DE4021581C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Anordnung ist Gegenstand des nachveröffentlichten DE-Patents 39 05 100. Der weiter unten zitierte kennzeichnende Teil des Anspruchs 1 der Erfindung ist den veröffentlichten Unterlagen des DE-Patents 39 05 100 nicht zu entnehmen.

Zum vorveröffentlichten Stand der Technik ist es bekannt, daß während des Aufenthaltes des zu behandelnden Gutes in der Behandlungsstation (Bad) durch am Badbehälter geführte Stangen über die Warenträger das Gut senkrecht zur Gutebene mit einer Hublänge von 2×10 bis 2×40 mm und einer Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min. hin- und herbewegt wurde. Mit dieser "Warenbewegung" sollten die Bohrungen des Gutes, insbesondere plattenförmigen Gutes wie Leiterplatten, von Rückständen gereinigt und insbesondere von darin sich aufgrund der chemischen Behandlung gebildeten Gasbläschen befreit werden. Es hat sich gezeigt, daß die vorgenannte Maßnahme vielfach und insbesondere dann nicht mehr ausreicht, wenn das Verhältnis der Plattendicke (insbesondere der Dicke von Leiterplatten) zum Durchmesser der Bohrung den Wert von 8 : 1 übersteigt (sogenannter Aspect ratio größer als 8 : 1).

Aus US-PS 48 75 982 ist es bekannt, eine mit der Gleichstromquelle verbundene und mit einer Kupferschicht überzogene Platte in Richtung ihrer Ebene auf und ab zu bewegen. Diese Bewegung dient aber nur dazu, Bohrungen der Leiterplatte vor Saugschlitze zu bringen, so daß durch eine Pumpe der Elektrolyt durch Bohrungen im zu bearbeitenden Gut durchbewegt wird. Dies hat aber keine Berührungspunkte mit der vorliegenden Erfindung, insbesondee auch nicht mit deren Oberbegriff. US-PS 34 61 045 zeigt die Bewegung einer mit Löchern versehenen aus Wachs bestehenden Gießform, die mit etwa fünf Schwingungen pro Minute innerhalb eines Elektrolyten hin und herbewegt wird. Diese Schwingung betrifft nur die vorbekannte Warenbewegung und hat darüber hinaus eine noch niedrigere Frequenz, als es vorstehend zum Stand der Technik erläuert wurde. Somit ist auch dieser Literaturstelle die vorliegende Erfindung nicht zu entnehmen. DE-OS 31 95 313 zeigt lediglich eine Rüttelung, um auf der Oberfläche von zu galvanisierten Platten anhaftende Gasbläschen abzulösen. Diese Literaturstelle gibt aber keinen Hinweis dahingehend, bei Rüttelschwingungen in Richtung der Längsachsen von Bohrungen dieser Platten für einen entsprechenden Durchtritt der Elektrolytflüssigkeit durch die Bohrungen die nachstehend beschriebene Erfindung zu verwirklichen.

Die Aufgabe bzw. Problemstellung der Erfindung besteht demgegenüber darin, die erzeugte Schwingung über die Breite der zu rüttelnden Platten möglichst gleichmäßig und dabei mit einer möglichst großen Intensität weitergeben zu können.

Die Lösung dieser Aufgabe wird zunächst in den Merkmalen des Kennzeichens des Anspruchs 1 gesehen. Die vorgesehene Positionierung der Schwingungserzeuger hat zur Folge, daß deren Schwingung über die Breite der zu rüttelnden Platten möglichst gleichmäßig und dabei mit einer möglichst großen Intensität fast ausschließlich an das zu behandelnde Gut gelangen, jedoch nicht oder nur geringfügig an den stationären Teil der Anlage, insbesondere den Behälter, weitergegeben werden. Gemäß dem Oberbegriff verläuft dabei die hauptsächliche Richtung der von den Schwingungserzeuger hervorgebrachten Schwingungen in Richtung der Bohrungen des zu behandelnden Gutes, d. h. die Schwingungserzeuger sind so positioniert, daß sie in der Richtung der Längsachsenbohrungen des Gutes schwingen. Dabei ist aber auch eine Schwingungsrichtung möglich, die mit der Längsachse der Bohrungen des Gutes einen gewissen Winkel einnimmt.

Eine zum Gegenstand des Anspruchs alternative Lösung der Aufgabenstellung der Erfindung ist Gegenstand des Anspruchs 4. Hiermit werden die erläuterten Vorteile bei Anordnungen erreicht, die ein oder mehrere Traggestelle aufweisen, die einerseits von einer Warenträgerschiene gehalten sind und andererseits das Gut tragen. Auch hierbei befindet sich der jeweilige Schwingungserzeuger an einem Bauteil, an dem sich das zu behandelnde Gut befindet, so daß ein unmittelbarer die Schwingungen übertragender mechanischer Kontakt zum Gut auch hierbei vorhanden ist, nicht aber oder nur geringfügig zu den stationären Teilen der Anlagae.

Die Erfindung ist besonders zur Behandlung von mit Bohrungen versehenen Leiterplatten geeignet, die unter der Abkürzung HARB (High Aspect Ratio Board) bekannt sind.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung sind den weite­ ren Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung und der zugehörigen Zeichnung von erfindungsgemäßen Ausführungs­ beispielen zu entnehmen. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel in der Seitenansicht, z. T. geschnitten,

Fig. 2 eine Teildarstellung in einer Ansicht gemäß dem Pfeil II in Fig. 1,

Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles in Fig. 2,

Fig. 4 eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles IV in Fig. 2,

Fig. 5 eine Darstellung etwa gemäß Fig. 2 mit zusätzlichen Kontaktmitteln vor dem Absenken des Warenträgers,

Fig. 6 eine Ansicht gemäß Fig. 5 nach erfolgtem Absenken des Warenträgers,

Fig. 7 eine weitere Ausführungsform der Erfin­ dung in Form eines Tragstabes oder eines Traggestellstabes mit Mitteln zur Anbrin­ gung von Platten in einer Schräglage,

Fig. 8 ein Detail von Fig. 6 in perspektivischer Ansicht und unter Weglassung der Leiter­ platten,

Fig. 9 eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung schematisch und in der Drauf­ sicht,

Fig. 10 eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Erfindung schematisch und in der Frontan­ sicht.

In den im wesentlichen schematischen Zeichnungen sind nur die für die Erläuterung der vorliegenden Erfindung notwendi­ gen Bauteile dargestellt; nicht aber die übrigen bekannten Bauteile und Vorrichtungen, die für den Betrieb einer naß­ chemischen Behandlungsanlage dieser Art notwendig sind.

Fig. 1 zeigt den Behälter 1 einer Behandlungsstation 2, durch den das zu behandelnde Gut 3, hier mit Bohrungen versehene Leiterplatten, in der Transportrichtung 4 hin­ durchgeführt wird. Die vorgenannten Bohrungen sind aus zeichnerischen Gründen nicht dargestellt. Ihre Längsachsen verlaufen gemäß Ziffer 5. Das Verhältnis Dicke der Platten 3 zum Bohrungsdurchmesser ist bevorzugt größer als 8 : 1. In Transport- und Bearbeitungsrichtung 4 sind in der Regel mehrere Behandlungsstationen 2 hintereinander angeordnet. Die Behandlungsflüssigkeit bzw. das Bad (dies kann auch eine Spülflüssig­ keit sein) ist mit Ziffer 6 angedeutet.

Es sind Warenträger 7 vorgesehen, die (siehe auch die Fig. 2 bis 4) aus einer Warenträgerschiene 8 und diese hal­ tenden Tragarme 9 und einem Traggestell 14 bestehen. An den oberen Abwinklungen 9′ der Tragarme 9 greift eine Hubeinrichtung 10 an (in Fig. 2 nur strichpunktiert angedeutet), welche die Tragarme 9 mit ihren gabelförmigen Enden 9′′ von einer sogenannten Einweisung 11 des Behälters abhebt und ferner das zu behandelnde Gut aus dem Bad herauszieht, zur nächsten Station weitertranspor­ tiert, dort absenkt und so fort. Während sich das zu behan­ delnde Gut im Bad befindet (siehe Fig. 1 bis 5 und 8, 9), werden Schwingungserzeuger wirksam, die durchweg mit 12 beziffert sind. Die Schwingungserzeuger 12 bringen Rüttelschwingungen mit einer Frequenz von zumindest 4 bis 5 Hz hervor, bevorzugt von etwa 50 Hz. Diese Schwingungen haben eine relativ kleine Amplitude. Die Größe der Amplitude ist in der Regel bis zu 2 mm. Sie könnte gegebenenfalls auch noch größer sein, d. h. bis etwa 3 mm. In den Bohrungen des Gutes erfolgt ein intensiver Austausch der Behandlungsflüssigkeit. Aus elektro-chemischen Vorgängen entstandene Gasbläschen werden aus den Bohrungskanälen entfernt. Die Vorteile und Effekte der Erfindung treten auch bei einem Aspect Ratio <8 : 1 ein, einschließlich der Entfernung noch vorhandener Rückstände und/oder Gasbläschen und eines intensiven Austausches der Behandlungsflüssigkeit.

Im Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 4 erzeugen die Schwingungserzeuger 12 Rüttelschwingungen in gleicher Richtung, nämlich der Richtung des Doppelpfeiles 13. Diese Rüttelrichtung verläuft im wesentlichen horizontal. Die Schwingungserzeuger 12 sind in diesem Beispiel an den Warenträgerschienen 8 angebracht. Dieses Ausführungsbeispiel zeigt außerdem (siehe Fig. 2 und 4), daß mehrere Schwingungserzeuger, hier zwei Schwingungserzeuger 12, im Abstand voneinander an jeder Warenträgerschiene 8 vorgesehen sind. Damit kann eine gleichmäßige Amplitude der Rüttelschwingung über die gesamte Länge der jeweiligen Warenträgerschiene 8 erreicht werden, so daß an der die Schwingung mitmachenden Warenträgerschiene sogenannte "Schwingungsbäuche" und "Schwingungsknoten" vermieden werden. Es können auch mehr als zwei Schwingungserzeuger an der Warenträgerschiene, ggfls. in unterschiedlichen Abständen voneinander, sowie in entsprechend gewählten Abständen zu den Enden der Warenträgerschienen 8 so angeordnet werden. Die Rüttelschwingungen werden von der jeweiligen Warenträgerschiene 8 auf das jeweilige Traggestell 14 übertragen, an dem, wie angedeutet, die zu behandelnden Leiterplatten oder dergleichen 3 mit Hilfe von Klammern oder dergleichen 15 angebracht sind. Je nach Art des Schwingungserzeugers 12 können im übrigen auch Schwingungen erzeugt werden, die nicht nur parallel zur Richtung des Doppelpfeiles 13 verlaufen und sich ebenfalls auf das zu behandelnde Gut übertragen. Auch kann der Schwingungserzeuger 12 an Klammern (nicht dargestellt) angebracht sein, die einerseits an der Warenträgerschiene 8 befestigt sind und andererseits das zu behandelnde Gut 3 halten.

Um die mit der Erfindung erzeugten Rüttelschwingungen völlig oder zumindest weitgehend vom stationären Teil der Anlage fernzuhalten, sind entsprechende Mittel vorgesehen. Dies kann z. B. in der Weise erreicht werden, daß die Warenträger­ schiene 8 in der Rüttelrichtung 13 sehr elastisch ist, z. B. den insbesondere Fig. 1 zu entnehmenden dünnen Querschnitt aufweist. Dieser dünne, mit seiner langen Seite senkrecht zur Rüttelrichtung 13 verlaufende Querschnitt kann somit in der Rüttelrichtung leicht elastisch-federnd nachgeben. Hieraus ergibt sich in Verbindung mit der Elastizität des verwendeten Materiales der Warenträgerschiene eine Übertra­ gung der Schwingungen des Schwingungserzeugers 12 aus­ schließlich, oder nahezu ausschließlich, auf die Warenträ­ gerschiene, und von dieser auf das hiervon gehaltene Gut. Eine weitere Ausführungsmöglichkeit für das vorerwähnte Fernhalten der Schwingungen vom stationären Teil der Anlage wären z. B. elastische Lagerungen 27 der Einweisungen 11 auf den nachstehend näher erläuterten Verstellstangen 17.

Bevorzugt sind die Schwingungserzeuger mit Hilfe eines angedeuteten Elektromotors 16 angetrieben. Die Stromübertra­ gung erfolgt mit Hilfe von Kontakten, die näher in Fig. 5 und 6 dargestellt sind und beim Übergreifen der gabelartigen Enden 9′′ über die jeweilige Einweisung 11 geschlossen wer­ den. Hierzu zeigt Fig. 5 den Warenträger 7, der gemäß den Pfeilen 31 in die Behandlungsstation 2 abgesenkt wird. Am Tragarm 9 des Warenträgers ist ein Kontaktoberteil 28 und an der Behandlungsstation 2 ein zugehöriges Kontaktunterteil 29 vorgesehen. Sobald der vorgenannte Absenkvorgang beendet ist, d. h. die abgesenkte Endlage gemäß Fig. 6 erreicht wurde in der sich das zu behandelnde Gut 3 im Bad 6 befindet, liegen die Kontakte 28, 29 aneinander an. Wie strichpunktiert mit Ziffer 30 angedeutet, ist dann die Stromzufuhr zu den elek­ trischen Antrieben 16 der Schwingungserzeuger 12 gegeben. Diese Schließung der Kontakte und damit das Inbetriebsetzen der Schwingungserzeuger 12 erfolgt somit also selbsttätig nach dem erfolgten Einbringen des Gutes in das Bad 6. Mit dem Herausnehmen des Gutes 3 aus dem Bad 6 werden die vorgenannten Kontakte dann ebenso selbsttätig wieder geöffnet. Die glei­ che Kontaktanordnung kann vorgesehen sein, wenn statt eines Elektromotors ein elektromagnetischer Schwingungserzeuger vorgesehen wird. Die Schwingungserzeugung wäre jedoch auch auf nicht elektrischem Wege, z. B. mittels Druckluft, mög­ lich.

Es ist ferner möglich, Schwingungserzeuger vorzusehen, die jeweils verschieden starke Beschleunigungswerte erzielen und alternierend in unterschiedlichen Richtungen wirken (in der Zeichnung nicht dargestellt). So kann z. B. in der einen Richtung ein Magnet die Warenträgerschiene 8 oder dgl. anziehen, während nach Abschaltung des Magneten durch eine Feder die Warenträgerschiene wieder zurückbewegt werden kann, worauf anschließend wieder der Magnet tätig wird, u. s. w. Bei entsprechender Abstimmung beider Schwingungser­ zeuger kann in den Bohrungen des Gutes eine Pumpwirkung erzeugt werden, wo die Gasbläschen gewissermaßen aus der Bohrung herausgeschoben werden.

Die Größe der Unwucht eines Schwingungserzeugers und dessen Frequenz sind an die jeweiligen Verhältnisse bzw. Anforde­ rungen anpaßbar. Wie bereits erwähnt, sind auch kontinuier­ liche oder diskontinuierliche Veränderungen der Schwingungs­ frequenz, letztere auch durch wiederholtes Ein- und Aus­ schalten des Schwingungserzeugers, möglich. Zur Veränderung der Rüttelfrequenz des oder der Schwingungserzeuger(s) können Frequenzumrichter vorgesehen sein (nicht dargestellt).

Da gemäß dem Oberbegriff die Rüttelschwingungen nach der Erfindung in Zusammenwirken mit einem langsamen Hin- und Herbewegen des Gutes mit einer sehr geringen Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min und einer entsprechend großen Amplitude von z. B. 2×10-2×40 mm erfolgen, sind hierzu Verstellstangen 17 vorgesehen, die durch eine nicht dargestellte Vorrichtung im vorgenannten Sinne in Richtung der Doppelpfeile 13 in ihrer Längsrichtung hin- und herbewegt werden, und zwar relativ zu dem Behälter 1. Mit den Verstellstangen 17 sind die Einweisungen 11 fest verbunden und übertragen daher deren Bewegung auf das Gut 3.

Es können Vorrichtungen, beispielsweise ein luftdruckbetätigter Stößel oder Hammer, vorgesehen sein, welche Schläge oder Stöße auf das Gut 3 oder dessen Haltemittel ausüben. Dies fördert bzw. erleichtert ein Ablösen von Gasbläschen von den Oberflächen oder Bohrungswandungen des Gutes. Dieser Effekt kann durch die erläuterte Änderung der Frequenz der Rüttelschwingungen während einer Behandlung oder die wiederholte Zu- und Abschaltung der Rüttelschwingungen unterstützt werden.

Bei der erläuterten Kombination einer höherfrequenten Rüttelung nach der Erfindung mit einer demgegenüber niederfrequenten Hin- und Herbewegung mit Hilfe der Verstellstange 17 können sich durch die Überlagerungen beider Schwingungen entsprechende Effekte (Oberwellen) ergeben.

Fig. 7 zeigt eine mögliche Schräglage des Gutes 3 (hier ebenfalls Platten), die übereinander angeordnet von entsprechend schräg zur Senkrechten verlaufenden Schlitzen 24 von Halterungen 25 des Traggestelles 14 gehalten werden. Hierzu werden die Platten mit ihren seitlichen Kanten in die Schlitze 24 eingesteckt; gegebenenfalls auch durch Klemmschrauben oder dgl. gesichert. Fig. 7, insbesondere auch Fig. 8 zeigen, daß in diesem Ausführungsbeispiel drei übereinander liegende Halterungen 25 mit Schlitzen 24, 24′ und 24′′ vorgesehen sind, deren Richtung schräg zur Längsachse des Traggestelles 14 verläuft und die so versetzt an den Halterungen 25 vorgesehen sind, daß diese Schlitze miteinander fluchten und den Rand einer Platte 3 aufnehmen können. In diesem Beispiel ist die Anordnung der Platten so, daß sie schräg zur Senkrechten verlaufen und damit auch der Längsachse der zu reinigenden Bohrungen eine entsprechende Schräglage zur Horizontalen geben, wobei die Platten 3 entsprechend zur Rüttelrichtung 13 angeordnet sind.

Fig. 7 zeigt ferner eine Ausführung der Form der Erfindung, wonach mindestens ein Schwingungserzeuger 12 an einem oder mehreren Traggestellen 14 angebracht ist, wobei die Traggestelle einerseits von der Warenträgerschiene 8 gehalten sind und andererseits das Gut 3 tragen.

Fig. 9 zeigt eine Variante, bei welcher die Platten 3 ebenso wie in Fig. 7 eine Schräglage haben, die einen spitzen Winkel α mit der Rüttelrichtung 13 bildet. Dies erleichtert ein Hindurchfließen und damit Austauschen der Behandlungsflüssigkeit in den Räumen 26 zwischen den Platten, die in diesem Ausführungsbeispiel jedoch in einer Reihe hintereinander angeordnet sind.

Fig. 10 zeigt eine weitere Variante der Anbringung eines Schwingungserzeugers 12, und zwar zwischen zwei Traggestellen 14, die an der Warenträgerschiene 8 hängen. Der Schwingungserzeuger 12 ist so ausgelegt, daß seine hauptsächliche Schwingung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 11 verläuft. Mit 3 sind wieder zu behandelnde Platten beziffert.

Claims (16)

1. Anordnung zur Hin- und Herbewegung eines Bohrungen aufweisenden Gutes, insbesondere von Leiterplatten mit einem Verhältnis von Leiterplattendicke zum Bohrungsdurchmesser <8 : 1, bei dessen naßchemischer Behandlung während des Aufenthaltes des Gutes in Behandlungsstationen, wobei das Gut von einem Schwingungserzeuger mit Schwingungen einer Frequenz von zumindest 4-5 Hz gerüttelt wird und die Schwingungsrichtung zumindest teilweise und/oder zeitweise in Richtung der Längsachse der Bohrungen verläuft, wobei die Rüttelschwingungen nur oder zumindest überwiegend auf den Tragteil des Gutes ausgeübt werden, wobei zusätzlich zu dieser Rüttelschwingung auf das Gut eine gegenüber der Rüttelfrequenz wesentlich niederfrequentere Hin- und Herbewegung des Gutes mit einer Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min ausgeübt wird, die in der gleichen Richtung verläuft wie die Rüttelschwingung, wobei ferner mehrere Behälter oder Behandlungsstationen zur Aufnahme der jeweiligen Behandlungsflüssigkeit in der Behandlungstransportrichtung hintereinander vorgesehen sind, und wobei das Gut mittels Warenträger in den jeweiligen Badbehälter eingebracht und nach der Behandlung wieder daraus herausgehoben und weitertransportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Schwingungserzeuger (12), die Rüttelschwingungen einer Frequenz von zumindest 4-5 Hz erzeugen, an einem Warenträger (7) im Abstand voneinander angebracht sind, mittels dessen das Gut (3) bei seinem Transport, während des Einbringens in das Bad (2) und während seines Verweilens in dem Bad gehalten ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungserzeuger (12) Rüttelschwingungen mit einer Frequenz von etwa 50 Hz erzeugen.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungserzeuger (12) im Abstand voneinander an einer Warenträgerschiene (8) angebracht sind.

4. Anordnung zur Hin- und Herbewegung eines Bohrungen aufweisenden Gutes, insbesondere von Leiterplatten mit einem Verhältnis von Leiterplattendicke zum Bohrungsdurchmesser <8 : 1, bei dessen naßchemischer Behandlung während des Aufenthaltes des Gutes in Behandlungsstationen, wobei das Gut von einem Schwingungserzeuger mit Schwingungen einer Frequenz von zumindest 4-5 Hz gerüttelt wird, und die Schwingungsrichtung zumindest teilweise und/oder zeitweise in Richtung der Längsachse der Bohrungen verläuft, wobei die Rüttelschwingungen nur oder zumindest überwiegend auf den Tragteil des Gutes ausgeübt werden, wobei zusätzlich zu dieser Rüttelschwingung auf das Gut eine gegenüber der Rüttelfrequenz wesentlich niederfrequentere Hin- und Herbewegung des Gutes mit einer Frequenz von etwa 20 Doppelhüben/min ausgeübt wird, die in der gleichen Richtung verläuft wie die Rüttelschwingung, wobei ferner mehrere Behälter oder Behandlungsstationen zur Aufnahme der jeweiligen Behandlungsflüssigkeit in der Behandlungstransportrichtung hintereinander vorgesehen sind, und wobei das Gut mittels Warenträger in den jeweiligen Badbehälter eingebracht und nach der Behandlung wieder daraus herausgehoben und weitertransportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Schwingungserzeuger (12) an einem oder mehreren Traggestellen (14) angebracht ist, die einerseits von der Warenträgerschiene (8) gehalten sind und andererseits das Gut (3) tragen.

5. Anordnung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch die Anbringung mindstens eines Schwingungserzeugers (12) an Klammern, die einerseits an der Warenträgerschiene (8) befestigt sind und andererseits das zu behandelnde Gut (3) halten.

6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch Bauart und Anordnung der jeweiligen Schwingungsserzeuger (12) derart, daß die Amplitude ihrer Rüttelschwingung hauptsächlich in einer Rüttelrichtung (13) verläufft.

7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine im Querschnitt relativ dünne Warenträgerschiene mit hoher Elastizität in der Rüttelrichtung (13) vorgesehen ist, wobei die lange Seite des dünnen Querschnittes senkrecht zur Rüttelrichtung (13) verläuft.

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch eine Anordnung mehrerer Schwingungserzeuger (12) an einer Warenträgerschiene (8) derart, daß die Amplitude der Rüttelschwingung über die gesamte Länge der Warenträgerschiene (8) etwa gleich ist, so daß Schwingungsbäuche und Schwingungsknoten der Rüttelamplitude an der Warenträgerschiene (8) im wesentlichen vermieden sind.

9. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Schwingungserzeuger (12) in unterschiedlichen Abständen voneinander und in entsprechend gewählten Abständen zu den Enden der Warenträgerschiene (8) angeordnet sind.

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Stromübertragung auf einen elektrischen Antrieb (16) der Schwingungserzeuger (12) an oder nahe von stationären Einweisungen (11) für die Warenträgerarme (9, 9′′) und an den Warenträgerarmen (9, 9′′) Kontakte (28, 29) zugehöriger elektrischer Leitungen vorgesehen sind, derart, daß beim Aufsitzen der Warenträgerarme (9, 9′′) auf den Einweisungen die Kontakte geschlossen und die Stromzufuhr (30) zu den elektrischen Antrieben (16) der Schwingungserzeuger (12) geleitet ist, die sich an diesem Warenträger befinden.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch Frequenzumrichter zur Veränderung der Rüttelfrequenz des oder der Schwingungserzeuger (12).

12. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch Schaltmittel, die während einer Behandlung die Rüttelschwingung mehrmals abschalten und wieder zuschalten.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch Schläge oder Stöße auf das Gut (3) oder dessen Haltemittel erzeugende Vorrichtungen.

14. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß Schwingungserzeuger unterschiedlich starker Beschleunigungswerte vorgesehen und so in Bezug auf das zu behandelnde Gut (3) angeordnet sind, daß Schwingungserzeuger eines Beschleunigungswertes in einer Richtung und Schwingungserzeuger eines anderen Beschleunigungswertes in der entgegengesetzten Richtung wirkend vorgesehen sind.

15. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch Mittel, die dem zu behandelnden Gut (3) während der Behandlung eine Schräglage derart geben, daß die Längsachse (5) der Bohrungen im spitzen Winkel zur Rüttelrichtung (13) verläuft.

16. Anordnung nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch Halterungen (25) mit schräg und versetzt zueinander angeordneten Schlitzen (24, 24′, 24′′) zur Aufnahme und Halt der Seitenkanten vom zu behandelnden plattenförmigen Gut (3).