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TWI887265B - 硬化性樹脂組成物、其乾膜及硬化物以及含其硬化物之電子零件 - Google Patents

硬化性樹脂組成物、其乾膜及硬化物以及含其硬化物之電子零件 Download PDF

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TWI887265B
TWI887265B TW109130206A TW109130206A TWI887265B TW I887265 B TWI887265 B TW I887265B TW 109130206 A TW109130206 A TW 109130206A TW 109130206 A TW109130206 A TW 109130206A TW I887265 B TWI887265 B TW I887265B
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舟越千弘
柴崎陽子
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日商太陽控股股份有限公司
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Abstract

本發明之課題在於提供在不降低耐熱性和耐藥品性的情況下，提高顯影性/解析度的硬化性樹脂組成物、進而提供可以形成作為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料之有用的而且一併具有更高透明性及更優異的耐熱性之硬化物的硬化性樹脂組成物、及包含彼之乾膜，其硬化物，以及包含該硬化物的印刷線路板。 本發明之解決手段係提供一種硬化性樹脂組成物，特徵為包含：(A)醯胺亞醯胺樹脂、(B)具有乙烯性雙鍵的化合物、(C)光聚合開始劑；前述(A)醯胺亞醯胺樹脂，係由具有脂肪族構造的異氰酸酯所合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐之反應產物，且數目平均分子量為500~ 1000。

Description

硬化性樹脂組成物、其乾膜及硬化物以及含其硬化物之電子零件
本發明係關於硬化性樹脂組成物，例如印刷線路板之再配線等之時使用的層間絕緣材用的硬化性樹脂組成物，特別是硬化性樹脂組成物、硬化性樹脂組成物之乾膜及硬化物，以及含此硬化物之電子零件。 此外，本發明例如係關於作為光學用途的PID(Photo Imageable Dielectric, 感光型介電)材料或光學感測器保護膜的材料之有用的，透明性及耐熱性優異的層間絕緣材用的硬化性樹脂組成物。
作為印刷線路板的層間絕緣材，從前藉由使用含醯胺亞醯胺樹脂的硬化性樹脂組成物，提高硬化物的耐熱性等各種特性。特別是醯胺亞醯胺樹脂含有羧基的場合，可以使硬化性樹脂組成物之塗膜進行鹼性顯影。例如，專利文獻1提出了含有能夠以稀鹼性水溶液進行圖案化的具有羧基的聚合性聚醯亞胺樹脂之活性能量射線硬化型聚醯亞胺樹脂組成物。 此外，另一方面，將如前所述的硬化性樹脂組成物作為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料使用的場合，以所得到的硬化物透明性更高為較佳。這一點，例如在專利文獻2提出了含有數目平均分子量超過1000的醯胺亞醯胺樹脂的硬化性樹脂組成物，記載著由該組成物所得的硬化物其耐熱性與透明性均優異。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2003-221429號 [專利文獻2] 日本特許第5839149號公報
[發明所欲解決之課題]
期待有良好的顯影性及解析度的硬化性樹脂組成物，在記載於專利文獻1的含有醯胺亞醯胺樹脂的硬化性樹脂組成物，為了提高解析度，考慮對醯胺亞醯胺樹脂進而使其大量含有含羧基樹脂。但是在此場合，硬化物的玻璃轉移溫度(Tg)有降低的傾向，因此使硬化物的耐藥品性降低。特別是使硬化物在包含於電子零件的基板的一部分之形態下使用的場合，因為在基板製作時用酸或鹼清洗基板表面，或是在實裝時使用溶媒清洗，所以基板的耐藥品性是必須的。 此外，將硬化性樹脂組成物作為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料使用的場合，如專利文獻2所揭示的分子量比較大的醯胺亞醯胺樹脂，不能說是與其他樹脂的互溶性良好，因此樹脂組成物變得混濁，所得到的硬化物仍留有透明性的課題。而且，使用把具有芳香環構造的羧酸無水物作為原料之一而得到的醯胺亞醯胺樹脂的場合，得到的硬化塗膜會變成褐色，在透明性上留有課題的情形也為本案發明人所發現。
亦即，本發明的第一課題在於提供在不降低耐熱性和耐藥品性的情況下，提高顯影性/解析度的硬化性樹脂組成物及包含彼之乾膜，其硬化物，以及包含該硬化物的印刷線路板。 進而，本發明的第二課題在於提供可以形成作為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料之有用且一併具有更高透明性及更優異的耐熱性之硬化物的硬化性樹脂組成物。 [供解決課題之手段]
本案發明人等有鑑於前述目的，銳意檢討後的結果，發現一種硬化性樹脂組成物，特徵為包含：(A)醯胺亞醯胺樹脂、(B)具有乙烯性雙鍵的化合物、(C)光聚合開始劑；前述(A)醯胺亞醯胺樹脂，係由具有脂肪族構造的異氰酸酯所合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐之反應產物，且數目平均分子量為500~1000之硬化性樹脂組成物可以解決前述第一課題，從而完成本發明。
在此，本發明之三羧酸酐，以具有脂肪族構造為佳。
此外，可解決前述第二課題之本發明之硬化性樹脂組成物，以進而含有(E)含羧基樹脂組成物為佳，在此場合，本發明之三羧酸酐，以具有脂肪族構造為佳。
本發明之硬化性樹脂組成物，以進而含有(D)熱固性樹脂為佳。
可解決前述第二課題之本發明之硬化性樹脂組成物，以硬化後之膜厚20um的硬化物之全光線透過率為95%以上，且霧度值未滿2.0%為佳。
此外，本發明之前述課題，可以藉著包含由前述硬化性樹脂組成物所構成的樹脂層之乾膜，使硬化性樹脂組成物或乾膜之樹脂層硬化而成的硬化物，以及包含硬化物之電子零件而解決。 [發明之效果]
根據本發明，可以得到硬化後的耐熱性和耐藥品性優異，而且提高顯影性及解析度之硬化性樹脂組成物、其硬膜、這些之硬化物，以及包含該硬化物之印刷線路板。 進而，此外本發明之硬化性樹脂組成物不僅解析度及顯影性優異，其硬化物也具有良好的耐熱性、全光線透過率及霧度值。因此，對於光蝕刻型，且為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料也是有用的。
本發明之硬化性樹脂組成物，至少包含：(A)醯胺亞醯胺樹脂、(B)具有乙烯性雙鍵的化合物、(C)光聚合開始劑；(A)醯胺亞醯胺樹脂，係由具有脂肪族構造的異氰酸酯所合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐之反應產物，且數目平均分子量為500~1000。 本發明之硬化性樹脂組成物藉由具有前述構成，根據鹼性顯影液進行顯影時，發揮優異的顯影性，藉此得到的硬化物的解析度極為良好。此外，由此硬化性樹脂組成物得到的硬化物於耐熱性、硬化塗膜強度、及耐藥品性均為優異。亦即，在要求纖細的解析度與塗膜的耐久性(耐熱性、強度、耐藥品性)雙方之適用，例如作為印刷線路板等之層間絕緣材、再配線用絕緣材之適用是優異的。
以下，詳述硬化性樹脂組成物的各構成成分。
[(A)醯胺亞醯胺樹脂] 本發明之硬化性樹脂組成物含有(A)醯胺亞醯胺樹脂。 (A)醯胺亞醯胺樹脂，係藉由使由具有脂肪族構造的異氰酸酯所合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐反應而製造的，使用數目平均分子量在500~1000之範圍者。亦即，在本發明使用的(A)醯胺亞醯胺樹脂，藉由前述之異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐直接形成亞醯胺鍵結，對比於經由先前技術的聚醯胺酸中間體之合成，材料安定性、再現性以及溶解性都良好，可合成透明性優異的醯胺亞醯胺樹脂。此外，藉由使(A)醯胺亞醯胺樹脂的數目平均分子量在500~1000之範圍，特別提高顯影性/解析度。進而，藉由三羧酸酐使用具有脂肪族構造者，所得到的硬化物成為適於光學用途的PID材料或光學感測器保護膜的材料用途。
[異氰脲酸酯型聚異氰酸酯] 用作(A)醯胺亞醯胺樹脂的合成原料之前述異氰脲酸酯型聚異氰酸酯是由脂肪族異氰脲酸酯，亦即由脂肪族直鏈異氰酸酯(例如，六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯)或脂環式異氰酸酯(異佛爾酮二異氰酸酯、氫化甲伸苯基二異氰酸酯、氫化二甲苯二異氰酸酯、降冰片烷二異氰酸酯、氫化二苯基亞甲基二異氰酸酯)合成的。
異氰脲酸酯型聚異氰酸酯之具體例為： HDI3N：由己異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、 HTMDI3N：由三甲基己異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、 IPDI3N：由異佛爾酮二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、 HTDI3N：由氫化甲伸苯基二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、 HXDI3N：由氫化二甲苯二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、 NBDI3N：由降冰片烷二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯、及 HMDI3N：由氫化二苯基亞甲基二異氰酸酯酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯。 前述各三異氰脲酸酯，亦可分別單獨使用，亦可組合使用。
(A)醯胺亞醯胺樹脂的原料之異氰酸酯，為脂環式異氰酸酯，為異佛酮二異氰酸酯特佳，藉由使用此使Tg特別提高，且可得到熱的物性優異的硬化塗膜。此外，由於含有前述脂肪族構造的異氰酸酯並不含有芳香環構造的構造，因此關於得到的本發明之醯胺亞醯胺樹脂具有高透明性。
[三羧酸酐] (A)醯胺亞醯胺樹脂的其他反應原料之三羧酸酐，係含有芳香族構造的三羧酸酐，例如可列舉偏苯三酸酐、1,2,4-苯三羧酸1,2酐等，含有脂肪族構造(包含脂肪族直鏈狀構造或脂環式構造)之三羧酸酐，例如可列舉環己烷三羧酸酐、甲基環己烷三羧酸酐、環己烯三羧酸酐、甲基環己烯三羧酸酐等。作為三羧酸酐含有脂肪族構造者較佳，再者，透明性之外，而且可以得到Tg高且熱的物性優異之硬化塗膜因此含有脂環式構造之三羧酸酐為更佳。其中，使用環己烷三羧酸酐特佳。異氰脲酸酯型聚異氰酸酯及三羧酸酐，最好都是不含有芳香環構造之構造者。藉此，關於得到的本發明之醯胺亞醯胺樹脂係具有高透明性，進而，由含有彼之本發明的硬化性樹脂組成物得到之硬化物也具有高透明性。
環己烷三羧酸酐係以下列化學式(1)表示，
其具體例之環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐、環己烷-1,3,5-三羧酸-3,5-酐、環己烷-1,2,3-三羧酸-2,3--酐等，而使用環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐特別佳。 亦即，藉由以這樣的脂肪族三羧酸酐作為(A)醯胺亞醯胺樹脂的原料，可以使本發明的硬化物的耐熱性更加優異。
此外，作為(A)醯胺亞醯胺樹脂的製造原料，除了使用前述三羧酸酐，而且還可以隨不同的場合，併用2官能的二羧酸化合物，例如脂肪族或芳香族二羧酸、例如癸二酸、鄰苯二甲酸、反丁烯二酸、順丁烯二酸及這些的酸酐等。
當前述三羧酸酐的羧酸成分與異氰脲酸酯型聚異氰酸酯中的異氰酸酯成分反應時，會形成亞醯胺及醯胺，本發明之樹脂成為醯胺亞醯胺樹脂。此外，於異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐反應時，會由酸酐基與異氰酸酯基形成亞醯胺鍵結、由羧基與異氰酸酯基形成醯胺鍵結，而當三羧酸酐基與聚異氰酸酯基以留下三羧酸酐的羧酸(羧基)成分之比例反應時，得到的聚醯胺亞醯胺樹脂係含有羧基。此羧基，與後述的本發明的硬化性樹脂組成物中所含的環氧樹脂的環氧基等聚合性基反應，形成硬化物的架橋構造。又，三羧酸酐與三異氰酸酯之反應中，考慮前述之醯胺化與亞醯胺化之2種類型反應，而反應速度上亞醯胺化較快，因此三羧酸在酸酐基上選擇性地形成亞醯胺。
由含有脂肪族構造的異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與含有脂肪族構造的三羧酸酐，反應以使由含有前述脂肪族構造的異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯的異氰酸酯基的莫耳數(N)、與三羧酸酐的羧基的莫耳數(M1)及酸酐基莫耳數(M2)的合計莫耳數之比[(M1)+(M2))/(N)]成為1.1~3，這是由於反應系中的極性變高且反應潤滑地進行、不殘留異氰酸酯基、得到的聚醯亞胺樹脂的安定性良好、三羧酸酐的殘留量少且不易引起再結晶等的分離問題等之理由而較佳。其中成為1.2~2更佳。又，本發明之酸酐基，係指羧酸2分子的分子內脫水縮合得到之-CO-O-CO-基。
亞醯胺化反應，在溶劑中或者無溶劑中將1種類以上的含有脂肪族構造的異氰酸酯、與1種以上的三羧酸酐混合，且邊進行攪拌邊進行昇溫較佳。反應溫度，為50℃~250℃較佳，70℃~180℃特佳。藉由這樣的反應溫度，反應速度變快，且發揮不易引起副反應或分解等之效果。反應，係酸酐基與異氰酸酯基隨著脫碳酸形成亞醯胺基。反應的進行，係可以藉由紅外光譜、或酸價、異氰酸酯基的定量等分析手段進行追蹤。在紅外光譜中，異氰酸酯基的特性吸收即2270cm-1 隨著反應而減少，再者於1860cm-1 與850cm-1 具有特性吸收之酸酐基減少。另一方面，於1780cm-1 與1720cm-1 亞醯胺基的吸收增加。反應，也可以在確認目的之酸價、黏度、分子量等的同時降低溫度而結束。然而，由經時安定性等之觀點而言反應續行直到異氰酸酯基消失為止更佳。此外，反應中或反應後，在不損害被合成的樹脂的物性之範圍下，也可以添加觸媒、抗氧化劑、界面活性劑、其他溶劑等。
本發明之醯胺亞醯胺樹脂的酸價為70~210 KOHmg/g較佳，90~190KOHmg/g特佳。如果酸價為70~210 KOHmg/g，則會發揮優異的硬化物性性能。 此外，本發明之醯胺亞醯胺樹脂最好是可溶解於不含有前述氮原子及硫原子的極性溶劑之醯胺亞醯胺樹脂。作為這樣的醯胺亞醯胺樹脂之例示，可列舉含有分歧型構造、且樹脂的酸價為60KOHmg/g以上之分歧型醯胺亞醯胺樹脂。
硬化性樹脂組成物之(A)醯胺亞醯胺樹脂，其數目平均分子量Mn在500~1000，在700~900之範圍更佳。 本發明，係藉由(A)醯胺亞醯胺樹脂的數目平均分子量Mn在500以上，使硬化塗膜的耐熱性良好，藉由數目平均分子量Mn為1000，於顯影硬化性樹脂組成物時容易增加對比度，獲得的硬化塗膜也具有優異的解析度。 又，本發明中數目平均分子量，除非有特別規定，使用聚苯乙烯標準之凝膠滲透層析法(GPC)測定結果。 可以解決前述第一課題之本發明之硬化性樹脂組成物中，(A)醯胺亞醯胺樹脂的含有量對硬化性樹脂組成物的固形成分總質量為30~85質量%，在40~70質量%之範圍特佳。藉由該範圍的配合量，可以得到硬化性樹脂組成物的Tg提高、且熱的物性優異之硬化塗膜的緣故。 此外，可以解決前述第二課題之本發明之硬化性樹脂組成物中，(A)醯胺亞醯胺樹脂的含有量對硬化性樹脂組成物的固形成分總質量為5~70質量%較佳，在10~50質量%之範圍特佳。
[(B)具有乙烯性雙鍵的化合物] 本發明之硬化性樹脂組成物係含有(B)具有乙烯性雙鍵的化合物。(B)具有乙烯性雙鍵的化合物，係可以藉由活性能量射線的照射而光固化，使本發明之樹脂組成物於鹼性水溶液中不溶解、或有助於不溶解。
(B)具有乙烯性雙鍵的化合物之具體例： 2-丙烯酸羥乙酯、2-丙烯酸羥丙酯等之羥烷基丙烯酸酯類等具有羥基的單丙烯酸酯類； 乙二醇、甲氧基三縮四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇等的乙二醇的二丙烯酸酯類； N,N-二甲基丙烯醯胺、N-羥甲基丙烯醯胺、N,N-二甲胺丙基丙烯醯胺等的丙烯醯胺類； N,N-二甲胺乙酯、N,N-二甲胺丙酯等的胺烷基丙烯酸酯類； 己二醇、壬二醇、癸二醇等的烷二醇，三羥甲基丙烷、新戊四醇、二新戊四醇、異氰脲酸酯、三羥乙基異氰脲酸酯等的多價醇或該等的環氧乙烷加成物、環氧丙烷加成物、或者ε-己內酯加成物等的多價丙烯酸酯類，例如1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬烷二醇二丙烯酸酯、1,10-癸烷二醇二丙烯酸酯等的2官能丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、新戊四醇三丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰脲酸酯三丙烯酸酯、環氧乙烷變性三羥甲基三丙烯酸酯、環氧乙烷變性三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、環氧丙烷變性三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、ε-己內酯變性三(2-丙烯醯氧乙基)異氰脲酸酯等的3官能丙烯酸酯，雙三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、新戊四醇四丙烯酸酯、乙氧化新戊四醇四丙烯酸酯等的4官能丙烯酸酯，二新戊四醇的五丙烯酸酯等的5官能丙烯酸酯，二新戊四醇六丙烯酸酯等的6官能丙烯酸酯，苯氧基丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯、及該等的苯酚類的環氧乙烷加成物或環氧丙烷加成物等的多價丙烯酸酯類；丙二醇二環氧丙酯、甘油三環氧丙醚、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚、異氰脲酸三縮水甘油酯等的環氧丙基醚的多價丙烯酸酯類；二環戊二烯二丙烯酸酯等的具有二環戊二烯骨架的丙烯酸酯類；不限於前述，可以列舉：將聚醚多元醇、聚碳酸酯二元醇、末端羥基聚丁二烯、聚酯多元醇等的多元醇直接丙烯酸酯化，或者中介二異氰酸酯而聚氨酯丙烯酸酯化之丙烯酸酯類及三聚氰胺丙烯酸酯、以及對應於前述丙烯酸酯之各甲基丙烯酸酯類。
再者，可以列舉在鄰甲基酚醛型環氧樹脂等的多官能環氧樹脂、使(甲基)丙烯酸反應之環氧(甲基)丙烯酸酯樹脂，或進而在其環氧丙烯酸酯樹脂的羥基、使季戊四醇三丙烯酸酯等的羥基丙烯酸酯與異佛爾酮二異氰酸酯等的二異氰酸酯的半胺甲酸乙酯化合物反應之環氧胺甲酸乙酯丙烯酸酯化合物等。這樣的環氧丙烯酸酯系樹脂可以提高光固性而不會降低指觸乾燥性。 (B)具有乙烯性不飽和基的化合物，可以單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 (B)具有乙烯性不飽和基的化合物，相對於硬化性樹脂組成物的固形成分100質量部，以0.1~25質量部的比例添加為佳，以3~20質量部的比例更佳。 (B)具有乙烯性不飽和基的化合物的配合量，相對於硬化性樹脂組成物的固形成分100質量部為0.1質量部以上，藉此使硬化性樹脂組成物的光固性良好，藉由在20質量部以下可以防止由於過度的光聚合反應引起的成暈現象(光暈)，得到良好的解析性。
[(C)光聚合開始劑] 本發明之硬化性樹脂組成物含有(C)光聚合開始劑。(C)光聚合開始劑，可以沒有特別限制地使用公知慣用的材料。特別是，可以使用如後述包含以一般式(I)表示的構造的肟酯(oxime ether)系、包含以一般式(II)表示的構造的α-胺基苯乙酮系、包含以一般式(III)表示的構造的醯基氧化膦系、及以一般式(IV)表示的構造的二茂鈦系等。 (C)光聚合開始劑，可以單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。
[肟酯系光開始劑]
肟酯系光開始劑係以前述一般式(I)表示，一般式(I)中，R1表示氫原子、苯基、烷基、環烷基、烷醯基或苯甲醯基。R2表示苯基、烷基、環烷基、烷醯基或苯甲醯基。R1及R2表示的苯基，可以具有置換基，作為置換基，例如可列舉碳數1~6的烷基、苯基、鹵素原子等。R1及R2表示的烷基為碳數1~20的烷基較佳，烷基鏈中可以包含1個以上的氧原子。此外，以1個以上的羥基置換亦可。R1及R2表示的環烷基，為碳數5~8的環烷基較佳。R1及R2表示的烷醯基為碳數2~20的烷醯基較佳。R1及R2表示的苯甲醯基，可以具有置換基，作為置換基，例如可列舉碳數1~6的烷基、苯基等。
一般式(I)的肟酯系光聚合開始劑之具體例，可列舉1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲醯基肟)]、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)等。市售商品，可列舉 BASF Japan(股)製造的CGI-325、Irgacure OXE01、Irgacure OXE02，ADEKA(股)製造N-1919、NCI-831等。也可以適宜使用分子內具有2個肟酯基的光聚合開始劑或具有咔唑構造的光聚合開始劑。
[α-胺基苯乙酮系光開始劑]
α-胺基苯乙酮系光開始劑係以前述一般式(II)表示，一般式(II)中，R3及R4係各自獨立地表示碳數1~12的烷基或芳基烷基，R5及R6係各自獨立地表示氫原子、或碳數1~6的烷基，或者2個鍵結而形成環狀烷基醚基亦可。
α-胺基苯乙酮系光開始劑之具體例，可以使用(4-Morpholinobenzoyl)-1-苄基-1-二甲基胺基丙烷(Omnirad(オムニラッド)369、商品名稱、IGM Resins公司製造)、4-(甲硫基苯甲醯基)-1-甲基-1-Morpholinoethane (Omnirad(オムニラッド)907、商品名稱、IGM Resins公司製造)、2-(二甲基胺基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-Morpholinyl)苯基]-1-Butanone (Omnirad(オムニラッド) 379、商品名稱、IGM Resins公司製造)等的市售化合物或其溶液。
[醯基氧化膦系光開始劑]
醯基氧化膦系光開始劑係以前述一般式(III)表示，一般式(III)中，R7及R8係各自獨立地表示碳數1~10的烷基、環戊基、環己基等之碳數5~8的環烷基，芳基，或者以鹵素原子、烷基或烷氧基置換的芳基，或者碳數1~20的羰基(但是，雙方均為碳數1~20的羰基之場合除外)。
醯基氧化膦系光聚合開始劑之具體例，可列舉2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲醯基)-2,4,4-三甲基-戊基氧化膦等。市售商品可列舉IGM Resins公司製造的Omnirad(オムニラッド)TPO、IGM Resins公司製造的Omnirad(オムニラッド)819等。
[二茂鈦系光開始劑]
二茂鈦系光開始劑係以前述一般式(IV)表示，一般式(IV)中，R9及R10係各自獨立地表示鹵素原子、芳基、鹵素化芳基、含有雜環鹵素化芳基。
二茂鈦系光聚合開始劑，可列舉雙(η5-2、4-環戊二烯-1-基)-雙(2、6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦。市售商品，可列舉 BASF Japan(股)製造的Irgacure 784等。 又，本說明書中鹵素或鹵素原子係意味氟、氯、溴、碘，芳基係意味苯基等的單環芳香族烴及萘基等的多環芳香族烴基。
本發明中使用的其他光聚合開始劑，例如，可列舉安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚等的安息香與安息香烷基醚類；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-t-丁基蒽醌、1-氯基蒽醌、2-戊基蒽醌等的蒽醌類；2,4-二甲基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2-氯基噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等的噻噸酮類；苯乙酮二甲基縮酮、苄基二甲基縮酮等的縮酮類；二苯基酮等的二苯基酮類；氧雜蔥酮類、3,3’4,4’-四-(tert-丁基過氧羰基)二苯基酮等的各種過氧化物類；1,7-雙(9-吖啶基)庚烷等。
本發明之硬化性樹脂組成物中，除了前述的光聚合開始劑以外，還可以使用N,N-二甲基胺基安息香酸乙酯、N,N-二甲基胺基安息香酸異戊酯、戊基-4-二甲基胺基安息酸鹽、三乙胺、三乙醇胺等的三級胺類之類的公知慣用光增感劑之1種或2種以上組合。再者，要求更深的光固化深度之場合，因應需要可以將3-置換香豆素(coumarin)色素、無色染料(leuco dye)等作為硬化輔助劑而組合使用。
(C)光聚合開始劑，相對於硬化性樹脂組成物的固形成分100質量部，一般上以0.1~50質量部的比例添加為佳，以1~30質量部的比例更佳。(C)光聚合開始劑的配合量，相對於硬化性樹脂組成物的固形成分100質量部，如果在前述範圍內，則可良好地促進光固化反應。
[(D)熱固性樹脂] 本發明之硬化性樹脂組成物，可以進而含有(D)熱固性樹脂。(D)熱固性樹脂，例如，可列舉多官能環氧化合物、多官能氧雜環丁烷化合物、環硫化合物樹脂等分子中有2個以上的環狀醚基及/或環狀硫醚基，聚異氰酸酯化合物、封端異氰酸酯化合物等1分子內有2個以上的異氰酸酯基，或者具有封端化異氰酸酯基之化合物、三聚氰胺樹脂、苯代三聚氰胺樹脂等的胺樹脂與其衍生物，雙馬來亞醯胺、噁嗪(oxazine)、環碳酸酯化合物、碳二亞胺樹脂等之公知熱固性樹脂。
作為多官能環氧樹脂，可以使用在1分子中具有至少2個環氧基之公知慣用的多官能環氧樹脂。環氧樹脂可以是液狀，也可以是固形或半固形。多官能環氧樹脂，可列舉雙酚A型環氧樹脂；溴化環氧樹脂；酚醛型環氧樹脂；雙酚F型環氧樹脂；氫化雙酚A型環氧樹脂；縮水甘油胺型環氧樹脂；尿囊素型環氧樹脂；脂環式環氧樹脂；三羥基苯基甲烷型環氧樹脂；聯二甲苯酚型或聯苯酚型環氧樹脂或者該等的混合物；雙酚S型環氧樹脂；雙酚A酚醛型環氧樹脂；四酚基乙烷型環氧樹脂；複素環式環氧樹脂；二縮水甘油苯二甲酸酯樹脂；四縮水甘油酯二甲苯酚乙烷樹脂；含萘基環氧樹脂；具有雙環戊二烯骨架的環氧樹脂；縮水甘油甲基丙烯酸酯共聚合系環氧樹脂；環己基馬來醯亞胺與縮水甘油甲基丙烯酸酯的共聚合環氧樹脂；環氧變性的聚丁二烯橡膠衍生物；CTBN變性環氧樹脂等，但並不限於這些。作為環氧樹脂，以雙酚A型或雙酚F型的酚醛型環氧樹脂、聯二甲苯酚型環氧樹脂、聯苯酚型環氧樹脂、聯苯酚酚醛型(聯苯芳烷基型)環氧樹脂、萘型環氧樹脂或該等的混合物為佳。
由提高耐熱性之觀點而言，以具有芳香環骨架(例如萘骨架)的環氧樹脂為佳，由提高解析度之觀點而言，則以具有脂環式骨架的環氧樹脂為佳。
作為具有芳香環骨架的環氧樹脂，例如可列舉具有萘骨架的環氧樹脂，特別是芳烷基型萘。該具有萘骨架的環氧樹脂，萘為平面構造，可以降低線膨脹係數、且更加提高耐熱性。該具有萘骨架的環氧樹脂之市售商品，例如，可列舉新日鐵住金化學(股)製造的ESN-190、ESN-360，DIC(股)製造的EPICRON HP-4032、EPICRON、HP-4032D，日本化藥(股)製造的NC-7000L。再者，作為具有脂環式骨架的環氧樹脂，例如可列舉具有雙環戊二烯骨架的環氧樹脂。也可以期待該具有脂環式骨架的環氧樹脂比鏈狀骨架的環氧樹脂更能改善玻璃轉移溫度。
如以上說明之熱固性樹脂可以單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。 使用(D)熱固性樹脂之場合，藉由可以解決前述第一課題之本發明之硬化性樹脂組成物中，(D)熱固性樹脂之配合量對硬化性樹脂組成物的固形成分100質量部為5~20質量部，可以使硬化性樹脂組成物的顯影性及硬化物的耐熱性與解析度之雙方極為優異。 此外，由硬化物的良好硬度、耐熱性、電氣絕緣性及顯影性之觀點而言，可以解決前述第二課題之本發明之硬化性樹脂組成物中，(D)熱固性樹脂之配合量對(A)醯胺亞醯胺樹脂以5~200質量%的比例來使用為佳，以10~150質量%更佳。
[(E)含羧基樹脂] 為了進一步提高顯影性，本發明之硬化性樹脂組成物，依場合可以包含(E)含羧基樹脂。 (E)含羧基樹脂，係構造不同於前述的(A)醯胺亞醯胺樹脂之化合物，可以使用不含醯胺亞醯胺構造，且於分子中具有羧基之、感光性或非感光性樹脂。作為其具體例，可列舉下列(E1)~(E10)。
作為含非感光性羧基樹脂之具體例，可列舉下列之類的化合物(低聚物及聚合物皆可)。 (E1)藉由(甲基)丙烯酸等的不飽和羧酸，與苯乙烯、α-甲苯乙烯、低級烷基(甲基)丙烯酸酯、異丁烯等的含不飽和基化合物之共聚合而得到之含羧基樹脂。
(E2)藉由脂肪族二異氰酸酯、分歧脂肪族二異氰酸酯、脂環式二異氰酸酯、芳香族二異氰酸酯等的二異氰酸酯，與二羥甲基丙酸、二羥甲基丁酸等的含羧基二醇化合物及聚碳酸酯系多元醇、聚醚系多元醇、聚酯系多元醇、聚烯烴系多元醇、丙烯酸系多元醇、具有含雙酚A系環氧烷烴附加體二醇的苯酚性羥基及醇性羥基之化合物等之二醇化合物之重附加反應所形成之含羧基胺甲酸乙酯樹脂。
(E3)藉由脂肪族二異氰酸酯、分歧脂肪族二異氰酸酯、脂環式二異氰酸酯、芳香族二異氰酸酯等的二異氰酸酯化合物，與聚碳酸酯系多元醇、聚醚系多元醇、聚酯系多元醇、聚烯烴系多元醇、丙烯酸系多元醇、含雙酚A系環氧烷烴附加體二醇的具有苯酚性羥基及醇類性羥基的化合物等之二醇化合物之重附加反應使酸酐在胺甲酸乙酯樹脂的末端反應而成之含羧基末端胺甲酸乙酯樹脂。
(E4)藉由二異氰酸酯，與雙酚A型環氧樹脂、氫化雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、聯二甲苯酚型環氧樹脂、聯苯酚型環氧樹脂等的2官能環氧樹脂的(甲基)丙烯酸酯或其部分酸酐變性物、含羧基二醇類化合物及二醇化合物之重附加反應所形成之含羧基感光性胺甲酸乙酯樹脂。
(E5)在前述的(E2)或(E4)的樹脂合成中，在羥基烷基(甲基)丙烯酸酯等的分子中添加具有1個羥基與1個以上(甲基)丙烯醯基的化合物，且末端(甲基)丙烯酸化之含羧基感光性胺甲酸乙酯樹脂。
(E6)在前述的(E2)或(E4)的樹脂合成中，在分子中添加具有1個異氰酸酯與1個以上(甲基)丙烯醯基的化合物，異佛爾酮二異氰酸酯與季戊四醇三丙烯酸酯的等莫耳反應物等，且末端(甲基)丙烯酸化之含羧基感光性胺甲酸乙酯樹脂。
(E7)使後述之類的2官能或更高官能環氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應，且將鄰苯二甲酸酐、四氫基鄰苯二甲酸酐、六氫基鄰苯二甲酸酐等的2鹽基酸酐附加到側鏈中存在的羥基之含羧基感光性樹脂。在此，環氧樹脂為固形較佳。
(E8)進而使以環氧氯丙烷將後述之類的2官能環氧樹脂的羥基予以環氧化之多官能環氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應，且將2鹽基酸酐附加到產生的羥基之含羧基感光性樹脂。在此，環氧樹脂為固形較佳。
(E9)使氧化乙烯等的環狀醚、或者丙烯碳酸鹽等的環狀碳酸鹽附加到酚醛等的多官能苯酚化合物，以(甲基)丙烯酸將得到的羥基予以部分酯化，使殘留的羥基與多鹽基酸酐反應之含羧基感光性樹脂。
(E10)進而將在縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、α-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯等的分子中具有1個環氧基與1個以上(甲基)丙烯醯基的化合物附加到這些(E1)~ (E9)的樹脂而成之含羧基感光性樹脂。
(E11)使在1分子中具有複數苯酚性羥基的化合物、亦即聚苯酚化合物(例如苯酚酚醛、鄰甲基酚醛)與環氧乙烷、環氧丙烷等的環氧烷烴反應而得到的多元醇樹脂等之反應生成物，與含(甲基)丙烯酸等的不飽和基單羧酸反應，進而使得到的反應生成物與多鹽基酸酐反應而得到之含羧基感光性樹脂。
(E12)使聚苯酚化合物(例如酚醛清漆、甲酚新醛)與碳酸伸乙酯、丙烯碳酸鹽等的環狀碳酸鹽化合物反應而得到之反應生成物，與含不飽和基單羧酸反應，進而使得到的反應生成物與多鹽基酸酐反應而得到之含羧基感光性樹脂。 本發明中使用前述(E11)及(E12)等的、具有多酚骨架之感光性含羧基感光性樹脂較佳。
(E)含羧基樹脂，可以單獨使用1種，亦可組合2種以上使用，但可以解決前述第一課題之本發明之硬化性樹脂組成物中，合計質量對(A)醯胺亞醯胺樹脂的固形成分100質量部為1質量部以上40質量部以下較佳，藉此可以使硬化性樹脂組成物的顯影性及硬化物的解析度良好。 在為了更加提高本發明之硬化性樹脂組成物的硬化塗膜的斷裂強度，進而含有無機填充物之場合，解析度也一併提高時，可以使(E)含羧基樹脂對醯胺亞醯胺樹脂100質量部為20質量部~200質量部。此外，在將可以解決前述第二課題之本發明之硬化性樹脂組成物使用作為光學用途的PID材料或光學感測器保護膜之場合，由平衡個特性之觀點而言，使含羧基樹脂對醯胺亞醯胺樹脂100質量部為50質量部~100質量部更佳。
[無機填充物] 本發明之硬化性樹脂組成物，可以進而含有被用於通常的樹脂組成物之無機填充物。 具體而言，例如，可列舉二氧化矽、硫酸鋇、碳酸鈣、氮化矽、氮化鋁、氮化硼、氧化鋁、氧化鎂、氫氧化鋁、氫氧化鎂、氧化鈦、雲母、滑石、諾伊堡(Neuburg)矽土、有機皂土等的非金屬填充物，或銅、金、銀、鈀、矽等的金屬填充物。 本發明之硬化性樹脂組成物中，這些無機填充物可以單獨使用，或者亦可併用2種以上。本發明以使用硫酸鋇、二氧化矽、或該雙方為較佳。
該等無機填充物的含有量，對本發明之硬化性樹脂組成物的固形成分全質量為5~60質量%，以10~50質量%較佳。藉由因應無機填充物之不同種類而適當選擇配合量，可以不降低硬化塗膜的解析度，且提高強度。
[其他成分] 本發明之硬化性樹脂組成物，在不損害本發明的效果之範圍內，可以添加前述成分以外的其他成分。作為添加劑，可以混合聚矽氧系、氟系的消泡劑，流平劑，熱固促進劑，熱聚合禁止劑，紫外線吸收劑，溶劑，矽烷耦合劑，可塑劑，發泡劑，難燃劑，去靜電劑，抗氧化劑，抗菌/防黴劑等。
又，為了得到適切的黏度可以使用溶劑以將硬化性樹脂組成物塗布到基板或載體膜。作為這樣的溶劑，主要使用有機溶劑，其具體例可以列舉酮類、芳香族烴類、甘醇醚類、甘醇醚乙酸酯類、酯類、醇類、脂肪族烴、石油系溶劑等。更具體而言，甲乙酮、環己酮等的酮類；甲苯、二甲苯、四甲基苯等的芳香族烴類；賽珞蘇(cellosolve)、甲基賽珞蘇、丁基賽珞蘇、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇二乙醚、三乙二醇單乙醚等的乙二醇醚類；乙酸乙酯、乙酸丁酯、二丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯等的酯類；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等的醇類；辛烷、癸烷等的脂肪族烴；石油醚、石油腦、氫化石油腦、溶劑油等的石油系溶劑等。這樣的有機溶劑可以單獨使用1種，亦可組合2種以上使用。
本發明之硬化性樹脂組成物，可以是液狀型，抑或使液狀型樹脂組成物乾燥而得到的乾膜型。由保存安定性之觀點而言，液狀型樹脂組成物可以為2液型等，抑或1液型。以下，作為硬化性樹脂組成物之一使用態樣詳述乾膜。
[乾膜之製造] 本發明之乾膜，係將本發明之硬化性樹脂組成物塗布到膜(以下亦稱為「載體膜」)上，其後加以乾燥而得到的具有樹脂層之膜。本發明之乾膜，係可以將本發明之硬化性樹脂組成物以有機溶劑稀釋並調整成適切的黏度，藉逗號式塗布機、刮刀塗布機、模唇塗布機、棒式塗布機、擠壓塗布機、反向塗布機、轉送輥塗布機、凹版塗布機、噴霧式塗布機等在載體膜上均勻的厚度地塗布，通常在溫度50~130℃乾燥1~30分鐘而得到。針對塗布膜厚並無特別限制，一般上，乾燥後的膜厚可以適當設定在3~100μm，在5~40μm的範圍內較佳。
載體膜，可適宜使用塑膠膜，以使用聚對苯二甲酸乙二酯等之聚酯膜、聚醯亞胺膜、聚醯胺醯亞胺膜、聚丙烯膜、聚苯乙烯膜等之塑膠膜較佳。針對載體膜厚度並無特別限制，一般上，可以在10~150μm的範圍內適當選擇。
將本發明之硬化性樹脂組成物塗布在載體膜上並乾燥之後，進而為了防止灰塵附著在塗膜的表面等，亦可在塗膜的表面層積可剝離的膜(以下，亦稱為「覆蓋膜」)。可剝離的覆蓋膜，例如，可以使用聚乙烯膜、聚四氟乙烯膜、聚丙烯膜、表面處理過的紙等，在剝離覆蓋膜時，塗膜與覆蓋膜之接著力比塗膜與載體膜之接著力還要小即可。
將本發明之硬化性樹脂組成物塗布在載體膜上之後進行的乾燥處理，可以使用熱風循環式乾燥爐、IR爐、熱板、對流烘箱等來進行，藉此而得到乾膜。
將硬化性樹脂組成物直接在基板上塗敷之場合，作為基材，預先被形成電路的印刷線路板或可撓性印刷線路板之外，可以列舉酚醛紙、環氧紙、環氧玻璃布、聚醯亞胺玻璃、環氧玻璃布/不織布、環氧玻璃布/紙、環氧合成纖維、以使用氟/聚乙烯/聚苯醚,聚氧二甲苯/氰酸酯等的高頻電路用貼銅層積板等的材質之所有等級(FR-4等)的貼銅層積板、其他聚醯亞胺膜、PET膜、玻璃基板、陶瓷基板、晶圓板等。
[硬化物之製造] 使用本發明之硬化性樹脂組成物之硬化物(硬化膜)係如下列方式被製造。亦即，首先，因應需要在將硬化性樹脂組成物以溶劑稀釋之後，塗布到基板上。對硬化性樹脂組成物的圖案形成，係藉由對溶劑揮發乾燥之後得到的樹脂層進行選擇性曝光(光照射)，且使曝光部(被光照射的部分)硬化而進行。其後，藉由利用鹼性水溶液(例如，0.3~3質量%碳酸鈉水溶液)使未曝光部顯影，形成塗膜的圖案。再者，藉由對硬化性樹脂組成物進行光照射，進行光固化塗膜，形成硬化塗膜。
塗敷方法，係可以適用浸沾塗布法、淋塗法、桿塗布法、網版印刷法之任意方法。此外，作為活性能量射線的照射光源，以低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、氙燈或金屬鹵素燈等為適當。其他，也可以利用UV-LED、雷射光線、電子線等作為活性能量射線。
塗布後進行的揮發乾燥，可以使用熱風循環式乾燥爐、IR爐、熱板、對流烘箱等(使用具備利用蒸氣的空氣加熱方式的熱源且使乾燥機內的熱風對流接觸之方法及由噴嘴將熱風對支撐體吹噴之方式)來進行。
對於乾燥後的硬化性樹脂組成物或乾膜，可以通過已形成圖案的光罩，並藉由接觸式或非接觸方式進行利用活性能量射線的曝光。除此之外，可以對著硬化性樹脂組成物或乾膜，藉由利用雷射直接曝光機直接進行圖案曝光，使曝光部分光固化。
在此，作為用於活性能量射線照射的曝光機，搭載高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵素燈、水銀短弧燈等，且可在350~450nm的範圍內照射紫外線之裝置即可，再者，例如，也可以使用依照來自電腦的CAD數據直接以活性能量射線描繪影像之直接成像裝置之類的直接描畫裝置。作為直接描畫裝置的光源，可以是水銀短弧燈、LED、使用最大波長在350~410nm的範圍內的雷射光的話可以是氣體雷射或固體雷射。供圖案樹脂層影像形成之用的曝光量係因膜厚等而異，一般而言可以為20~1,500 mJ/cm2 ，在20~1,200mJ/cm2 的範圍內較佳。
作為顯影方法可以採用浸漬法、澆淋法、噴霧法、刷塗法等，作為顯影液可以使用氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸鉀、磷酸鈉、矽酸鈉、氨、胺類等的鹼性水溶液。
再者，本發明之硬化性樹脂組成物，可以在例如50mJ/cm2 ~1500mJ/cm2 的範圍內照射活性能量射線使之光固化。光照射係藉由紫外線、電子線、化學線等的活性能量射線之照射來進行，其中以藉由紫外線照射更佳。硬化性樹脂組成物含熱固性成分之場合，藉由在光固化後，加熱到溫度約100~180℃使之熱固化(二次硬化)，促進塗膜的固化。
本發明之硬化性樹脂組成物可以適用於電子零件。又，本發明中意味使用於電子電路之零件，除了印刷線路板、發光二極體、雷射二極體等主動零件，而且包含電阻、電容器、感應器、連接器等被動零件，本發明之硬化性組成物之硬化塗膜會發揮本發明之效果。本發明之硬化性樹脂組成物，特別適宜作為形成印刷線路板絕緣性硬化覆膜用，進而適宜作為包覆層、防焊油墨、層間絕緣材、再配線層形成用絕緣材等永久絕緣膜之形成用。
包含由本發明之硬化性樹脂組成物得到的硬化物之電子零件，硬化物的解析度與耐熱性方面優異，因而能完全發揮電子零件的機能。此外，由本發明之硬化性樹脂組成物得到的硬化物於耐藥品性方面也優異，因此即使在基板製作時之利用酸、鹼的洗淨、或實裝時之利用溶媒的洗淨，也不會因使用的藥劑而變質/變形等，可以維持/提高電子零件的精度。 [實施例]
以下，藉由實施例、比較例，進而詳細說明本發明。本發明並非限定於後述實施例，且在沒有特別說明的場合，以下記載之「部」及「%」均為質量基準。
[原料之合成] [醯胺亞醯胺樹脂之製造] 合成例1：(A)醯胺亞醯胺樹脂1之合成 在附有攪拌裝置、溫度計、電容器的錐形瓶添加EDGA(二乙二醇單乙醚乙酸酯)5184g、IPDI3N(由異佛爾酮二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯：NCO%= 18.2)2070g(3mol)及環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐1782g (9mol)，且升溫到140℃。反應係與發泡同時進行。在此溫度下反應8小時。系統內變成淡黃色液體，用紅外光譜測定特性吸收之結果，確認異氰酸酯基的特性吸收即2270cm-1 為完全地消滅，亞醯胺基的吸收在1780cm-1 、1720cm-1 。酸價以固形成分換算為140KOHmg/g，分子量以聚苯乙烯換算為數目平均分子量800。此外，樹脂成分的濃度係40重量百分比。該樹脂的溶液為(A)醯胺亞醯胺樹脂1的溶液。
合成例2：(A’)醯胺亞醯胺樹脂2之合成 在附有攪拌裝置、溫度計、電容器的錐形瓶添加EDGA(二乙二醇單乙醚乙酸酯)4628g、IPDI3N(由異佛爾酮二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯：NCO%= 18.2)2070g(3mol)及環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐1386g (7mol)，且升溫到140℃。反應係與發泡同時進行。在此溫度下反應8小時。系統內變成淡黃色液體，用紅外光譜測定特性吸收之結果，確認異氰酸酯基的特性吸收即2270cm-1 為完全地消滅，亞醯胺基的吸收在1780cm-1 、1720cm-1 。酸價以固形成分換算為140KOHmg/g，分子量以聚苯乙烯換算為數目平均分子量5800。此外，樹脂成分的濃度係40重量百分比。該樹脂的溶液為(A’)醯胺亞醯胺樹脂2的溶液。
合成例3：(A’)醯胺亞醯胺樹脂3之合成 在附有攪拌裝置、溫度計、電容器的錐形瓶添加EDGA(二乙二醇單乙醚乙酸酯)4903g、IPDI3N(由異佛爾酮二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯：NCO%= 18.2)2070g(3mol)及環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐1683g (8.5mol)，且升溫到140℃。反應係與發泡同時進行。在此溫度下反應8小時。系統內變成淡黃色液體，用紅外光譜測定特性吸收之結果，確認異氰酸酯基的特性吸收即2270cm-1 為完全地消滅，亞醯胺基的吸收在1780cm-1 、1720cm-1 。酸價以固形成分換算為140KOHmg/g，分子量以聚苯乙烯換算為數目平均分子量1500。此外，樹脂成分的濃度係40重量百分比。該樹脂的溶液為(A’)醯胺亞醯胺樹脂3的溶液。
合成例4：(A)醯胺亞醯胺樹脂4之合成 在附有攪拌裝置、溫度計、電容器的錐形瓶添加EDGA(二乙二醇單乙醚乙酸酯)3554g、IPDI3N(由異佛爾酮二異氰酸酯合成的異氰脲酸酯型三異氰酸酯：NCO%= 18.2)2070g(3mol)及1,2,4-苯三羧酸1,2-酐1333g(9mol)，且升溫到140℃。反應係與發泡同時進行。在此溫度下反應8小時。系統內變成褐色液體，用紅外光譜測定特性吸收之結果，確認異氰酸酯基的特性吸收即2270cm-1 為完全地消滅，亞醯胺基的吸收在1780cm-1 、1720cm-1 。酸價以固形成分換算為140KOHmg/g，分子量以聚苯乙烯換算為數目平均分子量800。此外，樹脂成分的濃度係40重量百分比。 該樹脂的溶液為(A)醯胺亞醯胺樹脂4的溶液。
又，前述醯胺亞醯胺樹脂1~4之數目平均分子量之測定係依照凝膠滲透層析法(GPC)法(聚苯乙烯標準)，以後述測定裝置、測定條件進行測定。
裝置名稱：Waters公司製造、Waters 2695 檢測器：Waters公司製造、2414示差折射率(RI)偵檢器 管柱(Column)：Waters公司製造、高速分析用HSPgel Column、HR MB-L、 3μm、6mm×150mm×2、以及 Waters公司製造、HSPgel Column、HR1,3μm、 6mm×150mm×2 測定條件： 管柱溫度：40℃ RI偵檢器設定溫度：35℃ 溶析液(eluent)：四氫呋喃 流速：0.5ml/分 試樣量：10μl 試樣濃度：0.5wt%
合成例5：含羧基樹脂之合成 於具備溫度計、氮導入裝置兼環氧烷烴導入裝置及攪拌裝置之高壓鍋內裝入酚醛型甲酚樹脂(昭和高分子(股)製造、商品名稱「Shonol CRG951」、OH當量：119.4)119.4 g、氫氧化鉀1.19g及甲苯119.4g，進行攪拌同時置換系統內的氮、加熱升溫。其次，徐徐滴下環氧丙烷63.8g，以125~132℃、0~4.8kg/cm2 進行反應16小時。其後，冷卻到室溫，於該反應溶液添加混合89%磷酸1.56g以中和氫氧化鉀，得到不揮發成分62.1%、羥基價為182.2g/eq.之酚醛型甲酚樹脂的環氧丙烷反應溶液。這是每當量苯酚性羥基平均添加1.08莫耳環氧烷烴。將得到的酚醛型甲酚樹脂的環氧烷烴反應溶液293.0g、丙烯酸43.2g、甲磺酸11.53g、甲氫醌0.18g及甲苯252.9g，裝入具備攪拌器、溫度計及噴氣管之反應器，以10ml/分的速度噴入空氣，加以攪拌同時以110℃進行反應12小時。由反應生成的水，係將12.6g的水作為與甲苯的共沸混合物而餾出。其後，冷卻到室溫，以15%氫氧化鈉水溶液35.35g中和得到的反應溶液，其次進行水洗。之後，以蒸發器將甲苯以二乙二醇單乙醚乙酸酯118.1g置換且餾去，得到酚醛型丙烯酸酯樹脂溶液。其次，將得到的酚醛型丙烯酸酯樹脂溶液332.5g及三苯基膦1.22g，裝入具備攪拌器、溫度計及噴氣管之反應器，以10ml/分的速度噴入空氣，加以攪拌同時徐徐地添加四氫鄰苯二甲酸酐60.8g、且以95~101℃進行反應6小時。得到固形物的酸價88mgKOH/g、固形成分71%的含羧基樹脂1。
[實施例1~5及比較例1~3] [硬化性樹脂組成物之調製] 如表1記載之方式配合各成分，且以攪拌器預備混合之後，藉由3輥輥磨機予以混練並使之分散，調製關於實施例1~5及比較例1~3之硬化性樹脂組成物。 又，表中的配合量係顯示質量部(固形成分換算)。
＜最適曝光量＞ 針對前述實施例及比較例之硬化性樹脂組成物，將銅厚35μm的電路圖案基板拋光輥研磨後、進行水洗、乾燥之後，藉由網版印刷法，在該電路圖案基板全面地塗布，且以80℃的熱風循環式乾燥爐使之乾燥60分鐘。乾燥後，使用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置並中介梯型板(Step Tablet, KODAK No.2)曝光，並以在60秒內進行顯影(30℃、0.2MPa、1質量%碳酸鈉水溶液)後殘留的梯型板圖案為7段時為最適曝光量。
＜1.解析度＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜(聚對苯二甲酸乙二酯膜)上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜(聚丙烯膜)而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，在貼銅層積基板，熱層壓得到的乾膜，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置以最適曝光量進行圖案曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影250秒鐘，藉此，形成通孔(via)圖案。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。 對以前述之評估基板作成方法作成的基板的解析度，用電子顯微鏡加以觀察。確認通孔開口尺寸，以下列方式進行評估。 ◎：形成未滿ϕ20μm的通孔圖案 〇：ϕ20μm以上未滿50μm的通孔圖案形狀 △：ϕ50μm以上的通孔圖案形狀 ×：無法形成開口形狀
＜2.顯影性＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜(聚對苯二甲酸乙二酯膜)上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於得到的塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，於貼銅層積基板、熱層壓得到的乾膜。將得到的基板，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影60秒鐘後，以下列方式評估顯影殘渣。 ◎：無殘渣 〇：殘渣膜厚未滿1μm △：殘渣膜厚1μm以上未滿3μm ×：殘渣膜厚3μm以上
＜3.耐熱性＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，熱層壓到銅箔上，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置以最適曝光量進行完全曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影250秒鐘。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。藉著由得到的附硬化塗膜銅箔剝離硬化塗膜，得到硬化塗膜。 依下列條件實施測定得到的硬化塗膜的玻璃轉移溫度。 裝置：動態黏彈性測定裝置(Seiko Instruments(股)製造 DMA6100) 測定溫度：30~300℃(5℃/min) 頻率：1Hz 玻璃轉移溫度：測定的tanδ的最大值為玻璃轉移溫度。 由於在較高溫度下發生彈性變化，因此判斷玻璃轉移溫度愈高，耐熱性愈高。 評估基準如以下。 ◎：190℃以上 〇：180℃以上 △：170℃以上 ×：未滿170℃
＜4.斷裂強度＞ 針對用於耐熱性評估的評估基板，依據日本工業標準JIS K7127進行測定並評估斷裂強度。評估基準如以下。 ◎：80MPa以上 〇：40MPa以上、未滿80MPa △：未滿40MPa
＜5.耐藥品性＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，用旋轉塗布塗布到矽晶圓上，且以80℃的熱風乾燥器進行加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層。用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置以最適曝光量進行完全曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影250秒鐘。 將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。將得到的晶圓上的硬化性樹脂組成物層、用切割器以形成100個1邊為1mm的正方形之方式進行橫切。將氫氧化鉀10%溶液以水浴加溫至40℃，浸漬30分鐘橫切了的附樹脂層晶圓之後，在已水洗、乾燥的樹脂層貼上Sellotape(註冊商標)，藉由剝離(peeling)以評估耐藥品性。評估基準如後述。 ○：無剝離 △：樹脂層沿著橫切的線而由晶園稍微剝離 ×：橫切的正方形有1枚以上剝離
以下顯示表中記載的材料之詳細內容。 (A)醯胺亞醯胺樹脂1：由合成例1合成 Mn=800 (A’)醯胺亞醯胺樹脂2：由合成例2合成部 Mn=5800 (A’)醯胺亞醯胺樹脂3：由合成例3合成部 Mn=1500 (A)醯胺亞醯胺樹脂4：由合成例4合成 Mn=800 (B)具有乙烯性雙鍵的樹脂1：雙季戊四醇六丙烯酸酯 (B)具有乙烯性雙鍵的樹脂2：環氧乙烷變性三羥甲基丙三丙烯酸酯 (C)光聚合開始劑1：2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉基-1-丙酮 (D)熱固性樹脂：萘酚變性環氧樹脂NC-7000L(日本化藥公司製造) (E)含羧基樹脂：合成例5 無機粒子1：硫酸鋇 無機粒子2：二氧化矽
由以上可知，本發明之硬化性樹脂組成物不僅耐熱性優異，而且解析度及顯影性、斷裂強度、以及耐藥品性也提高。
本發明並不以上述的實施型態之構成及實施例為限，在發明的要旨的範圍可進行種種的變形。
合成例6 於二乙二醇單乙醚乙酸酯600g裝入polyglycidyl ether of o‐cresol‐form aldehyde novolac[DIC(股)製造EPICLON N-695、軟化點95℃、環氧當量214、平均官能基數7.6] 1070g(縮水甘油基基數(芳香環總數)：5.0莫耳)、丙烯酸360g(5.0莫耳)、及對苯二酚1.5g，加熱攪拌至100℃、且均勻溶解。其次，裝入三苯基膦4.3g，加熱至110℃並進行反應2小時後，升溫至120℃再進行反應12小時。於得到的反應液中裝入芳香族系烴(SOLVESSO 150)415g、甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸酐534g(3.0莫耳)，以110℃進行反應4小時，冷卻後，得到固形成分酸價89mgKOH/g、固形成分65%的含鄰甲基酚醛型羧基樹脂溶液。 得到的樹脂為含羧基樹脂2。
＜實施例6~11、及比較例4~7＞ 基於下列表2記載之成分組成，配合各成分，且以攪拌器預備混合之後，藉由3輥輥磨機予以混練並使之分散，調製關於實施例6~11及比較例4~7之硬化性樹脂組成物。又，表中的配合量係顯示質量部(固形成分換算)。
＜數目平均分子量之測定方法及測定條件＞ 醯胺亞醯胺樹脂之數目平均分子量之測定係依照凝膠滲透層析法(GPC)法(聚苯乙烯標準)，以下列測定裝置、測定條件進行測定。 裝置名稱：Waters公司製造「Waters 2695」 檢測器：Waters公司製造「Waters2414」RI(示差折射率)偵檢器 管柱(Column)：Waters公司製造「HSPgel Column,HR MB-L,3μm,6mm×150mm」×2+Waters公司製造「HSPgel Column,HR1,3μm,6mm×150mm」×2 測定條件： 管柱溫度：40℃ RI偵檢器設定溫度：35℃ 溶析液(eluent)：四氫呋喃 流速：0.5ml/分 試樣量：10μL 試樣濃度：0.5wt%
＜評估基板製作方法＞ 以甲乙酮將製作出的硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的感光性樹脂組成物層。再者，於得到的塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，於銅箔基板或玻璃基板上、熱層壓得到的膜，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置(USHIO電機(股)製造)以最適曝光量進行曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影250秒鐘，得到光阻圖案。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化，而製作出評估基板。對得到的印刷電路板(評估基板)以下列方式評估特性。
＜最適曝光量＞ 將與前述的評估基板製作方法同樣做法而得到的乾膜層壓在貼銅層積基板，中介光罩(Stouffer公司製造、step tablet No.41)，使用高壓水銀燈曝光裝置進行曝光。照射物為試樣片，以噴霧壓2kg/cm2 的顯影液(碳酸鈉水溶液)進行250秒鐘顯影之後，目視判定殘存塗膜的段數。以殘存塗膜的段數8段之曝光量為適當曝光量。
＜解析度＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，在貼銅層積基板，熱層壓得到的乾膜，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置(USHIO電機(股)製造)以最適曝光量進行圖案曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下進行30℃的1%Na2 CO3 水溶液顯影250秒鐘，藉此，形成通孔(via)圖案。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。 對這樣做法製作的基板的解析度，用電子顯微鏡進行觀察。確認通孔開口尺寸，以下列方式進行評估。將結果記載於表2。 ◎：形成未滿ϕ20um的通孔圖案 〇：ϕ20um以上未滿50um的通孔圖案形狀 △：ϕ50um以上的通孔圖案形狀 ×：無法形成開口形狀
＜顯影性＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於得到的塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，於貼銅層積基板、熱層壓得到的乾膜。將得到的基板，在0.2MPa的噴霧壓條件下用30℃的1%Na2 CO3 水溶液進行顯影60秒鐘後，以下列方式評估顯影殘渣。將結果記載於表2。 ◎：無殘渣 〇：殘渣膜厚未滿1um △：殘渣膜厚1um以上未滿3um ×：殘渣膜厚3um以上
＜耐熱性＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，熱層壓到銅箔上，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置(USHIO電機(股)製造)以最適曝光量進行完全曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下用30℃的1%Na2 CO3 水溶液進行顯影250秒鐘。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。藉著由得到的附硬化塗膜銅箔剝離硬化塗膜，得到硬化塗膜。 依下列條件實施測定得到的硬化塗膜的玻璃轉移溫度。將結果記載於表2。 裝置：動態黏彈性測定裝置(Seiko Instruments(股)製造 DMA6100) 測定溫度：30~300℃(5℃/min) 頻率：1Hz 玻璃轉移溫度：測定的tanδ的最大值為玻璃轉移溫度。 由於在較高溫度下發生彈性變化，因此判斷玻璃轉移溫度愈高，耐熱性愈高。 評估基準如以下。 ◎：190℃以上 〇：180℃以上 △：170℃以上 ×：未滿170℃
＜全光線透過率＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，剝下覆蓋膜，熱層壓到基板上，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置(USHIO電機(股)製造)以最適曝光量進行完全曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下用30℃的1%Na2 CO3 水溶液進行顯影250秒鐘。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。 依下列條件實施測定得到的硬化塗膜的全光線透過率。將結果記載於表2。 裝置：紫外/可見分光光度計(日本分光(股)製造Ubest-V-570DS)、積分球装置(日本分光社製ISN-470) 測定方法：依據ISO 13468。 評估方法如後述。 A：全光線透過率95%以上 B：全光線透過率90%以上未滿95% C：全光線透過率未滿90%
＜霧度值＞ 以甲乙酮將硬化性樹脂組成物稀釋成適切的黏度，並塗布到載體膜上。以80℃的熱風乾燥器將這加熱乾燥30分鐘後形成厚度20μm的硬化性樹脂組成物層，於塗膜上貼合覆蓋膜而得到乾膜。之後，將得到的乾膜熱層壓到玻璃基板上，用搭載高壓水銀燈的投影型曝光裝置(USHIO電機(股)製造)以最適曝光量進行完全曝光，在0.2MPa的噴霧壓條件下用30℃的1%Na2 CO3 水溶液進行顯影250秒鐘。將該基板、於UV傳送爐以累積曝光量1000mJ/cm2 的條件進行紫外線照射後，以180℃加熱60分鐘使之硬化。 依下列條件實施測定得到的硬化塗膜的霧度值。將結果記載於表2。 裝置：紫外/可見分光光度計(日本分光(股)製造Ubest-V-570DS)、積分球装置(日本分光社製ISN-470) 測定方法：依據ISO 14782。 評估方法如後述。 A：霧度值未滿2.0% B：霧度值2.0%以上未滿5.0 C：霧度值5.0以上
(A)醯胺亞醯胺樹脂1：合成例1 Mn=800 (A’)醯胺亞醯胺樹脂2：合成例2 Mn=5800 (A’)醯胺亞醯胺樹脂3：合成例3 Mn=1500 (A)醯胺亞醯胺樹脂4：合成例4 Mn=800 (B)具有乙烯性雙鍵的樹脂1：雙季戊四醇六丙烯酸酯 (B)具有乙烯性雙鍵的樹脂2：環氧乙烷變性三羥甲基丙三丙烯酸酯 (C)光聚合開始劑1：2-甲基-1-[4-甲基硫代苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮 (C)光聚合開始劑2：2,4-二乙基噻唑酮 (C)光聚合開始劑3：(2,4,6-三甲基苯甲醯基)二苯基氧化膦 (D)熱固性樹脂1：含雙環戊二烯骨架之環氧樹脂；HP-7200(DIC(股)製造) (D)熱固性樹脂2：萘酚變性環氧樹脂；NC-7000L(日本化藥(股)製造) (E)含羧基樹脂1：合成例5 (E)含羧基樹脂2：合成例6 無機粒子1：硫酸鋇 無機粒子2：二氧化矽

Claims (7)

  1. 一種硬化性樹脂組成物，包含：(A)醯胺亞醯胺樹脂、(B)具有乙烯性雙鍵的化合物、(C)光聚合開始劑、(E)含羧基樹脂；前述(A)醯胺亞醯胺樹脂，係由具有脂肪族構造的異氰酸酯所合成的異氰脲酸酯型聚異氰酸酯與三羧酸酐之反應產物，且數目平均分子量為500~1000；前述(E)含羧基樹脂不含醯胺亞醯胺構造，其對醯胺亞醯胺樹脂(A)100質量部為50質量部~100質量。
  2. 如請求項1之硬化性樹脂組成物，其中前述三羧酸酐具有脂肪族構造。
  3. 如請求項1~2之硬化性樹脂組成物，進而含有(D)熱固性樹脂。
  4. 如請求項3之硬化性樹脂組成物，其中硬化後之膜厚20um的硬化物之全光線透過率為95%以上，且霧度值未滿2.0%。
  5. 一種乾膜，包含由請求項1~4之任一之硬化性樹脂組成物所構成的樹脂層。
  6. 一種硬化物，係使請求項1~4之任一之硬化性樹脂組成物或請求項5之乾膜之樹脂層硬化而成。
  7. 一種電子零件，包含請求項6之硬化物。
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