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TWI803860B - 光罩盒密封 - Google Patents

光罩盒密封 Download PDF

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TWI803860B
TWI803860B TW110114855A TW110114855A TWI803860B TW I803860 B TWI803860 B TW I803860B TW 110114855 A TW110114855 A TW 110114855A TW 110114855 A TW110114855 A TW 110114855A TW I803860 B TWI803860 B TW I803860B
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TW
Taiwan
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cover
base plate
outermost coating
sealing surface
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TW110114855A
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TW202208983A (zh
Inventor
羅斯 Ｖ 拉許克
華平 王
Original Assignee
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Application filed by 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 filed Critical 美商恩特葛瑞斯股份有限公司
Publication of TW202208983A publication Critical patent/TW202208983A/zh
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Abstract

本發明揭示一種盒，其包含具有一蓋本體之一蓋、具有一底板本體之一底板，及一或多個密封表面。該一或多個密封表面係形成於該底板本體及該蓋本體之一或多者上，以提供密封。本發明揭示一種產生一光罩盒之方法，其包含使一或多個密封表面形成於一底板之一底板本體及一蓋之一蓋本體中之至少一者上。形成該一或多個密封表面以在該底板與該蓋之間提供密封。該一或多個密封表面之各者包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。

Description

光罩盒密封
本發明係關於用於光罩之光罩盒。更具體而言，本發明係關於用於在光罩盒中提供密封之表面。
光罩盒用於容納光罩，諸如(例如)用於半導體處理中之光微影遮罩。光罩盒可用於光罩之儲存及運輸。光罩盒可包含在處理期間由一或多個工具處置及操縱之一金屬內盒。內盒包含一底板及一蓋，且底板及蓋含有光罩且保護光罩在運輸、儲存及處理期間免受污染或實體損傷。光罩盒包含(例如)用於與極紫外線(EUV)光微影工具一起使用之EUV盒。光罩盒可包含具有一盒門之一外盒及含有內盒之一盒圓頂。
本發明係關於用於光罩之光罩盒。更具體而言，本發明係關於用於在光罩盒中提供密封之表面。
在一實施例中，一盒包含具有一蓋本體之一蓋、具有一底板本體之一底板及一或多個密封表面。該一或多個密封表面形成於該底板本體及該蓋本體之一或多者上以在該蓋與該底板之間提供密封。該一或多個密封表面各包含具有約或大於70之一洛氏C硬度(洛氏硬度C標度，HRC)之一耐磨最外層塗層。
在一實施例中，該耐磨最外層塗層具有約或大於80之一洛 氏C硬度。
在一實施例中，該一或多個密封表面包含一第一密封表面。該底板包含該第一密封表面之該耐磨最外層塗層且該第一密封表面形成於該底板本體上。該第一密封表面之該耐磨最外層塗層經安置以當該蓋放置於該底板上時直接接觸該蓋。
在一實施例中，該一或多個密封表面包含一第二密封表面。該蓋包含該第二密封表面之該耐磨最外層塗層且該第二密封表面形成於該蓋本體上。該蓋之該耐磨最外層塗層經安置以當該蓋放置於該底板上時直接接觸該底板之一耐磨最外層塗層。
在一實施例中，該盒包含一外盒圓頂及一外盒門。當該外盒門附接至該外盒圓頂時，該外盒圓頂及該外盒門經構形以將該底板及該蓋容納於該外盒圓頂內。在一實施例中，該盒係一EUV光罩盒。
在一實施例中，一種產生一光罩盒之方法包含使一或多個密封表面形成於一底板之一底板本體及一蓋之一蓋本體之至少一者上。形成該一或多個密封表面以在該底板與該蓋之間提供密封。該一或多個密封表面之各者包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。
在一實施例中，形成該一或多個密封表面包含使一耐磨最外層塗層形成於該底板本體上。當該蓋放置於該底板上時，該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該蓋。
在一實施例中，形成該一或多個密封表面包含使一耐磨最外層塗層形成於該蓋本體上。當該蓋放置於該底板上時，該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該底板。
1:內盒
3:光罩容置部分
5:光罩
7A:光罩支撐件
7B:光罩接觸件
10:底板
12:頂部
14:密封表面
14A:耐磨最外層塗層
16:底板本體
18:外表面
20:內層
40:蓋
42:底部
44:密封表面
44A:耐磨最外層塗層
46:蓋本體
48:外表面
50:內層
200:光罩盒
210:內盒
212:蓋
214:底板
216:密封表面
220:密封表面
222:外盒圓頂
224:外盒門
230:光罩
300:方法
310:提供用於一光罩盒之一底板(例如底板10、底板214)及一蓋(蓋40、蓋212)
320:使一或多個密封表面(例如密封表面14、密封表面44、密封表面216)形成於底板之一底部本體(例如底板本體16)及蓋之一蓋本體(例如蓋本體46)中之至少一者上
322:使一密封表面形成於底板本體上
324:使至少一密封表面形成於蓋本體上
A1:虛線
A2:虛線
D1:方向
T1:厚度
T2:厚度
應考量結合附圖之各種繪示性實施例之以下描述更全面地理解本發明。
圖1A係一光罩盒之一內盒之一實施例之一橫截面圖。
圖1B係根據一實施例之當打開時圖1A中之內盒之一橫截面圖。
圖2係一光罩盒中之一底板之一實施例之一俯視圖。
圖3係一光罩盒之一蓋之一實施例之一仰視圖。
圖4係接觸一光罩盒之一底板及一蓋之密封表面之一實施例之一橫截面圖。
圖5係一光罩盒之一實施例之一透視圖。
圖6係為產生一光罩盒之方法之方塊圖。
儘管本發明可適於各種修改及替代形式，但其細節已在圖式中以實例之方式展示且將詳細描述。然而，應理解意圖並非使本發明之態樣受限於所描述之特定繪示性實施例。相反，意圖係涵蓋落入本發明之精神及範疇內之所有修改、等效物及替代方案。
本發明係針對用於光罩之光罩盒，及用於在光罩盒內提供密封之表面。
圖1A及1B展示一光罩盒之一內盒1之一實施例之橫截面圖。圖1A展示關閉時之內盒1。圖1B展示打開時之內盒1。內盒1具有含用於容納一光罩5之一光罩容置部分3之一內部空間。盒1可包含用於將光罩5支撐及限制於內盒1內之光罩容置部分3內之光罩支撐件7A及光罩接觸件7B。
內盒1包含一底板10及一蓋40。底板10及蓋40經構形以接合在一起。如圖1A中所展示，藉由將蓋40放置於底板10上來圍封(例如關閉)內盒1之內部空間。蓋40直接接觸底板10。特定言之，蓋40之底部42接觸底板10之頂部12。藉由移動蓋40遠離底板10(例如藉由在方向D1上向上移動蓋等)來打開內盒1。例如，一外部工具(例如自動臂等)打開內盒1以接取光罩容置部分3且移除光罩5。
底板10及蓋40包含經構形以在底板10與蓋40之間提供密封之一或多個密封表面。例如，密封經構形以減少或防止外部污染物(例如空氣、灰塵等)藉由在底板10與蓋40之間通過而進入盒1。底板10可包含當蓋40放置於底板10上時直接接觸蓋40之一或多個密封表面。蓋40包含經構形以當蓋40放置於底板10上時直接接觸底板10之一或多個密封表面。例如，底板10可包含經構形以直接接觸蓋40之以第一密封表面(例如密封表面14)，且蓋40可包含經構形以直接接觸底板10之一第二密封表面(例如密封表面44)。
圖2係一光罩盒之底板10之一實施例之一俯視圖。圖2展示底板10之頂部12。蓋40經構形以放置於底板10之頂部12上。底板10亦可包含光罩支撐件7A。
底板10包含密封表面14及一底板本體16。密封表面14形成於底板本體16上。下文更詳細地描述密封表面14及底板本體16之構形。圖2中之底板10包含一單一連續密封表面14。密封表面14沿底板10之整個周長延伸。然而，在一實施例中，底板10可包含多個密封表面。例如，可在底板10與蓋40之間可發生較大量磨損之位置提供單獨密封表面14。在一實施例中，底板10之(若干)密封表面14可僅沿底板10之周長之一部分延 伸。
如圖2中所展示，一或多個密封表面14經安置以覆蓋小於75%之底板10之75%。在一實施例中，一或多個密封表面14經安置以覆蓋小於50%之底板10。
圖3係一內盒之蓋40之一實施例之一仰視圖。圖3展示蓋40之底部42。蓋40之底部42經構形以當蓋40放置於底板10上時接觸底板40之頂部12。蓋40亦可包含接觸內盒內之光罩之一上表面之光罩容置部分3及光罩接觸件7B。
蓋40包含密封表面44及一蓋本體46。密封表面44形成於蓋本體46上。下文更詳細地描述密封表面44及蓋本體46之構形。圖3中之蓋40包含一單一連續密封表面44。然而，在一實施例中，蓋40可包含多個密封表面。例如，密封表面44之各者僅沿底板40之周長之一部分延伸。例如，可在底板10與蓋40之間發生較大量磨損之位置提供單獨密封表面44。
密封表面44沿蓋40之整個周長延伸。因此，當蓋40被放置於底板10上時，密封表面44經安置以沿底板10之整個周長延伸。在一些實施例中，底板10之一或多個密封表面14及蓋40之一或多個密封表面44可經安置以組合地圍繞底板10之整個周長延伸。例如，底板10之(若干)密封表面14可不沿底板10之整個周長延伸，而蓋40之(若干)密封表面44沿無(若干)密封表面14之底板10之周長之若干)部分延伸。當組合考量時，底板10之(若干)密封表面14及蓋40之密封表面44可沿底板10之整個周長延伸。
提供(若干)密封表面44以覆蓋小於75%之蓋40。在一實施 例中，(若干)密封表面44覆蓋小於50%之蓋40。形成內盒1之(若干)密封表面14、44以覆蓋小於75%之底板10及蓋40。在一實施例中，形成(若干)密封表面14、44以覆蓋小於50%之底板10及蓋40。
圖4係跨底板10及蓋40之密封表面14、44之一橫截面圖。例如，圖4中之橫截面延伸穿過圖2中之虛線A1及圖3中之虛線A2。圖4展示當蓋40係放置於底板10上時，密封表面14、44之一結構及交互作用(例如如圖1B中所展示)。
密封表面14係形成於底板本體16上，且密封表面44係形成於蓋本體46上。底板本體16及蓋本體46係分別由金屬形成。底板本體16及蓋本體46可係由相同金屬形成。在一實施例中，底板本體16包含鋁，且密封表面14係形成於底板本體16之鋁上。在一實施例中，蓋本體46包含鋁，且密封表面44係形成於蓋本體46之鋁上。
各密封表面14、44包含一耐磨最外層塗層14A、44A。各耐磨最外層塗層14A、44A沿其密封表面14、14之整個長度延伸。例如，耐磨最外層塗層14A將沿底板12之整個周長延伸，如上文類似地描述及圖2中針對密封表面14所展示。
返回圖4，沿底板10之各密封表面14，一耐磨最外層塗層14A提供底板10之外表面18。沿蓋40之各密封表面44，耐磨最外層塗層44A提供蓋40之外表面48。因此，當放置於底板10上時，蓋40僅經由一或多個耐磨最外表面14A、44A接觸底板10。
各耐磨最外層塗層14A、44A具有約或大於70之一洛氏C硬度。根據ASTM E18-20量測及判定洛氏C硬度。在一實施例中，耐磨最外層塗層14A、44A具有約或大於80之一洛氏C硬度。例如，耐磨塗層14A 及/或44A可為但不限於氮化鈦、氮化鉻、類金剛石碳及金剛石-鎳複合物。在一實施例中，耐磨塗層14A及/或44A係一金剛石-鎳複合物。在另一實施例中，耐磨塗層14A及/或44A為類金剛石碳。在其它實施例中，耐磨塗層14A及/或44A係氮化鈦或氮化鉻。吾人亦經考慮併入具有約或大於70之一洛氏C硬度之鈷或鈷複合物之耐磨塗層。
耐磨最外層塗層14A、44A具有小於塗層形成於其上之底板本體16或蓋本體46之厚度之一厚度T1、T2。在一實施例中，一耐磨最外層塗層14A、44A之厚度係約0.1微米至約100微米。在一實施例中，一耐磨最外層塗層14A、44A之厚度係約0.1微米至約60微米。在一實施例中，一耐磨最外層塗層14、44A之一厚度係約0.1微米至約40微米。取決於應用，底板10之密封表面14可為可相同或不同於提供於蓋之密封表面44上之耐磨最外層塗層44A之一耐磨最外層塗層14A。
如圖4中所展示，在耐磨最外層塗層14A與底板本體16之間提供一內層20。內層20形成於底板本體16上，且耐磨最外層塗層14A位於堆疊之內層20及底板本體16上。例如，內層20可為(但不限於)鎳。在一實施例中，底板10可不包含內層20。例如，耐磨最外層塗層14A可直接形成於底板本體16之材料上。在另一實施例中，可在耐磨最外層塗層14A與底板本體16之間提供複數個內層20。例如，底板本體16可包含(若干)內層20，改良底板10之一或多個性質(例如降低反應性、增加強度等)及/或耐磨最外層塗層14A之一或多個性質(例如增加強度、耐磨最外層塗層之增加附著力等)。在一實施例中，蓋40可依一類似方式包含一內層50，如上文所描述。
在圖1A至圖4中，底板10及蓋40兩者均具有含一耐磨最外 層塗層14AA、44A之至少一密封表面14、44。底板10之密封表面14直接接觸蓋40之密封表面44。更特定言之，底板10之耐磨最外層塗層14A直接接觸蓋40之耐磨最外層塗層44A。在其它實施例中，一密封表面及其耐磨最外層塗層可不接觸一相對密封表面之耐磨最外層塗層。密封表面14、44及其耐磨最外層塗層14A、44A可直接接觸除一耐磨最外層塗層之外之一材料。例如，一密封表面14、44及其耐磨外塗層14A、44A可直接接觸相對底板本體16或蓋本體46之金屬，或該相對底板本體16或蓋本體上之一塗層(例如層20、層50等)。
然而，應理解在一些實施例中，僅底板10及蓋40之一者可具有(若干)密封表面。例如，蓋40可具有一或多個密封表面44而底板10不包含任何密封表面，或反之亦然。在此一構形中，蓋40之一耐磨最外層塗層44A將接觸底板10之不同材料(例如底板本體16之一金屬、層20等)。
圖5係根據一實施例之一光罩盒200之一透視圖。光罩盒200包含一內盒210及一外盒220。例如，光罩盒200可為(但不限於)用於光微影遮罩之極紫外線(「EUV」)處理之一光罩盒。
內盒210包含一蓋212及一底板214。蓋212及底板214經構形以接合在一起。當接合在一起時，蓋212及底板214界定經設定大小及整形以含有供使用之一光罩230之一內部空間。例如，光罩230可為(但不限於)將在極紫外線(EUV)處理中使用之一光微影遮罩。在一些實施例中，蓋212及底板214之至少一者包含一或多個密封表面216，如上文針對圖1A至圖3中之底板10及蓋40類似地討論。在一些實施例中，蓋212及底板214各包含至少一密封表面216(在圖5中由於蓋212而被隱蔽)。密封表面216之各者包含一耐磨最外層塗層。耐磨最外層塗層可為(例如)上文對 於圖4所描述之耐磨最外層塗層14A。蓋212可為(例如)上文所描述且在圖1A、圖1B及圖3中所展示之蓋40。底板214可為(例如)上文所描述且在圖1A、圖1B及圖2中所展示之底板10。
外盒220包含一外盒圓頂222及一外盒門224。外盒220經構形以在由外盒圓頂222及外盒門224界定之一內部空間內容納內盒210。外盒圓頂222可固定至外盒門224以(例如)在光罩盒200之運輸及處置期間圍封內部空間且含有內盒210。外盒圓頂222及外盒門224可各包含或全部由一或多種聚合物材料製成。
圖6係產生一光罩盒之一方法300之一方塊圖。例如，方法300可形成如上文及圖5中所描述之光罩盒300，或形成上文及圖1A至圖4中所描述之一光罩盒之底板10及蓋40之一或兩者。在一實施例中，光罩盒係一EUV光罩盒。方法300在310處開始。
在310處，提供用於一光罩盒之一底板(例如底板10、底板214)及一蓋(蓋40、蓋212)。在一實施例中，310可包含形成底板及蓋之一或兩者。接著，方法300進行至320。
在320處，使一或多個密封表面(例如密封表面14、密封表面44、密封表面216)形成於底板之一底板本體(例如底板本體16)及蓋之一蓋本體(例如蓋本體46)之至少一者上。一或多個密封表面經構形以在底板與蓋之間提供密封。一或多個密封表面之各者包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層(例如耐磨最外層塗層14A、耐磨最外層塗層44A)。可如何形成耐磨最外層塗層之非限制性實例包含物理氣相沈積、濺鍍沈積、化學氣相沈積及電漿增強化學氣相沈積。
在一實施例中，形成一或多個密封表面320包含使一密封 表面形成於底板本體上322。使密封表面形成於底板本體上322將包含使一耐磨最外層塗層(例如耐磨最外層塗層14A)形成於底板本體上。耐磨最外層塗層係安置於底板本體上，以當蓋放置於底板上時直接接觸蓋。
在一實施例中，形成一或多個密封表面320包含使至少一密封表面形成於蓋本體324上。使密封表面形成於蓋本體上324將包含使耐磨最外層塗層(例如耐磨最外層塗層44A)形成於蓋本體上。耐磨最外層塗層係安置於蓋本體上，以當蓋放置於底板上時直接接觸底板。
在一些實施例中，形成一或多個密封表面320包含使密封表面形成於底板本體上322及使密封表面形成於蓋本體上324。在其它實施例中，形成一或多個密封表面220可僅包含使密封表面形成於底板本體上322或使密封表面形成於蓋本體上324之一者。
在一些情況中，於形成之後，可拋光該(等)耐磨最外層塗層至一所要表面粗糙度或平滑度，以增強接觸表面積且最小化該(等)耐磨塗層中之表面缺陷。
應瞭解各種實施例中之方法300可被修改以達成可與上文相對於圖1A至圖4中之底板10及蓋40所討論之特徵相比較的(若干)特徵。例如，一實施例中之方法300可形成一或多個密封表面320以沿底板之一整個周長延伸。
態樣：
態樣1至12中之任何者可與態樣13至20中之任何者組合。
態樣1。一種盒，其包括：一蓋，其包含一蓋本體；一底板，其包含一底板本體；及一或多個密封表面，其等經形成於該底板本體及該蓋本體之一或多者上以在該蓋與該底板之間提供密封，該一或多個密 封表面各包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。
態樣2。如態樣1之盒，其中該耐磨最外層塗層之該洛氏C硬度係約或大於80。
態樣3。如態樣1或2之盒，其中該耐磨最外層塗層係氮化鈦、氮化鉻及類金剛石碳之一者。
態樣4。如態樣1至3中任一者之盒，其中該耐磨最外層塗層具有約0.1微米至約100微米之一厚度。
態樣5。如態樣1至4中任一者之盒，其中該一或多個密封表面覆蓋小於75%之該底板及小於75%之該蓋。
態樣6。如態樣1至4中任一者之盒，其中該一或多個密封表面包含形成於該底板本體上之一第一密封表面，該底板包含該第一密封表面之該耐磨最外層塗層，當該蓋放置於該底板上時，該第一密封表面之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該蓋。
態樣7。如態樣6之盒，其中該底板本體包含鋁，該耐磨最外層塗層形成於該鋁上。
態樣8。如態樣6或7之盒，其中該一或多個密封表面包含形成於該蓋本體上之一第二密封表面，該蓋包含該第二密封表面之該耐磨最外層塗層，當該蓋放置於該底板上時，該蓋之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該底板之該耐磨最外層塗層。
態樣9。如態樣1至8中任一者之盒，其中當放置於該底板上時，該蓋僅經由該一或多個密封表面之該一或多個耐磨最外表面接觸該底板。
態樣10。如態樣1至9中任一者之盒，其中該一或多個密封 表面之該一或多個耐磨最外層塗層沿該底板之一整個周長延伸。
態樣11。如態樣1至9中任一者之盒，其中該盒係一EUV光罩盒。
態樣12。如態樣1至11中任一者之盒，其進一步包括：一外盒圓頂及一外盒門，該外盒圓頂及該外盒門經構形以當該外盒門附接至該外盒圓頂時將該底板及該蓋容納於該外盒圓頂內。
態樣13。一種產生一光罩盒之方法，其包括：使一或多個密封表面形成於一底板之一底板本體及一蓋之一蓋本體之至少一者上以在該底板與該蓋之間提供密封，該一或多個密封表面各包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。
態樣14。如態樣13之方法，其中該耐磨最外層塗層之該洛氏C硬度係約或大於80。
態樣15。如態樣13或14之方法，其中該耐磨最外層塗層係氮化鈦、氮化鉻及類金剛石碳之一者。
態樣16。如態樣13至15中任一者之方法，其中該耐磨最外層塗層具有約0.1微米至約100微米之一厚度。
態樣17。如態樣13至16中任一者之方法，其中使該一或多個密封表面形成於該底板本體及該蓋本體之該至少一者上包含形成該一或多個密封表面以覆蓋小於75%之該底板本體之該至少一者及小於75%之該蓋。
態樣18。如態樣13至17中任一者之方法，其中該一或多個密封表面包含一第一密封表面，且形成該一或多個密封表面包含使該第一密封表面之該耐磨最外層塗層形成於該底板本體上，當蓋放置於該底板上 時，該第一密封表面之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該蓋。
態樣19。如態樣13至18中任一者之方法，其中該底板本體包含鋁，且形成該一或多個密封表面包含使該第一密封表面之該耐磨最外層塗層形成於該底板之該鋁上。
態樣20。如態樣13至19中任一者之方法，其中形成該一或多個密封表面包含形成該一或多個密封表面之該一或多個耐磨最外層塗層以沿該底板之一整個周長延伸。
本申請案所揭示之實例在所有態樣中被視為繪示而非限制。本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非前述描述指示；且在申請專利範圍之等效意義及範圍內之所有改變均意欲含於其中。
7A:光罩支撐件
10:底板
12:頂部
14:密封表面
16:底板本體
A1:虛線

Claims (18)

  1. 一種盒，其包括：一蓋，其包含一蓋本體；一底板，其包含一底板本體；及一或多個密封表面，其等經形成於該底板本體及該蓋本體之一或多者上，以在該蓋與該底板之間提供密封，該一或多個密封表面各包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。
  2. 如請求項1之盒，其中該耐磨最外層塗層之該洛氏C硬度係約或大於80。
  3. 如請求項1之盒，其中該耐磨最外層塗層係氮化鈦、氮化鉻及類金剛石碳或金剛石-鎳複合物之一者。
  4. 如請求項1之盒，其包括經形成於該底板本體上之具有一第一耐磨最外層塗層之一第一密封表面及經形成於該蓋本體上之具有一第二耐磨最外層塗層之一第二密封表面，其中該第一耐磨最外層塗層相同於該第二耐磨最外層塗層。
  5. 如請求項1之盒，其包括經形成於底板本體上之具有一第一耐磨最外層塗層之一第一密封表面及經形成於該蓋本體上之具有一第二耐磨最外層塗層之一第二密封表面，其中該第一耐磨最外層塗層不同於該第二耐磨最 外層塗層。
  6. 如請求項1之密封盒，其中該一或多個密封表面包含經形成於該底板本體上之一第一密封表面，該底板包含該第一密封表面之該耐磨最外層塗層，當該蓋放置於該底板上時，該第一密封表面之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該蓋。
  7. 如請求項6之盒，其中該底板本體包含鋁，該耐磨最外層塗層係形成於該鋁上。
  8. 如請求項6之盒，其中該一或多個密封表面包含經形成於該蓋本體上之一第二密封表面，該蓋包含該第二密封表面之該耐磨最外層塗層，當該蓋放置於該底板上時，該蓋之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該底板之該耐磨最外層塗層。
  9. 如請求項1之盒，其中當放置於該底板上時，該蓋僅經由該一或多個密封表面之該一或多個耐磨最外表面接觸該底板。
  10. 如請求項1之盒，其中該一或多個密封表面之該一或多個耐磨最外層塗層沿該底板之一整個周長延伸。
  11. 一種產生一光罩盒之方法，其包括：使一或多個密封表面形成於一底板之一底板本體及一蓋之一蓋本體 之至少一者上，以在該底板與該蓋之間提供密封，該一或多個密封表面各包含具有約或大於70之一洛氏C硬度之一耐磨最外層塗層。
  12. 如請求項11之方法，其中該耐磨最外層塗層之該洛氏C硬度係約或大於80。
  13. 如請求項11之方法，其中該耐磨最外層塗層係氮化鈦、氮化鉻、類金剛石碳或金剛石-鎳複合物之一者。
  14. 如請求項11之方法，其中該耐磨最外層塗層具有約0.1微米至約100微米之一厚度。
  15. 如請求項11之方法，其中使該一或多個密封表面形成於該底板本體及該蓋本體中之該至少一者上包含形成該一或多個密封表面以覆蓋小於75%之該底板本體中之該至少一者及小於75%之該蓋。
  16. 如請求項11之方法，其中該一或多個密封表面包含一第一密封表面，且形成該一或多個密封表面包含使該第一密封表面之該耐磨最外層塗層形成於該底板本體上，當該蓋係放置於該底板上時，該第一密封表面之該耐磨最外層塗層經安置以直接接觸該蓋。
  17. 如請求項16之方法，其中 該底板本體包含鋁，且形成該一或多個密封表面包含使該第一密封表面之該耐磨最外層塗層形成於該底板之該鋁上。
  18. 如請求項11之方法，其中形成該一或多個密封表面包含形成該一或多個密封表面之該一或多個耐磨最外層塗層以沿該底板之一整個周長延伸。
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