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TWI783081B - 模組化真空泵及/或減量系統 - Google Patents

模組化真空泵及/或減量系統 Download PDF

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TWI783081B
TWI783081B TW107140188A TW107140188A TWI783081B TW I783081 B TWI783081 B TW I783081B TW 107140188 A TW107140188 A TW 107140188A TW 107140188 A TW107140188 A TW 107140188A TW I783081 B TWI783081 B TW I783081B
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克理斯多福 馬克 貝理
克雷格 里奧納德 桑德斯
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英商愛德華有限公司
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Abstract

本發明揭示一種用於自一實體(90)抽空及/或減少流體之真空泵及/或減量系統(80)，該系統(80)包括：一第一模組(20)，其包括用於自該實體(90)泵抽該流體之一真空泵裝置(24)及/或用於減少自該實體(90)抽空之該流體之一減量裝置；及一第二模組，其配置成在一第一系統維度上相鄰於該第一模組(20)；其中該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值(x)之一各自整數倍之一最大尺寸。

Description

模組化真空泵及/或減量系統
本發明係關於真空泵及/或減量系統。
真空泵及減量系統用於各種不同技術領域(例如半導體製造)中。通常，在該等系統中，真空泵設備用於將氣體(例如來自一工業程序之氣體)泵抽出一特定位置，且減量設備用於減少(例如銷毀或處理掉)已產生之非所要物質(例如排放氣體)。
取決於所涉及之程序，可存在真空泵及減量之不同準則。例如，通常期望針對涉及不同製程氣體、不同氣體壓力及不同氣流之不同程序使用不同真空泵設備。另外，通常期望使用不同減量設備來銷毀或處理掉不同非所要物質或應對不同氣流。
通常根據將與真空泵及減量系統一起使用之特定程序來設計訂製真空泵及減量系統。然而，設計、製造及安裝此一訂製系統所花費之時間量通常很長，此係因為不同程序需要不同真空泵及減量系統解決方案。
在一第一態樣中，本發明提供一種用於自一實體抽空及減少一氣體之模組化真空泵及減量系統。該系統包括複數個功能模組及複數個氣體連接線路，各氣體連接線路用於輸送一氣流通過其。該複數個功能模組包括：一第一模組，其包括用於自該實體泵抽該氣體之一真空泵裝置；及一第二模組，其包括用於減少自該實體泵抽之該氣體之一減量裝置。該第一模組定位成在一第一系統維度上相鄰於該第二模組。該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值(例如10 mm至5 cm之範圍內之一值，例如44 mm)之一各自整數倍之一最大尺寸。該第一模組藉由該複數個氣體連接線路之至少一者來流體地連接至該第二模組，使得該減量裝置可接收由該真空泵裝置自該實體泵抽之該氣體。該等氣體連接線路之各者包括一或多個區段，各區段(例如)在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一尺寸。
本發明者已認識到，訂製設計之真空泵及減量系統通常趨向於難以特徵化或預測系統內之氣體之一溫度分佈，尤其在構造或組裝真空泵及減量系統之前。因而，一旦操作，則可認識到，系統內之氣體溫度足夠低使得氣體內之一或多個可冷凝物質(例如)在系統之氣體連接線路或管內冷凝成液態或固態。可冷凝物質之此冷凝會形成堵塞、限制氣流及/或危害系統之操作。此亦會導致製程氣體之處理不太有效。自半導體製造設施輸出之製程氣體趨向於包含可冷凝物質。
本發明者已認識到，使用具有為上述預定共同系統值之一整數倍之一寬度之模組趨向於有利地規定：將該等模組連接在一起所需之連接線路(例如管、導管、電力線或用於真空泵及/或減量系統中之任何其他連接線路)之長度具有亦為上述預定共同系統值之一整數倍之長度。另外，此趨向於允許預製標準化模組及連接線路。此趨向於允許(例如)在組裝系統之前更準確地判定或預測模組及連接線路之特性及行為。此趨向於允許更準確及更容易地判定或預測整個真空泵及減量系統之效能特性及行為。例如，趨向於更容易準確地特徵化或預測系統內之氣體之一溫度分佈。此趨向於促進將系統設計為具有一有益或較佳氣體溫度分佈以(例如)減少或消除製程氣體中之可冷凝物質之系統之冷凝。另外，趨向於促進由一熱管理系統對系統進行熱管理以控制系統內之製程氣體之溫度分佈。因此，模組化真空泵及減量系統趨向於有利地緩解或克服上述問題。
該系統可進一步包括經組態以管理系統內之氣體之一溫度的一熱管理系統。該熱管理系統可經組態以使系統內之氣體之一溫度維持在一預界定臨限溫度以上(例如氣體中之可冷凝物質冷凝之一溫度)。該熱管理系統可包括選自由溫度感測器、壓力感測器、加熱器及冷卻器組成之器件群組之一或多個器件。各器件可操作性耦合至該等功能模組之一者或該等氣體連接線路之一者。該熱管理系統之至少部分可位於該複數個功能模組之一第三模組內。該第三模組可定位成在該第一系統維度上相鄰於該第一模組及/或該第二模組。該第三模組可在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一整數倍之一最大尺寸。
該第一模組可在該第一系統維度上具有為一共同固定系統值之一第一整數倍之一最大尺寸。該第二模組可在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一第二整數倍之一最大尺寸。該第二整數可不同於該第一整數。該第一整數及該第二整數可在2至20之範圍內。
各氣體連接線路之一長度可為該共同固定系統值之一各自整數倍。該長度可在該第一系統維度上。
該第一模組及該第二模組之各者可包括用於將氣體接收至模組中之一氣體連接線路輸入端、用於自模組排放氣體之一氣體連接線路輸出端、用於接收自一設施源輸送之設施之一設施連接線路輸入端及用於將該模組之真空泵裝置及/或減量裝置及該模組之連接線路輸入端及輸出端定位於模組之適當位置中之一框架。
該複數個功能模組可進一步包括至少一進一步模組。該至少一進一步模組之各者可定位成在該第一系統維度上相鄰於該第一模組及/或該第二模組。該至少一進一步模組之各者可在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸。該至少一進一步模組之各者可操作性耦合至該第一模組及該第二模組。該至少一進一步模組之各者可包括選自由以下各者組成之裝置群組之裝置：用於自實體泵抽氣體之一真空泵裝置、用於減少自實體泵抽之氣體之一減量裝置、用於自一設施供應器接收一第二流體及/或電力且將該所接收之第二流體及/或電力供應至另一模組之一設施裝置及用於控制另一模組之操作之一控制裝置。
該系統可進一步包括經組態以將該複數個功能模組連接在一起之一或多個連接線路，其中各連接線路之一長度係該共同固定系統值之一各自整數倍，其中該一或多個連接線路係選自由以下各者組成之連接線路群組之連接線路：用於輸送一流體流通過其之一管、用於一電導體或光纖之一外殼、用於電力或一電信號之一電導體、及一光纖。
該等功能模組之各者在一第二維度上之尺寸可實質上彼此相等，該第二系統維度垂直於該第一系統維度。該等功能模組之各者可在一第二系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸，該第二系統維度垂直於該第一系統維度。該等模組之各者在一第三系統維度上之尺寸可實質上彼此相等，該第三系統維度垂直於該第一系統維度及該第二系統維度。該等功能模組之各者可在一第三系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸，該第三系統維度垂直於該第一系統維度及該第二系統維度。
在另一態樣中，本發明提供一種用於自一實體抽空及減少一氣體之方法。該方法包括：提供一第一模組，該第一模組包括一真空泵裝置；提供一第二模組，該第二模組包括一減量裝置；將該第一模組定位成在一第一系統維度上相鄰於該第二模組，該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸；由至少一氣體連接線路將該第一模組流體地連接至該第二模組，各氣體連接線路包括一或多個區段，各區段具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一尺寸；由該真空泵裝置將氣體自該實體泵抽至該減量裝置；及由該減量裝置減少自該真空泵裝置接收之氣體。
該方法可進一步包括由一熱管理系統控制該第一模組、該第二模組及該至少一氣體連接線路之一或多者內之該氣體之一溫度。該氣體可包括一或多個可冷凝物質(例如冷凝成液態或固態之物質)。可執行該控制步驟以使該氣體之一溫度維持在該一或多個可冷凝物質冷凝之一臨限溫度以上。該氣體可為來自一半導體製造設施之一製程氣體。
在另一態樣中，本發明提供一種用於自一實體抽空及/或減少流體之真空泵及/或減量系統。該系統包括：一第一模組，其包括用於自該實體泵抽該流體之一真空泵裝置及/或用於減少自該實體抽空之該流體之一減量裝置；及一第二模組，其配置成在一第一系統維度上相鄰於該第一模組。該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸。
該共同固定系統值可為10 mm至200 cm之範圍內或10 mm至5 cm之範圍內之一值，例如44 mm。
該第一模組可在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一第一整數倍之一最大尺寸，該第一整數係1至30之範圍內之一整數。該第一整數可在2至20之範圍內。該第二模組可在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一第二整數倍之一最大尺寸，該第二整數係1至30之範圍內之一整數。該第二整數可在2至20之範圍內。
該第二模組可包括選自由以下各者組成之裝置群組之裝置：用於自該實體泵抽該流體之一真空泵裝置、用於減少自該實體泵抽之該流體之一減量裝置、用於自一設施供應器接收一第二流體及/或電力且將該所接收之第二流體及/或電力供應至該第一模組之一設施裝置及用於控制該第一模組之操作之一控制裝置。
該系統可進一步包括經組態以將該第一模組連接至該第二模組之一或多個連接線路，其中各連接線路之一長度係該共同固定系統值之一各自整數倍。該一或多個連接線路可選自由以下各者組成之連接線路群組：用於輸送一流體流通過其之一管、用於一電導體或光纖之一外殼、用於電力或一電信號之一電導體、及一光纖。
該系統可進一步包括一或多個進一步模組，其中該第一模組、該第二模組及該一或多個進一步模組配置成在該第一系統維度上彼此相鄰，且其中該一或多個進一步模組之各者在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸。
該等模組之各者在一第二系統維度上之尺寸可實質上彼此相等，該第二系統維度垂直於該第一系統維度。該等模組之各者在一第三系統維度上之尺寸可實質上彼此相等，該第三系統維度垂直於該第一系統維度及該第二系統維度。
在另一態樣中，本發明提供一種用於形成一真空泵及/或減量系統之模組化系統。該模組化系統包括複數個功能模組及複數個連接線路。該等模組之至少一者包括：一真空泵裝置或一減量裝置，其經組態以在連接至遠離該真空泵及/或減量系統之一實體或該真空泵及/或減量系統中之另一模組時執行一真空泵抽或一減量功能；一氣體連接線路輸入端，其用於將氣體接收至該模組中；一氣體連接線路輸出端，其用於自該模組排放氣體；一設施連接線路輸入端，其用於接收自一設施源輸送之設施；及一框架，其用於將該模組之該真空泵裝置或該減量裝置及該連接線路輸入端及輸出端定位於該模組之適當位置中。該等模組經組態以定位成在一第一系統維度上彼此相鄰。該等連接線路經組態以在模組定位成在該第一系統維度上彼此相鄰時將該等模組連接在一起以形成一真空泵及/或減量系統。該等模組之各者在該第一系統維度上具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸。
在另一態樣中，本發明提供一種用於提供一真空泵及/或減量系統之方法，該方法包括：提供一第一模組，該第一模組包括用於泵抽流體之一真空泵裝置或用於減少流體之一減量裝置；將一第二模組定位成在一第一系統維度上相鄰於該第一模組；及將該第一模組及該第二模組連接在一起。該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸。
在另一態樣中，本發明提供一種用於自一處理裝置抽空流體之真空泵系統，該真空泵系統包括：複數個離散單元，其等配置成在一第一系統維度上彼此相鄰，該等單元包括用於自該處理裝置泵抽及/或減少氣體之各自真空泵及/或減量組件；及複數個連接線路，其等連接該系統之該等單元以使流體流動至該等單元或自該等單元流出；其中該等單元在該第一系統維度(例如一寬度)上各具有等於一固定系統值或為該固定系統值之一整數倍之一尺寸且該等連接線路包括在該第一系統維度上具有等於該固定系統值或為該固定系統值之一整數倍之一尺寸之一或多個區段。
該固定系統值可等於或大於10 mm，較佳地等於或大於20 mm，更佳地等於或大於40 mm，且更佳地等於或大於44 mm。該固定系統值可比該系統之該等連接線路之累積製造容限大至少一數量級。
該等連接線路可進一步包括用於輸送電力或一電信號之電導體。該等單元可包括用於將該單元之真空泵或減量組件之各者連接至一或多個連接線路之連接點且該等連接點定位成在該第一維度上相距等於該固定系統值或為該固定系統值之一整數倍之一值。一連接線路可在各自連接點處將兩個單元連接在一起且該等連接點之間的距離及該連接線路之長度兩者等於該固定系統值之一整數倍。至少一連接線路可為一校正連接線路，其包括用於針對製造容限來校正該連接線路之至少一校正區段。該至少一校正連接線路可包括兩個校正區段，其等各包括具有非同軸之各自縱軸線之一第一端部分及一第二端部分及連接該等端部分之一中心部分。
該真空泵系統可進一步包括用於連接至一處理裝置之一設施源之一設施單元且該等連接線路包括用於將設施自該設施單元輸送至一或多個真空泵或減量單元之一設施連接線路，其中該設施單元在該第一系統維度上具有等於該固定系統值或為該固定系統值之一整數倍之一尺寸。該設施單元可包括至少一控制器以控制及/或監測設施至該等真空泵或減量單元之供應。設施可包括以下之一或多者：氮氣、清潔乾燥空氣、冷卻劑、用於控制或監測系統操作之電信號、用於燃燒之燃料、用於形成一電漿之一電漿氣體及用於支援燃燒之空氣或氧氣。該設施單元可經組態以充當該系統之其他單元之一基準單元，使得該設施單元係待安裝單元之第一者且各後續安裝單元相對於該設施單元安裝。
在另一態樣中，本發明提供一種模組化系統，其包括：複數個功能單元，其等包括真空泵或減量單元；複數個連接線路，其等用於連接至一安裝真空泵系統中之該等功能單元以形成用於取決於選自該模組化系統之該等單元及連接線路而自複數個不同各自程序裝置之任一者抽空及/或減少氣體之複數個不同安裝系統之任一者；其中該等真空泵或減量單元之各者包括：一真空泵或減量配置，其經配置以在連接至該程序總成或一安裝系統中之另一單元時執行一真空泵抽或一減量功能；一氣體連接線路輸入端，其用於將氣體接收至該單元中；一氣體連接線路輸出端，其用於自該單元排放氣體；一設施連接線路輸入端，其用於接收自一設施源輸送之設施；一電力連接線路輸入端，其用於接收自一電源輸送之電力；及一單元框架，其用於各單元以將該真空泵或減量配置及該連接線路輸入端及輸出端定位於該單元之適當位置中；及一支撐結構，其可與該等單元框架合作以將該系統之該等單元定位成在一安裝系統之至少一第一維度上緊鄰於該系統之另一單元。該系統支撐結構可與該等單元框架合作以形成在一安裝系統之至少該第一維度上彼此鄰接之一系列單元。
該模組化系統可進一步包括用於將設施供應至一安裝真空泵系統之功能單元之一設施單元。該設施單元可用於提供諸如淨化氣體、冷卻劑、清潔乾燥空氣或低電力之設施。該等連接線路可包括用於連接至該等功能單元以將氣體輸送至該等功能單元或自該等功能單元輸送氣體之流體導管及用於將電力輸送至該等功能單元或將信號輸送至該等功能單元或自該等功能單元輸送信號以控制或監測該等功能單元之電導體。
可預定該系統之一系統值「x」且該等連接線路或該等連接線路之區段可具有等於「x」之一整數倍之一長度且該等單元具有等於「x」之一整數倍之一寬度，可藉由計算該模組化系統中所有單元之最大整數公約數來判定該寬度。「x」可大於10 mm，較佳地大於20 mm，更佳地大於40 mm，且更佳地等於或大於44 mm。
該模組化系統可包括複數個單元組，其中一組內之單元彼此相同以具有相同泵抽特性，且不同組內之單元彼此不同以具有不同泵抽特性，因此，可取決於不同處理裝置之不同真空泵抽要求而選擇單元。該等真空泵抽特性可包含一處理裝置之一處理室或各處理室之壓力及流量(或泵抽速度/泵流量)。一真空泵配置可包括一單一真空泵或串聯及/或並聯組態之複數個真空泵。所選擇之該或該等泵可包括以下真空泵機構之任一或多者：渦輪分子泵、牽引泵、渦捲泵、螺旋泵、魯式泵、爪式泵或轉葉泵。一單元之該減量配置可包括一燃燒器或電漿噴燈。該等連接線路可包含經組態以連接於非對準連接點之間的至少一調整連接線路。該至少一調整連接線路可包含具有一縱軸線之一第一端部分及具有相對於該第一端部分之該縱軸線偏移之一縱軸線之一第二端部分及連接該第一端部分及該第二端部分之一連接部分。
在另一態樣中，本發明提供一種自一模組化系統組裝一真空泵及/或減量系統之方法，該真空泵及/或減量系統包括具有獨立於其他該等功能模組之一各自泵或減量功能之複數個離散功能模組及經組態以將設施供應器連接至該等功能模組之一設施模組，該方法包括：選擇該等模組之一者作為該系統之一基準模組；將該基準模組安裝於一所需位置中；將一或多個進一步該等模組安裝至該系統以與該基準模組串聯。
該一或多個進一步模組可藉由以下操作來相對於該基準模組固定定位：針對待安裝之一第一進一步模組，使該第一進一步模組依並排關係鄰接該基準模組；及使各後續進一步模組依並排關係鄰接該基準模組或一先前進一步模組。該等模組可各包括一支撐結構，其經配置以鄰接一鄰接模組之該支撐結構且在鄰接時位置固定，該支撐結構可與一模組框架合作以將該模組框架固定至該支撐結構。該等模組框架可在安裝及固定至該等支撐結構時隔開。
該方法可進一步包括：在安裝該基準模組時將該等支撐結構安裝成相對於彼此位置固定，且接著將該等模組框架連續串聯安裝至其各自支撐結構。
該設施模組可為該基準模組。一旦被安裝，則該設施模組可處於在安裝該系統之其他模組之該等模組框架之前自一設施源接收設施之一條件中。
圖1係展示一模組化系統2的一示意圖(未按比例繪製)。模組化系統2包括複數個模組4、6、8、10及複數個連接線路或管12。
模組可指稱模組化系統2之「單元」。稍後將在下文參考圖2來更詳細描述來自複數個模組4、6、8、10之一實例性模組。
在此實施例中，複數個模組4、6、8、10之各者之各模組包括一或多個裝置。實例性裝置包含(但不限於)用於產生一真空壓力及流體流量之真空泵裝置、用於減少特定氣體之減量裝置、用於將諸如冷卻水、清潔乾燥空氣及用於模組子系統之電力線之設施提供至模組之設施裝置、用於控制模組操作之控制裝置及用於控制(例如)另一模組或兩個模組之間的一連接氣體線路內之氣體之溫度之熱管理裝置。
模組經組態以由選自複數個連接線路12之連接線路連接在一起。稍後將在下文參考圖3及圖4來更詳細描述複數個連接線路12之連接線路。模組經組態以由連接線路連接在一起以形成一真空泵系統及/或減量系統。稍後將在下文參考圖5及圖6來更詳細描述一實例性真空泵系統及/或減量系統。
模組可由呈多個不同組態之連接線路連接在一起。換言之，模組可由連接線路連接在一起以取決於選自模組化系統2之模組及連接線路而形成複數個不同真空泵及/或減量系統之任一者。一旦經配置，則選定模組及連接線路將形成用於自一或多個處理室(諸如一半導體製造總成之處理室)或其他實體抽空氣體之真空泵系統及/或減量系統。另外，連接線路經組態以將真空泵系統及/或減量系統(即，連接在一起之模組)連接至設施線路以將設施供應至真空泵系統及/或減量系統。
在此實施例中，各模組具有等於一共同系統值(下文中指稱「x」)之一整數倍(例如x、2x、3x、4x等等)之一寬度(或其他尺寸，但為了方便起見，其將指稱一橫向尺寸或更簡單地指稱一「寬度」)。在此實施例中，一模組之寬度係其最大橫向尺寸，且一模組之一或多個部分可具有小於模組之(最大)寬度之一橫向尺寸。
在此實施例中，第一複數個模組4中之各模組具有等於3x之一寬度。第二複數個模組6中之各模組具有等於8x之一寬度。第三複數個模組8中之各模組具有等於12x之一寬度。第四複數個模組10中之各模組具有等於15x之一寬度。
另外，在此實施例中，各連接線路具有等於共同系統值「x」之一整數倍(例如x、2x、3x、4x等等)之一長度(或其他尺寸，但為了方便起見，其將指稱一縱向尺寸或更簡單地指稱一「長度」)。
例如，值x可為以下範圍內之一值：10 mm至200 cm、或更佳地10 mm至100 cm、或更佳地10 mm至90 cm、或更佳地10 mm至50 cm、或更佳地10 mm至20 cm、或更佳地10 mm至10 cm、或更佳地10 mm至5 cm、或更佳地20 mm至50 mm、或更佳地30 mm至40 mm。實例性x值包含(但不限於) 10 mm、11 mm、22 mm、40 mm、41 mm、42 mm、43 mm、44 mm、45 mm、46 mm、47 mm、48 mm、49 mm、50 mm、88 mm、176 mm、352 mm、704 mm、11 cm、 22 cm、100 cm、175 cm、200 cm等等。較佳地，x等於44 mm或約44 mm。「x」所選擇之值往往無需很準確，而是可選擇任何適當值。
圖2係展示可用於形成真空泵及/或減量系統之模組化系統2之一實例性模組20之一透視圖的一示意圖(未按比例繪製)。在此實例中，模組20係來自具有分別等於3x、8x、12x或15x之一寬度22之第一複數個模組4、第二複數個模組6、第三複數個模組8或第四複數個模組10之一模組。
模組20包括一或多個裝置24。各裝置24經組態以在真空泵及/或減量系統內執行一各自功能。例如，一裝置24可為用於將氣體泵抽出一處理室之一真空泵、用於減少製程氣體中之非所要物質之一減量單元、用於將DC電力轉換為AC電力之一反相器、用於控制真空泵及/或減量系統之部分或全部操作之一電子控制單元或用於控制或分配設施流體(例如空氣或水)至其他裝置之供應之一設施裝置。然而，一或多個裝置24不受限於此。一般而言，一或多個裝置24之各者可為用於一真空泵及/或減量系統中之任何裝置。在一些實施例中，裝置24之兩者或兩者以上實質上相同及/或執行實質上彼此相同之功能。
模組20包括耦合至一基底28之一框架26。一或多個裝置24至少部分且更佳地完全安置於由框架26及基底28界定之容積內。框架26包括耦合至基底28之複數個互連條30。在一些實施例中，模組20之基底28提供框架26及模組20之剩餘部分可嵌合至其中之一支撐結構或嵌合結構。基底28可經調適以固定至地面。基底28之寬度可為共同系統值「x」之一整數倍。
模組20亦包括線路(下文中指稱模組線路32)。模組線路32可包含經組態以容許流體(例如製程氣體或設施流體)流動通過其及/或收容或容納電或光學連接件(諸如電線或光纖)之連接件或管(例如金屬或聚合物管)。模組線路32可包含諸如電線或光纖之電或光學連接件。在此實施例中，模組線路32之至少一者經組態以自一或多個流體源(圖2中未展示)接收流體、導引流體流動通過模組20及使流體自模組20排出。例如，模組線路32可包含經組態以接收由模組20內之一真空泵自一或多個處理室或其他實體泵抽之氣體、導引泵抽氣體通過模組20及使泵抽氣體自模組20排出(例如排出至另一模組或完全排出至系統外)之管路。模組線路32可包含經組態以自一設施流體源接收設施流體(例如氮氣、清潔乾燥空氣、冷卻劑、用於控制或監測系統操作之電信號、用於燃燒之燃料、用於形成一電漿之一電漿氣體及用於支援燃燒之空氣或氧氣)、導引設施流體通過模組20及使設施流體自模組20排出(例如排出至另一模組或完全排出至系統外)之管路。模組線路32可包含自遠離模組20之一位置(例如位於一不同模組中或遠離系統之一控制器或處理器)至模組20之一或多個裝置24之電或光學連接件。模組20之模組線路32之至少一者可流體地連接至另一模組之模組線路，如稍後將在下文參考圖5及圖6更詳細描述。
在此實施例中，模組線路32包含用於將氣體(例如製程氣體)接收至模組20中之一氣體連接線路輸入端。在此實施例中，模組線路32包含用於使氣體(例如製程氣體)自模組20排放之一氣體連接線路輸出端。在此實施例中，模組線路32包含用於接收自一設施流體供應器輸送之設施流體之一設施連接線路輸入端。
在此實施例中，模組線路32包含用於接收自一電源輸送之電力之一電力連接線路輸入端。
框架26將一或多個裝置24及連接線路輸入端及輸出端定位於模組中之已知相對位置處。
模組20具有一前側34、一後側36、一頂側38、一底側37及兩個對置橫向側39。
模組20之寬度係模組在橫向維度上(即，在模組20之橫向側39之間的方向上)之最大尺寸。此寬度係共同系統值x之一整數倍。在一些實施例中，基底28之寬度界定模組20之寬度。
模組20之高度係頂側38與底側37之間的距離。在此實施例中，模組化系統2中之所有模組之高度實質上彼此相等且可為(例如) 190 cm至200 cm，例如約198 cm。
模組20之深度係前側34與後側36之間的距離。在此實施例中，模組化系統2中之所有模組之深度實質上彼此相等且可為(例如) 130 cm至140 cm，例如約134 cm。
如稍後將在下文參考圖5及圖6更詳細描述，模組20經組態以經由其橫向側39之任一者或兩者來附接至一或多個其他模組20以構造真空泵及/或減量系統。
框架26之基底28安置於底側37處。
在此實施例中，至少一些模組線路32在模組20之頂側38處延伸至由框架26界定之空間外。此趨向於有利地促進模組20連接至其他模組及/或促進由連接線路連接。
圖3係展示複數個連接線路12之特定連接線路(特定言之，實質上筆直連接線路40及複數個彎角或「彎曲」連接線路42之一選擇)的一示意圖(未按比例繪製)。
連接線路可包含(例如)用於輸送流體之管、用於容納電導體或光纖之外殼(例如管件)、電導體及光纖。
在一些實施例中，複數個連接線路12之至少一些連接線路實質上為剛性的。
筆直連接線路40提供複數個離散連接組件。在此實施例中，各筆直連接線路40具有實質上等於共同系統值x之一整數倍之一長度。筆直連接線路40分組為不同群組，各群組含有一各自長度之筆直連接線路40。一第一群組44包含具有等於x之一長度之筆直連接線路40。一第二群組46包含具有等於2x之一長度之筆直連接線路40。一第三群組48包含具有等於3x之一長度之筆直連接線路40。一第四群組50包含具有等於4x之一長度之筆直連接線路40。一第五群組52包含具有等於6x之一長度之筆直連接線路40。一第六群組54包含具有等於10x之一長度之筆直連接線路40。一第七群組56包含具有等於20x之一長度之筆直連接線路40。在其他實施例中，可使用具有為共同系統值x之一不同整數倍之長度的筆直連接線路。例如，可使用具有等於x、2x、3x、4x、5x、7x、8x、9x、10x、11x、12x、13x、14x、15x、16x、17x、18x、19x、20x及/或20x以上之長度之筆直連接線路。
彎角連接線路42提供複數個離散連接組件。彎角連接線路42可為呈直角(如圖中所展示)或可呈大於或小於90°之其他夾角。在此實施例中，各彎角連接線路42包括成一角度耦合之兩個筆直部分(其等可具有相等長度或不同長度)。在此實施例中，各彎角連接線路42之各筆直部分具有實質上等於共同系統值x之一整數倍之一長度。彎角連接線路42分組為不同群組，各群組含有具有實質上相同尺寸及形狀之彎角連接線路42。一第八群組58包含具有長度x之一第一筆直部分及長度x之一第二筆直部分之彎角連接線路42。一第九群組60包含具有長度x之一第一筆直部分及長度2x之一第二筆直部分之彎角連接線路42。較佳地，提供複數個不同尺寸之彎角組件連接線路42。在其他實施例中，可使用包含具有為共同系統值x之一不同整數倍之長度之筆直部分的彎角連接線路。例如，彎角連接線路可具有筆直部分，各筆直部分具有選自由x、2x、3x、4x、5x、7x、8x、9x、10x、11x、12x、13x、14x、15x、16x、17x、18x、19x、20x及/或20x以上組成之長度群組之一長度。
彎角連接線路42可用於連接未對準或彼此成一角度之其他組件(例如筆直連接線路40)。
有利地，可藉由自群組44至60選擇適當連接線路40、42且將該等選定連接線路40、42連接在一起以提供具有等於一所要長度(該所要長度係共同系統值x之一整數倍)之一總長度之一連接線路來提供該所要長度之一連接線路。
圖4係展示經接合在一起以在界面平面70、72之間形成具有6x之一總長度之連接線路之連接組件之一些實例。存在選擇連接組件來形成一所要長度之各種不同方式且圖4中展示用於產生一長度6x之四種可能，即：2x+2x+2x=6x、2x+4x=6x、3x+2x+x=6x及6x=6x。
圖5係展示由複數個模組20形成之真空泵及/或減量系統80之一透視圖的一示意圖(未按比例繪製)。形成系統80之模組20之一或多者可具有不同於系統80之其他模組20'、20"之一或多者之一寬度或替代地，系統80之模組20可具有實質上彼此相同之寬度。即，各模組20仍具有為共同系統值x之一整數倍之一寬度。
在此實施例中，模組20依一並排鄰接配置連接在一起。各模組20在其橫向側39之一或兩者處附接至一或多個相鄰模組20。
如早先在上文參考圖2所更詳細描述，各模組包括模組線路32。另外，模組20由進一步線路(下文中指稱系統線路82)連接在一起。系統線路82由選自複數個連接線路12之適當長度之連接線路40、42形成。
系統線路82及模組線路32提供容許流體流動通過其之線路及/或諸如電線或光纖之電或光學連接件。系統線路82包括位於模組20外且用於使模組20彼此連接之線路。更具體而言，系統線路82可將模組20串聯或並聯地流體連接在一起以允許流體經由模組20流動通過系統80。
圖6係展示操作中之真空泵及/或減量系統80的一示意圖(未按比例繪製)。
系統80經由系統80與一實體90之間的一流體連接件92 (通常指稱一「前級線路(foreline)」)來流體地連接至實體90。實體90可為(例如)用於一工業程序(諸如半導體製造)中之一室或空間。
系統80亦流體地連接至一排放線路94。
系統80亦經由設施連接線路98來連接至一設施供應器96。設施連接線路98可由選自複數個連接線路12之適當長度之連接線路40、42形成。
在操作中，系統80自實體90泵抽出氣體及/或減少(例如銷毀或處理掉)由實體90產生之非所要物質(其可存在於該製程氣體中)。系統80亦自排放線路94泵抽出氣體(其可能已經歷藉由系統80之一減量裝置之一減量程序)。來自實體90 (例如半導體製造設施)之製程氣體可包含可在一臨限溫度處或該臨限溫度以下由氣體冷凝之一或多個可冷凝物質。
亦在操作中，系統80自設施供應器96經由設施連接線路98來接收諸如冷卻水、清潔乾燥空氣、電力及/或光學信號之設施。此等設施允許模組20之裝置適當操作。在一些實施例中，設施由模組20之一或多者之一或多個設施裝置自設施供應器96接收，且隨後由該一或多個設施裝置經由系統線路82及/或模組線路32來分配至系統中之其他裝置/模組。
真空泵及/或減量系統80可包括一熱管理系統。例如，系統80之裝置24可為一熱管理系統。替代地，熱管理系統可位於模組20外。熱管理系統可包括經組態以管理系統80之製程氣體之一溫度的一或多個處理器及控制器。
在一些實施例中，系統80包括經組態以量測系統內(例如前級線路92內、排放線路94內或模組20之間的一氣體連接線路內)之氣體之溫度的一或多個溫度感測器。在一些實施例中，系統80包括經組態以量測系統內(例如前級線路92內、排放線路94內或模組20之間的一氣體連接線路內)之氣體之壓力的一或多個壓力感測器。
在一些實施例中，熱管理系統經組態以自一或多個溫度感測器、一或多個壓力感測器接收量測及/或自裝置24之一或多者接收操作資料。熱管理系統可經組態以(例如)使用所接收之量測及/或資料來判定或估計系統80之至少一部分內之製程氣體之一溫度分佈。熱管理系統可經組態以(例如)基於所判定或估計之溫度分佈來使系統之至少一部分(例如全部)內之氣體之一溫度維持在一預界定臨限溫度以上。在一些實施例中，預界定臨限溫度係製程氣體中之一或多個可冷凝物質冷凝之一溫度。
在一些實施例中，系統包括經配置以加熱系統80內之各自位置處之氣體的一或多個加熱器。一加熱器可位於一模組20之一框架內。在一些實施例中，系統包括經配置以冷卻系統80內之各自位置處之氣體的一或多個冷卻器(例如散熱器、熱電冷卻器、強制風冷系統、風扇等等)。一冷卻器可位於一模組20之一框架內。熱管理系統可經組態以藉由控制一或多個加熱器及/或一或多個冷卻器來控制系統內之氣體之溫度。
有利地，使用具有為共同系統值x之一整數倍之寬度之模組(其等由具有亦為相同共同系統值x之一整數倍之長度之連接線路連接在一起)趨向於允許預製標準化模組及連接線路。此趨向於促進判定或預測模組及連接線路在系統中如何表現。換言之，模組及連接線路之操作特性趨向於易於(例如)在組裝系統80之前作出預測。此趨向於允許更準確及更容易地判定或預測整個真空泵及減量系統80之效能特性及行為。例如，趨向於明顯更容易地準確特徵化或預測系統80內之氣體之一溫度分佈。此趨向於促進將系統設計為具有一有益或較佳氣體溫度分佈以(例如)減少或消除製程氣體中之可冷凝物質在系統中冷凝。另外，此趨向於有利地促進由熱管理系統對系統80進行熱管理以控制系統內之製程氣體之溫度分佈以(例如)避免製程氣體可冷凝物質冷凝。
習知地，來自泵抽製程氣體之可冷凝物質冷凝成固態或液態會形成堵塞、限制氣流及/或危害系統之操作。此亦會導致製程氣體之處理不太有效。上述系統趨向於有利地減少或消除此等問題。
因此，提供一種用於構造一真空泵及/或減量系統之模組化系統。
有利地，模組及連接線路可經容易及有效率地配置及附接在一起以提供多個不同系統組態以藉此容易地滿足不同真空泵及/或減量要求。
一真空泵及/或減量系統可依諸多方式配置以滿足一總成之各種不同要求。所需泵及/或減量特性取決於諸如一或多個處理室中所執行之程序及所使用之製程氣體之事項。泵特性包含一處理室或各處理室之壓力及流量(或泵抽速度/泵流量)以及其他參數。
可藉由自模組化系統選擇特定真空泵及/或減量模組來達成所需泵及/或減量特性。一組/群組模組中之各模組經組態以併入具有特定泵及/或減量特性之一真空泵及/或減量配置。一組內之模組可彼此相同(即，具有相同泵及/或減量特性)，且不同組之模組可彼此不同(即，具有不同泵及/或減量特性)，因此，可取決於一處理裝置之不同要求而選擇模組。在一些模組中，存在複數個真空泵配置。一真空泵配置可包括一單一真空泵或串聯及/或並聯組態之複數個真空泵。所選擇之該或該等泵可包括(但不限於)以下真空泵機構之任一或多者：渦輪分子泵、牽引泵、渦捲泵、螺旋泵、魯式泵、爪式泵或轉葉泵。
可在設計及安裝系統之前製造及製備模組以藉此減少成本及前置時間。
具有為相同預定共同系統值x之一整數倍之一寬度的各模組趨向於有利地規定：將該等模組連接在一起所需之連接線路(例如管、導管、電力線或用於真空泵及/或減量系統中之任何其他連接線路)之長度具有亦為相同預定共同系統值x之一整數倍之長度。此趨向於允許預製標準化連接線路，其趨向於減少組裝/安裝時間及成本。此外，可在系統安裝之前組態用於連接模組之連接線路之區段以藉此進一步減少安裝時間。
由一所安裝之真空泵及/或減量系統佔據之空間(或佔據面積)趨向於為系統設計之一重要因數。一減小佔據面積趨向於導致減少成本及/或較高生產率。有利地，使用上述模組化系統，各模組及連接線路可在系統界定及安裝之前被設計、製造及組裝且在安裝時佔據安裝系統之一界定空間。此方法趨向於提供整個系統之減小佔據面積。此外，改良系統之總佔據面積之可預測性。
一真空泵配置之尺寸通常取決於其需要達成之泵效能且由於需要不同真空泵配置來達成不同泵效能，所以系統中之模組具有不同模組尺寸約束。具有取決於共同預定值「x」之一寬度之模組趨向於規定模組可經組態以佔據一最小或減小空間量或佔據面積，且亦趨向於規定包括該等模組之系統可經組態以佔據一最小或減小空間量或佔據面積。
在上述實施例中，模組化系統包括四個複數個模組，其等各包括不同各自寬度之模組，即，第一複數個模組具有寬度3x之模組，第二複數個模組具有寬度8x之模組，第三複數個模組具有寬度12x之模組，且第四複數個模組具有寬度15x之模組。然而，在其他實施例中，模組化系統包含具有不同於以上所列寬度之寬度之一或多個模組來替代第一複數個模組、第二複數個模組、第三複數個模組及第四複數個模組之一或多者，或除包含第一複數個模組、第二複數個模組、第三複數個模組及第四複數個模組之一或多者之外，亦包含具有不同於以上所列寬度之寬度之一或多個模組。例如，模組化系統可包含一或多個模組，各模組具有選自由以下各者組成之寬度群組之一寬度：x、2x、3x、4x、5x、6x、7x、8x、9x、10x、11x、12x、13x、14x、15x、16x、17x、18x、19x、20x、21x、22x、23x、24x、25x、27x、28x、29x、30x及30x以上。可包含於模組化系統中之模組之實例包含(但不限於)具有實質上等於3x之寬度之一或多個模組(例如寬度3x之一設施模組，其中x=44 mm，且經組態以自一外部設施供應器接收設施且分配及控制設施至系統中之其他模組之供應)、具有實質上等於8x之寬度之一或多個模組(例如寬度8x之一減量控制模組，其中x=44 mm)、具有實質上等於10x之寬度之一或多個模組(例如包括一或兩個真空泵之一模組，該模組具有10x之一寬度，其中x=44 mm)、具有實質上等於12x之寬度之一或多個模組(例如包括一或兩個真空泵之一模組，該模組具有12x之一寬度，其中x=44 mm)、具有實質上等於14x之寬度之一或多個模組(例如具有14x之一寬度之一減量反應器模組，其中x=44 mm)、具有實質上等於15x之寬度之一或多個模組(例如包括一個、兩個或三個真空泵之一模組，該模組具有15x之一寬度，其中x=44 mm)、具有實質上等於17x之寬度之一或多個模組(例如包括呈一交錯配置之多個真空泵之一模組，該模組具有17x之一寬度，其中x=44 mm)及具有實質上等於20x之寬度之一或多個模組(例如具有20x之一寬度之一減量反應器模組，其中x=44 mm)。
在上述實施例中，模組化系統中之所有模組之高度實質上彼此相等且可為(例如) 190 cm至200 cm，例如約198 cm。當安裝於一系統中時，一模組之高度可(例如)歸因於連接線路自模組之一頂部延伸以將該模組連接至其他模組而大於198 cm。在一些實施例中，模組之一或多者具有不同於其他模組之一或多者之一高度。另外，在一些實施例中，模組之一或多者(例如全部)具有除190 cm至200 cm之外之一高度。較佳地，各模組具有實質上等於某一共同值(例如共同系統值x或不同於x之一值y)之一整數倍之一高度。
在上述實施例中，模組化系統中之所有模組之深度實質上彼此相等且可為(例如) 130 cm至140 cm，例如約134 cm。然而，在其他實施例中，模組之一或多者具有不同於其他模組之一或多者之一深度。另外，在一些實施例中，模組之一或多者(例如全部)具有除130 cm至140 cm之外之一深度。較佳地，各模組具有實質上等於某一共同值(例如共同系統值x、值y或不同於x及y之一值z)之一整數倍之一深度。
在上述實施例中，模組化系統包括筆直連接線路及彎角連接線路。然而，在其他實施例中，模組化系統包含不同形狀連接線路來替代筆直連接線路及彎角連接線路之一或多者，或除包含筆直連接線路及彎角連接線路之一或多者之外，亦包含不同形狀連接線路。可包含於模組化系統中之其他連接線路之實例包含(但不限於) S形彎曲組件、直線連接線路及至少部分可撓曲連接線路(例如一軟管)。
在上述實施例中，模組化系統包括具有上文參考圖3及圖4所描述之長度及形狀之連接線路。然而，在其他實施例中，模組化系統可包括具有不同長度之連接線路來替代圖3及圖4中所展示及上文所更詳細描述之連接線路之一或多者，或除包括圖3及圖4中所展示及上文所更詳細描述之連接線路之一或多者之外，亦包括具有不同長度之連接線路。例如，可判定常用於一安裝系統中之一連接線路具有7x、11x、15x或x之某一其他倍數之一長度，且在此情況中，可期望製造具有該長度之連接線路。可期望減少不同尺寸之連接線路之群組之數目。例如，可期望不產生具有6x之長度之連接線路，此係因為此等線路可易於藉由接合(例如) 3x之組件來提供。在其中連接線路包含一密封載體之實施例中，該等連接線路之長度較佳地包含任何密封載體。
另外，在一些實施例中，模組化系統可包含具有並非為共同系統值x之一整數倍之一長度之一或多個連接線路。可視需要針對任何安裝系統製造不基於值x之訂製組件。例如，可在安裝期間使用具有不基於值x之長度之彎角連接件及/或可撓曲氣體導管來連接相鄰連接線路。此趨向於視需要有利地提供系統之額外可組態度，甚至同時基於共同系統值x來預組態系統之大部分。
在上述實施例中，模組如早先在上文參考圖5及圖6所更詳細描述般將配置及連接在一起。特定言之，模組依一並排鄰接配置連接在一起，各模組在其橫向側之一或兩者處附接至一或多個相鄰模組。然而，在其他實施例中，模組可依一不同方式定位或配置及連接在一起。例如，在一些實施例中，相鄰模組之間存在空間或間隙。此等空間可促進由一使用者接取以(例如)執行維護或保養操作。較佳地，相鄰模組之間的空間或間隙之尺寸係共同系統值x之一整數倍。此趨向於促進由連接線路連接於隔開模組之間。在一些實施例中，一或多個模組可在除其橫向側之一者之外之一側處附接至一或多個相鄰模組。例如，在一些實施例中，一模組在其後側處附接至一不同模組。
2‧‧‧模組化系統 4‧‧‧模組 6‧‧‧模組 8‧‧‧模組 10‧‧‧模組 12‧‧‧連接線路 20、20'、20"‧‧‧模組 22‧‧‧寬度 24‧‧‧裝置 26‧‧‧框架 28‧‧‧基底 30‧‧‧互連條 32‧‧‧模組線路 34‧‧‧前側 36‧‧‧後側 37‧‧‧底側 38‧‧‧頂側 39‧‧‧橫向側 40‧‧‧筆直連接線路 42‧‧‧彎角連接線路 44‧‧‧第一群組 46‧‧‧第二群組 48‧‧‧第三群組 50‧‧‧第四群組 52‧‧‧第五群組 54‧‧‧第六群組 56‧‧‧第七群組 58‧‧‧第八群組 60‧‧‧第九群組 70‧‧‧界面平面 72‧‧‧界面平面 80‧‧‧真空泵及/或減量系統 82‧‧‧系統線路 90‧‧‧實體 92‧‧‧流體連接件/前級線路 94‧‧‧排放線路 96‧‧‧設施供應器 98‧‧‧設施連接線路
圖1係展示一模組化系統的一示意圖(未按比例繪製)； 圖2係展示模組化系統之一模組之一透視圖的一示意圖(未按比例繪製)； 圖3係展示模組化系統之連接線路的一示意圖(未按比例繪製)； 圖4係展示接合在一起之連接線路之一些實例的一示意圖(未按比例繪製)； 圖5係展示由模組化系統之模組及連接線路形成之一真空泵及/或減量系統之一透視圖的一示意圖(未按比例繪製)；及 圖6係展示所安裝之真空泵及/或減量系統的一示意圖(未按比例繪製)。
20‧‧‧模組
24‧‧‧裝置
80‧‧‧真空泵及/或減量系統
90‧‧‧實體
92‧‧‧流體連接件/前級線路
94‧‧‧排放線路
96‧‧‧設施供應器
98‧‧‧設施連接線路

Claims (19)

  1. 一種用於自一實體抽空及減少一氣體之模組化真空泵及減量系統，該系統包括：複數個功能模組；及複數個氣體連接線路，各氣體連接線路用於輸送一氣流通過其；其中該複數個功能模組包括：一第一模組，其包括用於自該實體泵抽該氣體之一真空泵裝置；及一第二模組，其包括用於減少自該實體泵抽之該氣體之一減量裝置；該第一模組定位成在一第一系統維度上相鄰於該第二模組；該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸；該第一模組藉由該複數個氣體連接線路之至少一者來流體地連接至該第二模組，使得該減量裝置可接收由該真空泵裝置自該實體泵抽之該氣體；且該等氣體連接線路之各者包括一或多個區段，各區段具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一尺寸；其中該共同固定系統值係10mm至5cm之範圍內之一值。
  2. 如請求項1之系統，其進一步包括經組態以管理該系統內之該氣體之 一溫度的一熱管理系統。
  3. 如請求項2之系統，其中該熱管理系統經組態以使該系統內之該氣體之一溫度維持在一預界定臨限溫度以上。
  4. 如請求項2或3之系統，其中：該熱管理系統包括選自由溫度感測器、壓力感測器、加熱器及冷卻器組成之器件群組之一或多個器件；且各器件操作性耦合至該等功能模組之一者或該等氣體連接線路之一者。
  5. 如請求項2或3之系統，其中：該熱管理系統係在該複數個功能模組之一第三模組內；該第三模組定位成在該第一系統維度上相鄰於該第一模組及/或該第二模組；且該第三模組在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一整數倍之一最大尺寸。
  6. 如請求項1至3中任一項之系統，其中該第一模組在該第一系統維度上具有為一共同固定系統值之一第一整數倍之一最大尺寸；且該第二模組在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一第二整數倍之一最大尺寸，該第二整數不同於該第一整數。
  7. 如請求項6之系統，其中該第一整數及該第二整數係2至20之範圍內之整數。
  8. 如請求項1至3中任一項之系統，其中各氣體連接線路之一長度係該共同固定系統值之一各自整數倍。
  9. 如請求項1至3中任一項之系統，其中該第一模組及該第二模組之各者包括：一氣體連接線路輸入端，其用於將該氣體接收至該模組中；一氣體連接線路輸出端，其用於自該模組排放該氣體；一設施連接線路輸入端，其用於接收自一設施源輸送之設施；及一框架，其用於將該模組之該真空泵裝置或該減量裝置及該模組之該連接線路輸入端及輸出端定位於該模組之適當位置中。
  10. 如請求項1至3中任一項之系統，其中該複數個功能模組進一步包括至少一進一步模組；該至少一進一步模組之各者定位成在該第一系統維度上相鄰於該第一模組及/或該第二模組；該至少一進一步模組之各者在該第一系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸；該至少一進一步模組之各者操作性耦合至該第一模組及/或該第二模組； 該至少一進一步模組之各者包括選自由以下各者組成之裝置群組之裝置：用於自該實體泵抽該氣體之一真空泵裝置、用於減少自該實體泵抽之該氣體之一減量裝置、用於自一設施供應器接收一第二流體及/或電力且將該所接收之第二流體及/或電力供應至另一模組之一設施裝置及用於控制另一模組之操作之一控制裝置。
  11. 如請求項1至3中任一項之系統，其進一步包括經組態以將該複數個功能模組連接在一起之一或多個連接線路，其中各連接線路之一長度係該共同固定系統值之一各自整數倍，其中該一或多個連接線路係選自由以下各者組成之連接線路群組之連接線路：用於輸送一流體流通過其之一管、用於一電導體或光纖之一外殼、用於電力或一電信號之一電導體、及一光纖。
  12. 如請求項1至3中任一項之系統，其中該等功能模組之各者在一第二系統維度上之尺寸實質上彼此相等，該第二系統維度垂直於該第一系統維度。
  13. 如請求項1至3中任一項之系統，其中該等功能模組之各者在一第二系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸，該第二系統維度垂直於該第一系統維度。
  14. 如請求項12之系統，其中該等模組之各者在一第三系統維度上之尺寸實質上彼此相等，該第三系統維度垂直於該第一系統維度及該第二系統 維度。
  15. 如請求項12之系統，其中該等功能模組之各者在一第三系統維度上具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸，該第三系統維度垂直於該第一系統維度及該第二系統維度。
  16. 一種用於自一實體抽空及減少一氣體之方法，該方法包括：提供一第一模組，該第一模組包括一真空泵裝置；提供一第二模組，該第二模組包括一減量裝置；將該第一模組定位成在一第一系統維度上相鄰於該第二模組，該第一模組及該第二模組在該第一系統維度上各具有為一共同固定系統值之一各自整數倍之一最大尺寸；由至少一氣體連接線路將該第一模組流體地連接至該第二模組，各氣體連接線路包括一或多個區段，各區段具有為該共同固定系統值之一各自整數倍之一尺寸；由該真空泵裝置將氣體自該實體泵抽至該減量裝置；及由該減量裝置減少自該真空泵裝置接收之氣體；其中該共同固定系統值係10mm至5cm之範圍內之一值。
  17. 如請求項16之方法，其進一步包括：由一熱管理系統控制該第一模組、該第二模組及該至少一氣體連接線路之一或多者內之該氣體之一溫度。
  18. 如請求項17之方法，其中：該氣體包括一或多個可冷凝物質；且執行該控制步驟以使該氣體之一溫度維持在該一或多個可冷凝物質冷凝之一臨限溫度以上。
  19. 如請求項16至18中任一項之方法，其中該氣體係來自一半導體製造設施之一製程氣體。
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