WO2018135565A1 - Method for manufacturing liquid crystal panel - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal panel for obtaining a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-cavity processing for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate.
- liquid crystal panels when manufacturing liquid crystal panels, a method (so-called multi-sided) is widely used in which a plurality of liquid crystal panels are manufactured simultaneously with a pair of glass base materials, and then the glass base material is divided into a single liquid crystal panel. It has been. And when dividing
- some conventional techniques employ an etching process that is devised so that the electrode terminal portion is also masked at the same time when the etchant is applied to the color filter substrate (see, for example, Patent Document 1). ). By adopting such a configuration, a separate process is not required for protecting the electrode terminal portion, and the electrode terminal portion is reliably protected.
- An object of the present invention is to provide a liquid crystal panel manufacturing method that can eliminate the masking process associated with the etching process and can minimize the influence of side etching.
- the method for producing a liquid crystal panel according to the present invention is to obtain a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-cavity processing for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate.
- the liquid crystal panel manufacturing method includes at least a modified line forming step, a groove forming step, an etching step, and a cutting step.
- the modified line is formed on the array substrate and the color filter substrate along the planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel, and is more easily etched than other portions.
- a reforming line As a typical example of the method for forming the modified line, filament processing by a picosecond laser or a femtosecond laser can be cited.
- the width of the reforming line is preferably set to approximately 10 ⁇ m or less.
- a groove is formed in the color filter substrate along a terminal portion cutting planned line for removing a region of the color filter substrate facing the electrode terminal portion of the array substrate.
- the method for forming the groove include a scribing process using a wheel cutter and a laser processing process in which a focus is set so as to cut only the color filter substrate.
- the array substrate and the color filter substrate are etched while being prevented from being cut at the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line.
- the cutting groove and the like may penetrate in the thickness direction in the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line, so the shape cutting planned line and the terminal at a slow etching rate of 3 ⁇ m / min or less. It is preferable to perform the etching process while confirming the state of the partial cutting planned line.
- the cutting step after the etching process, cutting is performed at the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line.
- the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line are substantially cut, so that complete cutting can be realized by applying a slight mechanical pressure or thermal stress. Is possible.
- a minute pressing force By applying a minute ultrasonic vibration, or heating, it is possible to realize complete cutting without fouling the glass substrate for multiple surfaces.
- masking for selectively etching only the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line is performed in order to perform the etching process after making the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line easy to cut in advance. No processing is required.
- the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line are easily cut in advance, the etching amount can be significantly reduced compared with the case where the entire thickness direction is etched, so that the influence of side etching is minimized. Can be suppressed.
- the modification line has a perforated shape having a plurality of through holes or a plurality of modified holes formed by a pulse laser beam. Because the planned cutting line of the liquid crystal panel is processed by a pulse laser, even if the contour of the liquid crystal panel contains complicated, curved or minute curved parts, or an opening is formed in the liquid crystal panel It becomes possible to realize appropriate processing.
- the liquid crystal panel manufacturing method is to obtain a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-surface processing for multi-surface processing of a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate.
- This liquid crystal panel manufacturing method includes at least a modified line forming step, an etching step, a cutting step, and a terminal portion forming step.
- the modified line is formed on the array substrate and the color filter substrate along the planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel, and is more easily etched than other portions.
- a reforming line As a typical example of the method for forming the modified line, filament processing by a picosecond laser or a femtosecond laser can be cited.
- the width of the reforming line is preferably set to approximately 10 ⁇ m or less.
- the array substrate and the color filter substrate are etched while being prevented from being cut along the shape cutting planned line.
- the cutting groove and the like may penetrate the thickness cutting line in the thickness direction, so the etching process is performed while confirming the state of the shape cutting planned line at a slow etching rate of 10 ⁇ m / min or less. It is preferable to carry out.
- cutting is performed at the shape cutting planned line. After the etching process, it is substantially cut along the shape cutting planned line. Further, a modified region exists at the center in the thickness direction, and the glass substrate is easily cut. For this reason, complete cutting can be realized by applying a slight mechanical pressure or thermal stress. For example, by applying a minute pressing force, applying a minute ultrasonic vibration, or heating, complete cutting can be realized without fouling the glass substrate for multiple surfaces.
- the color filter substrate is removed along a terminal portion cutting planned line for removing the color filter substrate facing the region where the electrode terminal portions are formed on the array substrate.
- the electrode terminal portion is formed on the main surface of the array substrate facing the color filter substrate on the array substrate, and the electrode terminal portion is exposed by removing the color filter substrate.
- the terminal portion forming step can be performed at an arbitrary timing as long as it is at least after the etching step. For example, it may be performed before or after the cutting step, or simultaneously with the cutting step.
- the etching process is performed after the shape cutting planned line is easily cut in advance, a masking process for selectively etching only the shape cutting planned line is unnecessary.
- the shape cutting planned line is easily cut in advance, the etching amount can be remarkably reduced as compared with the case where the entire thickness direction is etched, thereby minimizing the influence of side etching. It becomes possible. As a result, it is possible to use the glass substrate for multi-chamfering with the liquid crystal panels arranged close together, and the chamfering efficiency is improved.
- the modification line has a perforated shape having a plurality of through holes or a plurality of modified holes formed by a pulse laser beam. Since the planned cutting line of the liquid crystal panel is processed with a pulse laser, even if the contour of the liquid crystal panel contains complex or curved parts, or the liquid crystal panel has openings, appropriate processing Can be realized.
- the terminal portion forming step includes a groove forming step and a breaking step.
- the groove forming step is a process of forming a groove in the color filter substrate along the terminal portion cutting planned line.
- the break step is a step of applying a pressing force to the groove formed along the terminal portion cutting planned line together with the shape cutting planned line in the cutting step.
- the masking process accompanying the etching process is unnecessary, and the influence of side etching can be suppressed to the minimum.
- FIG. 1 It is a figure which shows schematic structure of the liquid crystal panel which concerns on one Embodiment of this invention. It is a figure which shows schematic structure of the glass base material for multiple chamfering containing a some liquid crystal panel. It is a figure which shows the outline of the laser processing with respect to the multi-chamfer glass base material. It is a figure which shows the outline of the scribe break process with respect to the multi-chamfer glass base material. It is a figure which shows an example of the etching apparatus applied to this invention. It is a figure which shows the variation of the etching process applied to this invention. It is a figure which shows the outline of the glass base material for multiple chamfers of the parted state.
- FIG. 1A shows a schematic configuration of a liquid crystal panel 10 according to an embodiment of the present invention.
- the liquid crystal panel 10 is configured such that an array substrate 12 and a color filter substrate 14 are bonded together with a liquid crystal layer interposed therebetween. Since the configurations of the array substrate 12 and the color filter substrate 14 can be the same as known configurations, the description thereof is omitted here.
- the array substrate 12 has an electrode terminal portion 122 provided so as to extend from a region bonded to the color filter substrate 14.
- a plurality of electric circuits are connected to the electrode terminal portion 122, and the liquid crystal panel 10 and these electric circuits are housed in a housing, so that, for example, a smartphone 100 as shown in FIG. Composed.
- the liquid crystal panel 10 is generally manufactured as a multi-chamfering glass base material 50 including a plurality of them, and the multi-chamfering glass base material 50 is divided. By doing so, a single liquid crystal panel 10 is obtained.
- a description will be given of processing for a multi-chamfer glass base material 50 in which six liquid crystal panels 10 are arranged in a matrix of 3 rows and 2 columns.
- the liquid crystal panel included in the multi-chamfer glass base material 50 The number of 10 can be increased or decreased as appropriate.
- the glass substrate 50 for multi-face chamfering is provided with the reforming line 20 along the shape cutting planned line corresponding to the shape (contour) of the liquid crystal panel 10. It is formed.
- the modification line 20 includes a plurality of filaments formed by a light beam pulse (a beam diameter of about 1 to 5 ⁇ m) irradiated from a pulse laser such as a picosecond laser (wavelength 515 nm) or a femtosecond laser (1030 nm). It is a filament array in which layers are arranged.
- the light beam from the pico laser has a depth of focus deeper than a range including at least both the array substrate 12 and the color filter substrate 14. For this reason, the modification line 20 for dividing the liquid crystal panel 10 is formed simultaneously on both the array substrate 12 and the color filter substrate 14.
- the reforming line 20 has a perforated shape having a plurality of through holes or modified layers as shown in FIG.
- the reforming line 20 has a property that it is more easily etched than other portions of the multi-chamfer glass base material 50.
- the shape of the reforming line 20 is not limited to the shape as shown in FIG. 3 (C), and may have other shapes.
- a region facing the electrode terminal portion 122 of the array substrate 12 in the color filter substrate 14 is removed from the multi-chamfered glass base material 50 as shown in FIGS.
- the process of forming the terminal part cutting groove 30 is performed.
- the scribe wheel (wheel cutter) 250 forms the terminal portion cutting groove 30 inside the region of the color filter substrate 14 facing the electrode terminal portion 122 of the array substrate 12.
- the terminal portion cutting groove 30 is formed along a terminal portion cutting planned line in order to remove a region of the color filter substrate 14 facing the electrode terminal portion 122 of the array substrate 12.
- the multi-chamfered glass base material 50 is introduced into the etching apparatus 300 and etched with an etching solution containing hydrofluoric acid and hydrochloric acid. Is given.
- the etching apparatus 300 the multi-chamfering glass base material 50 is transported by the transport roller, and an etching solution is brought into contact with one or both surfaces of the multi-chamfering glass base material 50 in the etching chamber, whereby the multi-chamfering glass base material 50 is contacted. An etching process for 50 is performed.
- the multi-surface glass base material 50 is removed from the etchant. In this state, it is discharged from the etching apparatus 300.
- the etchant is applied to the multi-chamfer glass base material 50 in each etching chamber 302 of the etching apparatus 300.
- Spray etching for spraying.
- FIG. 6 (B) a structure in which the glass substrate 50 for multi-faces is conveyed while contacting the overflowed etching solution is adopted. Is also possible.
- dip type etching is employed in which one or a plurality of multi-surface glass base materials 50 stored in a carrier are immersed in an etching tank 306 in which an etching solution is stored. It is also possible to do.
- the etching process proceeds at a slow rate of 3 ⁇ m / min or less with a thin hydrofluoric acid of 2% by weight or less, but is not limited to this method.
- the etching rate is not slowed down in the whole etching process but is gradually increased while initially adopting a faster etching rate, it is possible to shorten the etching process time.
- a configuration in which the hydrofluoric acid concentration in the etching solution is lowered as the process proceeds to the subsequent stage of the etching apparatus 300 may be employed.
- the reforming line 20 and the terminal portion cutting groove 30 are etched.
- the etching solution penetrates faster than other portions, and the glass is melted along this line, so that the color filter substrate can be easily cut by the reforming line 20. Further, even if a scratch or the like is generated at the time of laser irradiation, the scratch is easily lost.
- the modified line 20 is formed by laser filament processing, and the modified line is further etched to modify the multi-chamfer glass base material 50 with a slight mechanical pressure.
- the quality line 20 can be divided. For example, by applying a minute pressing force to the multi-chamfering glass base material 50 or applying microscopic ultrasonic vibration, the multi-chamfering glass base material 50 is not soiled as shown in FIG. It is possible to divide.
- the etching process does not completely cut it, it is possible to prevent the occurrence of a problem such that the end faces of the liquid crystal panel 10 separated during the etching collide with each other and are damaged. Further, the multi-chamfered glass base material 50 in an incompletely cut state after the etching process can be transported as it is (in a large format). Furthermore, since the etching solution does not reach the electrode terminal portion, it is not necessary to protect the electrode terminal portion with a masking agent having etching resistance. In addition, since at least the central portion of the end face of the liquid crystal panel 10 is etched, the strength (for example, bending strength) of the liquid crystal panel is higher than when cutting is performed only by laser processing.
- the end surface of the liquid crystal panel 10 is substantially perpendicular to the main surface.
- the taper width (L1 to L4 in FIG. 8C) generated on each end face of the array substrate 12 and the color filter substrate 14 each having a plate thickness of about 0.15 mm to 0.25 mm is 50 ⁇ m or less (mostly 20 to 35 ⁇ m).
- the glass substrate 50 for multi-sided drawing in which the liquid crystal panels 10 are arranged close to each other. For example, if there are gaps of about 10 ⁇ m in total with a laser width of 2 ⁇ m + ⁇ , it is possible to properly separate the glass substrate for multi-face 50 into a single liquid crystal panel 10.
- the multi-chamfered glass base material 50 is introduced into the etching apparatus 300 and is subjected to an etching process with an etching solution containing hydrofluoric acid and hydrochloric acid.
- the multi-chamfering glass base material 50 is transported by the transport roller, and an etching solution is brought into contact with one or both surfaces of the multi-chamfering glass base material 50 in the etching chamber, whereby the multi-chamfering glass base material 50 is contacted.
- An etching process for 50 is performed.
- the multi-surface glass base material 50 is removed from the etchant. In this state, it is discharged from the etching apparatus 300.
- the etching solution is applied to the multi-chamfering glass base material 50 in each etching chamber 302 of the etching apparatus 300.
- Spray etching for spraying.
- the overflow type etching chamber 304 adopts a configuration in which the glass substrate 50 for multi-face drawing is conveyed while being in contact with the overflowed etching solution. Is also possible.
- dip type etching is employed in which one or a plurality of multi-surface glass base materials 50 stored in a carrier are immersed in an etching tank 306 in which an etching solution is stored. It is also possible to do.
- the etching process proceeds at a slow rate of 10 ⁇ m / min or less with 2% by weight or less of thin hydrofluoric acid, but the present invention is not limited to this method.
- the etching rate is not slowed down in the whole etching process but is gradually increased while initially adopting a faster etching rate, it is possible to shorten the etching process time.
- the modified line 20 is etched.
- the etchant permeates faster than other portions, and the glass is melted along this line, so that the planned cutting groove 26 is formed.
- the planned cutting groove 26 is not an isotropic groove formed by normal etching, and the aspect ratio in the depth direction is larger than the width direction. For this reason, even if it is the glass base material 50 for multiple chamfers where each liquid crystal panel adjoins, the cutting planned groove
- the planned cutting groove 26 is formed in the array substrate 12 or the color filter substrate 14 so as not to penetrate completely in the thickness direction.
- the thickness of the lower portion of the planned cutting groove 26 is preferably 100 ⁇ m or less. When the plate thickness exceeds 100 ⁇ m, it may be difficult to divide in the cutting step.
- the strength of the shape cutting planned line is reduced due to the planned cutting groove 26 and the modified region (modified line 20) existing below the planned cutting groove 26. For this reason, it is possible to divide the multi-chamfering glass base material 50 in the reforming line 20 only by applying a slight mechanical pressure to the planned cutting line. Specifically, it can be divided by applying a minute pressing force to the multi-chamfer glass base material 50 or applying a minute ultrasonic vibration.
- the liquid crystal panel 10 was divided using a pressing instrument 60 as shown in FIG.
- the pressing instrument 60 has a rod shape and has a spherical rotating jig 62 at the tip.
- the rotating jig 62 is rotatably supported at the distal end portion of the pressing instrument 60.
- the rotating jig 62 is configured to rotate by moving the pressing tool 60 along the planned cutting line while pressing the pressing tool 60 against the planned cutting groove 26.
- a stress is applied to the modified region below the planned cutting groove 26 by the pressing tool 60, a crack occurs and the liquid crystal panel 10 can be divided.
- the pressing instrument 60 it is possible to divide the liquid crystal panel 10 while preventing the multi-chamfered glass base material 50 from being soiled or contacting the end surfaces.
- a cutting process for removing a region of the color filter substrate 14 facing the electrode terminal portion 122 of the array substrate 12 is performed.
- a scribe wheel (wheel cutter) 250 cuts the inner side of a region of the color filter substrate 14 facing the electrode terminal portion 122 of the array substrate 12 along a terminal portion cutting planned line.
- a terminal part cutting groove 30 is formed in the color filter substrate 14 along the terminal part cutting planned line by the scribe wheel 250.
- the color filter substrate 14 can be removed in the terminal portion cutting groove 30 by applying a pressing force to the terminal portion cutting groove 30 with the pressing tool 60 or the like.
- the multi-chamfer glass base material 50 is not completely cut by the etching process, there is a problem that the end faces of the liquid crystal panel 10 separated during the etching collide and are damaged. Is prevented. Further, the multi-chamfered glass base material 50 in an incompletely cut state after the etching process can be transported as it is (in a large format). Furthermore, since the etching solution does not reach the electrode terminal portion 122, it is not necessary to protect the electrode terminal portion with a masking agent having etching resistance. In addition, since at least the central portion of the end face of the liquid crystal panel 10 is etched, the strength (for example, bending strength) of the liquid crystal panel is higher than when cutting is performed only by laser processing.
- FIGS. 13A to 13C show a schematic configuration of the liquid crystal panel 10 after the division.
- the end surface of the liquid crystal panel 10 is substantially perpendicular to the main surface.
- the taper width (L1 to L3 in FIG. 13C) generated on each end face of the array substrate 12 and the color filter substrate 14 each having a plate thickness of about 0.15 mm to 0.25 mm is 50 ⁇ m or less (mostly 20 to 35 ⁇ m).
- the glass substrate 50 for multi-sided drawing in which the liquid crystal panels 10 are arranged close to each other. For example, if there are gaps of about 10 ⁇ m in total with a laser width of 2 ⁇ m + ⁇ , it is possible to properly separate the glass substrate for multi-face 50 into a single liquid crystal panel 10. Further, the shape of the liquid crystal panel is not limited to that of the present embodiment, and for example, a liquid crystal panel having a notch can be used.
- the color filter substrate 14 is removed in the region facing the electrode terminal portion 122.
- the color filter substrate 14 is cut. Can be performed at an arbitrary timing. For example, as shown in FIGS. 14 (A) and 14 (B), a terminal cutting groove is formed along the terminal portion cutting planned line using a scribe wheel 250 with respect to the glass substrate 50 for multi-chamfer after etching treatment. 30 is formed.
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Abstract
Description
本発明は、アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るための液晶パネル製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal panel for obtaining a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-cavity processing for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate.
一般的に、液晶パネルの製造時には、1組のガラス母材で同時に複数の液晶パネルを製造し、その後にガラス母材を単個の液晶パネルに分断するという手法(いわゆる多面取り)が広く採用されてきた。そして、ガラス母材を分断する際には、スクライブブレーク、レーザアブレーション加工、エッチング処理といった手法が用いられることが多かった。 Generally, when manufacturing liquid crystal panels, a method (so-called multi-sided) is widely used in which a plurality of liquid crystal panels are manufactured simultaneously with a pair of glass base materials, and then the glass base material is divided into a single liquid crystal panel. It has been. And when dividing | segmenting a glass base material, methods, such as a scribe break, a laser ablation process, and an etching process, were often used.
ところが、スクライブブレークを採用した場合には、丸みを持った輪郭を有するパネルを形成することが困難であった。また、レーザアブレーション加工では、加工速度が遅かったり、アブレーションデブリによる汚損が生じたりするといった不具合が発生し易かった。さらに、エッチング処理では、アレイ基板の電極端子部をエッチング液から保護するために適切なマスキング処理を別途行う必要があるため、生産効率を向上させることが困難になることがあった。 However, when a scribe break is employed, it is difficult to form a panel having a rounded outline. In laser ablation processing, problems such as slow processing speed and contamination due to ablation debris are likely to occur. Furthermore, in the etching process, it is necessary to separately perform an appropriate masking process in order to protect the electrode terminal portion of the array substrate from the etching solution, and thus it may be difficult to improve the production efficiency.
そこで、従来技術の中には、カラーフィルタ基板に対する耐エッチング剤の塗布の際に電極端子部も同時にマスキングされるように工夫したエッチング処理を採用するものがあった(例えば、特許文献1参照。)。このような構成を採用することにより、電極端子部の保護のために別途工程が必要になることがなく、また、電極端子部の保護が確実に行われる、とされていた。 Therefore, some conventional techniques employ an etching process that is devised so that the electrode terminal portion is also masked at the same time when the etchant is applied to the color filter substrate (see, for example, Patent Document 1). ). By adopting such a configuration, a separate process is not required for protecting the electrode terminal portion, and the electrode terminal portion is reliably protected.
しかしながら、上述の従来技術においては、電極端子部の保護のための工程を独立して行う必要はなくなっているが、依然としてエッチング処理においてガラス母材に対するマスキング処理を行う必要があり、エッチング処理後にはこれを剥離する必要があった。また、ガラス母材の厚み方向に直交する方向に進行するサイドエッチングの影響を考慮して、ガラス母材において各液晶パネル間にスペースを設ける必要があるため、多面取り効率が悪くなることがあった。 However, in the above-described prior art, it is no longer necessary to independently perform a process for protecting the electrode terminal portion, but it is still necessary to perform a masking process on the glass base material in the etching process, and after the etching process, This had to be peeled off. In addition, in consideration of the influence of side etching that proceeds in a direction perpendicular to the thickness direction of the glass base material, it is necessary to provide a space between the liquid crystal panels in the glass base material. It was.
本発明の目的は、エッチング処理に伴うマスキング処理を不要にし、サイドエッチングの影響を最小限に抑制することが可能な液晶パネル製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a liquid crystal panel manufacturing method that can eliminate the masking process associated with the etching process and can minimize the influence of side etching.
本発明に係る液晶パネル製造方法は、アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るものである。この液晶パネル製造方法は、改質ライン形成ステップ、溝形成ステップ、エッチングステップ、および切断ステップを少なくとも含む。 The method for producing a liquid crystal panel according to the present invention is to obtain a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-cavity processing for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate. The liquid crystal panel manufacturing method includes at least a modified line forming step, a groove forming step, an etching step, and a cutting step.
改質ライン形成ステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する。改質ラインを形成する手法の代表例としては、ピコ秒レーザまたはフェムト秒レーザによるフィラメント加工が挙げられる。改質ラインの幅は、概ね10μm以下に設定することが好ましい。 In the modified line forming step, the modified line is formed on the array substrate and the color filter substrate along the planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel, and is more easily etched than other portions. To form a reforming line. As a typical example of the method for forming the modified line, filament processing by a picosecond laser or a femtosecond laser can be cited. The width of the reforming line is preferably set to approximately 10 μm or less.
溝形成ステップでは、カラーフィルタ基板に対して、このカラーフィルタ基板におけるアレイ基板の電極端子部に対向する領域を取り除くための端子部切断予定線に沿って溝を形成する。溝を形成する手法の例としては、ホイールカッタによるスクライブ処理や、カラーフィルタ基板のみを切断するように焦点が設定されたレーザ加工処理が挙げられる。 In the groove forming step, a groove is formed in the color filter substrate along a terminal portion cutting planned line for removing a region of the color filter substrate facing the electrode terminal portion of the array substrate. Examples of the method for forming the groove include a scribing process using a wheel cutter and a laser processing process in which a focus is set so as to cut only the color filter substrate.
エッチングステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、形状切断予定線および端子部切断予定線において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行う。エッチング処理が進行するにつれて、形状切断予定線および端子部切断予定線において切断溝等が厚み方向に貫通してしまうことがあるため、3μm/分以下の遅いエッチングレートにて形状切断予定線および端子部切断予定線の状態を確認しつつエッチング処理を行うことが好ましい。 In the etching step, the array substrate and the color filter substrate are etched while being prevented from being cut at the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line. As the etching process proceeds, the cutting groove and the like may penetrate in the thickness direction in the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line, so the shape cutting planned line and the terminal at a slow etching rate of 3 μm / min or less. It is preferable to perform the etching process while confirming the state of the partial cutting planned line.
切断ステップでは、エッチング処理の後に、形状切断予定線および端子部切断予定線において切断を行う。エッチング処理後には、形状切断予定線および端子部切断予定線において実質的にほぼ切断された状態になっているため、わずかな機械的圧力や熱的応力を加えることによって完全な切断を実現することが可能である。微小な押圧力を加えたり、微小な超音波振動を与えたり、加熱をしたりすることによって、多面取り用ガラス母材を汚損することなく、完全な切断を実現することが可能である。 In the cutting step, after the etching process, cutting is performed at the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line. After the etching process, the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line are substantially cut, so that complete cutting can be realized by applying a slight mechanical pressure or thermal stress. Is possible. By applying a minute pressing force, applying a minute ultrasonic vibration, or heating, it is possible to realize complete cutting without fouling the glass substrate for multiple surfaces.
本発明においては、形状切断予定線および端子部切断予定線を予め切断し易くした上でエッチング処理を行うため、形状切断予定線および端子部切断予定線のみを選択的にエッチング処理するためのマスキング処理が不要になる。また、形状切断予定線および端子部切断予定線を予め切断し易くなっているため、厚み方向全体をエッチング処理する場合に比較してエッチング量が著しく少なくて済むため、サイドエッチングの影響を最小限に抑制することが可能になる。この結果、液晶パネルを近接配置した状態の多面取り用ガラス母材を用いることが可能となり面取り効率が向上する。 In the present invention, masking for selectively etching only the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line is performed in order to perform the etching process after making the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line easy to cut in advance. No processing is required. In addition, since the shape cutting planned line and the terminal section cutting planned line are easily cut in advance, the etching amount can be significantly reduced compared with the case where the entire thickness direction is etched, so that the influence of side etching is minimized. Can be suppressed. As a result, it is possible to use the glass substrate for multi-chamfering with the liquid crystal panels arranged close to each other, and the chamfering efficiency is improved.
上述の液晶パネル製造方法において、改質ラインが、パルスレーザのビームによって形成された複数の貫通孔または複数の改質孔を有するミシン目状を呈することが好ましい。液晶パネルの形状切断予定線をパルスレーザによって加工するため、液晶パネルの輪郭に複雑や曲線や微小な曲線部分が含まれていたり、液晶パネルに開口部を形成されていたりする場合であっても、適切な加工を実現することが可能になる。 In the liquid crystal panel manufacturing method described above, it is preferable that the modification line has a perforated shape having a plurality of through holes or a plurality of modified holes formed by a pulse laser beam. Because the planned cutting line of the liquid crystal panel is processed by a pulse laser, even if the contour of the liquid crystal panel contains complicated, curved or minute curved parts, or an opening is formed in the liquid crystal panel It becomes possible to realize appropriate processing.
また、本発明に係る液晶パネル製造方法は、アレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合せてなる液晶パネルを多面取りするための多面取り用ガラス母材から所定形状の液晶パネルを複数得るものである。この液晶パネル製造方法は、改質ライン形成ステップ、エッチングステップ、切断ステップおよび端子部形成ステップを少なくとも含む。 In addition, the liquid crystal panel manufacturing method according to the present invention is to obtain a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multi-surface processing for multi-surface processing of a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate. This liquid crystal panel manufacturing method includes at least a modified line forming step, an etching step, a cutting step, and a terminal portion forming step.
改質ライン形成ステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する。改質ラインを形成する手法の代表例としては、ピコ秒レーザまたはフェムト秒レーザによるフィラメント加工が挙げられる。改質ラインの幅は、概ね10μm以下に設定することが好ましい。 In the modified line forming step, the modified line is formed on the array substrate and the color filter substrate along the planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel, and is more easily etched than other portions. To form a reforming line. As a typical example of the method for forming the modified line, filament processing by a picosecond laser or a femtosecond laser can be cited. The width of the reforming line is preferably set to approximately 10 μm or less.
エッチングステップでは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板に対して、形状切断予定線において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行う。エッチング処理が進行するにつれて、形状切断予定線において切断溝等が厚み方向に貫通してしまうことがあるため、10μm/分以下の遅いエッチングレートにて形状切断予定線の状態を確認しつつエッチング処理を行うことが好ましい。 In the etching step, the array substrate and the color filter substrate are etched while being prevented from being cut along the shape cutting planned line. As the etching process progresses, the cutting groove and the like may penetrate the thickness cutting line in the thickness direction, so the etching process is performed while confirming the state of the shape cutting planned line at a slow etching rate of 10 μm / min or less. It is preferable to carry out.
切断ステップでは、エッチング処理の後に、形状切断予定線において切断を行う。エッチング処理後には、形状切断予定線において実質的にほぼ切断された状態になっている。さらに、板厚方向の中心部には改質領域が存在し、ガラス基板を切断し易くなっている。このため、わずかな機械的圧力や熱的応力を加えることによって完全な切断を実現することが可能である。例えば、微小な押圧力を加えたり、微小な超音波振動を与えたり、加熱をしたりすることによって、多面取り用ガラス母材を汚損することなく、完全な切断を実現することができる。 In the cutting step, after the etching process, cutting is performed at the shape cutting planned line. After the etching process, it is substantially cut along the shape cutting planned line. Further, a modified region exists at the center in the thickness direction, and the glass substrate is easily cut. For this reason, complete cutting can be realized by applying a slight mechanical pressure or thermal stress. For example, by applying a minute pressing force, applying a minute ultrasonic vibration, or heating, complete cutting can be realized without fouling the glass substrate for multiple surfaces.
端子部形成ステップでは、アレイ基板において電極端子部が形成された領域に対向するカラーフィルタ基板を除去するための端子部切断予定線に沿ってカラーフィルタ基板を取り除く。電極端子部は、液晶パネルをアレイ基板においてカラーフィルタ基板と対向する主面に形成されており、カラーフィルタ基板を除去することで電極端子部を露出させる。なお、端子部形成ステップは、少なくともエッチングステップの後であれば、任意のタイミングで行うことができる。例えば、切断ステップの前または後に行っても良いし、切断ステップと同時に行っても良い。 In the terminal portion forming step, the color filter substrate is removed along a terminal portion cutting planned line for removing the color filter substrate facing the region where the electrode terminal portions are formed on the array substrate. The electrode terminal portion is formed on the main surface of the array substrate facing the color filter substrate on the array substrate, and the electrode terminal portion is exposed by removing the color filter substrate. Note that the terminal portion forming step can be performed at an arbitrary timing as long as it is at least after the etching step. For example, it may be performed before or after the cutting step, or simultaneously with the cutting step.
本発明においては、形状切断予定線を予め切断し易くした上でエッチング処理を行うため、形状切断予定線のみを選択的にエッチング処理するためのマスキング処理が不要になる。また、形状切断予定線が予め切断し易くなっているため、厚み方向全体をエッチング処理する場合に比較してエッチング量が著しく少なくて済むことから、サイドエッチングの影響を最小限に抑制することが可能になる。この結果、液晶パネルを近接配置した状態の多面取り用ガラス母材を用いることが可能となり面取り効率が向上する。 In the present invention, since the etching process is performed after the shape cutting planned line is easily cut in advance, a masking process for selectively etching only the shape cutting planned line is unnecessary. In addition, since the shape cutting planned line is easily cut in advance, the etching amount can be remarkably reduced as compared with the case where the entire thickness direction is etched, thereby minimizing the influence of side etching. It becomes possible. As a result, it is possible to use the glass substrate for multi-chamfering with the liquid crystal panels arranged close together, and the chamfering efficiency is improved.
上述の液晶パネル製造方法において、改質ラインが、パルスレーザのビームによって形成された複数の貫通孔または複数の改質孔を有するミシン目状を呈することが好ましい。液晶パネルの形状切断予定線をパルスレーザによって加工するため、液晶パネルの輪郭に複雑や曲線部が含まれていたり、液晶パネルに開口部を形成されていたりする場合であっても、適切な加工を実現することが可能になる。 In the liquid crystal panel manufacturing method described above, it is preferable that the modification line has a perforated shape having a plurality of through holes or a plurality of modified holes formed by a pulse laser beam. Since the planned cutting line of the liquid crystal panel is processed with a pulse laser, even if the contour of the liquid crystal panel contains complex or curved parts, or the liquid crystal panel has openings, appropriate processing Can be realized.
また、端子部形成ステップは、溝形成ステップとブレイクステップを含むことが好ましい。溝形成ステップは、端子部切断予定線に沿ってカラーフィルタ基板に溝を形成する工程である。ブレイクステップは、切断ステップにおいて形状切断予定線とともに端子部切断予定線に沿って形成された溝に押圧力を加える工程である。端子部の加工を行う工程を液晶パネルの分断と同時に実施することによって、生産効率がさらに向上する。 Further, it is preferable that the terminal portion forming step includes a groove forming step and a breaking step. The groove forming step is a process of forming a groove in the color filter substrate along the terminal portion cutting planned line. The break step is a step of applying a pressing force to the groove formed along the terminal portion cutting planned line together with the shape cutting planned line in the cutting step. By performing the process of processing the terminal portion simultaneously with the division of the liquid crystal panel, the production efficiency is further improved.
この発明によれば、液晶パネルの製造において、エッチング処理に伴うマスキング処理を不要にし、サイドエッチングの影響を最小限に抑制することが可能になる。 According to the present invention, in the manufacture of the liquid crystal panel, the masking process accompanying the etching process is unnecessary, and the influence of side etching can be suppressed to the minimum.
図1(A)は、本発明の一実施形態に係る液晶パネル10の概略構成を示している。同図に示すように、液晶パネル10は、アレイ基板12およびカラーフィルタ基板14が液晶層を挟んで貼り合わされるように構成されている。アレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の構成は、公知の構成と同様の構成が採用可能であるため、ここでは説明を省略する。
FIG. 1A shows a schematic configuration of a
アレイ基板12は、カラーフィルタ基板14と貼り合わされる領域から延び出すように設けられた電極端子部122を有している。この電極端子部122には、複数の電気回路が接続され、液晶パネル10と、それらの電気回路とが筐体に収納されることによって、例えば、図1(B)に示すようなスマートフォン100が構成される。
The
続いて、液晶パネル10を製造する方法の一例について説明する。図2(A)および図2(B)に示すように、一般的に、液晶パネル10は、これを複数含んだ多面取り用ガラス母材50として製造され、多面取り用ガラス母材50を分断することによって、単個の液晶パネル10が得られる。この実施形態では、便宜上、6つの液晶パネル10が3行2列のマトリクス状に配置された多面取り用ガラス母材50に対する処理について説明するが、多面取り用ガラス母材50に含まれる液晶パネル10の数は適宜増減することが可能である。
Subsequently, an example of a method for manufacturing the
多面取り用ガラス母材50は、まず、図3(A)~図3(C)に示すように、液晶パネル10の形状(輪郭)に対応する形状切断予定線に沿って改質ライン20が形成される。この改質ライン20は、例えば、ピコ秒レーザ(波長515nm)またはフェムト秒レーザ(1030nm)等のパルスレーザから照射される光ビームパルス(ビーム径は1~5μm程度)によって形成される複数のフィラメント層を配列したフィラメントアレイである。ピコレーザからの光ビームは、少なくともアレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の両方の基板を含む範囲よりも深い焦点深度を備えている。このため、アレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の両方の基板において液晶パネル10を分断するための改質ライン20が同時に形成される。
As shown in FIGS. 3 (A) to 3 (C), first, the
原則として、アレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の両方の基板を同時に1つのレーザによって処理することが可能であるが、これによって液晶層に不具合が生じる場合には、アレイ基板12側からアレイ基板12のみに改質ライン20を形成し、カラーフィルタ基板14側からカラーフィルタ基板14のみに改質ライン20を形成するようにすることで、液晶層における不具合の発生を抑制し易くなる。
In principle, it is possible to process both the
この実施形態では、改質ライン20は、図3(C)に示すような、複数の貫通孔または改質層を有するミシン目状を呈している。改質ライン20は、多面取り用ガラス母材50における他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有している。もちろん、改質ライン20の形状は、図3(C)に示すような形状には限定されるものではなく、これ以外の形状を呈するものであっても良い。
In this embodiment, the reforming
続いて、多面取り用ガラス母材50に対して、図4(A)~図4(C)に示すように、カラーフィルタ基板14におけるアレイ基板12の電極端子部122に対向する領域を取り除くための端子部切断溝30を形成する処理が行われる。この実施形態では、スクライブホイール(ホイールカッタ)250によって、カラーフィルタ基板14におけるアレイ基板12の電極端子部122に対向する領域の内側に端子部切断溝30が形成される。端子部切断溝30は、カラーフィルタ基板14におけるアレイ基板12の電極端子部122に対向する領域を取り除くため端子部切断予定線に沿って形成される。
Subsequently, as shown in FIGS. 4A to 4C, a region facing the
スクライブホイール250による端子部切断溝30の形成が終わると、図5に示すように、多面取り用ガラス母材50は、エッチング装置300に導入され、フッ酸および塩酸等を含むエッチング液によってエッチング処理が施される。エッチング装置300では、搬送ローラによって多面取り用ガラス母材50を搬送しつつ、エッチングチャンバ内で多面取り用ガラス母材50の片面または両面にエッチング液を接触させることによって、多面取り用ガラス母材50に対するエッチング処理が行われる。なお、エッチング装置300におけるエッチングチャンバの後段には、多面取り用ガラス母材50に付着したエッチング液を洗い流すための洗浄チャンバが設けられているため、多面取り用ガラス母材50はエッチング液が取り除かれた状態でエッチング装置300から排出される。
When the formation of the terminal
多面取り用ガラス母材50にエッチング液を接触させる手法の一例として、図6(A)に示すように、エッチング装置300の各エッチングチャンバ302において、多面取り用ガラス母材50に対してエッチング液をスプレイするスプレイエッチングが挙げられる。また、スプレイエッチングに代えて、図6(B)に示すように、オーバーフロー型のエッチングチャンバ304において、オーバーフローしたエッチング液に接触しながら多面取り用ガラス母材50が搬送される構成を採用することも可能である。
As an example of a method of bringing the etching solution into contact with the multi-chamfer
さらには、図6(C)に示すように、エッチング液が収納されたエッチング槽306に、キャリアに収納された単数または複数の多面取り用ガラス母材50を浸漬されるディップ式のエッチングを採用することも可能である。
Furthermore, as shown in FIG. 6 (C), dip type etching is employed in which one or a plurality of multi-surface
いずれの場合であっても、エッチング処理中に、形状切断予定線および端子部切断予定溝が厚み方向に貫通して、多面取り用ガラス母材50が分断してしまわないようにすることが重要である。このため、エッチング処理中(特にエッチング処理の後半部分)においては、エッチングレートを遅くして、エッチング量を正確に制御する必要がある。この実施形態では、2重量%以下の薄いフッ酸によって、3μm/分以下の遅い速度にてエッチング処理が進行するようにしているが、この手法に限定されるものではない。
In any case, it is important that the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned groove penetrate in the thickness direction and the multi-chamfer
エッチング処理の全体においてエッチングレートを遅くするのではなく、当初は速めのエッチングレートを採用しつつ段階的に遅くしていくようにすれば、エッチング処理の時間を短縮することが可能である。例えば、エッチング装置300の後段に進むにつれてエッチング液におけるフッ酸濃度を低下させるような構成を採用すると良い。
If the etching rate is not slowed down in the whole etching process but is gradually increased while initially adopting a faster etching rate, it is possible to shorten the etching process time. For example, a configuration in which the hydrofluoric acid concentration in the etching solution is lowered as the process proceeds to the subsequent stage of the
多面取り用ガラス母材50がエッチング装置300を通過すると、改質ライン20および端子部切断溝30がエッチングされる。改質ライン20では、他の箇所よりも速くエッチング液が浸透し、このラインに沿ってガラスが溶解されることによって、改質ライン20によってカラーフィルタ基板を切断し易くなる。また、レーザ照射時においてキズ等が発生していた場合であっても、このキズが消失し易くなる。
When the multi-chamfer
多面取り用ガラス母材50において、レーザのフィラメント加工によって改質ライン20が形成され、この改質ラインをさらにエッチングすることにより、わずかな機械的圧力のみで、多面取り用ガラス母材50を改質ライン20において分割することができる。例えば、多面取り用ガラス母材50に微小な押圧力を加えたり、微小な超音波振動を与えたりすることによって、図7に示すように、多面取り用ガラス母材50を汚損することなく、分断することが可能である。
In the multi-chamfer
あえて、エッチング処理によって完全には切断してしまわないため、エッチング中に分離された液晶パネル10端面どうしが衝突して破損するといった不具合の発生が防止される。また、エッチング処理後の不完全に切断された状態の多面取り用ガラス母材50のまま(大判の状態のまま)、運搬することも可能になる。さらに、エッチング液が電極端子部に到達することがないため、耐エッチング性を備えたマスキング剤によって電極端子部を保護することが不要になる。また、液晶パネル10の端面における少なくとも中央部以外はエッチング処理が施されているため、レーザ加工のみで切断を行った場合に比較して液晶パネルの強度(例えば、曲げ強度)が高くなる。
Since the etching process does not completely cut it, it is possible to prevent the occurrence of a problem such that the end faces of the
図8(A)~図8(C)は、分断後の液晶パネル10の概略構成を示している。同図に示すように、液晶パネル10の端面は主面に対してほぼ直角になっている。例えば、それぞれが0.15mm~0.25mm程度の板厚のアレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の各端面に発生するテーパ幅(図8(C)におけるL1~L4)を、50μm以下(多くは20~35μm)に抑えることが可能である。
8A to 8C show a schematic configuration of the
このように、液晶パネル10を製造するにあたって、サイドエッチングの影響がほとんど発生しないため、液晶パネル10どうしを近接配置した多面取り用ガラス母材50の設計することができる。例えば、レーザ幅2μm+αで合計10μm程度の隙間があれば、多面取り用ガラス母材50を適正に単個の液晶パネル10に分離することが可能である。
As described above, when the
続いて、図9~図14を用いて、本発明の他の実施形態について説明する。この実施形態において、改質ライン20の形成までの工程は上述した内容と同様であるので説明を省略する。以下、改質ライン20の形成後について説明する。
Subsequently, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In this embodiment, the steps up to the formation of the reforming
改質ライン20の形成が終わると、図9に示すように、多面取り用ガラス母材50は、エッチング装置300に導入され、フッ酸および塩酸等を含むエッチング液によってエッチング処理が施される。エッチング装置300では、搬送ローラによって多面取り用ガラス母材50を搬送しつつ、エッチングチャンバ内で多面取り用ガラス母材50の片面または両面にエッチング液を接触させることによって、多面取り用ガラス母材50に対するエッチング処理が行われる。なお、エッチング装置300におけるエッチングチャンバの後段には、多面取り用ガラス母材50に付着したエッチング液を洗い流すための洗浄チャンバが設けられているため、多面取り用ガラス母材50はエッチング液が取り除かれた状態でエッチング装置300から排出される。
When the formation of the reforming
多面取り用ガラス母材50にエッチング液を接触させる手法の一例として、図10(A)に示すように、エッチング装置300の各エッチングチャンバ302において、多面取り用ガラス母材50に対してエッチング液をスプレイするスプレイエッチングが挙げられる。また、スプレイエッチングに代えて、図10(B)に示すように、オーバーフロー型のエッチングチャンバ304において、オーバーフローしたエッチング液に接触しながら多面取り用ガラス母材50が搬送される構成を採用することも可能である。
As an example of a method of bringing the etching solution into contact with the multi-chamfering
さらには、図10(C)に示すように、エッチング液が収納されたエッチング槽306に、キャリアに収納された単数または複数の多面取り用ガラス母材50を浸漬されるディップ式のエッチングを採用することも可能である。
Furthermore, as shown in FIG. 10 (C), dip type etching is employed in which one or a plurality of multi-surface
いずれの場合であっても、エッチング処理中に、形状切断予定線が厚み方向に貫通して、多面取り用ガラス母材50を分断してしまわないようにすることが重要である。このため、エッチング処理中(特にエッチング処理の後半部分)においては、エッチングレートを遅くして、エッチング量を正確に制御する必要がある。この実施形態では、2重量%以下の薄いフッ酸によって、10μm/分以下の遅い速度にてエッチング処理が進行するようにしているが、この手法に限定されるものではない。
In any case, it is important that the shape cutting planned line does not penetrate in the thickness direction during the etching process and the multi-chamfer
エッチング処理の全体においてエッチングレートを遅くするのではなく、当初は速めのエッチングレートを採用しつつ段階的に遅くしていくようにすれば、エッチング処理の時間を短縮することが可能である。例えば、エッチング装置300の後段に進むにつれてエッチング液におけるフッ酸濃度を1~10重量%程度の範囲内で低下させるような構成を採用すると良い。
If the etching rate is not slowed down in the whole etching process but is gradually increased while initially adopting a faster etching rate, it is possible to shorten the etching process time. For example, it is preferable to adopt a configuration in which the concentration of hydrofluoric acid in the etching solution is lowered within a range of about 1 to 10% by weight as the process proceeds to the subsequent stage of the
多面取り用ガラス母材50がエッチング装置300を通過すると、改質ライン20がエッチングされる。改質ライン20では、他の箇所よりも速くエッチング液が浸透し、このラインに沿ってガラスが溶解されることによって、切断予定溝26が形成される。また、レーザ照射時においてアレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の内部にキズ等が発生していた場合であっても、このキズが消失し易くなる。切断予定溝26は、通常のエッチングで形成される等方性の溝ではなく、幅方向に対して深さ方向のアスペクト比が大きくなる。このため、各液晶パネルが隣接するような多面取り用ガラス母材50であっても液晶パネル10に影響を与えることなく切断予定溝26を形成することができる。切断予定溝26は、アレイ基板12またはカラーフィルタ基板14において、板厚方向に完全に貫通してしまわないように形成される。この際、切断予定溝26の下部の板厚は、100μm以下であることが好ましい。板厚が100μmを超えると、切断ステップにおける分断が困難になることがある。
When the multi-chamfer
多面取り用ガラス母材50において、形状切断予定線は、切断予定溝26および切断予定溝26の下部に存在する改質領域(改質ライン20)によって強度が低下している。このため形状切断予定線に対してわずかな機械的圧力を加えるだけで、多面取り用ガラス母材50を改質ライン20において分割することができる。具体的には、多面取り用ガラス母材50に微小な押圧力を加えたり、微小な超音波振動を与えたりすることによって、分断することが可能である。本実施形態では、図12に示すような押圧器具60を用いて液晶パネル10の分断を行った。押圧器具60は、棒状を呈しており、その先端部に球状の回転治具62を有している。回転治具62は、押圧器具60の先端部において回転自在に支持されている。押圧器具60を切断予定溝26に押し当てた状態で、切断予定線に沿って移動させることで、回転治具62が回転するように構成される。押圧器具60により、切断予定溝26の下部にある改質領域に応力が加わると、亀裂が発生し、液晶パネル10を分断することができる。押圧器具60を用いることで、多面取り用ガラス母材50を汚損や、端面同士の接触を防止しつつ、液晶パネル10を分断することが可能である。
In the multi-chamfered
続いて、カラーフィルタ基板14におけるアレイ基板12の電極端子部122に対向する領域を取り除くための切断処理が行われる。この実施形態では、スクライブホイール(ホイールカッタ)250によって、カラーフィルタ基板14におけるアレイ基板12の電極端子部122に対向する領域の内側を端子部切断予定線に沿って切断する。スクライブホイール250によってカラーフィルタ基板14には、端子部切断予定線に沿って端子部切断溝30が形成される。さらに、この端子部切断溝30に対して、押圧器具60等によって押圧力を加えることで、端子部切断溝30において、カラーフィルタ基板14を取り除くことができる。
Subsequently, a cutting process for removing a region of the
この実施形態では、あえて、エッチング処理によって完全には多面取り用ガラス母材50を切断してしまわないため、エッチング中に分離された液晶パネル10端面どうしが衝突して破損するといった不具合の発生が防止される。また、エッチング処理後の不完全に切断された状態の多面取り用ガラス母材50のまま(大判の状態のまま)、運搬することも可能になる。さらに、エッチング液が電極端子部122に到達することがないため、耐エッチング性を備えたマスキング剤によって電極端子部を保護することが不要になる。また、液晶パネル10の端面における少なくとも中央部以外はエッチング処理が施されているため、レーザ加工のみで切断を行った場合に比較して液晶パネルの強度(例えば、曲げ強度)が高くなる。
In this embodiment, since the multi-chamfer
図13(A)~図13(C)は、分断後の液晶パネル10の概略構成を示している。同図に示すように、液晶パネル10の端面は主面に対してほぼ直角になっている。例えば、それぞれが0.15mm~0.25mm程度の板厚のアレイ基板12およびカラーフィルタ基板14の各端面に発生するテーパ幅(図13(C)におけるL1~L3)を、50μm以下(多くは20~35μm)に抑えることが可能である。
FIGS. 13A to 13C show a schematic configuration of the
このように、液晶パネル10を製造するにあたって、サイドエッチングの影響がほとんど発生しないため、液晶パネル10どうしを近接配置した多面取り用ガラス母材50の設計することができる。例えば、レーザ幅2μm+αで合計10μm程度の隙間があれば、多面取り用ガラス母材50を適正に単個の液晶パネル10に分離することが可能である。また、液晶パネルの形状は本実施形態のものには限定されず、例えば、切欠き部を有するもの等も対応することが可能である。
As described above, when the
また、上述の実施形態では、多面取り用ガラス母材50から液晶パネル10を分断した後に、電極端子部122と対向する領域におけるカラーフィルタ基板14の除去を行ったが、カラーフィルタ基板14の切断は、任意のタイミングで行うことが可能である。例えば、図14(A)および図14(B)に示すようにエッチング処理後の多面取り用ガラス母材50に対して、スクライブホイール250を用いて、端子部切断予定線に沿って端子切断溝30を形成する。そして、図14(C)に示すように、形状切断予定線に沿って液晶パネル10を分断する際に、形状切断予定線だけではなく端子切断溝30に対しても押圧力を加えることで、液晶パネル10の分断と電極端子部の加工を同時に行うことができる。また、端子切断溝30を一旦形成すれば、液晶パネル10の分断と同時でなくても、例えば後工程の任意のタイミングでカラーフィルタ基板14を除去することができる。
Further, in the above-described embodiment, after the
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The description of the above-described embodiment is an example in all respects, and should be considered as not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.
10-液晶パネル
12-アレイ基板
14-カラーフィルタ基板
20-改質ライン
30-端子部切断溝
50-多面取り用ガラス母材
100-スマートフォン
122-電極端子部
250-スクライブホイール
300-エッチング装置
302,304-エッチングチャンバ
306-エッチング槽
10-Liquid crystal panel 12-Array substrate 14-Color filter substrate 20-Modification line 30-Terminal cutting groove 50-Multi-chamfer glass substrate 100-Smartphone 122-Electrode terminal 250-Scribe wheel 300-
Claims (5)
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する改質ライン形成ステップと、
前記カラーフィルタ基板に対して、このカラーフィルタ基板におけるアレイ基板の電極端子部に対向する領域を取り除くための端子部切断予定線に沿って溝を形成する溝形成ステップと、
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板に対して、前記形状切断予定線および前記端子部切断予定線において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行うエッチングステップと、
エッチング処理の後に、前記形状切断予定線および前記端子部切断予定線において切断を行う切断ステップと、
を少なくとも含む液晶パネル製造方法。 A method for producing a liquid crystal panel for obtaining a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multiple chamfering for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by laminating an array substrate and a color filter substrate,
A modified line that is formed along a planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel with respect to the array substrate and the color filter substrate, and has a property that is more easily etched than other portions. A reforming line forming step for forming
A groove forming step for forming a groove along a terminal portion cutting planned line for removing a region facing the electrode terminal portion of the array substrate in the color filter substrate with respect to the color filter substrate;
An etching step for performing an etching process while preventing the array substrate and the color filter substrate from being cut at the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line,
After the etching process, a cutting step for cutting at the shape cutting planned line and the terminal portion cutting planned line;
A liquid crystal panel manufacturing method comprising at least
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板に対して、液晶パネルの形状に対応する形状切断予定線に沿って形成される改質ラインであって、他の箇所よりもエッチングされ易い性質を有する改質ラインを形成する改質ライン形成ステップと、
前記アレイ基板および前記カラーフィルタ基板に対して、前記形状切断予定線において切断されないようにしつつ、エッチング処理を行うエッチングステップと、
エッチング処理の後に、前記形状切断予定線において切断を行う切断ステップと、
前記アレイ基板において電極端子部が形成された領域に対向するカラーフィルタ基板を除去するための端子部切断予定線に沿って前記カラーフィルタ基板を切断する端子部形成ステップと、
を少なくとも含む液晶パネル製造方法。 A method for producing a liquid crystal panel for obtaining a plurality of liquid crystal panels having a predetermined shape from a glass substrate for multiple chamfering for multi-planarizing a liquid crystal panel formed by laminating an array substrate and a color filter substrate,
A modified line that is formed along a planned cutting line corresponding to the shape of the liquid crystal panel with respect to the array substrate and the color filter substrate, and has a property that is more easily etched than other portions. A reforming line forming step for forming
An etching step for performing an etching process while preventing the array substrate and the color filter substrate from being cut at the shape cutting planned line,
After the etching process, a cutting step for cutting at the shape cutting planned line,
A terminal portion forming step of cutting the color filter substrate along a terminal portion cutting planned line for removing the color filter substrate facing the region where the electrode terminal portion is formed in the array substrate;
A liquid crystal panel manufacturing method comprising at least
前記切断ステップにおいて前記形状切断予定線とともに前記端子部切断予定線に沿って形成された溝に押圧力を加えるブレイクステップと、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の液晶パネル製造方法。 The terminal part forming step includes a groove forming step of forming a groove along the terminal part cutting planned line;
A breaking step of applying a pressing force to the groove formed along the terminal portion cutting planned line together with the shape cutting planned line in the cutting step;
The method for producing a liquid crystal panel according to claim 1, comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201880019033.7A CN110418996A (en) | 2017-01-20 | 2018-01-18 | Liquid crystal panel manufacturing method |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017-008725 | 2017-01-20 | ||
| JP2017008725A JP6519044B2 (en) | 2017-01-20 | 2017-01-20 | Liquid crystal panel manufacturing method |
| JP2017232348A JP6534105B2 (en) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | Liquid crystal panel manufacturing method |
| JP2017-232348 | 2017-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2018135565A1 true WO2018135565A1 (en) | 2018-07-26 |
Family
ID=62909146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/001345 Ceased WO2018135565A1 (en) | 2017-01-20 | 2018-01-18 | Method for manufacturing liquid crystal panel |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110418996A (en) |
| WO (1) | WO2018135565A1 (en) |
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- 2018-01-18 CN CN201880019033.7A patent/CN110418996A/en active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110418996A (en) | 2019-11-05 |
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