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WO2001061725B1 - Emissionselektronenmikroskop - Google Patents

Emissionselektronenmikroskop

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WO2001061725B1 PCT/PL2001/000010 PL0100010W WO0161725B1 WO 2001061725 B1 WO2001061725 B1 WO 2001061725B1 PL 0100010 W PL0100010 W PL 0100010W WO 0161725 B1 WO0161725 B1 WO 0161725B1
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Abstract

Emissionselektronenmikroskop, das aus einer Objektivlinse, aus einem Abbildungssystem mit wenigstens einer Linse und aus einem Stigmator besteht. Es zeichnet sich dadurch aus, dass es ein zweites, unabhängiges und zu dem ersten Abbildungssystem K1 ein paralleles, Abbildungssystem K2 und zwei Elektronennachweiseinrichtungen (25) und (27) besitzt, mit dem zwei unabhängige Bilder erfasst werden: ein reelles Bild und ein Bild der Winkelverteilung der Elektronen als Folge des elektronischen Umschaltens der Potentiale der Ablenkelemente (13) und (17). Die beiden identischen Ablenkelemente, die aus Paaren sphärischer und konzentrischer Elektroden (13a), (13b) und (17a), (17b) bestehen, sind voneinander um deren zweifache Brennweite elektronenoptisch entfernt und lenken den Elektronenstrahl entsprechend um einen Winkel (β) und (-β) ab, was zu einer parallelen Versetzung des Elektronenstrahles führt. Die Elektrode (13b) enthält eine Bohrung (13c), die den Drift der Elektronen entlang der elektronenoptischer Hauptachse (29a) bei der abgeschalteten Ablenkung ermöglicht. Das Emissionselektronenmikroskop besitzt auch eine dicht neben der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse angebrachte Elektronenquelle (8), die Primärelektronen entlang der elektronenoptischen Achse (28) unter Winkel (α) zu der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse emittiert, ein Kontrastblendensystem (4a) in einer von den zu der Brennebene des Objektives korrelierten Ebenen und ein Bildblendensystem (11), in einer von den Bildebenen des Systems.

Claims

GEÄNDERTE ANSPRUCHE
[beim Internationalen Büro am 17. April 2001 (17.04.01) eingegangen; ursprünglicher Ansprüche 1 bis 2 und 4 bis 12 geänderte; alle weiteren Ansprüche unverändert (3 Seiten)]
Emissionselektronenmikroskop, das ein elektronenoptisches, aus einer Objektivlinse und aus einem Abbildungssystem mit wenigstens einer Linse bestehendes Linsensystem bildet dadurch gekennzeichnet, daß es ein zweites, unabhängiges und zu dem ersten Abbildungssystem Kl ein paralleles Abbildungssystem K2 und zwei Elektronennachweiseinrichtungen (25) und (27) besitzt, mit denen zwei Bilder erfaεst werden: ein reelles Bild und ein Bild der Winkelverteilung der Elektronen, oder zwei reelle Bilder, als Folge des elektronischen Umschaltens der Potentiale der Ablenkelemente (13) und (17). die den Elektronenstrahl entsprechend um einen kleineren als 90° Winkel (|3) und einen Winkel (___) ablenken, wobei die voneinander um deren zweifache Brennweite elektronenoptisch entfernten Ablenkelemente (13) und (17), aus identischen Paaren sphärischer und konzentrischer Elektroden (13fl),Qλh) und (17a).d7b) bestehen, und die Elektrode (13b) eine Bohrung (13c) aufweist, die den Drift der Elektronen entlang der elektronenoptischer Hauptachse (29a) bei der abgeschalteten Ablenkung ermöglicht; außerdem besitzt das Emissionselektronenmikroskop auch eine von den Abbildungssystemen Kl und K2 elektronenoptisch getrennte und unabhängige Elektronenquelle (8), die so ausgerichtet ist, dass der Raum zwischen der Elektronenquelle und der hinteren Brennebene der Objektivlinse (1) feldfrei ist und die von der Elektronenquelle (8) kommenden Primärelektronen unter dem Winkel (α) zu der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (l driften und gelangen am hinteren Brennpunkt der Objektivlinse (1) vorbei durch die symmetrisch auf der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) liegenden Objektivlinsenzentralbohrung zum abzubildenden Bereich der Probe (2), der auf der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) liegt
2. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass in dem Abbildungssystem ein abbremsendes System (7) angebracht ist, das aus einer oder mehreren Elektroden besteht, die ein abbremsendes, sphärisches Zentralfeld mit dem Zentrum in einem von den zu dem Brennpunkt der Objektivlinse elektronenoptisch konjugierten Punkten simulieren.
3. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) eine Quelle für spinpolarisierte Elektronen ist.
4. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle ein Ablenkelement (9) aufweist.
5. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle ein Ablenkelement (9) aufweist.
6. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf der elektronenoptischen Achse (18) hinter der Bohrung (17c) in der äußeren Ablenkelektrode (17b) des Ablenkelements (17) eine Elektronennachweiseinrichtung (19) für die Messung des Energiespektrums der aus der Probe (2) emittierten Elektronen angebracht ist.
7. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass auf der elektronenoptischen Achse (18) hinter der Bohrung (17c) in der äußeren Ablenkelektrode (17b) des Ablenkelements (17) ein Elektronennachweiseinrichtung (19) für die Messung des Energiespektrums der aus der Probe (2) emittierten Elektronen angebracht ist.
8. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass auf der elektronenoptischen Achse (18) hinter der Bohrung (17c) in der äußeren Ablenkelektrode (17b) des Ablenkelements (17) ein Elektronennachweiseinrichtung (19) für die Messung des Energiespektrums der aus der Probe (2) emittierten Elektronen angebracht ist.
9. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass auf der elektronenoptischen Achse (18) hinter der Bohrung (17c) in der äußeren Ablenkelektrode (17b) des Ablenkelements (17) ein Elektronennachweiseinrichtung (19) für die Messung des Energiespektrums der aus der Probe (2) emittierten Elektronen angebracht ist.
10. Emissionselektronenmikroskop mit einer Elektronenquelle, mit einer Objektivlinse und mit einem elektronenoptischen Abbildungssystem, das mindestens eine Projekt! vlinse und eine Elektronennachweiseinrichtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die dicht an der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) liegende Elektronenquelle (8) vom Abbildungssystem elektronenoptisch getrennt und unabhängig ist und derart ausgerichtet, dass der Raum zwischen der Elektronenquelle (8) und der hinteren Brennebene der Objektivlinse (1) feldfrei ist, und die aus der Elektronenquelle (8) kommenden Primärelektronen unter dem Winkel (α) zu der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) driften und gelangen am hinteren Brennpunkt der Objektivlinse (1) vorbei durch die symmetrisch auf der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) liegenden Objektivlinsenzentralbohrung zum abzubildenden Bereich der Probe (2), der auf der elektronenoptischen Achse (29) der Objektivlinse (1) liegt. 13
11. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Abbildungssystem ein die Elektronen abbremsendes System (7) angebracht ist, das aus einer oder mehreren Elektroden besteht, die ein abbremsendes sphärisches Zentralfeld mit Zentrum in einem von den zu dem Brennpunkt der Objektivlinse elektronenoptisch konjugierten Punkten simulieren.
12. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der hinteren Brennebene (5) der Objektivlinse (1) oder in ihrer elektronenoptisch konjugierten Ebenen ein Kontrastblendensystem angebracht ist und in der hinteren Brennebene (5) der Objektivlinse (1) oder in ihrer elektronenoptisch konjugierten Ebenen ein Stigmator angebracht ist.
13. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) eine Quelle der spinpolarisierten Elektronen ist.
14. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) eine Quelle der spinpolarisierten Elektronen ist.
15. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) ein Ablenkelement (9) aufweist.
16. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle der spinpolarisierten Elektronen ein Ablenkelement (9) aufweist.
17. Emissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) ein Ablenkelement (9) aufweist.
18. Emissionselektronenmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (8) ein Ablenkelement (9) aufweist.
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