TWI911649B

TWI911649B - 晶圓盒及其限位裝置

Info

Publication number: TWI911649B
Application number: TW113106029A
Authority: TW
Inventors: 翁連波
Original assignee: 耀連科技股份有限公司
Filing date: 2024-02-20
Publication date: 2026-01-11

Abstract

一種晶圓盒及其限位裝置，該晶圓盒包含一底座、一儲存框架及一蓋體，該限位裝置包括一基座、多個活動板體、至少二擋板及一抵靠組件；該基座包含一橫桿及二延伸臂，每一活動板體包含一轉軸及一固定桿。本發明利用擋板限制活動板體的翻轉路徑，使得抵靠組件能夠較佳地定位在有效接觸該晶圓片的位置上。

Description

晶圓盒及其限位裝置

本發明係關於一種晶圓盒及其限位裝置，特別是關於對儲存的晶圓片作定位及固定的一種晶圓盒及其限位裝置。

積體電路的製造方法和電晶體的製造方法一樣，適合大量生產，這是因為採用所謂整批處理方式，可以將多數個構成積體電路的基本晶片本身，同時形成於一塊晶圓片之中的緣故，由一塊晶圓片所獲得的晶片的數目越多時，其經濟性也就相對的提高。

現今的晶圓片製作技術已相當地成熟，使得工業上的應用相當普遍及便利；然就晶圓片的儲存及收藏方面，便是晶圓片應用領域上極其重要的一個課題；晶圓片固定的目的，在確保晶圓片的收藏完整，不致有缺損、斷裂的情形；收藏的目的乃在於確保晶圓片不受粉塵的污染。

在現有的技術中，晶圓片是置放入內盒體內部，而內盒體外緣切有數條溝槽，以供置設及取出晶圓片之用；內盒體容置於外盒體內，上端有一蓋體，藉由其密封的型式來保存、儲藏晶圓片，此法雖相當簡單，然就晶圓片置入後的定位及固定並未加以保護，使得晶圓片雖於保護盒內有防止外部塵埃污染的功效，但易於因振動、搖晃，造成內部晶圓片的破損，或因晶圓片間的摩擦而生成粉塵，故而極不理想。為了克服上述問題，業者係設計連桿機構，於晶圓盒蓋罩蓋晶圓盒底盤時，同步推移出連桿組，而藉由連桿組的面板，以面接觸形式推移未至定位的晶圓片，使晶圓片得以裝置至定位並固定的。

然而，連桿機構在移動時，容易因外力或結構損壞而無法移動至正確的定位點，無法在最佳的位置接觸晶圓片，使得晶圓片在受到連桿機構接觸的過程中，因不均勻接觸力的碰撞而造成晶圓片的損壞。

因此，為克服現有技術中的缺點和不足，本發明有必要提供改良的一種晶圓盒及其限位裝置，以解決上述習用技術所存在的問題。

本發明之主要目的在於提供一種晶圓盒及其限位裝置，利用擋板的設計，能夠限制活動板體的翻轉路徑，使得抵靠組件能夠較佳地定位在有效接觸該晶圓片的位置上。

為達上述之目的，本發明提供一種晶圓盒的限位裝置，用於安裝在一晶圓盒中，該晶圓盒包含一底座、一儲存框架及一蓋體，該限位裝置包括一基座、多個活動板體、至少二擋板及一抵靠組件；該基座包含一橫桿及二延伸臂，該橫桿配置為組合在該晶圓盒的該蓋體中，該等延伸臂皆自該橫桿沿著遠離該橫桿的一方向延伸，而且該等延伸臂之間形成一活動空間；該等活動板體配置為在該活動空間中轉動，每一活動板體包含一轉軸及一固定桿，該轉軸樞接在該等延伸臂之間；該等擋板分別設置在該等延伸臂上，而且該等擋板配置為用以擋止對應的活動板體朝靠近該橫桿的一方向移動；該抵靠組件樞接在該等活動板體的該等固定桿上，該抵靠組件配置在靠近該基座的一準備位置，及在遠離該基座的一抵靠位置之間移動，當該抵靠組件移動至該抵靠位置時，該抵靠組件係抵靠位於該儲存框架中的晶圓片的邊緣。

在本發明之一實施例中，每一擋板包含一本體部，該本體部設置在對應的延伸臂上且位於該活動空間中。

在本發明之一實施例中，每一擋板另包含一延伸部及一彎曲部，該延伸部自該本體部朝遠離該延伸臂的一方向延伸，該彎曲部位於該本體部及該延伸部之間。

在本發明之一實施例中，每一活動板體另包含一翅片，該翅片自該轉軸向外延伸，該固定桿設置在該翅片的一側。

在本發明之一實施例中，該翅片的一翅片寬度自一中心部朝二相反側漸縮，而且該固定桿位於該中心部。

在本發明之一實施例中，該抵靠組件包含一座體、二接觸板及多個掛扣件，該等接觸板設置在該座體的一表面，而且該等接觸板配置為抵靠位於該儲存框架中的晶圓片的邊緣，該等掛扣件設置在該座體的另一表面，該等掛扣件配置為掛扣在對應的固定桿上。

在本發明之一實施例中，該限位裝置另包括多個套合組件，每一套合組件具有一套合本體，該套合本體配置為套合在對應的固定桿上。

在本發明之一實施例中，每一套合組件另具有至少一凸塊，該凸塊形成在該套合本體上，該凸塊配置為與該抵靠組件的至少一凹槽相卡合。

在本發明之一實施例中，該套合本體的一內表面呈一內凹形狀，用以與對應的固定桿相匹配。

為達上述之目的，本發明提供一種晶圓盒，該晶圓盒包含一底座、一儲存框架及一蓋體，該限位裝置包括一基座、多個活動板體、至少二擋板及一抵靠組件；該基座包含一橫桿及二延伸臂，該橫桿配置為組合在該晶圓盒的該蓋體中，該等延伸臂皆自該橫桿沿著遠離該橫桿的一方向延伸，而且該等延伸臂之間形成一活動空間；該等活動板體配置為在該活動空間中轉動，每一活動板體包含一轉軸及一固定桿，該轉軸樞接在該等延伸臂之間；該等擋板分別設置在該等延伸臂上，而且該等擋板配置為用以擋止對應的活動板體朝靠近該橫桿的一方向移動；該抵靠組件樞接在該等活動板體的該等固定桿上，該抵靠組件配置在靠近該基座的一準備位置，及在遠離該基座的一抵靠位置之間移動，當該抵靠組件移動至該抵靠位置時，該抵靠組件係抵靠位於該儲存框架中的晶圓片的邊緣。

如上所述，本發明晶圓盒的限位裝置透過該等擋板的設計，能夠限制該等翅片的翻轉路徑，使得該抵靠組件能夠較佳地定位在有效接觸該晶圓片的位置上。同時，該等擋板的延伸部能夠均勻施力在對應的翅片上，避免該等翅片產生左右傾斜之翻轉。另外，該等擋板的延伸部分別頂抵對應的翅片的二端部，由於該等端部等距地位於該固定桿的二相反側，使得該等擋板的延伸部能夠均勻施力在對應的翅片上，避免該等翅片產生左右傾斜之翻轉。該等套合組件能夠套合在對應的固定桿上，使得該等固定桿被限位而不容易因外力影響而脫出該等掛扣件。

101:底座

102:儲存框架

103:蓋體

104:晶圓片

2:基座

20:活動空間

21:橫桿

22:延伸臂

3:活動板體

31:轉軸

32:固定桿

33:翅片

4:擋板

41:本體部

42:延伸部

43:彎曲部

5:抵靠組件

51:座體

52:接觸板

53:掛扣件

54:凹槽

55:支撐輪

6:套合組件

61:套合本體

62:凸塊

圖1是根據本發明一實施例的晶圓盒的立體分解圖。

圖2是圖1的晶圓盒的側視圖。

圖3是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的立體分解圖。

圖4是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的另一視角的立體圖。

圖5是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的抵靠組件在準備位置的側視圖。

圖6是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的抵靠組件在抵靠位置的側視圖。

圖7是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的活動板體對應抵靠組件在準備位置的側視圖。

圖8是根據本發明一實施例的晶圓盒的的限位裝置的活動板體對應抵靠組件在抵靠位置的側視圖。

為了讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本發明實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。再者，本發明所提到的方向用語，例如上、下、頂、底、前、後、左、右、內、外、側面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發明，而非用以限制本發明。

請參照圖1及圖2所示，為本發明實施例的一種晶圓盒的限位裝置，其中該限位裝置係安裝在該晶圓盒中，該晶圓盒包含一底座101、一儲存框架102及一蓋體103，該儲存框架102安裝在該底座101上，而且該儲存框架102配置供多片晶圓片104容置在其中，該蓋體103覆蓋在該儲存框架102上。該限位裝置包括一基座2、多個活動板體3、至少二擋板4及一抵靠組件5。本發明將於下文詳細說明各元件的細部構造、組裝關係及其運作原理。

請參照圖1、圖3及圖4所示，該基座2包含一橫桿21及二延伸臂22，該橫桿21配置為組合在該晶圓盒的該蓋體103中，該等延伸臂22皆自該橫桿21沿著遠離該橫桿21的一方向延伸，而且該等延伸臂22之間形成一活動空間20。

在本實施例中，該基座2的橫桿21透過螺絲鎖合在該蓋體103的頂部，當該蓋體103覆蓋在該儲存框架102時，該基座2會位於該儲存框架102的一側。

請參照圖4及圖7所示，該等活動板體3配置為在該活動空間20中轉動，每一活動板體3包含一轉軸31、一固定桿32及一翅片33，其中該轉軸31樞接在該基座2的該等延伸臂22之間，該翅片33自該轉軸31向外延伸，該固定桿32設置在該翅片33的一側。具體地，該翅片33的一翅片寬度自一中心部朝二相反側漸縮，而且該固定桿32位於該中心部。

在本實施例中，該等活動板體3會隨著該抵靠組件5上下移動而進行連動，使得該等翅片33以對應的轉軸31為軸心進行轉動。當該抵靠組件5往上移動，該等翅片33即向上翻轉，當該抵靠組件5往下移動，該等翅片33則向下翻轉。

續參照圖4及圖7所示，該等擋板4分別設置在該基座2的該等延伸臂22上，而且該等擋板4配置為用以擋止對應的活動板體3的翅片33朝靠近該橫桿21的一方向移動。進一步來說，每一擋板4包含一本體部41、一延伸部42及一彎曲部43，該本體部41設置在對應的延伸臂22上，而且該本體部41位於該活動空間20中。具體地，該延伸部42自該本體部41朝遠離該延伸臂22的一方向延伸，該彎曲部43位於該本體部41及該延伸部42之間。

在本實施例中，由於該等擋板4的設計，該等翅片33向上翻轉而移動至一水平位置時(見圖8)，該等擋板4即抵止該等翅片33持續翻轉，該抵靠組件5因該等翅片33被限位而停止連動，使得該抵靠組件5能夠較佳地定位在有效接觸如圖1所示的晶圓片104的位置上。另外，該等擋板4的延伸部42分別頂抵對應的翅片33的二端部(見圖8)，由於該等端部等距地位於該固定桿32的二相反側，使得該等擋板4的延伸部42能夠均勻施力在對應的翅片33上，避免該等翅片33產生左右傾斜之翻轉。

請參照圖3、圖4及圖7所示，該抵靠組件5樞接在該等活動板體3的該等固定桿32上，該抵靠組件5配置在靠近該基座2的一準備位置，及在遠離該基座2的一抵靠位置之間移動，當該抵靠組件5移動至該抵靠位置時，該抵靠組件5係抵靠位於該儲存框架102中的晶圓片104的邊緣。

請參照圖1、圖3及圖4所示，該抵靠組件5包含一座體51、二接觸板52、多個掛扣件53及至少一支撐輪55，其中該等接觸板52設置在該座體51的一表面，而且該等接觸板52配置為抵靠位於該儲存框架102中的晶圓片的邊緣，該等掛扣件53設置在該座體51的另一表面，該等掛扣件53配置為掛扣在對應的固定桿32上。

在本實施例中，如圖5所示，該抵靠組件5在該準備位置，該抵靠組件5因重力往下移動而靠近該基座2，此時，該支撐輪55為懸空狀態。如圖6所示，該抵靠組件5在該抵靠位置，即該支撐輪55接觸該底座101而被向上推抵，使該抵靠組件5往上移動，此時，該等接觸板52會往靠近該儲存框架102的一方向移動，並且接觸如圖1所示的晶圓片104，使得該晶圓片104被限位而固定在該儲存框架102內的一空間中。

請參照圖1、圖3及圖7所示，該限位裝置另包括多個套合組件6，每一套合組件6具有一套合本體61及至少一凸塊62，其中該套合本體61配置為套合在對應的固定桿32上。該凸塊62形成在該套合本體61上，而且該凸塊62配置為與該抵靠組件5的至少一凹槽54相卡合。

在本實施例中，該至少一凹槽54設置在該抵靠組件的該座體51上，而且該至少一凹槽54位於對應的掛扣件53的一側，該套合本體61的一內表面呈一內凹形狀，用以與對應的固定桿32相匹配。該等套合組件6配置為限位對應的固定桿32，使得該等固定桿32不容易因外力影響而脫出該等掛扣件53。

依據上述之結構，該等活動板體3會隨著該抵靠組件5上下移動而進行連動，使得該等翅片33以對應的轉軸31為軸心進行轉動。該等翅片33向上翻轉而移動至一水平位置時(見圖8)，該等擋板4即抵止該等翅片33持續翻轉，該抵靠組件5因該等翅片33被限位而停止連動，使得該抵靠組件5能夠較佳地定位在有效接觸如圖1所示的晶圓片104的位置上。

如上所述，本發明晶圓盒的限位裝置透過該等擋板4的設計，能夠限制該等翅片33的翻轉路徑，使得該抵靠組件5能夠較佳地定位在有效接觸該晶圓片104的位置上。同時，該等擋板4的延伸部42能夠均勻施力在對應的翅片33上，避免該等翅片33產生左右傾斜之翻轉。另外，該等擋板4的延伸部42分別頂抵對應的翅片33的二端部，由於該等端部等距地位於該固定桿32的二相反側，使得該等擋板4的延伸部42能夠均勻施力在對應的翅片33上，避免該等翅片33產生左右傾斜之翻轉。該等套合組件6能夠套合在對應的固定桿32上，使得該等固定桿32被限位而不容易因外力影響而脫出該等掛扣件53。

雖然本發明已以實施例揭露，然其並非用以限制本發明，任何熟習此項技藝之人士，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種更動與修飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。