TW201922365A - 玻璃板的製造方法 - Google Patents

Abstract

玻璃板G的製造方法包括：清洗步驟S2，將第一液體19、第一液體20供給至玻璃板G上，對玻璃板G進行清洗；以及乾燥步驟S3，對被搬入乾燥處理室12內，且於乾燥處理室12內的規定的搬送路徑L上被搬送的玻璃板G吹送氣體26，而自玻璃板G上去除第一液體19、第一液體20。以於乾燥處理室12的底部配置有第二液體32的狀態，對玻璃板G吹送氣體26，而進行脫液乾燥。

Description

玻璃板的製造方法

本發明是有關於一種玻璃板的製造方法，且特別是有關於一種對玻璃板進行清洗後，將清洗液去除來使玻璃板乾燥時，防止微粒子朝玻璃板表面上的附著的技術。

例如當製造以液晶顯示器用的玻璃基板為代表的玻璃板時，對自已成形的玻璃原板（成形原板）中切出的玻璃板實施端面加工等加工後，對該玻璃板進行清洗，並且藉由利用氣刀等的空氣的吹送來去除清洗時附著於玻璃板的表面上的清洗液（進行脫液），而使玻璃板乾燥（例如，參照專利文獻1）。另外，於經過所述一連串的作業後，檢查有無殘存（附著）於所獲得的玻璃板上的異物。
[現有技術文獻]
[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2014-38914號公報

[發明所欲解決之課題]
如此，於檢查步驟中，檢查有無附著於玻璃板的表面上的玻璃粉等異物，另外，有時亦進行異物的數量的測定。此處，成為測定對象的異物對應於其尺寸而被分類成多個水準，其中，亦存在檢測到許多最小水準（未滿1.0 μm）的異物（以下，於本說明書中僅稱為微粒子）的傾向。此種微粒子於檢查步驟之前的期間內難以完全地去除，例如如專利文獻1中記載般，即便於對玻璃板的表面進行清洗後，利用氣刀進行了脫液乾燥的情況下，於乾燥後的玻璃板中，亦存在絕對無法忽視的數量的微粒子附著於表面上者。當然，微粒子的附著成為使玻璃板的表面品質下降的因素，因此應避免微粒子的附著。

鑒於以上的情況，於本說明書中，將減少微粒子朝玻璃板表面上的附著，提供表面品質優異的玻璃板作為應由本發明解決的技術課題。
[解決課題之手段]

所述課題的解決藉由本發明的玻璃板的製造方法來達成。即，該製造方法包括：清洗步驟，將第一液體供給至玻璃板上，對玻璃板進行清洗；以及乾燥步驟，對被搬入乾燥處理室內，且於乾燥處理室內的規定的搬送路徑上被搬送的玻璃板吹送氣體，而自玻璃板上去除第一液體；該製造方法的特徵在於：以於乾燥處理室的底部配置有第二液體的狀態，對玻璃板吹送氣體。

本發明者對當進行所述清洗與脫液乾燥時，乾燥處理室內的氣流與微粒子的舉動的關係進行調查的結果，獲得了以下的發現。即，當於乾燥處理室內實施所述清洗後的乾燥時，藉由配設於乾燥處理室內的氣刀等氣體吹送裝置，進行已被搬入乾燥處理室內的玻璃板的脫液（清洗液或淋洗液等的去除）。此時，判明自氣體吹送裝置供給至玻璃板上的氣體於乾燥處理室內產生亂流，因該亂流而導致與第一液體（清洗液等）一同被自玻璃板的表面上去除，並沈降至乾燥處理室的底部的微粒子飛舞。根據以上所述，推測微粒子朝玻璃板表面上的附著由因對於玻璃板的氣體的吹送而於乾燥處理室內產生的不規則的流動（亂流）引起。

本發明是根據以上的發現而成者，當進行利用第一液體的玻璃板的清洗與乾燥時，以於乾燥處理室的底部配置有捕捉用的第二液體的狀態對玻璃板吹送氣體。如此，於在應被設定成乾燥環境的乾燥處理室的底部配置有第二液體的環境下進行利用氣體的吹送的脫液，藉此與清洗液等一同被自玻璃板上去除的微粒子由第二液體捕捉。因此，即便於乾燥處理室內產生了由氣體的吹送所引起的亂流，已沈降的微粒子亦難以乘著亂流而飛舞。因此，可於乾燥處理室內高效地去除清洗液來對玻璃板進行乾燥，並減少微粒子的附著，提供表面品質優異的玻璃板。另外，因將第二液體供給至乾燥處理室的底部，故可極力排除玻璃板與第二液體接觸的機會。因此，可儘可能地防止由將第二液體配置於乾燥處理室內所引起的玻璃板的表面品質的下降。再者，作為利用第二液體的捕捉以外的方法，例如亦可考慮對乾燥處理室內的氣體進行排氣，使經排氣的氣體穿過規定的過濾器來排除微粒子後，再次返回至乾燥處理室內的方法等，但若為該方法，則需要極大的排氣能力，無法避免排氣設備的複雜化、高成本化。相對於此，根據本發明的微粒子捕捉方法，僅藉由維持於乾燥處理室的底部配置有第二液體的狀態，便可減少微粒子朝玻璃板表面上的附著，因此只要是簡單的設備即可。根據以上所述，根據本發明，可避免成本上升，並提升玻璃板的表面品質。再者，所謂第一液體，是指於清洗步驟中被供給至玻璃板上的液體，於後述的實施方式中，清洗液及淋洗液相當於第一液體。

另外，於本發明的玻璃板的製造方法中，亦可於乾燥處理室內的底部由第一液體及第二液體覆蓋的狀態下，對玻璃板吹送氣體。

藉由如所述般利用第一液體及第二液體覆蓋乾燥處理室內的底部，可無遺漏且確實地捕捉已於乾燥處理室內沈降的微粒子。另外，亦可確實地防止因亂流等的影響而導致第二液體上升並與玻璃板接觸的事態。根據以上所述，根據本結構，可進一步減少微粒子朝玻璃板上的附著，並使玻璃板乾燥。

另外，於本發明的玻璃板的製造方法中，第二液體亦可為純水。

乾燥處理室通常將清潔度管理得比清洗處理室高。因此，藉由將純水用於第二液體，可不使乾燥處理室內空氣的清潔度惡化，捕捉於空氣中懸浮並沈降的微粒子，而減少朝玻璃板表面上的附著。

另外，於本發明的玻璃板的製造方法中，亦可藉由朝乾燥處理室內供給第二液體及朝乾燥處理室外排出第二液體，而更換配置於底部的第二液體。

藉由如所述般更換配置於乾燥處理室的底部的液體，可將已被捕捉的微粒子與第二液體一同排出。藉此，可將乾燥處理室的清潔度維持成高的狀態。
[發明的效果]

如以上所述般，根據本發明，可減少微粒子朝玻璃板表面上的附著，提供表面品質優異的玻璃板。

以下，參照圖1～圖3對本發明的第一實施方式進行說明。

如圖1所示，本實施方式的玻璃板的製造方法包括：加工步驟S1，對玻璃板實施規定的加工；清洗步驟S2，對已被實施規定的加工的玻璃板進行清洗；乾燥步驟S3，將附著於經清洗的玻璃板上的清洗液去除來使玻璃板乾燥；以及檢查步驟S4，檢查有無附著於乾燥後的玻璃板的表面上的微粒子等異物。於加工步驟S1中，例如利用磨石對玻璃板的端面實施加工。作為加工步驟S1的前步驟，亦可設置自成形原板切出所期望的尺寸的玻璃板的切斷步驟。以下，以清洗步驟S2與乾燥步驟S3為中心進行說明。

圖2是表示清洗步驟S2及乾燥步驟S3中所使用的清洗乾燥裝置10的整體結構的側面圖。如圖2所示，該清洗乾燥裝置10包括清洗處理室11與乾燥處理室12，玻璃板G的搬送路徑L以橫穿清洗處理室11及乾燥處理室12的方式設置。於此情況下，於清洗處理室11與乾燥處理室12內配設沿著搬送路徑L搬送玻璃板G的搬送裝置13、搬送裝置14。各搬送裝置13、14例如包含輥式輸送機。

於本實施方式中，清洗處理室11具有第一清洗室15與第二清洗室16。其中，第一清洗室15具有擦拭玻璃板G的表面Ga、Ga來去除附著於表面Ga、Ga上的異物等污垢的清洗輥17。於本實施方式中，將上下一對的清洗輥17、17配設於隔著玻璃板G的搬送路徑L而相向的位置上。清洗輥17可為利用海綿等彈性材料形成與玻璃板G的接觸部者，亦可為利用刷子形成與玻璃板G的接觸部者。於前者的情況下，清洗輥17變成海綿輥，於後者的情況下，清洗輥17變成刷輥。

另外，於第一清洗室15內配設清洗液供給裝置18。於此情況下，以將清洗液19（第一液體）供給至於搬送路徑L上穿過的玻璃板G的表面Ga、Ga整個區域中的方式，設定清洗液供給裝置18的供給口（省略圖示）的方向或寬度方向尺寸、供給流量等。此處，本說明書中的「寬度方向」是指與在搬送路徑L上被搬送的玻璃板G的寬度方向一致的方向。再者，於清洗液19中，例如可使用純水，視需要亦可添加洗滌劑或界面活性劑、鹼性離子水、次氯酸鈉等。

第二清洗室16位於比第一清洗室15更靠近搬送路徑L的下游側，具有將作為第一液體的淋洗液（洗滌液）20供給至已被自第一清洗室15搬入第二清洗室16內的玻璃板G的表面Ga、Ga上的淋洗液供給裝置21。於此情況下，亦以將淋洗液20供給至於搬送路徑L上穿過的玻璃板G的表面Ga、Ga整個區域中的方式，設定淋洗液供給裝置21的供給口（省略圖示）的方向或寬度方向尺寸、供給流量等。再者，於淋洗液20中，可使用純水等公知的種類的淋洗用液體。

再者，已被供給至玻璃板G上的清洗液19流下至第一清洗室15的底部15a中。因此，雖然省略圖示，但於底部15a中，用於排放已流下的清洗液19的排放口設置於底部15a中。另外，已被供給至玻璃板G上的清洗液19及淋洗液20流下至第二清洗室16的底部16a中。因此，雖然省略圖示，但於底部16a中，用於排放流下的清洗液19及淋洗液20的排放口設置於底部16a中。

乾燥處理室12具有脫液室22、及位於比脫液室22更靠近搬送路徑L的下游側的第一乾燥室23。於本實施方式中，乾燥處理室12於位於比第一乾燥室23更靠近搬送路徑L的下游側進而具有第二乾燥室24。於脫液室22與第一乾燥室23之間設置有隔板25。藉此，限制脫液室22的空氣等流入第一乾燥室23中。再者，於清洗步驟中所供給的清洗液19及淋洗液20殘留於被搬入脫液室22中的玻璃板G上，因此淋洗液20等流下至脫液室22的底部22a中。因此，脫液室22的底部22a由淋洗液20等覆蓋，而變成潮濕的狀態。此時，雖然省略圖示，但亦可於底部22a中設置用於排放流下的淋洗液20等的排放口。

於第一乾燥室23中配設用於朝被搬入第一乾燥室23內的玻璃板G的表面Ga、Ga吹送規定的氣體26（例如潔淨乾燥空氣等）的氣體吹送裝置27。於本實施方式中，氣體吹送裝置27是上下一對的氣刀28、28，玻璃板G的搬送路徑L位於所述一對氣刀28、28間。此處，各氣刀28的供給口28a的寬度方向尺寸被設定成可將氣體26吹送至於一對氣刀28、28間穿過的玻璃板G的表面Ga、Ga整個區域中的大小。另外，各氣刀28的供給口28a的角度被設定成可自第一乾燥室23側朝脫液室22側將氣體26吹送至玻璃板G的表面Ga上的大小。再者，於圖示例中，以於比脫液室22與第一乾燥室23的邊界位置（隔板25的位置）更靠近脫液室22的位置上，對玻璃板G的表面Ga、Ga吹送氣體26的方式配置一對氣刀28、28，但亦能夠以於脫液室22與第一乾燥室23的邊界位置（上下的隔板25、25間）上對表面Ga吹送氣體26的方式配置一對氣刀28、28。

於第一乾燥室23與第二乾燥室24之間設置有隔板29。藉此，第一乾燥室23的內部空間與第二乾燥室24的內部空間被劃分，因此限制第一乾燥室23的空氣等流入第二乾燥室24中。因此，可使第二乾燥室24的清潔度比第一乾燥室23的清潔度高。

於第二乾燥室24中配設用於朝被搬入第二乾燥室24內的玻璃板G的表面Ga、Ga吹送規定的氣體26的氣體吹送裝置30。於本實施方式中，氣體吹送裝置30是上下一對的氣刀31、31，玻璃板G的搬送路徑L位於所述一對氣刀31、31間。此處，各氣刀31的供給口31a的寬度方向尺寸被設定成可將氣體26吹送至於一對氣刀31、31間穿過的玻璃板G的表面Ga、Ga整個區域中的大小。另外，各氣刀31的供給口31a的角度被設定成可自第二乾燥室24側朝第一乾燥室23側將氣體26吹送至玻璃板G的表面Ga上的大小。再者，各氣刀31的供給口31a的角度可與第一乾燥室23內的各氣刀28的供給口28a的角度相同，亦可不同。另外，於圖示例中，以於比第一乾燥室23與第二乾燥室24的邊界位置（隔板29的位置）更靠近第一乾燥室23的位置上，對玻璃板G的表面Ga、Ga吹送氣體26的方式配置一對氣刀31、31，但亦能夠以於第一乾燥室23與第二乾燥室24的邊界位置（上下的隔板29、29間）上對表面Ga吹送氣體26的方式配置一對氣刀31、31。或者，亦能夠以於比邊界位置更靠近第二乾燥室24的位置上對表面Ga吹送氣體26的方式配置一對氣刀31、31。

於第一乾燥室23的底部23a及第二乾燥室24的底部24a中配置有微粒子捕捉用的液體32（第二液體）。於本實施方式中，第一乾燥室23的底部23a及第二乾燥室24的底部24a處於由層狀的液體32覆蓋的狀態。該液體32並非殘留於玻璃板G上的淋洗液20等第一液體流下而成者，而是另外供給至第一乾燥室23的底部23a及第二乾燥室24的底部24a中者。

於該微粒子捕捉用的液體32中，只要可捕捉微粒子33，則可使用任意的種類的液體，例如可使用離子交換水、蒸餾水、工業用純水等各種純水。或者，為了進一步提升微粒子33的捕捉能力，亦可將界面活性劑添加至液體32中。具體而言，亦可將於所述純水中添加界面活性劑而成者用作液體32。

繼而，將使用所述結構的清洗乾燥裝置10的清洗步驟S2與乾燥步驟S3的一例與本發明的作用效果一同進行說明。

（S2）清洗步驟
於該步驟中，若於加工步驟S1中實施了規定的加工（端面加工、表面處理等中的至少一者以上）的玻璃板G被搬入位於搬送路徑L的最上游側的清洗乾燥裝置10的第一清洗室15內，則自清洗液供給裝置18、18朝於搬送路徑L上藉由搬送裝置13來搬送的玻璃板G的表面Ga、Ga供給清洗液19。藉此，玻璃板G的表面Ga、Ga變成已由清洗液19潤濕的狀態。而且，將該狀態的玻璃板G搬送至位於比清洗液供給裝置18、18更下游側的一對清洗輥17、17為止，利用清洗輥17、17擦拭玻璃板G的表面Ga、Ga。藉此，擦去附著於表面Ga、Ga上的微粒子33等異物。然後，藉由搬送裝置13而將玻璃板G搬入第二清洗室16內。於第二清洗室16內，自淋洗液供給裝置21朝於搬送路徑L上藉由搬送裝置13來搬送的玻璃板G的表面Ga、Ga供給淋洗液20，而沖走玻璃板G的表面Ga、Ga上的清洗液19與異物。然後，藉由搬送裝置13來將玻璃板G朝第二清洗室16外排出。

（S3）乾燥步驟
已藉由搬送裝置13而朝第二清洗室16外排出的玻璃板G繼而藉由搬送裝置14而被搬入乾燥處理室12內，準確而言被搬入脫液室22內。而且，於即將被自脫液室22搬入第一乾燥室23內之前，自作為氣體吹送裝置27的一對氣刀28、28朝玻璃板G的表面Ga、Ga吹送氣體26。藉此，吹走殘存於玻璃板G的表面Ga、Ga上的淋洗液20（有時亦為少量的清洗液19）與包含微粒子33的異物。已被吹走的微粒子33朝脫液室22的底部22a、或第一乾燥室23的底部23a沈降。

以所述方式進行了脫液的玻璃板G繼而於第一乾燥室23內藉由搬送裝置14來搬送，於即將被自第一乾燥室23搬入第二乾燥室24內之前，自作為氣體吹送裝置30的一對氣刀31、31朝玻璃板G的表面Ga、Ga吹送氣體26。藉此，吹走殘存於玻璃板G的表面Ga、Ga上的淋洗液20等與包含微粒子33的異物。已被吹走的微粒子33朝第一乾燥室23的底部23a、或第二乾燥室24的底部24a沈降。如以上般去除淋洗液20等與包含微粒子33的異物，藉此玻璃板G的表面Ga、Ga變成乾燥的狀態。

此處，例如如圖3所示，當於乾燥處理室12的第一乾燥室23內及第二乾燥室24內未配置液體32時，已被供給至玻璃板G上的淋洗液20等的大部分流下至比氣刀28、28更上游側，因此淋洗液20等僅略微流下至比氣刀28、28更下游側。因此，第一乾燥室23的底部23a及第二乾燥室24的底部24a的大部分變成乾燥狀態。

藉由一對氣刀28、28（31、31）而與淋洗液20等一同被吹走的微粒子33沈降，不與液體32接觸而堆積於第一乾燥室23的底部23a上、或第二乾燥室24的底部24a上。另一方面，有時因自一對氣刀28、28（31、31）朝玻璃板G吹送氣體26而於第一乾燥室23內、或第二乾燥室24內產生亂流34。因該亂流34而導致被自玻璃板G的表面Ga、Ga上吹走且位於乾燥狀態的底部23a、底部24a上的微粒子33飛舞，並再次附著於玻璃板G的表面Ga、Ga上。

相對於此，於本發明的玻璃板的製造方法中，以於乾燥處理室12的底部配置有液體32的狀態對玻璃板G吹送氣體26（參照圖2）。於此情況下，乾燥處理室12的底部藉由液體32而變成潮濕的狀態。因此，微粒子33於被自玻璃板G上去除並已沈降時，由液體32捕捉。因此，即便於第一乾燥室23或第二乾燥室24內產生了由氣體26的吹送所引起的亂流34（參照圖3），已沈降的微粒子33亦難以乘著亂流34而飛舞。因此，可高效地去除清洗液19及淋洗液20來對玻璃板G進行脫液乾燥，並減少微粒子33的附著，提供表面品質優異的玻璃板G。另外，因將微粒子33捕捉用的液體32配置於乾燥處理室12的底部，故可極力排除玻璃板G與液體32接觸的機會。因此，可儘可能地防止由將液體32配置於乾燥處理室12內所引起的玻璃板G的表面品質的下降。另外，若為該方法，則僅藉由將液體32配置於乾燥處理室12的底部，便可減少微粒子33的附著，因此只要是簡單的設備即可。根據以上所述，根據本發明，可避免成本上升，並提升玻璃板G的表面品質。

另外，於本實施方式中，利用淋洗液20等覆蓋脫液室22的底部，並且利用液體32覆蓋第一乾燥室23及第二乾燥室24的底部23a、底部24a（參照圖2）。因此，乾燥處理室12的底部變成由第一液體（清洗液19或淋洗液20）及第二液體32覆蓋的狀態，可無遺漏且確實地捕捉已沈降至乾燥處理室12的底部的微粒子33。根據以上所述，可進一步減少微粒子33朝玻璃板G上的附著，並對該玻璃板G進行脫液乾燥。因此，將無偏差地提升玻璃板G的表面品質。

（S4）檢查步驟
如所述般實施了清洗乾燥的玻璃板G被朝檢查步驟搬送，藉由規定的檢查裝置來測定、評價殘存於玻璃板G的表面Ga上的異物的有無及數量。於異物的有無及數量的測定中亦包含微粒子33的數量的測定。而且，例如若所測定的微粒子33的數量（每單位面積的數量）為閾值以下，則作為滿足出貨基準者而被朝包裝、出貨步驟搬送。

以上，對本發明的第一實施方式進行了說明，但本發明的玻璃板的製造方法當然並不限定於所述例示的形態。該製造方法可於本發明的範圍內採用各種形態。

圖4是表示本發明的第二實施方式的清洗乾燥裝置40的整體結構的側面圖。該清洗乾燥裝置40與圖2中所示的第一實施方式的不同點在於：於第一乾燥室23及第二乾燥室24中設置有用於更換液體32的結構。具體而言，於第一乾燥室23的側部的下方設置一個或多個用於將液體32供給至底部23a上的供給口41，並且於底部23a中設置一個或多個用於排出液體32的排出口42。而且，排出口42與過濾裝置43連接，已被自排出口42朝第一乾燥室23外排出的液體32由過濾裝置43進行過濾。而且，藉由過濾而去除了微粒子33等異物的液體32如圖5所示，變成藉由泵44來朝供給口41壓送，而再次被供給至底部23a上的結構。於第二乾燥室24中，與第一乾燥室23同樣地，亦設置有包含供給口41、排出口42、過濾裝置43、及泵44的液體32的更換結構。再者，過濾裝置43與泵44的配置亦可調換，換言之，亦可使自泵44中噴出的液體32穿過過濾裝置43後，經由供給口41而供給至底部23a上。

如此，藉由更換被供給至第一乾燥室23及第二乾燥室24的底部的液體32，可將已被捕捉的微粒子33與液體32一同排出。藉此，可將第一乾燥室23及第二乾燥室24的清潔度維持成高的狀態。尤其，如圖5所示，藉由包含供給口41與排出口42、及過濾裝置43與泵44的更換結構，將液體32循環供給至底部23a（24a）上，藉此即便以必要最小限度的設備及液體32的量，亦可將第一乾燥室23及第二乾燥室24的清潔度維持成高的狀態。

再者，作為液體32的配置形態，並不限定於圖2等中所例示的配置成層狀的形態。例如，亦可藉由將滴狀的液體32散布於乾燥處理室12的底部而將液體32配置成斑狀。另外，亦可藉由將滴狀的液體32散布於乾燥處理室12的底部而將液體32配置成層狀。就進一步減少微粒子33朝玻璃板G上的附著的觀點而言，較佳為將液體32配置成層狀。另外，液體32的配置區域只要設為乾燥處理室12的底部中的乾燥狀態的區域（淋洗液20等第一液體不流下的區域）即可。

另外，當利用第一液體及第二液體覆蓋乾燥處理室12的底部時，並不限定於如所述實施方式般的利用淋洗液20等第一液體覆蓋脫液室22的底部22a，利用第二液體32覆蓋第一乾燥室23的底部23a及第二乾燥室24的底部24a的形態。例如，乾燥處理室12的底部的一部分或全部亦可由第一液體與第二液體32的混合液覆蓋。

10、40‧‧‧清洗乾燥裝置

11‧‧‧清洗處理室

12‧‧‧乾燥處理室

13、14‧‧‧搬送裝置

15‧‧‧第一清洗室

15a、16a、22a、23a、24a‧‧‧底部

16‧‧‧第二清洗室

17‧‧‧清洗輥

18‧‧‧清洗液供給裝置

19‧‧‧清洗液（第一液體）

20‧‧‧淋洗液（洗滌液、第一液體）

21‧‧‧淋洗液供給裝置

22‧‧‧脫液室

23‧‧‧第一乾燥室

24‧‧‧第二乾燥室

25、29‧‧‧隔板

26‧‧‧氣體

27、30‧‧‧氣體吹送裝置

28、31‧‧‧氣刀

28a、31a、41‧‧‧供給口

32‧‧‧液體（第二液體）

33‧‧‧微粒子

34‧‧‧亂流

42‧‧‧排出口

43‧‧‧過濾裝置

44‧‧‧泵

G‧‧‧玻璃板

Ga‧‧‧表面

L‧‧‧搬送路徑

S1～S4‧‧‧步驟

圖1是表示本發明的第一實施方式的玻璃板的製造方法的程序的流程圖。

圖2是本發明的第一實施方式的玻璃板的清洗乾燥裝置的側面圖。

圖3是用於與本發明的比較的玻璃板的清洗乾燥裝置的側面圖。

圖4是本發明的第二實施方式的玻璃板的清洗乾燥裝置的側面圖。

圖5是圖4中所示的清洗乾燥裝置的A-A剖面圖。

Claims (4)

1. 一種玻璃板的製造方法，其包括： 清洗步驟，將第一液體供給至玻璃板上，對所述玻璃板進行清洗；以及 乾燥步驟，對被搬入乾燥處理室內，且於所述乾燥處理室內的規定的搬送路徑上被搬送的所述玻璃板吹送氣體，而自所述玻璃板上去除所述第一液體；且 以於所述乾燥處理室的底部配置有第二液體的狀態，對所述玻璃板吹送所述氣體。
2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃板的製造方法，其中於所述乾燥處理室內的底部由所述第一液體及所述第二液體覆蓋的狀態下，對所述玻璃板吹送所述氣體。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的製造方法，其中所述第二液體為純水。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的玻璃板的製造方法，其中藉由朝所述乾燥處理室內供給所述第二液體及朝所述乾燥處理室外排出所述第二液體，而更換配置於所述底部的所述第二液體。