TWI735753B - 玻璃薄膜之製造方法 - Google Patents

Abstract

一種玻璃薄膜之製造方法，係一邊搬送玻璃薄膜(G)，一邊對玻璃薄膜(G)實施製造相關處理的玻璃薄膜之製造方法，其特徵為：具備有藉由吸引滾子(46)吸附搬送玻璃薄膜(G)之製程，吸引滾子(46)之吸附部(46a)係僅吸附玻璃薄膜(G)的寬度方向中央部。

Description

玻璃薄膜之製造方法

本發明係關於玻璃薄膜之製造方法。

在玻璃薄膜之製造製程，一般係一邊將玻璃薄膜朝預定方向搬送，一邊對玻璃薄膜實施切斷、印刷等之製造相關處理。此時，在進行製造相關處理之區域或其周邊，會有將玻璃薄膜藉由皮帶式輸送機、滾子(吸引滾子)等之被驅動而旋轉的吸附支承機構予以吸附搬送之情況(例如參照專利文獻1)。若使用吸附支承機構的話，會有能夠以非接觸於玻璃薄膜一方的面的方式進行搬送、當搬送停止時也能夠穩定地保持玻璃薄膜等之優點。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特開2016-196343號公報

[發明所欲解決之課題]

又，在玻璃薄膜不存在有如樹脂薄膜這種的伸縮性。因此，若以吸附支承機構吸附玻璃薄膜的話，容易在吸附支承機構的周邊，使玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。這種的皺紋、撓曲等會在玻璃薄膜的玻璃面形成較大的隆起部，因此，會成為製造相關處理的處理不良、玻璃薄膜的破損等產生之原因。

因此，在專利文獻1，揭示有為了防止沿著玻璃薄膜之搬送方向延伸的縱向皺紋，在吸引滾子的上游側配置基材壓平滾子，藉由此基材壓平滾子舉起玻璃薄膜，在吸引滾子前將玻璃薄膜平滑化。

但，由於玻璃薄膜係脆性材料，故，若欲以基材壓平滾子強制地矯正皺紋、撓曲等的話，會有破損之虞。因此，考量玻璃薄膜的破損風險之情況，必須將基材壓平滾子的按壓力設定成較低，變得無法完全地去除玻璃薄膜的皺紋、撓曲等。

本發明之技術課題係在於當以被驅動而旋轉的支承機構吸附搬送玻璃薄膜時，既可防止玻璃薄膜的破損，又可確實地抑制在玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。 [用以解決課題之手段]

本發明者們，精心銳意進行研究的結果發現以下的見解，亦即在進行吸附搬送時所產生之玻璃薄膜的皺紋、撓曲等是因在進行玻璃薄膜成形時必定會產生之微小的翹曲、厚度差所引起。亦即，玻璃薄膜在因微視上殘存的翹曲、厚度差，朝寬度方向產生波浪狀之狀態，但若以旋轉驅動機構吸附玻璃薄膜的話，玻璃薄膜會仿效旋轉驅動機構之吸附面欲變形成平坦。於是，強制地矯正玻璃薄膜的翹曲、厚度差這種的力會作用，造成無法完全吸收翹曲、厚度差而在旋轉驅動機構的周邊產生皺紋、撓曲等。

因此，依據這樣的見解，為了解決前述課題而開發完成之本發明係具有下述的結構。亦即，本發明的玻璃薄膜之製造方法，係一邊搬送玻璃薄膜，一邊對玻璃薄膜實施製造相關處理的玻璃薄膜之製造方法，其特徵為，具備有在被驅動而旋轉的吸附支承機構上搬送玻璃薄膜之製程，吸附支承機構係僅吸附玻璃薄膜的寬度方向之一部分區域。若依據這樣的結構，吸附支承機構係僅吸附前述玻璃薄膜之寬度方向上的一部分區域。換言之，未吸附具有翹曲、厚度差等之玻璃薄膜的寬度方向全體。因此，即使以吸附支承機構吸附玻璃薄膜，也不會有因藉由吸附支承機構拘束玻璃薄膜的寬度方向全體造成玻璃薄膜之形狀被大幅度矯正之情況。因此，不會造成玻璃薄膜破損，亦能確實地抑制在玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。在此，[製造相關處理]，不僅是切斷處理、端面加工處理、樹脂薄膜等的層積處理、印刷等的成膜處理等之對玻璃薄膜直接實施的某種加工之處理，亦廣泛地包含玻璃薄膜表面之洗淨處理、除去玻璃薄膜的應變之退火處理(熱處理)等間接地使玻璃薄膜接近最終製品(可出貨的狀態之製品)用之處理等。

在前述結構，一部分區域係玻璃薄膜的全寬度之1/2以下為佳。藉此，能夠將玻璃薄膜之吸附區域集中在玻璃薄膜之寬度方向的狹小範圍。因此，在吸附區域以外的區域，玻璃薄膜不會被拘束而成為自然的狀態，能夠更確實地防止玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。

在前述結構，一部分區域係包含前述玻璃薄膜的前述寬度方向之中央部為佳。亦即，當進行吸附搬送時成為皺紋、撓曲等的原因之玻璃薄膜的翹曲、厚度差等，多數是取決於玻璃薄膜之成形方法，會有在玻璃薄膜之寬度方向兩端部較大、在寬度方向中央部較小之傾向。在翹曲、厚度差相對較少之寬度方向中央部進行吸附搬送，未將翹曲、厚度差相對較多之寬度方向兩端部拘束而作成自然的狀態，藉此，能夠更確實地防止在玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。

在前述結構，吸附支承機構，亦可為僅在與玻璃薄膜之寬度方向的中央部相對應之位置具有吸附部的皮帶式輸送機。藉此，能夠將玻璃薄膜在皮帶式輸送機上以穩定的之姿勢予以支承。因此，能夠在皮帶式輸送機上等，適宜地進行製造相關處理。

在此情況，亦可為皮帶式輸送機係在寬度方向上被分割成複數個，僅在被分割的寬度方向的中央部之中央皮帶式輸送機，設置吸附部。藉此，變得容易因應玻璃薄膜之寬度方向尺寸改變的情況。

在前述結構，吸附支承機構，亦可為僅在與玻璃薄膜之寬度方向的中央部相對應之位置具有吸附部的吸引滾子。藉此，能夠對玻璃薄膜施加穩定的張力。因此，例如能夠在吸引滾子的上游側，適宜地進行製造相關處理。

在前述結構，亦可為在對自供給滾子不斷放出之玻璃薄膜，實施製造相關處理後，藉由捲取滾子，捲取回收玻璃薄膜。藉此，能夠以所謂的捲式製程(Roll to Roll)，來對玻璃薄膜實施製造相關處理。 [發明效果]

若依據以上這樣的本發明的話，當以被驅動而旋轉的支承機構吸附搬送玻璃薄膜時，既可防止玻璃薄膜的破損，又可確實地抑制在玻璃薄膜產生皺紋、撓曲等。

以下，參照圖面說明關於本發明之玻璃薄膜之製造方法的實施形態。

[第一實施形態] 　　如圖1所示，使用於第一實施形態的玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置，係具備有：用來捲繞玻璃薄膜G之供給滾子1；搬送自供給滾子1不斷放出的玻璃薄膜G之搬送裝置2；在搬送裝置2的搬送路徑上，對玻璃薄膜G實施作為製造相關處理之切斷處理的切斷裝置3；及捲繞回收已實施了切斷處理之玻璃薄膜G的捲取滾子4。

在供給滾子1，玻璃薄膜G與保護薄片P是在已經重疊的狀態下被捲繞，在從半徑方向觀看供給滾子1之情況，玻璃薄膜G與保護薄片P係交互地層積。在供給滾子1的附近，設有：從已經自供給滾子1不斷送出的玻璃薄膜G分離保護薄片P，並且將該已經分離的保護薄片P予以捲取回收的輔助捲取滾子5。

在本實施形態，玻璃薄膜G係藉由溢流下拉法所成形，但不限於此。例如，亦可為藉由狭槽下拉法、再延伸法(Redraw)等的其他下拉法、浮子法等加以延伸成形者。該等成形方法之情況，玻璃薄膜G係形成為沿著延伸方向延伸之長條體。亦即，玻璃薄膜G的長度方向(搬送方向)實質上與成形時的延伸方向一致。

搬送裝置2係具備有：由複數個滾子所構成的第一及第二滾子群6、7；及皮帶式輸送機8。皮帶式輸送機8係設在上游側的第一滾子群6與下游側的第二滾子群7之間。

第一及第二滾子群6、7係將已經自供給滾子1不斷放出的玻璃薄膜G一邊迂迴成略圓周狀一邊導引至捲取滾子4。

切斷裝置3係執行雷射切割之裝置，具備有：對已經載置於皮帶式輸送機8上的玻璃薄膜G從表面側照射雷射光束L而實施局部加熱之局部加熱手段9；及對已藉由此局部加熱手段9進行了加熱之加熱區域從表面側噴射水W之冷卻手段10。

藉由以皮帶式輸送機8將玻璃薄膜G朝下游側輸送，使得局部加熱手段9之加熱區域與冷卻手段10之冷卻區域在沿著玻璃薄膜G的長度方向(搬送方向)延伸之切斷予定線(未圖示)上移動。藉此，利用藉由加熱之膨脹與藉由冷卻之收縮，產生熱應力，使得預先形成於切斷預定線的前頭之初期龜裂(未圖示)沿著切斷預定線行進。其結果，玻璃薄膜G被連續地切斷，分離成製品部Ga與非製品部Gx。

在此，作為局部加熱手段9使用雷射，但亦可為電熱線、熱風噴射等其他可進行局部加熱之手段。又，冷卻手段10係藉由氣壓等，將水W作為冷媒予以噴射者，但冷媒亦可為水以外的液體，空氣、惰性氣體等的氣體等。再者，切斷裝置3亦可為沿著藉由鑽石切割器等所形成的刻劃線(凹溝)執行切割者、執行雷射熔斷者等。

在捲取滾子4，玻璃薄膜G與保護薄片P在已經重疊的狀態下被捲繞，在從半徑方向觀看捲取滾子4之情況，玻璃薄膜G與保護薄片P係交互地層積。在捲取滾子4的附近，設有供給保護薄片P之輔助供給滾子11，該保護薄片P是重疊於被捲取滾子4所捲取回收之玻璃薄膜G上。

在本實施形態，供給滾子1與捲取滾子4係配置於下層，皮帶式輸送機8與切斷裝置3係配置於上層。上層與下層係藉由上層的地板12(下層的頂板)所區隔，玻璃薄膜G係透過設在地板12的開口部12a在上下層之間移動。因此，會有因藉由切斷裝置3之切斷所產生的玻璃粉不易附著到捲繞於供給滾子1或捲取滾子4之玻璃薄膜G的優點。再者，亦可不藉由地板12區隔成上下層。

在本實施形態，供給滾子1、捲取滾子4及皮帶式輸送機8係同步成玻璃薄膜G之搬送速度形成一定。亦即，供給滾子1係一邊維持對與皮帶式輸送機8之間的玻璃薄膜G賦予適宜的反向張力之軸旋轉扭矩(在皮帶式輸送機8的上游側施加反向張力使玻璃薄膜G不會鬆弛之方向)，一邊與皮帶式輸送機8的速度同步旋轉。又，捲取滾子4也是一邊維持對與皮帶式輸送機8之間的玻璃薄膜G賦予適宜的張力之軸旋轉扭矩(在皮帶式輸送機8的下游側施加正向張力使玻璃薄膜G不會鬆弛之方向)，一邊與皮帶式輸送機8的速度同步旋轉。

如圖2所示，皮帶式輸送機8之皮帶13係較玻璃薄膜G的寬度方向尺寸大之連續一片之皮帶，僅在與玻璃薄膜G的寬度方向中央部相對應之位置具有吸附部(加上了剖面線之區域)13a。在此，寬度方向係指與搬送方向正交之方向(以下的說明相同)。成為玻璃薄膜G的吸附寬度之吸附部13a的寬度W2，理想為玻璃薄膜G的全寬度W1之1/2以下，更理想為1/10以上1/3以下。再者，亦可為皮帶13較玻璃薄膜G的寬度方向尺寸小，玻璃薄膜G的寬度方向兩端自皮帶13突出。

皮帶13係在與玻璃薄膜G的切斷預定線相對應的位置具有凹溝13r。藉由此凹溝13r，在與切斷預定線相對應的位置，玻璃薄膜G的背面和皮帶13形成非接觸。其結果，藉由雷射光束L、水W進行切斷時賦予玻璃薄膜G的熱不易朝皮帶13側迴避，能夠有使熱應力有效率地作用於玻璃薄膜G。再者，亦可省略凹溝13r。

其次，說明使用了如以上所述構成的玻璃薄膜之製造裝置的玻璃薄膜之製造方法。

如圖1所示，第一實施形態之玻璃薄膜之製造方法，係一邊搬送玻璃薄膜G，一邊對玻璃薄膜G實施作為製造相關處理的切斷處理(修整)。在玻璃薄膜G，藉由捲式製程(Roll to Roll)實施切斷處理。

詳細而言，自供給滾子1不斷放出之玻璃薄膜G係在藉由第一滾子群6予以搬送後，在皮帶式輸送機8上，沿著形成於製品部Ga與非製品部Gx的邊界之切斷預定線依序被切斷。非製品部Gx在切斷後從製品部Ga分離，在已經從製品部Ga分離的位置被破碎而回收。製品部Ga在藉由第二滾子群7搬送後，藉由捲取滾子4予以捲取並回收。如圖2所示，非製品部Gx係形成於玻璃薄膜G的寬度方向兩端部。非製品部Gx的板厚，會有較製品部Ga的板厚大之情況。再者，亦可取代非製品部的切斷除去，或與該切斷除去併用，在皮帶式輸送機8上，將製品部在寬度方向上切斷成兩個之後，以不同的捲取滾子個別地捲取回收。

如圖2所示，在皮帶式輸送機8上，僅具有翹曲、肉厚差等變小的傾向之玻璃薄膜G的寬度方向中央部(製品部Ga的一部分)被吸附部13a吸附。換言之，具有翹曲、肉厚差等變大的傾向之玻璃薄膜G的寬度方向兩端部(包含非製品部Gx)未被吸附部13a吸附，形成為僅單純地被載置於皮帶式輸送機8上的狀態。亦即，在玻璃薄膜G的寬度方向兩端部與皮帶式輸送機8之間，形成可能產生藉由滑動之相對移動的狀態。因此，即使以吸附部13a吸附玻璃薄膜G，也不會有玻璃薄膜G的形狀(特別是寬度方向兩端部的形狀)被大幅地矯正的情況。因此，能夠防止因玻璃薄膜G的形狀之強制矯正可能產生之破損、皺紋、撓曲等。藉此，因在玻璃薄膜G的切斷部位，不易產生位置偏移、不當的應力不易作用等，所以，能夠正確地切斷玻璃薄膜G。

[第二實施形態] 　　使用於第二實施形態之玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置與第一實施形態的結構之不同點是在於皮帶式輸送機的結構。在以下的說明，以不同點之皮帶式輸送機的結構為中心進行說明。再者，皮帶式輸送機以外的結構是與第一實施形態相同，因此在此省略其詳細說明。

在第二實施形態，如圖3所示，皮帶式輸送機8係在寬度方向上被分割成複數個。在寬度方向中央部的中央皮帶式輸送機之皮帶(亦稱為中央皮帶)21的一部分或全部，設有用來吸附玻璃薄膜G的吸附部(加上剖面線之區域)21a。另外，寬度方向兩端部的側皮帶式輸送機之皮帶(亦稱為側皮帶)22則未設有吸附部。吸附部21a的寬度W3，理想為玻璃薄膜G的全寬度W1之1/2以下，更理想為1/10以上1/3以下。

側皮帶22係在與玻璃薄膜G的切斷預定線相對應的位置設有凹溝22r。凹溝22r係與第一實施形態的凹溝13r同樣地，當進行切斷時用來使熱應力有效率地作用於玻璃薄膜G者。再者，亦可省略凹溝22r。

在中央皮帶21與側皮帶22之間，配置有對搬送方向呈長條狀之板狀體23。玻璃薄膜G係在中央皮帶21與側皮帶22之間，藉由板狀體23輔助地支承。若在此狀態下，搬送玻璃薄膜G的話，玻璃薄膜G會在板狀體23上滑動。再者，亦可省略板狀體23。又，亦可取代板狀體23，採用藉由氣體、液體等的流體輔助地支承玻璃薄膜G之結構。又，從防止在玻璃薄膜G產生傷痕等的破損之觀點來看，板狀體23的材質，理想為聚乙烯、耐綸、鐵氟龍(登錄商標)等之樹脂材料。

皮帶式輸送機8的寬度方向之分割數量、已被分割的各自的皮帶式輸送機間之間隔可適宜地變更。亦可作成為使已被分割的各自的皮帶式輸送機可朝寬度方向移動而能夠調整皮帶式輸送機間的間隔。

[第三實施形態] 　　使用於第三實施形態的玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置，與第一及第二實施形態之結構的不同點是在於玻璃薄膜的供給部之結構。在以下的說明，以不同點之玻璃薄膜的供給部的結構為中心進行說明。再者，玻璃薄膜的供給部以外的結構是與第一及第二實施形態相同，因此在此省略其詳細說明。

在第三實施形態，如圖4所示，從成形装置31直接供給玻璃薄膜G。成形裝置31係用來執行溢流下拉法之裝置，從上方起依序具有成形爐32、退火(Annealing)爐33及冷卻區域34。再者，成形裝置31不限於執行溢流下拉法之裝置，亦可為執行其他的下拉法、浮子法等之裝置。

在成形爐32，藉由對具有楔狀的斷面形狀之成形體35供給熔融玻璃Gm，並且將自該成形體35的頂部朝兩側方溢出的熔融玻璃Gm在其下端部熔合並流下，使得從熔融玻璃Gm連續地成形板狀的玻璃薄膜G。此玻璃薄膜G係伴隨著朝下方移動黏度逐漸地變高，在到達了能夠維持形狀之充分的黏度後，在退火爐33進行應變去除，進一步在冷卻區域34冷卻至室溫附近。

在退火爐33與冷卻區域34，於從玻璃薄膜G的搬送路徑之上游側到下游側的複數個部位，配置有具備一對滾子的滾子群36，將玻璃薄膜G的寬度方向兩端部朝下方側導引。再者，在本實施形態，配設於成形裝置31的最上部之滾子係作為用來將玻璃薄膜G的寬度方向兩端部予以冷卻之冷卻滾子(邊緣滾子)發揮功能，並且亦作為將玻璃薄膜G朝下方拉出用的驅動滾子發揮功能。另外，成形裝置31內的剩餘的滾子係作為空轉滾子、及拉引滾子等，發揮將玻璃薄膜G朝下方導引之功能。

玻璃薄膜G係在藉由具有在成形裝置31的下方位置將玻璃薄膜G從下方支承的複數個滾子之姿勢變換滾子群37朝略水平方向彎曲後，維持著該狀態的情況下，輸送至進行切斷處理的皮帶式輸送機8。再者，亦可省略姿勢變換滾子群37。再者，作為皮帶式輸送機8的具體結構，能夠採用在第一實施形態作過說明之結構、在第二實施形態作過說明之結構等。

[第四實施形態] 　　如圖5所示，使用於第四實施形態的玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置，係具備有：捲繞有玻璃薄膜G之供給滾子41；搬送從供給滾子41不斷放出的玻璃薄膜G之搬送裝置42；在搬送裝置42的搬送路徑上，對玻璃薄膜G實施作為製造相關處理之印刷処理的印刷装置(未圖示)；及捲取已經實施了印刷處理的玻璃薄膜G之捲取滾子43。

與第一實施形態同樣地，在供給滾子41的附近設有用來捲取並回收保護薄片P的輔助捲取滾子44，在捲取滾子43的附近，設有用來供給保護薄片P的輔助供給滾子45。

搬送裝置42係具備有：由複數個滾子所構成的滾子群(未圖示)；及吸引滾子46。

吸引滾子46係在其上游側，吸附已經實施了印刷處理(例如網版印刷)的玻璃薄膜G之非印刷面。吸引滾子46係與供給滾子41及捲取滾子43一同間歇地旋轉。詳細而言，該等滾子41、43、46係在對印刷製程供給了預定長度的玻璃薄膜G後暫時停止，當印刷處理完成後再次旋轉，對印刷製程供給新的玻璃薄膜G。

在本實施形態，供給滾子41、捲取滾子43及吸引滾子46係同步成玻璃薄膜G之搬送速度形成一定。亦即，供給滾子41係一邊維持對與吸引滾子46之間的玻璃薄膜G賦予適宜的反向張力之軸旋轉扭矩(在吸引滾子46的上游側施加反向張力使玻璃薄膜G不會鬆弛之方向)，一邊與吸引滾子46的旋轉速度同步旋轉。又，捲取滾子43也係一邊維持對與吸引滾子46之間的玻璃薄膜G賦予適宜的張力之軸旋轉扭矩(在吸引滾子46的下游側施加正向張力使玻璃薄膜G不會鬆弛之方向)，一邊與吸引滾子46的旋轉速度同步旋轉。

如圖6所示，在吸引滾子46，設有用來吸附玻璃薄膜G之吸附部46a。吸附部46a係僅設在與玻璃薄膜G的寬度方向中央部相對應的位置。吸附部46a的寬度W4，理想為玻璃薄膜G的全寬度W1之1/2以下，更理想為1/10以上1/3以下。

若依據以上這樣的結構，在吸引滾子46上，僅玻璃薄膜G的寬度方向中央部被吸附部46a吸附。在吸引滾子46上，僅具有翹曲、肉厚差等變小的傾向之玻璃薄膜G的寬度方向中央部被吸附部46a吸附。換言之，具有翹曲、肉厚差等變大的傾向之吸引滾子46的寬度方向兩端部未被吸附部46a吸附，形成為僅單純地被捲掛於吸引滾子46上的狀態。亦即，在玻璃薄膜G的寬度方向兩端部與吸引滾子46之間，形成可能產生藉由滑動之相對移動的狀態。因此，即使以吸附部46a吸附玻璃薄膜G，也不會有玻璃薄膜G的形狀(特別是寬度方向兩端部的形狀)被大幅地矯正的情況。因此，能夠防止因玻璃薄膜G的形狀之強制矯正可能產生之破損、皺紋、撓曲等。藉此，因在進行印刷處理時不易產生印刷圖案之偏移，所以，能夠對玻璃薄膜G實施正確的印刷。

再者，本發明係不限於前述實施形態之結構，亦不限於前述作用效果者。本發明係在不超出本發明的技術思想範圍下可進行各種變形。

在前述實施形態，以在皮帶式輸送機上進行製造相關處理(切斷處理)的情況為例進行了說明，但，亦可在皮帶式輸送機的上游側、其下游側等進行製造相關處理。又，在前述實施形態，以在吸引滾子的上游側進行製造相關處理(印刷處理)的情況為例進行了說明，但，亦可在吸引滾子上、其下游側等進行製造相關處理。

在前述實施形態，以藉由捲取滾子捲取回收實施了製造相關處理的玻璃薄膜之情況為例進行了說明，但，亦可將實施了製造相關處理之玻璃薄膜在每預定長度予以切斷而作成板狀。在此情況，被切斷成板狀之玻璃薄膜係以縱向姿勢或橫向姿勢依序層積於托板上並進行捆包。

在前述實施形態，以僅吸附玻璃薄膜的寬度方向中央部的情況為例進行了說明，但，亦可僅吸附從玻璃薄膜的寬度方向中央部偏移之位置的一部分區域。在此情況，理想的吸附部之寬度是與前述實施形態相同。

1‧‧‧供給滾子2‧‧‧搬送裝置3‧‧‧切斷裝置4‧‧‧捲取滾子5‧‧‧輔助捲取滾子6‧‧‧第一滾子群7‧‧‧第二滾子群8‧‧‧皮帶式輸送機9‧‧‧局部加熱手段10‧‧‧冷卻手段11‧‧‧輔助供給滾子12‧‧‧地板13‧‧‧皮帶13a‧‧‧吸附部13r‧‧‧凹溝21‧‧‧中央皮帶式輸送機的皮帶21a‧‧‧吸附部22‧‧‧側皮帶式輸送機的皮帶22r‧‧‧凹溝23‧‧‧板狀體31‧‧‧成形裝置32‧‧‧成形爐33‧‧‧退火爐34‧‧‧冷卻領域35‧‧‧成形體36‧‧‧滾子群37‧‧‧姿勢變換滾子群41‧‧‧供給滾子42‧‧‧搬送裝置43‧‧‧捲取滾子44‧‧‧輔助捲取滾子45‧‧‧輔助供給滾子46‧‧‧吸引滾子46a‧‧‧吸附部G‧‧‧玻璃薄膜P‧‧‧保護薄片L‧‧‧雷射光束W‧‧‧水

圖1係顯示使用於第一實施形態之玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置之斷面圖。 　　圖2是圖1的皮帶式輸送機之Ａ-Ａ線斷面圖。 　　圖3係顯示使用於第二實施形態之玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置的皮帶式輸送機之斷面圖。 　　圖4係顯示使用於第三實施形態之玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置之斷面圖。 　　圖5係顯示使用於第四實施形態之玻璃薄膜之製造方法的玻璃薄膜之製造裝置的主要部分之側面圖。 　　圖6係圖5的吸引滾子之斜視圖。

G‧‧‧玻璃薄膜

46a‧‧‧吸附部

46‧‧‧吸引滾子

Claims (4)

1. 一種玻璃薄膜之製造方法，係包含一邊搬送玻璃薄膜，一邊藉由切斷裝置對前述玻璃薄膜實施切斷處理的製程之玻璃薄膜之製造方法，其特徵為：在前述切斷裝置的上游側，配置僅在與前述玻璃薄膜的寬度方向中央部對應的位置具有吸附部之皮帶式輸送機，一邊藉由前述吸附部僅吸附前述玻璃薄膜的寬度方向中央部，一邊藉由前述皮帶式輸送機之搬送，將前述玻璃薄膜供給至前述切斷裝置。
2. 如申請專利範圍第1項之玻璃薄膜之製造方法，其中，前述吸附部的寬度係為前述玻璃薄膜之全寬度的1/2以下。
3. 如申請專利範圍第1或2項之玻璃薄膜之製造方法，其中，前述皮帶式輸送機係在寬度方向上被分割成複數個，僅在被分割的寬度方向的中央部之中央皮帶式輸送機，設置前述吸附部。
4. 如申請專利範圍第1或2項之玻璃薄膜之製造方法，其中，在對自供給滾子不斷放出之前述玻璃薄膜，實施前述切斷處理後，藉由捲取滾子，捲取回收前述玻璃薄膜。

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