[go: up one dir, main page]

WO1992001088A1 - Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens Download PDF

Info

Publication number
WO1992001088A1
WO1992001088A1 PCT/DE1991/000557 DE9100557W WO9201088A1 WO 1992001088 A1 WO1992001088 A1 WO 1992001088A1 DE 9100557 W DE9100557 W DE 9100557W WO 9201088 A1 WO9201088 A1 WO 9201088A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vibration
goods
arrangement according
frequency
treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE1991/000557
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jos Van Kempen
Karl-Heinz Prehl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bayer Pharma AG
Original Assignee
Schering AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schering AG filed Critical Schering AG
Priority to KR1019930700020A priority Critical patent/KR930701641A/ko
Priority to JP91511324A priority patent/JPH05508744A/ja
Publication of WO1992001088A1 publication Critical patent/WO1992001088A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
    • H05K3/0088—Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor for treatment of holes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/10—Agitating of electrolytes; Moving of racks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/20—Electroplating using ultrasonics, vibrations

Definitions

  • Method for moving a product having bores during its wet chemical treatment e.g. galvanization, and device for carrying out the method
  • the invention first relates to a method according to the preamble of claim 1. So far, one has proceeded so that during the stay of the goods to be treated in the treatment station (bath) by rods guided on the bath container via the goods carriers, the goods perpendicular to the goods plane with a stroke length of 2x10 to 2x40 mm and a frequency of about 20 double strokes / mi ⁇ . was moved back and forth. With this "movement of goods" the bores of the goods, in particular plate-shaped goods such as printed circuit boards, were to be cleaned of residues and, in particular, of gas bubbles formed therein due to the chemical treatment.
  • DE-OS 31 95 313 only shows a vibration to detach gas bubbles adhering to the surface of plates to be galvanized. This reference, however, gives no indication that vibrations in the direction of the longitudinal axes of the bores of these plates ensure that the electrolyte liquid passes through the bores in accordance with the invention described below.
  • the object or problem of the invention is first of all to improve procedural measures according to the preamble of claim 1 in such a way that, in particular when the ratio of the plate thickness to the bore diameter is unfavorable for removing residues and gas bubbles from the bores, (eg with an aspect ratio 8: 1), surely any residues and / or Gas bubbles are removed.
  • the treatment of printed circuit boards with holes is known, which is known by the abbreviation HARB (_High Aspect atio B_oards).
  • HARB “High Aspect atio B_oards
  • the angle between the longitudinal axis of the bores of the material and the shaking direction is constantly changed. This promotes the removal of gas bubbles from the holes. In addition, this promotes the exchange of treatment liquid between plate-shaped parts to be treated which are arranged at a distance from one another, which in turn results in further promotion of the exchange of treatment liquid in the bores.
  • the aforementioned advantages and effects can also be achieved by means of a method according to saying 3 reachable. The incline can be selected differently depending on the desired result.
  • the buoyancy of the gas bubbles within the liquid can be utilized to the maximum and thereby a particularly easy separation of the gas bubbles from the walls of the holes.
  • the measure according to claim 4 also facilitates detachment of the gas bubbles from the relevant surfaces or walls of the goods.
  • claims 8 and 9 include the combination of the vibrations according to the invention with the slow back and forth movement ("movement of goods") of e.g. 20 double strokes / min. and a correspondingly large amplitude of e.g. 2x10 - 2x40 mm, which is known from the prior art.
  • the invention further aims to solve the problem or problem of creating an arrangement for carrying out the method according to one or more of the claims 1 to 9 already explained, whereby, while avoiding the disadvantages of the explained prior art, a transfer of such Vibrations on the stationary part of such a system, especially the bath tank, should be largely avoided.
  • the vibration generator has the consequence, in accordance with the method explained at the outset, that the vibrations of which almost exclusively reach the material to be treated, but are not or only slightly passed on to the stationary part of the system, in particular the container.
  • the main direction of the vibrations produced by the vibration generator runs in the direction of the bores of the material to be treated, ie the vibration generator is positioned with respect to the receiving or carrying means of the material so that it is in the direction the longitudinal axis bores of the material vibrate.
  • a direction of oscillation is also possible which takes a certain angle with the longitudinal axis of the bores, for example when using the corresponding procedural measure, which have already been discussed above, including a constant change in the position of the bores by rotating the material
  • the vibration generators can be provided at different points between the goods carrier and the goods, e.g. also on the support rod of a basket receiving the good parts, on support frames, on the
  • FIG. 2 a partial representation in a view according to arrow II in FIG. 1, 6
  • FIG. 3 a view in the direction of arrow III in FIG. 2,
  • FIG. 8 shows another embodiment of the Erfin-making in the form of a supporting bar or a supporting frame with means for the rod A ⁇ bri ⁇ - 0 supply of plates in an inclined position
  • FIG. 9 a detail of FIG. 6 in a perspective view and with the omission of the printed circuit boards
  • FIG. 1 shows the container 1 of a treatment station 2 through which the material 3 to be treated, here printed circuit boards provided with holes, is carried out in the transport direction 4 hi ⁇ .
  • the aforementioned bores are not shown for drawing reasons. Their longitudinal axes run according to number 5.
  • the ratio of the thickness of the plates 3 to the bore diameter is preferably greater than 8: 1.
  • a plurality of treatment stations 2 are generally arranged one behind the other in the transport and processing direction 4.
  • the treatment liquid (this can also be a rinsing liquid) is indicated by number 6.
  • Goods carriers 7 are provided which (see also FIGS. 2 to 4) consist of a goods carrier rail 8 and support arms 9 holding these. At the upper Abwi ⁇ klunge ⁇ 9 * of the support arms 9 engages a lifting device 10 (indicated here only by dash-dotted lines), which lifts the support arms 9 with their fork-shaped ends 9 "from a so-called instruction 11 of the container and also pulls the material to be treated out of the bath, transported to the next station, lowered there and so on. While the material to be treated is in the bathroom (see FIGS. 1 to 5 and 8, 9), vibratory generators are active, which are numbered 12 throughout.
  • the vibration generators 12 generate vibration vibrations in the direction of the double arrow 13. This vibration direction runs essentially horizontally.
  • the Schwi ⁇ gu ⁇ gsgenerator 12 are attached to the goods carrier Schie ⁇ e ⁇ 8 in this example.
  • This exemplary embodiment also shows (see FIGS. 2 and 4) that a plurality of vibration generators, here two vibration generators 12, are provided at a distance from one another on each goods carrier rail 8. This can create an even shaking effect can be reached over the entire length of the respective goods carrier rail 8. If necessary, more than two vibration generators can be attached to the product carrier rail, if necessary.
  • Appropriate means are provided to keep the vibrating vibrations generated by the invention completely or at least largely away from the stationary part of the system.
  • This can e.g. can be achieved in such a way that the goods carrier rail 8 is very elastic in the shaking direction 13, e.g. 1 has the thin cross section to be seen in particular.
  • This thin cross-section, with its long side perpendicular to the direction of vibration 13, can thus yield slightly elastically and elastically in the direction of vibration.
  • a further possible embodiment for keeping the aforementioned vibrations away from the stationary part of the system would be e.g. elastic bearings 27 of the instructions 11 on the rods 17 explained in more detail below.
  • the vibrators are preferred using a indicated electric motor 16 driven.
  • the current transmission takes place with the help of contacts, which are shown in more detail in FIGS. 5 and 6, and which are closed when the fork-like ends 8 'are gripped by the respective instruction 11.
  • 5 shows the goods carrier 7, which is lowered into the treatment station 2 according to the arrows 27.
  • An upper contact part 28 is provided on the support arm 9 of the goods carrier and an associated lower contact part 29 is provided at the treatment station 2.
  • the contacts 28, 29 abut one another.
  • the current is then supplied to the electric drives 16 of the vibrating generators.
  • This closing of the contacts and thus the start-up of the vibration generator 12 thus takes place automatically after the good has been introduced into the bath 6.
  • the aforementioned contacts are then automatically opened again.
  • the same contact arrangement can be provided if an electromagnetic vibration generator is provided instead of an electric motor. Vibration generation would, however, also be possible by non-electrical means, for example by means of compressed air.
  • vibration generators which each achieve acceleration values of different strengths and act alternately in different directions (not shown in the drawing).
  • a magnet can attract the goods carrier rail 8 or the like in one direction, while after the magnet is switched off by a spring, the goods carrier rail can be moved back again, whereupon the magnet then operates again, etc.
  • the size of the unbalance of a vibration generator and its frequency can be adapted to the respective conditions or requirements. As already mentioned, continuous or discontinuous changes in the vibration frequency are also possible, the latter also by repeatedly switching the vibration generator on and off.
  • adjusting rods 17 are provided for this purpose, which are moved back and forth in the longitudinal direction by a device (not shown) in the aforementioned sense in the direction of the double arrows 13 , namely relative to the container 1. With the rods 17, the instructions 11 are firmly connected and therefore transfer their movement to the good 3rd
  • the exemplary embodiment in FIG. 7 shows a goods carrier rail 8 with support arms 9 and a support rod 18 which hangs on the goods carrier rail 8 and holds a basket 20 via a carrier 19 which holds a stack of plate-like goods 3 to be treated 3 serves.
  • the plates preferably also the above-mentioned circuit boards, are at a certain distance from one another so that the treatment liquid can flow between the plates.
  • the Schwingu ⁇ gsgenerator 12 with drive 16 is attached to the support rod 18.
  • the configurations and possibilities that were described with reference to FIGS. 1 to 4 can also be used here analogously. Basically, therefore, the construction, applications and procedural measures explained in one of the exemplary embodiments can also be provided in one of the other exemplary embodiments.
  • the basket 20 can be rotated about an axis of rotation, here a horizontally extending axis of rotation 21, in the direction of one or both arrows 22, 23, or can also be pivoted back and forth.
  • the movement of the plates 3 achieved in this way is superimposed on the vibration by the vibration generator 12, which here too mainly takes place in the direction of the double arrow 13.
  • This is achieved in particular by the fact that, with the aforementioned turning or pivoting, the holes in the plates do not always run horizontally, but periodically also obliquely or perpendicularly to the horizontal.
  • FIG. 8 shows a possible inclined position of the goods (here also plates 3) which are held by brackets 25 of the carrying frame 14 by slots 24 which run correspondingly obliquely to the vertical.
  • the plates are inserted with their lateral edges into the slots 24; if necessary also secured by clamping screws or the like.
  • FIG. 8, in particular also FIG. 9, show that in this exemplary embodiment three holding brackets 25 lying one above the other are provided with slots 24, 24 'and 24 ", the direction of which extends obliquely to the longitudinal axis of the supporting frame 14 and which are offset in this way on the holders 25 are provided that these slots are aligned with one another and can accommodate the edge of a plate 3.
  • FIG. 10 shows a different variant, in which the plates 3 have an inclined position which forms an acute angle with the direction of vibration 13. This facilitates a flow through and thus exchange of the treatment liquid in the spaces 26 between the plates.
  • the inclined positions according to FIGS. 8, 9 on the one hand and FIG. 10 on the other hand can also be provided in combination.
  • Vibration generator 12 namely between two supporting frames 14 which hang on the goods carrier rail 8.
  • the vibration generator 12 is designed so that its main vibration is perpendicular to the plane of the drawing in FIG. 11. Plates to be treated are numbered 3.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Coating With Molten Metal (AREA)

Abstract

Die Erfindung geht zunächst aus von einem Verfahren zum Hin- und Herbewegen eines Bohrungen aufweisenden Gutes bei dessen naßchemischer Behandlung. Um insbesondere bei einem ungünstigen Verhältnis der Gutdicke zum Bohrungsdurchmesser mit Sicherheit noch vorhandene Rückstände und/oder Gasbläschen in der Bohrung entfernen zu können, ist zunächst vorgesehen, daß das Gut (3) mit Schwingungen einer Frequenz von zumindest 4 - 5 Hz gerüttelt wird, daß die Schwingungsrichtung zumindest teilweise und/oder zeitweise in Richtung der Längsachse (5) der Bohrungen verläuft, und daß die Rüttelschwingungen nur oder zumindest überwiegend auf den Tragteil des Gutes ausgeübt werden. Ferner betrifft die Erfindung eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens, wobei mehrere Behandlungsstationen hintereinander vorgesehen sind mit der Aufgabenstellung, unter Vermeidung der Nachteile vorbekannter Ausführungen eine Übertragung derartiger Rüttelschwingungen auf den stationären Teil einer solchen Anlage weitgehend zu vermeiden. Hierzu is vorgesehen, daß zumindest ein Schwingungserzeuger (12), der Rüttelschwingungen einer Frequenz von zumindest 4 - 5 Hz erzeugt, an einem Transport- und/oder Tragteil angebracht ist, mittels dessen das Gut bei seinem Transport, während des Einbringens in das Bad und während seines Verweilens in dem Bad gehalten ist, und daß zwischen Schwingungserzeuger und stationären Anlageteilen die Schwingungsübertragung sperrende, zumindest weitgehend dämpfende Mittel vorgesehen sind.

Description

"Verfahren zur Bewegung eines Bohrungen aufweisenden Gutes bei dessen naßchemi¬ scher Behandlung, z.B. Galvanisierung, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens"
Die Erfindung betrifft zunächst ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. Bisher ist man so vorgegangen, daß während des Aufenthaltes des zu behandelnden Gutes in der Behandlungsstatioπ (Bad) durch am Badbehälter geführte Stangen über die Warenträger das Gut senkrecht zur Gutebene mit einer Hubläπge von 2x10 bis 2x40 mm und einer Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/miπ . hin- und herbewegt wurde. Mit dieser "Warenbewegung" sollten die Bohrungen des Gutes, insbesondere platteπförmigeπ Gutes wie Leiterplatten, von Rückständen gereinigt und insbesondere von darin sich auf¬ grund der chemischen Behandlung gebildeten Gasbläschen befreit werden. 2 Es hat sich gezeigt, daß die vorgenannte Verfahreπsmaßnahme vielfach und insbesondere dann nicht mehr ausreicht, wenn das Verhältnis der Plattendicke (insbesondere der Dicke von Leiterplatten) zum Durchmesser der Bohrung den Wert von 8:1 übersteigt (sogenannter Aspect ratio größer als 8:1) .
Aus US-PS 4,875,982 ist es bekannt, eine mit der Gleich¬ stromquelle verbundene und mit einer Kupferschicht überzoge¬ ne Platte in Richtung ihrer Ebene auf und ab zu bewegen. Diese Bewegung dient aber nur dazu, Bohrungen der Leiter¬ platte vor Saugschlitze zu bringen, so daß durch eine Pumpe der Elektrolyt durch Bohrungen im zu bearbeitenden Gut durchbewegt wird. Dies hat aber keine Berührungspunkte mit der Erfindung gemäß Anspruch 1 und auch nicht mit weiteren Merkmalen der Erfindung, insbesondere den Verfahrensmaßnah¬ men gemäß Anspruch 8. US-PS 3,461,045 zeigt die Bewegung einer mit Löchern versehenen aus Wachs bestehenden Gie߬ form, die mit etwa fünf Schwingungen pro Minute innerhalb eines Elektrolyten hin und her bewegt wird. Diese Schwingung betrifft nur die vorbt.<anπte Warenbewegung und hat darüber hinaus eine noch niedrigere Frequenz, als es vorstehend zum Stand der Technik erläutert wurde. Somit ist auch dieser Literaturstelle die vorliegende Erfindung nicht zu entneh¬ men. DE-OS 31 95 313 zeigt lediglich eine Rüttelung, um auf der Oberfläche von zu galvanisierten Platten anhaftende Gasbläschen abzulösen. Diese Literaturstelle gibt aber keinen Hinweis dahingehend, durch Rüttelschwingungen in Richtung der Längsachsen von Bohrungen dieser Platten für einen entsprechenden Durchtritt der Elektrolytflüssigkeit durch die Bohrungen im Sinne der nachstehend beschriebenen Erfindung zu sorgen.
Die Aufgabe bzw. Problemstellung der Erfindung besteht zunächst darin, Verfahreπsmaßnahmen gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 dahingehend zu verbessern, daß, insbesonde¬ re bei einem für das Entfernen von Rückständen und Gasbläs¬ chen aus den Bohrungen ungünstigem Verhältnis der Plattendi¬ cke zum Bohrungsdurchmesser, (z.B. bei einem Aspect ratio 8:1) , mit Sicherheit noch vorhandene Rückstände und/oder Gasbläschen entfernt werden. Dabei ist insbesondere an die Behandlung von mit Bohrungen versehene Leiterplatten ge- üacht, die unter der Abkürzung HARB (_High Aspect atio B_oards) bekannt sind. Außerdem soll der Austausch der Be¬ handlungsflüssigkeit innerhalb der Bohrungen verbessert werden.
Die Lösung dieser Aufgabe wird, ausgehend vom Oberbegriff des Anspruches 1, zunächst in den Merkmalen des Kennzeichens des Anspruches 1 gesehen. Es hat sich gezeigt, daß mit dieser Rüttelbewegung des Gutes die vorgenannte Aufgabe gelöst wird, und zwar auch bei einem Aspect ratio ? 8:1. Die Frequenz sollte zumindest den angegebenen Wert haben. Sie kann demgegenüber aber auch wesentlich höher sein. Gemäß einer bevorzugten Ausführung der Erfindung beträgt sie 50
Hz. Diese Schwingungen haben eine relativ kleine Amplitude. Die Größe der Amplitude beträgt in der Regel bis zu 2 mm. Sie könnte gegebenenfalls aber auch noch größer sein, d.h. bis etwa 3 mm. Es erfolgt in den Bohrungen des Gutes ein intensiver Austausch der Behandlungsflüssigkeit. Aus elek- tro-chemischen Vorgängen entstandene Gasbläschen werden aus den Bohruπgskanälen entfernt. Vorteilhaft wirken die Rüttel¬ schwingungen nur auf das Gut und die sie tragenden Teile, nicht aber auf die stationären Bauteile der Anlage.
Zur Unterstützung der erfindungsgemäßen Wirkung können eine oder mehrere der Verfahreπsmaßπahmen gemäß den Ansprüchen 2 bis 9 vorgesehen sein.
Durch das Drehen oder Schwenken gemäß Anspruch 2 wird stän¬ dig der Winkel zwischen der Längsachse der Bohrungen des Gutes und der Rüttelrichtuπg geändert. Dies fördert die Entfernung von Gasbläschen aus den Bohrungen. Außerdem wird dadurch der Austausch an Behandlungsflüssigkeit zwischen im Abstand voneinander angeordneten, zu behandelnden platten- förmigen Gutteilen gefördert, was wiederum eine weitere Förderung des Austausches an Behaπdlungsflüssigkeit in den Bohrungen zur Folge hat. Die vorgenannten Vorteile bzw. Effekte sind auch durch eine Verfahrensmaßπah e gemäß An- spruch 3 erreichbar. Dabei kann die Schräglage je nach dem angestrebten Resultat verschieden gewählt werden. Zum Bei¬ spiel kann man bei einem etwa senkrechten Verlauf der Längs¬ achsen der Bohrungen und ferner der Erzeugung von Rüttel- Schwingungen etwa in Richtung dieser Längsachse den Auftrieb der Gasbläschen innerhalb der Flüssigkeit maximal ausnützen und dadurch eine besonders leichte Trennung der Gasbläschen von den Wandungen der Bohrungen erreichen.
Die Maßnahme gemäß Anspruch 4 erleichtert ebenfalls ein Ablösen der Gasbläschen von den betreffenden Oberflächen oder Wandungen des Gutes. Das gleiche gilt für die Verfah- reπsmaßnahmen der Ansprüche 5 und 6. Das Durchlaufen ver¬ schiedener Frequenzbereiche hat sich für die Ablösung der Gasbläschen als besonders vorteilhaft erwiesen.
Die Merkmale der Ansprüche 8 und 9 beinhalten die Kombina¬ tion der Rüttelschwingungen nach der Erfindung mit der eingangs erläuterten langsamen Hin- und Herbewegung ("Waren¬ bewegung") von z.B. 20 Doppelhübeπ/min. und einer entspre¬ chend großen Amplitude von z.B. 2x10 - 2x40 mm, die für sich aus dem Stand der Technik bekannt ist.
Die Erfindung will ferner die Aufgabe bzw. Problemstellung der Schaffung einer Anordnung zur Durchführung des Verfah¬ rens nach einem oder mehreren der zuvor bereits erläuterten Ansprüche 1 bis 9 lösen, wobei, unter Vermeidung der Nach¬ teile des erläuterten Standes der Technik, eine Übertragung derartiger Rüttelschwingungen auf den stationären Teil einer solchen Anlage, insbesondere den Badbehälter, weitgehend vermieden werden soll.
Die Lösung dieser Aufgabe wird, ausgehend von den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspruches 10, zunächst in den kenn- zeichnenden Merkmalen des Anspruches 10 gesehen. Die vorge¬ sehene Positionierung der Schwinguπgserzeuger hat entspre¬ chend dem eingangs erläuterten Verfahren zur Folge, daß deren Schwingungen fast ausschließlich an das zu behandelnde Gut gelangen, jedoch nicht oder nur geringfügig an den stationären Teil der Anlage, insbesondere den Behälter, weitergegeben werden. Entsprechend der Lehre des Anspruches 1 verläuft die hauptsächliche Richtung der vom Schwinguπgs- erzeuger hervorgebrachten Schwingungen in Richtung der Bohrungen des zu behandelnden Gutes, d.h. der Schwingungser¬ zeuger wird im Hinblick auf die Aufnahme- oder Tragmittel des Gutes so positioniert, daß er in der Richtung der Läπgs- achsenbohrungen des Gutes schwingt. Dabei ist aber auch eine Schwingungsrichtung möglich, die mit der Längsachse der Bohrungen einen gewissen Winkel einnimmt, z.B. bei Anwendung der entsprechenden Verfahrensmaßnahmeπ , die vorstehend bereits erörtert wurden, einschließlich einer ständigen Änderung der Lage der Bohrungen durch Drehen des Gutes mit
Hilfe eines Korbes oder dergleichen. Wie aus den nachfolgen¬ den Ausführungen noch näher hervorgeht, können die Schwin¬ gungserzeuger an verschiedenen Stellen zwischen Warenträger und Gut vorgesehen sein, z.B. auch am Tragstab eines die Gutteile aufnehmenden Korbes, an Traggestellen, an der
Warenträgerschiene und anderen Halt- oder Tragmitteln des Gutes. Bei all den vorgenannten Anbringungsmöglichkeiten des Schwinguπgserzeugers befindet er sich an einem Bauteil, an dem sich auch das zu behandelnde Gut befindet, so daß ein unmittelbarer, die Schwingungen übertragender mechanischer Kontakt zum Gut vorhanden ist.
Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung sind den weite¬ ren Unteraπsprücheπ sowie der nachfolgenden Beschreibung und der zugehörigen Zeichnung von erfinduπgsgemäßen Ausführungs¬ beispielen zu entnehmen. In der Zeichnung zeigt:
Fig. 1: ein erstes Ausführungsbeispiel in der Seitenansicht, z.T. geschnitten,
Fig. 2: eine Teildarstelluπg in einer Ansicht gemäß dem Pfeil II in Fig. 1, 6 Fig. 3: eine Ansicht in Richtung des Pfeiles III in Fig. 2,
Fig. 4: eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles IV in Fig. 2,
Fig. 5: eine Darstellung etwa gemäß Fig. 2 mit zusätzlichen Kontaktmitteln, vor dem Absenken des Warenträgers,
10
Fig. 6: eine Ansicht gemäß Fig. 5 nach erfolgtem Absenken des Warenträgers,
Fig. 7: eine weitere Ausführuπgsform der Erfin- - t duπg in der Seitenansicht,
Fig. 8: eine weitere Ausführungsform der Erfin¬ dung in Form eines Tragstabes oder eines Traggestellstabes mit Mitteln zur Aπbriπ- 0 gung von Platten in einer Schräglage,
Fig. 9: ein Detail von Fig. 6 in perspektivischer Ansicht und unter Weglassung der Leiter¬ platten,
25
Fig. 10: eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung schematisch und in der Drauf¬ sicht,
Fig. 11: eine weitere Ausführuπgsmöglichkeit der
30
Erfindung schematisch und in der Frontan¬ sicht.
In den im wesentlichen schematischen Zeichnungen sind nur die für die Erläuterung der vorliegenden Erfindung notweπdi- 35 gen Bauteile dargestellt; nicht aber die übrigen bekannten Bauteile und Vorrichtungen, die für den Betrieb einer naß- chemischen Behandluπgsaπlage dieser Art notwendig sind.
Fig. 1 zeigt den Behälter 1 einer Behaπdlungsstation 2, durch den das zu behandelnde Gut 3, hier mit Bohrungen versehene Leiterplatten, in der Transportrichtuπg 4 hiπ- durchgeführt wird. Die vorgenannten Bohrungen sind aus zeichnerischen Gründen nicht dargestellt. Ihre Längsachsen verlaufen gemäß Ziffer 5. Das Verhältnis Dicke der Platten 3 zum Bohruπgsdurchmesser ist bevorzugt größer als 8:1. In Transport- und Bearbeituπgsrichtuπg 4 sind in der Regel mehrere Behandlungsstationen 2 hintereinander angeordnet. Die Behandlungsflüssigkeit (dies kann auch eine Spülflüssig¬ keit sein) ist mit Ziffer 6 angedeutet.
Es sind Warenträger 7 vorgesehen, die (siehe auch die Figu¬ ren 2 bis 4) aus einer Warenträgerschiene 8 und diese hal¬ tenden Tragarmen 9 bestehen. An den oberen Abwiπklungeπ 9* der Tragarme 9 greift eine Hubeinrichtung 10 an (hier nur strichpunktiert angedeutet) , welche die Tragarme 9 mit ihren gabelförmigen Enden 9" von einer sogenannten Einweisung 11 des Behälters abhebt und ferner das zu behandelnde Gut aus dem Bad herauszieht, zur nächsten Station weitertraπspor- tiert, dort absenkt und so fort. Während sich das zu behan- delnde Gut im Bad befindet (siehe Figuren 1 bis 5 und 8, 9), werden Schwinguπgserzeuger wirksam, die durchweg mit 12 beziffert sind.
Im Ausführungsbeispiel der Figuren 1 bis 4 erzeugen die Schwiπgungserzeuger 12 Rüttelschwiπgungen in Richtung des Doppelpfeiles 13. Diese Rüttelrichtuπg verläuft im wesentli¬ chen horizontal. Die Schwiπguπgserzeuger 12 sind in diesem Beispiel an den Warenträgerschieπeπ 8 angebracht. Dieses Ausführungsbeispiel zeigt außerdem (siehe Figuren 2 und 4), daß mehrere Schwingungserzeuger, hier zwei Schwiπguπgserzeu¬ ger 12, im Abstand voneinander an jeder Warenträgerschiene 8 vorgesehen sind. Damit kann eine gleichmäßige Rüttelwirkung über die gesamte Länge der jeweiligen Warenträgerschiene 8 erreicht- werden. Wenn nötig, können auch mehr als zwei Schwingungserzeuger an der Warenträgerschiene, ggfls. in unterschiedlichen Abständen voneinander, sowie in entspre- cheπd gewählten Abständen zu den Enden der Schienen 8 so angeordnet werden, daß an der die Schwingung mitmachenden Warenträgerschiene sogenannte "Schwingungsbäuche" und "Schwinguπgskπoten" vermieden werden. Die Rüttelschwingungeπ werden von der jeweiligen Warenträgerschiene 8 auf das jeweilige Traggestell 14 übertragen, an dem, wie angedeutet, die zu behandelnden Leiterplatten oder dergleichen 3 mit Hilfe von Klammern oder dergleichen 15 angebracht sind. Je nach Art des Schwinguπgserzeugers 12 können im übrigen auch Schwingungen erzeugt werden, die nicht nur parallel zur Richtung des Doppelpfeiles 13 verlaufen und sich ebenfalls auf das zu behandelnde Gut übertragen.
Um die mit der Erfindung erzeugten Rüttelschwinguπgen völlig oder zumindest weitgehend vom stationären Teil der Anlage fernzuhalten, sind entsprechende Mittel vorgesehen. Dies kann z.B. in der Weise erreicht werden, daß die Warenträger¬ schiene 8 in der Rüttelrichtung 13 sehr elastisch ist, z.B. den insbesondere Fig. 1 zu entnehmenden dünnen Querschnitt aufweist. Dieser dünne, mit seiner langen Seite senkrecht zur Rüttelrichtung 13 verlaufende Querschnitt kann somit in der Rüttelrichtung leicht elastisch-federnd nachgeben. Hieraus ergibt sich in Verbindung mit der Elastizität des verwendeten Materiales der Warenträgerschiene eine Übertra¬ gung der Schwingungen des Schwingungserzeugers 12 aus¬ schließlich, oder nahezu ausschließlich, auf die Warenträ¬ gerschiene, und von dieser auf das hiervon gehaltene Gut. Eine weitere Ausführungsmöglichkeit für das vorerwähnte Fernhalten der Schwingungen vom stationären Teil der Anlage wären z.B. elastische Lagerungen 27 der Einweisungen 11 auf den nachstehend näher erläuterten Stangen 17.
Bevorzugt sind die Schwingungserzeuger mit Hilfe eines angedeuteten Elektromotors 16 angetrieben. Oie Stromübertra¬ gung erfolgt mit Hilfe von Kontakten, die näher in Fig. 5 und 6 dargestellt sind und beim Übergreifen der gabelartigen Enden 8' über die jeweilige Einweisung 11 geschlossen wer¬ den. Hierzu zeigt Fig. 5 den Warenträger 7, der gemäß den Pfeilen 27 in die Behaπdlungsstation 2 abgesenkt wird. Am Tragarm 9 des Wareπträgers ist ein Kontaktoberteil 28 und an der Behandlungsstation 2 ein zugehöriges Kontaktunterteil 29 vorgesehen. Sobald der vorgenannte Absenkvorgang beendet ist, d.h. die abgesenkte Endlage gemäß Fig. 6 erreicht wurde, in der sich das zu behandelnde Gut im Bad 3 befindet, liegen die Kontakte 28, 29 aneinander an. Wie strichpunk¬ tiert mit Ziffer 30 angedeutet, ist dann die Stromzufuhr zu den elektrischen Antrieben 16 der Schwinguπgserzeuger gege¬ ben. Diese Schließung der Kontakte und damit das Inbetrieb¬ setzen der Schwingungserzeuger 12 erfolgt somit also selbst¬ tätig nach dem erfolgten Einbringen des Gutes in das Bad 6. Mit dem Herausnehmen des Gutes aus dem Bad werden die vorge¬ nannten Kontakte dann ebenso selbsttätig wieder geöffnet. Die gleiche Kontaktanordnung kann vorgesehen sein, wenn statt eines Elektromotors ein elektromagnetischer Schwin¬ gungserzeuger vorgesehen wird. Die Schwinguπgserzeugung wäre jedoch auch auf nicht elektrischem Wege, z.B. mittels Druck¬ luft, möglich.
Es ist ferner möglich, Schwiπguπgserzeuger vorzusehen, die jeweils verschieden starke Beschleuπigungswerte erzielen und alternierend in unterschiedlichen Richtungen wirken (in der Zeichnung nicht dargestellt). So kann z.B. in der einen Richtung ein Magnet die Warenträgerschiene 8 oder dgl. anziehen, während nach Abschaltung des Magneten durch eine Feder die Warenträgerschiene wieder zurückbewegt werden kann, worauf anschließend wieder der Magnet tätig wird, u.s.w. Bei entsprechender Abstimmung beider Schwingungser¬ zeuger kann in den Bohrungen des Gutes eine Pumpwirkung erzeugt werden, wo die Gasbläscheπ gewissermaßen aus der Bohrung herausgeschoben werden. Die Größe der Unwucht eines Schwiπgungserzeugers und dessen Frequenz sind an die jeweiligen Verhältnisse bzw. Anforde¬ rungen anpaßbar. Wie bereits erwähnt, sind auch kontinuier¬ liche oder diskontinuierliche Veränderungen der Schwiπguπgs- frequeπz, letztere auch durch wiederholtes Ein- und Aus¬ schalten des Schwingungserzeugers, möglich.
Falls die Rüttelschwinguπgeπ nach der Erfindung in Zusammen¬ wirken mit einem langsamen Hin- und Herbewegen des Gutes mit einer sehr geringen Frequeπz von etwa 20 Doppelhübeπ/min. erfolgen sollen (siehe Erläuterung dieser Hin- und Herbewe¬ gung zu Beginn der Beschreibung) , sind hierzu Verstellstan- geπ 17 vorgesehen, die durch eine nicht dargestellte Vor¬ richtung im vorgenannten Sinne in Richtung der Doppelpfeile 13 in ihrer Längsrichtung hin- und herbewegt werden, und zwar relativ zu dem Behälter 1. Mit den Stangen 17 sind die Einweisungen 11 fest verbunden und übertragen daher deren Bewegung auf das Gut 3.
Das Ausführungsbeispiel der Fig. 7 zeigt eine Warenträger¬ schiene 8 mit Tragarmen 9 und einen Tragstab 18, der an der Warenträgerschiene 8 hängt und über einen Träger 19 einen Korb 20 hält, der zur Aufnahme eines Stapels von zu behan¬ delndem platteπför igen Gut 3 dient. Die Platten, bevorzugt ebenfalls die o.g. Leiterplatten, haben voneinander einen gewissen Abstand, damit die Behandluπgsflüssigkeit zwischen den Platten hindurchfließen kann. Der Schwinguπgserzeuger 12 mit Antrieb 16 ist am Tragstab 18 angebracht. Im übrigen können sinngemäß die Ausgestaltungen und Möglichkeiten auch hier verwendet werden, die an Hand der Figuren 1 bis 4 beschrieben wurden. Grundsätzlich gilt also, daß bei einem der Ausführungsbeispiele erläuterte Kontruktioπeπ, Anwendun¬ gen und Verfahreπsmaßπahmen bei einem der anderen Ausfüh- ruπgsbeispiele ebenfalls vorgesehen sein können. Bei der erläuterten Kombination einer höherfrequenten Rütte¬ lung nach der Erfindung mit einer demgegenüber niederfre¬ quenten Hin- und Herbewegung mit Hilfe der Stange 17 können sich durch die Überlagerungen beider Schwingungen eπtspre- cheπde Effekte (Oberwellen) ergeben.
Der Korb 20 kann um eine Drehachse, hier eine horizontal verlaufende Drehachse 21, in Richtung eines oder beider Pfeile 22, 23 gedreht oder auch hin- und hergeschweπkt werden. Die hiermit erzielte Bewegung der Platten 3 überla¬ gert sich der Rüttelung durch den Schwinguπgserzeuger 12, die auch hier hauptsächlich in Richtung des Doppelpfeiles 13 geschieht. Dies hat einen intensiveren Austausch der Behaπd- lungsflüssigkeit in den Zwischenräumen zwischen den eiπzel- neπ Platten und ferner auch eine intensivere Durchspülung der Bohrungen der Platten und Abtrennen oder Loslösen der Gasbläschen zur Folge. Dies wird insbesondere dadurch er¬ reicht, daß mit dem vorgenannten Drehen oder Schwenken die Bohrungen der Platten nicht stets waagerecht verlaufen, sondern periodisch auch schräg oder senkrecht zur Waagerech¬ ten.
Fig. 8 zeigt eine mögliche Schräglage des Gutes (hier eben¬ falls Platten 3) , die von entsprechend schräg zur Senkrech- ten verlaufenden Schlitzen 24 von Halterungen 25 des Tragge¬ stelles 14 gehalten werden. Hierzu werden die Platten mit ihren seitlichen Kanten in die Schlitze 24 eingesteckt; gegebenenfalls auch durch Klemmschrauben oder dgl. gesi¬ chert. Fig. 8, insbesondere auch Fig. 9 zeigen, daß in diesem Ausführuπgsbeispiel drei übereinander liegende Halte- ruπgen 25 mit Schlitzen 24, 24' und 24" vorgesehen sind, deren Richtung schräg zur Längsachse des Traggestelles 14 verläuft und die so versetzt an den Halterungen 25 vorgese¬ hen sind, daß diese Schlitze miteinander fluchten und den Rand einer Platte 3 aufnehmen können. In diesem Beispiel ist die Anordnung der Platten so, daß sie zwar schräg zur Senk¬ rechten verlaufen und damit auch der Längsachse der zu reinigenden Bohrungen eine entsprechende Schräglage zur Horizontalen geben, wobei die Platten 3 senkrecht zur Rüt- telrichtung 13 angeordnet sind.
Fig. 10 zeigt im Prinzip eine demgegenüber andere Variante, bei welcher die Platten 3 eine Schräglage haben, die einen spitzen Winkel mit der Rüttelrichtung 13 bildet. Dies erleichtert ein Hindurchfließeπ und damit Austauschen der Behandlungsflüssigkeit in den Räumen 26 zwischen den Plat¬ ten. Die Schräglagen gemäß Fig. 8, 9 einerseits und Fig. 10 andererseits können auch kombiniert vorgesehen werden.
Fig. 11 zeigt eine weitere Variante der Anbringung eines
Schwingungserzeugers 12, und zwar zwischen zwei Traggestel- leπ 14, die an der Warenträgerschiene 8 hängen. Der Schwin¬ gungserzeuger 12 ist so ausgelegt, daß seine hauptsächliche Schwingung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 11 verläuft. Mit 3 sind wieder zu behandelnde Platten beziffert.
Alle dargestellten und beschriebenen Merkmale sind erfin- dungsweseπtlich, soweit sie nicht ausdrücklich als bekannt bezeichnet wurden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Hin- und Herbewegung eines Bohrungen aufweisenden Gutes, insbesondere von Leiterplatten mit einem Verhältnis von Leiterplattendicke zum Bohrungs¬ durchmesser 8:1, bei dessen naßchemischer Behandlung, z.B. Galvanisieren, während des Aufenthaltes des Gutes in der jeweiligen Behandlungsstation, wobei im übrigen das ausgehobene Gut entlang der Behandlungsstationen transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) mit Schwingungen einer Frequenz von zumindest 4 - 5 Hz gerüttelt wird, daß die Schwiπgungsrichtung zumindest teilweise und/oder zeitweise in Richtung der Längsachse (5) der Bohrungen verläuft, und daß die Rüttelschwingun¬ gen nur oder zumindest überwiegend auf den Tragteil des Gutes ausgeübt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) während der Rüttelung im Bad (1) gedreht oder geschwenkt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich¬ net, daß das Gut (3) während der Rüttelung eine Schräg- läge derart erhält, daß die Längsachse (5) der Bohrungen im Winkel zur Rüttelrichtung (13) verläuft.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Gut (3) während der Rütte¬ lung Schläge bzw. schlagartige Stöße ausgeübt werden.
Verfahren nach einem der Aπspüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Rüttelschwiπguπgen während einer Behandlung entweder kontinuierlich oder diskontinuierlich verändert wird.
Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß während einer Behandlung die Rüttelschwingung mehrmals abgeschaltet und wieder zugeschaltet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch • gekennzeichnet, daß die Rüttelfrequeπz gleich der Netz¬ frequenz (50 Hz) ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu der Rüttelschwingung auf das Gut ferner eine an sich bekannte, gegenüber der Rüttelfrequeπz wesentlich niederfrequentere Hin- und Herbewegung des Gutes mit einer Frequeπz von z.B. 20 Doppelhüben/min. ausgeübt wird, wobei die niederfrequen¬ te Bewegung in der gleichen Richtung verläuft wie die Rüttelschwingung.
9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Amplitude der höherfrequenten Rüttelung im Bereich von etwa 0,5 bis 3 mm und eine Amplitude der niederfrequen¬ teren Hin- und Herbewegung von 2x10 bis 2x40 mm.
10. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei mehrere Behälter bzw. Behand- luπgsstationeπ zur Aufnahme der jeweiligen Behaπdlungs- flüssigkeit (auch von einer Spülflüssigkeit) in der
Behaπdlungstransportrichtuπg (4) hintereinander vorgese¬ hen sind, und wobei das Gut (3) mittels Warenträger (7, 8) in den jeweiligen Badbehälter eingebracht und nach der Behandlung wieder daraus herausgehoben und weiter- traπsportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß zumin¬ dest ein Schwiπgungserzeuger (12), der Rüttelschwingun¬ gen einer Frequenz von zumindest 4 - 5 Hz erzeugt, an einem Transport- und/oder Tragteil angebracht ist, mittels dessen das Gut bei seinem Transport, während des Einbringens in das Bad und während seines Verweilens in dem Bad gehalten ist, und daß zwischen Schwingungserzeu¬ ger und stationären Anlageteilen die Schwiπgungsübertra- gung sperrende, zumindest weitgehend dämpfende Mittel vorgesehen sind.
11. Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schwingungserzeuger am Warenträger, insbe¬ sondere der Warenträgerschiene (8), angebracht ist.
12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine im Querschnitt relativ dünne Warenträgerschiene mit einem geringen Widerstandsmoment in Schwingungsrichtung (13) vorgesehen ist.
13. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den oder die Schwiπgungser¬ zeuger tragendeπden Tragteil und stationären Teilen elastische Schwiπgungsdämpfer (27) vorgesehen sind.
14. Anordnung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Schwinguπgserzeuger (12) im Abstand voneinander an einer Warenträgerschiene (8) angebracht sind.
15. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Schwiπgungserzeuger an Tragteilen angebracht sind, die einerseits von der Warenträgerschiene (8) gehalten sind und andererseits das Gut (3) tragen.
16. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch die Anbringung eines oder mehrerer Schwinguπgserzeuger (12) an einem Tragstab bzw. an Tragstäben (18) .
17. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch eine oder mehrere Schwinguπgserzeuger (12) an einem Tragge¬ stell (14) .
18. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch die Anbringung eines oder mehrerer Schwingungserzeuger an Klammern, die einerseits an der Warenträgerschiene (8) und andererseits am zu behandelnden Gut (3) angreifen.
19. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, gekenn¬ zeichnet durch Bauart und Anordnung des jeweiligen Schwingungserzeugers (12) derart, daß die Amplitude seiner Rüttelschwinguπg hauptsächlich in einer Rüttel¬ richtung (13) verläuft.
20. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, gekeπn- zeichnet durch einen Schwinguπgserzeuger einer Bauart und Anordnung derart, daß seine Rüttelfrequeπz Amplitu¬ den in allen Richtungen aufweist.
21. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 20, gekenπ- zeichnet durch eine Anordnung mehrerer Schwingungserzeu¬ ger an einer Warenträgerschiene oder dgl. derart, daß die Amplitude der Rüttelschwingung über die gesamte Länge der Warenträgerschiene (12) etwa gleich ist, so daß "Schwingungsbäuche" und "Schwingungsknoteπ" der Rüttelamplitude an der Schiene im wesentlichen vermieden sind .
22. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 11, gekenn¬ zeichnet durch einen elektrischen Antrieb der Schwin¬ guπgserzeuger (12) .
23. Anordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß zur Stromübertragung auf den elektrischen Antrieb des oder der Schwiπgungserzeuger (12) an oder nahe von stationären Einweisungen (11) für die Wareπträgerarme (9, 9") und an den Wareπträgerarmen (9, 9") Kontakte (28, 29) zugehöriger elektrischer Leitungen vorgesehen sind, derart, daß beim Aufsitzen der Warenträgerarme (9, 9") auf den Einweisungen die Kontakte geschlossen und der Strom zu dem elektrischen Antrieb (16) der Schwingungserzeuger (12) geleitet (30) ist.
24. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 23, gekenn¬ zeichnet durch Frequeπzumrichter zur Veränderung der Rüttelfrequenz des oder der Schwinguπgserzeuger (12).
25. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 24, gekenn¬ zeichnet durch Mittel, die dem zu behandelnden Gut (3) während der Behandlung eine Schräglage derart geben, daß die Längsachse (5) der Bohrungen im spitzen Winkel zur Rüttelrichtung (13) verläuft.
26. Anordnung nach Anspruch 25, gekennzeichnet durch Halte- ruπgeπ (25) mit schräg und versetzt zueinander angeord¬ neten Schlitzen (24, 24', 24") zur Aufnahme und Halt der Seiteπkanten vom zu behandelnden plattenförmigeπ Gut (3)-
27. Anordnung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das Gut (3) sich in einem Behandlungskorb (20) befindet, der über Tragmittel (18, 19) an der Wareπträgers'-nieπe (7) hängt.
28. Anordnung nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß der Behandlungskorb (20) um eine Achse, bevorzugt eine horizontale Achse (21), zu seinem Tragmittel (19) dreh¬ bar oder schwenkbar ist, daß Mittel zur Erzeugung dieser Drehung oder Schwenkung des Korbes (20) vorgesehen sind, und daß das Gut im Korb gegen Herausfallen gesichert ist.
29. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 28, gekenn¬ zeichnet durch Schläge oder Stöße auf das Gut (3) oder dessen Haltemittel erzeugende Vorrichtungen, z.B. einen luftdruckbetätigter Stößel oder Hammer.
30. Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß Schwingungserzeuger unterschiedlich starker Beschleunigungswerte vorgesehen und so in Bezug auf das zu behandelnde Gut angeordnet sind, daß Schwin¬ gungserzeuger eines Beschleunigungswertes in einer Richtung und Schwiπgungserzeuger eines anderen Beschleu- πiguπgswertes in der entgegengesetzten Richtung wirkend vorgesehen sind.
PCT/DE1991/000557 1990-07-06 1991-07-04 Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens Ceased WO1992001088A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019930700020A KR930701641A (ko) 1990-07-06 1991-07-04 습식 화학 처리 즉, 아연 도금 동안 보어를 가진 물품을 이동시키는 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 장치
JP91511324A JPH05508744A (ja) 1990-07-06 1991-07-04 複数の孔を有する被処理製品をその湿式化学処理時、例えば電気メッキ時に運動させる方法並びに該方法を実施する装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4021581A DE4021581A1 (de) 1990-07-06 1990-07-06 Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DEP4021581.4 1990-07-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1992001088A1 true WO1992001088A1 (de) 1992-01-23

Family

ID=6409800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE1991/000557 Ceased WO1992001088A1 (de) 1990-07-06 1991-07-04 Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0539390A1 (de)
JP (1) JPH05508744A (de)
KR (1) KR930701641A (de)
CA (1) CA2086762A1 (de)
DE (1) DE4021581A1 (de)
WO (1) WO1992001088A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996021341A1 (de) * 1995-01-05 1996-07-11 Hübel, Egon Verfahren und vorrichtung zur behandlung von mit feinsten löchern versehenen plattenförmigen werkstücken
EP0915182A1 (de) * 1997-10-21 1999-05-12 Nihon Techno Kabushiki Kaisha Plattierungsverfahren
WO2001072096A1 (de) * 2000-03-23 2001-09-27 Atotech Deutschland Gmbh Behandlung von schaltungsträgern mit impulsartiger anregung
WO2014064153A3 (de) * 2012-10-24 2014-09-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur erzeugung von metallisierungen in sackloch-vias

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4133561C2 (de) * 1991-10-10 1994-02-03 Reinhard Kissler Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Galvanisieren von Waren
DE4212045C1 (de) * 1992-04-07 1993-12-02 Schering Ag Verfahren und Vorrichtung zur chemischen und/oder galvanischen Behandlung von Werkstücken
DE10259367A1 (de) * 2002-12-18 2004-07-08 Siemens Ag Verfahren zur Verbesserung der Wechselwirkung zwischen einem Medium und einem Bauteil
DE102007026635B4 (de) * 2007-06-06 2010-07-29 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung zum nasschemischen Behandeln von Ware, Verwendung eines Strömungsorgans, Verfahren zum Einbauen eines Strömungsorgans in die Vorrichtung sowie Verfahren zur Herstellung einer nasschemisch behandelten Ware
KR101303302B1 (ko) * 2011-05-27 2013-09-03 박경이 도금용 플라이트 바
KR101295339B1 (ko) * 2011-06-09 2013-08-09 박경이 도금장치
KR101346837B1 (ko) * 2011-12-30 2014-01-03 (주)포인텍 기판의 기포 제거장치 및 제거방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE953759C (de) * 1954-10-20 1956-12-06 W Kampschulte & Cie Dr Verfahren und Vorrichtung zum Bewegen der Werkstuecktraeger od. dgl. bei galvanischen Baedern
US2833708A (en) * 1955-05-05 1958-05-06 Rockwell Spring & Axle Co Electroplating apparatus
US4875982A (en) * 1987-02-06 1989-10-24 Velie Circuits, Inc. Plating high aspect ratio holes in circuit boards

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3461045A (en) * 1965-10-21 1969-08-12 Teletype Corp Method of plating through holes
DE3105313A1 (de) * 1981-02-13 1982-08-19 Dr.-Ing. Max Schlötter GmbH & Co KG, 7340 Geislingen Verfahren und vorrichtung zur behandlung von werkstuecken
DE3905100A1 (de) * 1989-02-20 1990-08-23 Hans Henig Verfahren und vorrichtung zum elektrolytaustausch vornehmlich in engen vertiefungen grossflaechiger werkstuecke

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE953759C (de) * 1954-10-20 1956-12-06 W Kampschulte & Cie Dr Verfahren und Vorrichtung zum Bewegen der Werkstuecktraeger od. dgl. bei galvanischen Baedern
US2833708A (en) * 1955-05-05 1958-05-06 Rockwell Spring & Axle Co Electroplating apparatus
US4875982A (en) * 1987-02-06 1989-10-24 Velie Circuits, Inc. Plating high aspect ratio holes in circuit boards

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Chemical Abstracts, Band 108, Nr. 2, Januar 1988, (Columbus, Ohio, US), siehe Seite 464, Zusammenfassung Nr. 13079f, & JP-A-62 196 398 (SATIC K.K.) 29. August 1987 *
Patent Abstracts of Japan, Band 5, Nr. 49 (C-49)[721], 8. April 1981, & JP-A-56 3690 (IBIGAWA DENKI KOGYO) 14. Januar 1981 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996021341A1 (de) * 1995-01-05 1996-07-11 Hübel, Egon Verfahren und vorrichtung zur behandlung von mit feinsten löchern versehenen plattenförmigen werkstücken
EP0915182A1 (de) * 1997-10-21 1999-05-12 Nihon Techno Kabushiki Kaisha Plattierungsverfahren
US6261435B1 (en) 1997-10-21 2001-07-17 Nihon Techno Kabushiki Kaisha Plating method
KR100296780B1 (ko) * 1997-10-21 2002-11-18 니혼테크노 가부시기가이샤 도금방법및도금장치
WO2001072096A1 (de) * 2000-03-23 2001-09-27 Atotech Deutschland Gmbh Behandlung von schaltungsträgern mit impulsartiger anregung
DE10015349A1 (de) * 2000-03-23 2001-10-25 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von durchgehende Löcher und/oder Vertiefungen aufweisenden Schaltungsträgern sowie Anwendung des Verfahrens und Verwendung der Vorrichtung
US6908515B2 (en) 2000-03-23 2005-06-21 Atotech Deutschland Gmbh Treatment of circuit support with impulse excitation
WO2014064153A3 (de) * 2012-10-24 2014-09-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur erzeugung von metallisierungen in sackloch-vias

Also Published As

Publication number Publication date
KR930701641A (ko) 1993-06-12
CA2086762A1 (en) 1992-01-07
DE4021581A1 (de) 1992-01-09
DE4021581C2 (de) 1993-09-02
JPH05508744A (ja) 1993-12-02
EP0539390A1 (de) 1993-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1992001088A1 (de) Verfahren zur bewegung eines bohrungen aufweisenden gutes bei dessen nasschemischer behandlung, z.b. galvanisierung, sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens
WO2012052083A1 (de) Verfahren zur reinigung eines förderers für landwirtschaftliche produkte und förderer für landwirtschaftliche produkte
CH683007A5 (de) Verfahren zum kontinuierlichen Austausch der wässrigen Lösungen während einer Oberflächenbehandlung sowie eine Vorrichtung dazu.
DE3905100C2 (de)
AT391148B (de) Anordnung fuer das bringen von zu galvanisierenden teilen in ein bzw. aus einem haengegestell
EP1266546A1 (de) Behandlung von schaltungsträgern mit impulsartiger anregung
DE4091546C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit Fluiden
EP0144031A1 (de) Vorrichtung zum Entkernen von Gussstücken durch Vibrationsschwingungen
DE4106733A1 (de) Vorrichtung zum abblenden von feldlinien in einer galvanikanlage (iii)
EP0801883B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von mit feinsten löchern versehenen plattenförmigen werkstücken
EP0286880B1 (de) Trockeneinrichtung für schüttfähiges Gut
DE3942762C1 (de)
DE29780429U1 (de) Ultraschall-Reinigungsvorrichtung
EP0348712B1 (de) Einrichtung zum Vibrationsfüllen von porösen Elektrodengerüsten für galvanische Zellen
DE4133561C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Galvanisieren von Waren
DE3105313A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von werkstuecken
WO2010091526A1 (de) Vibrationswendelförderer zum entstauben und entgraten von kleinteilen
DE4016236C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten und/oder Behandeln in ein Medium eingetauchter Leiterplatten
WO2007090637A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von werkstücken
EP0329807B1 (de) Vorrichtung zur Behandlung von elektrischen Leiterplatten
DE69220575T2 (de) Gestell für Vorrichtungen zur Oberflächenbehandlung mit Bädern sowie Herstellungsverfahren
DE3829508A1 (de) Verfahren zur behandlung von gegenstaenden in chemischen oder galvanischen baedern
DE102009011056A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen eines Werkstücks
DE4238644C1 (de) Verfahren zum Behandeln von Leiterplatten bei Tauchvorgängen in chemischen Medien
DE8104011U1 (de) Vorrichtung zum behandeln von werkstuecken

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CA JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU NL SE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1991911680

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2086762

Country of ref document: CA

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1991911680

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1991911680

Country of ref document: EP