TWI866911B - 感光性樹脂組成物、間隙體、保護膜及液晶顯示元件 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種感光性樹脂組成物,其包括鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)。鹼可溶性樹脂(A)包括鹼可溶性樹脂(A-1),鹼可溶性樹脂(A-1)是由混合物經共聚合而得,而混合物包括含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及式(I)所示的含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)。光起始劑(C)包括光起始劑(C-1),光起始劑(C-1)為具有式(II)所示的化合物。
Description
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物,特別是關於一種適用於間隙體與保護膜的感光性樹脂組成物以及使用間隙體與保護膜的液晶顯示元件。
一般而言,彩色濾光層表面的彩色印刷的畫素與黑色矩陣有凹凸不平的情形,因此通常於彩色濾光層的表面形成保護膜,藉此隱藏凹凸不平處,以達到平坦化的要求。
然而,在製造液晶顯示元件或固態成像裝置等光學元件中,時常需要在嚴苛條件下進行處理,例如在基板表面以酸性溶劑或鹼性溶液浸泡的處理或以濺鍍(Sputtering)形成配線電極層時,會造成局部腐蝕或高溫的產生。因此,需於這些元件的表面上鋪設保護膜,以防止製造時元件受損。為使保護膜具有耐受上述處理的特性,保護膜需要與基板間具有優異的附著力,也需具有高透明度、高表面硬度以及平滑的表面。除此之外,保護膜還需要具有高耐熱性與耐光性的保護膜,以避免於長期使用下時,發生變色、黃化或白化等變質情況。另外,保護膜還需要具有良好的耐水性、耐化性、耐溶劑性、耐酸性以及耐鹼性等特性。
另一方面,在習知技術中,彩色液晶顯示元件中,為了維持兩個基板間固定的層間距,是於整個基板上隨機噴灑如聚苯乙烯珠或矽珠等噴珠,其中噴珠的直徑為兩基板間的間距。然而,此習知方式因噴珠的位置及密度分佈並不均勻,造成背光源的光線受噴珠影響而散射,進一步使得顯示元件的對比度降低。因此,以光微影製程(photolithography)方式所開發出的間隙體用感光性組成物,遂成為業界的主流。間隙體的形成方式,乃是將間隙體用的感光性組成物先塗佈至基板,再於基板與曝光源間放入指定形狀光罩,可於曝光步驟後再經顯影形成間隙體。依據此方法,可於紅色、綠色、藍色等的畫素外的指定位置上形成間隙體,以解決習知技術的問題;層間距也可利用感光性成分形成的塗膜厚度來控制,使層間距的距離變得容易控制,具有精度高的優點。
由於保護膜或間隙體是形成於彩色濾光片或是基板上,因此對透明度的要求極高。若保護膜或間隙體的透明度不佳,當應用於液晶顯示元件時,將造成液晶顯示元件的亮度不足,而影響液晶顯示元件的顯示品質。
為提高保護膜或間隙體的透明度,日本特開2010-054561號專利揭示保護膜用的感光性組成物,其包括(A)黏著劑樹脂(其為鹼可溶性樹脂)、(B)具有乙烯性不飽和基的化合物、(C)光起始劑以及(D)溶劑,其中(B)具有乙烯性不飽和基的化合物中的不飽和鍵的當量為介於90至450 g/eq之間。(B)乙烯性不飽和基的化合物中,單一化合物的不飽和雙鍵的數量介於2至4個之間。(A)黏著劑樹脂的重量平均分子量介於10,000至20,000之間。另一方面,日本特開2004-240241號專利揭示感光組成物,其包括(A)由乙烯性不飽合羧酸(酐)、具環氧基的乙烯性不飽合基的化合物及其他乙烯性不飽合基的化合物所形成的共聚合物、(B)具有乙烯性不飽合基的聚合性化合物以及(C)2-丁二酮-(4-(甲硫基)苯基)-2-(O-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(O-苯甲醯肟)、1,2-辛二酮-1-(4-(苯基硫基)苯基)-2-[O-(4-甲基苯甲醯基)肟]等的光聚合起始劑。然而,上述這些感光性樹脂組成物卻仍具有感度不佳的缺點,並且其所形成的間隙體亦仍具有段差不佳的缺點。
因此,如何提高感光性樹脂組成物的感度,並改善間隙體的段差,實為目前此領域技術人員亟欲解決的問題。
有鑑於此,本發明提供一種具有優異的感度,且可形成段差優異的間隙體的感光性樹脂組成物,其可適用於間隙體與保護膜。
本發明提供一種感光性樹脂組成物,其包括鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)。具體來說,鹼可溶性樹脂(A)包括鹼可溶性樹脂(A-1),其中鹼可溶性樹脂(A-1)是由混合物經共聚合而得。另外,混合物包括含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及下述式(I)所示的含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)。式(I)
式(I)中,
R1
、R2
及R3
各自獨立表示氫或甲基;
R4
表示經取代或未經取代的C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、經取代或未經取代的C2
-C20
的直鏈或支鏈的烯基、或者經取代或未經取代的C6
-C20
的芳香族烴基;
AO表示C2
-C20
的氧基伸烷基;
x表示0至2的整數;
y表示0或1;
n表示2以上。
另外,光起始劑(C)包括光起始劑(C-1),其中光起始劑(C-1)為下述式(II)所示的化合物。式(II)
式(II)中,
A表示氫、鹵素、硝基、C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的環烷基烷基、、或,其中C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的環烷基烷基、、或中所含有的任一個-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R5
表示氫、鹵素、C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基烷基或C2
-C20
的烯基,其中C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基烷基以及C2
-C20
的烯基中所含有的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代,兩個R5
之間可形成環狀結構;
R6
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C2
-C20
的烯基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且R6
中的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R7
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基、C6
-C20
的烷基芳基、下述式(II-A)所示的基團、下述式(II-B)所示的基團或下述式(II-C)所示的基團,當R7
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基時,這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且R7
中的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R6
與R7
之間可形成環狀結構;式(II-A)
式(II-A)中,m表示0或1的整數,R11
表示氫、C1
-C8
的烷基、或苯基,R12
、R13
及R14
各自獨立表示氫或C1
-C4
的烷基;式(II-B)
式(II-B)中,p是0至3的整數;式(II-C)
式(II-C)中,R1 5
表示氫、C1
-C8
的烷基、或苯基,Ar是經取代或未經取代的苯基、萘基、呋喃基、噻吩基或吡啶基;
R8
表示N-嗎啉基、N-呱啶基、N-吡咯基或N-二烷基,其中這些基團中的一個或多個氫可被鹵素或羥基所取代;
R9
、R9
’各自獨立表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基、C2
-C20
的烯基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且這些基團中的-CH2
-可被-O-取代;或者R9
及R9
’可以彼此相連或經由-O-、-S-或-NH-形成五員環或六員環;
R10
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C2
-C20
的烯基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的-CH2
-可被-O-或-S-取代,並且這些基團的一個或多個氫可以獨立地被選自烷基、鹵素、硝基、氰基、SR16
或OR17
所取代;
R16
和R17
各自獨立表示氫、或者C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基。
在本發明的一實施例中,上述的混合物更包括含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)。
在本發明的一實施例中,上述的含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)至少包括一種選自下述式(1)至式(5)所示的單體。式(1)式(2)式(3)式(4)式(5)
式(4)及式(5)中,R18
、R19
及R20
各自獨立表示氫、或者C1
-C30
的直鏈或支鏈的烷基。
在本發明的一實施例中,上述的鹼可溶性樹脂(A-1)含有乙烯性不飽和基。
在本發明的一實施例中,上述的光起始劑(C)更包括光起始劑(C-2),其中光起始劑(C-2)為下述式(III)所示的化合物。式(III)
式(III)中,
Ar1
表示鄰伸芳基或鄰伸雜芳基,鄰伸芳基或鄰伸雜芳基是以相鄰的兩個原子與Y1
及羰基形成環狀結構,其餘原子上的取代基各自選自由氫;鹵素;C1
-C12
的烷基;C5
-C7
的環烷基;經C5
-C7
的環烷基取代的C1
-C4
的烷基;苯基;經一個或多個C1
-C4
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C1
-C12
的芳基醯基、雜芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;C1
-C4
的烷基苯甲氧基;經取代的C1
-C4
的烷氧基、C1
-C3
的伸烷基二氧基;;C1
-C12
的烷基硫基;C1
-C4
的烷基苯硫基;經取代的C1
-C4
的烷基硫基;CN;羧基;C1
-C12
的烷氧基甲醯基;芳基醯基;雜芳基醯基及JT5
所組成的群組;或者
Ar1
的上述取代基中相鄰的兩個取代基之間或取代基與Ar1
之間經由單鍵、碳原子、羰基形成環狀結構;
其中,JT4
及JT5
中,J選自由O、S及NT6
所組成的群組;
Y1
選自由O、S、NT7
、BT7
、CT2
T3
、SiT2
T3
、S=O及C=O所組成的群組;
T1
表示氫、C1
-C18
的烷基或C1
-C18
的烷氧基;或者
T1
表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基;C2
-C18
的烯基;經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烯基,或上述兩者情況同時存在;或者
T1
表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T1
表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、C1
-C4
的烷氧基、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T1
表示萘基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中苯甲醯基及苯氧基羰基的苯基任意被一個或兩個以上鹵素、T4
、C5
-C6
的環烷基、CN、OH或JT4
所取代;
T2
及T3
各自獨立表示氫、C1
-C18
的烷基、經羧基取代的C1
-C5
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T2
及T3
各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基、芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,或是被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T2
及T3
各自獨立表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T2
及T3
各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、C1
-C4
的烷氧基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基或C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T2
及T3
各自與其共同所連結的碳原子或矽原子一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;或者
T2
及T3
各自與相鄰的取代基一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;
T4
表示C1
-C4
的烷基;
T5
表示氫、C1
-C18
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T5
表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,或是被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T5
表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T5
表示苯基,或經一個或多個C1
-C12
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、被伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基、C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、雜芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素、CN或NO2
取代的苯基;或者
T5
表示C1
-C4
的烷基醯基、C1
-C4
的共軛烯醯基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中苯甲醯基及苯氧基羰基中的苯基可任意被一個或兩個以上鹵素、T4
、環戊基、環己基、CN、OH或JT4
取代;或者
T5
經由單鍵、碳原子或羰基與Ar1
中的芳環形成環狀結構;
T6
及T7
各自獨立表示氫、C1
-C18
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T6
及T7
各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T6
及T7
各自獨立表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T6
及T7
各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基或C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T6
各自經由單鍵、碳原子、羰基與Ar1
中的芳環形成環狀結構;
其中當Ar1
為經取代的咔唑基團時,Y1
不是C、O、S或NT7
。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量為50重量份至100重量份,含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為50重量份至600重量份,光起始劑(C)的使用量為10重量份至140重量份,光起始劑(C-1)的使用量為10重量份至90重量份,並且溶劑(D)的使用量為500重量份至5000重量份。
在本發明的一實施例中,基於混合物的總使用量為100重量份,含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量為1重量份至55重量份。
在本發明的一實施例中,基於混合物的總使用量為100重量份,含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量為5重量份至50重量份。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,光起始劑(C-2)的使用量為5重量份至50重量份。
本發明亦提供一種間隙體,其是由上述感光性樹脂組成物所形成。
本發明亦提供一種保護膜,由上述感光性樹脂組成物所形成。
本發明還提供一種液晶顯示元件,其包括上述的間隙體。
本發明還提供一種液晶顯示元件,其包括上述的保護膜。
基於上述,本發明藉由於感光性樹脂組成物組合特定的鹼可溶性樹脂(A-1)以及特定的光起始劑(C-1)改善感光性樹脂組成物的感度,以及形成段差較優異的間隙體,因此適用於間隙體、保護膜以及液晶顯示元件。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並作詳細說明如下。
在下文中,是以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸,並以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯;同樣地,以(甲基)丙烯醯基表示丙烯醯基及/或甲基丙烯醯基;以(甲基)丙烯醯胺表示丙烯醯胺及/或甲基丙烯醯胺。< 感光性樹脂組成物 >
本發明提供一種感光性樹脂組成物,其包括鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)。此外,若需要,感光性樹脂組成物可選擇性地包括添加劑(E)。以下將詳細說明用於本發明的感光性樹脂組成物的各個成分:鹼可溶性樹脂 (A)
本發明的鹼可溶性樹脂(A)包括鹼可溶性樹脂(A-1),並可更包括其他鹼可溶性樹脂(A-2)。鹼可溶性樹脂 (A-1)
鹼可溶性樹脂(A-1)是由混合物經共聚合而得,其中混合物(在後述鹼可溶性樹脂(A-1)的合成例中,亦稱為「單體混合物」)包括含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)。
另外,上述混合物可更包括含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3),並可選擇性地更包括其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)。
鹼可溶性樹脂(A-1)可進一步含有乙烯性不飽和基。具體來說,含有乙烯性不飽和基的鹼可溶性樹脂(A-1)可使上述混合物所得的聚合物進一步與乙烯性不飽和單體(a-1-5)進行縮合反應而得。
以下詳細說明形成鹼可溶性樹脂(A-1)的各種單體:含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體 (a-1-1)
含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)由於具有羧酸基或羧酸酐基(以下簡稱為「酸基」),因此可使所合成的聚合物在側鏈上具有酸基,而具有鹼可溶性。含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的具體例包括丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯基乙氧基丁二酸酯(HOMS)、衣康酸、ω-羧基-聚己內酯單丙烯酸酯(ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate)等的含羧酸基的乙烯性不飽和單體;馬來酸酐、衣康酸酐等的含羧酸酐基的乙烯性不飽和單體、或上述單體的組合。含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的具體例較佳為包括丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯基乙氧基丁二酸酯、或其組合。
基於混合物的總使用量為100重量份,含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的使用量可為10重量份至90重量份,較佳為15重量份至85重量份,更佳為20重量份至80重量份。含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體 (a-1-2)
含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)為具有2個以上的氧基伸烷基的單體。具體來說,含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)具有式(I)所示的結構。式(I)
式(I)中,
R1
、R2
及R3
各自獨立表示氫或甲基,
較佳為各自獨立表示氫;
R4
表示經取代或未經取代的C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、經取代或未經取代的C2
-C20
的直鏈或支鏈的烯基、或者經取代或未經取代的C6
-C20
的芳香族烴基,較佳為C1
-C20
的直鏈狀的烷基、未經取代的C6
-C20
的芳香族烴基、經芳香族烴基取代的C6
-C20
的芳香族烴基、或經C1
-C10
的烷基取代的C6
-C20
的芳香族烴基,更佳為甲基、苯基、4-壬基苯基(4-Nonylphenyl)或者聯苯基。
AO表示C2
-C20
的氧基伸烷基,較佳為C2
-C10
的氧基伸烷基,更佳為C2
-C5
的氧基伸烷基,再更佳為氧基伸乙基;
x表示0至2的整數;
y表示0或1;
n表示2以上,較佳為2至200,更佳為2至50,再更佳為2至15。
值得注意的是,含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)可含有1種或者2種以上的氧基伸烷基。
含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的具體例包括鄰-苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯(EO1莫耳)/鄰-苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯(EO2莫耳)的混合物(鄰-苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯與鄰-苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯之間的莫耳比1:1)、鄰-苯基苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO2莫耳)、苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO2莫耳)、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO4莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO9莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO12至13莫耳)、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸(EO3莫耳)、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO2莫耳)、丁氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO2莫耳)、2-乙基己氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO2莫耳)、甲氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯(PO2莫耳)、甲氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯(PO4莫耳)、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO4至17莫耳)、壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯(PO5莫耳)、經環氧乙烷(EO)改質的甲酚(甲基)丙烯酸(EO2莫耳)、或上述單體的組合。
含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的具體例較佳為包括鄰-苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯/鄰-苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯(苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯與苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯之間的莫耳比1:1)、苯氧基二乙二醇丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(EO9莫耳)、甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(EO12至13莫耳)、壬基苯氧聚乙二醇丙烯酸酯(EO4至17莫耳)、壬基苯氧聚丙二醇丙烯酸酯(PO5莫耳)、或上述單體的組合。
在前文中,「EO」及「PO」分別表示氧基伸乙烷基及氧基伸丙烷基。「EO」及「PO」後面所記載的莫耳數為每單位莫耳的化合物中,所含有的氧基伸乙烷基或氧基伸丙烷基的平均莫耳數。舉例來說,「甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(EO9莫耳)」表示在每單位莫耳化合物中平均具有9莫耳的氧基伸乙烷基。
若無使用含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2),則感光性樹脂組成物的感度不佳。
基於混合物的總使用量為100重量份,含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量可為1重量份至55重量份,較佳為1重量份至50重量份,更佳為1重量份至45重量份。含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體 (a-1-3)
含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)包括含馬來醯亞胺基的乙烯性不飽和單體(亦可稱為「具有環狀結構的單體」)、含兩個烯基的乙烯性不飽和單體(亦可稱為「聚合後可形成環狀結構的單體)、或其組合。值得注意的是,上述這些單體在形成聚合物時,可形成具有環狀結構的結構單元。
含馬來醯亞胺基的乙烯性不飽和單體的具體例包括馬來醯亞胺、苯甲基馬來醯亞胺、苯基馬來醯亞胺、萘基馬來醯亞胺、N-鄰-羥基苯基馬來醯亞胺、N-間-羥基苯基馬來醯亞胺、N-對-羥基苯基馬來醯亞胺、N-鄰-氯苯基馬來醯亞胺、N-間-氯苯基馬來醯亞胺、N-對-氯苯基馬來醯亞胺、N-鄰-甲基苯基馬來醯亞胺、N-間-甲基苯基馬來醯亞胺、N-對-甲基苯基馬來醯亞胺、N-鄰-甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-間-甲氧基苯基馬來醯亞胺、N-對-甲氧基苯基馬來醯亞胺等經芳香族取代的馬來醯亞胺類;環己基馬來醯亞胺、甲基馬來醯亞胺、乙基馬來醯亞胺、丙基馬來醯亞胺、異丙基馬來醯亞胺等經烷基所取代的馬來醯亞胺類、或上述單體的組合。
在一實施例中,含馬來醯亞胺基的乙烯性不飽和單體包括式(1)所示的化合物、式(2)所示的化合物、式(3)所示的化合物、或其組合。式(1)式(2)式(3)
含兩個烯基的乙烯性不飽和單體例如可為1,6-二烯烴類。1,6-二烯烴包括式(4)所示的1,6-二烯烴、式(5)所示的1,6-二烯烴、或其組合。式(4)式(5)
式(4)及式(5)中,R18
、R19
及R20
各自獨立表示氫、或者C1
-C30
的直鏈或支鏈的烷基,較佳為氫或者C1
-C10
的直鏈或支鏈的烷基,更佳為氫或者C1
-C5
的直鏈或支鏈的烷基,再更佳為甲基。
1,6-二烯烴類的具體例包括二甲基-2,2'-[氧雙(伸甲基)]雙-2-丙烯酸酯、α-(烯丙氧基甲基)丙烯酸甲酯、或其組合。
含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的具體例較佳為包括苯甲基馬來醯亞胺、苯基馬來醯亞胺、環己基馬來醯亞胺、二甲基-2,2'-[氧雙(伸甲基)]雙-2-丙烯酸酯、α-(烯丙氧基甲基)丙烯酸甲酯、或其組合。
當使用含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)時,則可進一步形成段差較優異的間隙體。
基於混合物的總使用量為100重量份,含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量可為5重量份至50重量份,較佳為8重量份至45重量份,更佳為10重量份至40重量份。其他乙烯性不飽和單體 (a-1-4)
構成鹼可溶性樹脂(A-1)的混合物可更包括其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)。其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)為含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)、含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)、含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)以及下述乙烯性不飽和單體(a-1-5)以外的乙烯性不飽和單體。
其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)的具體例包括丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酸酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸聯苯酯(biphenyl (meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、丁氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯(phenoxyethyl (meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸聯苯氧乙酯(biphenoxyethyl (meth) acrylate)、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸三環癸酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯(Dicyclopentenyloxyethyl (meth)acrylate)、三環癸基氧乙基(甲基)丙烯酸酯(tricyclodecyl oxyethyl (meth) acrylate)、壬基苯氧基乙二醇基(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等的(甲基)丙烯酸酯類;(甲基)丙烯醯嗎啉(嗎啉基(甲基)丙烯酸酯)、(甲基)丙烯醯胺、N-甲基(甲基)丙烯醯胺、N-異丙基(甲基)丙烯醯胺、N-丁基(甲基)丙烯醯胺、N-異丁基(甲基)丙烯醯胺、N-第三丁基(甲基)丙烯醯胺、N-第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺(diacetone (meth) acrylamide)、N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基乙基(甲基)丙烯醯胺、N-環己基(甲基)丙烯醯胺、N-苯基(甲基)丙烯醯胺、N-苯甲基(甲基)丙烯醯胺、N-三苯基甲基(甲基)丙烯醯胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯醯胺等的(甲基)丙烯酸醯胺類;苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯基化合物;丁二烯、異戊二烯等的丁二烯或經取代的丁二烯化合物;乙烯、丙烯、氯乙烯、丙烯腈等乙烯或經取代的乙烯化合物;及乙酸乙烯酯(醋酸乙烯酯)等的乙烯基酯類等。上述這些單體可單獨使用或組合多種來使用。
其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)的具體例較佳為包括甲基丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸二環戊酯、甲基丙烯酸苯甲酯、苯乙烯、或其組合。
基於混合物的總使用量為100重量份,其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)的使用量可為0重量份至55重量份,較佳為5重量份至50重量份,更佳為10重量份至45重量份。乙烯性不飽和單體 (a-1-5)
鹼可溶性樹脂(A-1)可進一步含有乙烯性不飽和基。這樣的鹼可溶性樹脂(A-1)為由含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)及含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)、含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)、其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)等單體所形成的聚合物,進一步與乙烯性不飽和單體(a-1-5)進行縮合反應而得。
乙烯性不飽和單體(a-1-5)包括含環氧基的乙烯性不飽和單體、含異氰酸基的乙烯性不飽和單體、含羥基的乙烯性不飽和單體、或其組合等。
當含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)為含羧酸基的乙烯性不飽和單體時,可以使用含環氧基的乙烯性不飽和單體及含異氰酸基的乙烯性不飽和單體作為乙烯性不飽和單體(a-1-5)。含環氧基的乙烯性不飽和單體的具體例包括(甲基)丙烯酸環氧丙脂(甲基丙烯酸縮水甘油酯)、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油醚)、間-乙烯基苯甲基縮水甘油醚、對乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、4-羥基丁基丙烯酸酯縮水甘油基醚、或其組合。含異氰酸基(isocyanato,-N=C=O)的乙烯性不飽和單體的具體例包括(甲基)丙烯酸2-異氰酸基乙酯(2-isocyanatoethyl (meth)acrylate)。
當含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)為含羧酸酐基的乙烯性不飽和單體時,可以使用含羥基的乙烯性不飽和單體作為乙烯性不飽和單體(a-1-5)。含羥基的乙烯性不飽和單體的具體例包括(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等。
乙烯性不飽和單體(a-1-5)的具體例較佳為包括甲基丙烯酸環氧丙脂(甲基丙烯酸縮水甘油酯)、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油醚)、或其組合。
當鹼可溶性樹脂(A-1)含有乙烯性不飽和基時,感光性樹脂組成物具有較優異的感度。
基於混合物的總使用量為100重量份,乙烯性不飽和單體(a-1-5)的使用量可為10重量份至180重量份,較佳為15重量份至160重量份,更佳為20重量份至140重量份。
以下詳細說明鹼可溶性樹脂(A-1)的製備方法:
鹼可溶性樹脂(A-1)可由包括上述含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)、含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)、含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)、其他乙烯性不飽和單體(a-1-4)的聚合方法沒有特別的限制,可依照需求選擇適當的聚合方法。聚合方法例如是溶液聚合法。
構成鹼可溶性樹脂(A-1)的混合物可包括溶劑。溶劑的種類沒有特別的限制。詳言之,溶劑的具體例包括四氫呋喃、二噁烷、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇單甲醚等的醚類;丙酮、甲乙酮等的酮類;乙酸乙酯(醋酸乙酯)、乙酸丁酯(醋酸丁酯)、丙二醇單甲醚醋酸酯、3-甲氧基乙酸丁酯等的酯類;甲醇、乙醇等的醇類;甲苯、二甲苯、乙苯等的芳香族碳氫化合物類;氯仿;二甲基亞碸等。上述這些溶劑可單獨使用或組合多種來使用。溶劑較佳為丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯、或其組合。
上述混合物於聚合時的聚合濃度為5重量%至90重量%,較佳為5重量%至50重量%,更佳為10重量%至50重量%。
構成鹼可溶性樹脂(A-1)的混合物可包括聚合起始劑。聚合起始劑的種類沒有特別的限制。詳言之,聚合起始劑的具體例包括過氧化氫異丙苯(cumene hydroperoxide,CHP)、過氧化氫二異丙苯(diisopropylbenzene hydroperoxide)、二第三丁基過氧化物(di-t-butyl peroxide)、過氧化月桂醯(lauroyl peroxide)、過氧化苯甲醯(benzoyl peroxide)、過氧化異丙基碳酸第三丁酯(t-butylperoxyisopropyl carbonate)、過氧化2-乙基己酸第三戊酯(t-amylperoxy-2-ethylhexanoate)、過氧化2-乙基己酸第三丁酯(t-butylperoxy-2-ethylhexanoate)等的有機過氧化物;2,2'-偶氮雙(異丁腈)(2,2'-azobis(isobutyronitrile))、1,1'-偶氮雙(環己烷甲腈)(1,1'-azobis(cyclohexanecarbonitrile))、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)(2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile))、二甲基2,2'-偶氮雙(2-甲基丙酸酯)(dimethyl 2,2'-azobis(2-methyl propionate))等的偶氮化合物等。聚合起始劑較佳為過氧化2-乙基己酸第三丁酯(t-butylperoxy-2-ethylhexanoate)。聚合起始劑的使用量相對於混合物中全部單體的100重量份,可為0.1重量份至15重量份,較佳為0.5重量份至10重量份。
鹼可溶性樹脂(A-1)在藉由溶液聚合法來聚合時的聚合溫度可為40℃至150℃,較佳為60℃至130℃。
上述混合物所形成的聚合物可進一步與乙烯性不飽和單體(a-1-5)進行加成反應,藉此獲得含有乙烯性不飽和基(碳雙鍵)。使聚合物與乙烯性不飽和單體(a-1-5)進行反應的方法沒有特別的限制,例如於存在後述聚合抑制劑及觸媒的情況下,藉由使乙烯性不飽和單體(a-1-5)與上述混合物所形成的聚合物部分或全部酸基(較佳為部分酸基)而進行加成反應(addition reaction)。
另外,溶液聚合法的過程中可添加鏈轉移劑,以控制聚合物的分子量。鏈轉移劑只要能夠於自由基聚合反應中作為鏈轉移劑而發揮功能的化合物,則並沒有特別的限制。鏈轉移劑例如是正十二烷基硫醇(1-dodecanethiol,nDM)等烷基硫醇類。鏈轉移劑的使用量的相對於混合物中全部單體的100重量份,可為0.1重量份至15重量份,較佳為1.2重量份至5.0重量份。
最後,溶液聚合法可使用聚合抑制劑,以中止自由基聚合反應。聚合抑制劑的種類沒有特別的限制,例如是6-第三丁基-2,4-二甲基苯酚等的烷基酚化合物。另外,溶液聚合法還可使用觸媒。觸媒的種類沒有特別的限制,例如是如二甲基苯甲胺(dimethylbenzylamine)、三乙胺等的三級胺。
鹼可溶性樹脂(A-1)可為無規共聚物,亦可為嵌段共聚合物。
鹼可溶性樹脂(A-1)的重量平均分子量可藉由四氫呋喃(THF)溶劑的膠體滲透層析法(Gel permeation chromatography,GPC)所測定的值。鹼可溶性樹脂(A-1)的重量平均分子量可為3,000至200,000,較佳為4,000至100,000,更佳為5,000至50,000。
鹼可溶性樹脂(A-1)的酸價可為20mg KOH/g至300mg KOH/g,較佳為25mg KOH/g至200mg KOH/g是,更佳為30mg KOH/g至150mg KOH/g。
當使用鹼可溶性樹脂(A-1)時,感光性樹脂組成物具有優異的感度。反之,若沒有使用鹼可溶性樹脂(A-1),則感光性樹脂組成物的感度不佳。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量可為50重量份至100重量份,較佳為60重量份至100重量份,更佳為70重量份至100重量份。其他鹼可溶性樹脂 (A-2)
鹼可溶性樹脂(A)亦可包括鹼可溶性樹脂(A-1)以外的其他鹼可溶性樹脂(A-2)。
其他鹼可溶性樹脂(A-2)沒有特別的限制,只要其他鹼可溶性樹脂(A-2)與鹼可溶性樹脂(A-1)不同即可。另外,其他鹼可溶性樹脂(A-2)的製造方法沒有特別的限制,例如可與鹼可溶性樹脂(A-1)類似,故不另行贅述。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,其他鹼可溶性樹脂(A-2)的使用量可為0重量份至50重量份,較佳為0重量份至40重量份,更佳為0重量份至30重量份。含乙烯性不飽和基的化合物 (B)
含乙烯性不飽和基的化合物(B)包括具有一個乙烯性不飽和基的化合物、具有二個以上(含二個)乙烯性不飽和基的化合物、或其組合。
具有一個乙烯性不飽和基的化合物的具體例可包括但不限於(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、乙烯基己內醯胺、N-乙烯基吡咯啶酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二酯或(甲基)丙烯酸冰片酯等的化合物。上述這些具有一個乙烯性不飽和基的化合物可單獨使用或組合多種來使用。
具有二個以上(含二個)乙烯性不飽和基的化合物的具體例可包括但不限於乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、經己內酯改質的三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三丙烯酸三羥甲基丙酯、三甲基丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧乙烷(簡稱為「EO」)改質的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質(簡稱為「PO」)的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、經己內酯改質的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、經己內酯改質的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯、經環氧乙烷改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質的雙酚F二(甲基)丙烯酸酯季戊四醇三丙烯酸酯、經環氧丙烷改質的甘油三丙烯酸酯或酚醛清漆聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等的化合物。具有二個以上(含二個)乙烯性不飽和基的化合物可單獨使用或組合多種來使用。
含乙烯性不飽和基的化合物(B)的具體例較佳為可包括但不限於乙二醇二甲基丙烯酸酯、三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧乙烷改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、經己內酯改質的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質的甘油三丙烯酸酯、或上述化合物的組合。
含乙烯性不飽和基的化合物(B)更佳為乙二醇二甲基丙烯酸酯、三丙烯酸三羥甲基丙酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、或上述化合物的組合。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量可為50重量份至600重量份,較佳為70重量份至580重量份,更佳為90重量份至550重量份。光起始劑 (C)
光起始劑(C)可包括光起始劑(C-1),並且更可包括光起始劑(C-2)。另外,光起始劑(C)可選擇性地包括其他光起始劑(C-3)。光起始劑 (C-1)
光起始劑(C-1)為下述式(II)所示的化合物。式(II)
式(II)中,
A表示氫、鹵素、硝基、C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的環烷基烷基、、或,其中C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的烷基環烷基、C4
-C10
的環烷基烷基、、或中所含有的任一個-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R5
表示氫、鹵素、C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基烷基或C2
-C20
的烯基,其中C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基烷基以及C2
-C20
的烯基中所含有的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代,兩個R5
之間可形成環狀結構;
R6
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C2
-C20
的烯基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且R6
中的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R7
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基、C6
-C20
的烷基芳基、下述式(II-A)所示的基團、下述式(II-B)所示的基團或下述式(II-C)所示的基團,當R7
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C3
-C20
的環烷基、C4
-C20
的環烷基烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基時,這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且R7
中的-CH2
-可被O、N、S或羰基所取代;
R6
與R7
之間可形成環狀結構;式(II-A)
式(II-A)中,m表示0或1的整數,R11
表示氫、C1
-C8
的烷基、或苯基,R12
、R13
及R14
各自獨立表示氫或C1
-C4
的烷基;式(II-B)
式(II-B)中,p是0至3的整數;式(II-C)
式(II-C)中,R1 5
表示氫、C1
-C8
的烷基、或苯基,Ar是經取代或未經取代的苯基、萘基、呋喃基、噻吩基或吡啶基;
R8
表示N-嗎啉基()、N-呱啶基()、N-吡咯基()或N-二烷基(N(R21
)2
,其中R21
表示烷基),其中這些基團中的一個或多個氫可被鹵素或羥基所取代;
R9
、R9
’各自獨立表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基、C2
-C20
的烯基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且這些基團中的-CH2
-可被-O-取代;或者R9
及R9
’可以彼此相連或經由-O-、-S-或-NH-形成五員環或六員環;
R10
表示C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基、C4
-C20
的環烷基、C4
-C20
的烷基環烷基、C2
-C20
的烯基、C6
-C20
的芳基或C6
-C20
的烷基芳基,其中這些基團中的-CH2
-可被-O-或-S-取代,並且這些基團的一個或多個氫可以獨立地被選自烷基、鹵素、硝基、氰基、SR16
或OR17
所取代;
R16
和R17
各自獨立表示氫、或者C1
-C20
的直鏈或支鏈的烷基。
另外,式(II)中,A較佳為表示氫、甲基、甲氧基、氯、硝基、或N-嗎啉基,其中R10
較佳為表示苯基、經一個或多個甲基取代的苯基、經硝基取代的苯基、或,更佳為表示氫、甲基、硝基、經一個或多個甲基取代的苯基、或N-嗎啉基,其中*表示鍵結位置。
式(II)中,R5
較佳為表示氫、甲基、丙基、丁基或烯丙基(allyl group,-CH2
CH=CH2
),更佳為表示氫、甲基、丁基或烯丙基。
式(II)中,R6
較佳為表示甲基或乙基。
式(II)中,R7
較佳為表示甲基、乙基或苯甲基,更佳為表示甲基或苯甲基。
式(II)中,R8
較佳為表示N-嗎啉基、N-呱啶基、-N(CH3
)2
、-N(CH2
CH2
CH3
)2
或N-吡咯基,更佳為表示N-嗎啉基、-N(CH3
)2
、N-吡咯基或N-呱啶基,其中*表示鍵結位置。
光起始劑(C-1)的具體例包括下述式(II-1)至式(II-35)所示的化合物、或這些化合物的組合。式(II-1)式(II-2)式(II-3)式(II-4)式(II-5)式(II-6)式(II-7)式(II-8)式(II-9)式(II-10)式(II-11)式(II-12)式(II-13)式(II-14)式(II-15)式(II-16)式(II-17)式(II-18)式(II-19)式(II-20)式(II-21)式(II-22)式(II-23)式(II-24)式(II-25)式(II-26)式(II-27)式(II-28)式(II-29)式(II-30)式(II-31)式(II-32)式(II-33)式(II-34)式(II-35)
光起始劑(C-1)的具體例較佳為包括式(II-1)所示的化合物、式(II-5)所示的化合物、式(II-11)所示的化合物、式(II-14)所示的化合物、式(II-17)所示的化合物、式(II-19)所示的化合物、式(II-28)所示的化合物、式(II-35)所示的化合物、或這些化合物的組合。
藉由使用光起始劑(C-1),可形成段差優異的間隙體。反之,若未使用光起始劑(C-1),則所形成的間隙體的段差不佳。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,光起始劑(C-1)的使用量可為10重量份至90重量份,較佳為12重量份至85重量份,更佳為15重量份至80重量份。光起始劑 (C-2)
光起始劑(C-2)為下述式(III)所示的化合物。式(III)
式(III)中,
Ar1
表示鄰伸芳基或鄰伸雜芳基,鄰伸芳基或鄰伸雜芳基是以相鄰的兩個原子與Y1
及羰基形成環狀結構,其餘原子上的取代基各自選自由氫;鹵素;C1
-C12
的烷基;C5
-C7
的環烷基;經C5
-C7
的環烷基取代的C1
-C4
的烷基;苯基;經一個或多個C1
-C4
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C1
-C12
的芳基醯基、雜芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;C1
-C4
的烷基苯甲氧基;經取代的C1
-C4
的烷氧基、C1
-C3
的伸烷基二氧基;;C1
-C12
的烷基硫基;C1
-C4
的烷基苯硫基;經取代的C1
-C4
的烷基硫基;CN;羧基;C1
-C12
的烷氧基甲醯基;芳基醯基;雜芳基醯基及JT5
所組成的群組;或者
Ar1
的上述取代基中相鄰的兩個取代基之間或取代基與Ar1
之間經由單鍵、碳原子、羰基形成環狀結構;
其中,JT4
及JT5
中,J選自由O、S及NT6
所組成的群組;
Y1
選自由O、S、NT7
、BT7
、CT2
T3
、SiT2
T3
、S=O及C=O所組成的群組;
T1
表示氫、C1
-C18
的烷基或C1
-C18
的烷氧基;或者
T1
表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基;C2
-C18
的烯基;經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烯基,或上述兩者情況同時存在;或者
T1
表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T1
表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、C1
-C4
的烷氧基、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T1
表示萘基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中苯甲醯基及苯氧基羰基的苯基任意被一個或兩個以上鹵素、T4
、C5
-C6
的環烷基、CN、OH或JT4
所取代;
T2
及T3
各自獨立表示氫、C1
-C18
的烷基、經羧基取代的C1
-C5
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T2
及T3
各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基、芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,或是被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T2
及T3
各自獨立表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T2
及T3
各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、C1
-C4
的烷氧基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基或C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T2
及T3
各自與其共同所連結的碳原子或矽原子一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;或者
T2
及T3
各自與相鄰的取代基一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;
T4
表示C1
-C4
的烷基;
T5
表示氫、C1
-C18
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T5
表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,或是被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T5
表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T5
表示苯基,或經一個或多個C1
-C12
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、被伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基、C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、雜芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素、CN或NO2
等上述取代基取代的苯基,其中芳基醯基為苯甲醯基、或經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基或C1
-C4
的烷氧基取代的苯甲醯基;或者
T5
表示C1
-C4
的烷基醯基、C1
-C4
的共軛烯醯基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中苯甲醯基及苯氧基羰基中的苯基可任意被一個或兩個以上鹵素、T4
、環戊基、環己基、CN、OH或JT4
取代;或者
T5
經由單鍵、碳原子或羰基與Ar1
中的芳環形成環狀結構;
T6
及T7
各自獨立表示氫、C1
-C18
的烷基、經C1
-C4
的烷氧基醯基取代的C1
-C5
的烷基或經取代的C1
-C4
的烷基;或者
T6
及T7
各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1
-C4
的烷基、C5
-C7
的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1
-C4
的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2
-C18
的烷基,被C5
-C7
的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4
插入的C2
-C18
的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者
T6
及T7
各自獨立表示C5
-C7
的環烷基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5
-C7
的環烷基;或者
T6
及T7
各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1
-C4
的烷基、羧基、C1
-C12
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基甲醯基或C5
-C6
的環烷基取代的C2
-C4
的烷基醯基、芳基醯基、JT4
、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者
T6
各自經由單鍵、碳原子、羰基與Ar1
中的芳環形成環狀結構;
其中當Ar1
為經取代的咔唑基團時,Y1
不是C、O、S或NT7
。
另外,式(III)中,Ar1
較佳為表示下述式(III-A)所示的基團。式(III-A)
T8
、T9
、T10
及T11
各自獨立表示氫;或者
T8
、T9
、T10
及T11
各自獨立表示經一個或多個C1
-C12
的烷氧基、C1
-C4
的烷基苯甲氧基取代的C1
-C4
的烷氧基、經取代的C1
-C4
的烷氧基;或者
T8
、T9
、T10
及T11
各自獨立表示經一個或多個C1
-C4
的烷基取代的苯氧基;經一個C1
-C8
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基醯基、芳基醯基、雜芳基醯基取代的苯氧基;經C5
-C6
的環烷基取代的C1
-C4
的烷基醯基苯氧基;C1
-C3
的伸烷基二氧基;;C1
-C12
的烷基硫基;經取代的C1
-C4
的烷基硫基;經C1
-C4
的烷基苯硫基;經取代的C1
-C4
的烷基苯硫基;或者
T8
、T9
、T10
及T11
各自獨立表示經一個C1
-C8
的烷基醯基、C5
-C6
的環烷基醯基、芳基醯基、雜芳基醯基取代的苯硫基,或經C5
-C6
的環烷基取代的C1
-C4
的烷基醯基苯硫基;
Y1
較佳為表示CH2
、CHCH3
或C(CH3
)2
;
T1
較佳為表示甲基、乙基、苯基、2-甲基苯基、3-甲基苯基、2,4,6-三甲基苯基或2,6-二甲氧基苯基;
*表示鍵結位置。
值得注意的是,Ar1
的取代基中,較佳為至少一個取代基處於與Ar1
相連羰基的對位。
光起始劑(C-1)的具體例包括下述式(III-1)至式(III-28)所示的化合物、或這些化合物的組合。式(III-1)式(III-2)式(III-3)式(III-4)式(III-5)式(III-6)式(III-7)式(III-8)式(III-9)式(III-10)式(III-11)式(III-12)式(III-13)式(III-14)式(III-15)式(III-16)式(III-17)式(III-18)式(III-19)式(III-20)式(III-21)式(III-22)式(III-23)式(III-24)式(III-25)式(III-26)式(III-27)式(III-28)
光起始劑(C-2)的具體例較佳為包括式(III-2)所示的化合物、式(III-6)所示的化合物、式(III-11)所示的化合物、式(III-17)所示的化合物、式(III-24)所示的化合物、式(III-28)所示的化合物、或這些化合物的組合。
感光性樹脂組成物含有光起始劑(C-2),感光性樹脂組成物具有較優異的感度。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,光起始劑(C-2)的使用量可為5重量份至50重量份,較佳為6重量份至45重量份,更佳為7重量份至40重量份。其他光起始劑 (C-3)
本發明可視情況選擇添加其他光起始劑(C-3)。其他光起始劑(C-3)的具體例包括但不限於O-醯基肟類化合物、三氮雜苯系化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物、或其組合。
上述的O-醯基肟類化合物的具體例包括1-[4-(苯基硫代)苯基]-丙烷-3-環戊烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9氫-哢唑-3-取代基]-,1-(氧-乙醯肟)、1,2-丁二酮-1-[4-(甲硫基)苯基] 2-(O-乙醯基肟)、或其組合。
O-醯基肟類化合物的具體例包括較佳為包括1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、或其組合。上述的O-醯基肟類化合物可單獨使用或組合多種來使用,端視實際需要而定。
三氮雜苯系化合物的具體例可包括但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘並-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、或其組合。
上述的乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例包括2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁兩個烯基)-s-三氮雜苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、或其組合。
上述的2-(萘並-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例包括2-(萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘並-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘並-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘並-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘並-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘並-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘並-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,5-二甲氧基-萘並-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、或其組合。
前述的4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物的具體例包括4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯、或其組合。
前述的三氮雜苯系化合物的具體例較佳為包括4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、或其組合。上述的三氮雜苯系化合物可單獨使用或組合多種來使用。
上述的苯乙烷酮類化合物的具體例包括對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、或其組合。前述的苯乙烷酮類化合物較佳為2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、或其組合。上述的苯乙烷酮類化合物可單獨使用或組合多種來使用。
上述的二咪唑類化合物的具體例包括2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑。前述的二咪唑類化合物較佳為2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、或其組合。上述的二咪唑類化合物可單獨使用或組合多種來使用,端視實際需要而定。
上述的二苯甲酮類化合物的具體例包括噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮、或其組合。前述的二苯甲酮類化合物較佳為4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮。上述的二苯甲酮類化合物可單獨使用或組合多種來使用,端視實際需要而定。
上述的α-二酮類化合物的具體例包括苯偶醯、乙醯基、或其組合。
上述的酮醇類化合物的具體例包括二苯乙醇酮。上述的酮醇醚類化合物的具體例包括二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮異丙醚、或其組合。
上述的醯膦氧化物類化合物的具體例包括2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物、或其組合。
上述的醌類化合物的具體例包括蒽醌、1,4-萘醌、或其組合。
上述的含鹵素類化合物的具體例包括苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)-s-三氮雜苯、或其組合。
上述的過氧化物的具體例包括二-第三丁基過氧化物、或其組合。
上述的α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等可單獨使用或組合多種來使用,端視實際需要而定。
其他光起始劑(C-3)的具體例較佳為包括1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟) (例如商品名OXE-01,汽巴精化有限公司製造,結構由式(IV)所示)、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(商品名Irgacure 907,汽巴精化有限公司製造)、或其組合。式(IV)
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,光起始劑(C)的使用量為10重量份至140重量份,較佳為15重量份至130重量份,更佳為20重量份至120重量份。溶劑 (D)
溶劑(D)是指可以將鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)以及光起始劑(C)溶解,但又不與上述成分反應的溶劑,並且可為具有適當揮發性者。
溶劑(D)的具體例包括烷基二醇單烷醚類化合物、烷基二醇單烷醚醋酸酯類化合物、二乙二醇烷基醚類化合物、其他醚類化合物、酮類化合物、乳酸烷酯類化合物、其他酯類化合物、芳香族烴類化合物、羧酸胺類化合物、或上述化合物的組合。
烷基二醇單烷醚類化合物的具體例包括乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丙醚、二乙二醇單正丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚或其類似物,或上述化合物的組合。
烷基二醇單烷醚醋酸酯類化合物的具體例包括乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇單甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯或其類似物,或上述化合物的組合。
二乙二醇烷基醚的具體例包括二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚或其類似物,或上述化合物的組合。
其他醚類化合物的具體例包括四氫呋喃或其類似物。
酮類化合物的具體例包括甲乙酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮、二丙酮醇或其類似物,或上述化合物的組合。
乳酸烷酯類化合物的具體例包括乳酸甲酯、乳酸乙酯或其類似物,或上述化合物的組合。
其他酯類化合物的具體例包括2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、羥基醋酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸異丙酯、醋酸正丁酯、醋酸異丁酯、醋酸正戊酯、醋酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯醋酸甲酯、乙醯醋酸乙酯、2-氧基丁酸乙酯或其類似物,或上述化合物的組合。
芳香族烴類化合物的具體例包括甲苯、二甲苯或其類似物,或上述化合物的組合。
羧酸胺類化合物N-甲基吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺或其類似物,或上述化合物的組合。上述溶劑(D)可單獨使用或組合多種來使用。
溶劑(D)的具體例較佳為包括丙二醇單甲醚醋酸酯、二乙二醇二甲醚、3-乙氧基丙酸乙酯、或其組合。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,溶劑(D)的使用量可為500重量份至5000重量份,較佳為600重量份至4500重量份,更佳為700重量份至4000重量份。添加劑 (E)
在不影響本發明功效的前提下,本發明的感光性樹脂組成物可選擇性地包括添加劑(E)。添加劑(E)可包括填充劑、前述鹼可溶性樹脂(A)以外的聚合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、界面活性劑、防凝集劑或其組合。
填充劑的具體例可包括但不限於玻璃或鋁等。
聚合物的具體例可包括但不限於聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯、或上述聚合物的任意組合。
密著促進劑的具體例可包括但不限於乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-硫醇基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、或上述化合物的任意組合。
抗氧化劑的具體例可包括但不限於2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚、或上述化合物的任意組合。
紫外線吸收劑的具體例可包括但不限於2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮(alkoxy phenone)、或上述化合物的任意組合。
界面活性劑的市售商品的具體例包括KP(由信越化學工業製造)、SF-8427 (由道康寧東麗聚矽氧股份有限公司(Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.)製造)、Polyflow(由共榮社油脂化學工業製造)、F-Top(由得克姆股份有限公司製造(Tochem Products Co., Ltd.)製造)、Megafac(由大日本印墨化學工業(DIC)製造)、Fluorade(由住友3M股份有限公司(Sumitomo 3M Ltd.)製造)、Asahi Guard或Surflon(由旭硝子製造)、SINOPOL E8008(由中日合成化學製造)、F-475(由大日本印墨化學工業製造)或其組合。
防凝集劑的具體例可包括但不限於聚丙烯酸鈉(sodium polyacrylate)等。
添加劑(E)的具體例較佳為包括SF-8427(由道康寧東麗聚矽氧股份有限公司(Dow Corning Toray Co., Ltd.)製造,界面活性劑)、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷(KBM-403,信越化學製造)、或其組合。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,添加劑(E)的使用量可為0至10重量份,較佳為1至9重量份,更佳為3至8重量份。感光性樹脂組成物的製備方法
可用來製備感光性樹脂組成物的方法例如:將鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)以及溶劑(D)放置於攪拌器中攪拌,使其均勻混合成溶液狀態。另外,必要時亦可添加添加劑(E),予以均勻混合後,便可獲得溶液狀態的感光性樹脂組成物。
又,感光性樹脂組成物的製備方法沒有特別的限制。感光性樹脂組成物的製備方法例如是先將一部分的鹼可溶性樹脂(A)及含乙烯性不飽和基的化合物(B)分散於一部分的溶劑(D)中,以形成分散溶液;並且混合其餘的鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D)。另外,必要時亦可添加添加劑(E)。< 保護膜與間隙體 >
本發明提供一種保護膜與一種間隙體,其由上述的感光性樹脂組成物所形成。以下詳細說明保護膜及間隙體的製備方法。
在一實施例中,形成保護膜的步驟包括:先將由紅色、綠色及藍色等的著色層組成的畫素層形成於透明基板上,再將感光性樹脂組成物塗佈於畫素層上,接著,對感光性樹脂組成物進行預烤、曝光、顯影以及後烤等步驟。
在一實施例中,形成間隙體的步驟包括:在已形成有保護膜及畫素層的透明基板上,形成透明導電膜,再將感光性樹脂組成物塗佈於透明導電膜上,接著,進行預烤、曝光、顯影以及後烤等步驟。
換言之,若欲形成保護膜,則是將感光性樹脂組成物塗佈於基板上的畫素層上;而若欲形成間隙體,則是將感光性樹脂組成物塗佈於基板上的透明導電膜上。
當然,本發明的保護膜及間隙體並不限定於形成於畫素層或透明導電膜上,而可以形成於基板上或基板上的各種元件上。以下,亦將塗佈上感光性樹脂組成物的元件稱為「被塗佈物」。
具體而言,上述間隙體或保護膜的形成方法依序包括以下步驟:(a)成膜步驟;(b)曝光步驟;(c)顯影步驟;以及(d)後烤步驟,以形成保護膜或間隙體。a. 成 膜步驟
:
藉由塗佈法將感光性樹脂組成物塗佈於形成有畫素層或透明導電膜的基板(被塗佈物)上,以形成膜。
基板可為透明基板或透明導電基板。基板的材質沒有特別的限制,例如是鈉鈣玻璃及無鹼玻璃等的玻璃基板;或者聚對苯二甲酸乙二酯、聚丁烯對苯二甲酸酯、聚醚碸、聚碳酸酯或聚醯亞胺等的樹脂基板。基板的材質較佳為玻璃基板。
透明導電基板可為於透明基板的全部表面上具有氧化錫(SnO2
)所形成的奈塞(NESA)膜(美國必丕志(PPG)公司註冊商標)或具有氧化銦-氧化錫(In2
O3
-SnO2
)所形成的銦錫氧化物(Indium tin oxide,ITO)膜等。
以塗佈法形成膜的方法是將感光性樹脂組成物的溶液塗佈於被塗佈物上。應用於塗佈法的感光性樹脂組成物溶液的固形物濃度為5重量%至50重量%,較佳為10重量%至40重量%,且更佳為15重量%至35重量%。塗佈法包括但不限於噴塗法、輥塗法、旋塗法(旋轉塗佈法)、縫模塗佈法、棒塗佈法或噴墨塗佈法。此外,在塗佈法之前,基板的塗佈面較佳為先經過加熱步驟。
另外,較佳為對膜進一步進行預烤處理。預烤處理的條件可依成分及混合比例而有所不同,較佳為於70℃至90℃下加熱1分鐘至15分鐘。於預烤處理後,膜的厚度為0.15μm至8.5μm,較佳為0.15μm至6.5μm,更佳為0.15μm至4.5μm。另外,上述厚度為去除溶劑後的厚度。b. 曝光步驟:
以具有特定圖案的光罩對上述膜進行曝光。曝光步驟所使用的光線可例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子束(electron beam)或X射線等,較佳為波長為190nm至450nm的紫外線。曝光步驟的曝光量以100 J/m2
至20,000 J/m2
為宜,較佳為150 J/m2
至10,000 J/m2
。c. 顯影步驟:
在上述曝光步驟後進行顯影處理,以鹼顯影移除不需要的部分並形成特定圖案。
顯影液的具體例包括氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸酸鈉或氨等的無機鹼;乙胺或正丙胺等的第一級脂肪胺;二乙胺或正丙胺等的第二級脂肪胺;三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺或三乙胺等的第三級脂肪胺;吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯或1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯等的第三級脂肪環酸;吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶或喹啉等的第三級芳香胺;四甲基氫氧化銨或四乙基氫氧化銨之水溶液等的第四級銨鹽鹼性化合物;或上述化合物的組合。水溶性有機溶劑或表面活性劑,例如甲醇或乙醇,亦可視需要添加於顯影液中。
顯影的方法例如是浸漬法(dipping method)、含浸法(impregnation method)或噴淋法(shower method)。顯影較佳為於室溫至180℃下進行約10秒。
將形成了預定的圖案的基板於顯影後進行蒸氣清洗30秒至90秒,並經由壓縮空氣或氮氣風乾。d. 後烤步驟:
以加熱板或烘箱等加熱裝置對形成了預定的圖案的基板進行後烤(post-bake)處理,以形成間隙體或保護膜。加熱溫度設定在150°C至250°C之間,其中使用加熱板的加熱時間為5分鐘至30分鐘,使用烘箱的加熱時間為30分鐘至90分鐘。
經過上述的處理步驟後,即可形成保護膜與間隙體。
本發明的保護膜及間隙體並不限定於形成於畫素層或透明導電膜上,而可以形成於基板上或基板上的各種元件上。< 彩色濾光片基板 的 製造方法 >
彩色濾光片基板的製造方法例如是:在溫度介於220℃至250℃之間的真空環境下,於形成有紅色、綠色、藍色等畫素著色層及保護膜的透明基板中的保護膜的表面進行濺鍍,以形成銦錫氧化物(Indium tin oxide,ITO)保護膜。另外,必要時,可對ITO保護膜進行蝕刻,並進行佈線,然後在ITO保護膜表面上塗佈液晶配向膜。如此,便可製造出包含將本發明的感光性樹脂組成物硬化而成的硬化物的彩色濾光片。< 液晶顯示元件 及其 製造方法 >
本發明更提供一種液晶顯示元件,其包括由本發明的感光性樹脂組成物所形成的間隙體及保護膜中的至少一者。具體而言,本發明的液晶顯示元件包括彩色濾光片基板、主動元件基板、以及位於彩色濾光片基板與主動元件基板之間的液晶層。主動元件基板為設置有薄膜電晶體的基板。彩色濾光片基板與主動元件基板中的至少一者可包括由本發明的感光性樹脂組成物所形成的保護膜。另外,間隙體可以夾持於彩色濾光片基板與主動元件基板之間的方式分散於液晶層中,以使彩色濾光片基板與主動元件基板之間存在間隙。
本發明的液晶顯示元件的製造方法沒有特別的限制,例如是以下述方法製造。
首先,將彩色濾光片基板與主動元件基板以隔著間隙體的方式對向配置。接著,使用密封劑將彩色濾光片基板及主動元件基板的周邊黏合,並且留下注入孔。然後,經由注入孔於彩色濾光片基板與主動元件基板之間以及密封劑所劃分的空間內注入液晶。最後,封閉注入孔後,以於彩色濾光片基板與主動元件基板之間形成液晶層。液晶層中所含有的液晶化合物或液晶組成物沒有特別的限制,端視實際需要而定。
另外,可在施加電壓及照光的情況下,經由液晶配向膜來使液晶化合物及液晶組成物進行配向。液晶配向膜的種類沒有特別的限制,端視實際需要而定。
本發明將就以下實施例來作進一步說明,但應瞭解的是,該等實施例僅為例示說明之用,而不應被解釋為本發明實施的限制。鹼可溶性樹脂 (A-1) 的合成例
本發明的鹼可溶性樹脂(A-1)的合成例A-1-1至A-1-11以及合成例A-2-1至A-2-2合成所使用的各個反應試劑的用量列於下表1,各個反應試劑的名稱列於下表2。合成例 A-1-1
首先,準備兩個滴注器(instillator),其中一者為單體滴注器,另一者為鏈轉移劑滴注器。
於單體滴注器中加入丙烯酸(作為單體,以下稱作AA)45g、苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯及苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯的混合物(莫耳比1:1,此混合物作為單體,以下稱作PGAPDGA)40g、苯甲基馬來醯亞胺(作為單體,以下稱作BzMI)15g、過氧化2-乙基己酸第三丁酯(作為聚合起始劑,(商品名帕布吉(PERBUTYL) O,日本油脂公司製造,以下稱作PBO))2g、丙二醇單甲醚醋酸酯(作為溶劑,以下稱作PGMEA)42g以及丙二醇單甲醚(作為溶劑,以下稱作PGME)18g,並攪拌混合,以製作單體混合物。接著,於鏈轉移劑滴注器中加入正十二烷基硫醇(nDM)2g、PGMEA 18g以及PGME 8g並攪拌混合。
準備設置有冷凝管的分離式燒瓶作為反應槽。在反應槽中的加入PGMEA 98g和PGME 42g。接著,在氮氣環境下,一邊攪拌一邊以油浴加熱,使反應槽的溫度升溫至90℃。當反應槽的溫度穩定在90℃後,分別以單體滴注器及鏈轉移劑滴注器於反應槽中滴加單體混合物及鏈轉移劑。使單體滴注器及鏈轉移劑滴注器維持為90℃,並且在180分鐘的期間內滴完單體混合物及鏈轉移劑。滴加結束後,待反應30分鐘再加入PBO 0.5g。接著,再反應30分鐘後,加熱反應槽至115℃。當反應槽的溫度穩定在115℃1.5小時後,將分離式燒瓶中的氣體置換為氧/氮=5/95(v/v)的混合氣體。接著,在反應槽中,加入甲基丙烯酸環氧丙脂(作為單體,GMA)70g、6-第三丁基-2,4-二甲基苯酚(作為聚合抑制劑,商品名「Topanol」,東京化成工業公司製造)0.3g、二甲基苯甲胺(作為觸媒,DMBA)0.5g、PGMEA 16g以及PGME 6g。然後,於110℃的溫度下反應1小時,再接著於115℃的溫度下反應8小時。接著,將反應溶液冷卻至室溫,而得到鹼可溶性樹脂A-1-1。鹼可溶性樹脂A-1-1的重量平均分子量(Mw)為17200。合成例 A-1-2
至A-1-9 及合成例 A-2-1
至A-2-2
合成例A-1-2至A-1-9及合成例A-2-1至A-2-2的鹼可溶性樹脂(A-1)是以與合成例A-1-1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變合成鹼可溶性樹脂(A-1)所使用的單體及其使用量、以及鏈轉移劑的用量(如表1所示)。
表1
表2
實施例 1 至 11 與比較例 1 至 4
| 合成例 | A-1-1 | A-1-2 | A-1-3 | A-1-4 | A-1-5 | A-1-6 | A-1-7 | A-1-8 | A-1-9 | A-2-1 | A-2-2 | |||
| 單體混合物 | 單體(克) | (a-1-1) | AA | 45 | 30 | 45 | 10 | 45 | ||||||
| MAA | 55 | 15 | 75 | 90 | 40 | |||||||||
| HOMS | 40 | 25 | ||||||||||||
| (a-1-2) | PGAPDGA | 40 | 5 | 40 | 55 | |||||||||
| P2HA | 30 | 10 | ||||||||||||
| 130A | 10 | 20 | ||||||||||||
| CD550 | 5 | |||||||||||||
| NPEGA | 10 | |||||||||||||
| NPPGA | 1 | |||||||||||||
| (a-1-3) | BzMI | 15 | 40 | 20 | ||||||||||
| CHMI | 10 | |||||||||||||
| PhMI | 25 | |||||||||||||
| EMA | 45 | |||||||||||||
| MD | 5 | 10 | ||||||||||||
| AMA | 15 | |||||||||||||
| (a-1-4) | HEMA | 10 | 10 | 15 | ||||||||||
| MMA | 5 | 9 | 10 | 30 | ||||||||||
| FA-513M | 10 | 20 | 20 | |||||||||||
| BzMA | 5 | 5 | 15 | |||||||||||
| SM | 5 | 5 | ||||||||||||
| (a-1-5) | GMA | 70 | 10 | 70 | 125 | 70 | ||||||||
| o-VBG | 60 | 70 | ||||||||||||
| EC-MAA | 70 | 140 | 70 | |||||||||||
| 鏈轉移劑(克) | n-DM | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 1.2 | 5.0 | 1.5 | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 | ||
| 分子量(Mw) | 17200 | 18000 | 18200 | 25200 | 10400 | 19300 | 16500 | 18500 | 16800 | 18000 | 18300 |
| 簡稱 | 中文名稱 |
| 含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1) | |
| AA | 丙烯酸(Acrylic acid) |
| MAA | 甲基丙烯酸(Methacrylic acid) |
| HOMS | 2-甲基丙烯醯基乙氧基丁二酸酯(2-Methacryloyloxyethyl succinate monoester) |
| 含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2) | |
| PGAPDGA | 鄰-苯基苯氧基乙二醇丙烯酸酯(EO1莫耳)/鄰-苯基苯氧基二乙二醇丙烯酸酯(EO2莫耳)(莫耳比1:1)(Phenylphenoxyethylene glycol acrylate/phenylphenoxy diethylene glycol acrylate(mole ratio 1:1)) |
| P2HA | 苯氧基二乙二醇丙烯酸酯(Phenoxydiethyleneglycol acrylate)(EO2莫耳) |
| 130A | 甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(Methoxy polyethylene glycol acrylate)(EO9莫耳) |
| CD550 | 甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(Methoxy polyethylene glycol acrylate)(EO12至13莫耳) |
| NPEGA | 壬基苯氧聚乙二醇丙烯酸酯(Nonylphenoxy polyethylene glycol acrylate)(EO4至17莫耳) |
| NPPGA | 壬基苯氧聚丙二醇丙烯酸酯(Nonylphenoxy polypropylene glycol acrylate)(PO5莫耳) |
| 含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3) | |
| BzMI | 苯甲基馬來醯亞胺(Benzyl maleimide)(即式(1)所示的化合物) |
| CHMI | 環己基馬來醯亞胺(Cyclohexylmaleimide)(即式(3)所示的化合物) |
| PhMI | 苯基馬來醯亞胺(Phenyl maleimide) (即式(2)所示的化合物) |
| EMA | 乙基馬來醯亞胺(Ethyl maleimide) |
| MD | 二甲基-2,2'-[氧雙(伸甲基)]雙-2-丙烯酸酯(Dimethyl 2,2'-[oxybis(methylene)]bis(2-propenoate)) |
| AMA | α-(烯丙氧基甲基)丙烯酸甲酯(Methyl α-(allyloxymethyl)acrylate) |
| 其他乙烯性不飽和單體(a-1-4) | |
| HEMA | 甲基丙烯酸2-羥基乙酯(2-Hydroxyethyl methacrylate) |
| MMA | 甲基丙烯酸甲酯(Methacrylate) |
| FA-513M | 甲基丙烯酸二環戊酯(Dicyclopentanyl methacrylate) |
| BzMA | 甲基丙烯酸苯甲酯(Benzyl methacrylate) |
| SM | 苯乙烯(Styrene) |
| 乙烯性不飽和單體(a-1-5) | |
| GMA | 甲基丙烯酸環氧丙脂(Glycidyl methacylate) |
| o-VBG | 鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(o-Vinylbenzylglycidylether) |
| EC-MAA | 甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯(3,4-Epoxycyclohexylmethyl methacrylate) |
| 聚合起始劑 | |
| PBO | 過氧化2-乙基己酸第三丁酯(t-Butyl peroxy-2-ethylhexanoate) |
| 聚合抑制劑 | |
| 6-第三丁基-2,4-二甲基苯酚(2-(t-butyl)-4,6-dimethylphenol) | |
| 鏈轉移劑 | |
| n-DM | 正十二烷基硫醇(n-Dodecyl mercaptan) |
| 觸媒 | |
| DMBA | 二甲基苯甲胺(N,N-dimethylaniline) |
| 溶劑 | |
| PGMEA | 丙二醇單甲醚醋酸酯(propyleneglycol monomethyl ether acetate) |
| PGME | 丙二醇單甲醚(Proprylene glycol monomethyl ether) |
以下說明感光性樹脂組成物的實施例1至實施例11以及比較例1至比較例4:實施例 1
將100重量份的合成例A-1-1的鹼可溶性樹脂(以下簡稱為A-1-1)、50重量份的乙二醇二甲基丙烯酸酯(以下簡稱為B-1)、10重量份的由式(II-1)所示的化合物(以下簡稱為C-1-1)加入500重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯(以下簡稱為D-1)中,並且以搖動式攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻後,即可製造得實施例1的感光性樹脂組成物。將所製得的感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價,其結果如表3所示。實施例 2 至實施例 11 、比較例 1 至比較例 4
實施例2至實施例11、比較例1至比較例4的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表3所示),其中表3中標號所對應的成分如表4所示。將所製得的感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價,其結果如表3所示。
表3
表4
< 評價 方式 > 感度
| 成份 | 實施例 | 比較例 | ||||||||||||||
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 1 | 2 | 3 | 4 | ||
| 鹼可溶性樹脂 (A) (重量份) | A-1-1 | 100 | 70 | 100 | ||||||||||||
| A-1-2 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-3 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-4 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-5 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-6 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-7 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-8 | 100 | |||||||||||||||
| A-1-9 | 100 | 50 | ||||||||||||||
| A-2-1 | 50 | 30 | 100 | 100 | ||||||||||||
| A-2-2 | 100 | |||||||||||||||
| 具有乙烯性不飽和基的化合物(B) (重量份) | B-1 | 50 | 300 | 400 | 350 | 200 | 100 | |||||||||
| B-2 | 100 | 240 | 500 | 280 | 300 | |||||||||||
| B-3 | 160 | 200 | 100 | 320 | 200 | |||||||||||
| 光起始劑 (C) (重量份) | C-1-1 | 10 | 10 | 90 | 50 | |||||||||||
| C-1-2 | 15 | 35 | 40 | |||||||||||||
| C-1-3 | 10 | 60 | ||||||||||||||
| C-1-4 | 30 | |||||||||||||||
| C-1-5 | 25 | |||||||||||||||
| C-1-6 | 40 | |||||||||||||||
| C-1-7 | 50 | |||||||||||||||
| C-1-8 | 80 | |||||||||||||||
| C-2-1 | 5 | 20 | ||||||||||||||
| C-2-2 | 30 | |||||||||||||||
| C-2-3 | 50 | |||||||||||||||
| C-2-4 | 15 | |||||||||||||||
| C-2-5 | 10 | |||||||||||||||
| C-2-6 | 5 | |||||||||||||||
| C-3-1 | 5 | 10 | ||||||||||||||
| C-3-2 | 5 | 30 | ||||||||||||||
| 溶劑 (D) (重量份) | D-1 | 500 | 500 | 1500 | 2250 | 4000 | 2000 | 2500 | ||||||||
| D-2 | 1250 | 3250 | 4000 | 1250 | 2000 | |||||||||||
| D-3 | 2000 | 4000 | 1000 | 2500 | 2500 | |||||||||||
| 添加劑(E) (重量份) | E-1 | 0.5 | ||||||||||||||
| E-2 | 5 | |||||||||||||||
| 評價項目 | 感度 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | ╳ | ╳ | ○ | ╳ |
| 段差 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ◎ | ○ | ○ | ╳ | ╳ |
| 簡稱 | 成分 |
| A-1-1 | 合成例A-1-1所合成的鹼可溶性樹脂A-1-1 |
| A-1-2 | 合成例A-1-2所合成的鹼可溶性樹脂A-1-2 |
| A-1-3 | 合成例A-1-3所合成的鹼可溶性樹脂A-1-3 |
| A-1-4 | 合成例A-1-4所合成的鹼可溶性樹脂A-1-4 |
| A-1-5 | 合成例A-1-5所合成的鹼可溶性樹脂A-1-5 |
| A-1-6 | 合成例A-1-6所合成的鹼可溶性樹脂A-1-6 |
| A-1-7 | 合成例A-1-7所合成的鹼可溶性樹脂A-1-7 |
| A-1-8 | 合成例A-1-8所合成的鹼可溶性樹脂A-1-8 |
| A-1-9 | 合成例A-1-9所合成的鹼可溶性樹脂A-1-9 |
| A-2-1 | 合成例A-2-1所合成的鹼可溶性樹脂A-2-1 |
| A-2-2 | 合成例A-2-2所合成的鹼可溶性樹脂A-2-2 |
| B-1 | 乙二醇二甲基丙烯酸酯 |
| B-2 | 三丙烯酸三羥甲基丙酯 |
| B-3 | 二季戊四醇六丙烯酸酯 |
| C-1-1 | 式(II-1)所示的化合物 |
| C-1-2 | 式(II-5)所示的化合物 |
| C-1-3 | 式(II-11)所示的化合物 |
| C-1-4 | 式(II-14)所示的化合物 |
| C-1-5 | 式(II-17)所示的化合物 |
| C-1-6 | 式(II-19)所示的化合物 |
| C-1-7 | 式(II-28)所示的化合物 |
| C-1-8 | 式(II-35)所示的化合物 |
| C-2-1 | 式(III-2)所示的化合物 |
| C-2-2 | 式(III-6)所示的化合物 |
| C-2-3 | 式(III-11)所示的化合物 |
| C-2-4 | 式(III-17)所示的化合物 |
| C-2-5 | 式(III-24)所示的化合物 |
| C-2-6 | 式(III-28) 所示的化合物 |
| C-3-1 | 1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)(商品名OXE-01,汽巴精化有限公司製造) |
| C-3-2 | 2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(商品名Irgacure 907,汽巴精化有限公司製造) |
| D-1 | 丙二醇單甲醚醋酸酯 |
| D-2 | 二乙二醇二甲醚 |
| D-3 | 3-乙氧基丙酸乙酯 |
| F-1 | SF-8427(道康寧東麗聚矽氧有限公司(Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.)製造,界面活性劑) |
| F-2 | 3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷(KBM-403,信越化學製造) |
將前述實施例及比較例所製得的感光性樹脂組成物,以旋轉塗佈的方式分別塗佈在100 mm×100 mm×0.7 mm的素玻璃基板上,並在90℃下預烤150秒,即可製得厚度約4μm的預烤塗膜。
接著,對所製得的預烤塗膜曝光步驟。具體來說,將具有特定圖案的光罩置於預烤塗膜與曝光機(型號AG500-4N;科毅科技(股)有限公司(M&R Nano Technology)製造)之間,並且以不同曝光量的紫外線照射預烤塗膜。然後,於塗膜上任取一測定點測得膜厚(δ)後,將塗膜浸漬於0.0438重量%的氫氧化鉀(KOH)水溶液中顯影70秒,並且在相同的測定點測得另一膜厚(δd)。最後,經下式(V)計算可得到殘膜率。
殘膜率(%)=[(δd)/(δ)]×100 (V)
將上述殘膜率達90%以上時的曝光量稱為感度,並根據以下基準進行評價:
◎:曝光量≦70 mJ/cm2
;
○:70 mJ/cm2
<曝光量≦90 mJ/cm2
;
△:90 mJ/cm2
<曝光量≦110 mJ/cm2
;
╳:曝光量>110 mJ/cm2
。段差
將前述實施例及比較例所製得的感光性樹脂組成物,以旋轉塗佈的方式分別塗佈在100 mm×100 mm×0.7 mm的素玻璃基板上,並在90℃下預烤150秒,即可製到約4μm的預烤塗膜。
然後,將此預烤塗膜置於所指定的光罩圖案下(部分為半色調,透過率30%),並利用能量為60 mJ/cm2
的紫外線(曝光機型號為AG500-4N,且其為科毅科技(股)有限公司(M&R Nano Technology製造))照射,以進行曝光步驟。
接著,將曝光後的塗膜浸於濃度為0.0438重量%的氫氧化鉀(KOH)水溶液中顯影70秒,以除去未曝光的部分。接者,以純水洗淨,並以235℃後烤30分鐘,即可獲得間隙體。
其中,主間隙體的高度為Hm,次間隙體(半色調部分)的高度為Hs,Hm-Hs即為段差。
◎:0.1μm≦段差≦0.3μm;
○:0.3μm<段差≦0.4μm;
△:0.4μm<段差≦0.5μm;
╳:段差>0.5μm或段差<0.1μm。< 評價結果 >
由表3得知,相較於不含有鹼可溶性樹脂(A-1)的感光性樹脂組成物(比較例1及比較例2)、不含有光起始劑(C-1)的感光性樹脂組成物(比較例3)以及同時不含有鹼可溶性樹脂(A-1)及光起始劑(C-1)的感光性樹脂組成物(比較例4),同時含有鹼可溶性樹脂(A-1)及光起始劑(C-1)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例11)具有優異的感度,且可形成段差優異的間隙體。更進一步來說,不含有鹼可溶性樹脂(A-1)的感光性樹脂組成物(比較例1及比較例2)的感度不佳;不含有光起始劑(C-1)的感光性樹脂組成物(比較例3)所形成的間隙體的段差不佳;而同時不含有鹼可溶性樹脂(A-1)及光起始劑(C-1)的感光性樹脂組成物(比較例4)的感度不佳,且所形成的間隙體的段差亦不佳。
當合成鹼可溶性樹脂(A-1)的單體混合物中含有含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)(實施例1至7、11)時,感光性樹脂組成物可形成段差較優異的間隙體。
當合成鹼可溶性樹脂(A-1)含有乙烯性不飽和基(實施例1至6、8、11)時,感光性樹脂組成物具有較優異的感度。
當感光性樹脂組成物含有光起始劑(C-2)(實施例2至6、10)時,感光性樹脂組成物具有較優異的感度。
綜上所述,本發明的感光性樹脂組成物包括具有特定結構的鹼可溶性樹脂(A-1)與具有特定結構的光起始劑(C-1),可以有效改善感度及間隙體的段差不佳的問題。藉此,本發明提供一種具有優異的感度,且可形成段差優異的間隙體的感光性樹脂組成物,其可適用於間隙體與保護膜。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
無。
無。
Claims (10)
- 一種感光性樹脂組成物,包括:鹼可溶性樹脂(A);含乙烯性不飽和基的化合物(B);光起始劑(C);以及溶劑(D);其中所述鹼可溶性樹脂(A)包括鹼可溶性樹脂(A-1),所述鹼可溶性樹脂(A-1)是由混合物經共聚合後,再進一步與乙烯性不飽和單體(a-1-5)進行縮合反應而得,所述混合物包括含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)、下述式(I)所示的含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)、及含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)及乙烯性不飽和單體(a-1-4),其中所述乙烯性不飽和單體(a-1-5)包括含環氧基的乙烯性不飽和單體、含異氰酸基的乙烯性不飽和單體、含羥基的乙烯性不飽和單體、或其組合,所述乙烯性不飽和單體(a-1-4)為所述含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)、所述含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)、所述含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)以及所述乙烯性不飽和單體(a-1-5)以外的乙烯性不飽和單體,當所述混合物的總使用量為100重量份,所述含羧酸基或羧酸酐基的乙烯性不飽和單體(a-1-1)的使用量為10重量份至90重量份,所述含氧基伸烷基的乙烯性不飽和單體(a-1-2)的使用量為1 重量份至45重量份,所述含馬來醯亞胺基或兩個烯基的乙烯性不飽和單體(a-1-3)的使用量為10重量份至40重量份,所述乙烯性不飽和單體(a-1-4)的使用量為0重量份至55重量份,所述乙烯性不飽和單體(a-1-5)的使用量為10重量份至180重量份,
式(I)中,R1、R2及R3各自獨立表示氫或甲基;R4表示經取代或未經取代的C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、經取代或未經取代的C2-C20的直鏈或支鏈的烯基、或者經取代或未經取代的C6-C20的芳香族烴基;AO表示C2-C20的氧基伸烷基;x表示0至2的整數;y表示0或1;n表示2至200;所述光起始劑(C)包括光起始劑(C-1),所述光起始劑(C-1)為下述式(II)所示的化合物, 式(II)中, A表示氫、鹵素、硝基、C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C10的烷基環烷基、C4-C10的環烷基烷基、、或,其中C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C10的烷基環烷基、C4-C10的環烷基烷基、、或中所含有的任一個-CH2-可被O、N、S或羰基所取代;R5表示氫、鹵素、C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C20的環烷基烷基或C2-C20的烯基,其中C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C20的環烷基烷基以及C2-C20的烯基中所含有的-CH2-可被O、N、S或羰基所取代,兩個R5之間可形成環狀結構;R6表示C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C2-C20的烯基、C3-C20的環烷基、C4-C20的環烷基烷基、C4-C20的烷基環烷基、或C6-C20的芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且R6中的-CH2-可被O、N、S或羰基所取代;R7表示C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C3-C20的環烷基、C4-C20的環烷基烷基、C4-C20的烷基環烷基、C6-C20的芳基、下述式(II-A)所示的基團、下述式(II-B)所示的基團或下述式(II-C)所示的基團,當R7表示C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C3-C20的環烷基、C4-C20的環烷基烷基、C4-C20的烷基環烷基、或C6-C20的芳基時,這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所 取代,並且R7中的-CH2-可被O、N、S或羰基所取代;R6與R7之間可形成環狀結構; 式(II-A)中,m表示0或1的整數,R11表示氫、C1-C8的烷基,或苯基,R12、R13及R14各自獨立表示氫或C1-C4的烷基; 式(II-B)中,p是0至3的整數; 式(II-C)中,R15表示氫、C1-C8的烷基,或苯基,Ar是經取代或未經取代的苯基、萘基、呋喃基、噻吩基或吡啶基;R8表示N-嗎啉基、N-呱啶基、N-吡咯基或N-二烷基,其中這些基團中的一個或多個氫可被鹵素或羥基所取代;R9、R9’各自獨立表示C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C20的環烷基、C2-C20的烯基、或C6-C20的芳基,其中這些基團中的一個或多個氫可各自獨立被烷基、鹵素、羥基或硝基所取代,並且這些基團中的-CH2-可被-O-取代;或者R9及R9’可以彼此相連或經由-O-、-S-或-NH-形成五員環或六員環;R10表示C1-C20的直鏈或支鏈的烷基、C4-C20的環烷基、C4-C20的烷基環烷基、C2-C20的烯基、或C6-C20的芳基,其中這些基團中的-CH2-可被-O-或-S-取代,並且這些基團的一個或多個氫可 以獨立地被選自烷基、鹵素、硝基、氰基、SR16或OR17所取代;R16和R17各自獨立表示氫、或者C1-C20的直鏈或支鏈的烷基。 - 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中所述鹼可溶性樹脂(A-1)含有乙烯性不飽和基。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中所述光起始劑(C)更包括光起始劑(C-2),所述光起始劑(C-2)為下述式(III)所示的化合物,
式(III)中, Ar1表示鄰伸芳基或鄰伸雜芳基,所述鄰伸芳基或所述鄰伸雜芳基是以相鄰的兩個原子與Y1及羰基形成環狀結構,其餘原子上的取代基各自選自由氫;鹵素;C1-C12的烷基;C5-C7的環烷基;經C5-C7的環烷基取代的C1-C4的烷基;苯基;經一個或多個C1-C4的烷基、羧基、C1-C12的烷基醯基、C1-C12的芳基醯基、雜芳基醯基、JT4、苯基、鹵素或CN取代的苯基;C1-C4的烷基苯甲氧基;經取代的C1-C4的烷氧基、C1-C3的伸烷基二氧基;;C1-C12的烷基硫基;C1-C4的烷基苯硫基;經取代的C1-C4的烷基硫基;CN;羧基;C1-C12的烷氧基甲醯基;芳基醯基;雜芳基醯基及JT5所組成的群組;或者Ar1的所述取代基中相鄰的兩個取代基之間或取代基與Ar1之間經由單鍵、碳原子、羰基形成環狀結構;其中,JT4及JT5中,J選自由O、S及NT6所組成的群組;Y1選自由O、S、NT7、BT7、CT2T3、SiT2T3、S=O及C=O所組成的群組;T1表示氫、C1-C18的烷基或C1-C18的烷氧基;或者T1表示經一個或多個鹵素、C1-C4的烷基、C5-C7的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1-C4的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5-C7的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C18的烷基;C2-C18的烯基;經一個或多個鹵素、C1-C4的烷基、C5-C7的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1-C4的烷醯氧基或芳醯氧基取代及/或被C5-C7的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C18的烯基,或上述兩者情況同時存在;或者 T1表示C5-C7的環烷基,或經一個或多個C1-C4的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5-C7的環烷基;或者T1表示苯基,或經一個或多個C1-C4的烷基、C1-C4的烷氧基、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者T1表示萘基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中苯甲醯基及苯氧基羰基的苯基任意被一個或兩個以上鹵素、T4、C5-C6的環烷基、CN、OH或JT4所取代;T2及T3各自獨立表示氫、C1-C18的烷基、經羧基取代的C1-C5的烷基、經C1-C4的烷氧基醯基取代的C1-C5的烷基或經取代的C1-C4的烷基;或者T2及T3各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1-C4的烷基、C5-C7的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1-C4的烷醯氧基、芳醯氧基取代的C2-C18的烷基,或是被C5-C7的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C18的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者T2及T3各自獨立表示C5-C7的環烷基,或經一個或多個C1-C4的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5-C7的環烷基;或者T2及T3各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1-C4的烷基、C1-C4的烷氧基、羧基、C1-C12的烷基醯基、C5-C6的環烷基甲醯基或C5-C6的環烷基取代的C2-C4的烷基醯基、芳基醯基、JT4、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者T2及T3各自與其共同所連結的碳原子或矽原子一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;或者 T2及T3各自與相鄰的取代基一起構成環狀結構且成環的原子數為4至7;T4表示C1-C4的烷基;T5表示氫、C1-C18的烷基、經C1-C4的烷氧基醯基取代的C1-C5的烷基或經取代的C1-C4的烷基;或者T5表示經一個或多個鹵素、C1-C4的烷基、C5-C7的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1-C4的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2-C18的烷基,或是被C5-C7的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C18的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者T5表示C5-C7的環烷基,或經一個或多個C1-C4的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5-C7的環烷基;或者T5表示苯基,或經一個或多個C1-C12的烷基、羧基、C1-C12的烷基醯基、被伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C12的烷基醯基、C5-C6的環烷基甲醯基、C5-C6的環烷基取代的C2-C4的烷基醯基、芳基醯基、雜芳基醯基、JT4、苯基、鹵素、CN或NO2取代的苯基或者T5表示C1-C4的烷基醯基、C1-C4的共軛烯醯基、苯甲醯基或苯氧基羰基,其中所述苯甲醯基及所述苯氧基羰基中的苯基可任意被一個或兩個以上鹵素、T4、環戊基、環己基、CN、OH或JT4取代;或者T5經由單鍵、碳原子或羰基與Ar1中的芳環形成環狀結構;T6及T7各自獨立表示氫、C1-C18的烷基、經C1-C4的烷氧基醯基取代的C1-C5的烷基或經取代的C1-C4的烷基;或者 T6及T7各自獨立表示經一個或多個鹵素、C1-C4的烷基、C5-C7的環烷基、雜環烷基、苯基、雜芳基、CN、C1-C4的烷醯氧基或芳醯氧基取代的C2-C18的烷基,被C5-C7的伸環烷基、伸苯基、O、S或NT4插入的C2-C18的烷基,或是上述兩種情況同時存在;或者T6及T7各自獨立表示C5-C7的環烷基,或經一個或多個C1-C4的烷基、苯基、鹵素或CN取代的C5-C7的環烷基;或者T6及T7各自獨立表示苯基,或經一個或多個C1-C4的烷基、羧基、C1-C12的烷基醯基、C5-C6的環烷基甲醯基或C5-C6的環烷基取代的C2-C4的烷基醯基、芳基醯基、JT4、苯基、鹵素或CN取代的苯基;或者T6各自經由單鍵、碳原子、羰基與Ar1中的芳環形成環狀結構;其中當Ar1為經取代的咔唑基團時,Y1不是C、O、S或NT7。 - 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物,其中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,所述鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量為50重量份至100重量份,所述含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為50重量份至600重量份,所述光起始劑(C)的使用量為10重量份至140重量份,所述光起始劑(C-1)的使用量為10重量份至90重量份,並且所述溶劑(D)的使用量為500重量份至5000重量份。
- 如申請專利範圍第4項所述的感光性樹脂組成物,其中,基於所述鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,所述光起始劑(C-2)的使用量為5重量份至50重量份。
- 一種間隙體,其是由如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的感光性樹脂組成物所形成。
- 一種保護膜,其是由如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的感光性樹脂組成物所形成。
- 一種液晶顯示元件,包括如申請專利範圍第7項所述的間隙體。
- 一種液晶顯示元件,包括如申請專利範圍第8項所述的保護膜。
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