CN201156159Y - 光罩盒及其定位件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种光罩盒，特别是有关于一种具有定位件的光罩盒。此光罩盒由上盖体与下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，于光罩盒的上盖体或下盖体内的角落设有至少一定位件，其中此定位件的结构包括座体与固定组件，此座体以复数个支撑点固接于光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，且大致呈L状，而此固定组件则设置于座体上，其中固定组件的结构包括一顶持面及一扣压面，当光罩盒承载一光罩且盖合时，此固定组件的顶持面及扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。
Description
技术领域
本实用新型是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种具有定位件的光罩盒。
背景技术
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，其中SMIF系统的目的是为减少半导体工艺的储存及运送过程中所受的微粒过量。
如图1所示，为一公知的光罩盒1，其由上盖体11与下盖体12所组合而成，其中在上盖体11与下盖体12内各角落的位置，设有复数个定位件13，此定位件13设置的方式为两两一对，且大致呈直角状配置，而配置于上盖体11的定位件13与配置于下盖体12的定位件13亦大致设于可对应的相对位置。当光罩置于下盖体12内时，光罩盒1的上盖体11与下盖体12盖合，配置于光罩盒1内的定位件13将可顶持并扣压光罩，将光罩固定于光罩盒1内，以避免移动光罩盒1时产生震动，而导致光罩盒1内的光罩损坏。其中，由于定位件13是以个别方式设置于光罩盒1内，因此在固设定位件13于光罩盒1的上盖体11与下盖体12时，不但在两两配置时易产生对位的误差，甚至于在上盖体11与下盖体12配置定位件13的相对位置上，也容易产生误差，因此当上盖体11与下盖体12盖合时，容易因定位件13的对位误差，而导致光罩压毁或产生磨损，进而影响光罩的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光罩盒及其定位件，以克服公知技术中存在的缺陷。
为实现上述目的，本实用新型提供的光罩盒，其包含：
一上盖体；
一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；以及至少一定位件，设于该上盖体或该下盖体内的角落，用以固定该光罩，其中，该定位件包括：
一座体，以至少一支撑点固接于该光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，其中该座体大致呈L状；以及
一固定组件，设置于该座体上，该固定组件包括一顶持面及一扣压面；
其中，当该光罩盒承载一光罩且盖合时，该固定组件的该顶持面及该扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。
所述的光罩盒，其中该固定组件可为一弯曲弹性结构，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间。
所述的光罩盒，其中该固定组件可为一弯曲弹性结构，其第一弯曲的端部结合于该座体上，第二弯曲的端部具有一顶持面，第三弯曲的端部具有一扣压面。
所述的光罩盒，其中该定位件具有至少一个固定组件。
所述的光罩盒，其中该定位件为一高分子材料所形成。
所述的光罩盒，其中该定位件的座体通过定位手段，固定于上盖体或下盖体内所设置的定位点上。
所述的光罩盒，其中该光罩盒上盖体或下盖体的材质大致可为金属材质或高分子材料所形成。
所述的光罩盒，其中该光罩盒的金属材质大致可为不锈钢、铝合金或镁合金。
所述的光罩盒，其可为光罩传送盒或光罩保存盒。
本实用新型提供的用于上述光罩盒的定位件，其结构包括：
一座体，以至少一个支撑点固接于该光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，其中该座体大致呈L状；以及
一固定组件，设置于该座体上，该固定组件包括一顶持面及一扣压面；其中，当该光罩盒承载一光罩且盖合时，该固定组件的该顶持面及该扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。
本实用新型的效果如下：
1)其定位件可降低制造过程中对位的困难。
2)其定位件可降低对位的误差。
3)其定位件可提高光罩导入光罩盒的容易度。
4)其定位件可有效固定光罩，以减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率。
附图说明
图1是公知技术光罩盒的示意图。
图2是本实用新型光罩盒的一实施例示意图。
图3A至图3D是本实用新型定位件的一实施例示意图。
图4A至图3C是本实用新型定位件座体固定方式的一实施例示意图。
附图中主要组件符号说明：
1光罩传送盒
11上盖体
12下盖体
13定位件
2光罩盒
21上盖体
22下盖体
3定位件
31座体
311支撑点
312扣合环
313套接孔
314定位孔
3141锁固件
32a固定组件
32b固定组件
32c固定组件
32d固定组件
321a顶持面
321b顶持面
321d顶持面
322a扣压面
322b扣压面
322d扣压面
33c弯曲弹性结构
33d弯曲弹性结构
331c弯曲端部
331d第一弯曲端部
332c弯曲端部
332d第二弯曲端部
333d第三弯曲端部
具体实施方式
本实用新型提供的具有定位件的光罩盒，其光罩盒是由上盖体与下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，此光罩盒的上盖体或下盖体内的角落设有至少一定位件，其中此定位件的结构包括座体与固定组件，此座体是以复数个支撑点固接于光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，且大致呈L状，而此固定组件则设置于座体上，其中固定组件的结构包括一顶持面及一扣压面，当光罩盒承载一光罩且盖合时，此固定组件的顶持面及扣压面于盖合时会与该光罩接触并固定。
由于本实用新型提供的具有定位件的光罩盒，其中所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术实现，故在下述说明中，并不作完整描述。而且附图中，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。
图2是本实用新型光罩盒的一较佳实施例示意图，光罩盒2由上盖体21与下盖体22组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，此光罩盒2的上盖体21或下盖体22内的角落设有至少一个定位件3用以固定光罩，而此定位件3为高分子材料所形成，光罩盒2的材质则大致可为金属材质或高分子材料所形，其中金属材质大致可为不锈钢、铝合金或镁合金，而上述的光罩盒2可为光罩传送盒或光罩保存盒。
图3A是本实用新型定位件的一较佳实施例示意图，定位件3的结构包括座体31与固定组件32a，此座体31的固定方式是以复数个支撑点311固接于光罩盒2的上盖体21及下盖体22内各角落的位置，且此座体31大致呈L状，因此可增加定位件3的对称性，降低制造过程中对位的困难，或是降低对位的误差，而此固定组件32a则设置于座体31上，其中固定组件32a的结构包括一顶持面321a及一扣压面322a，当光罩盒2承载一光罩且盖合时，此固定组件32a的顶持面321a具有将光罩导正及定位的功能，而扣压面322a于盖合时会与该光罩接触并固定，以避免光罩于运送过程中产生碰撞而损害光罩。
图3B是本实用新型定位件的另一较佳实施例示意图，该固定组件32b的结构包括一顶持面321b及一扣压面322b，其中顶持面321b与扣压面322b为相连接的平面，且顶持面321b与扣压面322b的夹角约为0度至约180度，当光罩盒2承载一光罩且盖合时，此固定组件32b的顶持面321b具有将光罩导正及定位的功能，而扣压面322b于盖合时会与该光罩接触并固定。
图3C是本实用新型定位件的又一较佳实施例示意图，该固定组件32c可为一弯曲弹性结构33c，其一弯曲的端部331c结合于该座体31上，另一弯曲的端部332c则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点311之间。
图3D是本实用新型定位件的再一较佳实施例示意图，其固定组件32d可为一弯曲弹性结构33d，其第一弯曲的端部331d结合于该座体31上，第二弯曲的端部332d具有一顶持面321d，第三弯曲的端部333d具有一扣压面322d。
图4A是本实用新型定位件的座体固定方式另一较佳实施例示意图，此定位件3的座体31是通过定位手段，固定于上盖体21或下盖体22内所设置的定位点上，其座体31的定位手段为设置于此座体31的扣合环312，以夹紧固定于定位点上，使该定位件3呈固定状态。
图4B是本实用新型定位件的座体固定方式又一较佳实施例示意图，此定位件3的座体31是通过定位手段，固定于上盖体21或下盖体22内所设置的定位点上，其座体31的定位手段为具套接孔313的定位部，以利用定位部的套接孔313套接定位点。
图4C系本实用新型定位件的座体固定方式再一较佳实施例示意图，此定位件3的座体31通过定位手段，固定于上盖体21或下盖体22内所设置的定位点上，其座体31的定位手段为设置于该座体31的定位孔314，以供固定组件32穿附锁固于定位点上；其座体31的定位手段亦可为将锁固件3141由基部的顶面穿入定位孔314，以将定位件3锁固于定位点上；其座体31的定位手段亦可为将锁固件3141由基部的底面穿入定位孔314，以将定位件3锁固于定位点上。其中上述的锁固件3141可为铆钉、螺丝，亦或大致由金属材料所制成。
根据本实用新型定位件的座体固定方式再一较佳实施例(未示于图中)，此定位件3的座体31通过定位手段，固定于上盖体21或下盖体22内所设置的定位点上，其座体31的定位手段为通过黏着剂将定位件3黏固于定位点上。
综上所述，本实用新型是针对公知技术加以改良的。其光罩盒定位件的座体大致呈L状，除了可增加扣压件的对称性，降低制造过程中对位的困难，或是降低对位的误差外，亦可提高光罩导入光罩盒的容易度，并有效固定光罩，以减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的权利要求范围；本领域技术人员在本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请的权利要求范围中。
Claims (10)
1、一种光罩盒，包含：
一上盖体；
一下盖体，与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；以及
至少一定位件，设于该上盖体或该下盖体内的角落，固定该光罩，其中，该定位件包括：
一座体，以至少一支撑点固接于该光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，其特征在于该座体大致呈L状；以及
一固定组件，设置于该座体上，该固定组件包括一顶持面及一扣压面；
其中，该光罩盒承载一光罩且盖合时，该固定组件的该顶持面及该扣压面于盖合时与该光罩接触并固定。
2、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该固定组件为一弯曲弹性结构，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间。
3、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该固定组件为一弯曲弹性结构，其第一弯曲的端部结合于该座体上，第二弯曲的端部具有一顶持面，第三弯曲的端部具有一扣压面。
4、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件具有至少一个固定组件。
5、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件为一高分子材料所形成。
6、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该定位件的座体透过定位手段，固定于上盖体或下盖体内所设置的定位点上。
7、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，其中该光罩盒上盖体或下盖体的材质大致为金属材质或高分子材料。
8、如权利要求7所述的光罩盒，其特征在于，其中该光罩盒的金属材质大致为不锈钢、铝合金或镁合金。
9、如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，为光罩传送盒或光罩保存盒。
10、一种用于光罩盒的定位件，其结构包括：
一座体，以至少一个支撑点固接于该光罩盒的上盖体及下盖体内各角落的位置，该座体大致呈L状；以及
一固定组件，设置于该座体上，该固定组件包括一顶持面及一扣压面；其中，该光罩盒承载一光罩且盖合时，该固定组件的该顶持面及该扣压面于盖合时与该光罩接触并固定。
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2008
- 2008-02-18 CN CNU2008200067340U patent/CN201156159Y/zh not_active Expired - Lifetime
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