TWI689032B - 包括垂直偏離、水平重疊的蛙腳連桿的雙葉片機器人及其系統和方法 - Google Patents

Abstract

揭露了一種具有重疊的蛙腳連桿的雙葉片機器人。機器人包括第一臂和第二臂，彼此共面且每個可旋轉地耦接到第一葉片，以蛙腳配置；及第三臂和第四臂，彼此共面且每個可旋轉地連接到第二葉片，以蛙腳配置，其中第三臂和第四臂垂直偏離第一臂和第二臂。第三臂和第四臂配置成在當第一葉片和第二葉片處於縮回位置時與第一臂和第二臂的至少一部分重疊。提供了操作機器人的方法和包括機器人的電子裝置處理系統，以及許多其他態樣。

Description

包括垂直偏離、水平重疊的蛙腳連桿的雙葉片機器人及其系統和方法

本申請案主張2017年9月19日提交的美國專利案第15/708,806號的優先權，名稱為「包括垂直偏離、水平重疊的蛙腳連桿的雙葉片機器人及其系統和方法」(代理人案卷號25481/USA)，其為了所有的目的而藉由引用其全文的方式併入於此。

本揭露書的實施例關於電子裝置製造，且更具體地關於適以在腔室之間傳輸基板的機器人。

電子裝置製造系統可包括具有多個腔室(諸如處理腔室和一個或多個裝載閘腔室)的處理工具。這樣的處理腔室和一個或多個裝載閘腔室可包括在群集工具中，例如，其中基板可在相應的處理腔室和一個或多個裝載閘腔室之間傳送。這些系統可採用一個或多個機器人在各個腔室之間移動基板，且在一些實施例中，一個或多個機器人可駐留在傳送腔室中。在這樣的運動期間，基板可支撐在一個或多個機器人的末端執行器(有時稱為「葉片」)上。

電子裝置製造系統的處理腔室(諸如群集工具)可用以在基板(如，含矽晶圓、圖案化和未圖案化的遮罩晶圓、玻璃板、含二氧化矽的製品或類似者)上實施任何數量的處理，諸如沉積、氧化、氮化、蝕刻、拋光、清潔、光刻、計量或類似者。

在這樣的處理及/或群集工具內，例如，複數個腔室可圍繞傳送腔室而分佈。機器人可容納在傳送腔室內，且可配置並適以在各個腔室之間傳送基板。例如，傳送腔室可在處理腔室之間，或在處理腔室和一個或多個裝載閘腔室之間。狹縫閥可位於每個相應腔室的入口處，以允許每個腔室被環境隔離。

改善處理及/或群集工具操作的操作及/或效率的機器人設備、系統和方法設計是有益的。

在第一示例實施例中，一種雙葉片機器人包括：第一蛙腳連桿，耦接到第一葉片並配置成在第一方向上延伸第一葉片；第二蛙腳連桿，耦接到第二葉片並配置成在第二方向上延伸第二葉片，其中第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿，使得當第一葉片和第二葉片各自處於縮回位置時，第二蛙腳連桿與第一蛙腳連桿重疊。

在第二示例實施例中，一種群集工具包括：傳送腔室；裝載閘器，耦接到傳送腔室；處理腔室，耦接到傳送腔室；及雙葉片機器人，設置在傳送腔室內，雙葉片機器人具有第一蛙腳連桿和第二蛙腳連桿，其中第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿，且當第一蛙腳連桿和第二蛙腳連桿各自處於縮回位置時，第二蛙腳連桿與第一蛙腳連桿重疊。

在第三示例實施例中，一種在第一腔室和第二腔室之間傳送基板的方法包括以下步驟：延伸第一蛙腳連桿，使得耦接到第一蛙腳連桿的雙葉片機器人的第一葉片定位在第一腔室中；從第一腔室取回基板；及縮回第一蛙腳連桿，使得第一葉片離開第一腔室，其中基板在第一葉片上，其中在從第一腔室縮回第一蛙腳連桿之後，第一蛙腳連桿與雙葉片機器人的第二蛙腳連桿重疊。

在替代的示例實施例中，機器人包括：轂，具有第一軸線；第一構件及第二構件，每個可旋轉地耦接到轂並可繞第一軸線旋轉；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋轉地耦接到第一構件並可繞第二軸線旋轉，第一臂的第二端可旋轉地耦接到第一葉片並可繞第三軸線旋轉；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋轉地耦接到第二構件並可繞第四軸線旋轉，第二臂的第二端可旋轉地耦接到第一葉片並可繞第五軸線旋轉；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋轉地耦接到第二構件並可繞第六軸線旋轉，第三臂的第二端可旋轉地耦接到第二葉片並可繞第三軸線旋轉；及第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋轉地耦接到第一構件並可繞第七軸線旋轉，第四臂的第二端可旋轉地耦接到第二葉片並可繞第五軸線旋轉，其中第一臂為名義上與第二臂共面，第三臂名義上與第四臂共面，且第三臂和第四臂分別垂直偏離第一臂和第二臂。

在另一替代的示例實施例中，一種系統包括：第一腔室，界定容積；雙葉片機器人，設置在由第一腔室界定的容積內，雙葉片機器人包括：轂，具有第一軸線；第一構件及第二構件，每個可旋轉地耦接到中心轂並可繞第一軸線旋轉；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端在第二軸線處可旋轉地耦接到第一構件，第一臂的第二端在第三軸線處可旋轉地耦接到第一葉片；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端在第四軸線處可旋轉地耦接到第二構件，第二臂的第二端在第五軸線處可旋轉地耦接到第一葉片；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端在第六軸線處可旋轉地耦接到第二構件，第三臂的第二端在第三軸線處可旋轉地耦接到第二葉片；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端在第七軸線處可旋轉地耦接到第一構件，第四臂的第二端在第五軸線處可旋轉地耦接到第二葉片，其中第一臂為名義上與第二臂共面，第三臂名義上與第四臂共面，且第三臂和第四臂分別垂直偏離第一臂和第二臂。

在又一替代的示例實施例中，一種群集工具包括：傳送腔室；裝載閘器，耦接到傳送腔室；處理腔室，耦接到傳送腔室；雙葉片晶圓處理機器人，設置在傳送腔室內，雙葉片晶圓處理機器人具有蛙腳交叉連桿，其中蛙腳交叉連桿包括：第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋轉地耦接到第一構件並可繞第一軸線旋轉，第一臂的第二端可旋轉地耦接到第一葉片並可繞第二軸線旋轉；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋轉地耦接到第二構件並可繞第三軸線旋轉，第二臂的第二端可旋轉地耦接到第一葉片並可繞第四軸線旋轉；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋轉地耦接到第二構件並可繞第五軸線旋轉，第三臂的第二端可旋轉地耦接到第二葉片並可繞第二軸線旋轉；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋轉地耦接到第一構件並可繞第六軸線旋轉，第四臂的第二端可旋轉地耦接到第二葉片並可繞第四軸線旋轉，其中第一臂名義上與第二臂共面，第三臂名義上與第四臂共面，且第三臂和第四臂分別垂直偏離第一臂和第二臂。

根據本揭露書的這些和其他實施例提供了許多其他特徵。根據以下的實施方式、附隨的圖式和所附的申請專利範圍，本揭露書的實施例的其他特徵和態樣將變得更加明顯。

根據本揭露書的各種實施例提供了一種雙葉片機器人，雙葉片機器人包括第一蛙腳連桿和第二蛙腳連桿，配置成使得第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿，並進一步配置成當雙葉片機器人的葉片縮回時，第二蛙腳連桿與第一蛙腳連桿水平地重疊。這種配置減小了當葉片縮回時雙葉片機器人的整體佔地面積，並允許使用比容納雙葉片機器人的傳送腔室內可用的更長的葉片。例如，在一些實施例中，可採用相對長及/或高溫的葉片（諸如石英葉片），以將基板放置在執行高溫處理的處理腔室（如，磊晶生長及/或沉積腔室）內或從處理腔室移除基板。為了避免將雙葉片機器人的一部分（諸如手腕部分）曝露於處理腔室的高溫環境，可採用長葉片，使得在基板放置或移除期間僅葉片延伸到處理腔室中。在葉片在相反方向上延伸的雙葉片機器人配置中，使用長葉片可能增加雙葉片機器人的整體佔地面積，使得機器人不再適配於傳送腔室內。於此描述的實施例提供了雙葉片機器人、系統和方法，其允許使用更長的葉片，同時保持適合在傳送腔室內使用的整體（縮回）佔地面積。

參考第1A-4圖描述了根據示例實施例的機器人、包括機器人的電子裝置處理系統及操作機器人的方法的各個態樣的進一步細節。

參考第1A圖，揭露了雙葉片機器人100 的第一說明性示例實施例。例如，機器人100 可用於且可被配置成將基板傳送到各個腔室和從各個腔室傳送，諸如進出處理腔室，及/或進出裝載閘腔室。然而，雙葉片機器人100 可用於雙葉片機器人的緊湊尺寸適合的其他環境中。第1A圖顯示了示例雙葉片機器人100 ，其具有第一蛙腳連桿102a 及第二蛙腳連桿102b ，第一蛙腳連桿102a 耦接到第一葉片104a 並配置成在第一方向D1上延伸第一葉片104a ，第二蛙腳連桿102b 耦接到第二葉片並配置成在第二方向D2上延伸第二葉片104b ，其中第二蛙腳連桿102b 垂直偏離第一蛙腳連桿102a ，使得當第一葉片104a 和第二葉片104b 均處於縮回位置（如第1A圖所示）時，第二蛙腳連桿102b 與第一蛙腳連桿102a 重疊。

在一些實施例中，雙葉片機器人100 被配置成使得第一葉片104a 和第二葉片104b 名義上共面（如，在一些實施例中，相對於彼此傾斜小於+/-1度及/或相對於彼此垂直偏離平面小於+/-1 mm）。例如，第一葉片104a 和第二葉片104b 可定位成在同一平面P1中基本上延伸和縮回。在一些實施例中，第二葉片104b 可成形為使得第二葉片104b 的支撐表面與第一葉片104a 的支撐表面基本上在同一平面中（如第1A圖所示）。通常，第一葉片104a 、第二葉片104b 或第一葉片104a 和第二葉片104b 兩者可成形為使得第一葉片104a 和第二葉片104b 名義上共面。附加地或替代地，第一葉片104a 和第二葉片104b 的一個或多個可通過使用一個或多個配接器、支架或類似者定位成名義上共面。

更具體地，雙葉片機器人100 的說明性示例實施例在第1B圖中顯示。參考第1B圖，雙葉片機器人100 包括具有第一軸線A1 的轂106 。第一構件108a 和第二構件108b 在第一軸線A1 處可旋轉地耦接到轂106 。第一臂110 具有第一端111a 和第二端111b ，且其第一端111a 在第二軸線A2 處可旋轉地耦接到第二構件108b 。第一臂110 的第二端111b 可旋轉地耦接在（底部腕連接器112a 的）第三軸線A3處。名義上與第一臂110 共面的第二臂114 具有第一端115a 和第二端115b ，且其第一端115a 在第四軸線A4 處可旋轉地耦接到第一構件108a 。第二臂114 的第二端115b 可旋轉地耦接在（底部腕連接器112a 的）第五軸線A5處。第三臂116 具有第一端117a 和第二端117b ，且其第一端117a 在第六軸線A6 處可旋轉地耦接到第二構件108b 。第三臂116 的第二端117b 可旋轉地耦接在（頂部腕連接器112b 的）第三軸線A3處。名義上與第三臂116 共面的第四臂118 具有第一端119a 和第二端119b ，且其第一端119a 在第七軸線A7 處可旋轉地耦接到第一構件108a 。第四臂118 的第二端119b 可旋轉地耦接在（頂部腕連接器112b 的）第五軸線A5處。

如第1B圖所示，第三臂116 垂直偏離第一臂110 ，且第四臂118 垂直偏離第二臂114 。在一些實施例中，這個偏移可在從約1至約8mm的範圍內，儘管可採用更大或更小的垂直偏離。例如，可藉由分別位於第三臂116 及/或第四臂118 下方的間隔件120a 、120b 來提供垂直偏離。可採用用於偏離第三臂116 及/或第四臂118 的任何其他方法。間隔件120a 、120b 可由鋁或其他合適的材料形成。如下面將進一步描述的，在第一臂110 和第三臂116 及第二臂114 和第四臂118 之間提供垂直偏離允許頂部腕連接器112b 與底部腕連接器112a 重疊（見第1A和1B圖），使得第一葉片104a 和第二葉片104b 可更完全地縮回。這允許雙葉片機器人100 在完全縮回時佔據較小的佔地面積，如第1A和1B圖所示。

第1C圖顯示了根據於此提供的一些實施例的處於縮回位置的雙葉片機器人100 的側視圖。參考第1C圖，頂部腕連接器112a 和底部腕連接器112b 被顯示為重疊且被配置成使得葉片104a 、104b 名義上共面（如，基本上在同一平面P1中延伸和縮回）。在一些實施例中，第一葉片104a 配置成在第一方向D1上從轂106 向外延伸，第二葉片104b 配置成在不同於第一方向D1的第二方向D2上從轂106 向外延伸（如，在相反方向上，儘管可使用其他方向），且第一和第二葉片可名義上共面。此外，第一葉片104a 配置成朝向轂106 向內縮回，且第二葉片104b 配置成朝向轂106 向內縮回。

第1D圖顯示了根據於此提供的一些實施例的雙葉片機器人100 的分解圖。參考第1D圖，在一些實施例中，第一臂110 具有與其第一端111a 相鄰的弧形部分和與其第二端111b 相鄰的直線部分。第二臂114 具有與其第一端115a 相鄰的弧形部分和與其第二端115b 相鄰的直線部分。第三臂116 具有與其第一端117a 相鄰的弧形部分和與其第二端117b 相鄰的直線部分。第四臂118 具有與其第一端119a 相鄰的弧形部分和與其第二端119b 相鄰的直線部分。可採用其他臂部形狀。如第1D圖所示，腕連接器112a 和112b 可加工成使得當安裝在雙葉片機器人100 上時葉片104a 、104b 名義上是共面的。例如，腕連接器112a 設置有袋122 ，葉片104a 附接在袋122 中。腕連接器112b 可類似地配置，且每個袋可具有定位葉片104a 和104b 的深度，使得它們名義上是共面的。袋深度可取決於諸如腕連接器112a 、112b 的高度、第三臂116 和第四臂118 的垂直偏離等因素。

第一葉片104a 和第二葉片104b 可由符合葉片的預期用途的任何合適的材料形成。在第1A和1B圖的說明性示例中，第一葉片104a 和第二葉片104b 各自至少部分地由石英構成。應注意有時用以描述葉片的另一術語是末端執行器。

第2A圖顯示了根據本揭露書的一個或多個實施例的在第1B圖中的等距視圖所示的雙葉片機器人100 的頂視平面圖。第2B圖顯示了根據本揭露書的一個或多個實施例的在第1B圖中的等距視圖所示的雙葉片機器人100 的側視圖。

適合與第1A-2B圖的雙葉片機器人100 的一起使用的電子裝置處理工具300 的示例實施例顯示在第3圖中。第3圖顯示了電子裝置處理工具300 （諸如群集工具）的示例性實施例的示意圖，電子裝置處理工具300 包括傳送腔室302 、耦接到傳送腔室302 的裝載閘腔室304 、耦接到傳送腔室302 的處理腔室306 、設置在傳送腔室302 中的雙葉片機器人100 及耦接到雙葉片機器人100 （及/或傳送腔室302 、裝載閘腔室304 及/或處理腔室306 ）的機器人控制器308 。

傳送腔室302 可被配置為與至少一個裝載閘腔室304 介面連接、與至少一個處理腔室306 介面連接及容納雙葉片機器人100 。傳送腔室302 可被配置為被抽空到（例如）低於標準大氣壓的壓力。

裝載閘腔室304 可被配置為與工廠介面（未顯示）或可從一個或多個基板載體（如，前開口晶圓傳送盒（FOUP））接收基板的其他系統部件介面連接，基板載體停靠在工廠界面的一個或多個裝載埠處。裝載閘腔室304 可被配置為允許雙葉片機器人100 的葉片進入和離開，用於將基板供應到處理腔室306 或從處理腔室306 接收基板。

處理腔室306 可被配置用於任何合適的處理操作，包括但不限於蝕刻、沉積、氧化、氮化、矽化、磊晶生長、選擇性磊晶生長、阻劑剝離、清潔、光刻等。處理腔室306 可配置為允許雙葉片機器人100 的葉片進入和離開。

如上所述，雙葉片機器人100 可包括第一蛙腳連桿和第二蛙腳連桿，第一蛙腳連桿耦接到第一葉片且配置成在第一方向上延伸第一葉片，第二蛙腳連桿耦接到第二葉片並配置成在第二方向上延伸第二葉片，其中第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿，使得第一葉片和第二葉片都處於縮回位置時，第二蛙腳連桿與第一蛙腳連桿重疊（例如，參見第1A-2B圖）。

機器人控制器308 耦接到雙葉片機器人100 ，並可被配置為向雙葉片機器人100 提供指導其操作的控制信號。由機器人控制器308 產生的控制信號可為（但不限於）電、光、磁及/或電磁信號。在一些示例實施例中，機器人控制器308 在產生控制信號的處理中包括數位電路。這樣的數位電路可包括（但不限於）一個或多個微處理器、一個或多個微控制器、一個或多個現場可程式化閘陣列（FPGA）、包括一個或多個嵌入式處理器的一個或多個晶片上系統（SoC）積體電路，或分離的數位部件。機器人控制器308 可進一步包括儲存的資料和儲存的指令，用於供計算資源（諸如（但不限於）微處理器、微控制器和嵌入式處理器）使用。機器人控制器308 可進一步包括用於動態修改FPGA功能的FPGA配置資料。

在一些實施例中，機器人控制器308 包括網絡通信介面，以促進雙葉片機器人100 的維修和保養，並提供關於雙葉片機器人100 的操作和操作狀態的資訊。

在一些實施例中，機器人控制器308 被進一步配置為從雙葉片機器人100 接收信號。機器人控制器308 從雙葉片機器人100 接收的信號可由機器人控制器308 使用，以決定雙葉片機器人100 是否根據預定的操作參數操作。機器人控制器308 可為專用於控制機器人100 的控制器，或可為控制群集工具300 、傳送腔室302 、裝載閘腔室304 及/或處理腔室306 的控制器及/或控制系統的一部分。

參考第4圖提供並描述了根據這份揭露書的實施例的在電子裝置處理系統（例如群集工具）內傳輸基板的示例方法400 。方法400 包括在方塊402 處提供處理工具，處理工具具有傳送腔室、耦接到傳送腔室的第一腔室、耦接到傳送腔室的第二腔室及具有第一蛙腳連桿和第二蛙腳連桿的雙葉片機器人（參見（例如）第3圖的處理工具300 ）。

方法400 在方塊404 藉由延伸設置在傳送腔室中的第一蛙腳連桿，使得耦接到雙葉片機器人的第一蛙腳連桿之第一葉片的至少一部分定位在耦接到傳送腔室的第一腔室中而繼續。在一些示例實施例中，第一腔室可為裝載閘腔室或處理腔室。例如，參考第3圖，為了將第二葉片104b 延伸到裝載閘腔室304 中，第一構件108a 逆時針旋轉且第二構件108b 順時針旋轉。這使得第一臂110 、第二臂114 、第三臂116 和第四臂118 朝向裝載閘腔室304 延伸。如第3圖所示，第三臂116 與第一臂110 重疊且第四臂118 與第二臂114 重疊。

在第3圖的延伸位置中，腕連接器112b 定位在裝載閘腔室304 附近，使得第二葉片104b 延伸到裝載閘腔室304 中（以將基板放置在裝載閘腔室304 內或從裝載閘腔室304 取出基板）。

方法400 在方塊406 藉由用第一葉片從第一腔室取回基板而繼續。在一些示例實施例中，基板可為晶圓或玻璃板。晶圓可為半導體製造中使用的類型。玻璃板可為顯示器製造或類似者中使用的類型。在第3圖的示例中，第二葉片104b 從裝載閘腔室304 取回基板310 。在一個或多個實施例中，機器人100 可在沒有垂直運動的情況下取回基板310 （如，裝載閘腔室304 可將基板310 垂直地指向，以將基板310 放置在第二葉片104b 上）。

方法400 在方塊408 藉由縮回第一蛙腳連桿，使得第一葉片在支撐基板的同時離開第一腔室，且雙葉片機器人的第一蛙腳連桿與第二蛙腳連桿重疊而繼續，其中第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿。例如，參照第3圖，在從裝載閘腔室304取回基板310之後，第一構件108a可順時針旋轉而第二構件108b可逆時針旋轉。這使得第一臂110、第二臂114、第三臂116和第四臂118朝向轂106縮回(如第1B圖所示)。如第1B圖所示，第三臂116與第一臂110重疊，且第四臂118與第二臂114重疊。在第1B圖的縮回位置中，腕連接器112b位於腕連接器112a上方(也參見第2B圖)。

類似地，第一葉片104a可藉由順時針旋轉第一構件108a且逆時針旋轉第二構件108b而延伸到裝載閘腔室或處理腔室中。這使得第一臂110、第二臂114、第三臂116和第四臂118遠離轂106向外延伸。

這份揭露書的進一步實施例包括操作第二葉片以取回基板。例如，延伸第二蛙腳連桿，使得耦接到第二蛙腳連桿的雙葉片機器人的第二葉片定位在第一腔室中；使用第二葉片從第一腔室取回另外的基板；及縮回第二蛙腳連桿，使得第二葉片與在第二葉片上的另外的基板離開第一腔室。在縮回位置中，第二蛙腳連桿與第一蛙腳連桿重疊，第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿。

可利用群集工具的以下示例配置來實施示例方法400，但是將理解方法400可與其他電子裝置處理系統一起實施。示例性群集工具配置可包括傳送腔室，雙葉片機器人佈置在傳送腔室中。一個或多個裝載閘腔室可耦接到傳送腔室，且一個或多個處理腔室可耦接到傳送腔室。一個或多個裝載閘腔室、一個或多個處理腔室及傳送腔室可被配置為被抽空。這種抽空可促進低壓處理操作。在各種示例實施例中，第一葉片可至少部分地由石英形成。

根據本揭露書的示例性方法可進一步包括，在取回基板之後，在傳送腔室內的水平平面中旋轉第一葉片，使得第一葉片與基板將被輸送到的裝載閘腔室或處理腔室對準。以類似於取回基板的方法的方式，基板輸送可包括延伸第一蛙腳連桿，使得第一葉片定位在基板將被輸送到的腔室中。在將基板從輸送並從第一葉片移除之後，藉由第一蛙腳連桿的縮回而使第一葉片縮回。

在上述示例性方法中，第二蛙腳連桿以與第一蛙腳連桿和第一葉片相同的方式操作，以使雙葉片機器人的第二葉片延伸和縮回。在示例性實施例中，第一葉片和第二葉片名義上共面，而第二蛙腳連桿垂直偏離第一蛙腳連桿。

因此，已經揭露了具有重疊的蛙腳連桿的雙葉片機器人。雙葉片機器人包括第一臂和第二臂，彼此共面且每個可旋轉地耦接到第一葉片，以蛙腳配置；及第三臂和第四臂，彼此共面且每個可旋轉地連接到第二葉片，以蛙腳配置，其中第三臂和第四臂垂直偏離第一臂和第二臂。第三臂和第四臂配置成在當第一葉片和第二葉片處於縮回位置時與第一臂和第二臂的至少一部分重疊。提供了操作機器人的方法和包括機器人的電子裝置處理系統，以及許多其他態樣。

應當顯而易見的是，如於此所述的雙葉片機器人100 提供緊湊的佈置，因此有利地允許兩個葉片的每一個都為長的且仍然適配於傳送腔室內（如，且允許機器人及/或葉片的旋轉）。

以上的實施方式僅揭露了示例實施例。對於熟悉本領域者來說，落入本揭露書的範圍內的上述設備、系統和方法的修改是顯而易見的。 因此，雖然已經結合本揭露書的示例實施例而提供了本揭露書，但是應該理解其他實施例可落入由所附的申請專利範圍所界定的範圍內。

100‧‧‧機器人102a‧‧‧第一蛙腳連桿102b‧‧‧第二蛙腳連桿104a‧‧‧第一葉片104b‧‧‧第二葉片106‧‧‧轂108a‧‧‧第一構件108b‧‧‧第二構件110‧‧‧第一臂111a‧‧‧第一端111b‧‧‧第二端112a‧‧‧底部腕連接器112b‧‧‧頂部腕連接器114‧‧‧第二臂115a‧‧‧第一端115b‧‧‧第二端116‧‧‧第三臂117a‧‧‧第一端117b‧‧‧第二端118‧‧‧第四臂119a‧‧‧第一端119b‧‧‧第二端120a‧‧‧間隔件120b‧‧‧間隔件122‧‧‧袋300‧‧‧工具302‧‧‧傳送腔室304‧‧‧裝載閘腔室306‧‧‧處理腔室308‧‧‧機器人控制器310‧‧‧基板400‧‧‧方法402‧‧‧方塊404‧‧‧方塊406‧‧‧方塊408‧‧‧方塊

第1A圖顯示了根據一個或多個實施例的雙葉片機器人的側視圖。

第1B圖顯示了根據一個或多個實施例的雙葉片機器人的等距視圖。

第1C圖顯示了根據一些實施例的處於縮回位置的雙葉片機器人的側視圖。

第1D圖顯示了根據一些實施例的雙葉片機器人的分解圖。

第2A圖顯示了根據一個或多個實施例的雙葉片機器人的頂視平面圖。

第2B圖顯示了根據一個或多個實施例的雙葉片機器人的頂視平面圖。

第3圖顯示了根據一個或多個實施例的包括雙葉片機器人的電子裝置處理系統。

第4圖顯示了描繪根據一個或多個實施例的在第一腔室和第二腔室之間傳送基板的方法的流程圖。

國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無

國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

100‧‧‧機器人

104a‧‧‧第一葉片

104b‧‧‧第二葉片

106‧‧‧轂

108a‧‧‧第一構件

108b‧‧‧第二構件

110‧‧‧第一臂

111a‧‧‧第一端

111b‧‧‧第二端

112a‧‧‧底部腕連接器

112b‧‧‧頂部腕連接器

114‧‧‧第二臂

115a‧‧‧第一端

115b‧‧‧第二端

116‧‧‧第三臂

117a‧‧‧第一端

117b‧‧‧第二端

118‧‧‧第四臂

119a‧‧‧第一端

119b‧‧‧第二端

120a‧‧‧間隔件

120b‧‧‧間隔件

Claims (19)

1. 一種雙葉片機器人，包含：一第一蛙腳連桿，耦接到一第一腕連接器及一第一葉片並配置成在一第一方向上延伸該第一葉片；一第二蛙腳連桿，耦接到一第二腕連接器及一第二葉片並配置成在當該第一葉片於該第一方向上對準的同時，於相反於該第一方向的一第二方向上延伸該第二葉片；其中該第二蛙腳連桿垂直偏離該第一蛙腳連桿，使得當該第一葉片和該第二葉片各自處於一縮回位置時，該第二腕連接器與該第一腕連接器重疊；及其中在該第一葉片及該第二葉片各自位於該縮回位置的同時，該第一葉片定向朝向該第一方向，且該第二葉片定向朝向該第二方向。
2. 如請求項1所述之雙葉片機器人，進一步包含：一轂；及一第一構件，可旋轉地耦接到該轂；其中該第一蛙腳連桿在一第一位置處可旋轉地耦接到該第一構件，且該第二蛙腳連桿在一第二位置處可旋轉地耦接到該第一構件。
3. 如請求項1所述之雙葉片機器人，其中該第 一蛙腳連桿和該第二蛙腳連桿設置在一第一腔室內。
4. 一種雙葉片機器人，包含：一第一蛙腳連桿，耦接到一第一葉片並配置成在一第一方向上延伸該第一葉片；一第二蛙腳連桿，耦接到一第二葉片並配置成在一第二方向上延伸該第二葉片；其中該第二蛙腳連桿垂直偏離該第一蛙腳連桿，使得當該第一葉片和該第二葉片各自處於一縮回位置時，該第二蛙腳連桿與該第一蛙腳連桿重疊；一轂，具有一第一軸線；一第一構件，可旋轉地耦接到該轂並可繞該第一軸線旋轉；及一第二構件，可旋轉地耦接到該轂並可繞該第一軸線旋轉；其中該第一蛙腳連桿包含：一第一臂，具有一第一端和一第二端，該第一臂的該第一端可旋轉地耦接到該第一構件並可繞一第二軸線旋轉，該第一臂的該第二端可旋轉地耦接到該第一葉片並可繞一第三軸線旋轉；及一第二臂，具有一第一端和一第二端，該第二臂的該第一端可旋轉地耦接到該第二構件並可繞一第四軸線旋轉，該第二臂的該第二端可旋轉地耦接到 該第一葉片並可繞一第五軸線旋轉；其中該第二蛙腳連桿包含：一第三臂，具有一第一端和一第二端，該第三臂的該第一端可旋轉地耦接到該第二構件並可繞一第六軸線旋轉，該第三臂的該第二端可旋轉地耦接到該第二葉片並可繞該第三軸線旋轉；及一第四臂，具有一第一端和一第二端，該第四臂的該第一端可旋轉地耦接到該第一構件並可繞一第七軸線旋轉，該第四臂的該第二端可旋轉地耦接到該第二葉片並可繞該第五軸線旋轉；其中該第一臂與該第二臂名義上共面，該第三臂與該第四臂名義上共面，且該第三臂和第四臂分別垂直偏離該第一臂和該第二臂。
5. 如請求項4所述之雙葉片機器人，其中該第一葉片配置成在該第一方向上從該轂向外延伸，該第二葉片配置成在不同於該第一方向的該第二方向上從該轂向外延伸，且該第一葉片和該第二葉片是名義上共面的。
6. 如請求項4所述之雙葉片機器人，其中該第一葉片配置成朝向該轂向內縮回，且該第二葉片配置成朝向該轂向內縮回。
7. 如請求項6所述之雙葉片機器人，其中該第 三臂配置成在當該第一葉片和該第二葉片均處於一縮回位置時與該第一臂重疊，且該第四臂配置成在當該第一葉片和第二葉片均處於縮回位置時與該第二臂重疊。
8. 如請求項4所述之雙葉片機器人，其中該第一臂具有與該第二軸線相鄰的一弧形部分和與該第三軸線相鄰的一直線部分，該第二臂具有與該第四軸線相鄰的一弧形部分和與該第五軸線相鄰的一直線部分，該第三臂具有與第六軸線相鄰的一弧形部分和與該第三軸線相鄰的一直線部分，該第四臂具有與該第七軸線相鄰的一弧形部分和與該第五軸線相鄰的一直線部分。
9. 一種群集工具，包含：一傳送腔室；一裝載閘器，耦接到該傳送腔室；一處理腔室，耦接到該傳送腔室；及一雙葉片機器人，具有耦接到一第一腕連接器的一第一葉片和耦接到一第二腕連接器的一第二葉片，該雙葉片機器人設置在該傳送腔室內，該雙葉片機器人具有一第一蛙腳連桿和一第二蛙腳連桿，該第一蛙腳連桿和該第二蛙腳連桿配置成在一第一方向上延伸該第一葉片，並在當該第一葉片於該第一方向上對準的 同時，在相反於該第一方向的一第二方向上延伸該第二葉片；其中該第二蛙腳連桿垂直偏離該第一蛙腳連桿，且當該第一蛙腳連桿和該第二蛙腳連桿各自處於一縮回位置時，該第二腕連接器與該第一腕連接器重疊；及其中在該第一葉片及該第二葉片各自位於該縮回位置的同時，該第一葉片定向朝向該第一方向，且該第二葉片定向朝向該第二方向。
10. 如請求項9所述之群集工具，其中該第一蛙腳連桿包含：一第一臂，具有一第一端和一第二端，該第一臂的該第一端可旋轉地耦接到一第一構件並可繞一第一軸線旋轉，該第一臂的該第二端可旋轉地耦接到該第一葉片並可繞一第二軸線旋轉；及一第二臂具有一第一端和一第二端，該第二臂的該第一端可旋轉地耦接到一第二構件並可繞一第三軸線旋轉，該第二臂的該第二端可旋轉地耦接到該第一葉片並可繞一第四軸線旋轉。
11. 如請求項9所述之群集工具，其中該裝載閘裝置、該處理腔室和該傳送腔室的每一個被配置為被抽空。
12. 如請求項9所述之群集工具，其中該處理 腔室被配置用於一低壓化學氣相沉積操作。
13. 如請求項10所述之群集工具，其中該處理腔室被配置用於磊晶生長操作，且該第一葉片和該第二葉片的每一個包含石英。
14. 一種群集工具，包含：一傳送腔室；一裝載閘器，耦接到該傳送腔室；一處理腔室，耦接到該傳送腔室；及一雙葉片機器人，具有一第一葉片和一第二葉片，該雙葉片機器人設置在該傳送腔室內，該雙葉片機器人具有一第一蛙腳連桿和一第二蛙腳連桿；其中該第二蛙腳連桿垂直偏離該第一蛙腳連桿，且當該第一蛙腳連桿和該第二蛙腳連桿各自處於一縮回位置時，該第二蛙腳連桿與該第一蛙腳連桿重疊；其中該第一蛙腳連桿包含：一第一臂，具有一第一端和一第二端，該第一臂的該第一端可旋轉地耦接到一第一構件並可繞一第一軸線旋轉，該第一臂的該第二端可旋轉地耦接到一第一葉片並可繞一第二軸線旋轉；及一第二臂，具有一第一端和一第二端，該第二臂的該第一端可旋轉地耦接到一第二構件並可繞一第三軸線旋轉，該第二臂的該第二端可旋轉地耦接到 該第一葉片並可繞一第四軸線旋轉；其中該第二蛙腳連桿包含：一第三臂，具有一第一端和一第二端，該第三臂的該第一端可旋轉地耦接到該第二構件並可繞一第五軸線旋轉，該第三臂的該第二端可旋轉地耦接到一第二葉片並可繞該第二軸線旋轉；及一第四臂，具有一第一端和一第二端，該第四臂的該第一端可旋轉地耦接到該第一構件並可繞一第六軸線旋轉，該第四臂的該第二端可旋轉地耦接到該第二葉片並可繞該第四軸線旋轉；其中該第一臂與該第二臂名義上共面，該第三臂與該第四臂名義上共面，且該第三臂和該第四臂分別垂直偏離該第一臂和該第二臂，且該雙葉片機器人經調整尺寸以便當該第一葉片和該第二葉片處於一縮回位置時，允許該第一葉片和該第二葉片繞該第一軸線在該傳送腔室內旋轉。
15. 一種在一第一腔室和一第二腔室之間傳送一基板的方法，包含以下步驟：提供一處理工具，具有：一傳送腔室；一第一腔室，耦接到該傳送腔室；一第二腔室，耦接到該傳送腔室；及 一雙葉片機器人，設置在該傳送腔室內，該雙葉片機器人具有耦接到一第一腕連接器及一第一葉片的一第一蛙腳連桿和耦接到一第二腕連接器及一第二葉片的一第二蛙腳連桿，該第一蛙腳連桿配置成在一第一方向上延伸該第一葉片，且該第二蛙腳連桿配置成在當該第一葉片於該第一方向上對準的同時，在相反於該第一方向的一第二方向上延伸該第二葉片；延伸該第一蛙腳連桿，使得耦接到該第一蛙腳連桿的該雙葉片機器人的一第一葉片定位在該第一腔室中；使用該第一葉片從該第一腔室取回一基板；及縮回該第一蛙腳連桿，使得該第一葉片離開該第一腔室，其中該基板在該第一葉片上；其中在從該第一腔室縮回該第一蛙腳連桿之後，該第一腕連接器與該雙葉片機器人的該第二腕連接器重疊；及其中在從該第一腔室縮回該第一蛙腳連桿之後，該第一葉片定向朝向該第一方向，且該第二葉片定向朝向該第二方向。
16. 如請求項15所述之方法，其中該基板是一晶圓。
17. 如請求項15所述之方法，進一步包含以下步驟：將該第一葉片與該第一葉片上的該基板一起移動，使得該第一葉片對準該第二腔室；延伸該第一蛙腳連桿，使得該第一葉片與該第一葉片上的該基板定位在該第二腔室中；縮回該第一蛙腳連桿，使得該第一葉片離開該第二腔室；其中在該第一蛙腳連桿從該第二腔室縮回之後，該第一蛙腳連桿與該雙葉片機器人的該第二蛙腳連桿重疊，且當該第一葉片離開該第二腔室時，該基板保持在該第二腔室中。
18. 如請求項17所述之方法，進一步包含以下步驟：延伸該第二蛙腳連桿，使得耦接到該第二蛙腳連桿的該雙葉片機器人的該第二葉片定位在該第一腔室中；使用該第二葉片從該第一腔室取回一另外的基板；及縮回該第二蛙腳連桿，使得該第二葉片離開該第一腔室，其中該另外的基板在該第二葉片上。
19. 如請求項15所述之方法，其中該第一腔室 是一裝載閘腔室，且該第二腔室是一處理腔室。

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