TWI847461B - 用於光罩盒之蓋或基底板之容器、及儲存光罩盒之蓋或基底板之方法 - Google Patents

Abstract

本發明係關於用於光罩盒之蓋或基底板之載運容器，其包括包含第一固定特徵之一第一殼體及包含第二固定特徵之一第二殼體。當連結該第一殼體及該第二殼體時，該殼體界定能夠容納一光罩盒之一蓋或一基底板之一內部空間，且該等固定特徵嚙合該蓋或基底板以防止該蓋或基底板與該第一殼體或第二殼體在平面之方向上移動。該等固定特徵可為同時含有接觸該蓋或基底板之剛性及彈性之固定特徵。一種儲存一蓋或基底板之方法可包含將該蓋或基底板放置於該第一殼體與第二殼體之間，且將該第一殼體及該第二殼體彼此連結。

Description

用於光罩盒之蓋或基底板之容器、及儲存光罩盒之蓋或基底板之方法

本發明係關於用於被用作一光罩盒之內盒之蓋及/或基底板之載運容器。

待處理之光罩，例如透過光微影術，諸如極紫外線(EUV)，可在包含一外盒及一內盒之光罩盒中儲存及傳送。內盒可包含一基底板及一蓋。

本發明係關於用於用作一光罩盒之內盒之蓋及/或基底板之載運容器。

根據實施例之載運容器可在載運給蓋及基底板之使用者期間保護光罩內盒之蓋及/或基底板。此可減少對蓋及/或基底板之損壞發生率，從而減少或防止在運輸期間可用蓋及基底板之損失。在實施例中，載運容器可增加可在載運空間之一給定體積中載運之蓋及/或基底板之數量。載運容器可使用相對剛性及硬質保持點，以牢固地固定蓋及/或基底板，同時減少震波對蓋及/或基底板之影響。根據實施例之載運容器可經組態以與在蓋及/或基底板之設計中呈現之特徵相連接，使得蓋及/或基底 板可固定於載運容器中，而無需進一步修改蓋及/或基底板。

一種用於一光罩盒之一蓋或一基底板之容器，其包含包括複數個第一固定特徵之一第一殼體及包括複數個第二固定特徵之一第二殼體。該第一殼體及該第二殼體經組態以連結在一起。當該第一殼體及該第二殼體連結在一起時，該第一殼體及該第二殼體界定一內部空間。該內部空間經設定尺寸使得其可容納該光罩盒之該蓋或該基底板。該等第一固定特徵經組態以在第一預判定位置處嚙合該光罩盒之該蓋或該基底板，該等特徵對應於經提供於該光罩盒之該蓋或該基底板之一第一側上之第一盒特徵。該等第二固定特徵經組態以在第二預判定位置處嚙合該光罩盒之該蓋或該基底板，該等特徵對應於經提供於該光罩盒之該蓋或該基底板之一第二側上之第二盒特徵。當該等第一固定特徵與該等第一盒特徵嚙合且該等第二固定特徵與該等第二盒特徵嚙合時，該嚙合限制該光罩盒之該蓋或該基底板與該第一殼體或該第二殼體中之至少一者在平面內之移動。

在一實施例中，第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均各包含一彈性材料。在一實施例中，該彈性材料係一含氟彈性體。

在一實施例中，第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均各包含一剛性材料。在一實施例中，該剛性材料係與第一殼體或第二殼體之主體相同之材料。

在一實施例中，該容器係用於光罩盒之蓋，且第一預判定位置及第二預判定位置中之至少一些對應於光罩盒之蓋之通孔。

在一實施例中，該容器係用於光罩盒之基底板，且第一預判定位置或第二預判定位置中之至少一者對應於光罩盒之基底板之一運動耦合槽。

在一實施例中，第一預判定位置及第二預判定位置對應於光罩盒之蓋或基底板之非功能位置。

在一實施例中，第一殼體及第二殼體各自包含聚碳酸酯或一聚烯烴。

在一實施例中，一種儲存一光罩盒之一蓋或一基底板之方法包含將光罩盒之蓋或基底板放置於一容器之一第一殼體中。該第一殼體包含複數個第一固定特徵。將光罩盒之蓋或基底板放置於第一殼體中包含將蓋或基底板之一第一側上之第一盒特徵與複數個第一固定特徵嚙合。該方法進一步包含將容器之一第二殼體連結至容器之第一殼體。第二殼體包含第二嚙合特徵。將容器之第二殼體連結至第一殼體包含將蓋或基底板之一第二側上之第二盒特徵與第二固定特徵嚙合。第一固定特徵與第一盒特徵之嚙合及第二固定特徵與第二盒特徵之嚙合限制光罩盒之蓋或基底板與第一殼體或第二殼體中之至少一者在平面內之移動。

在一實施例中，第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一彈性材料。在一實施例中，該彈性材料係一含氟彈性體。

在一實施例中，第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一剛性材料。在一實施例中，該剛性材料係與第一殼體或第二殼體之主體相同之材料。

在一實施例中，經儲存之蓋或基底板係光罩盒之蓋，且第一固定特徵及第二固定特徵之至少一些與在光罩盒之蓋中經形成之通孔嚙合。

在一實施例中，經儲存之蓋或基底板係光罩盒之基底板，且第一固定特徵及第二固定特徵之至少一些與光罩盒之基底板之一運動耦 合槽嚙合。

在一實施例中，第一固定特徵及第二固定特徵與光罩盒之蓋或基底板之非功能位置嚙合。

在一實施例中，第一殼體及第二殼體各自包含聚碳酸酯或一聚烯烴。

100:容器

102:第一殼體

104:第一接觸件

106:第二殼體

108:第二接觸件

110:蓋或基底板

112:鉸鏈

114:門鎖

200:基底板

202:安全卡扣孔

204:減重袋

206:運動耦合特徵

208:反射器區域

210:第一殼體

212:殼體主體

214:第一殼體接觸件

220:夾持器袋

222:基底板密封區域

230:第二殼體

232:第二殼體主體

234:第二殼體接觸件

300:蓋

302:凸緣

304:光罩凸紋

306:反射器區域

308:蓋密封區域

310:第一殼體

312:第一殼體主體

314:第一殼體接觸件

320:通孔

322:減重切口

330:第二殼體

332:第二殼體主體

334:第二殼體接觸件

400:方法

402:步驟

404:步驟

406:步驟

500:殼體

502:突起/接觸件

504:彈性尖端

506:接觸特徵

508:蓋或基底板

600:殼體

602:接觸件

604:剛性尖端

606:肩部

608:接觸特徵

610:蓋或基底板

700:第一殼體

702:第一突起/接觸件

704:第一彈性尖端

706:通孔

708:蓋或基底板

710:第二殼體

712:第二突起

714:第二彈性尖端

800:殼體

802:突起/接觸件

804:凹部

806:彈性插入件

808:接觸特徵

810:蓋或基底板

900:殼體

902:突起/接觸件

904:接觸特徵

906:蓋或基底板

908:端部

圖1展示根據一實施例之用於一光罩盒之一蓋或一基底板之一容器。

圖2A展示根據一實施例之待儲存於一容器中之一光罩盒之一基底板之一第一側。

圖2B展示經組態用於在圖2A之基底板之第一側上之一第一殼體。

圖2C展示圖2A中所展示之基底板之一第二側

圖2D展示經組態用於在圖2C之基底板之第二側上之一第二殼體。

圖3A展示根據一實施例之待儲存於一容器中之一光罩盒之一蓋之一第一側。

圖3B展示經組態用於在圖3A之蓋之第一側上之一第一殼體。

圖3C展示圖3A中所展示之蓋之一第二側。

圖3D展示經組態用於在圖3C之蓋之第二側上之一第二殼體。

圖4展示根據一實施例之一方法之一流程圖。

圖5展示具有經容納之一光罩之一容器之一接觸件介面。

圖6展示經容納之一光罩之一容器之另一接觸件介面。

圖7展示具有經容納之一光罩之一容器之另一接觸件介面。

圖8展示具有經容納之一光罩之一容器之另一接觸件介面。

圖9展示具有經容納之一光罩之一容器之另一接觸件介面。

本發明係關於用於用作一光罩盒之內盒之蓋及/或基底板之載運容器。本發明主張2021年12月29日申請之第63/294,463號美國臨時專利申請案之權利，該案之全文以引用的方式併入本文中。。

圖1展示根據一實施例之用於一光罩盒之一蓋或一基底板之一容器。容器100包含第一殼體102，其中在第一殼體102上經提供有複數個第一接觸件104。容器100亦包含第二殼體106，其中在第二殼體106上經提供有複數個第二接觸件108。容器100可被用於容納一光罩盒之一蓋或基底板110。

容器100經組態以容納一蓋或基底板110。容器100經組態以將蓋或基底板110容納於藉由容器100界定之一內部空間中。容器100可被用於儲存及/或運輸經儲存在其中之蓋或基底板110。在一實施例中，待容納於容器100中之蓋或基底板110係一光罩盒內盒之一蓋。

第一殼體102及第二殼體106各自包括各自之固定特徵。固定特徵係經提供於各殼體102、106上之特徵，該等特徵經組態以當蓋或 基底板110位於容器100內時機械地嚙合蓋或基底板。固定特徵與蓋或基底板110之機械嚙合將蓋或基底板保持在容器100內之一特定位置，從而限制或防止蓋或基底板之移動。在一實施例中，固定特徵之嚙合限制或防止相對於包含一組件之第一殼體102及/或第二殼體106，蓋或基底板110與第一殼體102或第二殼體106在平面內之移動。在圖1展示之實施例中，第一接觸件104係第一殼體102之固定特徵，第二接觸件108係第二殼體106之固定特徵。固定特徵可為能夠嚙合蓋或基底板110之第一殼體102及第二殼體106之任何適合特徵，從而限制或防止蓋或基底板在容器100中之移動。在圖5至圖9中展示且在下文描述固定特徵之非限制性實施例。

第一殼體102形成容器100之一部分。第一殼體102經組態以部分地界定一內部空間，使得蓋或基底板110可經保持於內部空間內。第一殼體102包含複數個第一接觸件104。在一實施例中，第一殼體102由一聚合物材料形成。在一實施例中，第一殼體102由聚碳酸酯、一聚烯烴或一丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)聚合物形成。第一殼體102可包含經形成於第一殼體102之一側上之第一接觸件104，該第一接觸件經組態以當蓋或基底板110作為固定特徵經儲存於容器100內時面向蓋或基底板110。第一接觸件104經提供於在位置決定完成處之第一殼體102上，其對應於蓋或基底板110上之位置，其中該等位置待經接觸以將蓋或基底板110保持在容器100內。第一接觸件104可經提供於對應於蓋或基底板110上之非關鍵位置之位置處。蓋或基底板110上之非關鍵位置係在儲存或運輸期間，偶然損壞不會嚴重影響包含蓋或基底板110之光罩盒之功能之區域中。蓋或基底板110之關鍵區域可包含密封表面、高拋光區域、表面上之可見電鍍區域、在內部空間內區域，其中蓋或基底板110將容納一光罩及類似物 區域等。蓋或基底板110之非關鍵區域可包含蓋或基底板110之拐角及側面、經形成於蓋或基底板110中之通孔、安全卡扣孔、運動耦合(KC)槽等及類似物。

第一接觸件104可包含第一殼體102之材料。在一實施例中，第一接觸件104可進一步包含一彈性組件，例如，其中第一接觸件104將與蓋或基底板110相連接。然後，彈性組件可為任何適合之彈性材料，例如一或多種彈性體。在一實施例中，彈性組件係一熱塑性彈性體。在一實施例中，彈性組件係一含氟彈性體。彈性組件可由交聯聚合物材料製成。可被用於彈性組件之材料之非限制性實例包含氟橡膠，諸如FKM或Viton^TM。在一實施例中，第一接觸件104在接觸蓋或基底板110之表面處經提供有彈性材料或一剛性材料中之一種，而第二接觸件108在接觸蓋或基底板110之表面上提供彈性材料及剛性材料中之另一種。在該實施例中，藉由在一側上之一剛性材料及在另一側上之彈性材料接觸蓋或基底板。剛性材料可為任何適合之剛性材料。在一實施例中，剛性材料與用作第一殼體102或第二殼體106之材料相同。在一實施例中，剛性材料係聚碳酸酯、一聚烯烴，諸如超高分子量聚乙烯或ABS。

第二殼體106形成容器100之另一部分。當連結第二殼體106及第一殼體102時，容器100經組態以圍繞蓋或基底板110。第二殼體106可由一剛性材料製成，例如聚碳酸酯、一聚烯烴(諸如超高分子量聚乙烯)或ABS。在一實施例中，第二殼體106由與第一殼體102相同之材料製成。第二殼體106及第一殼體102可藉由任何適合之封閉件或其組合連結，諸如門鎖、凸片、鉸鏈、卡扣配合特徵、磁性表面等類似物。在圖1所展示之實施例中，容器100包含鉸鏈112及門鎖114，以將第一殼體102 及第二殼體106彼此固定。

第二殼體106包含作為固定特徵之第二接觸件108。第二接觸件108經定位於第二殼體106之既定位置上，該等位置經組態以對應於蓋或基底板110之一第二側上之預判定接觸點，其與藉由第一接觸件104接觸之第一側相對。第二接觸件108可經定位以對應於蓋或基底板110之第二側上之非關鍵位置。第二接觸件108可包含一剛性材料。第二接觸件108可包含第二殼體106之材料。第二接觸件108可包含一彈性組件，諸如上文相對於第一接觸件104所描述之任何彈性組件。在一實施例中，第一接觸件104及第二接觸件108結合以將蓋或基底板110在一側上與一剛性材料接觸及在相對側與一彈性材料接觸。在一實施例中，第一接觸件104及第二接觸件108結合以在相對側之各側上將蓋或或基底板110與剛性材料接觸。在一實施例中，第一接觸件104及第二接觸件108結合以在相對側之各側上將光罩或基底板與一彈性材料接觸。

在一實施例中，一些或所有第二接觸件108及一些或所有第一接觸件104可與經形成於蓋或基底板110上之共同特徵(諸如通孔、蓋或基底板之周邊等類似物)相連接。在一實施例中，當關閉容器100時，第二接觸件108與第一接觸件104相對。在一實施例中，當蓋或基底板110經定位於容器100內時，第一接觸件104及第二接觸件108可彼此接觸。在一實施例中，一些或所有第一接觸件104接觸蓋或基底板110之第一側上之一組特徵，且一些或所有第二接觸件經組態以接觸經提供於蓋或基底板110之第二側上之一不同之第二組特徵。

第一接觸件104、蓋或基底板110及第二接觸件108之間之接觸使得蓋或基底板108經保持於容器100內，使得蓋或基底板110經固 定，使得其不會與第一殼體102及第二殼體106中之一者或兩者在平面內之一方向上顯著移動。根據第一接觸件104及/或第二接觸件108中彈性材料之使用，或由於在用於容器100及蓋或基底板110之一者或兩者之製造公差內之部件磨損或變化，可會發生輕微臨時移動。

圖2A展示根據一實施例之經儲存於容器中之一光罩盒之一基底板之一第一側。當組裝包含基底板200之光罩盒時，基底板200之第一側可為朝外之一側。基底板200之第一側包含安全卡扣孔202、減重袋204及運動耦合特徵206，諸如運動耦合槽。任何、一些或所有安全卡扣孔202、減重袋204及運動耦合特徵206都可被用作基底板之第一側之點，以藉由第一殼體接觸件214接觸，如下文所討論及在如圖2B中所展示。反射器區域208可經提供於基底板200之第一側上。反射器區域208可被用於在處理一光罩期間定向基底板。

圖2B展示經組態以用於在圖2A之基底板之第一側上之一第一殼體。第一殼體210包含殼體主體212及複數個第一殼體接觸件214。第一殼體210界定容納基底板200之一內部空間之一部分。複數個第一殼體接觸件214經分佈於殼體主體212之一表面上，該殼體主體212經組態以當組裝包含第一殼體210及第二殼體230之一容器時面向基底板200之第一側。第一殼體接觸件214可為用於接觸基底板200之接觸件之任何適合之組態，例如如在圖5至圖9中所展示及下文所討論之接觸件502、602、702、802或902中之任何一者。第一殼體接觸件214可經定位以對應於基底板200之第一側之安全卡扣孔202、減重袋204或運動耦合特徵206。第一殼體接觸件可經定位以避免與經提供於基底板200之第一側上之反射器區域208接觸。

圖2C展示在圖2A中所展示之基底板之一第二側。基底板200之第二側係經組態以當包含基底板200之光罩盒被用於容納一光罩時面向光罩之基底板200之一側。基底板200之第二側包含夾持器袋220。基底板之第二側亦包含基底板密封區域222。當組裝包含基底板200及蓋300之光罩盒時，基底板密封區域222位於一蓋300(諸如下文所討論及在圖3A至圖3D中所展示之蓋300)與基底板200接觸之位置處。第二側亦包含定位於提供於基底板200之第二側上之光罩接觸件之間之一光罩下空間。

圖2D展示經組態以被用於在圖2C之基底板之第二側上之一第二殼體。第二殼體230包含第二殼體主體232及第二殼體接觸件234。第二殼體界定容納基底板200之一內部空間之另一部分。第二殼體接觸件234可為用於接觸基底板200之接觸件之任何適合之組態，例如如在圖5至圖9中所展示及下文所討論之接觸件502、602、702、802或902中之任何一者。第二殼體接觸件234可較佳地經定位以對應於基底板200之第二側之夾持器袋220。第二殼體接觸件234可經定位使得其不接觸基底板200之第二側之基底板密封區域222或光罩下空間。基底板密封區域222及光罩下空間可被認為基底板200之關鍵區域。該等區域之關鍵性可歸因於，例如，在具有影響一光罩之一高可能性之此類區域中產生之顆粒，或基底板密封區域222及光罩下空間中之表面上之光滑度之可見性。

圖3A展示根據一實施例之待儲存於一容器中之一光罩盒之一蓋之一第一側。蓋300之第一側係當蓋300與一基底板(諸如基底板200)組裝以形成一光罩盒時，面向一光罩之蓋300之一側。蓋300之第一側包含一凸緣302。蓋300之第一側進一步包含光罩凸紋304，其界定包含蓋300之光罩盒之內部空間之一部分。凸緣302亦包含反射器區域306。蓋 300之第一側進一步包含蓋密封區域308。蓋密封區域308係經組態以當組裝包含蓋300之光罩盒時接觸基底板(諸如基底板200)之區域。蓋300之蓋密封區域308可對應於在圖2C中所展示及上文所描述之基底板密封區域222。

圖3B展示經組態以用於圖3A之蓋之第一側上之一第一殼體。第一殼體310包含第一殼體主體312及第一殼體接觸件314。第一殼體310界定容納蓋300之一內部空間之一部分。複數個第一殼體接觸件314經分佈於第一殼體主體312之一表面上，當組裝包含第一殼體310及第二殼體330之一容器時，該第一殼體主體312經組態以面向蓋300之第一側。第一殼體接觸件314可經定位至在蓋300之第一側上之對應位置，諸如在反射器區域306外部之凸緣302之部件。第一殼體接觸件314可經定位使得當蓋300放置於第一殼體310內時，其不接觸光罩凸紋304、反射器區域306或蓋密封區域308。

圖3C展示在圖3A中所展示之蓋之一第二側。當蓋300經組裝至一光罩盒中時，例如當與基底板200結合時，蓋300之第二側朝外。蓋300之第二側包含通孔320。通孔320可為用於隨後經安裝至蓋300中之特徵之插入孔。蓋300之第二側進一步包含減重切口322。

圖3D展示經組態以被用於在圖3C之蓋之第二側上之一第二殼體。第二殼體330包含第二殼體主體332及第二殼體接觸件334。第二殼體330界定容納蓋300之內部空間之另一部分。第二殼體接觸件334經提供於第二殼體主體332之一側上，當蓋300經定位於藉由第一殼體310及第二殼體330形成之容器內時，第二殼體主體332經組態以面向蓋300之第二側。第二殼體接觸件334可經定位於對應於在第二側蓋300上之位置之位 置處，例如通孔320及/或減重切口322。

圖4展示根據一實施例之一方法之一流程圖。方法400包含將一光罩盒之一蓋或一基底板放置於一容器402之一第一殼體中。方法400進一步包含將容器之一第二殼體連結至第一殼體404。方法400亦包含第一及第二殼體之固定特徵之嚙合，以限制蓋或基底板406之移動。

將一光罩盒之一蓋或一基底板放置於一容器402之一第一殼體中。蓋或基底板可為一蓋抑或一基底板，其被選擇以對應於包含第一殼體之容器。在402處，蓋或基底板可經放置於容器之第一殼體中，使得對應於第一殼體之蓋或基底板之一側面向第一殼體之內部，且使得第一殼體之固定特徵(諸如上文所描述及在圖1中所展示之第一接觸件104)與在蓋或基底板上之對應特徵相連接。

將容器之一第二殼體連結至第一殼體404。在404處，可藉由任何適合連接(例如藉由將第二殼體門鎖至第一殼體上，例如使用如上文所描述及在圖1中做展示之門鎖114)將第二殼體連結至第一殼體。在一實施例中，第二殼體可圍繞一或複數個鉸鏈樞轉，諸如上文所描述及在圖1中做展示之鉸鏈112，在此處，藉由門鎖或其他閉合件連結至第一殼體。在404處，第二殼體至第一殼體之連結導致第一殼體及第二殼體形成一內部空間，在402處，該內部空間容納經放置於第一殼體中之蓋或基底板。在402處將蓋或基底板放置於第一殼體中後，在404處將第二殼體連結至第一殼體，使得第二殼體上之第二固定特徵(諸如上文所描述及在圖1中所展示之第二接觸件108)與光罩或基底板之第二側嚙合。

第一及第二殼體之固定特徵之嚙合限制蓋或基底板406之移動。在406處經限制之移動係與第一殼體或第二殼體中之至少一者在平 面內之移動。藉由蓋或基底板與在蓋或基底板之預判定位置處之固定特徵之接觸限制移動。在406處，嚙合對移動之阻力可限制由於衝擊引起之移動，例如，若包含蓋或基底板之容器掉落、撞擊等。在406處，移動限制可減少容器內之蓋或基底板之振動。移動限制可防止或減少移動。在一實施例中，蓋或基底板之移動可被限制至藉由在固定特徵中所使用之材料之靈活性及蓋或基底板之製造公差及各自固定特徵所允許之範圍內。固定特徵可在預判定位置嚙合蓋或基底板，諸如如上文所識別及在圖2A、圖2C、圖3A及圖3C中所展示之位置。

圖5展示具有經容納之一蓋或基底板之一容器之接觸件之一介面。在圖5之實施例中，殼體500包含突起502。彈性尖端504經提供於突起502上。彈性尖端504提供接觸經形成於蓋或基底板508中之接觸特徵506之表面。彈性尖端504可藉由任何適合之方法連接至突起502，例如壓配於突起502上、與經形成於彈性尖端504及/或突起502上之保持特徵之介面、包覆成型、黏合劑、其組合等類似物。彈性尖端504可經塑形以對應於接觸特徵506之形狀，例如與接觸特徵506之特定區域嚙合。

圖6展示具有經容納之一蓋或基底板之一容器之接觸件之另一介面。在圖6之實施例中，殼體600包含延伸進剛性尖端604之突起602，其中肩部606亦經提供於突起602上。在一實施例中，突起602及剛性尖端604與殼體600一體地形成，且由與殼體600相同之材料構成。剛性尖端604提供與蓋或基底板610之接觸特徵608接觸之表面。肩部606可具有經選擇以對應於接觸特徵608之形狀之一形狀，例如與接觸特徵608之特定區域嚙合。

圖7展示具有經容納之一蓋或基底板之一容器之接觸件之 另一介面。在圖7中所展示之實施例中，第一殼體700包含藉由第一彈性尖端704覆蓋之第一突起702。第一彈性尖端704延伸進經形成於蓋或基底板708中之通孔706中。第二殼體710包含藉由第二彈性尖端714覆蓋之第二突起712。第二彈性尖端714亦延伸進通孔706中。第一彈性尖端704及第二彈性尖端714可在通孔706內彼此接觸。

圖8展示具有經容納之一蓋或基底板之一容器之接觸件之另一介面。在圖8中所展示之實施例中，殼體800包含突起802。突起802包含經形成於突起802中之一凹部804。凹部804可具有任何適合之形狀。在一實施例中，凹部804可為圓柱形的。在一實施例中，凹部804之形狀為圓錐形或截頭圓錐形。彈性插入件806可經保持於凹部804中。在一實施例中，彈性插入件806可經壓配至凹部804中。在一實施例中，彈性插入件806可藉由任何適合之特徵(諸如嚙合特徵、黏合劑等類似物)連結至突起802。彈性插入件806包含一彈性材料。彈性插入件806經組態以接觸蓋或基底板810之接觸特徵808。在一實施例中，突起802之一部分亦可接觸蓋或基底板810之接觸特徵808。

圖9展示具有經容納之一蓋或基底板之一容器之接觸件之另一介面。在圖9中所展示之實施例中，殼體900提供複數個接觸件902。所有複數個接觸件902與蓋或基底板906之一單一接觸特徵904相連接。一些或所有接觸件902可在各接觸件902之一端部908處包含一彈性材料。端部908處之彈性材料可經施加於突起902上。突起902可與殼體900一體地經形成。在一實施例中，一些或所有突起902可延伸至端部908，而不提供彈性材料，從而在與蓋或基底板906之接觸特徵904相連接之表面處提供剛性材料。

態樣：

應暸解，態樣1至態樣9中之任何態樣可與態樣10至態樣18中之任何一者結合。

態樣1。一種用於一光罩盒之一蓋或一基底板之容器，其包括：一第一殼體，其包括複數個第一固定特徵；及一第二殼體，其包括複數個第二固定特徵；其中：第一殼體及第二殼體經組態以經連結在一起，當第一殼體及第二殼體經連結在一起時，第一殼體及第二殼體界定一內部空間，該內部空間經設定尺寸使得其可容納光罩盒之蓋或基底板，第一固定特徵經組態以在第一預判定位置處嚙合光罩盒之蓋或基底板，該等特徵對應於經提供於光罩盒之蓋或基底板之一第一側上之第一盒特徵，第二固定特徵經組態以在第二預判定位置處嚙合光罩盒之蓋或基底板，該等特徵對應於經提供於光罩盒之蓋或基底板之一第二側上之第二盒特徵，且當第一固定特徵與第一盒特徵嚙合且第二固定特徵與第二盒特徵嚙合時，嚙合限制光罩盒之蓋或基底板與第一殼體或第二殼體中之至少一者在平面內之移動。

態樣2。根據態樣1之容器，其中第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一彈性材料。

態樣3。根據態樣2之容器，其中彈性材料係一含氟彈性 體。

態樣4。根據態樣1至3中任一項之容器，其中第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一剛性材料。

態樣5。根據態樣4之容器，其中剛性材料係與第一殼體或第二殼體之主體相同之材料。

態樣6。根據態樣1至5中任一項之容器，其中容器係用於光罩盒之蓋，且第一預判定位置及第二預判定位置中之至少一些對應於光罩盒之蓋之通孔。

態樣7。根據態樣1至6中任一項之容器，其中容器係用於光罩盒之基底板，且第一預判定位置或第二預判定位置中之至少一者對應於光罩盒之基底板之一運動耦合槽。

態樣8。根據態樣1至7中任一項之容器，其中第一預判定位置及第二預判定位置對應於光罩盒之蓋或基底板之非功能位置。

態樣9。根據態樣1至8中任一項之容器，其中第一殼體及第二殼體各自包含聚碳酸酯或一聚烯烴。

態樣10。一種儲存一光罩盒之一蓋或一基底板之方法，其包括：將光罩盒之蓋或基底板放置於一容器之一第一殼體中，第一殼體包含複數個第一固定特徵，其中將光罩盒之蓋或基底板放置於第一殼體中包含將在蓋或基底板之一第一側上之第一盒特徵與複數個第一定位特徵嚙合；及將容器之一第二殼體連結至容器之第一殼體，第二殼體包含第二嚙合特徵，其中將容器之第二殼體連結至第一殼體包含將在蓋或基底板之一 第二側上之第二盒特徵與第二固定特徵嚙合，其中第一固定特徵與第一盒特徵之嚙合及第二固定特徵與第二盒特徵之嚙合限制光罩盒之蓋或基底板與第一殼體或第二殼體中之至少一者在平面內之移動。

態樣11。根據態樣10之方法，其中第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一彈性材料。

態樣12。根據態樣11之方法，其中彈性材料係一含氟彈性體。

態樣13。根據態樣10至12中任一項之方法，其中第一固定特徵或第二固定特徵中之至少一者均包含一剛性材料。

態樣14。根據態樣13之方法，其中剛性材料係與第一殼體或第二殼體之主體相同之材料。

態樣15。根據態樣10至14中任一項之方法，其中經儲存之蓋或基底板係光罩盒之蓋，且第一固定特徵及第二固定特徵中之至少一些與經形成於光罩盒之蓋中之通孔嚙合。

態樣16。根據態樣10至15中任一項之方法，其中經儲存之蓋或基底板係光罩盒之基底板，且第一固定特徵及第二固定特徵中之至少一些與光罩盒之基底板之一運動耦合槽嚙合。

態樣17。根據態樣10至16中任一項之方法，其中第一固定特徵及第二固定特徵與光罩盒之蓋或基底板之非功能位置嚙合。

態樣18。根據態樣10至17中任一項之方法，其中第一殼體及第二殼體各自包含聚碳酸酯或一聚烯烴。

此申請中所揭示之實例在所有態樣都應被視為闡釋性的而 非限制性的。本發明之範圍係藉由隨附發明申請專利範圍而非由上文說明訓示；且在申請專利範圍之等效性之含義及範圍內之所有變化都將包含於本文中。

100:容器

102:第一殼體

104:第一接觸件

106:第二殼體

108:第二接觸件

110:蓋或基底板

112:鉸鏈

114:閂鎖

Claims (10)

1. 一種用於一光罩盒之一蓋或一基底板之容器，其包括：一第一殼體，其包括複數個第一固定特徵；及一第二殼體，其包括複數個第二固定特徵；其中：該第一殼體及該第二殼體經組態以連結在一起，當該第一殼體及該第二殼體經連結在一起時，該第一殼體及該第二殼體界定一內部空間，該內部空間經設定尺寸使得其可容納該光罩盒之該蓋或該基底板，該等第一固定特徵經組態以在第一預判定位置處嚙合該光罩盒之該蓋或該基底板，該等特徵對應於經提供於該光罩盒之該蓋或該基底板之一第一側上之第一盒特徵，該等第二固定特徵經組態以在第二預判定位置處嚙合該光罩盒之該蓋或該基底板，該等特徵對應於經提供於該光罩盒之該蓋或該基底板之一第二側上之第二盒特徵，且當該等第一固定特徵與該等第一盒特徵嚙合且該等第二固定特徵與該等第二盒特徵嚙合時，該嚙合限制該光罩盒之該蓋或該基底板與該第一殼體或該第二殼體中之至少一者在平面內之移動；其中該光罩盒之該蓋或該基底板具有形成於其中之通孔，且該等第一固定特徵之至少一者及該等第二固定特徵中之至少一者，在該光罩盒之該蓋或該基底板之該等通孔之至少一者內彼此接觸。
2. 如請求項1之容器，其中該等第一固定特徵或該等第二固定特徵中之至少一者均包含一彈性材料。
3. 如請求項2之容器，其中該彈性材料係一含氟彈性體。
4. 如請求項1之容器，其中該容器係用於該光罩盒之該蓋，且該等第一預判定位置及該等第二預判定位置中之至少一些對應於該光罩盒之該蓋之該等通孔之至少一些。
5. 如請求項1之容器，其中該容器係用於該光罩盒之該基底板，且該等第一預判定位置或該等第二預判定位置中之至少一者對應於該光罩盒之該基底板之一運動耦合槽。
6. 如請求項1之容器，其中該等第一預判定位置及該等第二預判定位置對應於該光罩盒之該蓋或該基底板之非功能位置。
7. 一種儲存一光罩盒之一蓋或一基底板之方法，其包括：將該光罩盒之該蓋或該基底板放置於一容器之一第一殼體中，該第一殼體包含複數個第一固定特徵，其中將該光罩盒之該蓋或該基底板放置於該第一殼體中包含將在該蓋或該基底板之一第一側上之第一盒特徵與該等複數個第一固定特徵嚙合；及將該容器之一第二殼體連結至該容器之該第一殼體，該第二殼體包含第二固定特徵，其中將該容器之該第二殼體連結至該第一殼體包含將在 該蓋或該基底板之一第二側上之第二盒特徵與該等第二固定特徵嚙合，其中該等第一固定特徵與該等第一盒特徵之嚙合及該等第二固定特徵與該等第二盒特徵之嚙合限制該光罩盒之該蓋或該基底板與該第一殼體或該第二殼體中之至少一者在平面內之移動；其中該光罩盒之該蓋或該基底板具有形成於其中之通孔，且將該等第一固定特徵之至少一者及該等第二固定特徵中之至少一者，在該光罩盒之該蓋或該基底板之該等通孔之至少一者內彼此接觸。
8. 如請求項7之方法，其中該等第一固定特徵或該等第二固定特徵中之至少一者均包含一剛性材料。
9. 如請求項7之方法，其中經儲存之該蓋或該基底板係該光罩盒之該蓋，且該等第一固定特徵及該等第二固定特徵中之至少一些與經形成於該光罩盒之該蓋中之該等通孔之至少一些嚙合。
10. 如請求項7之方法，其中經儲存之該蓋或該基底板係該光罩盒之該基底板，且該等第一固定特徵及該等第二固定特徵中之至少一些與該光罩盒之該基底板之一運動耦合槽嚙合。