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WO2008152895A1 - 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム - Google Patents

位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム Download PDF

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WO2008152895A1
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Abstract

　複数のアーム部を互いに旋回可能に直列に接続すると共に、最先端のアーム部に被処理体を保持させて被処理体を搬送するようにした搬送機構に設けた被処理体の位置ずれ検出装置において、複数のアーム部の内の最先端のアーム部以外のアーム部に設けられて、少なくとも最先端のアーム部に保持された被処理体のエッジを検出するためのエッジ検出手段と、該エッジ検出手段の検出値に基づいて被処理体の位置ずれを求める位置ずれ検出部とを備えるように構成する。
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