TWM467168U - 防靜電之基板收納容器 - Google Patents

Description

防靜電之基板收納容器

本創作係有關於一種基板收納容器，其尤指一種基板之靜電荷可導出以防止基板因摩擦而發生靜電放電之基板收納容器。

目前製造半導體元件時所使用之晶圓、磁性儲存碟片基板及液晶顯示器面板用基板等基板，基板製成半導體元件之前，精密而貴重之基板須不斷地運送至各製程進行處理。然，此類基板極易受到環境之影響而損壞，例如：受塵埃、靜電放電、震動及氣體圍阻(gaseous containment)之影響而損壞。

灰塵及來自周遭大氣之微粒等形式的污染物在附著至基板，將對其造成無法復原之損害。由於積體電路之尺寸不斷地縮小，可對積體電路造成污染之粒子的尺寸亦變得更小，因此，如何將污染物降至最低係變得至為重要。半導體產業採用複雜之方法，例如無塵室，就是為了防止基板受到環境之影響。

如上所述，可知有必要在製程中的每一步驟以保護基板。目前係使用一基板收納容器容置基板，以阻隔外界環境對基板接觸，進而避免基板受到環境之影響而損壞，上述基板收納容器係如為前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod system，FOUP)。 基板收納容器在運送過程中，能夠牢固地夾持基板，但基板易與基板收納容器摩擦而產生微粒形式之污染物，所以目前基板收納容器之材質使用抗耐磨之塑膠材質，以防止基板與基板收納容器而產生微粒。

習知基板(如：晶圓或半導體元件所使用之基板)儲存於基板收納容器，基板收納容器於運送過程中會產生震動，基板與基板收納容器摩擦而產生大量的靜電荷，靜電荷會殘留於基板上。當從基板收納容器取出基板時，基板與基板收納容器接觸摩擦將會產生靜電放電(ESD)之破壞現象，而損壞從基板收納容器取出之基板。因此，需要必須消除基板所殘留之靜電荷，以避免基板因靜電而損壞。

有鑑於上述問題，本創作提供一種防靜電之基板收納容器，其可將基板所殘留之靜電荷導出，以避免基板與基板收納容器摩擦而產生靜電放電，進而提升基板之良率。

本創作之目的，係提供一種防靜電之基板收納容器，其具有至少一靜電導出元件，透過靜電導出元件電性連接與基板接觸之元件，以將基板所殘留之靜電荷導引至一接地端，以避免基板與基板收納容器間產生靜電放電的破壞現象而損壞。

為了達到上述所指稱之各目的與功效，本創作係揭示了一種防靜電之基板收納容器，其係包含：一盒體，其係具有一左側壁及一右側壁；二承載支架，其分別設置於該左側壁及該右側壁， 並位於該盒體內，且支撐至少一基板；二把手，其分別設置於該左側壁及該右側壁，並位於該盒體外；以及至少一第一靜電導出元件，其嵌設於該左側壁或該右側壁，並與對應之該承載支架電性連接，以形成一第一導電路徑，該基板之靜電荷沿著該第一導電路徑傳遞至一接地端。

1‧‧‧基板收納容器

10‧‧‧盒體

101‧‧‧頂部

102‧‧‧底部

1021‧‧‧第二安裝部

103‧‧‧左側壁

1031‧‧‧第一安裝部

104‧‧‧右側壁

105‧‧‧後壁

106‧‧‧容置空間

107‧‧‧開口

12‧‧‧門體

14‧‧‧承載支架

140‧‧‧本體

141‧‧‧支撐肋

142‧‧‧承載凹槽

16‧‧‧把手

18‧‧‧第一靜電導出元件

180‧‧‧第一本體

181‧‧‧第一表面

1811‧‧‧第一電性連接部

182‧‧‧第二表面

1821‧‧‧第二電性連接部

19‧‧‧第二靜電導出元件

190‧‧‧第二本體

191‧‧‧第一表面

1911‧‧‧第一電性連接部

192‧‧‧第二表面

1921‧‧‧第二電性連接部

2‧‧‧基板

3‧‧‧設備

31‧‧‧接地端

P1‧‧‧第一導電路徑

4‧‧‧設備

41‧‧‧接地端

P2‧‧‧第二導電路徑

第一圖：其係為本創作之第一實施例的基板收納容器的示意圖；第二A圖：其係為本創作之第一圖之A區域的放大圖；第二B圖：其係為本創作之第一圖之A區域的另一放大圖；第三圖：其係為本創作之第一實施例之第一靜電導出元件組裝於盒體的示意圖；第四圖：其係為本創作之第一實施例之基板收納容器的使用狀態圖；第五圖：其係為本創作之第二實施例之第二靜電導出元件組裝於盒體的示意圖；以及第六圖：其係為本創作之第二實施例之基板收納容器的使用狀態圖。

為使 貴審查委員對本發明之特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以各實施例及配合詳細之說明，說明如後：習知基板(如：晶圓或半導體元件所使用之基板)儲存於基板收納容器，基板收納容器於運送過程中會產生震動，基板與基板 收納容器摩擦而產生大量的靜電荷，靜電荷會殘留於基板上。基板從基板收納容器取出之前，未將基板所殘留之靜電荷導出，此時基板從基板收納容器取出，基板容易與基板收納容器摩擦而產生靜電放電，靜電放電將破壞基板。有鑒於上述問題，本創作提供一種防靜電之基板收納容器，其可於基板從基板收納容器取出前，透過至少一靜電導出元件將基板上所殘留之靜電荷導出，而使基板與基板收納容器間避免產生靜電放電，以防止基板受靜電破壞。

請參閱第一圖，其係本創作之第一實施例之基板收納容器的示意圖；如圖所示，本實施例提供一種基板收納容器1，其為一前開式晶圓盒。基板收納容器1包含一盒體10及一門體12，盒體10具有一頂部101、一底部102、一左側壁103、一右側壁104及一後壁105，左側壁103及右側壁104分別設置於後壁105之兩側，並相互對應。左側壁103、右側壁104及後壁105設於頂部101及與頂部101相對應之底部102之間，並形成一容置空間106於盒體10內，然頂部101、左側壁103、底部102及右側壁104圍成一開口107，開口107與容置空間106相連通。門體12用於密封盒體10之開口107，使容置空間106為密閉的，使至少一基板(如：晶圓)存放於容置空間106內並進行運送。上述盒體10與門體12之材質係使用絕緣材料，所以盒體10與門體12為絕緣體。

本實施例之基板收納容器1更包含二承載支架14，二承載支架14分別設置於盒體10之左側壁103及右側壁104，並相互對應。每一承載支架14具有一本體140及複數支撐肋141，該些支撐肋 141係呈間隔排列於本體140，以使該些支撐肋141之間形成複數承載凹槽142，設置於左側壁103之承載支架14的該些承載凹槽142對應設置於右側壁104之承載支架14的該些承載凹槽142。基板設置於對應之該些承載凹槽142內，並與承載凹槽142鄰近的支撐肋141接觸，支撐肋141支撐基板，使基板水平設置於盒體10之容置空間106內。然基板收納容器1更包含二把手16，二把手16分別設置於左側壁103及右側壁104之外側表面，並相互對應。基板收納容器1之二把手16供一設備(如：搬運設備)設置，設備的機械手臂或承載托架夾持或承載二把手16，以抬升及搬運基板收納容器1。

當基板裝載於基板收納容器1並運送至下一製程時，基板收納容器1於運送過程中產生震動，基板與承載支架14之支撐肋141、盒體10之側壁或門體12接觸摩擦，使基板帶有大量的靜電荷，為了避免基板因摩擦而產生靜電放電，必須降低基板所殘留之靜電荷的數量，所以本實施例之基板收納容器1更設有二第一靜電導出元件18，請一併參閱第二A圖及第二B圖，二第一靜電導出元件18分別嵌設於左側壁103及右側壁104，並分別與對應之承載支架14電性連接，使基板之靜電荷透過承載支架14及第一靜電導出元件18導引至一接地端，以減少基板上所殘留之靜電荷，避免基板與盒體10間產生靜電放電的現象。

同時請參閱第三圖，其係本創作之第一實施例之第一靜電導出元件組裝於盒體之示意圖；如圖所示，因二第一靜電導出元件18之結構相同，下述係以設置於左側壁103之第一靜電導出元件 18進行詳細說明。本實施例之左側壁103具有一第一安裝部1031，本實施例之第一安裝部1031為一穿孔，並貫穿左側壁103，然第一靜電導出元件18具有一第一本體180，第一本體180嵌設於第一安裝部1031，第一本體180具有一第一表面181及相對於第一表面181之一第二表面182，第一表面181外露於左側壁103之內側表面上，並朝向盒體10之容置空間106；第二表面182外露於左側壁103之外側表面上，並朝向盒體10之外部。然第一表面181具有至少一第一電性連接部1811，第一電性連接部1811與設置於左側壁103之承載支架14接觸，第二表面182具有至少一第二電性連接部1821，第二電性連接部1821凸出左側壁103，並嵌設於設置於左側壁103之把手16，第二電性連接部1821外露於把手16之表面。上述第一安裝部1031為穿孔僅為一實施例，第一安裝部1031可為其他型態，只要使第一靜電導出元件18之第一電性連接部1811與承載支架14接觸及使第二電性連接部1821外露於左側壁103及把手16之表面即可，於此不再贅述。

請一併參閱第四圖，其係本創作之第一實施例之基板收納容器的使用狀態圖；如圖所示，為了使承載支架14及第一靜電導出元件18間電性連接，承載支架14及第一靜電導出元件18皆含有導電材料，使承載支架14及第一靜電導出元件18為導體，如此承載支架14及第一靜電導出元件18形成一第一導電路徑，以使基板2之靜電荷可沿第一導電路徑P1傳遞至接地端31。上述導電材料可為碳黑粉末、碳纖維、金屬纖維、鍍金屬碳纖維或金屬粉末。

上述接地端31為一設備3之接地端31，然本實施例之基板收 納容器1之二把手16設置於一設備3之機械手臂或托架上，如此設備3之機械手臂或托架可與第一靜電導出元件18之第二電性連接部1821接觸，由承載支架14及第一靜電導出元件18所形成之第一導電路徑P1主要與設備3之接地端31電性連接，此時，基板2之靜電荷沿第一導電路徑P1傳遞至接地端31，有效減少殘留於基板2上之靜電荷，避免基板2因與盒體10、門體及二承載支架14摩擦而產生靜電放電的現象，進而降低基板2之損壞率。

請參閱第五圖及第六圖，其係本創作之第二實施例的第二靜電導出元件組裝於盒體之示意圖及基板收納容器之使用狀態圖；如圖所示，為了快速減少基板2上所殘留之靜電荷，因此本實施例之基板收納容器1更包含二第二靜電導出元件19，二第二靜電導出元件19嵌設於底部102，並分別電性連接對應之承載支架14及設置於底部102的一底板11，如此承載支架14、第二靜電導出元件19及底板11形成一第二導電路徑P2，而基板2上所殘留之靜電荷也可沿著第二導電路徑P2導出。

上述基板收納容器1之底部102具有二第二安裝部1021，本實施例之第二安裝部1021也為一穿孔，亦貫穿底部102。設置於第二安裝部1021之第二靜電導出元件19具有一第二本體190，第二本體190嵌設於第二安裝部1021，第二本體190具有一第一表面191及相對於第一表面191之一第二表面192。第二本體190之第一表面191朝向容置空間106，並具有至少一第一電性連接部1911，第一電性連接部1911與對應之承載支架14接觸；第二本體190之第二表面192朝向基板收納容器1之外部，並具有至少一第二電性 連接部1921，第二電性連接部1921與底板11接觸。然二承載支架14、二第二靜電導出元件19及底板11係含有導電材料，並使二承載支架14、二第二靜電導出元件19及底板11分別為導體，所以第二靜電導出元件19之第一電性連接部1911及第二電性連接部1921可電性連接承載支架14及底板11，以形成第二導電路徑P2。

當基板收納容器1設置於與底板11連結之一設備4(例如：充氣設備)時，由承載支架14、第二靜電導出元件19及底板11所形成之第二導電路徑P2與設備4之接地端41電性連接，如此基板2上所殘留之靜電荷透過第二導電路徑P2及設備4傳遞至接地端41，使基板2之靜電荷的數量降低，有效避免基板與盒體10、門體及二承載支架14摩擦而產生靜電放電，進而導致基板2損壞，如此同時透過第一靜電導出元件18及第二靜電導出元件19可加速基板2之靜電荷導出。然本實施例之設備4可與第一實施例所使用之設備為同一個，於此不再贅述。

由上述可知，本創作提供一種防靜電之基板收納容器，其主要設置至少一靜電導出元件，靜電導出元件電性連接設置於基板收納容器內及承載基板的承載支架及設置於基板收納容器之外側的把手，以形成導電路徑。然透過設備與基板收納容器之二把手接觸，使導電路徑與設備之接地端電性連接，如此使基板上所殘留之靜電荷透過導電路徑傳遞至設備之接地端，以減少基板上所殘留之靜電荷，避免基板因摩擦而產生靜電放電的現象，進而防止基板因靜電而損壞。

惟以上所述者，僅為本創作之各實施例而已，並非用來限定 本創作實施之範圍，舉凡依本創作申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍內。

本創作係實為一具有新穎性、進步性及可供產業利用者，應符合我國專利法所規定之專利申請要件無疑，爰依法提出新型專利申請，祈 鈞局早日賜准專利，至感為禱。

1‧‧‧基板收納容器

10‧‧‧盒體

101‧‧‧頂部

102‧‧‧底部

103‧‧‧左側壁

104‧‧‧右側壁

105‧‧‧後壁

106‧‧‧容置空間

107‧‧‧開口

12‧‧‧門體

14‧‧‧承載支架

140‧‧‧本體

141‧‧‧支撐肋

142‧‧‧承載凹槽

16‧‧‧把手

18‧‧‧第一靜電導出元件

1821‧‧‧第二電性連接部

Claims (10)

1. 一種防靜電之基板收納容器，其係包含：一盒體，其係具有一左側壁及一右側壁；二承載支架，其分別設置於該左側壁及該右側壁，並位於該盒體內，且支撐至少一基板；二把手，其分別設置於該左側壁及該右側壁，並位於該盒體外；以及至少一第一靜電導出元件，其嵌設於該左側壁或該右側壁，並與對應之該承載支架電性連接，以形成一第一導電路徑，該基板之靜電荷沿著該第一導電路徑傳遞至一接地端。
2. 如申請專利範圍第1項所述之防靜電之基板收納容器，其中該些承載支架及該第一靜電導出元件係分別為導體。
3. 如申請專利範圍第1項所述之防靜電之基板收納容器，其中該第一靜電導出元件係嵌設於該左側壁或該右側壁之一第一安裝部。
4. 如申請專利範圍第3項所述之防靜電之基板收納容器，其中該第一靜電導出元件係包含：一第一本體，其嵌設於該第一安裝部，並具有一第一表面及與該第一表面相對應之一第二表面；至少一第一電性連接部，其設置於該第一表面，並與對應之該承載支架電性連接；以及至少一第二電性連接部，其設置於該第二表面，並凸出該左側壁或該右側壁。
5. 如申請專利範圍第1項所述之防靜電之基板收納容器，其中該接地端係為一設備之一接地端，該設備接觸該第一靜電導出元件，該第一導電路徑電性連接該接地端。
6. 如申請專利範圍第1項所述之防靜電之基板收納容器，更包含：一底板，其設置於該盒體之一底部，並位於該盒體外；以及至少一第二靜電導出元件，其嵌設於該底部，並與對應之該承載支架及該底板電性連接，以形成一第二導電路徑，該基板之靜電荷沿著該第二導電路徑傳遞至該接地端。
7. 如申請專利範圍第6項所述之防靜電之基板收納容器，其中該第二靜電導出元件及該底板係分別為導體。
8. 如申請專利範圍第6項所述之防靜電之基板收納容器，其中該第二靜電導出元件係嵌設於該底部之一第二安裝部。
9. 如申請專利範圍第8項所述之防靜電之基板收納容器，其中該第二靜電導出元件係包含：一第二本體，其嵌設於該第二安裝部，並具有一第一表面及與該第一表面相對應之一第二表面；至少一第一電性連接部，其設置於該第一表面，並與對應之該承載支架電性連接；以及至少一第二電性連接部，其設置於該第二表面，並與對應之該底板電性連接。
10. 如申請專利範圍第6項所述之防靜電之基板收納容器，其中該接地端係為一設備之一接地端，該設備與該第一靜電導出元件及該底板接觸，該第一導電路徑及該第二導電路徑電性連接該接地端。