TW201634414A - 玻璃薄膜之割斷方法 - Google Patents

Abstract

一種玻璃薄膜之割斷方法，其係包含割斷分離步驟及分開步驟；該割斷分離步驟，係將正在搬運中的帶狀玻璃薄膜(G)藉由雷射切割法連續地割斷，而使帶狀玻璃薄膜(G)之非有效部(Ga)與有效部(Gb)分離；該分開步驟，係使分離後之非有效部(Ga)與有效部(Gb)於厚度方向分開；該玻璃薄膜之割斷方法之特徵為：在實施分開步驟的過程中，於有效部(Gb)之沿著寬度方向互相隔離的兩部位，分別施加具有厚度方向分量的第一外力(F1)，並且在位於前述兩部位之間的部位，施加具有與第一外力(F1)反向的厚度方向分量的第二外力(F2)，藉此實施使有效部(Gb)沿著寬度方向彎曲變形的變形賦予步驟。

Description

玻璃薄膜之割斷方法

本發明係有關於一種玻璃薄膜之割斷方法，其係包含將正在搬運中的帶狀玻璃薄膜之有效部與非有效部藉由雷射切割法割斷而分離的步驟、以及使分離後之有效部與非有效部於厚度方向分開的步驟。

如周知般，用於液晶顯示器、電漿顯示器、有機電致發光顯示器等的平面顯示器(Flat Panel Display,FPD)之平板玻璃，係伴隨著輕量化之需求高漲而朝薄板化推展，已開發、製造出薄板化至其厚度為300μm以下或200μm以下之玻璃薄膜。

作為該玻璃薄膜之製造步驟係包含：將作為玻璃薄膜之基礎之帶狀玻璃薄膜一邊以平放姿勢搬運，一邊將分別位於該玻璃薄膜之寬度方向兩端的非有效部、以及位於兩非有效部之間的有效部利用雷射切割法割斷而分離的步驟(以下記載為割斷分離步驟)。對於分離後之有效部與非有效部兩者，例如為了僅將有效部捲取為捲筒狀而成為玻璃捲，而實施：使非有效部從有效部之搬運路徑脫 離，令兩者於厚度方向分開的步驟(以下記載為分開步驟)。

然而，於實施割斷分離步驟後之有效部與非有效部之間，僅存在有寬度極為狹小的間隙，故在實施分開步驟的過程中，起因於有效部與非有效部之無法避免的接觸，可能發生如有效部斷裂般之問題。詳細言之，因與非有效部之接觸所發生的撞擊，使有效部之寬度方向端部所包含的微裂痕(microcrack)進展，導致有效部斷裂。因此，於專利文獻1係揭示有用以解決如此般之問題的方法。

於該文獻所揭示的方法中，係針對分離後之有效部與非有效部之各個，於該有效部與非有效部之寬度方向兩端部分別從下表面側以輥子支承，並使有效部與非有效部藉由本身重量沿著寬度方向彎曲變形。藉此，伴隨著有效部與非有效部之彎曲變形，兩者之間所形成的間隙之寬度擴大，而避免在實施分開步驟的過程中之有效部與非有效部的接觸。

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2012-31031號公報

然而，於專利文獻1所揭示之方法中，仍殘 存有如下述般之有待解決之問題。亦即，當有效部及非有效部的厚度較大時(例如厚度為200μm以上)、或是該等之寬度尺寸較小時，有效部及非有效部的彎曲剛性變大，該等變得難以藉由本身重量彎曲變形。因此，難以將兩者之間所形成的間隙之寬度，擴大為能夠充分避免在實施分開步驟的過程中兩者的接觸之寬度。

有鑑於前述情事所完成之本發明的技術課題在於，在將正在搬運中的帶狀玻璃薄膜之有效部與非有效部利用雷射切割法割斷而分離之後，於使有效部與非有效部厚度方向分開之際避免兩者的接觸。

為了解決前述課題而開發的本發明之玻璃薄膜之割斷方法，係包含割斷分離步驟及分開步驟；該割斷分離步驟，係將正在以平放姿勢搬運中的帶狀玻璃薄膜藉由雷射切割法沿著長度方向連續地割斷，而使分別位於帶狀玻璃薄膜之寬度方向兩端的非有效部與位於兩非有效部之間的有效部分離；該分開步驟，係使分離後的非有效部從分離後的有效部之搬運路徑脫離，而使非有效部與有效部於厚度方向分開；該玻璃薄膜之割斷方法之特徵為：在實施分開步驟的過程中，於有效部之沿著寬度方向互相隔離的兩部位，分別施加具有厚度方向分量的第一外力，並且在位於前述兩部位之間的部位，施加具有與第一外力反向的厚度方向分量的第二外力，藉此實施使有效部沿著寬 度方向彎曲變形的變形賦予步驟。於此，所謂「正在以平放姿勢搬運中」，係指帶狀玻璃薄膜以相對於水平面為平行的姿勢受到搬運的情況，或者帶狀玻璃薄膜以相對於水平面為45°以下的範圍內傾斜的姿勢受到搬運的情況。另外，「外力」並不包含重力。

依據如此之方法，在實施分開步驟的過程中之有效部，係伴隨著變形賦予步驟的實施，藉由具有彼此反向之厚度方向分量的第一外力及第二外力，沿著寬度方向強制地受到彎曲變形。藉此，能夠依有效部沿著寬度方向彎曲變形之量，來擴大有效部與非有效部之間所形成的間隙的寬度。其結果，能夠避免在實施分開步驟的過程中之有效部與非有效部的接觸。

於前述方法中，亦可藉由支承有效部之下表面的兩個支承輥子之各個來分別施加第一外力，並且藉由朝向有效部之上表面噴射的流體來施加第二外力。

如此，則藉由兩個支承輥子之各個所分別施加於有效部的力、以及由所噴射之流體施加於有效部的力，能夠以有效部之下表面沿著寬度方向凸起的方式，使有效部彎曲變形。

於前述方法中，於兩個支承輥子彼此之間配置中間輥子為佳；該中間輥子，係支承有效部之受流體噴射的部位之下表面，該中間輥子支承有效部的高度位置比兩個支承輥子支承有效部的高度位置位於更下方。

若朝向有效部之上表面噴射的流體的壓力變 得過大，可能使有效部之下表面呈過度突出的狀態而導致有效部從兩個支承輥子脫落。然而，若於兩個支承輥子彼此之間配置中間輥子，則無論由流體所施加於有效部之力變得多大，有效部之下表面的突出都能夠由中間輥子來限制。藉此，於使有效部彎曲變形時，毋須為了防止有效部的脫落而對於所噴射之流體的壓力進行精密調整。

於前述方法中，亦可令中間輥子為具有與兩個支承輥子共通的旋轉軸的輥子，該輥子的直徑比兩個支承輥子的直徑更小。

如此，則因中間輥子與兩個支承輥子具有共通的旋轉軸，故毋須將中間輥子的旋轉軸與兩個支承輥子的旋轉軸分別設置，而能夠避免旋轉軸的數目增加。因此，能夠抑制設備成本。

於前述方法中，兩個支承輥子及中間輥子為自由輥子為佳。

當兩個支承輥子與中間輥子三者之間的圓周速度發生差異時，有效部於支承輥子上或中間輥子上滑移，而有於該有效部發生擦傷之虞。然而，若兩個支承輥子及中間輥子皆為自由輥子，則兩個支承輥子及中間輥子皆藉由與有效部的摩擦，以與該有效部之移動速度相等的圓周速度進行旋轉。因此，能夠防止有效部之擦傷。

於前述方法中，以有效部之寬度方向中央為基準將兩個支承輥子對稱地配置，並且朝向有效部之寬度方向中央噴射流體為佳。

如此，則有效部以寬度方向中央為基準對稱地彎曲變形。藉此，能夠使有效部與一方之非有效部之間所形成的間隙的寬度、及有效部與另一方之非有效部之間所形成的間隙的寬度均等地擴大。另外，因朝向遠離有效部之寬度方向兩端部的寬度方向中央噴射流體，故能夠盡可能地防止寬度方向兩端部伴隨著流體的噴射而搖動之情事的發生。其結果，能夠更為確實地避免在實施分開步驟的過程中有效部與非有效部的接觸。

於前述方法中，藉由兩個支承輥子分別支承有效部之寬度方向兩端部為佳。

如此，則能夠將分別施加有第一外力的兩部位彼此之間的距離盡量加大。因此，使有效部變得容易彎曲變形。

於前述方法中，藉由分別噴射於有效部之上表面上的兩部位之流體來施加第一外力，並且藉由支承有效部之下表面的支承輥子來施加第二外力為佳。

如此，則藉由分別噴射於兩部位之流體所施加於有效部的力、及從支承輥子施加於有效部的力，能夠以有效部之上表面沿著寬度方向凸起的方式，使有效部彎曲變形。

於前述方法中，於寬度方向的隔著支承輥子的一方側及另一方側分別配置邊緣輥子為佳；該邊緣輥子，係將有效部之寬度方向兩端部分別從下表面側支承，該邊緣輥子支承有效部的高度位置比支承輥子支承有效部 的高度位置位於更下方。

若分別朝向有效部之上表面上的兩部位噴射的流體的壓力過大，則有效部會呈過度彎曲變形的狀態(曲率過大的狀態)，而有伴隨該彎曲變形所產生的應力導致有效部斷裂之虞。然而，若於寬度方向的隔著支承輥子的一方側及另一方側分別配置邊緣輥子，則無論由流體所施加於有效部之力變得多大，都能夠限制有效部之過度彎曲變形。藉此，於使有效部彎曲變形時，毋須為了防止有效部的斷裂而對於所噴射之流體的壓力進行精密調整。

於前述方法中，支承輥子及邊緣輥子為自由輥子為佳。

當支承輥子與邊緣輥子之間的圓周速度發生差異時，有效部於支承輥子上或邊緣輥子上滑移，而有於該有效部發生擦傷之虞。然而，若支承輥子及邊緣輥子皆為自由輥子，則支承輥子及邊緣輥子皆藉由與有效部的摩擦，以與該有效部之移動速度相等的圓周速度進行旋轉。因此，能夠防止有效部之擦傷。

於前述方法中，以有效部之寬度方向中央為基準將受流體噴射的前述兩部位對稱地配置，並且將有效部之寬度方向中央藉由支承輥子支承為佳。

如此，則有效部以寬度方向中央為基準對稱地彎曲變形。藉此，能夠使有效部與一方之非有效部之間所形成的間隙的寬度、及有效部與另一方之非有效部之間所形成的間隙的寬度均等地擴大。其結果，能夠更為確實 地避免在實施分開步驟的過程中有效部與非有效部的接觸。

於前述方法中，支承輥子為具有以有效部之寬度方向中央為基準之對稱形狀的輥子為佳，該輥子的直徑隨著朝寬度方向外側而逐漸縮小。

如此，因支承輥子之直徑隨著朝寬度方向外側逐漸縮小，故能夠將以寬度方向中央為基準對稱地彎曲變形的有效部配合該彎曲進行支承。因此，能夠抑制伴隨流體的噴射之有效部的搖動，而能夠更為確實地避免在實施分開步驟的過程中有效部與非有效部的接觸。

於前述方法中，藉由支承有效部之下表面的兩個支承輥子之各個來分別施加第一外力，並且藉由吸引有效部之下表面來施加第二外力為佳。

如此，則藉由兩個支承輥子之各個所施加於有效部的力、及由吸引施加於有效部的力，能夠以有效部之下表面沿著寬度方向凸起的方式，使有效部彎曲變形。

於前述方法中，於兩個支承輥子彼此之間配置中間輥子為佳；該中間輥子，係於外周部具有用以吸引有效部之下表面的吸引孔，該中間輥子支承有效部的高度位置比兩個支承輥子支承有效部的高度位置位於更下方。

若吸引有效部之下表面的吸引力過大，可能使有效部之下表面呈過度突出的狀態而導致有效部從兩個支承輥子脫落。然而，若於兩個支承輥子彼此之間配置於外周部具有吸引孔的中間輥子，則無論由吸引所施加於有 效部之力變得多大，有效部之下表面的突出都能夠由吸引該有效部的中間輥子本身來限制。藉此，於使有效部彎曲變形時，毋須為了防止有效部的脫落而對於所噴射之流體的壓力進行精密調整。

於前述方法中，中間輥子為具有與兩個支承輥子共通的旋轉軸的輥子為佳，該輥子的直徑比兩個支承輥子的直徑更小。

如此，則因中間輥子與兩個支承輥子具有共通的旋轉軸，故毋須將中間輥子的旋轉軸與兩個支承輥子的旋轉軸分別設置，而能夠避免旋轉軸的數目增加。因此，能夠抑制設備成本。

於前述方法中，兩個支承輥子及中間輥子為自由輥子為佳。

當兩個支承輥子與中間輥子三者之間的圓周速度發生差異時，有效部於支承輥子上或中間輥子上滑移，而有於該有效部發生擦傷之虞。然而，若兩個支承輥子及中間輥子皆為自由輥子，則兩個支承輥子及中間輥子皆藉由與有效部的摩擦，以與該有效部之移動速度相等的圓周速度進行旋轉。因此，能夠防止有效部之擦傷。

於前述方法中，以有效部之寬度方向中央為基準將兩個支承輥子對稱地配置，並且吸引有效部之寬度方向中央為佳。

如此，則有效部以寬度方向中央為基準對稱地彎曲變形。藉此，能夠使有效部與一方之非有效部之間 所形成的間隙的寬度、及有效部與另一方之非有效部之間所形成的間隙的寬度均等地擴大。其結果，能夠更為確實地避免在實施分開步驟的過程中有效部與非有效部的接觸。

於前述方法中，藉由兩個支承輥子分別支承有效部之寬度方向兩端部為佳。

如此，則能夠使分別施加有第一外力的兩部位彼此之間的距離盡量加大。因此，使有效部變得容易彎曲變形。

於前述方法中，藉由分別吸引有效部之下表面上的兩部位來施加第一外力，並且藉由支承有效部之下表面的支承輥子來施加第二外力為佳。

如此，則藉由分別吸引兩部位所施加於有效部的力、及從支承輥子施加於有效部的力，能夠以有效部之上表面沿著寬度方向凸起的方式，使有效部彎曲變形。

於前述方法中，前述帶狀玻璃薄膜的厚度可在200μm~300μm的範圍內。

若帶狀玻璃薄膜的厚度為200μm以上，則經過割斷分離步驟之有效部的沿寬度方向之彎曲剛性會變大，有效部變得難以藉本身重量彎曲變形。然而，依據本發明，即使在帶狀玻璃薄膜的厚度為200μm以上時，亦能夠藉由第一外力與第二外力使經過割斷分離步驟之有效部沿著寬度方向強制地彎曲變形。因此，帶狀玻璃薄膜具有前述厚度時適用本發明為佳。

如上述般依據本發明，則將正在搬運中的帶狀玻璃薄膜之有效部與非有效部利用雷射切割法割斷而分離之後，能夠於使有效部與非有效部厚度方向分開之際避免兩者的接觸。

1‧‧‧支承輥子

2‧‧‧中間輥子

4‧‧‧旋轉軸

7‧‧‧邊緣輥子

8‧‧‧旋轉軸

G‧‧‧帶狀玻璃薄膜

Ga‧‧‧非有效部

Gb‧‧‧有效部

Gba‧‧‧上表面

Gbb‧‧‧下表面

Gbc‧‧‧寬度方向中央

Gbd‧‧‧端部

A‧‧‧空氣

F1‧‧‧第一外力

F2‧‧‧第二外力

[第1圖]係表示本發明之第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的俯視圖。

[第2圖]係表示本發明之第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的縱剖正視圖。

[第3圖]係表示本發明之第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的正視圖。

[第4圖]係表示本發明之第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的縱剖正視圖。

[第5圖]係表示本發明之第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的正視圖。

[第6圖]係表示本發明之第三實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的縱剖正視圖。

[第7圖]係表示本發明之第四實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的縱剖正視圖。

以下，針對本發明之實施方式之玻璃薄膜之割斷方法參照所附圖式進行說明。又，於以下所說明之各實施方式，雖以厚度為200μm~300μm之帶狀玻璃薄膜為割斷的對象，然而不限於此，以厚度未達200μm之帶狀玻璃薄膜為割斷的對象亦可。

<第一實施方式>

首先，針對本發明之第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法進行說明。

如第1圖所示，本發明之第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，係包含割斷分離步驟及分開步驟；該割斷分離步驟，係將正在以平放姿勢搬運中的帶狀玻璃薄膜G藉由雷射切割法沿著長度方向連續地割斷，而使分別位於帶狀玻璃薄膜G之寬度方向兩端的非有效部Ga與位於兩非有效部Ga之間的有效部Gb分離；該分開步驟，係使分離後的非有效部Ga從分離後的有效部Gb之搬運路徑脫離，而使非有效部Ga與有效部Gb於厚度方向(上下)分開。

另外，如第2圖所示，該玻璃薄膜之割斷方法在實施分開步驟的過程中，於沿著有效部Gb之寬度方向互相隔離的兩部位，分別施加具有厚度方向分量的第一外力F1，並且在位於前述兩部位之間的部位，施加具有與第一外力F1反向的厚度方向分量的第二外力F2，藉此 實施使有效部Gb沿著寬度方向彎曲變形的變形賦予步驟。藉由實施該變形賦予步驟，使於有效部Gb與非有效部Ga之間所形成的間隙之寬度擴大，而避免在實施分開步驟的過程中之有效部Gb與非有效部Ga的接觸。變形賦予步驟(分開步驟)後的有效部Gb，係捲取為捲筒狀而成為玻璃捲。

於割斷分離步驟中作為割斷的對象之帶狀玻璃薄膜G，係從將該帶狀玻璃薄膜G捲取為捲筒狀之玻璃捲連續地送出者。並且，將該送出之帶狀玻璃薄膜G，利用搬運手段(例如帶式輸送機(belt conveyor)等)朝於第1圖以箭頭T所示方向水平地搬運。另外，帶狀玻璃薄膜G的厚度在200μm~300μm的範圍內。

於割斷分離步驟，係沿著作為帶狀玻璃薄膜G之有效部Gb與非有效部Ga的界限之割斷預定線X，連續地形成加熱區域H及冷卻區域C；該加熱區域H，係藉由雷射的照射而局部地加熱；該冷卻區域C，係藉由冷媒(例如霧狀的水等)的噴射而局部地冷卻。藉此，利用由兩區域之溫差所產生之熱應力將帶狀玻璃薄膜G連續地割斷，並使該帶狀玻璃薄膜G之有效部Gb與非有效部Ga分離。又，分離後之有效部Gb與非有效部Ga兩者，係以並排的狀態水平地搬運。

在此，於本實施方式中，雖以從玻璃捲連續地送出之帶狀玻璃薄膜G作為割斷的對象，然不限於此。例如，作為變形例，以藉由下拉法連續地成形之帶狀玻璃 薄膜G作為割斷的對象亦可。另外，於本實施方式中，雖係為將水平地搬運的帶狀玻璃薄膜G割斷之態樣，然作為變形例，為將在相對於水平面為45°以下的範圍內傾斜之傾斜方向搬運的帶狀玻璃薄膜G割斷之態樣亦可。然而，相對於水平面之傾斜係越小越好，較佳係相對於水平面為20°以下，更佳係10°以下，又更佳係5°以下。

於分開步驟中，在分離後以並排的狀態水平地搬運之有效部Gb與非有效部Ga之中，將有效部Gb繼續水平地搬運，並且將非有效部Ga從有效部Gb之搬運路徑朝下方拉出而脫離。藉此，使有效部Gb與非有效部Ga於厚度方向分開。

在此，分離後之使有效部Gb與非有效部Ga於厚度方向分開之態樣，係不限於如本實施方式般之態樣。例如，作為變形例，於一邊在相對於水平面傾斜之傾斜方向搬運，一邊將帶狀玻璃薄膜G割斷並使有效部Gb與非有效部Ga分離時，藉由如以下之態樣實施分開步驟亦可。亦即，將有效部Gb繼續於傾斜方向搬運，並且將非有效部Ga從有效部Gb之搬運路徑水平地拉出而脫離，使有效部Gb與非有效部Ga於厚度方向分開亦可。

對於實施變形賦予步驟之際的有效部Gb，係藉由支承該有效部Gb之下表面Gbb的兩個支承輥子1之各個來分別施加第一外力F1，並且藉由朝向有效部Gb之上表面Gba噴射的作為流體之空氣A來施加第二外力F2。藉此，於有效部Gb之搬運路徑上的兩個支承輥子1 附近，使有效部Gb不倚靠本身重量而沿著寬度方向強制地彎曲變形。並且，在有效部Gb彎曲變形的期間，伴隨前述分開步驟的實施使非有效部Ga從有效部Gb之搬運路徑脫離。

於兩個支承輥子1彼此之間，係配置有中間輥子2；該中間輥子2，係支承有效部Gb之受空氣A噴射的部位之下表面Gbb，該中間輥子2支承有效部Gb的高度位置比兩個支承輥子1支承有效部Gb的高度位置位於更下方。另外，於實施變形賦予步驟之際，從有效部Gb之搬運路徑脫離之前的非有效部Ga，係藉由輥子3進行支承。

兩個支承輥子1及中間輥子2，係配置於從割斷分離步驟中實施雷射切割法的位置(加熱區域H及冷卻區域C形成於帶狀玻璃薄膜G的位置)，沿著有效部Gb之搬運路徑隔離於下游側的位置。又，從實施雷射切割法的位置起迄兩個支承輥子1及中間輥子2的距離，係以伴隨有效部Gb之彎曲變形而作用於該有效部Gb的應力，不至於傳播至實施雷射切割法的位置之距離為佳。

兩個支承輥子1，係以有效部Gb之寬度方向中央Gbc為基準對稱地配置，且分別支承有效部Gb之寬度方向一方側、及另一方側的端部Gbd。藉此，從兩個支承輥子1之各個分別於有效部Gb施加第一外力F1(支承有效部Gb的力)。中間輥子2為沿有效部Gb之寬度方向的長型輥子，且為直徑比兩個支承輥子1更小的輥子。兩 個支承輥子1及中間輥子2兩者，係皆為自由輥子，且藉由與有效部Gb之摩擦來旋轉。進而，兩個支承輥子1及中間輥子2，係具有共通的旋轉軸4。

空氣A，係從空氣噴射器5朝有效部Gb之寬度方向中央Gbc噴射。藉此，由空氣A於有效部Gb施加第二外力F2(將有效部Gb朝下方推壓的力)。空氣噴射器5，係於有效部Gb之寬度方向中央Gbc的上方僅配置一台。又，於本實施方式中，藉由第二外力F2及前述第一外力F1，使有效部Gb以寬度方向中央Gbc為基準對稱地彎曲變形。

輥子3係相對於支承輥子1配置在寬度方向外側，並且於旋轉軸6之周圍旋轉的自由輥子。旋轉軸6，係配置於與兩個支承輥子1及中間輥子2之旋轉軸4相同的高度位置。另外，輥子3之直徑係比支承輥子1之直徑更小，且該輥子3之直徑為與中間輥子2之直徑相同之大小。藉此，在藉由支承輥子1所支承的有效部Gb(端部Gbd)與藉由輥子3所支承的非有效部Ga之間，因會產生起因於兩輥子1、3間之直徑大小的差異之高低差，故更容易避免有效部Gb(端部Gbd)與非有效部Ga的接觸。

又，如第3圖所示，俯視兩個支承輥子1及中間輥子2時，連結中間輥子2之頂部(與有效部Gb之下表面Gbb接觸的部位)的中點、與支承輥子1之與有效部Gb之下表面Gbb的接觸點之兩點的直線，相對於水平線傾斜之角度θ1的大小，為下述般之範圍內為佳。亦即， 若角度θ1過小，則有效部Gb無法沿寬度方向充分地彎曲變形，且有有效部Gb與非有效部Ga之間所形成的間隙之寬度無法充分擴大之虞。另一方面，若角度θ1過大，則沿著寬度方向彎曲變形的有效部Gb之曲率變大，提高了伴隨著有效部Gb之彎曲變形而作用於該有效部Gb的應力傳播至實施雷射切割法的部位之疑慮。因此，角度θ1係較佳為0.5°~5°，更佳為0.7°~3°，最佳為1°~2°。

在此，於本實施方式中，雖係藉由將作為流體之空氣A朝向有效部Gb之上表面Gba噴射而於有效部Gb施加第二外力F2，然不限於此。作為變形例，藉由噴射其他氣體或液體而於有效部Gb施加第二外力F2亦可。另外，空氣A所噴射的部位，係並非必定為有效部Gb之寬度方向中央Gbc，只要為有效部Gb之位於兩個支承輥子1彼此之間的部位即可。因此，作為變形例，朝偏離有效部Gb之寬度方向中央Gbc的部位噴射空氣A亦可。進而，作為變形例，可複數配置空氣噴射器5，亦可藉由複數個空氣噴射器5朝向有效部Gb之複數部位(位於兩個支承輥子1彼此之間的複數部位)噴射空氣A。此時，於有效部Gb施加複數個第二外力F2。

另外，於本實施方式中，雖中間輥子2係沿寬度方向的長型輥子，然不限於此。中間輥子2，係只要能夠支承有效部Gb之受空氣A所噴射的部位之下表面Gbb即可。因此，作為變形例，使中間輥子2為沿寬度方向的短型輥子，僅支承受空氣A所噴射的部位之下表面 Gbb亦可。進而，兩個支承輥子1及中間輥子2係並非必定為自由輥子，作為變形例，使用驅動輥子亦可。此時，為防止有效部Gb之下表面Gbb發生擦傷，較佳為使兩個支承輥子1與中間輥子2之間的圓周速度為相同速度。另外，兩個支承輥子1之各個所分別支承的部位，可不為有效部Gb之寬度方向的一方側及另一方側的端部Gbd，作為變形例，為從端部Gbd朝寬度方向內側偏離的部位亦可。

另外，於本實施方式中，係為了使避免有效部Gb(端部Gbd)與非有效部Ga的接觸變得更為容易，令有效部Gb(端部Gbd)與非有效部Ga之間產生高低差。並且，為此目的，將兩個支承輥子1及中間輥子2之旋轉軸4，與輥子3之旋轉軸6配置於相同的高度位置，並使輥子3之直徑比支承輥子1之直徑更小，且與中間輥子2之直徑為相同之大小。然而不限於此，欲使有效部Gb(端部Gbd)與非有效部Ga之間產生高低差，只要令輥子3支承非有效部Ga的高度位置，相對於支承輥子1支承有效部Gb(端部Gbd)的高度位置為更低即可。因此，例如與本實施方式不同，使輥子3之直徑比中間輥子2之直徑又更小亦可。另外，例如使支承輥子1之直徑與輥子3之直徑為相同大小，以輥子3之旋轉軸6位於比兩個支承輥子1及中間輥子2之旋轉軸4更下方的方式，配置兩輥子1、3亦可。

依據該第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方 法，在實施分開步驟的過程中之有效部Gb係伴隨著變形賦予步驟的實施，藉由具有彼此反向的厚度方向分量之第一外力F1與第二外力F2，沿寬度方向強制地彎曲變形。藉此，能夠依有效部Gb沿著寬度方向彎曲變形之量，來擴大有效部Gb與非有效部Ga之間所形成的間隙的寬度。其結果，能夠避免在實施分開步驟的過程中之有效部Gb與非有效部Ga的接觸。

<第二實施方式>

以下，針對本發明之第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法進行說明。又，於該第二實施方式之說明中，針對前述第一實施方式已說明之要素，於第二實施方式之說明所參照之圖式賦予相同符號而省略重複之說明，僅說明與第一實施方式之不同點。

如第4圖所示，本發明之第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，與前述第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的不同點，係下述三點。(1)於變形賦予步驟中，藉由分別於有效部Gb之上表面Gba上的兩部位噴射空氣A來施加第一外力F1，並且藉由支承有效部Gb之下表面Gbb的支承輥子1來施加第二外力F2之點。(2)支承輥子1之形狀及配置不同之點。(3)在寬度方向的隔著支承輥子1的一方側及另一方側分別配置邊緣輥子7之點；該邊緣輥子7，係將有效部Gb之寬度方向的一方側及另一方側的端部Gbd分別從下表面Gbb側支承。

空氣A所分別噴射的兩部位，係以有效部Gb之寬度方向中央Gbc為基準的對稱位置。並且，藉由噴射於該兩部位的空氣A之各個而分別於有效部Gb施加第一外力F1(將有效部Gb朝下方推壓之力)。

支承輥子1為具有以有效部Gb之寬度方向中央Gbc為基準之對稱形狀的輥子，該輥子的直徑朝寬度方向外側逐漸縮小。該支承輥子1，係以該支承輥子1直徑最大的中央部一部位來支承有效部Gb之寬度方向中央Gbc。藉此，從支承輥子1(支承輥子1之中央部)於有效部Gb施加第二外力F2(支承有效部Gb的力)。又，支承輥子1係自由輥子，並藉由與有效部Gb之摩擦進行旋轉。

邊緣輥子7，係支承有效部Gb的高度位置比支承輥子1支承有效部Gb的高度位置更下方。另外，邊緣輥子7之直徑係比支承輥子1之中央部之直徑更小，並且與輥子3之直徑為相同大小。進而，邊緣輥子7係與支承輥子1同樣為自由輥子，並藉由與有效部Gb之摩擦進行旋轉。又，支承輥子1與邊緣輥子7，係具有共通的旋轉軸8。該旋轉軸8，係配置於與輥子3之旋轉軸為相同的高度位置。

又，如第5圖所示，俯視支承輥子1及兩個邊緣輥子7時，連結支承輥子1之中央部之與有效部Gb之下表面Gbb的接觸點、與邊緣輥子7之與有效部Gb之下表面Gbb的接觸點之兩點的直線，相對於水平線傾斜之角度θ2的大小，為下述般之範圍內為佳。亦即，根據與 於前述第一實施方式之說明中針對角度θ1之較佳大小所示之理由為相同的理由，較佳為0.5°~5°，更佳為0.7°~3°，最佳為1°~2°。

在此，於本實施方式中，雖係支承輥子1以該支承輥子1之中央部支承有效部Gb之寬度方向中央Gbc的態樣，然不限於此。作為變形例，為於支承輥子1之從中央部偏離的位置設置直徑最大的部位，且支承輥子1支承從有效部Gb之寬度方向中央Gbc偏離的部位之態樣亦可。另外，作為變形例，支承輥子1支承有效部Gb之下表面Gbb的部位為複數部位亦可。此時，於有效部Gb施加有複數個第二外力F2。

藉由該第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，亦能夠獲得與前述第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法相同的作用、效果。

<第三實施方式>

以下，針對本發明之第三實施方式之玻璃薄膜之割斷方法進行說明。又，於該第三實施方式之說明中，針對前述第一實施方式已說明之要素，於第三實施方式之說明所參照之圖式賦予相同符號而省略重複之說明，僅說明與第一實施方式之不同點。

如第6圖所示，本發明之第三實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，與前述第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的不同點，係下述兩點。(1)於變形賦予步驟中， 藉由吸引有效部Gb之下表面Gbb來施加第二外力F2之點。(2)中間輥子2於外周部(第6圖中施以交叉影線之部位)具有用以吸引有效部Gb之下表面Gbb的吸引孔之點。

中間輥子2，係於該中間輥子2之外周部形成有多數吸引孔，且各吸引孔與用於產生負壓之負壓產生手段(例如真空泵等)連接。並且，伴隨著負壓產生手段的運作，多數吸引孔吸引有效部Gb之下表面Gbb。藉由該吸引，於有效部Gb施加第二外力F2(將有效部Gb朝下方吸引的力)。又，多數吸引孔配置於中間輥子2之中央部一部位，且多數吸引孔係吸引有效部Gb之寬度方向中央Gbc。

在此，於本實施方式中，雖為於中間輥子2之外周部形成的多數吸引孔吸引有效部Gb之寬度方向中央Gbc的態樣，然不限於此。作為變形例，為將多數吸引孔配置於從中間輥子2之中央部偏離的部位，且多數吸引孔吸引從有效部Gb之寬度方向中央Gbc的部位之態樣亦可。另外，作為變形例，為將多數吸引孔沿著有效部Gb之寬度方向配置於中間輥子2之複數部位，並吸引有效部Gb之複數部位的態樣亦可。此時，於有效部Gb施加有複數個第二外力F2。

藉由該第三實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，亦能夠獲得與前述第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方法相同的作用、效果。

<第四實施方式>

以下，針對本發明之第四實施方式之玻璃薄膜之割斷方法進行說明。因該第四實施方式，係為與前述第二實施方式類似的態樣，故於該第四實施方式之說明中，針對前述第二實施方式已說明之要素，於第四實施方式之說明所參照之圖式賦予相同符號而省略重複之說明，僅說明與第二實施方式之不同點。

如第7圖所示，本發明之第四實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，與前述第二實施方式之玻璃薄膜之割斷方法的不同點，係下述兩點。(1)藉由分別吸引有效部Gb之下表面Gbb上的兩部位來施加第一外力F1之點。(2)支承輥子1於外周部(第7圖中施以交叉影線之部位)具有用以吸引有效部Gb之下表面Gbb的吸引孔之點。

支承輥子1，係於該支承輥子1之外周部的兩部位分別形成有多數吸引孔，且各吸引孔與用於產生負壓之負壓產生手段(例如真空泵等)連接。並且，伴隨著負壓產生手段的運作，多數吸引孔吸引有效部Gb之下表面Gbb。藉由該吸引，分別於有效部Gb的兩部位施加第一外力F1(將有效部Gb朝下方吸引的力)。又，於支承輥子1形成有多數吸引孔的兩部位，係以有效部Gb之寬度方向中央Gbc為基準對稱地配置。

藉由該第四實施方式之玻璃薄膜之割斷方法，亦能夠獲得與前述第一實施方式之玻璃薄膜之割斷方 法相同的作用、效果。

在此，本發明之玻璃薄膜之割斷方法，並非受前述各實施方式所說明之態樣限定者。例如，作為前述第一及第三實施方式之變形例，中間輥子為具有與兩個支承輥子相同的直徑的輥子，且該輥子配置於比兩個支承輥子更下方。

1‧‧‧支承輥子

2‧‧‧中間輥子

3‧‧‧輥子

4‧‧‧旋轉軸

5‧‧‧空氣噴射器

6‧‧‧旋轉軸

A‧‧‧空氣

F1‧‧‧第一外力

F2‧‧‧第二外力

Ga‧‧‧非有效部

Gb‧‧‧有效部

Gba‧‧‧上表面

Gbb‧‧‧下表面

Gbd‧‧‧端部

Claims (20)

1. 一種玻璃薄膜之割斷方法，其係包含割斷分離步驟及分開步驟；該割斷分離步驟，係將正在以平放姿勢搬運中的帶狀玻璃薄膜藉由雷射切割法沿著長度方向連續地割斷，而使分別位於前述帶狀玻璃薄膜之寬度方向兩端的非有效部與位於兩非有效部之間的有效部分離；該分開步驟，係使分離後的前述非有效部從分離後的前述有效部之搬運路徑脫離，而使前述非有效部與前述有效部於厚度方向分開；該玻璃薄膜之割斷方法之特徵為：在實施前述分開步驟的過程中，於前述有效部之沿著寬度方向互相隔離的兩部位，分別施加具有厚度方向分量的第一外力，並且在位於前述兩部位之間的部位，施加具有與前述第一外力反向的厚度方向分量的第二外力，藉此實施使前述有效部沿著寬度方向彎曲變形的變形賦予步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由支承前述有效部之下表面的兩個支承輥子之各個來分別施加前述第一外力，並且藉由朝向前述有效部之上表面噴射的流體來施加前述第二外力。
3. 如申請專利範圍第2項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，於前述兩個支承輥子彼此之間配置中間輥子；該中間輥子，係支承前述有效部之受前述流體噴射的部位之下表 面，該中間輥子支承前述有效部的高度位置比前述兩個支承輥子支承前述有效部的高度位置位於更下方。
4. 如申請專利範圍第3項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述中間輥子為具有與前述兩個支承輥子共通的旋轉軸的輥子，該輥子的直徑比該兩個支承輥子的直徑更小。
5. 如申請專利範圍第3項或第4項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述兩個支承輥子及前述中間輥子為自由輥子。
6. 如申請專利範圍第2項至第5項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，以前述有效部之寬度方向中央為基準將前述兩個支承輥子對稱地配置，並且朝向前述有效部之寬度方向中央噴射前述流體。
7. 如申請專利範圍第2項至第6項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由前述兩個支承輥子分別支承前述有效部之寬度方向兩端部。
8. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由分別噴射於前述有效部之上表面上的兩部位之流體來施加前述第一外力，並且藉由支承前述有效部之下表面的支承輥子來施加前述第二外力。
9. 如申請專利範圍第8項所述之玻璃薄膜之割斷方 法，其中，於寬度方向的隔著前述支承輥子的一方側及另一方側分別配置邊緣輥子；該邊緣輥子，係將前述有效部之寬度方向兩端部分別從下表面側支承，該邊緣輥子支承前述有效部的高度位置比前述支承輥子支承前述有效部的高度位置位於更下方。
10. 如申請專利範圍第9項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述支承輥子及前述邊緣輥子為自由輥子。
11. 如申請專利範圍第8項至第10項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，以前述有效部之寬度方向中央為基準將受前述流體噴射的前述兩部位對稱地配置，並且將前述有效部之寬度方向中央藉由前述支承輥子支承。
12. 如申請專利範圍第11項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述支承輥子為具有以前述有效部之寬度方向中央為基準之對稱形狀的輥子，該輥子的直徑隨著朝寬度方向外側而逐漸縮小。
13. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由支承前述有效部之下表面的兩個支承輥子之各個來分別施加前述第一外力，並且藉由吸引前述有效部之下表面來施加前述第二外力。
14. 如申請專利範圍第13項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，於前述兩個支承輥子彼此之間配置中間輥子；該中間輥子，係於外周部具有用以吸引前述有效部之下表面的吸引孔，該中間輥子支承前述有效部的高度位置比前述兩個支承輥子支承前述有效部的高度位置位於更下方。
15. 如申請專利範圍第14項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述中間輥子為具有與前述兩個支承輥子共通的旋轉軸的輥子，該輥子的直徑比該兩個支承輥子的直徑更小。
16. 如申請專利範圍第14項或第15項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述兩個支承輥子及前述中間輥子為自由輥子。
17. 如申請專利範圍第13項至第16項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，以前述有效部之寬度方向中央為基準將前述兩個支承輥子對稱地配置，並且吸引前述有效部之寬度方向中央。
18. 如申請專利範圍第13項至第17項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由前述兩個支承輥子分別支承前述有效部之寬度方向兩端部。
19. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，藉由分別吸引前述有效部之下表面上的兩部位來施加 前述第一外力，並且藉由支承前述有效部之下表面的支承輥子來施加前述第二外力。
20. 如申請專利範圍第1項至第19項中任一項所述之玻璃薄膜之割斷方法，其中，前述帶狀玻璃薄膜的厚度在200μm~300μm的範圍內。