WO2012017515A1

WO2012017515A1 - マイクロ流路デバイス

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Publication number: WO2012017515A1
Application number: PCT/JP2010/063053
Authority: WO
Inventors: 忠雄岩城
Original assignee: Miraial Co Ltd
Current assignee: Miraial Co Ltd
Priority date: 2010-08-03
Filing date: 2010-08-03
Publication date: 2012-02-09
Anticipated expiration: 2013-02-03

Abstract

　途中に屈曲部を有し全長にわたって連続したガラス管（２）がプラスチック製の本体基材（１）内に埋設されて、ガラス管（２）の両端面が本体基材（１）の表面と同面位置になるように配置され、そのガラス管（２）の内部空間により流路（３）が形成されて、ガラス管（２）の一端が流体の注入口（４）、他端が吐出口（５）とされている。それによって、耐薬品性の優れたガラス材による屈曲した流路（３）を、容易な加工で（したがって低コストで）耐久性のあるプラスチック製の本体基材（１）内に形成することができる。

Description

マイクロ流路デバイス

　この発明は、流体を通過させるための微細な流路が形成されたマイクロ流路デバイスに関する。マイクロ流路デバイスは、例えば複数の機器間において微細な流路を接続するため、或いは微細な流路内で種々の計測や化学反応を行うため等に用いられる。

　液体クロマトグラフィー等のように流体を計測対象とする計測装置において、流体や薬液等を流すために用いられる流路デバイスは、機械的強度、化学的安定性及び内径寸法精度に優れている必要がある。そこで流路デバイスは一般に、フッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、又は液晶ポリマー樹脂等のようなプラスチック材で形成されている（例えば、特許文献１）。

　一方、微細な流路内で種々の生化学反応や生体処理等が行われるマイクロ流路チップ（又はμ－ＴＡＳチップ）等は、生体適合性が良くて化学的安定性が高く、耐熱性に優れたガラス材で形成されている。この場合、ガラス本体基材上に機械加工やフォトリソグラフィー加工技術を用いて種々のマイクロ流路が加工され、最後に開口面に平坦なガラス本体基材が熱融着等で接合される。

　ただし、そのようなガラス本体基材からなるマイクロ流路デバイスは加工が難しくて著しく高価なものになるので、ＰＤＭＳ（Ｐｏｌｙ－Ｄｉ－Ｍｅｔｈｙｌ－Ｓｉｌｏｘａｎｅ）等のようなプラスチック材で作られる場合もある（例えば、特許文献２）。

　さらに、プラスチック製の本体基材に形成した溝の一部にキャピラリーを嵌め込んで溝の表面をカバーで塞ぎ、溝とキャピラリーとで流路を形成したマイクロ流路デバイスもある（例えば、特許文献３）。

特開２００７－０６４７２５特開２００４－２１９３６４特開２００５－１４０６８１

　流路がプラスチックで形成されたマイクロ流路デバイスは、どのようなプラスチック材を用いてもガラスに比べると耐薬品性が劣ることが避けられない。したがって、耐薬品性等が重要視されるマイクロ流路デバイスはガラス製であることが望ましい。

　しかし、ガラスは耐薬品性に優れているものの加工し難くてコスト高になり、また取り扱いに際して破損し易い欠点がある。特に、マイクロ流路デバイスとして広く用いるためには曲がった流路を形成する必要が生じるが、そのような流路をガラス加工で形成しようとすると、加工の困難性や破損し易さ等がより顕著になってしまう。

　本発明の目的は、耐薬品性の優れたガラス材による屈曲した流路を、容易な加工で（したがって低コストで）耐久性のあるプラスチック製の本体基材内に形成することができるマイクロ流路デバイスを提供することにある。

　上記の目的を達成するため、本発明のマイクロ流路デバイスは、流体が通される流路がプラスチック製の本体基材内に設けられたマイクロ流路デバイスであって、途中に屈曲部を有し全長にわたって連続したガラス管がプラスチック製の本体基材内に埋設されて、ガラス管の両端面が本体基材の表面と同面位置になるように配置され、ガラス管の内部空間により流路が形成されて、ガラス管の一端が流体の注入口、他端が吐出口とされ、吐出口が、本体基材における注入口が配置されている位置の真裏以外の位置に配置されているものである。

　なお、ガラス管の外周面の全周に本体基材が接触する状態に、ガラス管が本体基材内に埋設されていてもよく、その場合、ガラス管の全長にわたってその外周面の全周に本体基材が接触する状態に、ガラス管が本体基材内に埋設されていてもよい。

　そしてガラス管が、その両端面以外の部分が露出しない状態に本体基材に埋設されていてもよく、ガラス管の両端が本体基材の同一面に配置されていてもよい。また、ガラス管が本体基材内に複数埋設されていてもよい。

　また、本体基材の表面の一部が、外部装置を接続するための接続端子として突出又は陥没形成されて、その接続端子内の領域にガラス管の少なくとも一端が配置されていてもよく、その接続端子が、本体基材と一体成形されて形成されていてもよい。或いは、接続端子が、本体基材を切削して形成されていてもよい。

　また、本体基材が回転対称形状に形成されて、ガラス管が本体基材内に放射状に複数配置されていてもよく、本体基材に環状溝が水平に形成されていて、放射状に配置された複数のガラス管の注入口が環状溝に開口していてもよい。

　また、本体基材に、外部装置と連結される際に位置決めとなる突起及び窪みの一方又は双方が形成されていてもよく、ガラス管が途中で少なくとも９０°屈曲した形状に形成されていてもよい。

　或いは、本発明において、ガラス管の途中の一部分が、本体基材内に埋設されずに露出していてもよい。また、本体基材が、硬化剤として酸無水物が用いられた熱硬化性のエポキシ樹脂で形成されていてもよい。

　本発明によれば、途中に屈曲部を有し全長にわたって連続したガラス管がプラスチック製の本体基材内に埋設されて、ガラス管の両端面が本体基材の表面と同面位置になるように配置され、そのガラス管の内部空間により流路が形成されて、ガラス管の一端が流体の注入口、他端が吐出口とされていることにより、耐薬品性の優れたガラス材による屈曲した流路を、容易な加工で（したがって低コストで）耐久性のあるプラスチック製の本体基材内に形成することができる。

本発明の第１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図である。本発明の第１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。本発明の第１の実施例に係るガラス管の断面形状の変形例を各種示す断面図である。本発明の第１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの注入口付近の部分拡大側面断面図である。本発明の第２の実施例に係るマイクロ流路デバイスの平面図である。本発明の第３の実施例に係るマイクロ流路デバイスの平面図である。本発明の第４の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図である。本発明の第５の実施例に係るマイクロ流路デバイスの平面図である。本発明の第６の実施例に係るマイクロ流路デバイスの接続端子部分の部分拡大側面断面図である。本発明の第７の実施例に係るマイクロ流路デバイスの接続端子部分の部分拡大側面断面図である。本発明の第８の実施例に係るマイクロ流路デバイスの接続端子部分の部分拡大側面断面図である。本発明の第９の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。本発明の第１０の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。本発明の第１１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図である。本発明の第１２の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。

　以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
　図１と図２は、本発明の第１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図と外観斜視図である。

　１は、液体又は気体等の流体が通される流路が内部に設けられたプラスチック製の本体基材である。本体基材１内にはガラス管２が埋設されていて、そのガラス管２の内部空間が流路３になっている。

　ガラス管２は、全長にわたって連続したものであり、その両端面が本体基材１の表面と各々同面になるように配置されて、ガラス管２の一端が流体の注入口４、他端が吐出口５になっている。このようにして、流路３はガラス管２のみによって形成されている。したがって、流路３を通過する流体がプラスチック製の本体基材１に触れることがなく、優れた耐薬品性を得ることができる。

　また、注入口４と吐出口５が本体基材１の表面から凹んでいるとゴミ等が詰まり易くなる場合があるが、そのような問題が生じない。そして、流路３の両端面が本体基材１の表面より出っ張っていないことにより、ガラス管２の端部である注入口４と吐出口５に衝撃等による欠けが発生し難くて、優れた耐久性が得られる。

　ガラス管２は、真っ直ぐなものではなく、途中に滑らかにカーブした屈曲部が形成されている。ガラスを機械加工するのは困難な作業を伴ってコスト高になるが、ガラス管２を屈曲形成するのは極めて簡単で低コストで行うことができる。したがって、本発明においては、用途に応じた適切な形状の流路を容易に形成することができる。

　そのようなガラス管２は、注入口４と吐出口５を形成する両端面以外の部分が本体基材１外に露出しないように、全長にわたってその外周面の全周に本体基材１が接触する状態に本体基材１内に埋設されている。したがって、屈曲した形状のガラス管２であっても、本体基材１が外から衝撃等を受けた時に破損し難い。

　この実施例のガラス管２は、注入口４と吐出口５とが共に本体基材１の上面１ａ（即ち、通常の使用状態での重力方向における上面）に開口する状態に形成、配置されている。したがって、注入口４及び吐出口５と外部装置との接続が容易である。

　図１に示されるように、ガラス管２は両端である注入口４と吐出口５の各近傍位置において各々滑らかなカーブで略直角に曲げられていて、その間の領域では本体基材１の上面１ａと平行な向きに真っ直ぐに形成されている。このようにガラス管２の屈曲部が滑らかなカーブで形成されていることにより、製造時に屈曲部が折れ難いだけでなく、使用時に流路３を通過する流体が屈曲部で滞留せず、また流路抵抗が増大しない。

　ガラス管２の内径（即ち、流路３の直径）は少なくとも１５μｍ以上である。ガラス管２の内径を１５μｍ未満にすると、ガラス管２を製造する際に流路３が塞がって形成されることが多くなる等、ガラス管２の製造が著しく困難なものになる。

　ガラス管２の外径は、耐久性等を考慮して流路３の直径に応じた寸法をとる。例えば、直径１５μｍの流路を有するガラス管２の外径は５０μｍ以上、できれば１００μｍ程度あるのが望ましい。また、直径約１００μｍの流路を有するガラス管２の外径は３００μｍ以上、できれば５００μｍ程度あるのが望ましい。

　なお、本実施例のガラス管２は、図３（Ａ）に図示されるように正円形の断面形状であるが、図３（Ｂ）～（Ｄ）に図示されるように、正方形、楕円形、長方形或いはその他の形状であっても差し支えない。

　ただし、流路３の断面形状は、ガラス管２の外形形状に対し相似形であって偏肉等がないことが望ましい。そのようにすることにより、製造が容易であるだけでなく、内部応力や内部歪み等でガラス管２が破損する可能性が低減されて、優れた耐久性を得ることができる。

　そのようなガラス管２を形成するガラス材料としては、ソーダガラスやホウケイ酸ガラス又はバリウムホウケイ酸ガラス等のように一般に使用される低コストなガラス材料を用いることができる。また、石英ガラスや低アルカリガラス又は無アルカリガラス等のような特殊なガラスを用いて、使用目的に対応した特性を得ることもできる。

　図１に戻って、ガラス管２が埋設されている本体基材１は、熱硬化性プラスチック材又は熱可塑性プラスチック材により形成することができる。熱硬化性プラスチック材としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナイト等を用いることができる。

　また、熱可塑性プラスチック材としては、フッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、液晶高分子樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を用いることができる。

　ただし、本体基材１として熱可塑性のプラスチック材を用いる場合には、ガラス管２の直径が少なくとも２ｍｍ程度ないとガラス管２が折れてしまうので、本体基材１の成形が難しい。したがって、マイクロ流路デバイスの流路３を形成するガラス管２の材料としては、熱硬化性のプラスチック材を用いるのが好ましい。

　熱硬化性のプラスチック材の中でも、製造の際に硬化時の収縮が小さくて、使用時に耐久性が優れたエポキシ樹脂が本体基材１の材料として適している。特に、硬化剤として酸無水物が用いられたエポキシ樹脂が、硬化時の収縮が小さい点で最適である。

　そのような本発明の第１の実施例に係るマイクロ流路デバイスは、例えば注型法等で容易に製造することができる。具体的には、本体基材１の外形形状をかたどった金型にガラス管２をセットして、その金型に硬化前のエポキシ樹脂を流し込み、加熱又は常温下で放置した後、金型から本体基材１及びそれと一体化されたガラス管２を取り外すことで、本発明のマイクロ流路デバイスが得られる。ただし、射出成形、鋳造又はその他の製法でマイクロ流路デバイスを製造してもよい。

　使用時に、マイクロ流路デバイスの注入口４に外部の装置から流体を注入するには、注入流体が外部に漏れずに安全かつ効率的に注入するための注入ノズルが必要となる。図４は、そのような注入ノズル３０が注入口４に接続された状態の一例を示している。

　注入ノズル３０は、流体が通過する流体通過路３２がノズル本体３１内に垂直に貫通形成され、シールのためのＯリング３３が流体通過路３２の出口開口である流体供給口３２ａを囲んで、ノズル本体３１の下端面に装着されている。

　図４に示されるように、流体供給口３２ａが注入口４に対向する状態で、Ｏリング３３が本体基材１の上面１ａに押し付けられる。その状態では、ノズル本体３１と本体基材１の上面１ａとの間に隙間があり、ガラス管２が破損するおそれがない。ただし、ノズル本体３１でＯリング３３を押し潰して、流体供給口３２ａが注入口４に密接するようにしてもよい。

　そして、流体通過路３２内を通った流体を流体供給口３２ａ外に送り出せば、流体供給口３２ａと注入口４との接続部は周囲がＯリング３３によりシールされているので、流体を注入ノズル３０の流体通過路３２からマイクロ流路デバイスの流路３に漏れなく送り込むことができる。なお、吐出口５と外部装置との接続部も同様に構成することができる。

　図５と図６は、本発明の第２及び第３の実施例に係るマイクロ流路デバイスの平面図である。図５に示される実施例では、第１の実施例と同様のガラス管２が一つの本体基材１内に三つ並列に埋設されている。このように構成することで、互いに独立した複数の流路３を一つの本体基材１に配置することができる。

　一方、図６に示される実施例では、二つのガラス管２が途中で交差する状態に埋設されていて、注入口４の位置と吐出口５の位置が二つのガラス管２の間で入れ替わっている。このように構成することで、流路３の配管についての自由性が高まる。

　図７は、本発明の第４の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図であり、吐出口５が第１の実施例と同様に本体基材１の上面１ａに配置されているが、注入口４は本体基材１の側端面１ｂに配置されている。このように、ガラス管２の曲げ形状を変えることにより、注入口４と吐出口５の開口方向についての自由性が得られる。

　なお、ガラス管２が全長にわたって真っ直ぐに形成されて、吐出口５が、本体基材１における注入口４の真裏の位置に配置されているようなものは、マイクロ流路デバイスとしての用途が乏しいので、本発明の対象から除かれる。

　図８は、本発明の第５の実施例に係るマイクロ流路デバイスの平面図であり、蛇行した形状に形成されたガラス管２が本体基材１内に埋設されているものである。このように構成することにより、本体基材１を大型にすることなく流路３の長さ（即ち、注入口４から吐出口５までの距離）を長く形成して、マイクロ流路デバイスとして目的に対応した機能を発揮させることができる場合がある。

　図９は、本発明の第６の実施例に係るマイクロ流路デバイスの部分拡大側面断面図である。この実施例では、本体基材１の上面１ａにおいて、注入口４を囲む領域がその周囲より突出形成されていて、その突出部分が注入ノズル３０を接続するための接続端子６になっている。なお、図４についての説明と重複する部分については、図４と同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。

　接続端子６は、本体基材１を形成する材料自体で本体基材１と一体に形成されている。したがって、接続端子６の製作にコストがかからない。ただし、本体基材１の端部を切削して接続端子６を形成しても差し支えない。

　接続端子６の上端面の中央位置に注入口４が位置している。そして、接続部をシールするためのＯリング６１が、注入口４を囲むように接続端子６の上端面に形成されたＯリング装着溝６２に装着されている。

　接続端子６に対向するノズル本体３１側の面は、接続端子６に緩く被さる傘状のガイド孔３４になっている。したがって、ノズル本体３１を接続端子６に接近するように降下させていくと、ガイド孔３４が接続端子６の外縁に沿うように移動し、流体通過路３２の流体供給口３２ａが注入口４の位置と合致するように自動的にアライメントされる。

　ノズル本体３１をさらに降下させると、Ｏリング６１が押し潰されて変形し、流体通過路３２の流体供給口３２ａと注入口４とが接続されてその周囲がＯリング６１でシールされた状態になる。なお、同様の接続端子６を吐出口５側に形成してもよい。

　図１０は、本発明の第７の実施例に係るマイクロ流路デバイスの部分拡大側面断面図である。この実施例では、本体基材１の上面１ａにおいて、注入口４を囲む領域が先細りのテーパ孔状にその周囲の領域より陥没形成されていて、その部分が接続端子６′になっている。

　そして、ノズル本体３１の先端部分が接続端子６′内に緩く嵌まり込むテーパ状に形成されていて、そのテーパ面にＯリング３３が配置され、図９に示される第６の実施例と同様に、流体通過路３２の流体供給口３２ａを注入口４の位置と合致するように自動的にアライメントさせることができる。

　図１１は、本発明の第８の実施例に係るマイクロ流路デバイスの部分拡大側面断面図である。この実施例では、チューブ４０を接続するのに適した接続端子６が、本体基材１から一体に突出形成されている。

　４１は、接続端子６に接続されたチューブ４０の端部を押圧固定するための円環状の止めスリーブである。接続端子６の外周部と止めスリーブ４１の内周部とには各々円周上に突起６４，４２が形成されていて、止めスリーブ４１で端部が押さえられたチューブ４０が接続端子６から抜け出さないようにする抜け止め機能を発揮している。

　図１２は、本発明の第９の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。この実施例では、本体基材１の上面１ａから突出形成された注入口４側の接続端子１０６が、突出領域において滑らかに９０°曲がった形状に形成されている。このように、接続端子１０６を曲げて形成することにより、マイクロ流路デバイスの使用環境等に適切に対応させることができる場合がある。

　図１３は、本発明の第１０の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。この実施例では、本体基材１の側面に一対の固定部（第一固定部１７Ａと第二固定部１７Ｂ）が設けられており、各固定部１７Ａ，１７Ｂには固定穴（第一固定穴１８Ａと第二固定穴１８Ｂ）が開口形成されている。また、本体基材１の裏面側には位置決めピン１９が形成されている。６は前出の接続端子である。

　この実施例のマイクロ流路デバイスにおいては、図示されていない固定台の位置決め穴に位置決めピン１９を差し込み、図示されていない固定ネジを第一固定穴１８Ａと第二固定穴１８Ｂとに差し込んで、固定台のネジ穴に締め付けることにより、マイクロ流路デバイスを固定台の所定位置に固定することができる。

　図１４は、本発明の第１１の実施例に係るマイクロ流路デバイスの側面断面図である。この実施例では、本体基材１が軸線Ｘを中心とする回転対称形の帽子（ハット）状に形成されて、複数（例えば８個）のガラス管２が、注入口４が本体基材１の上面１ａ側の中心側、吐出口５が本体基材１の裏面側の外縁側に位置するように放射状に配置されている。

　吐出口５部分には個々に吐出口接続端子６Ｂが突出形成されている。また、全ての注入口４が一つの接続端子６の上端面に水平に形成された環状溝６５の底部に開口しており、全ての流路３が注入口４を介して一つの環状溝６５と連通している。

　６１は、前出と同様に接続端子６の外周近くに装着されたシール用のＯリングである。また、必ずしも必要ではないが、環状溝６５より内周側にもシール用のＯリング６６が配置されている。

　外周側のＯリング６１と内周側のＯリング６６とをこのように配置することによって、注入ノズル３０を接続端子６に押し付けるだけで、環状溝６５を介して注入ノズル３０の流体通過路３２と全てのガラス管２の流路３とを接続することができる。その結果、流体が全ての流路３に等しい圧力で供給されて、各吐出口５から流体を均一に吐出させることができる。

　図１５は、本発明の第１２の実施例に係るマイクロ流路デバイスの外観斜視図である。この実施例では、ガラス管２の一部が本体基材１から露出して配置されている。１０は、本体基材１に形成された窓孔であり、ガラス管２がその窓孔１０内を通過している。

　このように構成することにより、本体基材１として不透明なプラスチック材が用いられている場合でも、流体の流れの様子を直接観察することができたり、レーザ光等をガラス管２の露出部に照射することによって流体を局所的に加熱して反応させたりすることができる。

　１　本体基材
　１ａ　上面
　２　ガラス管
　３　流路
　４　注入口
　５　吐出口
　６，６′，６Ｂ，１０６　接続端子
　３０　注入ノズル
　６５　環状溝

Claims

　流体が通される流路がプラスチック製の本体基材内に設けられたマイクロ流路デバイスであって、
　途中に屈曲部を有し全長にわたって連続したガラス管が上記プラスチック製の本体基材内に埋設されて、
　上記ガラス管の両端面が上記本体基材の表面と同面位置になるように配置され、
　上記ガラス管の内部空間により上記流路が形成されて、上記ガラス管の一端が上記流体の注入口、他端が吐出口とされ、
　上記吐出口が、上記本体基材における上記注入口が配置されている位置の真裏以外の位置に配置されていることを特徴とするマイクロ流路デバイス。
　請求項１のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管の外周面の全周に上記本体基材が接触する状態に、上記ガラス管が上記本体基材内に埋設されているマイクロ流路デバイス。
　請求項２のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管の全長にわたってその外周面の全周に上記本体基材が接触する状態に、上記ガラス管が上記本体基材内に埋設されているマイクロ流路デバイス。
　請求項３のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管が、その両端面以外の部分が露出しない状態に上記本体基材に埋設されているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管の両端が上記本体基材の同一面に配置されているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管が上記本体基材内に複数埋設されているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記本体基材の表面の一部が、外部装置を接続するための接続端子として突出又は陥没形成されて、その接続端子内の領域に上記ガラス管の少なくとも一端が配置されているマイクロ流路デバイス。
　請求項７のマイクロ流路デバイスにおいて、上記接続端子が、上記本体基材と一体成形されて形成されているマイクロ流路デバイス。
　請求項７のマイクロ流路デバイスにおいて、上記接続端子が、上記本体基材を切削して形成されているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記本体基材が回転対称形状に形成されて、上記ガラス管が上記本体基材内に放射状に複数配置されているマイクロ流路デバイス。
　請求項１０のマイクロ流路デバイスにおいて、上記本体基材に環状溝が水平に形成されていて、放射状に配置された上記複数のガラス管の全ての注入口が上記環状溝に開口しているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記本体基材に、外部装置と連結される際に位置決めとなる突起及び窪みの一方又は双方が形成されているマイクロ流路デバイス。
　請求項４のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管が途中で少なくとも９０°屈曲した形状に形成されているマイクロ流路デバイス。
　請求項１のマイクロ流路デバイスにおいて、上記ガラス管の途中の一部分が、上記本体基材内に埋設されずに露出しているマイクロ流路デバイス。
　請求項１のマイクロ流路デバイスにおいて、上記本体基材が、硬化剤として酸無水物が用いられた熱硬化性のエポキシ樹脂で形成されているマイクロ流路デバイス。