[go: up one dir, main page]

TWI793571B - 模組化大型載具 - Google Patents

模組化大型載具 Download PDF

Info

Publication number
TWI793571B
TWI793571B TW110113576A TW110113576A TWI793571B TW I793571 B TWI793571 B TW I793571B TW 110113576 A TW110113576 A TW 110113576A TW 110113576 A TW110113576 A TW 110113576A TW I793571 B TWI793571 B TW I793571B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
body module
scale
modularized
carrier
present
Prior art date
Application number
TW110113576A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202213591A (zh
Inventor
邱銘乾
沈恩年
潘詠晉
鍾承恩
李柏廷
劉維虔
黃姿維
Original Assignee
家登精密工業股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 家登精密工業股份有限公司 filed Critical 家登精密工業股份有限公司
Publication of TW202213591A publication Critical patent/TW202213591A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI793571B publication Critical patent/TWI793571B/zh

Links

Images

Classifications

    • H10P72/127—
    • H10P72/1922—
    • H10P72/14—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D21/00—Nestable, stackable or joinable containers; Containers of variable capacity
    • B65D21/02—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together
    • B65D21/0201—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together stackable or joined together side-by-side
    • B65D21/0204—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together stackable or joined together side-by-side and joined together by interconnecting formations forming part of the container, e.g. dove-tail, snap connections, hook elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D21/00—Nestable, stackable or joinable containers; Containers of variable capacity
    • B65D21/02—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together
    • B65D21/0209—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together stackable or joined together one-upon-the-other in the upright or upside-down position
    • B65D21/0213—Containers presenting a continuous stacking profile along the upper or lower edge of at least two opposite side walls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D21/00—Nestable, stackable or joinable containers; Containers of variable capacity
    • B65D21/02—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together
    • B65D21/0209—Containers specially shaped, or provided with fittings or attachments, to facilitate nesting, stacking, or joining together stackable or joined together one-upon-the-other in the upright or upside-down position
    • B65D21/0228—Containers joined together by screw-, bayonet-, snap-fit or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D21/00—Nestable, stackable or joinable containers; Containers of variable capacity
    • B65D21/08—Containers of variable capacity
    • B65D21/083—Containers of variable capacity by means of additional elements, e.g. modular
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/02—Internal fittings
    • B65D25/10—Devices to locate articles in containers
    • B65D25/107—Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D47/00—Closures with filling and discharging, or with discharging, devices
    • B65D47/04—Closures with discharging devices other than pumps
    • B65D47/32—Closures with discharging devices other than pumps with means for venting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/18—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • H10P72/0402—
    • H10P72/18—
    • H10P72/1914—
    • H10P72/1916—
    • H10P72/1921—
    • H10P72/1926—
    • H10P72/3302—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D2205/00—Venting means
    • B65D2205/02—Venting holes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0235—Containers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Fittings On The Vehicle Exterior For Carrying Loads, And Devices For Holding Or Mounting Articles (AREA)
  • Rigid Containers With Two Or More Constituent Elements (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Connector Housings Or Holding Contact Members (AREA)
  • External Artificial Organs (AREA)
  • Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)

Abstract

一種模組化大型載具，包含：至少二本體模組、至少一密封構件及一背板，各本體模組的周緣彼此連接且沿一深度方向排列，密封構件環繞設置於各本體模組的連接處，背板設置於最尾端的本體模組的後側。本發明的模組化大型載具克服既有的因射出成形機台而導致的載具尺寸限制，可在深度方向上繼續擴展而加大載體的氣密儲存空間。

Description

模組化大型載具
本發明係關於一種載具，更特別的是關於一種模組化大型載具。
市面上現有的大型載具(例如12吋晶圓承載盒)的材料為塑膠射出成形。然而射出成形機台有尺寸限制，無法射出一體式介於500-800mm的大型載具。換句話說，載具的尺寸受到製造層面的限制，無法更進一步加大容量。
另一方面，若載具的尺寸加大，其本身的重量加上載體重量往往動輒超過100kg，載具的底座容易因支撐性、強度不足，易造成底座平面變形彎曲，需要更換。這些原因亦導致了大型載具的尺寸受限。
因此，為解決習知大型載具的種種問題，本發明提出一種模組化大型載具。
為達上述目的及其他目的，本發明提出一種模組化大型載具，其包含：至少二本體模組，各該本體模組的周緣彼此連接且沿一深度方向排列；至少一密封構件，環繞設置於各該本體模組的連接處；以及一背板，設置於最尾端的該本體模組的後側。
於本發明之一實施例中，該背板與該本體模組一體式連結。
於本發明之一實施例中，該背板為具透光性、部分透光性或完全不透光性三者其中之一。
於本發明之一實施例中，該等本體模組為螺絲鎖扣或彼此卡合。
於本發明之一實施例中，該等本體模組的二外側分別具有沿該深度方向延伸的一運送槽道。
於本發明之一實施例中，該運送槽道上設有一定位凹口部。
於本發明之一實施例中，該等本體模組的二外側分別具一垂直扣槽，該垂直扣槽沿垂直於該深度方向的一高度方向延伸。
於本發明之一實施例中，更包括：一外底板，具有一朝外面及一朝內面，該朝內面朝向該等本體模組的底面；複數補強槽件，可拆卸地設置於該朝外面，該等補強槽件各自具有一滑槽；以及複數強化件，呈長條狀，該等強化件彼此相隔一定距離地排列於該外底板及該本體模組的底面之間，且該等強化件的底部及頂部分別頂抵於該外底板及該本體模組的底面。
於本發明之一實施例中，該強化件、該外底板及該本體模組的底面形成一H形結構。
於本發明之一實施例中，該補強槽件為金屬材料。
於本發明之一實施例中，該強化件為金屬材料或碳纖維複合材料。
綜上所述，本發明的模組化大型載具可克服既有的因射出成形機台而導致的載具尺寸限制，可在深度方向上繼續擴展而加大載體的氣密儲存空間。並且進一步加強模組化大型載具的底座的強度，避免因長時間承載而彎 曲、變形，節省零件更換時間、有效降低成本，並延長模組化大型載具整體壽命。
100:模組化大型載具
1:本體模組
11:第一本體模組
111:底面
12:第二本體模組
121:底面
2:密封構件
3:背板
31:透光區
4:外底板
41:朝外面
42:朝內面
5:補強槽件
51:滑槽
6:強化件
61:底部
62:頂部
7:運送槽道
71:凸肋
711:定位凹口部
8:垂直扣槽
81:凸肋
A-A:線段
B-B:線段
d:深度方向
h:高度方向
圖1為根據本發明實施例之模組化大型載具之組裝示意圖。
圖2為圖1沿A-A線段的縱剖面示意圖。
圖3為圖1沿B-B線段的橫剖面示意圖。
圖4係為根據本發明實施例之模組化大型載具之外觀示意圖。
圖5係為根據本發明實施例之模組化大型載具之外底板的朝內面之立體示意圖。
圖6係為根據本發明實施例之模組化大型載具之外底板的朝外面之立體示意圖。
圖7係為根據本發明實施例之模組化大型載具之外底板之剖面示意圖。
為充分瞭解本發明，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明。本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的目的、特徵及功效。須注意的是，本發明可透過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的精神下進行各種修飾與變更。以下的實施方式將進一步詳細說明 本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的申請專利範圍。說明如後：如圖1至圖3所示，本發明實施例之模組化大型載具100，其包含：至少二本體模組1、至少一密封構件2及一背板3。
在本實施例中，至少二本體模組1包括第一本體模組11及第二本體模組12，第一本體模組11及第二本體模組12的周緣彼此固定地連接且沿一深度方向d排列。連接方式可以為螺絲鎖扣或透過設置卡合部而彼此卡合。在其他實施例中，模組化大型載具100可以具有更多的本體模組1，例如第三本體模組、第四本體模組而沿深度方向d繼續組合，以此方式創造大型載具的氣密儲存空間。
密封構件2環繞設置於各本體模組1(第一本體模組11及第二本體模組12)的連接處，以氣密密封第一本體模組11及第二本體模組12的結合處。當具有更多的本體模組1，例如第三本體模組、第四本體模組，密封構件2亦設置於各本體模組1的鄰接處。密封構件2例如為氣密膠條，然而本發明不限於此。
背板3設置於最尾端的本體模組1的後側。在本實施例中，最尾端的本體模組1為第二本體模組12，故背板3設置於第二本體模組12。在本實施例中，背板3與第二本體模組12為分離的兩個部件，故背板3與第二本體模組12之間亦設置密封構件2以氣密密封第二本體模組12及背板3的結合處。然而在其他實施例中，背板3也可以一體成形地形成於最尾端的本體模組1的後側，亦即，背板3與最尾端的本體模組1以射出成形的方式一體式地連結(例如第二本體模組12與背板3為同一射出件)。
本發明的模組化大型載具100還具有前門(圖未示)，設置於第一本體模組11的前側(相對於背板3)。前門、各本體模組1及背板3可為射出式的塑膠件，然而本發明不限於此。
本發明的模組化大型載具100藉由複數個本體模組1及密封構件2之結合，可克服既有的因射出成形機台而導致的載具尺寸限制，可在深度方向上繼續擴展而加大載體的氣密儲存空間。
進一步地，在本實施例中，背板3為具透光性、部分透光性或完全不透光性三者其中之一。如圖1所示，背板3具有透光區31。透光區31可以為透明或半透明，且透明的定義是依據探測用的電磁波射線而定，換句話說，透光區31相對電磁波為可穿透或半穿透即為透明或半透明，也就是不以可見光的透明為限，可以為對紅外線或紫外線等電磁波射線為透明。背板3可以整體都是透光區31，由透明或半透明材料所製成，也可以是背板3在由其他非透光材料製造時預留一塊鏤空區，再鑲上透明或半透明材料形成透光區31。在其他實施例中，背板3為完全不透光，背板3與第二本體模組12為同一射出件。
進一步地，在本實施例中，這些本體模組1的二外側分別具有沿深度方向d延伸的一運送槽道7。圖4僅顯示了第一本體模組11及第二本體模組12的一側的運送槽道7，然而第一本體模組11及第二本體模組12為線性對稱，第一本體模組11及第二本體模組12的另一側也具有相同的運送槽道7，故不重複繪示。運送槽道7至少包括二平行的凸肋71，凸肋71具有一定位凹口部711。當機械搬運手臂(圖未示)直立地運送模組化大型載具100時，機械搬運手臂經由運送槽道7而平行地滑移，在定位凹口部711之處對接固定後執行搬運。此時，運送槽道7的凸肋71為整體的重量承受面。
在本實施例中，這些本體模組1的二外側還分別具一垂直扣槽8，垂直扣槽8沿垂直於深度方向d的一高度方向h延伸。垂直扣槽8至少包括二平行的凸肋81。當本發明的模組化大型載具旋轉90度時，運送槽道7的凸肋71不再能承載重量(其延伸方向與重力方向平行)，此時機械搬運手臂改抓握垂直扣槽8，利用垂直扣槽8的凸肋81作為翻轉後的重量承受面。
進一步地，如圖5至圖7所示，在本實施例中，模組化大型載具100更包括：一外底板4、複數補強槽件5及複數強化件6。
外底板4具有一朝外面41及一朝內面42。朝外面41為模組化大型載具100接觸外界、機台的外表面；相對地，朝內面42朝向各本體模組1的底面。
如圖6所示，補強槽件5可拆卸地設置於朝外面41，這些補強槽件5各自具有一滑槽51。滑槽51用以做為模組化大型載具100與其他機台、裝置之間的定位滑軌機構。補強槽件5為可更換性的，可利用鎖附、卡扣等方式固定於外底板4的朝外面41。在本實施例中，補強槽件5的數量為三，然而本發明不限於此。
如圖5及圖7所示，強化件6呈長條狀，這些強化件6彼此相隔一定距離地排列於外底板4及各本體模組1的底面111、121之間，各強化件6之間的距離可為等距或不等距，較佳地以平行的方式排列。這些強化件6的底部61及頂部62分別頂抵於外底板4及各本體模組1的底面111、121(緊配接觸)而形成一H形結構(類H鋼)。此結構抗彎能力強，便於即拆即裝，能加強模組化大型載具100的底座的強度，避免因長時間承載而彎曲、變形。並且補強槽件5 可降低使用磨耗，即便磨損也能單獨替換，無須更換整個模組化大型載具100，且節省更換時間、有效降低成本，並延長模組化大型載具100整體壽命。
進一步地，在本實施例中，補強槽件5為金屬材料。然而本發明不限於此，補強槽件5可為其他種類的強度高、耐磨耗之材料。
進一步地，在本實施例中，強化件6為金屬材料。然而本發明不限於此，強化件6可為其他種類的強度高、質量輕之材料，例如碳纖維複合材料。
本發明在上文中已以實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
100:模組化大型載具
1:本體模組
11:第一本體模組
111:底面
12:第二本體模組
121:底面
2:密封構件
3:背板
31:透光區
A-A:線段
B-B:線段
d:深度方向

Claims (10)

  1. 一種模組化大型載具，其包含：至少二本體模組，各該本體模組的周緣彼此連接且沿一深度方向排列，其中該等本體模組的二外側分別具有一垂直扣槽，該垂直扣槽沿垂直於該深度方向的一高度方向延伸；至少一密封構件，環繞設置於各該本體模組的連接處；以及一背板，設置於最尾端的該本體模組的後側。
  2. 如請求項1所述之模組化大型載具，其中該背板與該本體模組一體式連結。
  3. 如請求項1所述之模組化大型載具，其中該背板為具透光性、部分透光性或完全不透光性三者其中之一。
  4. 如請求項1或2所述之模組化大型載具，其中該等本體模組為螺絲鎖扣或彼此卡合。
  5. 如請求項1所述之模組化大型載具，其中該等本體模組的二外側分別具有沿該深度方向延伸的一運送槽道。
  6. 如請求項5所述之模組化大型載具，其中該運送槽道上設有一定位凹口部。
  7. 如請求項1所述之模組化大型載具，更包括：一外底板，具有一朝外面及一朝內面，該朝內面朝向該等本體模組的底面；複數補強槽件，可拆卸地設置於該朝外面，該等補強槽件各自具有一滑槽；以及 複數強化件，呈長條狀，該等強化件彼此相隔一定距離地排列於該外底板及該本體模組的底面之間，且該等強化件的底部及頂部分別頂抵於該外底板及該本體模組的底面。
  8. 如請求項7所述之模組化大型載具，其中該強化件、該外底板及該本體模組的底面形成一H形結構。
  9. 如請求項7所述之模組化大型載具，其中該補強槽件為金屬材料。
  10. 如請求項7所述之模組化大型載具，其中該強化件為金屬材料或碳纖維複合材料。
TW110113576A 2020-09-22 2021-04-15 模組化大型載具 TWI793571B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US202063081902P 2020-09-22 2020-09-22
US63081902 2020-09-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202213591A TW202213591A (zh) 2022-04-01
TWI793571B true TWI793571B (zh) 2023-02-21

Family

ID=80739936

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109142017A TWI751814B (zh) 2020-09-22 2020-11-30 支撐片狀物的中央支撐裝置及存放片狀物的儲存設備
TW110102325A TWI760075B (zh) 2020-09-22 2021-01-21 增強內部流場的基板容器
TW110113576A TWI793571B (zh) 2020-09-22 2021-04-15 模組化大型載具
TW110121194A TWI804886B (zh) 2020-09-22 2021-06-10 支撐件模組及載板載具

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109142017A TWI751814B (zh) 2020-09-22 2020-11-30 支撐片狀物的中央支撐裝置及存放片狀物的儲存設備
TW110102325A TWI760075B (zh) 2020-09-22 2021-01-21 增強內部流場的基板容器

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110121194A TWI804886B (zh) 2020-09-22 2021-06-10 支撐件模組及載板載具

Country Status (5)

Country Link
US (5) US11292637B1 (zh)
JP (4) JP7171791B2 (zh)
KR (4) KR102568546B1 (zh)
CN (4) CN114248212B (zh)
TW (4) TWI751814B (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7539176B2 (ja) * 2022-03-31 2024-08-23 大立▲ギョク▼科技有限公司 伸縮可能載置装置
TWI832599B (zh) * 2022-07-27 2024-02-11 家登精密工業股份有限公司 上開式載板載具
TWI815581B (zh) * 2022-08-01 2023-09-11 中勤實業股份有限公司 基板容器
TWI836995B (zh) * 2022-08-01 2024-03-21 中勤實業股份有限公司 基板容器
TWI817828B (zh) * 2022-08-11 2023-10-01 家登精密工業股份有限公司 內建負壓氣室之基板容器
TWI828272B (zh) 2022-08-11 2024-01-01 家登精密工業股份有限公司 具強化結構之載板傳送盒
KR20250130650A (ko) * 2022-12-30 2025-09-02 엔테그리스, 아이엔씨. 퍼지 가스 확산기를 구비한 기판 용기
CN116646286B (zh) * 2023-05-04 2024-01-30 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆盒闩锁机构及晶圆盒
TWI888995B (zh) 2023-06-12 2025-07-01 家登精密工業股份有限公司 支撐結構及其檢測設備與檢測設備之校正治具
TW202541228A (zh) * 2024-04-12 2025-10-16 家登精密工業股份有限公司 半導體載具

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011077166A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
US20170294329A1 (en) * 2016-04-06 2017-10-12 Entegris, Inc. Wafer shipper with purge capability

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5259523A (en) * 1992-09-15 1993-11-09 Scherb David A Modular art work carrier
US5387067A (en) * 1993-01-14 1995-02-07 Applied Materials, Inc. Direct load/unload semiconductor wafer cassette apparatus and transfer system
JPH10112493A (ja) * 1996-08-13 1998-04-28 Sony Corp 表面矯正薄板保持装置、面調整手段及び向き調整手段
JPH10203584A (ja) * 1997-01-22 1998-08-04 Nec Corp 基板用カセット
IT1297164B1 (it) * 1997-03-21 1999-08-03 First Plast Srl Pozzetto di materia plastica, impilabile, con bocche esterne per l'innesto a tubi di diverso diametro.
NL1010321C2 (nl) * 1997-10-20 1999-09-08 Fluoroware Inc Wafeldrager.
JPH11176921A (ja) * 1997-12-08 1999-07-02 Starlite Co Ltd 大型基板用カセット
JP4357013B2 (ja) * 1998-07-23 2009-11-04 信越ポリマー株式会社 収納容器の蓋開閉ラッチ機構
US6216883B1 (en) * 1998-07-24 2001-04-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Wafer holding hand
US6092981A (en) * 1999-03-11 2000-07-25 Applied Materials, Inc. Modular substrate cassette
ATE281361T1 (de) * 2001-06-06 2004-11-15 Modularbox Oy Palettenbehälter
JP2003068841A (ja) * 2001-08-27 2003-03-07 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウェーハカセット
SE523286C2 (sv) * 2001-11-27 2004-04-06 Sandvik Ab Verktyg för spånavskiljande bearbetning med ställmekanism för skäret
KR100443771B1 (ko) * 2002-01-28 2004-08-09 삼성전자주식회사 작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치
TW553195U (en) * 2002-10-09 2003-09-11 Foxsemicon Integrated Tech Inc Substrate supporting slot plate and substrate cassette using the same
JP2004235516A (ja) * 2003-01-31 2004-08-19 Trecenti Technologies Inc ウエハ収納治具のパージ方法、ロードポートおよび半導体装置の製造方法
US20050205502A1 (en) * 2004-03-18 2005-09-22 Brown Steven A Rails for semiconductor wafer carriers
JP2005340480A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Nippon Oil Corp 基板カセット用サポートバー
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
US7736436B2 (en) * 2005-07-08 2010-06-15 Integrated Materials, Incorporated Detachable edge ring for thermal processing support towers
US8365919B2 (en) * 2005-12-29 2013-02-05 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
JP2007258562A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd 処理治具用収納ケース
WO2009157321A1 (ja) * 2008-06-23 2009-12-30 信越ポリマー株式会社 支持体及び基板収納容器
TWI358379B (en) * 2008-08-14 2012-02-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with at least one latch
US7909166B2 (en) * 2008-08-14 2011-03-22 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Front opening unified pod with latch structure
TWI409198B (zh) * 2010-12-27 2013-09-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 配置有可充氣支撐件模組之前開式晶圓盒
CN201309690Y (zh) 2008-09-24 2009-09-16 中勤实业股份有限公司 基板卡匣调整结构
TW201112230A (en) * 2009-09-24 2011-04-01 Quanta Storage Inc Device for adjusting height of guiding bar in slot-in optical disk drive
KR101199954B1 (ko) * 2010-05-31 2012-11-09 주식회사 테라세미콘 기판 처리용 보트
JP5459787B2 (ja) * 2010-06-17 2014-04-02 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
KR101851250B1 (ko) * 2010-10-19 2018-04-24 엔테그리스, 아이엔씨. 로봇식 플랜지를 구비한 전면 개방형 웨이퍼 컨테이너
JP2012195562A (ja) * 2011-02-28 2012-10-11 Hitachi Kokusai Electric Inc 異径基板用アタッチメントおよび基板処理装置ならびに基板若しくは半導体デバイスの製造方法
KR20130027159A (ko) * 2011-09-07 2013-03-15 효창산업 주식회사 엘씨디 글라스용 카세트의 서포트바 및 그 서포트바 조립 지그
TWI431712B (zh) * 2011-09-20 2014-03-21 家登精密工業股份有限公司 大型前開式晶圓盒
JP5781909B2 (ja) * 2011-12-08 2015-09-24 信越ポリマー株式会社 薄板収納容器
CN103419032B (zh) * 2012-05-21 2016-06-29 昆山华辰重机有限公司 多功能通用支撑机构
JP5912960B2 (ja) * 2012-07-24 2016-04-27 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
DE102012219912A1 (de) * 2012-10-31 2014-04-30 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Handhabung von Stapeln flacher Sendungen
US9711385B2 (en) * 2012-11-28 2017-07-18 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
TWM467168U (zh) * 2013-04-09 2013-12-01 家登精密工業股份有限公司 防靜電之基板收納容器
WO2015087310A1 (en) * 2013-12-13 2015-06-18 Brooks Ccs Gmbh Recirculation substrate container purging systems and methods
JP6351317B2 (ja) * 2014-03-14 2018-07-04 ミライアル株式会社 基板収納容器
US20150259097A1 (en) * 2014-03-14 2015-09-17 Doreen O'Hare Modular storage system
WO2015174506A1 (ja) * 2014-05-15 2015-11-19 株式会社タンガロイ インサート取付機構、回転切削工具、工具ボデー、くさび部材および調整部材
TWM489155U (en) * 2014-06-09 2014-11-01 Gudeng Precision Industrial Co Ltd Gas diffusion device of wafer pod
JP6271354B2 (ja) 2014-06-30 2018-01-31 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
CN104329871B (zh) * 2014-08-29 2017-01-18 青岛海尔股份有限公司 半导体制冷冰箱及其冷端换热装置
JP2016119327A (ja) * 2014-12-18 2016-06-30 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR102304976B1 (ko) * 2015-01-13 2021-09-27 삼성디스플레이 주식회사 기판 카세트
JP6431440B2 (ja) * 2015-05-27 2018-11-28 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US10475682B2 (en) * 2015-08-25 2019-11-12 Entegris, Inc. Wafer support column with interlocking features
TWI567856B (zh) * 2015-09-08 2017-01-21 古震維 具有吹淨功能的晶圓傳送裝置
JP6724622B2 (ja) * 2015-10-08 2020-07-15 東京エレクトロン株式会社 水平設置装置及び被設置物の水平設置方法
CN206055096U (zh) * 2016-08-24 2017-03-29 咸阳蓝博机械有限公司 一种直线模组可调支撑装置
US10923373B2 (en) 2016-09-06 2021-02-16 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container and gas replacement unit
DE202016106088U1 (de) * 2016-10-28 2017-02-06 Georg Utz Holding Ag Klapp-Behälter
CN206441711U (zh) * 2016-12-28 2017-08-25 润峰电力有限公司 一种太阳能电池硅片周转花篮
KR20180099264A (ko) * 2017-02-28 2018-09-05 (주)상아프론테크 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
WO2018203384A1 (ja) * 2017-05-02 2018-11-08 ミライアル株式会社 基板収納容器
WO2018226800A1 (en) * 2017-06-09 2018-12-13 Entegris, Inc. Substrate container with particle mitigation feature
CN207174458U (zh) * 2017-07-28 2018-04-03 广东道格拉斯技术发展有限公司 一种车载移动冷链保温箱
TWM563421U (zh) * 2018-03-06 2018-07-11 中勤實業股份有限公司 晶圓容器
JP6801640B2 (ja) * 2017-12-21 2020-12-16 株式会社ダイフク 収納棚及び物品収納設備
KR102066175B1 (ko) * 2017-12-28 2020-01-14 우범제 웨이퍼 수납용기
US11008159B2 (en) * 2018-01-03 2021-05-18 Buckhorn, Inc. Extension collar for a flowable material dispensing box
CN111602234B (zh) * 2018-01-12 2024-05-24 信越聚合物股份有限公司 面板收纳容器
JP6977215B2 (ja) 2018-01-22 2021-12-08 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器
CN208007736U (zh) * 2018-03-06 2018-10-26 中勤实业股份有限公司 晶圆容器
TWI672762B (zh) * 2018-06-14 2019-09-21 旺矽科技股份有限公司 晶圓取放方法
US11610795B2 (en) * 2018-08-28 2023-03-21 Entegris, Inc. Membrane diffuser for a substrate container
TWM588108U (zh) * 2019-08-21 2019-12-21 中勤實業股份有限公司 易碎片狀物的儲運裝置
JP7351681B2 (ja) * 2019-09-05 2023-09-27 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
CN210556833U (zh) 2019-09-06 2020-05-19 中勤实业股份有限公司 易碎片状物的储运装置
CN111622503A (zh) * 2020-07-02 2020-09-04 中交路桥华南工程有限公司 可调节高度的垫块

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011077166A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
US20170294329A1 (en) * 2016-04-06 2017-10-12 Entegris, Inc. Wafer shipper with purge capability

Also Published As

Publication number Publication date
US12237190B2 (en) 2025-02-25
TWI804886B (zh) 2023-06-11
US20220093434A1 (en) 2022-03-24
CN114248212A (zh) 2022-03-29
TWI760075B (zh) 2022-04-01
KR20220039527A (ko) 2022-03-29
KR102665967B1 (ko) 2024-05-13
TW202213591A (zh) 2022-04-01
US12183608B2 (en) 2024-12-31
JP7087143B2 (ja) 2022-06-20
CN114256113A (zh) 2022-03-29
JP7536718B2 (ja) 2024-08-20
JP7171791B2 (ja) 2022-11-15
US20220093437A1 (en) 2022-03-24
CN114249029A (zh) 2022-03-29
JP2022051676A (ja) 2022-04-01
CN114248212B (zh) 2024-08-16
US20220089325A1 (en) 2022-03-24
CN114248243A (zh) 2022-03-29
US20220089327A1 (en) 2022-03-24
JP2022051662A (ja) 2022-04-01
KR102446248B1 (ko) 2022-09-21
KR20220039572A (ko) 2022-03-29
KR102568546B1 (ko) 2023-08-18
KR102683025B1 (ko) 2024-07-08
JP2022051663A (ja) 2022-04-01
KR20220039520A (ko) 2022-03-29
JP2022051673A (ja) 2022-04-01
JP7413317B2 (ja) 2024-01-15
KR20220039571A (ko) 2022-03-29
TWI751814B (zh) 2022-01-01
US20250273494A1 (en) 2025-08-28
TW202213590A (zh) 2022-04-01
TW202212221A (zh) 2022-04-01
CN114248243B (zh) 2025-03-21
TW202213624A (zh) 2022-04-01
US11292637B1 (en) 2022-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI793571B (zh) 模組化大型載具
CN101823604B (zh) 基板收纳容器
KR102735399B1 (ko) 패널 수납 용기
CA2547279A1 (en) Synthetic resin heat-resistant bottle type container
KR102700694B1 (ko) 기판 수납 용기
CN1684874A (zh) 附把手合成树脂瓶
US7641044B2 (en) Conveyor chain for travel way
CN106594539A (zh) Led灯用防护罩、led显示模块和led显示屏
TWI590994B (zh) Cassette for thin substrates
CN103158937B (zh) 一种空调压缩机包装组件
KR101033410B1 (ko) 슬랫 분류 컨베이어
CN106428904B (zh) 双向铲臂腔组装式托盘
USD1053157S1 (en) Heat reflector for semiconductor manufacturing equipment
CN218369081U (zh) 一种用于曲轴加工的双层上料输送装置
CN106206661B (zh) 柔性有机发光二极管显示面板及装置
CN213595010U (zh) 一种led装饰镜角保护缓冲器
JP4675601B2 (ja) 大型精密シート状製品および半製品用密封容器
CN221584750U (zh) 一种超薄型pe膜
CN207803704U (zh) 底部加强型耐高温塑料整理箱
CN217397096U (zh) 一种可有效防玻璃碰撞的软性载盘
KR100852289B1 (ko) 유리기판용 비접촉 포장 장치
KR200331861Y1 (ko) 평판디스플레이용 글래스 카세트
KR200414926Y1 (ko) 기판 적재용 카세트
CN117262424B (zh) 包装托盘和包装结构
CN219884380U (zh) 托盘和显示面板的装载装置