため、第３の電極１０９の全体の長さが長い。

　図５において模式的に示すように、第３の電極１０９は、外部に電気的に接続される端子を介して、基準電位に接続される。第３の電極１０９においては、中央付近に位置する第３の電極指の相当する部分から、上記端子までの間に、複数の第３の電極指に相当する部分が含まれている。そのため、第３の電極１０９の、中央付近に位置する第３の電極指に相当する部分から、上記端子に接続されている部分までの長さは、特に長い。

　これに対して、図２に示す本実施形態では、各第３の電極指２７の一端は、第３のバスバー２４に接続されている。そして、第３のバスバー２４が、外部に電気的に接続される端子に接続されている。よって、第３の電極指２７の位置によらず、第３の電極指２７から、第３の電極１９における上記端子に接続されている部分までの、第３の電極１９の長さを短くすることができる。従って、第３の電極１９の電気抵抗を低くすることができる。

　この場合、第３の電極１９の電位の安定性を高めることができる。それによって、弾性波装置１０をフィルタ装置に用いる場合に、フィルタ装置のフィルタ特性の劣化を抑制することができる。

　図２に示すように、第３のバスバー２４の幅が、第３の電極指２７の幅よりも広いことが好ましい。それによって、第３の電極１９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。なお、バスバーの幅とは、バスバーの、該バスバーが延びる方向と直交する方向に沿う寸法である。電極指の幅とは、電極指の電極指直交方向に沿う寸法である。

　以下において、本実施形態の構成をより詳細に説明する。

　図１に示すように、支持部材１３は、支持基板１６と絶縁層１５とからなる。圧電性基板１２は、支持基板１６と、絶縁層１５と、圧電層１４との積層体である。すなわち、圧電層１４及び支持部材１３は、圧電層１４の第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂが対向している方向から見たときに、重なっている。

　支持基板１６の材料としては、例えば、シリコンなどの半導体や、酸化アルミニウムなどのセラミックスなどを用いることができる。絶縁層１５の材料としては、酸化ケイ素または酸化タンタルなどの、適宜の誘電体を用いることができる。圧電層１４は、例えば、ＬｉＮｂＯ_３層などのニオブ酸リチウム層またはＬｉＴａＯ_３層などのタンタル酸リチウム層である。

　絶縁層１５には凹部が設けられている。絶縁層１５上に、凹部を塞ぐように、圧電膜としての圧電層１４が設けられている。これにより、中空部が構成されている。この中空部が空洞部１０ａである。本実施形態では、支持部材１３の一部及び圧電膜の一部が、空洞部１０ａを挟み互いに対向するように、支持部材１３と圧電膜とが配置されている。もっとも、支持部材１３における凹部は、絶縁層１５及び支持基板１６にわたり設けられていてもよい。あるいは、支持基板１６のみに設けられた凹部が、絶縁層１５により塞がれていてもよい。凹部は、例えば、圧電層１４に設けられていても構わない。なお、空洞部１０ａは、支持部材１３に設けられた貫通孔であってもよい。

　空洞部１０ａは、本発明における音響反射部である。音響反射部により、弾性波のエネルギーを圧電層１４側に効果的に閉じ込めることができる。音響反射部は、平面視において、支持部材１３における、機能電極１１の少なくとも一部と重なる位置に設けられていればよい。より具体的には、平面視において、第１の電極指２５、第２の電極指２６及び第３の電極指２７のそれぞれの少なくとも一部が、音響反射部と重なっていればよい。平面視において、複数の励振領域Ｃが、音響反射部と重なっていることが好ましい。

　本明細書において平面視とは、図１における上方に相当する方向から、支持部材１３及び圧電膜の積層方向に沿って見ることをいう。なお、図１においては、例えば、支持基板１６側及び圧電層１４側のうち、圧電層１４側が上方である。さらに、本明細書において平面視は、主面対向方向から見ることと同義であるとする。主面対向方向とは、圧電層１４の第１の主面１４ａ及び第２の主面１４ｂが対向し合う方向である。より具体的には、主面対向方向は、例えば、第１の主面１４ａの法線方向である。

　なお、音響反射部は、後述する、音響多層膜などの音響反射膜であってもよい。例えば、支持部材の表面上に、音響反射膜が設けられていてもよい。

　本実施形態では、複数対の隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離と、複数対の隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離とは同じである。もっとも、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離と、隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離とは、一定ではなくともよい。この場合には、隣り合う第１の電極指２５及び第３の電極指２７の中心間距離、並びに隣り合う第２の電極指２６及び第３の電極指２７の中心間距離のうち、最も長い距離をｐとする。なお、本実施形態のように、中心間距離が一定である場合には、いずれの隣り合う電極指同士の中心間距離も距離ｐである。

　圧電膜の厚みをｄとしたときに、ｄ／ｐが０．５以下であることが好ましく、ｄ／ｐが０．２４以下であることがより好ましい。これにより、厚み滑りモードのバルク波が好適に励振される。なお、本実施形態では、厚みｄは圧電層１４の厚みである。

　もっとも、本発明の弾性波装置は、必ずしも厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成されていなくともよい。例えば、本発明の弾性波装置は、板波を励振可能に構成されていてもよい。この場合においては、励振領域は、図２に示す交叉領域Ｅである。

　本実施形態では、圧電層１４はニオブ酸リチウムからなる。本明細書において、ある部材がある材料からなるとは、弾性波装置の電気的特性が大幅に劣化しない程度の微量な不純物が含まれる場合を含む。弾性波装置１０の比帯域は、圧電層１４に用いられているニオブ酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）に依存する。比帯域とは、共振周波数をｆｒ、反共振周波数をｆａとしたときに、（｜ｆａ－ｆｒ｜／ｆｒ）×１００［％］により表される。

　ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合における、弾性波装置１０の比帯域と、圧電層１４のオイラー角（φ，θ，ψ）との関係を導出した。なお、オイラー角におけるφは０°とした。

　図６は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。

　図６のハッチングを付して示した領域Ｒが、少なくとも２％以上の比帯域が得られる領域である。領域Ｒの範囲を近似すると、下記の式（１）、式（２）及び式（３）で表される範囲となる。なお、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±１０°以内の範囲である場合には、θ及びψと、比帯域との関係は、図６に示す関係と同様である。圧電層１４がタンタル酸リチウム層である場合も、オイラー角（０°±１０°の範囲内，θ，ψ）におけるθ及びψと、比帯域との関係は、図６に示す関係と同様である。

　（０°±１０°の範囲内，０°～２５°，任意のψ）　　…式（１）
　（０°±１０°の範囲内，２５°～１００°，０°～７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２　または　１８０°－７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２～１８０°）　　…式（２）
　（０°±１０°の範囲内，１８０°－４０°［（１－（ψ－９０）^２／８１００）］^１／２～１８０°，任意のψ）　　…式（３）

　上記式（１）、式（２）または式（３）のオイラー角の範囲であることが好ましい。それによって、比帯域を十分に広くすることができる。これにより、弾性波装置１０を、フィルタ装置に好適に用いることができる。

　図３に戻り、第１の実施形態では、第３のバスバー２４が、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分において、圧電層１４側から、第１の電極指２５、絶縁体層２９及び第３のバスバー２４がこの順序で積層されている。もっとも、第１の電極指２５、絶縁体層２９及び第３のバスバー２４の積層の順序は、上記に限定されない。

　例えば、図７に示す第１の実施形態の変形例では、第３のバスバー２４が、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分において、第３のバスバー２４、絶縁体層２９及び第１の電極指２５がこの順序で積層されている。より具体的には、１個の絶縁体層２９が、第３のバスバー２４と、１本の第１の電極指２５との間に設けられている。

　なお、第３のバスバー２４上には複数の絶縁体層２９が設けられている。複数の絶縁体層２９は電極指直交方向に沿って並んでいる。各絶縁体層２９は、第３のバスバー２４及び１本の第１の電極指２５の間に位置している。これにより、第１の櫛形電極及び第３の電極が、電気的に絶縁されている。

　本変形例においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ第３の電極の電気抵抗を低くすることができる。

　図８は、第２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１のバスバー２２及び第３のバスバー２４の位置、及び複数の絶縁体層２９の位置において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては本実施形態の弾性波装置は、第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第１のバスバー２２は、交叉領域Ｅと、第３のバスバー２４との間に位置している。複数の絶縁体層２９は、電極指直交方向に沿って並んでいる。各絶縁体層２９は、１本の第３の電極指２７の一部を覆うように、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。一方で、複数の第１の電極指２５は、絶縁体層２９により覆われていない。第１の主面１４ａ上、複数の絶縁体層２９上及び複数の第１の電極指２５上にわたり、第１のバスバー２２が設けられている。

　このように、第１の櫛形電極１７の一部である第１のバスバー２２と、第３の電極１９の一部である複数の第３の電極指２７とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。これにより、第１のバスバー２２及び複数の第３の電極指２７は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第１のバスバー２２は、複数の第１の電極指２５を電気的に接続している。

　本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ第３の電極１９の電気抵抗を低くすることができる。

　図９は、第２の実施形態における、第１のバスバーが、絶縁体層及び第３の電極指と積層されている部分付近を示す模式的正面断面図である。

　第１のバスバー２２が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３の電極指２７、絶縁体層２９及び第１のバスバー２２がこの順序で積層されている。もっとも、第３の電極指２７、絶縁体層２９及び第１のバスバー２２の積層の順序は、上記に限定されない。

　例えば、図１０に示す第２の実施形態の変形例では、第１のバスバー２２が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分において、第１のバスバー２２、絶縁体層２９及び第３の電極指２７がこの順序で積層されている。より具体的には、１個の絶縁体層２９が、第１のバスバー２２と、１本の第３の電極指２７との間に設けられている。

　なお、第１のバスバー２２上には複数の絶縁体層２９が設けられている。複数の絶縁体層２９は電極指直交方向に沿って並んでいる。各絶縁体層２９は、第１のバスバー２２及び１本の第３の電極指２７の間に位置している。これにより、第１の櫛形電極及び第３の電極が、電気的に絶縁されている。

　本変形例においても、第２の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ第３の電極の電気抵抗を低くすることができる。

　図８に戻り、第２の実施形態では、第１の櫛形電極１７は入力電位に接続される。第２の櫛形電極１８は出力電位に接続される。もっとも、第１の櫛形電極１７は出力電位に接続されてもよい。この場合、第２の櫛形電極１８は入力電位に接続される。第２の実施形態の変形例においても同様である。

　図１１は、第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第２のバスバー２３及び第３のバスバー２４の位置、及び複数の絶縁体層２９の位置において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては本実施形態の弾性波装置は、第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第３のバスバー２４は、交叉領域Ｅと、第２のバスバー２３との間に位置している。複数の絶縁体層２９は、電極指直交方向に沿って並んでいる。各絶縁体層２９は、１本の第２の電極指２６の一部を覆うように、圧電層１４の第１の主面１４ａに設けられている。一方で、複数の第３の電極指２７は、絶縁体層２９により覆われていない。第１の主面１４ａ上、複数の絶縁体層２９上及び複数の第３の電極指２７上にわたり、第３のバスバー２４が設けられている。

　このように、第２の櫛形電極１８の一部である複数の第２の電極指２６と、第３の電極１９の一部である複数の第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。これにより、第３のバスバー２４及び複数の第２の電極指２６は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第３のバスバー２４は、複数の第３の電極指２７を電気的に接続している。

　本実施形態では、第１の櫛形電極１７は入力電位に接続される。第２の櫛形電極１８は出力電位に接続される。よって、出力電位に接続される第２の櫛形電極１８の一部と、第３の電極１９の一部である複数の第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。本実施形態の構成は、第１の実施形態において、第１の櫛形電極１７が出力電位に接続される場合の構成に相当する。

　第３のバスバー２４が、絶縁体層２９及び第２の電極指２６と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第２の電極指２６、絶縁体層２９及び第３のバスバー２４がこの順序で積層されている。もっとも、第３のバスバー２４が、絶縁体層２９及び第２の電極指２６と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３のバスバー２４、絶縁体層２９及び第２の電極指２６がこの順序で積層されていてもよい。

　第１～第３の実施形態においては、第３の電極は櫛形電極である。もっとも、第３の電極は櫛形電極に限定されない。第３の電極が櫛形電極以外の電極である例を、第４の実施形態により示す。

　図１２は、第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第３の電極３９が、２本の第３のバスバー３４Ａ及び第３のバスバー３４Ｂを有する点において、第１の実施形態と異なる。第３の電極３９はグレーティング状の形状を有する。本実施形態は、複数の絶縁体層２９の位置においても第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　全ての絶縁体層２９のうち一部の複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第１の電極指２５の一部を覆っている。残りの複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第２の電極指２６の一部を覆っている。

　交叉領域Ｅと、第１のバスバー２２との間に、第３のバスバー３４Ａが位置している。第３のバスバー３４Ａは、絶縁体層２９を介して複数の第１の電極指２５と交叉している。これにより、第３のバスバー３４Ａ及び複数の第１の電極指２５は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第３のバスバー３４Ａは、複数の第３の電極指２７を電気的に接続している。

　交叉領域Ｅと、第２のバスバー２３との間に、第３のバスバー３４Ｂが位置している。第３のバスバー３４Ｂは、絶縁体層２９を介して複数の第２の電極指２６と交叉している。これにより、第３のバスバー３４Ｂ及び複数の第２の電極指２６は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第３のバスバー３４Ｂは、複数の第３の電極指２７を電気的に接続している。

　本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。加えて、第３の電極３９は、２本の第３のバスバー３４Ａ及び第３のバスバー３４Ｂを有する。それによって、第３の電極３９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。

　第３のバスバー３４Ａが、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第１の電極指２５、絶縁体層２９及び第３のバスバー３４Ａがこの順序で積層されている。もっとも、第３のバスバー３４Ａが、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３のバスバー３４Ａ、絶縁体層２９及び第１の電極指２５がこの順序で積層されていてもよい。

　第３のバスバー３４Ｂが、絶縁体層２９及び第２の電極指２６と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第２の電極指２６、絶縁体層２９及び第３のバスバー３４Ｂがこの順序で積層されている。もっとも、第３のバスバー３４Ｂが、絶縁体層２９及び第２の電極指２６と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３のバスバー３４Ｂ、絶縁体層２９及び第２の電極指２６がこの順序で積層されていてもよい。

　以下において、各バスバーの位置及び複数の絶縁体層２９の位置のみが第４の実施形態と異なる、第４の実施形態の第１～第３の変形例を示す。第１～第３の変形例においても、第４の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ第３の電極３９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。

　図１３に示す第１の変形例では、複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第３の電極指２７の一部を覆っている。第３のバスバー３４Ａ及び第３のバスバー３４Ｂは、第１のバスバー２２及び第２のバスバー２３の外側に位置している。

　より具体的には、交叉領域Ｅと、第３のバスバー３４Ａとの間に、第１のバスバー２２が位置している。第１のバスバー２２は、絶縁体層２９を介して複数の第３の電極指２７と交叉している。交叉領域Ｅと、第３のバスバー３４Ｂとの間に、第２のバスバー２３が位置している。第２のバスバー２３は、絶縁体層２９を介して複数の第３の電極指２７と交叉している。

　第１のバスバー２２が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３の電極指２７、絶縁体層２９及び第１のバスバー２２がこの順序で積層されている。もっとも、第１のバスバー２２が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第１のバスバー２２、絶縁体層２９及び第３の電極指２７がこの順序で積層されていてもよい。

　第２のバスバー２３が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３の電極指２７、絶縁体層２９及び第２のバスバー２３がこの順序で積層されている。もっとも、第２のバスバー２３が、絶縁体層２９及び第３の電極指２７と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第２のバスバー２３、絶縁体層２９及び第３の電極指２７がこの順序で積層されていてもよい。

　図１４に示す第２の変形例では、全ての絶縁体層２９のうち、一部の複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第１の電極指２５の一部を覆っている。残りの複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第３の電極指２７の一部を覆っている。

　交叉領域Ｅと、第１のバスバー２２との間に、第３のバスバー３４Ａが位置している。第３のバスバー３４Ａは、絶縁体層２９を介して複数の第１の電極指２５と交叉している。交叉領域Ｅと、第３のバスバー３４Ｂとの間に、第２のバスバー２３が位置している。第２のバスバー２３は、絶縁体層２９を介して複数の第３の電極指２７と交叉している。

　第３のバスバー３４Ａが、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第１の電極指２５、絶縁体層２９及び第３のバスバー２４がこの順序で積層されている。もっとも、第３のバスバー２４が、絶縁体層２９及び第１の電極指２５と積層されている部分においては、圧電層１４側から、第３のバスバー３４Ａ、絶縁体層２９及び第１の電極指２５がこの順序で積層されていてもよい。

　図１５に示す第３の変形例では、全ての絶縁体層２９のうち、一部の複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第３の電極指２７の一部を覆っている。残りの複数の絶縁体層２９はそれぞれ、１本の第２の電極指２６の一部を覆っている。

　交叉領域Ｅと、第３のバスバー３４Ａとの間に、第１のバスバー２２が位置している。第１のバスバー２２は、絶縁体層２９を介して複数の第３の電極指２７と交叉している。交叉領域Ｅと、第２のバスバー２３との間に、第３のバスバー３４Ｂが位置している。第３のバスバー３４Ｂは、絶縁体層２９を介して複数の第２の電極指２６と交叉している。

　なお、第２の変形例及び第３の変形例においては、第１の櫛形電極１７は入力電位に接続される。第２の櫛形電極１８は出力電位に接続される。第３の変形例の構成は、第２の変形例において、第１の櫛形電極１７が出力電位に接続され、第２の櫛形電極１８が入力電位に接続される場合の構成に相当する。

　図１６は、第５の実施形態における、第３のバスバーが延びる方向と直交する方向に沿う第３のバスバーの模式的断面図である。

　本実施形態は、第３の電極４９における第３のバスバー４４の層構成において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第３の実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第３のバスバー４４は、金属層４４ａと、導電補助層４４ｂとの積層体である。導電補助層４４ｂの厚みは、金属層４４ａの厚みよりも厚い。なお、本明細書において、バスバーや電極指を構成している層同士の厚みが異なるとは、双方の層の厚みの差の絶対値が、双方の層のいずれの厚みに対しても１０％以上であることをいう。同様に、バスバーの厚み及び電極指の厚みが異なるとは、バスバー及び電極指の厚みの差の絶対値が、バスバー及び電極指のいずれの厚みに対しても１０％以上であることをいう。

　一方で、図１を援用して示す第３の電極指２７は、単層の金属層からなる。第３の電極指２７は、第３のバスバー４４における金属層４４ａと同じ金属層からなる。すなわち、第３のバスバー４４における金属層４４ａの材料と、第３の電極指２７を構成している金属層の材料とは、同じ材料である。本実施形態では、第３のバスバー４４における金属層４４ａの厚みと、第３の電極指２７を構成している金属層の厚みとは同じである。

　なお、第３の電極指２７は積層金属膜からなっていてもよい。この場合、例えば、第３の電極指２７において、圧電層１４側から、Ｔｉ層及びＡｌ層がこの順序で積層されていてもよい。もっとも、第３の電極指２７の材料は上記に限定されない。同様に、第３のバスバー４４の金属層４４ａも、積層金属膜からなっていてもよい。第３の電極指２７及び第３のバスバー４４の金属層４４ａが積層金属膜からなる場合、第３の電極指２７及び金属層４４ａの各層の材料が同じであればよい。そして、第３の電極指２７及び金属層４４ａの各層の厚みが同じであればよい。

　上記のように、第３のバスバー４４は導電補助層４４ｂを有する。それによって、第３の電極４９の電気抵抗をより一層低くすることができる。加えて、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　導電補助層４４ｂの材料の電気抵抗が、金属層４４ａの材料の電気抵抗よりも低いことが好ましい。それによって、第３の電極４９の電気抵抗をより一層効果的に低くすることができる。

　図１７は、第６の実施形態における、第３のバスバーが延びる方向と直交する方向に沿う第３のバスバーの模式的断面図である。

　本実施形態は、第３の電極５９において、第３のバスバー５４の厚みが第３の電極指２７の厚みと異なる点で、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第３のバスバー５４、及び図１を援用して示す第３の電極指２７においては、層構成は同じである。より具体的には、本実施形態では、第３のバスバー５４及び第３の電極指２７は、単層の金属層からなる。第３のバスバー５４及び第３の電極指２７に用いられている材料は同じである。もっとも、第３の電極指２７及び第３のバスバー５４に用いられている材料は、互いに異なっていてもよい。

　第３のバスバー５４の厚みは、第３の電極指２７の厚みよりも厚い。それによって、第３の電極５９の電気抵抗をより一層低くすることができる。加えて、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　なお、第３のバスバー５４における、電極指と積層されていない部分の厚みと、第３の電極指２７の厚みとを比較した場合において、第３のバスバー５４の厚みが、第３の電極指２７の厚みよりも厚ければよい。ところで、第３の電極指２７及び第３のバスバー５４は、積層金属膜からなっていてもよい。この場合、第３のバスバー５４における各層の厚みを合計した厚みが、第３の電極指２７における各層の厚みを合計した厚みよりも厚ければよい。

　図１８は、第７の実施形態における機能電極の一部を示す模式的平面図である。

　本実施形態は、複数の第３の電極指２７同士が電気的に接続されている構成において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第３の電極６９における第３のバスバー２４は、交叉領域と、第１のバスバー２２との間に位置している。各第１の電極指２５の一部を覆うように、圧電層１４の第１の主面１４ａに、複数の絶縁体層２９が設けられている。

　第３の電極６９は、複数の接続電極６５を有する。各接続電極６５は、隣り合う２本の第３の電極指２７の先端のうち、第１のバスバー２２側の先端同士を接続している。接続電極６５及び２本の第３の電極指２７によって、Ｕ字状の電極が構成されている。圧電層１４の第１の主面１４ａ、複数の絶縁体層２９上及び複数の接続電極６５上にわたり、第３のバスバー２４が設けられている。

　第１の櫛形電極１７の一部である複数の第１の電極指２５と、第３の電極６９の一部である第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。これにより、第３のバスバー２４及び複数の第１の電極指２５は、互いに電気的に絶縁されている。他方、第３のバスバー２４は、複数の第３の電極指２７を電気的に接続している。

　接続電極６５は電極指直交方向に延びている。そのため、接続電極６５及び第３のバスバー２４が接触している面積は大きい。よって、接続電極６５及び第３のバスバー２４の間において、接触抵抗は小さい。これにより、第３の電極６９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。加えて、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　接続電極６５及び第３の電極指２７は、同じ金属層からなる。それによって、生産性を低くせずして、第３の電極６９の電気抵抗を効果的に小さくすることができる。

　接続電極６５の電極指延伸方向に沿う寸法を接続電極６５の幅としたときに、本実施形態では、第３のバスバー２４の幅は、接続電極６５の幅よりも狭い。もっとも、第３のバスバー２４の幅は、接続電極６５の幅よりも広くてもよい。

　本実施形態では、第３のバスバー２４は単層の金属層からなる。第３の電極指２７は単層の金属層からなる。第３のバスバー２４の材料と、第３の電極指２７の材料とは互いに異なる。この場合、第３のバスバー２４の材料の電気抵抗が、第３の電極指２７の材料の電気抵抗よりも低いことが好ましい。それによって、第３の電極６９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。なお、接続電極６５が設けられている場合においても、第３のバスバー２４は、第３の電極指２７と同じ金属層を含んでいてもよい。なお、第３のバスバー２４及び第３の電極指２７は積層金属膜からなっていてもよい。この場合、第３のバスバー２４における各層の材料のうち最も電気抵抗が高い材料の電気抵抗が、第３の電極指２７における各層の材料のうち最も電気抵抗が高い材料の電気抵抗よりも低いことが好ましい。第３のバスバー２４における各層の材料のうち最も電気抵抗が低い材料の電気抵抗が、第３の電極指２７における各層の材料のうち最も電気抵抗が低い材料の電気抵抗よりも低いことが好ましい。それによって、第３の電極６９の電気抵抗をより確実に低くすることができる。

　第３のバスバー２４を構成している金属層の厚みは、第３の電極指２７を構成している金属層の厚みよりも厚い。それによって、第３の電極６９の電気抵抗をより一層低くすることができる。もっとも、例えば、第３のバスバー２４の厚みと、第３の電極指２７の厚みとが同じであってもよい。

　第５の実施形態と同様に、第３のバスバー２４は、金属層と導電補助層との積層体であってもよい。この場合においても、第３の電極６９の電気抵抗をより一層低くすることができる。

　図１９は、第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１の櫛形電極７７における第１のバスバー７２が、導電補助層７２ｂを有する点において、第１の実施形態と異なる。本実施形態は、第２の櫛形電極７８における第２のバスバー７３が、導電補助層７３ｂを有する点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。

　第１のバスバー７２は、金属層７２ａと、導電補助層７２ｂとが積層された積層体である。導電補助層７２ｂの厚みは、金属層７２ａの厚みよりも厚い。

　一方で、第１の電極指２５は単層の金属層からなる。第１の電極指２５は、第１のバスバー７２における金属層７２ａと同じ金属層からなる。すなわち、第１のバスバー７２における金属層７２ａの材料と、第１の電極指２５を構成している金属層の材料とは、同じ材料である。本実施形態では、第１のバスバー７２における金属層７２ａの厚みと、第１の電極指２５を構成している金属層の厚みとは同じである。

　上記のように、第１のバスバー７２は、導電補助層７２ｂを有する。それによって、第１の櫛形電極７７の電気抵抗を低くすることができる。なお、第１の電極指２５及び第１のバスバー７２における金属層７２ａは、積層金属膜からなっていてもよい。この場合、第１の電極指２５及び金属層７２ａの各層の材料が同じであればよい。そして、第１の電極指２５及び金属層７２ａの各層の厚みが同じであればよい。もっとも、本発明においては、第１の電極指２５及び金属層７２ａにおける各層の材料及び厚みのうち少なくとも一方が、互いに異なっていてもよい。

　第２の櫛形電極７８も、第１の櫛形電極７７と同様に構成されている。すなわち、第２の電極指２６は単層の金属層からなる。第２のバスバー７３は、金属層７３ａと、導電補助層７３ｂとが積層された積層体である。それによって、第２の櫛形電極７８の電気抵抗を低くすることができる。なお、第２の電極指２６及び第２のバスバー７３における金属層７３ａは、積層金属膜からなっていてもよい。この場合、第２の電極指２６及び金属層７３ａの各層の材料が同じであればよい。そして、第２の電極指２６及び金属層７３ａの各層の厚みが同じであればよい。もっとも、本発明においては、第２の電極指２６及び金属層７３ａにおける各層の材料及び厚みのうち少なくとも一方が、互いに異なっていてもよい。

　なお、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、複数の第１の電極指２５と、第３のバスバー２４とが、圧電層１４上において、絶縁体層２９を介して交叉している。それによって、弾性波装置がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができ、かつ第３の電極１９の電気抵抗を低くすることができる。

　上記の第１の実施形態などにおいては、第３の電極において、複数の第３の電極指及び第３のバスバーが積層されている。もっとも、これに限定されるものではない。複数の第３の電極指及び第３のバスバーが積層されていない例を、第８の実施形態の変形例により示す。

　図２０に示す第８の実施形態の変形例における第３の電極７９では、複数の第３の電極指２７及び第３のバスバー２４は積層されていない。複数の第３の電極指２７を構成している層と、第３のバスバー２４を構成している層とは、連続的に形成されている。よって、第３の電極７９においては、第３のバスバー２４及び第３の電極指２７の間に接触抵抗は生じない。従って、第３の電極７９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。加えて、第７の実施形態と同様に、弾性波装置１０がフィルタ装置に用いられる場合において、フィルタ装置の小型化を進めることができる。

　以下において、第８の実施形態に係る弾性波装置、及び第８の実施形態の変形例に係る弾性波装置の製造方法の例を示す。

　図２１（ａ）～図２１（ｃ）は、第８の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための模式的平面図である。

　図２１（ａ）に示すように、圧電性基板１２を用意する。次に、圧電性基板１２における圧電層１４の第１の主面１４ａに、複数の第１の電極指２５、複数の第２の電極指２６及び複数の第３の電極指２７を形成する。同時に、第１の主面１４ａに金属層７２ａ及び金属層７３ａを形成する。このとき、金属層７２ａに、複数の第１の電極指２５の一端がそれぞれ接続されている。金属層７３ａに、複数の第２の電極指２６の一端がそれぞれ接続されている。複数の電極指、金属層７２ａ及び金属層７３ａは、例えば、真空蒸着法またはスパッタリング法などにより形成することができる。

　次に、図２１（ｂ）に示すように、圧電層１４の第１の主面１４ａに、各第１の電極指２５の一部を覆うように、複数の絶縁体層２９を形成する。より具体的には、１個の絶縁体層２９が１本の第１の電極指２５の一部を覆うように、複数の絶縁体層２９を形成する。複数の絶縁体層２９は、例えば、真空蒸着法またはスパッタリング法などにより形成することができる。

　次に、図２１（ｃ）に示すように、第３のバスバー２４、導電補助層７２ｂ及び導電補助層７３ｂを同時に形成する。より具体的には、第３のバスバー２４を、圧電層１４の第１の主面１４ａ、複数の絶縁体層２９上及び複数の第３の電極指２７上にわたり形成する。これにより、第３の電極１９が形成される。導電補助層７２ｂを金属層７２ａ上に形成する。これにより、第１のバスバー７２が形成されることによって、第１の櫛形電極７７が形成される。導電補助層７３ｂを金属層７３ａ上に形成する。これにより、第２のバスバー７３が形成されることによって、第２の櫛形電極７８が形成される。

　第３のバスバー２４、導電補助層７２ｂ及び導電補助層７２ｂは、例えば、真空蒸着法またはスパッタリング法などにより形成することができる。

　この製造方法においては、第３のバスバー２４、導電補助層７２ｂ及び導電補助層７３ｂを同時に形成することによって、機能電極の形成の工程を少なくすることができる。それによって、弾性波装置の製造工程を簡素化することができ、コストを削減することができる。従って、生産性を高めることができる。なお、この製造方法は一例であって、弾性波装置の製造方法は上記に限定されない。

　図２２（ａ）～図２２（ｄ）は、第８の実施形態の変形例に係る弾性波装置の製造方法の一例を示す図である。

　図２２（ａ）に示すように、圧電性基板１２を用意する。次に、圧電性基板１２における圧電層１４の第１の主面１４ａに、複数の第１の電極指２５及び複数の第２の電極指２６を形成する。同時に、第１の主面１４ａに、金属層７２ａ及び金属層７３ａを形成する。このとき、金属層７２ａに、複数の第１の電極指２５の一端がそれぞれ接続されている。金属層７３ａに、複数の第２の電極指２６の一端がそれぞれ接続されている。

　次に、図２２（ｂ）に示すように、圧電層１４の第１の主面１４ａに、各第１の電極指２５の一部を覆うように、複数の絶縁体層２９を形成する。より具体的には、１個の絶縁体層２９が１本の第１の電極指２５の一部を覆うように、複数の絶縁体層２９を形成する。

　次に、図２２（ｃ）に示すように、第３の電極７９を形成する。具体的には、複数の第３の電極指２７及び第３のバスバー２４を同時に形成する。より具体的には、圧電層１４の第１の主面１４ａに、複数の第３の電極指２７を形成する。第１の主面及び複数の絶縁体層２９上にわたり、第３のバスバー２４を形成する。

　次に、図２２（ｄ）に示すように、導電補助層７２ｂ及び導電補助層７３ｂを同時に形成する。より具体的には、導電補助層７２ｂを金属層７２ａ上に形成する。これにより、第１のバスバー７２が形成されることによって、第１の櫛形電極７７が形成される。導電補助層７３ｂを金属層７３ａ上に形成する。これにより、第２のバスバー７３が形成されることによって、第２の櫛形電極７８が形成される。

　この製造方法においては、第１の電極指２５及び第２の電極指２６と、第３の電極指２７とを、別の工程において形成する。これにより、第１の電極指２５及び第２の電極指２６の構成と、第３の電極指２７の構成とを、互いに異ならせることができる。よって、設計の自由度を高くすることができる。それによって、フィルタ特性を改善させ易い。

　加えて、この製造方法では、複数の第３の電極指２７を構成している層と、第３のバスバー２４を構成している層とを同時に形成する。そのため、複数の第３の電極指２７及び第３のバスバー２４の間に接触抵抗は生じない。従って、第３の電極７９の電気抵抗を効果的に低くすることができる。なお、この製造方法は一例であって、弾性波装置の製造方法は上記に限定されない。

　以下において、機能電極がＩＤＴ電極である例を用いて、厚み滑りモードの詳細を説明する。なお、ＩＤＴ電極は第３の電極指を有しない。後述するＩＤＴ電極における「電極」は、電極指に相当する。以下の例における支持部材は、本発明における支持基板に相当する。以下においては、基準電位をグラウンド電位と記載することもある。

　図２３（ａ）は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の外観を示す略図的斜視図であり、図２３（ｂ）は、圧電層上の電極構造を示す平面図であり、図２４は、図２３（ａ）中のＡ－Ａ線に沿う部分の断面図である。

　弾性波装置１は、ＬｉＮｂＯ_３からなる圧電層２を有する。圧電層２は、ＬｉＴａＯ_３からなるものであってもよい。ＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３のカット角は、Ｚカットであるが、回転ＹカットやＸカットであってもよい。圧電層２の厚みは、特に限定されないが、厚み滑りモードを効果的に励振するには、４０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下であることがより好ましい。圧電層２は、対向し合う第１，第２の主面２ａ，２ｂを有する。第１の主面２ａ上に、電極３及び電極４が設けられている。ここで電極３が「第１電極」の一例であり、電極４が「第２電極」の一例である。図２３（ａ）及び図２３（ｂ）では、複数の電極３が、第１のバスバー５に接続されている。複数の電極４は、第２のバスバー６に接続されている。複数の電極３及び複数の電極４は、互いに間挿し合っている。電極３及び電極４は、矩形形状を有し、長さ方向を有する。この長さ方向と直交する方向において、電極３と、隣りの電極４とが対向している。電極３，４の長さ方向、及び、電極３，４の長さ方向と直交する方向はいずれも、圧電層２の厚み方向に交叉する方向である。このため、電極３と、隣りの電極４とは、圧電層２の厚み方向に交叉する方向において対向しているともいえる。また、電極３，４の長さ方向が図２３（ａ）及び図２３（ｂ）に示す電極３，４の長さ方向に直交する方向と入れ替わってもよい。すなわち、図２３（ａ）及び図２３（ｂ）において、第１のバスバー５及び第２のバスバー６が延びている方向に電極３，４を延ばしてもよい。その場合、第１のバスバー５及び第２のバスバー６は、図２３（ａ）及び図２３（ｂ）において電極３，４が延びている方向に延びることとなる。そして、一方電位に接続される電極３と、他方電位に接続される電極４とが隣り合う１対の構造が、上記電極３，４の長さ方向と直交する方向に、複数対設けられている。ここで電極３と電極４とが隣り合うとは、電極３と電極４とが直接接触するように配置されている場合ではなく、電極３と電極４とが間隔を介して配置されている場合を指す。また、電極３と電極４とが隣り合う場合、電極３と電極４との間には、他の電極３，４を含む、ホット電極やグラウンド電極に接続される電極は配置されない。この対数は、整数対である必要はなく、１．５対や２．５対などであってもよい。電極３，４間の中心間距離すなわちピッチは、１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲が好ましい。また、電極３，４の幅、すなわち電極３，４の対向方向の寸法は、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下の範囲であることが好ましく、１５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下の範囲であることがより好ましい。なお、電極３，４間の中心間距離とは、電極３の長さ方向と直交する方向における電極３の寸法（幅寸法）の中心と、電極４の長さ方向と直交する方向における電極４の寸法（幅寸法）の中心とを結んだ距離となる。

　また、弾性波装置１では、Ｚカットの圧電層を用いているため、電極３，４の長さ方向と直交する方向は、圧電層２の分極方向に直交する方向となる。圧電層２として他のカット角の圧電体を用いた場合には、この限りでない。ここにおいて、「直交」とは、厳密に直交する場合のみに限定されず、略直交（電極３，４の長さ方向と直交する方向と分極方向とのなす角度が例えば９０°±１０°の範囲内）でもよい。

　圧電層２の第２の主面２ｂ側には、絶縁層７を介して支持部材８が積層されている。絶縁層７及び支持部材８は、枠状の形状を有し、図２４に示すように、貫通孔７ａ，８ａを有する。それによって、空洞部９が形成されている。空洞部９は、圧電層２の励振領域Ｃの振動を妨げないために設けられている。従って、上記支持部材８は、少なくとも１対の電極３，４が設けられている部分と重ならない位置において、第２の主面２ｂに絶縁層７を介して積層されている。なお、絶縁層７は設けられずともよい。従って、支持部材８は、圧電層２の第２の主面２ｂに直接または間接に積層され得る。

　絶縁層７は、酸化ケイ素からなる。もっとも、酸化ケイ素の他、酸窒化ケイ素、アルミナなどの適宜の絶縁性材料を用いることができる。支持部材８は、Ｓｉからなる。Ｓｉの圧電層２側の面における面方位は（１００）や（１１０）であってもよく、（１１１）であってもよい。支持部材８を構成するＳｉは、抵抗率４ｋΩｃｍ以上の高抵抗であることが望ましい。もっとも、支持部材８についても適宜の絶縁性材料や半導体材料を用いて構成することができる。

　支持部材８の材料としては、例えば、酸化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、マグネシア、サファイア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライトなどの各種セラミック、ダイヤモンド、ガラスなどの誘電体、窒化ガリウムなどの半導体などを用いることができる。

　上記複数の電極３，４及び第１，第２のバスバー５，６は、Ａｌ、ＡｌＣｕ合金などの適宜の金属もしくは合金からなる。弾性波装置１では、電極３，４及び第１，第２のバスバー５，６は、Ｔｉ膜上にＡｌ膜を積層した構造を有する。なお、Ｔｉ膜以外の密着層を用いてもよい。

　駆動に際しては、複数の電極３と、複数の電極４との間に交流電圧を印加する。より具体的には、第１のバスバー５と第２のバスバー６との間に交流電圧を印加する。それによって、圧電層２において励振される厚み滑りモードのバルク波を利用した、共振特性を得ることが可能とされている。また、弾性波装置１では、圧電層２の厚みをｄ、複数対の電極３，４のうちいずれかの隣り合う電極３，４の中心間距離をｐとした場合、ｄ／ｐは０．５以下とされている。そのため、上記厚み滑りモードのバルク波が効果的に励振され、良好な共振特性を得ることができる。より好ましくは、ｄ／ｐは０．２４以下であり、その場合には、より一層良好な共振特性を得ることができる。

　弾性波装置１では、上記構成を備えるため、小型化を図ろうとして、電極３，４の対数を小さくしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。これは、両側の反射器における電極指の本数を少なくしても、伝搬ロスが少ないためである。また、上記電極指の本数を少なくできるのは、厚み滑りモードのバルク波を利用していることによる。弾性波装置で利用したラム波と、上記厚み滑りモードのバルク波の相違を、図２５（ａ）及び図２５（ｂ）を参照して説明する。

　図２５（ａ）は、日本公開特許公報　特開２０１２－２５７０１９号公報に記載のような弾性波装置の圧電膜を伝搬するラム波を説明するための模式的正面断面図である。ここでは、圧電膜２０１中を矢印で示すように波が伝搬する。ここで、圧電膜２０１では、第１の主面２０１ａと、第２の主面２０１ｂとが対向しており、第１の主面２０１ａと第２の主面２０１ｂとを結ぶ厚み方向がＺ方向である。Ｘ方向は、ＩＤＴ電極の電極指が並んでいる方向である。図２５（ａ）に示すように、ラム波では、波が図示のように、Ｘ方向に伝搬していく。板波であるため、圧電膜２０１が全体として振動するものの、波はＸ方向に伝搬するため、両側に反射器を配置して、共振特性を得ている。そのため、波の伝搬ロスが生じ、小型化を図った場合、すなわち電極指の対数を少なくした場合、Ｑ値が低下する。

　これに対して、図２５（ｂ）に示すように、弾性波装置１では、振動変位は厚み滑り方向であるから、波は、圧電層２の第１の主面２ａと第２の主面２ｂとを結ぶ方向、すなわちＺ方向にほぼ伝搬し、共振する。すなわち、波のＸ方向成分がＺ方向成分に比べて著しく小さい。そして、このＺ方向の波の伝搬により共振特性が得られるため、反射器の電極指の本数を少なくしても、伝搬損失は生じ難い。さらに、小型化を進めようとして、電極３，４からなる電極対の対数を減らしたとしても、Ｑ値の低下が生じ難い。

　なお、厚み滑りモードのバルク波の振幅方向は、図２６に示すように、圧電層２の励振領域Ｃに含まれる第１領域４５１と、励振領域Ｃに含まれる第２領域４５２とで逆になる。図２６では、電極３と電極４との間に、電極４が電極３よりも高電位となる電圧が印加された場合のバルク波を模式的に示してある。第１領域４５１は、励振領域Ｃのうち、圧電層２の厚み方向に直交し圧電層２を２分する仮想平面ＶＰ１と、第１の主面２ａとの間の領域である。第２領域４５２は、励振領域Ｃのうち、仮想平面ＶＰ１と、第２の主面２ｂとの間の領域である。

　上記のように、弾性波装置１では、電極３と電極４とからなる少なくとも１対の電極が配置されているが、Ｘ方向に波を伝搬させるものではないため、この電極３，４からなる電極対の対数は複数対ある必要はない。すなわち、少なくとも１対の電極が設けられてさえおればよい。

　例えば、上記電極３がホット電位に接続される電極であり、電極４がグラウンド電位に接続される電極である。もっとも、電極３がグラウンド電位に、電極４がホット電位に接続されてもよい。弾性波装置１では、少なくとも１対の電極は、上記のように、ホット電位に接続される電極またはグラウンド電位に接続される電極であり、浮き電極は設けられていない。

　図２７は、図２４に示す弾性波装置の共振特性を示す図である。なお、この共振特性を得た弾性波装置１の設計パラメータは以下の通りである。

　圧電層２：オイラー角（０°，０°，９０°）のＬｉＮｂＯ_３、厚み＝４００ｎｍ。
　電極３と電極４の長さ方向と直交する方向に見たときに、電極３と電極４とが重なっている領域、すなわち励振領域Ｃの長さ＝４０μｍ、電極３，４からなる電極の対数＝２１対、電極間中心距離＝３μｍ、電極３，４の幅＝５００ｎｍ、ｄ／ｐ＝０．１３３。
　絶縁層７：１μｍの厚みの酸化ケイ素膜。
　支持部材８：Ｓｉ。

　なお、励振領域Ｃの長さとは、励振領域Ｃの電極３，４の長さ方向に沿う寸法である。

　弾性波装置１では、電極３，４からなる電極対の電極間距離は、複数対において全て等しくした。すなわち、電極３と電極４とを等ピッチで配置した。

　図２７から明らかなように、反射器を有しないにも関わらず、比帯域が１２．５％である良好な共振特性が得られている。

　ところで、上記圧電層２の厚みをｄ、電極３と電極４との電極の中心間距離をｐとした場合、前述したように、弾性波装置１では、ｄ／ｐは０．５以下、より好ましくは０．２４以下である。これを、図２８を参照して説明する。

　図２７に示した共振特性を得た弾性波装置と同様に、但しｄ／ｐを変化させ、複数の弾性波装置を得た。図２８は、このｄ／ｐと、弾性波装置の共振子としての比帯域との関係を示す図である。

　図２８から明らかなように、ｄ／ｐ＞０．５では、ｄ／ｐを調整しても、比帯域は５％未満である。これに対して、ｄ／ｐ≦０．５の場合には、その範囲内でｄ／ｐを変化させれば、比帯域を５％以上とすることができ、すなわち高い結合係数を有する共振子を構成することができる。また、ｄ／ｐが０．２４以下の場合には、比帯域を７％以上と高めることができる。加えて、ｄ／ｐをこの範囲内で調整すれば、より一層比帯域の広い共振子を得ることができ、より一層高い結合係数を有する共振子を実現することができる。従って、ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、上記厚み滑りモードのバルク波を利用した、高い結合係数を有する共振子を構成し得ることがわかる。

　図２９は、厚み滑りモードのバルク波を利用する弾性波装置の平面図である。弾性波装置８０では、圧電層２の第１の主面２ａ上において、電極３と電極４とを有する１対の電極が設けられている。なお、図２９中のＫが交叉幅となる。前述したように、本発明の弾性波装置では、電極の対数は１対であってもよい。この場合においても、上記ｄ／ｐが０．５以下であれば、厚み滑りモードのバルク波を効果的に励振することができる。

　弾性波装置１では、好ましくは、複数の電極３，４において、いずれかの隣り合う電極３，４が対向している方向に見たときに重なっている領域である励振領域Ｃに対する、上記隣り合う電極３，４のメタライゼーション比ＭＲが、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが望ましい。その場合には、スプリアスを効果的に小さくすることができる。これを、図３０及び図３１を参照して説明する。図３０は、上記弾性波装置１の共振特性の一例を示す参考図である。矢印Ｂで示すスプリアスが、共振周波数と反共振周波数との間に現れている。なお、ｄ／ｐ＝０．０８として、かつＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，０°，９０°）とした。また、上記メタライゼーション比ＭＲ＝０．３５とした。

　メタライゼーション比ＭＲを、図２３（ｂ）を参照して説明する。図２３（ｂ）の電極構造において、１対の電極３，４に着目した場合、この１対の電極３，４のみが設けられるとする。この場合、一点鎖線で囲まれた部分が励振領域Ｃとなる。この励振領域Ｃとは、電極３と電極４とを、電極３，４の長さ方向と直交する方向すなわち対向方向に見たときに電極３における電極４と重なり合っている領域、電極４における電極３と重なり合っている領域、及び、電極３と電極４との間の領域における電極３と電極４とが重なり合っている領域である。そして、この励振領域Ｃの面積に対する、励振領域Ｃ内の電極３，４の面積が、メタライゼーション比ＭＲとなる。すなわち、メタライゼーション比ＭＲは、メタライゼーション部分の面積の励振領域Ｃの面積に対する比である。

　なお、複数対の電極が設けられている場合、励振領域の面積の合計に対する全励振領域に含まれているメタライゼーション部分の割合をＭＲとすればよい。

　図３１は弾性波装置１の構成に従って、多数の弾性波共振子を構成した場合の比帯域と、スプリアスの大きさとしての１８０度で規格化されたスプリアスのインピーダンスの位相回転量との関係を示す図である。なお、比帯域については、圧電層の膜厚や電極の寸法を種々変更し、調整した。また、図３１は、ＺカットのＬｉＮｂＯ_３からなる圧電層を用いた場合の結果であるが、他のカット角の圧電層を用いた場合においても、同様の傾向となる。

　図３１中の楕円Ｊで囲まれている領域では、スプリアスが１．０と大きくなっている。図３１から明らかなように、比帯域が０．１７を超えると、すなわち１７％を超えると、スプリアスレベルが１以上の大きなスプリアスが、比帯域を構成するパラメータを変化させたとしても、通過帯域内に現れる。すなわち、図３０に示す共振特性のように、矢印Ｂで示す大きなスプリアスが帯域内に現れる。よって、比帯域は１７％以下であることが好ましい。この場合には、圧電層２の膜厚や電極３，４の寸法などを調整することにより、スプリアスを小さくすることができる。

　図３２は、ｄ／２ｐと、メタライゼーション比ＭＲと、比帯域との関係を示す図である。上記弾性波装置において、ｄ／２ｐと、ＭＲが異なる様々な弾性波装置を構成し、比帯域を測定した。図３２の破線Ｄの右側のハッチングを付して示した部分が、比帯域が１７％以下の領域である。このハッチングを付した領域と、付していない領域との境界は、ＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０７５で表される。すなわち、ＭＲ＝１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。従って、好ましくは、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５である。その場合には、比帯域を１７％以下としやすい。より好ましくは、図３２中の一点鎖線Ｄ１で示すＭＲ＝３．５（ｄ／２ｐ）＋０．０５の右側の領域である。すなわち、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０５であれば、比帯域を確実に１７％以下にすることができる。

　図３３は、ｄ／ｐを限りなく０に近づけた場合のＬｉＮｂＯ_３のオイラー角（０°，θ，ψ）に対する比帯域のマップを示す図である。図３３において示す、ハッチングを付して示した複数の領域Ｒがそれぞれ、２％以上の比帯域が得られる領域である。なお、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±５°の範囲内である場合には、θ及びψと比帯域との関係は、図３３に示す関係と同様である。圧電層がタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）からなる場合においても、オイラー角（０°±５°の範囲内，θ，ψ）におけるθ及びψと、ＢＷとの関係は、図３３に示す関係と同様である。

　従って、圧電層を構成しているニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）におけるφが０°±５°の範囲内であり、θ及びφが、図３３に示す複数の領域Ｒのいずれかの範囲内であれば、比帯域を十分に広くすることができ、好ましい。

　図３４は、音響多層膜を有する弾性波装置の正面断面図である。

　弾性波装置８１では、圧電層２の第２の主面２ｂに音響多層膜８２が積層されている。音響多層膜８２は、音響インピーダンスが相対的に低い低音響インピーダンス層８２ａ，８２ｃ，８２ｅと、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス層８２ｂ，８２ｄとの積層構造を有する。音響多層膜８２を用いた場合、弾性波装置１における空洞部９を用いずとも、厚み滑りモードのバルク波を圧電層２内に閉じ込めることができる。弾性波装置８１においても、上記ｄ／ｐを０．５以下とすることにより、厚み滑りモードのバルク波に基づく共振特性を得ることができる。なお、音響多層膜８２においては、その低音響インピーダンス層８２ａ，８２ｃ，８２ｅ及び高音響インピーダンス層８２ｂ，８２ｄの積層数は特に限定されない。低音響インピーダンス層８２ａ，８２ｃ，８２ｅよりも、少なくとも１層の高音響インピーダンス層８２ｂ，８２ｄが圧電層２から遠い側に配置されておりさえすればよい。

　上記低音響インピーダンス層８２ａ，８２ｃ，８２ｅ及び高音響インピーダンス層８２ｂ，８２ｄは、上記音響インピーダンスの関係を満たす限り、適宜の材料で構成することができる。例えば、低音響インピーダンス層８２ａ，８２ｃ，８２ｅの材料としては、酸化ケイ素または酸窒化ケイ素などを挙げることができる。また、高音響インピーダンス層８２ｂ，８２ｄの材料としては、アルミナ、窒化ケイ素または金属などを挙げることができる。

　図３５は、ラム波を利用する弾性波装置を説明するための部分切り欠き斜視図である。

　弾性波装置９１は、支持基板９２を有する。支持基板９２には、上面に開いた凹部が設けられている。支持基板９２上に圧電層９３が積層されている。それによって、空洞部９が構成されている。この空洞部９の上方において圧電層９３上に、ＩＤＴ電極９４が設けられている。ＩＤＴ電極９４の弾性波伝搬方向両側に、反射器９５，９６が設けられている。図３５において、空洞部９の外周縁を破線で示す。ここでは、ＩＤＴ電極９４は、第１，第２のバスバー９４ａ，９４ｂと、複数本の第１の電極指９４ｃ及び複数本の第２の電極指９４ｄとを有する。複数本の第１の電極指９４ｃは、第１のバスバー９４ａに接続されている。複数本の第２の電極指９４ｄは、第２のバスバー９４ｂに接続されている。複数本の第１の電極指９４ｃと、複数本の第２の電極指９４ｄとは間挿し合っている。

　弾性波装置９１では、上記空洞部９上のＩＤＴ電極９４に、交流電界を印加することにより、板波としてのラム波が励振される。そして、反射器９５，９６が両側に設けられているため、上記ラム波による共振特性を得ることができる。

　このように、本発明の弾性波装置は、板波を利用するものであってもよい。なお、図３５に示す例では、図１などに示す圧電層１４の第１の主面１４ａに相当する主面に、ＩＤＴ電極９４、反射器９５及び反射器９６が設けられている。一方で、本発明の弾性波装置では、第１の主面１４ａに１対の櫛形電極及び複数の第３の電極指が設けられている。本発明の弾性波装置が板波を利用するものである場合、第１～第８の実施形態及び各変形例における圧電層１４の第１の主面１４ａに、１対の櫛形電極及び複数の第３の電極指と、上記反射器９５及び反射器９６とが設けられていればよい。この場合においては、１対の櫛形電極及び複数の第３の電極指を、電極指直交方向において、反射器９５及び反射器９６が挟んでいればよい。

　第１～第８の実施形態及び各変形例の弾性波装置においては、例えば、支持部材及び圧電膜としての圧電層の間に、音響反射膜としての、図３４に示す音響多層膜８２が設けられていてもよい。具体的には、支持部材の少なくとも一部及び圧電膜の少なくとも一部が、音響多層膜８２を挟み互いに対向するように、支持部材と圧電膜とが配置されていてもよい。この場合、音響多層膜８２において、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層とが交互に積層されていればよい。音響多層膜８２が、弾性波装置における音響反射部であってもよい。

　厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第８の実施形態及び各変形例の弾性波装置においては、上記のように、ｄ／ｐが０．５以下であることが好ましく、０．２４以下であることがより好ましい。それによって、より一層良好な共振特性を得ることができる。

　さらに、厚み滑りモードのバルク波を利用する第１～第８の実施形態及び各変形例の弾性波装置の励振領域においては、上記のように、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが好ましい。より具体的には、励振領域に対する、第１の電極指及び第３の電極指、並びに第２の電極指及び第３の電極指のメタライゼーション比をＭＲとしたときに、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たすことが好ましい。この場合には、スプリアスをより確実に抑制することができる。

１…弾性波装置
２…圧電層
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
３，４…電極
５，６…第１，第２のバスバー
７…絶縁層
７ａ…貫通孔
８…支持部材
８ａ…貫通孔
９…空洞部
１０…弾性波装置
１０ａ…空洞部
１１…機能電極
１２…圧電性基板
１３…支持部材
１４…圧電層
１４ａ，１４ｂ…第１，第２の主面
１５…絶縁層
１６…支持基板
１７，１８…第１，第２の櫛形電極
１９…第３の電極
２２～２４…第１～第３のバスバー
２５～２７…第１～第３の電極指
２９…絶縁体層
３４Ａ，３４Ｂ…第３のバスバー
３９…第３の電極
４４…第３のバスバー
４４ａ…金属層
４４ｂ…導電補助層
４９…第３の電極
５４…第３のバスバー
５９…第３の電極
６５…接続電極
６９…第３の電極
７２…第１のバスバー
７２ａ…金属層
７２ｂ…導電補助層
７３…第２のバスバー
７３ａ…金属層
７３ｂ…導電補助層
７７，７８…第１，第２の櫛形電極
７９…第３の電極
８０，８１…弾性波装置
８２…音響多層膜
８２ａ，８２ｃ，８２ｅ…低音響インピーダンス層
８２ｂ，８２ｄ…高音響インピーダンス層
９１…弾性波装置
９２…支持基板
９３…圧電層
９４…ＩＤＴ電極
９４ａ，９４ｂ…第１，第２のバスバー
９４ｃ，９４ｄ…第１，第２の電極指
９５，９６…反射器
１０９…第３の電極
２０１…圧電膜
２０１ａ，２０１ｂ…第１，第２の主面
４５１，４５２…第１，第２領域
Ｃ…励振領域
Ｅ…交叉領域
Ｒ…領域
ＶＰ１…仮想平面

Claims

　圧電体からなる圧電層を含む圧電膜と、
　前記圧電層上に設けられており、第１のバスバーと、前記第１のバスバーに一端がそれぞれ接続されている複数の第１の電極指と、を有する第１の櫛形電極と、
　前記圧電層上に設けられており、第２のバスバーと、前記第２のバスバーに一端がそれぞれ接続されており、前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指と、を有する第２の櫛形電極と、
　前記第１の電極指及び前記第２の電極指が並ぶ方向において、平面視において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指と並ぶように、それぞれ前記圧電層上に設けられている複数の第３の電極指と、隣り合う前記第３の電極指同士を接続している少なくとも１本の第３のバスバーと、を有し、前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極とは異なる電位に接続される、第３の電極と、
　前記圧電層上に設けられている絶縁体層と、
を備え、
　前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極のうち一方が入力電位に接続され、前記第１の櫛形電極及び前記第２の櫛形電極のうち他方が出力電位に接続され、
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が並んでいる順序が、前記第１の電極指から開始した場合において、前記第１の電極指、前記第３の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指を１周期とする順序であり、
　前記第１の櫛形電極の一部及び前記第３の電極の一部、並びに前記第２の櫛形電極の一部及び前記第３の電極の一部のうち少なくとも一方が、前記圧電層上において、前記絶縁体層を介して交叉している、弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記電極指直交方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第３の電極が１本の前記第３のバスバーを有し、
　前記交叉領域と、前記第１のバスバーとの間に、前記第３のバスバーが位置しており、前記第３のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第１の電極指と交叉している、請求項１に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記電極指直交方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第３の電極が１本の前記第３のバスバーを有し、
　前記交叉領域と、前記第３のバスバーとの間に、前記第１のバスバーが位置しており、前記第１のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第３の電極指と交叉している、請求項１に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記電極指直交方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第３の電極が２本の前記第３のバスバーを有し、
　前記交叉領域と、前記第１のバスバーとの間に、一方の前記第３のバスバーが位置しており、該第３のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第１の電極指と交叉しており、前記交叉領域と、前記第２のバスバーとの間に、他方の前記第３のバスバーが位置しており、該第３のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第２の電極指と交叉している、請求項１に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記電極指直交方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第３の電極が２本の前記第３のバスバーを有し、
　前記交叉領域と、前記第１のバスバーとの間に、一方の前記第３のバスバーが位置しており、該第３のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第１の電極指と交叉しており、前記交叉領域と、他方の前記第３のバスバーとの間に、前記第２のバスバーが位置しており、前記第２のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第３の電極指と交叉している、請求項１に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、前記電極指直交方向において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が重なり合っている領域が交叉領域であり、
　前記第３の電極が２本の前記第３のバスバーを有し、
　前記交叉領域と、一方の前記第３のバスバーとの間に、前記第１のバスバーが位置しており、前記第１のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第３の電極指と交叉しており、前記交叉領域と、他方の前記第３のバスバーとの間に、前記第２のバスバーが位置しており、前記第２のバスバーが、前記絶縁体層を介して前記複数の第３の電極指と交叉している、請求項１に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーが、前記絶縁体層及び前記第１の電極指と積層されている部分において、前記圧電層側から、前記第３のバスバー、前記絶縁体層及び前記第１の電極指がこの順序で積層されている、請求項２、４または５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーが、前記絶縁体層及び前記第１の電極指と積層されている部分において、前記圧電層側から、前記第１の電極指、前記絶縁体層及び前記第３のバスバーがこの順序で積層されている、請求項２、４または５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１のバスバーが、前記絶縁体層及び前記第３の電極指と積層されている部分において、前記圧電層側から、前記第１のバスバー、前記絶縁体層及び前記第３の電極指がこの順序で積層されている、請求項３または６に記載の弾性波装置。
　前記第１のバスバーが、前記絶縁体層及び前記第３の電極指と積層されている部分において、前記圧電層側から、前記第３の電極指、前記絶縁体層及び前記第１のバスバーがこの順序で積層されている、請求項３または６に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーの厚みが、前記第３の電極指の厚みよりも厚い、請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーが、前記第３の電極指の材料と同じ材料であり、かつ前記第３の電極指の厚みと同じ厚みである金属層と、前記金属層よりも厚みが厚い導電補助層とが積層された積層体である、請求項１１に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーが、前記第３の電極指よりも厚みが厚い金属層からなる、請求項１１に記載の弾性波装置。
　前記第３のバスバーが、前記第３の電極指よりも厚みが厚い金属層からなり、
　前記第３の電極が、隣り合う２本の前記第３の電極指の先端のうち前記第１のバスバー側の先端同士を接続している、複数の接続電極を含み、
　前記複数の接続電極と、前記第３のバスバーとが積層されている、請求項２、４、５、７または８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の櫛形電極が入力電位に接続され、前記第２の櫛形電極が出力電位に接続される、請求項１～１４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の櫛形電極が出力電位に接続され、前記第２の櫛形電極が入力電位に接続される、請求項１～１４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　厚み滑りモードのバルク波を利用可能に構成されている、請求項１～１６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記圧電膜に積層されている支持部材をさらに備え、
　前記支持部材及び前記圧電膜の積層方向に沿って見た平面視において、前記支持部材における、前記複数の第１の電極指、前記複数の第２の電極指及び前記複数の第３の電極指と重なる位置に音響反射部が形成されており、
　隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離、並びに、隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指の中心間距離のうち、最も長い距離をｐとした場合において、前記圧電膜の厚みをｄとした場合、ｄ／ｐが０．５以下である、請求項１～１６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　ｄ／ｐが０．２４以下である、請求項１８に記載の弾性波装置。
　前記音響反射部が空洞部であり、前記支持部材の一部及び前記圧電膜の一部が、前記空洞部を挟み互いに対向するように、前記支持部材と前記圧電膜とが配置されている、請求項１８または１９に記載の弾性波装置。
　前記音響反射部が、相対的に音響インピーダンスが高い高音響インピーダンス層と、相対的に音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス層と、を含む、音響反射膜であり、前記支持部材の少なくとも一部及び前記圧電膜の少なくとも一部が、前記音響反射膜を挟み互いに対向するように、前記支持部材と前記圧電膜とが配置されている、請求項１８または１９に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指、前記第２の電極指及び前記第３の電極指が延びる方向と直交する方向を電極指直交方向としたときに、隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指が、前記電極指直交方向において重なり合っている領域であり、かつ隣り合う前記第１の電極指及び前記第３の電極指の中心間の領域、並びに、隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指が、前記電極指直交方向において重なり合っている領域であり、かつ隣り合う前記第２の電極指及び前記第３の電極指の中心間の領域が励振領域であり、
　前記励振領域に対する、前記第１の電極指及び前記第３の電極指、並びに前記第２の電極指及び前記第３の電極指のメタライゼーション比をＭＲとしたときに、ＭＲ≦１．７５（ｄ／ｐ）＋０．０７５を満たす、請求項１８～２１のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記圧電層がニオブ酸リチウムからなり、
　前記圧電層を構成しているニオブ酸リチウムのオイラー角（φ，θ，ψ）が、以下の式（１）、式（２）または式（３）の範囲にある、請求項１～２２のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　（０°±１０°の範囲内，０°～２５°，任意のψ）　　…式（１）
　（０°±１０°の範囲内，２５°～１００°，０°～７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２　または　１８０°－７５°［（１－（θ－５０）^２／２５００）］^１／２～１８０°）　　…式（２）
　（０°±１０°の範囲内，１８０°－４０°［（１－（ψ－９０）^２／８１００）］^１／２～１８０°，任意のψ）　　…式（３）