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WO2019097943A1 - ガラス板の製造方法 - Google Patents

ガラス板の製造方法 Download PDF

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WO2019097943A1
WO2019097943A1 PCT/JP2018/038684 JP2018038684W WO2019097943A1 WO 2019097943 A1 WO2019097943 A1 WO 2019097943A1 JP 2018038684 W JP2018038684 W JP 2018038684W WO 2019097943 A1 WO2019097943 A1 WO 2019097943A1
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WO
WIPO (PCT)
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liquid
glass plate
drying
chamber
cleaning
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2018/038684
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English (en)
French (fr)
Inventor
薫 鑑継
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
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Ceased legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a glass plate, and more particularly to a technique for preventing adhesion of fine particles to the surface of the glass plate when the glass plate is removed by washing the glass plate and then drying the glass plate.
  • the glass plate cut out from a molded glass plate is subjected to processing such as end face processing, and then the glass plate is washed.
  • the cleaning liquid adhering to the surface of the glass plate at the time of cleaning is removed by blowing air with an air knife or the like (liquid removal) to dry the glass plate (see, for example, Patent Document 1) .
  • the presence or absence of foreign substances remaining (adhering) on the obtained glass plate is inspected.
  • the inspection step the presence or absence of foreign matter such as glass powder adhering to the surface of the glass plate is inspected, and the number of foreign matter may be measured.
  • the foreign matter to be measured is classified into a plurality of levels according to its size, and among them, the foreign matter of the minimum level (less than 1.0 ⁇ m) (hereinafter, referred to simply as fine particles in the present specification). ) Tend to be detected. It is difficult to completely remove this kind of fine particles before the inspection step, and for example, as described in Patent Document 1, even if the surface of the glass plate is washed and then it is drained and dried by an air knife. Among the glass plates after drying, there were those in which an extremely large number of fine particles were attached to the surface. As a matter of course, the adhesion of the fine particles is a factor that reduces the surface quality of the glass plate, so the adhesion of the fine particles should be avoided.
  • the method for producing a glass sheet according to the present invention is achieved by the method for producing a glass sheet according to the present invention. That is, in this manufacturing method, the first liquid is supplied to the glass plate to wash the glass plate, and the glass plate carried in the drying processing chamber and transported on a predetermined transport path in the drying processing chamber. And a drying step of removing the first liquid from the glass plate, wherein the glass plate is formed in a state where the second liquid is disposed at the bottom of the drying processing chamber. It is characterized by the point which blows a gas on.
  • the present invention has been made based on the above findings, and in performing cleaning and drying of the glass plate with the first liquid, the glass plate in a state in which the second liquid for capture is disposed at the bottom of the drying processing chamber. I tried to blow the gas. As described above, the fine particles removed from the glass plate together with the cleaning liquid and the like are removed by performing the liquid removal by blowing the gas under the environment where the second liquid is disposed at the bottom of the drying processing chamber to be set in the dry environment. , By the second liquid. Therefore, even if the turbulent flow resulting from the blowing of the gas occurs in the drying processing chamber, the settled fine particles hardly get on the turbulent flow and fly up.
  • a 1st liquid means the liquid supplied to a glass plate at a washing
  • the second liquid may be pure water.
  • the drying processing room manages the cleanliness higher than the cleaning processing room. Therefore, by using pure water as the second liquid, the fine particles floating and settling in the atmosphere are captured without deteriorating the cleanliness of the atmosphere in the drying processing room, and the adhesion to the surface of the glass plate is reduced. It becomes possible.
  • the second liquid disposed at the bottom may be replaced by supplying the second liquid into the drying processing chamber and discharging the second liquid out of the drying processing chamber.
  • the trapped microparticles can be discharged together with the second liquid. Thereby, the cleanliness of the drying processing chamber can be maintained in a high state.
  • the present invention it is possible to provide a glass plate excellent in surface quality by reducing adhesion of fine particles to the surface of the glass plate.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the washing and drying apparatus shown in FIG.
  • FIGS. 1 to 3 a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
  • a processing step S1 of performing predetermined processing on the glass plate a cleaning step S2 of cleaning the glass plate subjected to the predetermined processing, and cleaning And drying step S3 of drying the glass plate by removing the cleaning liquid adhering to the glass plate, and inspection step S4 of inspecting the presence or absence of foreign matter such as fine particles adhering to the surface of the glass plate after drying.
  • the processing step S1 the end face of the glass plate is processed, for example, by a grindstone.
  • FIG. 2 is a side view showing the overall configuration of the washing and drying apparatus 10 used in the washing step S2 and the drying step S3.
  • the cleaning and drying apparatus 10 includes a cleaning processing chamber 11 and a drying processing chamber 12, and the transport path L of the glass plate G crosses the cleaning processing chamber 11 and the drying processing chamber 12.
  • transport apparatuses 13 and 14 for transporting the glass sheet G along the transport path L are disposed in the cleaning processing chamber 11 and the drying processing chamber 12.
  • Each of the transfer devices 13 and 14 is configured by, for example, a roller conveyor.
  • the cleaning processing chamber 11 has a first cleaning chamber 15 and a second cleaning chamber 16.
  • the first cleaning chamber 15 has a cleaning roller 17 that rubs the surfaces Ga and Ga of the glass plate G to remove dirt such as foreign matter attached to the surfaces Ga and Ga.
  • the pair of upper and lower cleaning rollers 17 is disposed at a position facing each other via the conveyance path L of the glass sheet G.
  • the cleaning roller 17 may be one in which the contact portion with the glass plate G is formed of an elastic material such as a sponge, or may be formed by a brush. In the former case, the cleaning roller 17 is a sponge roller, and in the latter case, the cleaning roller 17 is a brush roller.
  • a cleaning solution supply device 18 is disposed in the first cleaning chamber 15.
  • Direction dimensions, supply flow rate, etc. are set.
  • the “width direction” in the present specification refers to a direction coincident with the width direction of the glass sheet G transported on the transport path L.
  • pure water can be used as the cleaning solution 19, and a detergent, a surfactant, alkaline ionized water, sodium hypochlorite, etc. may be added as needed.
  • the second cleaning chamber 16 is located downstream of the first cleaning chamber 15 on the transport path L, and the surfaces Ga and Ga of the glass plate G carried from the first cleaning chamber 15 into the second cleaning chamber 16 It has the rinse liquid supply apparatus 21 which supplies the rinse liquid (rinse liquid) 20 which is one liquid. Also in this case, the direction and width direction dimension of the supply port (not shown) of the rinse liquid supply device 21 so that the rinse liquid 20 is supplied to the entire surface Ga, Ga of the glass plate G passing above the transport path L. Supply flow rate etc. are set. As the rinse solution 20, it is possible to use a known type of rinse liquid such as pure water.
  • the cleaning solution 19 supplied to the glass plate G flows down to the bottom portion 15 a of the first cleaning chamber 15. Therefore, although not shown, the bottom portion 15a is provided with a drain port for draining the cleaning solution 19 that has flowed out, in the bottom portion 15a. Further, the cleaning liquid 19 and the rinse liquid 20 supplied to the glass plate G flow down to the bottom portion 16 a of the second cleaning chamber 16. Therefore, although not shown, the bottom portion 16a is provided with a drain port for draining the cleaning solution 19 and the rinse liquid 20, which flow down, in the bottom portion 16a.
  • the drying processing chamber 12 has a liquid removal chamber 22 and a first drying chamber 23 located downstream of the liquid removal chamber 22 on the transport path L.
  • the drying processing chamber 12 further includes a second drying chamber 24 on the downstream side of the transport path L than the first drying chamber 23.
  • a partition 25 is provided between the liquid removal chamber 22 and the first drying chamber 23. This limits the flow of the atmosphere or the like of the liquid removal chamber 22 into the first drying chamber 23. Since the cleaning solution 19 and the rinse solution 20 supplied in the cleaning step remain on the glass plate G carried into the solution removal chamber 22, the rinse solution 20 and the like are removed at the bottom 22 a of the solution removal chamber 22. run down.
  • the bottom 22 a of the liquid removal chamber 22 is covered with the rinse liquid 20 or the like to be in a wet state.
  • illustration is abbreviate
  • a gas spraying device 27 for spraying a predetermined gas 26 (for example, clean dry air etc.) toward the surfaces Ga and Ga of the glass plate G carried into the first drying chamber 23 is provided. It is arranged.
  • the gas spraying device 27 is a pair of upper and lower air knives 28, and the transport path L of the glass sheet G is located between the pair of air knives 28, 28.
  • the dimension in the width direction of the supply port 28 a of each air knife 28 is set to such a size that the gas 26 can be sprayed over the entire surface Ga, Ga of the glass plate G passing between the pair of air knives 28, 28.
  • each air knife 28 is set to such a size that the gas 26 can be sprayed onto the surface Ga of the glass plate G from the first drying chamber 23 side toward the liquid removal chamber 22 side.
  • the gas 26 is sprayed to the surfaces Ga and Ga of the glass plate G at a position closer to the liquid removal chamber 22 than the boundary position between the liquid removal chamber 22 and the first drying chamber 23 (the position of the partition 25).
  • the pair of air knives 28, 28 are disposed so that the gas 26 is sprayed on the surface Ga at the boundary position between the liquid removing chamber 22 and the first drying chamber 23 (between the upper and lower partitions 25, 25).
  • a pair of air knives 28, 28 may be disposed in
  • a partition 29 is provided between the first drying chamber 23 and the second drying chamber 24.
  • the internal space of the first drying chamber 23 and the internal space of the second drying chamber 24 are partitioned, so that the atmosphere or the like of the first drying chamber 23 is limited to flow into the second drying chamber 24.
  • the cleanliness of the second drying chamber 24 can be made higher than the cleanliness of the first drying chamber 23.
  • a gas spraying device 30 for spraying a predetermined gas 26 toward the surfaces Ga and Ga of the glass plate G carried into the second drying chamber 24 is disposed.
  • the gas spraying device 30 is a pair of upper and lower air knives 31 and 31, and the transport path L of the glass sheet G is located between the pair of air knives 31 and 31.
  • the dimension in the width direction of the supply port 31 a of each air knife 31 is set to such a size that the gas 26 can be sprayed over the entire surface Ga, Ga of the glass plate G passing between the pair of air knives 31, 31.
  • the angle of the supply port 31a of each air knife 31 is set to a size that allows the gas 26 to be sprayed onto the surface Ga of the glass plate G from the second drying chamber 24 side toward the first drying chamber 23 side.
  • the angle of the supply port 31 a of each air knife 31 may be the same as or different from the angle of the supply port 28 a of each air knife 28 in the first drying chamber 23.
  • the gas 26 is applied to the surfaces Ga and Ga of the glass plate G at a position closer to the first drying chamber 23 than the boundary position (the position of the partition 29) between the first drying chamber 23 and the second drying chamber 24.
  • a pair of air knives 31, 31 are arranged to be sprayed, but the gas 26 is sprayed on the surface Ga at the boundary position between the first drying chamber 23 and the second drying chamber 24 (between the upper and lower partitions 29, 29).
  • a pair of air knives 31, 31 may be arranged to be able to Alternatively, the pair of air knives 31 and 31 may be arranged such that the gas 26 is blown to the surface Ga at a position closer to the second drying chamber 24 than the boundary position.
  • a liquid 32 (second liquid) for capturing particles is disposed at the bottom 23 a of the first drying chamber 23 and the bottom 24 a of the second drying chamber 24 .
  • the bottom 23 a of the first drying chamber 23 and the bottom 24 a of the second drying chamber 24 are covered with the layered liquid 32.
  • the liquid 32 is not a drop of the first liquid such as the rinse liquid 20 remaining on the glass plate G, but is separately supplied to the bottom 23 a of the first drying chamber 23 and the bottom 24 a of the second drying chamber 24. It is a thing.
  • any kind of liquid can be used as long as the fine particles 33 can be captured.
  • various pure waters such as ion exchanged water, distilled water, industrial pure water, etc. is there.
  • a surfactant may be added to the liquid 32 for the purpose of further improving the trapping ability of the microparticles 33.
  • one obtained by adding a surfactant to the above-described pure water may be used as the liquid 32.
  • (S2) Cleaning Step the glass plate G which has been subjected to predetermined processing (at least one or more of end surface processing, surface treatment, etc.) in the processing step S1 is washed and dried so that When carried into the first cleaning chamber 15 of the apparatus 10, the cleaning apparatus 19 supplies the cleaning solution 19 from the cleaning solution supply apparatuses 18 and 18 toward the surfaces Ga and Ga of the glass plate G transported on the transport path L by the transport apparatus 13. . As a result, the surfaces Ga and Ga of the glass plate G become wet with the cleaning liquid 19. Then, the glass sheet G in this state is conveyed to the pair of cleaning rollers 17 located on the downstream side of the cleaning liquid supply devices 18, and the surfaces Ga of the glass sheet G are rubbed with the cleaning rollers 17. .
  • predetermined processing at least one or more of end surface processing, surface treatment, etc.
  • the glass plate G is carried into the second cleaning chamber 16 by the transfer device 13.
  • the rinse liquid 20 is supplied from the rinse liquid supply device 21 toward the surfaces Ga and Ga of the glass plate G conveyed on the conveyance path L by the conveyance device 13. , Ga wash away the cleaning solution 19 and foreign matter.
  • the glass plate G is discharged by the transfer device 13 out of the second cleaning chamber 16.
  • the glass sheet G thus drained is subsequently conveyed in the first drying chamber 23 by the conveying device 14, and the surface of the glass sheet G immediately before being carried from the first drying chamber 23 to the second drying chamber 24.
  • a gas 26 is blown toward Ga and Ga from a pair of air knives 31 and 31 as the gas blowing device 30.
  • foreign substances including the rinse liquid 20 and the like and the particles 33 remaining on the surfaces Ga and Ga of the glass plate G are blown away.
  • the blown particles 33 settle toward the bottom 23 a of the first drying chamber 23 or the bottom 24 a of the second drying chamber 24.
  • the surfaces Ga and Ga of the glass plate G are in a dry state by removing the rinse solution 20 and the like and the foreign matter containing the fine particles 33.
  • the fine particles 33 blown off with the rinse liquid 20 and the like by the pair of air knives 28, 28 (31, 31) settle, and do not contact with the liquid 32 on the bottom 23a of the first drying chamber 23 or in the second drying chamber 24. Deposit on the bottom 24a.
  • the gas 26 is blown toward the glass plate G from the pair of air knives 28, 28 (31, 31)
  • turbulence 34 is caused in the first drying chamber 23 or the second drying chamber 24. is there.
  • the turbulent flow 34 blows away from the surfaces Ga and Ga of the glass plate G, so that the fine particles 33 on the bottoms 23 a and 24 a in the dry state fly up and reattach to the surfaces Ga and Ga of the glass plate G.
  • the gas 26 is sprayed to the glass plate G in a state where the liquid 32 is disposed at the bottom of the drying processing chamber 12 (see FIG. 2).
  • the bottom of the drying processing chamber 12 is wetted by the liquid 32.
  • the fine particles 33 are removed from the glass plate G and sedimented, they are captured by the liquid 32. Therefore, even if the turbulent flow 34 (see FIG. 3) due to the blowing of the gas 26 is generated in the first drying chamber 23 or the second drying chamber 24, the settled fine particles 33 are less likely to fly up by the turbulent flow 34. Become.
  • the glass plate G excellent in surface quality by reducing the adhesion of the fine particles 33 while removing the cleaning solution 19 and the rinse solution 20 efficiently and draining and drying the glass plate G. .
  • the liquid 32 for capturing the fine particles 33 is disposed at the bottom of the drying processing chamber 12, the opportunity for the glass plate G and the liquid 32 to be in contact with each other can be eliminated as much as possible. Therefore, it is possible to prevent, as much as possible, the deterioration of the surface quality of the glass plate G caused by disposing the liquid 32 in the drying processing chamber 12.
  • the adhesion of the particles 33 can be reduced only by disposing the liquid 32 at the bottom of the drying processing chamber 12, so that simple equipment is required. As mentioned above, according to this invention, it becomes possible to improve the surface quality of the glass plate G, avoiding cost increase.
  • the bottom of the liquid removal chamber 22 is covered with the rinse liquid 20 or the like, and the bottoms 23a and 24a of the first and second drying chambers 23 and 24 are covered with the liquid 32 (see FIG. 2) . Therefore, the bottom of the drying processing chamber 12 is covered with the first liquid (the cleaning liquid 19 and the rinse liquid 20) and the second liquid 32, and the fine particles 33 precipitated in the bottom of the drying processing chamber 12 are not leaked. And it can be captured reliably. From the above, it is possible to drain and dry the glass plate G while further reducing the adhesion of the fine particles 33 to the glass plate G. Therefore, the surface quality of the glass plate G can be improved without variation.
  • the glass plate G subjected to the cleaning and drying as described above is transported to the inspection step, and the presence and number of foreign substances remaining on the surface Ga of the glass plate G are measured and evaluated by a predetermined inspection device.
  • the measurement of the presence and the number of foreign substances also includes the measurement of the number of microparticles 33. Then, for example, if the number of particles 33 (the number per unit area) measured is equal to or less than the threshold value, it is transported to the packing and shipping process as satisfying the shipping standard.
  • FIG. 4 is a side view showing the overall configuration of a washing and drying apparatus 40 according to a second embodiment of the present invention.
  • the washing and drying apparatus 40 is different from the first embodiment shown in FIG. 2 in that the first and second drying chambers 23 and 24 are provided with a configuration for replacing the liquid 32.
  • one or more supply ports 41 for supplying the liquid 32 onto the bottom portion 23a are provided below the side portions of the first drying chamber 23, and the liquid 32 is discharged to the bottom portion 23a.
  • One or more exhaust ports 42 are provided.
  • the discharge port 42 is connected to the filtration device 43, and the liquid 32 discharged from the discharge port 42 to the outside of the first drying chamber 23 is filtered by the filtration device 43. Then, as shown in FIG.
  • the liquid 32 from which foreign matter such as fine particles 33 and the like has been removed by filtration is pressure-fed by the pump 44 toward the supply port 41, and is again supplied onto the bottom 23a.
  • the second drying chamber 24 is also provided with an exchange structure of the liquid 32 including the supply port 41, the outlet 42, the filtering device 43, and the pump 44.
  • the arrangement of the filtration device 43 and the pump 44 may be interchanged. In other words, after the liquid 32 discharged from the pump 44 is allowed to pass through the filtration device 43, it is supplied onto the bottom 23a through the supply port 41. It is also good.
  • the liquid 32 is circulated and supplied onto the bottom portion 23a (24a) by the exchange structure including the supply port 41 and the discharge port 42, and the filtering device 43 and the pump 44. With the limited amount of equipment and the amount of liquid 32, the cleanliness of the first and second drying chambers 23, 24 can be maintained at a high level.
  • the liquid 32 may be arranged in a spotted manner by spraying the liquid 32 in the form of droplets onto the bottom of the drying processing chamber 12.
  • the liquid 32 may be disposed in a layered manner by spraying the liquid drop 32 in the bottom of the drying processing chamber 12.
  • the arrangement area of the liquid 32 may be an area in the dry state (an area where the first liquid such as the rinse liquid 20 does not flow) in the bottom of the drying processing chamber 12.
  • the bottom 22a of the liquid removal chamber 22 is covered with the first liquid such as the rinse liquid 20 as in the above embodiment. It is not limited to the form which covers the bottom 23a of the first drying room 23 and the bottom 24a of the second drying room 24 with the second liquid 32. For example, a part or all of the bottom of the drying processing chamber 12 may be covered with a mixture of the first liquid and the second liquid 32.

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Abstract

ガラス板（Ｇ）の製造方法は、ガラス板（Ｇ）に第一の液体（１９，２０）を供給して、ガラス板（Ｇ）を洗浄する洗浄工程（Ｓ２）と、乾燥処理室（１２）内に搬入され、乾燥処理室（１２）内の所定の搬送経路（Ｌ）上を搬送されるガラス板（Ｇ）に気体（２６）を吹き付けて、ガラス板（Ｇ）から第一の液体（１９，２０）を除去する乾燥工程（Ｓ３）とを備える。乾燥処理室（１２）の底部に第二の液体（３２）が配置されている状態で、ガラス板（Ｇ）に気体（２６）を吹き付けて、液切り乾燥を行う。

Description

ガラス板の製造方法
　本発明は、ガラス板の製造方法に関し、特にガラス板を洗浄した後、洗浄液を除去してガラス板を乾燥させる際、ガラス板表面への微粒子の付着を防止する技術に関する。
　例えば液晶ディスプレイ用のガラス基板をはじめとするガラス板を製造するに際しては、成形したガラス原板（成形原板）から切り出されたガラス板に端面加工などの加工を施した後、当該ガラス板を洗浄すると共に、洗浄時にガラス板の表面に付着した洗浄液をエアナイフなどによるエアの吹き付けにより除去して（液切りして）、ガラス板を乾燥させることが行われている（例えば、特許文献１を参照）。また、これら一連の作業を経た後、得られたガラス板に残存（付着）する異物の有無を検査している。
特開２０１４-３８９１４号公報
　このように、検査工程では、ガラス板の表面に付着したガラス粉などの異物の有無が検査されており、また異物の数の測定が行われることもある。ここで、測定対象となる異物は、そのサイズに応じて複数の水準に分類されており、この中でも、最小水準（１．０μｍ未満）の異物（以後、本明細書では、単に微粒子と称する。）が多く検出される傾向にある。この種の微粒子は、検査工程までの間に完全に除去することが難しく、例えば特許文献１に記載のように、ガラス板の表面を洗浄した後、エアナイフで液切り乾燥した場合であっても、乾燥後のガラス板の中には、決して無視できない数の微粒子が表面に付着しているものが存在していた。当然ながら、微粒子の付着はガラス板の表面品位を低下させる要因となるため、微粒子の付着は回避すべきである。
　以上の事情に鑑み、本明細書では、ガラス板表面への微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することを、本発明により解決すべき技術課題とする。
　前記課題の解決は、本発明に係るガラス板の製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラス板に第一の液体を供給して、ガラス板を洗浄する洗浄工程と、乾燥処理室内に搬入され、乾燥処理室内の所定の搬送経路上を搬送されるガラス板に気体を吹き付けて、ガラス板から第一の液体を除去する乾燥工程とを備えるガラス板の製造方法であって、乾燥処理室の底部に第二の液体が配置されている状態で、ガラス板に気体を吹き付ける点をもって特徴付けられる。
　本発明者が、上述した洗浄と液切り乾燥を行うに際して、乾燥処理室内における気流と微粒子の挙動との関係について調査した結果、以下の知見を得るに至った。すなわち、上述した洗浄後の乾燥を乾燥処理室内で実施する場合、乾燥処理室内に配設されたエアナイフなどの気体吹付け装置により、乾燥処理室内に搬入されたガラス板の液切り（洗浄液やリンス液等の除去）が行われる。この際、気体吹付け装置からガラス板に供給された気体が、乾燥処理室内に乱流を引き起こし、この乱流によって、第一の液体（洗浄液等）と共にガラス板の表面から除去され、乾燥処理室の底部に沈降していた微粒子が舞い上がることが判明した。以上より、ガラス板表面への微粒子の付着は、ガラス板への気体の吹き付けにより乾燥処理室内に生じた不規則な流れ（乱流）によるものと推察される。
　本発明は、以上の知見に基づきなされたもので、第一の液体によるガラス板の洗浄と乾燥を行うに際し、乾燥処理室の底部に捕捉用の第二の液体が配置された状態でガラス板に気体を吹き付けるようにした。このように、ドライ環境に設定されるべき乾燥処理室の底部に第二の液体が配置された環境下で気体の吹き付けによる液切りを行うことによって、洗浄液等と共にガラス板から除去された微粒子が、第二の液体によって捕捉される。よって、気体の吹き付けに起因する乱流が乾燥処理室内で生じたとしても、沈降した微粒子が乱流に乗って舞い上がりにくくなる。従って、乾燥処理室内で効率よく洗浄液を除去してガラス板を乾燥しつつも、微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することが可能となる。また、乾燥処理室の底部に第二の液体を供給しているので、ガラス板と第二の液体とが接する機会を極力排除することができる。よって、第二の液体を乾燥処理室内に配置することに起因したガラス板の表面品位の低下を可及的に防止することができる。なお、第二の液体による捕捉以外の手段として、例えば乾燥処理室内の気体を排気して、排気した気体を所定のフィルタに通して微粒子を排除した後、再び乾燥処理室内に戻す手段なども考えられるが、この方法だと、多大な排気能力が必要となり、排気設備の複雑化、高コスト化が避けられない。これに対して、本発明に係る微粒子捕捉手段によれば、乾燥処理室の底部に第二の液体を配置した状態を維持するだけで、ガラス板表面への微粒子の付着を低減できるので、簡素な設備で済む。以上より、本発明によれば、コストアップを回避しつつ、ガラス板の表面品位を向上させることが可能となる。なお、第一の液体とは、洗浄工程でガラス板に供給される液体を意味し、後述の実施形態では、洗浄液及びリンス液が第一の液体に該当する。
　また、本発明に係るガラス板の製造方法においては、乾燥処理室内の底部が第一の液体及び第二の液体で覆われている状態で、ガラス板に気体を吹き付けてもよい。
　このように乾燥処理室内の底部を第一の液体及び第二の液体で覆うことにより、乾燥処理室内で沈降した微粒子を漏れなくかつ確実に捕捉することができる。また、乱流等の影響により第二の液体が上昇してガラス板に触れる事態も確実に防止することができる。以上より、本構成によれば、ガラス板への微粒子の付着をさらに低減しつつ、ガラス板を乾燥させることができる。
　また、本発明に係るガラス板の製造方法において、第二の液体は、純水であってもよい。
　乾燥処理室は、洗浄処理室に比べて清浄度を高く管理しているのが一般的である。よって、第二の液体に純水を用いることで、乾燥処理室内雰囲気の清浄度を悪化させることなく、雰囲気中に浮遊し、沈降する微粒子を捕捉して、ガラス板表面への付着を低減することが可能となる。
　また、本発明に係るガラス板の製造方法においては、第二の液体の乾燥処理室内への供給及び乾燥処理室外への排出により、底部に配置した第二の液体を入れ替えてもよい。
　このように、乾燥処理室の底部に配置される液体を入れ替えることで、捕捉された微粒子を第二の液体と共に排出することができる。これにより、乾燥処理室の清浄度を高い状態で維持できる。
　以上に述べたように、本発明によれば、ガラス板表面への微粒子の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板を提供することが可能となる。
本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法の手順を示すフローチャートである。 本発明の第一実施形態に係るガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。 本発明との比較に用いるガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス板の洗浄乾燥装置の側面図である。 図４に示す洗浄乾燥装置のＡ－Ａ断面図である。
　以下、本発明の第一実施形態を、図１～図３を参照して説明する。
　本実施形態に係るガラス板の製造方法は、図１に示すように、ガラス板に所定の加工を施す加工工程Ｓ１と、所定の加工が施されたガラス板を洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄したガラス板に付着した洗浄液を除去してガラス板を乾燥させる乾燥工程Ｓ３と、乾燥後のガラス板の表面に付着した微粒子等の異物の有無を検査する検査工程Ｓ４とを備える。加工工程Ｓ１では、例えば砥石によってガラス板の端面に加工が施される。加工工程Ｓ１の前工程として、成形原板から所望のサイズのガラス板を切り出す切断工程を設けてもよい。以下、洗浄工程Ｓ２と乾燥工程Ｓ３を中心に説明する。
　図２は、洗浄工程Ｓ２及び乾燥工程Ｓ３に使用する洗浄乾燥装置１０の全体構成を示す側面図である。図２に示すように、この洗浄乾燥装置１０は、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２とを備え、ガラス板Ｇの搬送経路Ｌは、洗浄処理室１１及び乾燥処理室１２を横断するように設けられる。この場合、洗浄処理室１１と乾燥処理室１２内には、ガラス板Ｇを搬送経路Ｌに沿って搬送する搬送装置１３，１４が配設される。各搬送装置１３，１４は、例えばローラコンベアで構成される。
　本実施形態では、洗浄処理室１１は、第一洗浄室１５と第二洗浄室１６とを有する。このうち第一洗浄室１５は、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを擦って表面Ｇａ，Ｇａに付着した異物等の汚れを除去する洗浄ローラ１７を有する。本実施形態では、上下一対の洗浄ローラ１７，１７がガラス板Ｇの搬送経路Ｌを介して対向する位置に配設されている。洗浄ローラ１７は、ガラス板Ｇとの接触部をスポンジ等の弾性材料で形成したものであってもよく、ブラシで形成したものであってもよい。前者の場合、洗浄ローラ１７はスポンジローラとなり、後者の場合、洗浄ローラ１７はブラシローラとなる。
　また、第一洗浄室１５内には、洗浄液供給装置１８が配設される。この場合、搬送経路Ｌ上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に洗浄液１９（第一の液体）が供給されるように、洗浄液供給装置１８の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。ここで、本明細書における「幅方向」とは、搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの幅方向と一致する方向をいうものとする。なお、洗浄液１９には、例えば純水を使用することができ、必要に応じて洗剤や界面活性剤、アルカリイオン水、次亜塩素酸ソーダ等を添加してもよい。
　第二洗浄室１６は、第一洗浄室１５よりも搬送経路Ｌの下流側に位置し、第一洗浄室１５から第二洗浄室１６内に搬入されたガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに第一の液体であるリンス液（すすぎ液）２０を供給するリンス液供給装置２１を有する。この場合も、搬送経路Ｌ上を通るガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域にリンス液２０が供給されるように、リンス液供給装置２１の供給口（図示は省略）の向きや幅方向寸法、供給流量などが設定されている。なお、リンス液２０には、純水など公知の種類のリンス用液体を使用することが可能である。
　なお、第一洗浄室１５の底部１５ａには、ガラス板Ｇに供給された洗浄液１９が流れ落ちる。そのため、図示は省略するが、底部１５ａには、流れ落ちた洗浄液１９をドレインするためのドレイン口が底部１５ａに設けられている。また、第二洗浄室１６の底部１６ａには、ガラス板Ｇに供給された洗浄液１９及びリンス液２０が流れ落ちる。そのため、図示は省略するが、底部１６ａには、流れ落ちる洗浄液１９及びリンス液２０をドレインするためのドレイン口が底部１６ａに設けられている。
　乾燥処理室１２は、液切り室２２と、液切り室２２よりも搬送経路Ｌの下流側に位置する第一乾燥室２３とを有する。本実施形態では、乾燥処理室１２は、第一乾燥室２３よりも搬送経路Ｌの下流側に第二乾燥室２４をさらに有する。液切り室２２と第一乾燥室２３との間には仕切り２５が設けられている。これにより、液切り室２２の雰囲気等が第一乾燥室２３に流入するのを制限する。なお、液切り室２２に搬入されるガラス板Ｇには、洗浄工程で供給された洗浄液１９及びリンス液２０が残留しているので、液切り室２２の底部２２ａには、リンス液２０等が流れ落ちる。このため、液切り室２２の底部２２ａはリンス液２０等で覆われ、ウェットな状態となる。この際、図示は省略するが、流れ落ちるリンス液２０等をドレインするためのドレイン口を底部２２ａに設けてもよい。
　第一乾燥室２３には、第一乾燥室２３内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６（例えば、クリーンドライエアなど）を吹き付けるための気体吹付け装置２７が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置２７は、上下一対のエアナイフ２８，２８であり、これら一対のエアナイフ２８，２８間にガラス板Ｇの搬送経路Ｌが位置している。ここで、各エアナイフ２８の供給口２８ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ２８，２８間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ２８の供給口２８ａの角度は、第一乾燥室２３側から液切り室２２側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。なお、図示例では、液切り室２２と第一乾燥室２３との境界位置（仕切り２５の位置）よりも液切り室２２に近い位置で、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに気体２６が吹き付けられるように、一対のエアナイフ２８，２８が配置されているが、液切り室２２と第一乾燥室２３との境界位置（上下の仕切り２５，２５間）で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように一対のエアナイフ２８，２８を配置してもよい。
　第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との間には仕切り２９が設けられている。これにより、第一乾燥室２３の内部空間と、第二乾燥室２４の内部空間とが区画されるので、第一乾燥室２３の雰囲気等が第二乾燥室２４に流入するのを制限する。このため、第二乾燥室２４の清浄度を第一乾燥室２３の清浄度よりも高くできる。
　第二乾燥室２４には、第二乾燥室２４内に搬入されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて所定の気体２６を吹き付けるための気体吹付け装置３０が配設される。本実施形態では、気体吹付け装置３０は、上下一対のエアナイフ３１，３１であり、これら一対のエアナイフ３１，３１間にガラス板Ｇの搬送経路Ｌが位置している。ここで、各エアナイフ３１の供給口３１ａの幅方向寸法は、一対のエアナイフ３１，３１間を通過するガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ全域に気体２６を吹き付け得る大きさに設定されている。また、各エアナイフ３１の供給口３１ａの角度は、第二乾燥室２４側から第一乾燥室２３側に向けて気体２６をガラス板Ｇの表面Ｇａに吹き付け得る大きさに設定されている。なお、各エアナイフ３１の供給口３１ａの角度は、第一乾燥室２３内の各エアナイフ２８の供給口２８ａの角度と同じでもよいし、異なっていてもよい。また、図示例では、第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との境界位置（仕切り２９の位置）よりも第一乾燥室２３に近い位置でガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに気体２６が吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１が配置されているが、第一乾燥室２３と第二乾燥室２４との境界位置（上下の仕切り２９，２９間）で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１を配置してもよい。あるいは、境界位置よりも第二乾燥室２４に近い位置で気体２６が表面Ｇａに吹き付けられるように、一対のエアナイフ３１，３１を配置してもよい。　　
　第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａには、微粒子捕捉用の液体３２（第二の液体）が配置されている。本実施形態では、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａが層状の液体３２で覆われた状態にある。この液体３２は、ガラス板Ｇに残留するリンス液２０等の第一の液体が流れ落ちたものでなく、別途、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａに供給されたものである。　
　この微粒子捕捉用の液体３２には、微粒子３３を捕捉可能な限りにおいて任意の種類の液体が使用可能であり、例えばイオン交換水、蒸留水、工業用純水など各種の純水が使用可能である。あるいは、微粒子３３の捕捉能力の更なる向上を目的として、液体３２に、界面活性剤を添加してもよい。具体的には、上述の純水に界面活性剤を添加したものを液体３２として使用してもよい。
　次に、上記構成の洗浄乾燥装置１０を用いた洗浄工程Ｓ２と乾燥工程Ｓ３の一例を、本発明の作用効果と共に説明する。
（Ｓ２）洗浄工程
　この工程では、加工工程Ｓ１で所定の加工（端面加工、表面処理などのうち少なくとも一つ以上）を施したガラス板Ｇが、搬送経路Ｌの最も上流側に位置する洗浄乾燥装置１０の第一洗浄室１５内に搬入されると、搬送装置１３により搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて洗浄液供給装置１８，１８から洗浄液１９を供給する。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａは洗浄液１９で濡れた状態となる。そして、この状態のガラス板Ｇを、洗浄液供給装置１８，１８よりも下流側に位置する一対の洗浄ローラ１７，１７まで搬送し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａを洗浄ローラ１７，１７で擦る。これにより、表面Ｇａ，Ｇａに付着した微粒子３３などの異物を擦り取る。然る後、ガラス板Ｇを搬送装置１３により第二洗浄室１６内に搬入する。第二洗浄室１６内では、搬送装置１３により搬送経路Ｌ上を搬送されるガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けてリンス液供給装置２１からリンス液２０を供給し、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上の洗浄液１９と異物を洗い流す。然る後、ガラス板Ｇは搬送装置１３により第二洗浄室１６外へと排出される。
（Ｓ３）乾燥工程
　搬送装置１３により第二洗浄室１６外へ排出されたガラス板Ｇは、続いて搬送装置１４により乾燥処理室１２内、正確には液切り室２２内に搬入される。そして、液切り室２２から第一乾燥室２３に搬入される直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置２７としての一対のエアナイフ２８，２８から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０（場合によっては少量の洗浄液１９も）と微粒子３３を含む異物とを吹き飛ばす。吹き飛ばされた微粒子３３は、液切り室２２の底部２２ａ、あるいは第一乾燥室２３の底部２３ａに向けて沈降する。
　このようにして液切りがなされたガラス板Ｇは引き続き搬送装置１４により第一乾燥室２３内を搬送され、第一乾燥室２３から第二乾燥室２４に搬入される直前にガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに向けて、気体吹付け装置３０としての一対のエアナイフ３１，３１から気体２６を吹き付ける。これにより、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａ上に残存していたリンス液２０等と微粒子３３を含む異物を吹き飛ばす。吹き飛ばされた微粒子３３は、第一乾燥室２３の底部２３ａ、あるいは第二乾燥室２４の底部２４ａに向けて沈降する。以上のようにしてリンス液２０等と微粒子３３を含む異物とを除去することで、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａは乾いた状態となる。
　ここで、例えば図３に示すように、乾燥処理室１２の第一乾燥室２３内及び第二乾燥室２４内に、液体３２が配置されていない場合、エアナイフ２８，２８よりも上流側に、ガラス板Ｇに供給されたリンス液２０等の大部分が流れ落ちるので、エアナイフ２８，２８よりも下流側にはリンス液２０等が僅かしか流れ落ちない。このため、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａの大部分は、ドライ状態となる。
　一対のエアナイフ２８，２８（３１，３１）でリンス液２０等と共に吹き飛ばされた微粒子３３は沈降し、液体３２と接触することなく第一乾燥室２３の底部２３ａ上、あるいは第二乾燥室２４の底部２４ａ上に堆積する。一方、一対のエアナイフ２８，２８（３１，３１）からガラス板Ｇに向けて気体２６を吹き付けることで、第一乾燥室２３内、あるいは第二乾燥室２４内に乱流３４が引き起こされることがある。この乱流３４によって、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａから吹き飛ばされ、ドライ状態の底部２３ａ，２４ａ上の微粒子３３が舞い上がり、ガラス板Ｇの表面Ｇａ，Ｇａに再付着する。
　これに対して、本発明に係るガラス板の製造方法では、乾燥処理室１２の底部に液体３２が配置された状態で、ガラス板Ｇに気体２６を吹き付けるようにした（図２を参照）。この場合、乾燥処理室１２の底部が液体３２によってウェットな状態となる。このため、微粒子３３がガラス板Ｇから除去されて沈降した際、液体３２によって捕捉される。よって、気体２６の吹き付けに起因する乱流３４（図３を参照）が第一乾燥室２３又は第二乾燥室２４内で生じたとしても、沈降した微粒子３３が乱流３４に乗って舞い上がりにくくなる。従って、効率よく洗浄液１９及びリンス液２０を除去してガラス板Ｇを液切り乾燥しつつも、微粒子３３の付着を低減して、表面品位に優れたガラス板Ｇを提供することが可能となる。また、乾燥処理室１２の底部に微粒子３３捕捉用の液体３２を配置しているので、ガラス板Ｇと液体３２とが接する機会を極力排除することができる。よって、液体３２を乾燥処理室１２内に配置することに起因したガラス板Ｇの表面品位の低下を可及的に防止することができる。また、この方法だと、乾燥処理室１２の底部に液体３２を配置するだけで微粒子３３の付着を低減できるので、簡素な設備で済む。以上より、本発明によれば、コストアップを回避しつつ、ガラス板Ｇの表面品位を向上させることが可能となる。
　また、本実施形態では、液切り室２２の底部をリンス液２０等で覆うと共に、第一及び第二乾燥室２３，２４の底部２３ａ，２４ａを液体３２で覆っている（図２を参照）。このため、乾燥処理室１２の底部は、第一の液体（洗浄液１９やリンス液２０）及び第二の液体３２で覆われた状態となり、乾燥処理室１２の底部に沈降した微粒子３３を漏れなくかつ確実に捕捉することができる。以上より、ガラス板Ｇへの微粒子３３の付着をさらに低減しつつ、当該ガラス板Ｇを液切り乾燥することができる。従って、ガラス板Ｇの表面品位をばらつきなく向上させることが可能となる。
（Ｓ４）検査工程
　上述のように洗浄乾燥を施したガラス板Ｇは検査工程へ搬送され、所定の検査装置によりガラス板Ｇの表面Ｇａに残存する異物の有無及び数を測定、評価する。異物の有無及び数の測定には、微粒子３３の数の測定も含まれる。そして、例えば測定された微粒子３３の数（単位面積当たりの数）がしきい値以下であれば、出荷基準を満たすものとして梱包、出荷工程へと搬送される。
　以上、本発明の第一実施形態を説明したが、もちろん本発明に係るガラス板の製造方法は上記例示の形態には限定されない。当該製造方法は、本発明の範囲内で種々の形態をとることが可能である。
　図４は、本発明の第二実施形態に係る洗浄乾燥装置４０の全体構成を示す側面図である。この洗浄乾燥装置４０は、第一及び第二乾燥室２３，２４に液体３２を入れ替えるための構成を設けた点において、図２に示す第一実施形態と相違する。具体的に、第一乾燥室２３の側部の下方には、液体３２を底部２３ａ上に供給するための供給口４１が一又は複数設けられると共に、底部２３ａには、液体３２を排出するための排出口４２が一又は複数設けられる。そして、排出口４２はろ過装置４３に接続されており、排出口４２から第一乾燥室２３外に排出された液体３２はろ過装置４３でろ過されるようになっている。そして、ろ過により微粒子３３等の異物が取り除かれた液体３２は、図５に示すように、ポンプ４４で供給口４１に向けて圧送され、再び底部２３ａ上に供給される構造となっている。第二乾燥室２４にも、第一乾燥室２３と同様、供給口４１と、排出口４２と、ろ過装置４３、及びポンプ４４とからなる液体３２の入れ替え構造が設けられている。なお、ろ過装置４３とポンプ４４の配置は入れ替えてもよく、言い換えると、ポンプ４４から吐出される液体３２をろ過装置４３に通過させた後、供給口４１を介して底部２３ａ上に供給してもよい。
　このように、第一及び第二乾燥室２３，２４の底部に供給される液体３２を入れ替えることで、液体３２と共に捕捉された微粒子３３を排出することができる。これにより、第一及び第二乾燥室２３，２４の清浄度を高い状態で維持できる。特に、図５に示すように、液体３２を、供給口４１と排出口４２、及びろ過装置４３とポンプ４４とからなる入れ替え構造により、底部２３ａ（２４ａ）上に循環供給することにより、必要最小限の設備及び液体３２の量でもって、第一及び第二乾燥室２３，２４の清浄度を高い状態で維持できる。
　なお、液体３２の配置形態としては、図２等で例示した層状に配置する形態に限定されない。例えば、滴状の液体３２を乾燥処理室１２の底部に散布することで斑状に液体３２を配置してもよい。また、滴状の液体３２を乾燥処理室１２の底部に散布することで層状に液体３２を配置してもよい。ガラス板Ｇへの微粒子３３の付着をさらに低減する観点では、液体３２を層状に配置することが好ましい。また、液体３２の配置領域は、乾燥処理室１２の底部のうち、ドライ状態の領域（リンス液２０等の第一の液体が流れ落ちない領域）とすればよい。
　また、乾燥処理室１２の底部を第一の液体及び第二の液体で覆う場合、上記実施形態のような、液切り室２２の底部２２ａをリンス液２０等の第一の液体で覆い、第一乾燥室２３の底部２３ａ及び第二乾燥室２４の底部２４ａを第二の液体３２で覆う形態に限定されない。例えば、乾燥処理室１２の底部の一部又は全部が第一の液体と、第二の液体３２の混合液で覆われてもよい。

Claims (4)

  1. 　ガラス板に第一の液体を供給して、前記ガラス板を洗浄する洗浄工程と、
    　乾燥処理室内に搬入され、前記乾燥処理室内の所定の搬送経路上を搬送されるガラス板に気体を吹き付けて、前記ガラス板から前記第一の液体を除去する乾燥工程とを備えるガラス板の製造方法であって、
    　前記乾燥処理室の底部に第二の液体が配置されている状態で、前記ガラス板に前記気体を吹き付けるガラス板の製造方法。
  2. 　前記乾燥処理室内の底部が前記第一の液体及び前記第二の液体で覆われている状態で、前記ガラス板に前記気体を吹き付ける請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記第二の液体は、純水である請求項１又は２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記第二の液体の前記乾燥処理室内への供給及び前記乾燥処理室外への排出により、前記底部に配置した前記第二の液体を入れ替える請求項１～３の何れか一項に記載のガラス板の製造方法。
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