JP2003179119A - 基板搬送用ロボット - Google Patents
基板搬送用ロボットInfo
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- JP2003179119A JP2003179119A JP2002239628A JP2002239628A JP2003179119A JP 2003179119 A JP2003179119 A JP 2003179119A JP 2002239628 A JP2002239628 A JP 2002239628A JP 2002239628 A JP2002239628 A JP 2002239628A JP 2003179119 A JP2003179119 A JP 2003179119A
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- substrate transfer
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 複数のフォークを有していても、アームを縮
めた状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最
小にすることができる基板搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】 固定ベース２と、固定ベース２に旋回可
能に連結された第１アーム３と、第１アーム３に旋回可
能に連結された第２アーム４と、第２アーム４に旋回可
能に連結されたフォークとを有し、フォークを、それぞ
れ独立した第１フォーク５および第２フォーク６からな
る複数のフォークで構成し、第１フォーク５および第２
フォーク６を、第２アーム４の先端部に、上下２段に同
軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けるとと
もに、第１フォーク駆動用モータおよび第２フォーク駆
動用モータを第２アーム４の内部に設けて構成する。
めた状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最
小にすることができる基板搬送用ロボットを提供する。 【解決手段】 固定ベース２と、固定ベース２に旋回可
能に連結された第１アーム３と、第１アーム３に旋回可
能に連結された第２アーム４と、第２アーム４に旋回可
能に連結されたフォークとを有し、フォークを、それぞ
れ独立した第１フォーク５および第２フォーク６からな
る複数のフォークで構成し、第１フォーク５および第２
フォーク６を、第２アーム４の先端部に、上下２段に同
軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けるとと
もに、第１フォーク駆動用モータおよび第２フォーク駆
動用モータを第２アーム４の内部に設けて構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
で用いられる基板搬送用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７（ａ）に示すように、半導体ウェハ
や液晶ガラス基板など薄板状の基板を搬送する従来の一
般的な基板搬送用ロボット１Ａは、固定ベース２Ａと、
前記固定ベース２Ａに旋回可能に連結された第１アーム
３Ａと、前記第１アーム３Ａに旋回可能に連結された第
２アーム４Ａと、前記第２アーム４Ａに旋回可能に連結
された基板載置用のフォーク５Ａとから構成されてい
た。このような基板搬送用ロボットを、同時に２つの基
板を載置することができるようにする場合は、図７
（ｂ）に示すように、中央部が旋回可能に支持されると
ともに、一方端に処理済の基板を載置する処理済基板載
置部５Ａａを形成し、他方端に未処理の基板を載置する
未処理基板載置部５Ａｂを形成したフォーク５Ａを、前
記第２アーム４Ａの先端部に旋回可能に連結するように
していた（例えば特開平７−１４２５５１号公報）。
や液晶ガラス基板など薄板状の基板を搬送する従来の一
般的な基板搬送用ロボット１Ａは、固定ベース２Ａと、
前記固定ベース２Ａに旋回可能に連結された第１アーム
３Ａと、前記第１アーム３Ａに旋回可能に連結された第
２アーム４Ａと、前記第２アーム４Ａに旋回可能に連結
された基板載置用のフォーク５Ａとから構成されてい
た。このような基板搬送用ロボットを、同時に２つの基
板を載置することができるようにする場合は、図７
（ｂ）に示すように、中央部が旋回可能に支持されると
ともに、一方端に処理済の基板を載置する処理済基板載
置部５Ａａを形成し、他方端に未処理の基板を載置する
未処理基板載置部５Ａｂを形成したフォーク５Ａを、前
記第２アーム４Ａの先端部に旋回可能に連結するように
していた（例えば特開平７−１４２５５１号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな２つの基板を同時に保持することができる従来の基
板搬送用ロボットにおいては、１本の長いフォークを用
いるため、アームを縮めた状態においても基板搬送用ロ
ボットの最小旋回半径が大きく、ロボットの設置面積が
大きくなるという問題があった。本発明は、このような
問題を解決するためになされたもので、複数のフォーク
を有していても、アームを縮めた状態における最小旋回
半径が小さく、設置面積を最小にすることができる基板
搬送用ロボットを提供することを目的とするものであ
る。
うな２つの基板を同時に保持することができる従来の基
板搬送用ロボットにおいては、１本の長いフォークを用
いるため、アームを縮めた状態においても基板搬送用ロ
ボットの最小旋回半径が大きく、ロボットの設置面積が
大きくなるという問題があった。本発明は、このような
問題を解決するためになされたもので、複数のフォーク
を有していても、アームを縮めた状態における最小旋回
半径が小さく、設置面積を最小にすることができる基板
搬送用ロボットを提供することを目的とするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、固定ベースと、前記固定ベースに旋回可
能に連結された第１アームと、前記第１アームに旋回可
能に連結された第２アームと、前記第２アームに旋回可
能に連結されたフォークとを有する基板搬送ロボットに
おいて、前記フォークを、それぞれ独立した第１フォー
クおよび第２フォークからなる複数のフォークで構成
し、前記第１フォークおよび第２フォークを、前記第２
アームの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独
立して旋回可能に取り付けるとともに、前記第１フォー
ク駆動用モータおよび前記第２フォーク駆動用モータを
ロボットのアーム内部、例えば前記第２アームの内部に
設けて構成するようにしたものである。
め、本発明は、固定ベースと、前記固定ベースに旋回可
能に連結された第１アームと、前記第１アームに旋回可
能に連結された第２アームと、前記第２アームに旋回可
能に連結されたフォークとを有する基板搬送ロボットに
おいて、前記フォークを、それぞれ独立した第１フォー
クおよび第２フォークからなる複数のフォークで構成
し、前記第１フォークおよび第２フォークを、前記第２
アームの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独
立して旋回可能に取り付けるとともに、前記第１フォー
ク駆動用モータおよび前記第２フォーク駆動用モータを
ロボットのアーム内部、例えば前記第２アームの内部に
設けて構成するようにしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例における基板搬送
用ロボットにおいてアームを伸ばした状態を示し、
（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図２は本
発明の実施例における基板搬送用ロボットにおいてアー
ムを縮めた状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は
側面図である。図３はアーム部の構成を示す側断面図、
図４は図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図、図５は図３
における２台のモータをＢ方向から見た図、図６は本発
明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面図で、（ａ）
は処理済基板を取り出すところを示し、（ｂ）は未処理
基板を載置するところを示している。図１（ａ）、
（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明
の基板搬送用ロボット１は、固定ベース２と、前記固定
ベース２に旋回可能に連結された第１アーム３と、前記
第１アーム３に旋回可能に連結された第２アーム４と、
前記第２アーム４に旋回可能に連結された第１フォーク
５および第２フォーク６とからなっている。なお、第１
アーム３は、固定ベース２内に設けた図示しない昇降機
構により上下動が可能となっている。前記第１アーム
３、第２アーム４、第１フォーク５、および第２フォー
ク６は、図３ないし図６に示すように構成される。第１
アーム３と第２アーム４の駆動用モータは、それぞれ固
定ベース２の内部に設置され（図示せず）、その出力軸
は同心２軸で構成されている。同心２軸の外側の軸は第
１アーム駆動用の出力軸７で、第１アーム３の下部に直
接連結される。また、内側の軸は第２アーム駆動用の出
力軸８で、第１アーム３内に突出するとともに、先端部
にプーリ９が取り付けられ、第２アーム４の下部に連結
されたプーリ１０とベルト１１で結ばれて、第２アーム
４と連結される。第２アーム４の先端部には、それぞれ
独立した第１フォーク５と第２フォーク６が、上下２段
に同軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けら
れている。前記第１フォーク５および前記第２フォーク
６を支持する軸は同心２軸で構成されている。上側の第
１フォーク５は内側の軸１２に連結され、下側の第２フ
ォーク６は外側の軸１３に連結されている。前記内側の
軸１２および外側の軸１３は、それぞれ下部に高さ位置
を異ならせてプーリ１４、１５を取り付けている。ま
た、第１フォーク５と第２フォーク６の駆動用のモータ
１６、１７は、第２アーム４の旋回中心部付近に並べて
設置されるとともに、図６に示すように、プーリ１８、
１９の高さ位置を異ならせている。前記プーリ１４とプ
ーリ１８をベルト２０で結ぶとともに、前記プーリ１５
とプーリ１９をベルト２１で結むが、両ベルト２０、２
１が干渉することはない。なお、３ａは、第１アーム３
に設けた第１フォーク５と第２フォーク６の駆動用のモ
ータ１６、１７を収納する収納部で、前記固定ベース２
の外周面よりも外径側に位置させるとともに、前記収納
部３ａの底面３ｂを固定ベース２の上面２ａよりも下部
に位置させている。このような構成における基板搬送用
ロボットで基板の搬送を行うときは、図６（ａ）、
（ｂ）のようにする。まず、図６（ａ）に示すように、
未処理基板Ｗｂの把持用に設定した第２フォーク（第１
フォーク５でもよい）６を、未処理基板Ｗｂを把持した
まま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔にならない位置
で待機させ、この状態のままで、第１フォーク５（また
は第２フォーク６）で、処理済基板載置台２２の上に載
置された処理済基板Ｗａを把持して取り出す。次に、図
６（ｂ）に示すように、今度は、先程の処理済基板Ｗａ
を把持した第１フォーク５を処理済基板Ｗａを把持した
まま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔にならない位置
で待機させるとともに、未処理基板Ｗｂを把持した第２
フォーク６を前方に旋回および直線移動させ、未処理基
板Ｗｂを未処理基板載置台２３の上に載置する。この場
合、アームは１本であり、かつ第１フォーク５および第
２フォーク６とも、第２アーム４の先端部から短く突出
して、第２アーム４の先端部を中心にして旋回するのみ
であるので、動作中も、第１アーム３および第２アーム
４を縮めた状態においても、動きが他の固定物体と干渉
する範囲は極めて少ない。したがって、基板搬送ロボッ
ト１の設置面積は狭くてすむ。本発明においては、基板
搬送用ロボット１のアームの動作のみで、処理済基板Ｗ
ａおよび未処理基板Ｗｂの搬送を行う場合に限ることな
く、図示しない直線移動装置に基板搬送用ロボット１を
取り付け、基板搬送ロボット１のアーム動作と直線移動
装置の直線移動とを組み合わせて処理済基板Ｗａおよび
未処理基板Ｗｂの搬送を行わせるようにしてもよい。ま
た、前記第１フォーク駆動用モータ１６および前記第２
フォーク駆動用モータ１７を前記第２アーム４の内部で
なく、前記第１アーム３の内部に設けるようにしてもよ
い。なお、本発明は、固定ベースに昇降機構を有しない
基板搬送用ロボットにおいても同様に適用することがで
きるし、例えば２本のアームを備えた基板搬送用ロボッ
トにおいても同様に適用することができる。さらに、フ
ォークの数は、２個に限られることはなく、４個等でも
構わない。
いて説明する。図１は本発明の実施例における基板搬送
用ロボットにおいてアームを伸ばした状態を示し、
（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図２は本
発明の実施例における基板搬送用ロボットにおいてアー
ムを縮めた状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は
側面図である。図３はアーム部の構成を示す側断面図、
図４は図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図、図５は図３
における２台のモータをＢ方向から見た図、図６は本発
明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面図で、（ａ）
は処理済基板を取り出すところを示し、（ｂ）は未処理
基板を載置するところを示している。図１（ａ）、
（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明
の基板搬送用ロボット１は、固定ベース２と、前記固定
ベース２に旋回可能に連結された第１アーム３と、前記
第１アーム３に旋回可能に連結された第２アーム４と、
前記第２アーム４に旋回可能に連結された第１フォーク
５および第２フォーク６とからなっている。なお、第１
アーム３は、固定ベース２内に設けた図示しない昇降機
構により上下動が可能となっている。前記第１アーム
３、第２アーム４、第１フォーク５、および第２フォー
ク６は、図３ないし図６に示すように構成される。第１
アーム３と第２アーム４の駆動用モータは、それぞれ固
定ベース２の内部に設置され（図示せず）、その出力軸
は同心２軸で構成されている。同心２軸の外側の軸は第
１アーム駆動用の出力軸７で、第１アーム３の下部に直
接連結される。また、内側の軸は第２アーム駆動用の出
力軸８で、第１アーム３内に突出するとともに、先端部
にプーリ９が取り付けられ、第２アーム４の下部に連結
されたプーリ１０とベルト１１で結ばれて、第２アーム
４と連結される。第２アーム４の先端部には、それぞれ
独立した第１フォーク５と第２フォーク６が、上下２段
に同軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けら
れている。前記第１フォーク５および前記第２フォーク
６を支持する軸は同心２軸で構成されている。上側の第
１フォーク５は内側の軸１２に連結され、下側の第２フ
ォーク６は外側の軸１３に連結されている。前記内側の
軸１２および外側の軸１３は、それぞれ下部に高さ位置
を異ならせてプーリ１４、１５を取り付けている。ま
た、第１フォーク５と第２フォーク６の駆動用のモータ
１６、１７は、第２アーム４の旋回中心部付近に並べて
設置されるとともに、図６に示すように、プーリ１８、
１９の高さ位置を異ならせている。前記プーリ１４とプ
ーリ１８をベルト２０で結ぶとともに、前記プーリ１５
とプーリ１９をベルト２１で結むが、両ベルト２０、２
１が干渉することはない。なお、３ａは、第１アーム３
に設けた第１フォーク５と第２フォーク６の駆動用のモ
ータ１６、１７を収納する収納部で、前記固定ベース２
の外周面よりも外径側に位置させるとともに、前記収納
部３ａの底面３ｂを固定ベース２の上面２ａよりも下部
に位置させている。このような構成における基板搬送用
ロボットで基板の搬送を行うときは、図６（ａ）、
（ｂ）のようにする。まず、図６（ａ）に示すように、
未処理基板Ｗｂの把持用に設定した第２フォーク（第１
フォーク５でもよい）６を、未処理基板Ｗｂを把持した
まま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔にならない位置
で待機させ、この状態のままで、第１フォーク５（また
は第２フォーク６）で、処理済基板載置台２２の上に載
置された処理済基板Ｗａを把持して取り出す。次に、図
６（ｂ）に示すように、今度は、先程の処理済基板Ｗａ
を把持した第１フォーク５を処理済基板Ｗａを把持した
まま後ろ側に旋回移動させて作業の邪魔にならない位置
で待機させるとともに、未処理基板Ｗｂを把持した第２
フォーク６を前方に旋回および直線移動させ、未処理基
板Ｗｂを未処理基板載置台２３の上に載置する。この場
合、アームは１本であり、かつ第１フォーク５および第
２フォーク６とも、第２アーム４の先端部から短く突出
して、第２アーム４の先端部を中心にして旋回するのみ
であるので、動作中も、第１アーム３および第２アーム
４を縮めた状態においても、動きが他の固定物体と干渉
する範囲は極めて少ない。したがって、基板搬送ロボッ
ト１の設置面積は狭くてすむ。本発明においては、基板
搬送用ロボット１のアームの動作のみで、処理済基板Ｗ
ａおよび未処理基板Ｗｂの搬送を行う場合に限ることな
く、図示しない直線移動装置に基板搬送用ロボット１を
取り付け、基板搬送ロボット１のアーム動作と直線移動
装置の直線移動とを組み合わせて処理済基板Ｗａおよび
未処理基板Ｗｂの搬送を行わせるようにしてもよい。ま
た、前記第１フォーク駆動用モータ１６および前記第２
フォーク駆動用モータ１７を前記第２アーム４の内部で
なく、前記第１アーム３の内部に設けるようにしてもよ
い。なお、本発明は、固定ベースに昇降機構を有しない
基板搬送用ロボットにおいても同様に適用することがで
きるし、例えば２本のアームを備えた基板搬送用ロボッ
トにおいても同様に適用することができる。さらに、フ
ォークの数は、２個に限られることはなく、４個等でも
構わない。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
ぎのような効果がある。 (1) 複数個のフォークを有していても、アームを縮めた
状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最小に
できる基板搬送用ロボットを提供することができる。 (2) 第１および第２フォーク駆動用のモータを固定ベー
スでなくアーム内に配置しているので、固定ベースの外
径寸法を小さくすることができ固定ベース周りのスペー
スを有効活用することができる。 (3) 第１フォークと第２フォークの駆動用のモータを収
納する収納部を、前記固定ベースの外周面よりも外径側
に位置させるとともに、前記収納部の底面を固定ベース
の上面よりも下部に位置させているので、第１アームの
駆動用の出力の長さを短くすることができ、出力軸にか
かる曲げモーメントを小さくすることができる。
ぎのような効果がある。 (1) 複数個のフォークを有していても、アームを縮めた
状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最小に
できる基板搬送用ロボットを提供することができる。 (2) 第１および第２フォーク駆動用のモータを固定ベー
スでなくアーム内に配置しているので、固定ベースの外
径寸法を小さくすることができ固定ベース周りのスペー
スを有効活用することができる。 (3) 第１フォークと第２フォークの駆動用のモータを収
納する収納部を、前記固定ベースの外周面よりも外径側
に位置させるとともに、前記収納部の底面を固定ベース
の上面よりも下部に位置させているので、第１アームの
駆動用の出力の長さを短くすることができ、出力軸にか
かる曲げモーメントを小さくすることができる。
【図１】本発明の実施例における基板搬送用ロボットを
示す側面図で、（ａ）はアームを縮めた状態示し、
（ｂ）はアームを伸ばした状態を示している。
示す側面図で、（ａ）はアームを縮めた状態示し、
（ｂ）はアームを伸ばした状態を示している。
【図２】図１における基板搬送用ロボットの平面図で、
（ａ）はアームを縮めた状態示し、（ｂ）はアームを伸
ばした状態を示している。
（ａ）はアームを縮めた状態示し、（ｂ）はアームを伸
ばした状態を示している。
【図３】アーム部の構成を示す側断面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】図３における２台のモータをＣ方向から見た図
である。
である。
【図６】本発明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面
図で、（ａ）は処理済基板を取り出すところを示し、
（ｂ）は未処理基板を載置するところを示している。
図で、（ａ）は処理済基板を取り出すところを示し、
（ｂ）は未処理基板を載置するところを示している。
【図７】従来の基板搬送用ロボットを示す平面図で、
（ａ）はフォークを１つ有する基板搬送用ロボットの
例、（ｂ）はフォークを２つ有する基板搬送ロボットの
例を示している。
（ａ）はフォークを１つ有する基板搬送用ロボットの
例、（ｂ）はフォークを２つ有する基板搬送ロボットの
例を示している。
１ 基板搬送用ロボット、
２ 固定ベース、
３ 第１アーム、
３ａ フォーク駆動用モータの収納部
３ｂ 収納部の底部
４ 第２アーム、
５ 第１フォーク、
６ 第２フォーク、
７ 第１アーム駆動用の出力軸、
８ 第２アーム駆動用の出力軸、
９、１０ プーリ、
１１ ベルト、
１２ 内側の軸、
１３ 外側の軸、
１４、１５ プーリ、
１６ 第１フォーク駆動用モータ、
１７ 第２フォーク駆動用モータ、
１８、１９ プーリ、
２０、２１ ベルト、
２２ 処理済基板載置台、
２３ 未処理基板載置台、
Ｗａ 処理済基板、
Ｗｂ 未処理基板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年８月２１日（２００２．８．２
１）
１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
ぎのような効果がある。 (1) 複数個のフォークを有していても、アームを縮めた
状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最小に
できる基板搬送用ロボットを提供することができる。 (2) 第１および第２フォーク駆動用のモータを固定ベー
スでなくアーム内に配置しているので、固定ベースの外
径寸法を小さくすることができ固定ベース周りのスペー
スを有効活用することができる。 (3) 第１フォークと第２フォークの駆動用のモータを収
納する収納部を、前記固定ベースの外周面よりも外径側
に位置させるとともに、前記収納部の底面を固定ベース
の上面よりも下部に位置させているので、第１アームの
駆動用の出力軸の長さを短くすることができ、出力軸に
かかる曲げモーメントを小さくすることができる。
ぎのような効果がある。 (1) 複数個のフォークを有していても、アームを縮めた
状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最小に
できる基板搬送用ロボットを提供することができる。 (2) 第１および第２フォーク駆動用のモータを固定ベー
スでなくアーム内に配置しているので、固定ベースの外
径寸法を小さくすることができ固定ベース周りのスペー
スを有効活用することができる。 (3) 第１フォークと第２フォークの駆動用のモータを収
納する収納部を、前記固定ベースの外周面よりも外径側
に位置させるとともに、前記収納部の底面を固定ベース
の上面よりも下部に位置させているので、第１アームの
駆動用の出力軸の長さを短くすることができ、出力軸に
かかる曲げモーメントを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例における基板搬送用ロボットを
示す側面図で、（ａ）はアームを縮めた状態示し、
（ｂ）はアームを伸ばした状態を示している。
示す側面図で、（ａ）はアームを縮めた状態示し、
（ｂ）はアームを伸ばした状態を示している。
【図２】図１における基板搬送用ロボットの平面図で、
（ａ）はアームを縮めた状態示し、（ｂ）はアームを伸
ばした状態を示している。
（ａ）はアームを縮めた状態示し、（ｂ）はアームを伸
ばした状態を示している。
【図３】アーム部の構成を示す側断面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】図３における２台のモータをＣ方向から見た図
である。
である。
【図６】本発明の基板搬送用ロボットの作動を示す平面
図で、（ａ）は処理済基板を取り出すところを示し、
（ｂ）は未処理基板を載置するところを示している。
図で、（ａ）は処理済基板を取り出すところを示し、
（ｂ）は未処理基板を載置するところを示している。
【図７】従来の基板搬送用ロボットを示す平面図で、
（ａ）はフォークを１つ有する基板搬送用ロボットの
例、（ｂ）はフォークを２つ有する基板搬送ロボットの
例を示している。
（ａ）はフォークを１つ有する基板搬送用ロボットの
例、（ｂ）はフォークを２つ有する基板搬送ロボットの
例を示している。
【符号の説明】
１ 基板搬送用ロボット、
２ 固定ベース、２ａ 固定ベースの上面、
３ 第１アーム、
３ａ フォーク駆動用モータの収納部、
３ｂ 収納部の底部、
４ 第２アーム、
５ 第１フォーク、
６ 第２フォーク、
７ 第１アーム駆動用の出力軸、
８ 第２アーム駆動用の出力軸、
９、１０ プーリ、
１１ ベルト、
１２ 内側の軸、
１３ 外側の軸、
１４、１５ プーリ、
１６ 第１フォーク駆動用モータ、
１７ 第２フォーク駆動用モータ、
１８、１９ プーリ、
２０、２１ ベルト、
２２ 処理済基板載置台、
２３ 未処理基板載置台、
Ｗａ 処理済基板、
Ｗｂ 未処理基板
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BT13 CT05 CV07 CW07
CY00 CY36
5F031 CA02 CA05 FA01 FA07 FA09
GA04 GA43 LA13
Claims (5)
- 【請求項１】 固定ベースと、前記固定ベースに旋回可
能に連結された第１アームと、前記第１アームに旋回可
能に連結された第２アームと、前記第２アームに旋回可
能に連結されたフォークとを有する基板搬送用ロボット
において、 前記フォークを、それぞれ独立した第１フォークおよび
第２フォークからなる複数のフォークで構成し、 前記第１フォークおよび第２フォークを、前記第２アー
ムの先端部に、上下２段に同軸で、かつそれぞれ独立し
て旋回可能に取り付けるとともに、前記第１フォーク駆
動用モータおよび前記第２フォーク駆動用モータをロボ
ットのアーム内部に設けたことを特徴とする基板搬送用
ロボット。 - 【請求項２】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
記第２フォーク駆動用モータを前記第２アームの内部に
設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ロ
ボット。 - 【請求項３】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
記第２フォーク駆動用モータを前記第１アームの内部に
設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送用ロ
ボット。 - 【請求項４】 前記第１フォーク駆動用モータおよび前
記第２フォーク駆動用モータを、前記第１アームもしく
は第２アームの内部の、前記第２アームの旋回中心付近
に並べて設置したことを特徴とする請求項２または３に
記載の基板搬送用ロボット。 - 【請求項５】 前記第１アームもしくは第２アームの、
前記第１フォーク駆動用モータおよび前記第２フォーク
駆動用のモータの収納部を、前記固定ベースの外周面よ
りも外径側に位置させるとともに、前記収納部の底面を
固定ベースの上面よりも下部に位置させたことを特徴と
する請求項４に記載の基板搬送用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002239628A JP2003179119A (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 基板搬送用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002239628A JP2003179119A (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 基板搬送用ロボット |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000381449A Division JP2002184834A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | 基板搬送用ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003179119A true JP2003179119A (ja) | 2003-06-27 |
Family
ID=19196440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002239628A Pending JP2003179119A (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 基板搬送用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003179119A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100382937C (zh) * | 2004-10-14 | 2008-04-23 | 东芝机械株式会社 | 工业用机器人 |
| WO2008152895A1 (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Tokyo Electron Limited | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
| JP2010082742A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置 |
| WO2012086164A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 搬送ロボット、その基板搬送方法、及び基板搬送中継装置 |
| JP2012138404A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送中継装置 |
| JP2012138403A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 搬送ロボット及びその基板搬送方法 |
| JP2013145797A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
| JP2013163231A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Daihen Corp | ロボット制御装置 |
| CN107960952A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-27 | 合肥工业大学 | 旋转清扫装置 |
| JPWO2017038811A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2018-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板処理システム |
-
2002
- 2002-08-20 JP JP2002239628A patent/JP2003179119A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100382937C (zh) * | 2004-10-14 | 2008-04-23 | 东芝机械株式会社 | 工业用机器人 |
| US8395136B2 (en) | 2007-06-12 | 2013-03-12 | Tokyo Electron Limited | Positional deviation detection apparatus and process system employing the same |
| JP2008311303A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Tokyo Electron Ltd | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
| KR101031843B1 (ko) | 2007-06-12 | 2011-05-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 위치 어긋남 검출 장치 및 이것을 이용한 처리 시스템 |
| WO2008152895A1 (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Tokyo Electron Limited | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
| JP2010082742A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置 |
| WO2012086164A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 搬送ロボット、その基板搬送方法、及び基板搬送中継装置 |
| JP2012138404A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送中継装置 |
| JP2012138403A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 搬送ロボット及びその基板搬送方法 |
| US9368381B2 (en) | 2010-12-24 | 2016-06-14 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Transfer robot, its substrate transfer method and substrate transfer relay device |
| US8989899B2 (en) | 2012-01-13 | 2015-03-24 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Transfer system |
| JP2013145797A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
| JP2013163231A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Daihen Corp | ロボット制御装置 |
| JPWO2017038811A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2018-06-28 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板処理システム |
| CN107960952A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-27 | 合肥工业大学 | 旋转清扫装置 |
| CN107960952B (zh) * | 2017-12-08 | 2020-04-21 | 合肥工业大学 | 旋转清扫装置 |
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