TW202400488A - 光罩容器中用於間隔之插件 - Google Patents

Abstract

間隔件包含經構形為放置在一光罩盒之一蓋或一底板之一者之凹陷內的一底座，及經構形以接觸該蓋及該底板之另一者的一接觸表面。該等間隔件經構形以將該蓋及該底板彼此間隔開，使得該蓋及該底板之密封表面藉由一間隙分開。該等凹陷可係該底板之推爪口袋。可在一光罩盒中使用多個間隔件以提供密封表面之間之該間隙。可安裝該等間隔件來準備運輸之一光罩盒。

Description

光罩容器中用於間隔之插件

此發明係關於用於將光罩容器之零件彼此間隔開之插件。

光罩容器可包含硬接觸表面。當運輸光罩容器時，其等通常以其完整之組裝狀態運輸。在運輸過程中，接觸表面可能會受到超過光罩盒之普通處置及操作之衝擊及/或振動，導致磨損、損壞及產生顆粒，從而影響光罩盒之清潔度或其他效能。

本發明係關於用於將光罩容器之零件彼此間隔開之插件。

藉由提供位於一光罩容器之內部空間內之間隔件，諸如一光罩盒之一內部盒，當該光罩盒以組裝狀態運輸時，可在接觸表面之間維持一間隙。此一間隙之存在可減少或消除由該光罩容器運輸期間經歷之衝擊或振動引起之磨損或損壞。該間隙可定大小以使得該光罩容器仍可完全組裝，例如在此運輸過程中將一內部盒容納在該完整之光罩容器之外部盒內。此使得光罩容器在運輸時損壞或產生顆粒之風險降低，即使在作為完整容器運輸時亦是如此。

在一實施例中，一種物品包含用於一光罩盒之一間隔件。該間隔件包含該間隔件的一底座，其經構形以與形成在該光罩盒之一蓋或一底板之一者中之一凹陷嚙合，及該間隔件的一接觸表面，其經構形以接觸該蓋或該底板之另一者。該接觸表面經構形以將該蓋與該底板間隔開，使得包含在該蓋及該底板中之密封表面藉由一間隙彼此間隔開。

在一實施例中，該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

在一實施例中，該間隔件包括一熱塑性塑膠，例如聚碳酸酯(PC)、聚醚醚酮(PEEK)、全氟烷氧基(PFA)及高密度聚乙烯(HDPE)。

在一實施例中，該凹陷係形成在該第一內部盒段中之一推爪口袋。

在一實施例中，該間隔件進一步包括自主體延伸之一處置特徵。

在一實施例中，一種光罩盒包含：一內部盒，該內部盒包含一底板及一蓋；及一或多個間隔件。各間隔件包含：一底座，其經構形以與形成在該底板或該蓋之一者中之一凹陷嚙合；及一接觸表面，其經構形以接觸該底板或該蓋之另一者。該接觸表面經構形以將該底板與該蓋間隔開，使得包含在該底板中之底板密封表面及包含在該蓋中之蓋密封表面藉由一間隙彼此間隔開。

在一實施例中，該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

在一實施例中，該光罩盒進一步包含一外部盒，其經構形以容納該內部盒及一或多個間隔件。

在一實施例中，該凹陷係形成在該底板中之一推爪口袋，且該接觸表面經構形以接觸該蓋。

在一實施例中，該間隔件進一步包括自該主體延伸之一處置特徵。

在一實施例中，該一或多個間隔件包含複數個該等間隔件。在一實施例中，複數個該等間隔件中之至少兩者藉由至少一個處置特徵彼此接合。

在一實施例中，該等間隔件僅在該等蓋密封表面之外側接觸該蓋且僅在該等底板密封表面之外側接觸該底板。

一種準備用於運輸之一光罩盒之方法包含將一或多個間隔件放置到形成於一光罩盒之一蓋或一底板之一者之凹陷中，且組裝該蓋及該底板以形成該光罩盒之一內部盒。該等間隔件接觸該蓋及該底板。該蓋與該底板藉由一間隙分開。

在一實施例中，該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

在一實施例中，該凹陷係形成在該底板中之一推爪口袋，且該接觸表面經構形以接觸該蓋。

在一實施例中，該蓋包含一或多個蓋密封表面，該底板包含一或多個底板密封表面，及該等間隔件僅接觸該等蓋密封表面之外側之該蓋且僅接觸該等底板密封表面之外側之該底板。

在一實施例中，該方法進一步包含將該內部盒放置到一外部盒中，該外部盒包含一盒圓頂及一盒門，並將該盒圓頂接合到該盒門以將該光罩盒之該內部盒圍在該外部盒內。在一實施例中，該方法進一步包括將該光罩盒自一包裝位置運送到一目的地位置，同時該盒圓頂接合到該盒門。在一實施例中，該方法進一步包含在該目的地位置處自該光罩盒移除該等間隔件。

此發明係關於用於將光罩容器之零件彼此間隔開之插件。

圖1展示根據一實施例之一光罩容器。光罩容器100包含外部盒102，外部盒102包含一盒圓頂104及一盒門106。光罩容器100進一步包含內部盒108，內部盒108包含一蓋110及一底板112。一或多個間隔件114可放置在內部盒108內。

外部盒102形成光罩容器100之一外部。外部盒102經構形以容納內部盒108。當光罩容器100運送到一目的地時，光罩容器可與含有在外部盒102內之內部盒108組裝在一起。外部盒102可由盒圓頂104及盒門106組成。

內部盒108係一光罩容器100之一內部盒，其經構形以容納一光罩。內部盒包含蓋110及底板112。蓋110及底板112可經構形以在典型使用期間彼此接觸，例如在蓋110及底板112中之各者上提供之對應密封表面處。蓋110及底板112可由金屬材料製成，且進一步可具有金屬鍍層，例如至少在一些密封表面處。蓋110及底板112可在其他時間彼此間隔開，例如在儲存或運輸期間，例如使用一或多個間隔件114。

間隔件114可包含在光罩容器100中，以在組裝內部盒108時將蓋110及底板112彼此間隔開。間隔件114可包含一或多個間隔觸點，其經構形以與形成在蓋110或底板112之一者中之一凹陷嚙合，及接觸蓋110或底板112之另一者以將蓋110及底板112彼此間隔開。凹陷可係在蓋110或底板112中形成之任何合適之凹部或凹陷。在一實施例中，凹陷可包含專門用於容納間隔件114。在一實施例中，凹陷可係蓋110或底板112之一現有特徵，例如一推爪口袋、一推爪禁區、一防護膜凹部或蓋110或底板112之任何其他此類特徵。間隔件114與凹陷之間之配合使得間隔件114可容易地放置到或自凹陷中移除。在一實施例中，間隔件114不附接到或變得固定到凹陷。間隔件114可放置在凹陷中，使得間隔件114。間隔件114可經構形為藉由間隔件114之手動或自動處置自凹陷中移除。間隔件114可接觸蓋110及底板112，使得各自密封表面保持藉由一間隙隔開。間隙使得當間隔件114安裝到內部盒子108中時，蓋110及底板112不彼此接觸。在一實施例中，當蓋110及底板112與間隔件114組裝時到位並放入外部盒102中時，可維持間隙。內部盒108放置在外部盒102中且外部盒102關閉時，間隙之一尺寸可在20微米(μm)與1毫米(mm)之間。在一實施例中，間隔件114可包含一或多個彈簧構件，其經構形為相對於當內部盒108含有在外部盒102中時所維持之間隙之大小，當內部盒108未含有在外部盒102中時增加間隙之一大小。

圖2展示根據一實施例之一光罩之一內部盒。內部盒200包含具有蓋密封表面204之蓋202及具有凹陷208及底板密封表面210之底板206。間隔件212包含一底座214及一接觸表面216。

蓋202係內部盒200之一蓋。蓋202經構形以當與底板206接合時，界定能夠容納一光罩之一內部空間。內部盒200可用於一光罩盒，諸如圖1所示及如上所述之光罩盒100。在一實施例中，內部盒200可含有在一外部盒內，諸如圖1所示及如上所述之外部盒102。蓋202包含蓋密封表面204。蓋密封表面204係蓋202之一部分，其經構形以在內部盒200之正常使用期間接觸底板密封表面210之對應位置以含有一光罩。蓋密封表面204可定位成對應於一底板接觸表面210。

底板206係光罩盒200之一底板。底板206經構形以當與蓋202接合時界定能夠容納一光罩之一內部空間。底板206包含一或多個凹陷208。凹陷208係底板206中之凹部。凹陷208可具有任何合適之形狀及深度。凹陷208可係根據光罩盒標準包括之特徵，諸如經構形以允許自動接近儲存在內部盒200中之一光罩之一底側之推爪口袋。底板密封表面210經構形以當光罩盒200在正常使用時接觸蓋密封表面204，例如以含有一光罩。底板密封表面經構形以對應於蓋密封表面204。

間隔件212可包含在內部盒200中，以將蓋202與底板206間隔開。間隔件212可係在一側包含一底座214及在與底座214相對之一側提供的一接觸表面216之一物品。底座214經構形以容納在底板206中包含之凹陷208之一者中。底座可經定形狀及定尺寸以牢固地裝配在其對應之凹陷208內，例如在空間內具有非常小之間隙或沒有間隙。接觸表面216在間隔件212與底座214相對之一側上。自底座214到接觸表面216之距離使得當底座安裝到凹陷208中且接觸表面216接觸蓋時，具有一寛度之一間隙形成在蓋密封表面204與底板密封表面210之間。即使當內部盒200放置到諸如外部盒102之一外部盒中且外部盒關閉時能夠維持間隙。間隔件214可係基於當與蓋202及底板206之材料一起使用時產生顆粒之可能性而選擇之任何合適之材料。合適之材料之非限制性實例包括聚烯烴。在一實施例中，間隔件214可包含或完全由高密度聚乙烯製成。在一實施例中，間隔件214可包含或完全由聚碳酸酯製成。在一實施例中，間隔件214可包含或完全由聚醚醚酮製成。在一實施例中，間隔件214可包含或完全由全氟烷氧基製成。在一實施例中，間隔件214可由一可壓縮材料製成，使得當蓋202及底板206藉由含有內部盒200之一外部盒(諸如外部盒102，如上所述及如圖1所示)壓在一起時，維持具有一第一寛度之一間隙。在此實施例中，當內部盒200未壓縮時，例如當蓋202藉由重力擱置在間隔件214上且內部盒200未因接觸一外部盒而受壓時，間隔件可提供具有大於第一寛度之一第二寛度之一間隙。

當需將蓋202與底板206間隔開時，例如在運輸或儲存內部盒200時，可將間隔件214包含在內部盒200中。在一實施例中，當需將蓋202與底板206間隔開時，至少三個間隔件214包含在內部盒200中。

雖然圖2展示凹陷208形成在底板206中且接觸表面216接觸蓋202，但在實施例中此等可顛倒，凹陷208代替形成在蓋202中且底座214插入此凹陷中208，接觸面216接觸底板204。

圖3展示根據一實施例之一間隔件之一透視圖。間隔件300包含一主體302，主體302包含位於一側之底座304及位於與底座304相對之一側的一接觸表面306。主體302經構形為插入至一光罩盒之一蓋或一底板之一者中之凹陷中，及接觸蓋或底板之另一者，使得蓋與底板藉由一間隙彼此分開。主體302可包含任何合適之材料，例如一聚烯烴。主體302之材料之非限制性實例包含一高密度聚乙烯或聚碳酸酯。在一實施例中，主體302可包含能夠被壓縮之一彈性材料。彈性材料可經選擇使得當間隔件300在沒有施加任何額外之力之情況下將蓋及底板分開時，維持一第一間隙尺寸，及當蓋及底板藉由含有蓋及底板之一外部盒壓在一起時，維持一第二間隙尺寸。第二間隙可小於第一間隙。在一實施例中，代替一彈性材料，接觸表面306可藉由諸如一彈簧臂308之能夠偏轉之一構件連接到主體302，以提供第一及第二間隙尺寸。主體302包含一底座304，底座304經構形以容納在形成於蓋或底板之一中之凹陷中。例如，底座304可容納在形成於其中安裝有間隔件300之內部盒之一底板中之推爪口袋中。主體302亦包含與底座304相對的一接觸表面306。接觸表面經構形以接觸蓋或底板之另一者，使得間隔件300接觸安裝有間隔件300之一內部盒之蓋及底板。自底座304到接觸表面306之距離經選擇使得當底座304接觸一蓋或一底板之一者及接觸表面306接觸蓋或底板之另一者時，蓋及底板彼此間隔開。藉由與間隔件300接觸而使蓋及底板間隔開，使得在蓋及底板之密封表面之間存在一間隙。在一實施例中，間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。間隔件300之主體302可包含經構形以允許操縱間隔件300之一處置特徵310。在圖3所示之實施例中，處置特徵310係在接觸表面306上方竪直延伸之一突起。在實施例中，處置特徵可替代地包含水平突起、凸緣及類似物。在實施例中，處置特徵310經構形為由一使用者嚙合，例如用於抓握之一把手。在實施例中，處置特徵經構形為藉由自動化來操縱，例如提供凸緣、翼片、凹槽、凹部、開口及類似物，其等經構形以與諸如一機械臂之一自動處置裝置介接。

圖4展示根據一實施例之一間隔件。間隔件400包含複數個間隔件主體402，各間隔件主體402包含一底座404及一接觸表面406。一處置特徵408連接複數個間隔件主體中之至少兩者。

間隔件400包含複數個間隔件主體402。間隔件主體402係經構形為插入至一光罩盒之一蓋或一底板之一者中之凹陷中且接觸蓋或底板之另一者，使得蓋與底板藉由一間隙彼此分開。間隔件主體402可包含任何合適之材料，諸如一聚烯烴。用於間隔件主體402之材料之非限制性實例包含高密度聚乙烯、全氟烷氧基、聚醚醚酮或聚碳酸酯。在一實施例中，間隔件主體402可包含能夠被壓縮之一彈性材料。彈性材料可經選擇使得當間隔件400在沒有施加任何額外之力之情況下將蓋及底板分開時，維持一第一間隙尺寸，及當蓋及底板藉由含有蓋及底板之一外部盒壓在一起時，維持一第二間隙尺寸。第二間隙可小於第一間隙。間隔件主體402包含一底座404，底座404經構形以容納在形成於蓋或底板之一者中之凹陷中。例如，底座404可容納在形成於其中安裝有間隔件400之內部盒之一底板中之推爪口袋中。間隔件主體402亦包含與底座404相對的一接觸表面406。接觸表面經構形以接觸蓋或底板之另一者，使得間隔件400接觸安裝有間隔件400之一內部盒之蓋及底板。自底座404到接觸表面406之距離經選擇使得當底座404接觸一蓋或一底板之一者，且接觸表面406接觸蓋或底板之另一者時，蓋及底板彼此間隔開。藉由與間隔件400接觸而使蓋及底板間隔開，使得在蓋及底板之密封表面之間存在一間隙。在一實施例中，間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

處置特徵408可接合兩個或更多個間隔件主體402。處置特徵408可經構形以有利於處置間隔件400，例如藉由提供可由一使用者或一自動化工具抓握之一表面，諸如一機械臂將間隔件主體402自容納其等各自凹部中放置或移除。在圖4所示之實施例中，處置特徵408係自處置特徵408突出之翼片410。處置特徵408可延伸使得其完全位於其中安裝有間隔件400之一內部盒之內部空間內。處置特徵408可經構形以在安裝間隔件400時避免與內部盒之蓋及底板接觸。在一實施例中，當安裝間隔件400時，處置特徵408之至少一部分可接觸內部盒之蓋或底板之一者。在一實施例中，處置特徵408可接觸內部盒之蓋或底板，使得當內部盒包含間隔件400且內部盒不含有在一外部盒中時，在蓋與底板之間形成一間隙。藉由處置特徵408與蓋或底板之接觸提供之間隙可大於當內部盒含有在一較大盒內時由間隔件主體402維持之一間隙。在一實施例中，底座404之尺寸可設計成小於底板410之凹部412，使得凹部412中有空間允許使用者或自動化工具到達處置特徵408下方以將間隔件400抬出底板410。

態樣：

應理解，態樣1至5中之任一態樣可與態樣6至13中之任一態樣或態樣14至20中之任一態樣組合。應理解，態樣6至13中之任一態樣可與態樣14至20中之任一態樣結合。

態樣1。一種物品，其包括： 用於一光罩盒之一間隔件，該間隔件包含： 間隔件的一底座，其經構形以與形成在光罩盒之一蓋或一底板之一者中之一凹陷嚙合；及 間隔件的一接觸表面，其經構形以接觸蓋或底板之另一者， 其中： 接觸表面經構形以將蓋與底板間隔開，使得包含在蓋及底板中之密封表面藉由一間隙彼此間隔開。

態樣2。根據態樣1之物品，其中間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

態樣3。根據態樣1至2中任一態樣之物品，其中間隔件包括一熱塑性塑膠，諸如聚碳酸酯、聚醚醚酮、全氟烷氧基及高密度聚乙烯。

態樣4。根據態樣1至3中任一態樣之物品，其中凹陷係形成在第一內部盒段中之一推爪口袋。

態樣5。如技術方案1之物品，其中間隔件進一步包括自主體延伸之一處置特徵。

態樣6。一種光罩盒，其包括： 一內部盒，其包含一底板及一蓋；及 一或多個間隔件，各間隔件包含： 一底座，其經構形以與形成在底板或蓋之一者中之一凹陷嚙合；及 一接觸表面，其經構形以接觸底板或蓋之另一者，其中 接觸表面經構形以將底板與蓋間隔開，使得包含在底板中之底板密封表面及包含在蓋中之蓋密封表面藉由一間隙彼此間隔開。

態樣7。根據態樣6之光罩盒，其中間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

態樣8。根據態樣6至7中任一態樣之光罩盒，其進一步包括經構形以容納內部盒及一或多個間隔件的一外部盒。

態樣9。根據態樣6至8中任一態樣之光罩盒，其中凹陷係形成在底板中之一推爪口袋，及接觸表面經構形以接觸蓋。

態樣10。根據態樣6至9中任一態樣之光罩盒，其中間隔件進一步包括自主體延伸之一處置特徵。

態樣11。根據態樣6至10中任一態樣之光罩盒，其中一或多個間隔件包括複數個間隔件。

態樣12。根據態樣11之光罩盒，其中複數個間隔件中之至少兩者藉由至少一個處置特徵彼此接合。

態樣13。根據態樣6至12中任一態樣之光罩盒，其中間隔件僅在蓋密封表面之外側接觸蓋且僅在底板密封表面之外側接觸底板。

態樣14。一種準備用於運輸之一光罩盒之方法，其包括： 將一或多個間隔件放置在一光罩盒之一蓋或一底板之一者中形成之凹陷中；及 將蓋及底板組裝以形成光罩盒之一內部盒，其中間隔件接觸蓋及底板； 其中蓋及底板藉由一間隙分開。

態樣15。根據態樣14之方法，其中間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。

態樣16。根據態樣14至15中任一態樣之方法，其中凹陷係形成在底板中之一推爪口袋，及接觸表面經構形以接觸蓋。

態樣17。根據態樣14至16中任一態樣之方法，其中蓋包含一或多個蓋密封表面，底板包含一或多個底板密封表面，及間隔件僅在蓋密封表面之外側接觸蓋且僅在底板密封表面之外側接觸底板。

態樣18。根據態樣14至17中任一態樣之方法，其進一步包括將內部盒放置到一外部盒中，該外部盒包含一盒圓頂及一盒門；及 將盒圓頂接合到盒門，以將光罩盒之內部盒封閉在外部盒內。

態樣19。根據態樣18之方法，其進一步包括將光罩盒自一包裝位置運輸到一目的地位置，同時盒圓頂接合到盒門。

態樣20。根據態樣19之方法，其進一步包括在目的地位置處自光罩盒移除間隔件。

在此申請案中揭示之實例在所有方面都認為是説明性的而非限制性的。本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非由前述描述來指示；及在技術方案之等同物之含義及範圍內之所有變化都旨在包含在其中。

100:光罩容器 102:外部盒 104:盒圓頂 106:盒門 108:內部盒 110:蓋 112:底板 114:間隔件 200:內部盒 202:蓋 204:蓋密封表面 206:底板 208:凹陷 210:底板密封表面 212:間隔件 214:底座 216:接觸表面 300:間隔件 302:主體 304:底座 306:接觸表面 308:彈簧臂 310:處置特徵 400:間隔件 402:間隔件主體 404:底座 406:接觸表面 408:處置特徵 410:翼片/底板 412:凹部

圖1展示根據一實施例之一光罩容器。

圖2展示根據一實施例之一光罩之一內部盒。

圖3展示根據一實施例之一間隔件之一透視圖。

圖4展示根據一實施例之一間隔件。

100:光罩容器

102:外部盒

104:盒圓頂

106:盒門

108:內部盒

110:蓋

112:底板

114:間隔件

Claims (20)

1. 一種物品，其包括： 用於一光罩盒之一間隔件，該間隔件包含： 該間隔件之一底座，其經構形以與形成在該光罩盒之一蓋或一底板之一者中之一凹陷嚙合；及 該間隔件之一接觸表面，其經構形以接觸該蓋或該底板之另一者， 其中： 該接觸表面經構形以將該蓋與該底板間隔開，使得包含在該蓋及該底板中之密封表面藉由一間隙彼此間隔開。
2. 如請求項1之物品，其中該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。
3. 如請求項1之物品，其中該間隔件包括一熱塑性塑膠。
4. 如請求項1之物品，其中該凹陷係形成在該第一內部盒段中之一推爪口袋。
5. 如請求項1之物品，其中該間隔件進一步包括自該主體延伸之一處置特徵。
6. 一種光罩盒，其包括： 一內部盒，其包含一底板及一蓋；及 一或多個間隔件，各間隔件包含： 一底座，其經構形以與形成在該底板或該蓋之一者中之一凹陷嚙合；及 一接觸表面，其經構形以接觸該底板或該蓋之另一者，其中 該接觸表面經構形以將該底板與該蓋間隔開，使得包含在該底板中之該底板密封表面及包含在該蓋中之蓋密封表面藉由一間隙彼此間隔開。
7. 如請求項6之光罩盒，其中該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。
8. 如請求項6之光罩盒，其進一步包括經構形以容納該內部盒及該一或多個間隔件之一外部盒。
9. 如請求項6之光罩盒，其中該凹陷係形成在該底板中之一推爪口袋，及該接觸表面經構形以接觸該蓋。
10. 如請求項6之光罩盒，其中該間隔件進一步包括自該主體延伸之一處置特徵。
11. 如請求項6之光罩盒，其中該一或多個間隔件包含複數個該等間隔件。
12. 如請求項11之光罩盒，其中該複數個該等間隔件中之至少兩者藉由至少一個處置特徵彼此接合。
13. 如請求項6之光罩盒，其中該等間隔件僅在該等蓋密封表面之外側接觸該蓋且僅在該等底板密封表面之外側接觸該底板。
14. 一種準備用於運輸之一光罩盒之方法，其包括： 將一或多個間隔件放置在一光罩盒之一蓋或一底板之一者中形成之凹陷中；及 將該蓋及該底板組裝以形成該光罩盒之一內部盒，其中該等間隔件接觸該蓋及該底板； 其中該蓋及該底板藉由一間隙分開。
15. 如請求項14之方法，其中該間隙之一寛度在自20 μm至1 mm之一範圍內。
16. 如請求項14之方法，其中該凹陷係形成在該底板中之一推爪口袋，及該接觸表面經構形以接觸該蓋。
17. 如請求項14之方法，其中該蓋包含一或多個蓋密封表面，該底板包含一或多個底板密封表面，及該等間隔件僅在該等蓋密封表面之外側接觸該蓋且僅在該等底板密封表面之外側接觸該底板。
18. 如請求項14之方法，其進一步包括將該內部盒放置到一外部盒中，該外部盒包含一盒圓頂及一盒門；及 將該盒圓頂接合到該盒門，以將該光罩盒之該內部盒封閉在該外部盒內。
19. 如請求項18之方法，其進一步包括將該光罩盒自一包裝位置運輸到一目的地位置，同時該盒圓頂接合到該盒門。
20. 如請求項19之方法，其進一步包括在該目的地位置處自該光罩盒移除該等間隔件。