CN111315988A - 真空系统管道联接件 - Google Patents

Abstract

一种真空系统管道联接件包括：限定贯穿通路的第一联接构件（36）、限定贯穿通路的第二联接构件（38）以及固定单元（40）。所述第一联接构件（36）具有：第一端部部分（42），所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线（44）；第二端部部分（46），所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线（48），所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及第一连接部分（50），所述第一连接部分连接所述第一端部部分和所述第二端部部分。所述第二联接构件（38）具有：第三端部部分（52），所述第三端部部分具有第三纵向延伸轴线（54）；第四端部部分（56），所述第四端部部分具有第四纵向延伸轴线（58），所述第四纵向延伸轴线相对于所述第三纵向延伸轴线侧向偏移；以及第二连接部分（60），所述第二连接部分连接所述第三端部部分和所述第四端部部分。所述固定单元（40）被配置为在所述第一和第三纵向延伸轴线（44、54）对准的情况下将所述第一端部部分（42）固定到所述第三端部部分（52）。

Description

真空系统管道联接件

技术领域

本发明涉及真空系统管道联接件。

背景技术

真空系统可以包括一个或多个泵送单元、一个或多个减排单元、冷却系统和吹扫气体供应系统，它们通过管道的系统相互连接。这种真空系统中的泵送单元将至少联接到入口管道和排出管道，要被泵送的气体或蒸汽经由该入口管道被输送到泵入口中，泵送的气体或蒸汽经由该排出管道离开泵送单元而输送到大气，或者输送到减排单元以在排放到大气之前进行清洁。

在许多示例中，当组装真空系统时，管道中的一些将不对准，以致不能够使用刚性直列式（inline）真空系统管道联接件。已知的是，通过使用金属波纹管连接未对准的管道来解决这个问题。波纹管能够轴向拉伸或压缩，以补偿两个管道的相应端部之间的距离的变化。同样，如果管道的端部未对准，则波纹管能够侧向变形以补偿未对准。

使用波纹管来补偿两个管道的端部之间的对准的缺乏并非没有问题。虽然波纹管能够侧向变形以补偿管道的未对准，但是金属波纹管可获得的侧向变形的程度是相对有限的。此外，波纹管的侧向变形使波纹管产生应力，并且可以使一个或两个法兰在波纹管的端部处弯曲，使得与正被联接的两个管道的端部形成的相应接头可能受到损害。通过侧向变形使波纹管产生应力也可以使波纹管更容易发生故障，特别是当波纹管受到振动时。

波纹管的另一个问题是，碎片可以在波纹处聚集，使得与波纹管形成的管道联接件容易堵塞。波纹管的又一个问题是，如果通过联接件输送的气体或蒸汽冷凝，则波纹可能聚集水分。已知的是，在真空系统中使用管道加热器来加热管子，以防止或至少减少通过管道输送的气体或蒸汽的冷凝。管道加热器可以包括柔性基底，该基底携带一个或多个电阻加热元件和搭扣等，能够通过该其将加热器固定在围绕管道缠绕的位置中。这种管道加热器在用于波纹管上时不是特别有效。这是因为管道加热器只能够接合波纹的峰顶所提供的相对有限的表面区域。这限制了进入波纹管中的热传导，并且可以导致在没有被管道加热器接触的区域中的冷点。结果是，气体和蒸汽可以在波纹管的相对较冷的表面部分上冷凝，波纹管的波纹为冷凝液体提供捕捉器。

发明内容

本发明提供了一种根据权利要求1所述的真空系统管道联接件。

本发明还包括一种制造根据权利要求1所述的真空系统管道联接件的方法。

本发明还包括根据权利要求9或权利要求10所述的真空系统。

本发明还包括根据权利要求14所述的联接真空系统中的第一管道和第二管道的相应端部的方法。

附图说明

在下面的公开中，将参考附图，在附图中：

图1是真空系统的示意图；

图2是图1的真空系统的真空系统管道联接件的放大示意图；

图3是图2的真空系统管道联接件的两个管道构件的示意图；

图4是图2的真空系统管道联接件的固定单元的平面图；

图5是与图2相对应的视图，其示出了图2的真空系统管道联接件的组装阶段；

图6是包括真空系统管道联接件的另一个真空系统的示意图；以及

图7是配合有管道加热器的图2的真空系统管道联接件的管道构件的示意图。

具体实施方式

参考图1，真空系统10包括泵送单元12和减排单元14。可以包括一个或多个真空泵的泵送单元12可以经由入口线路18与处理设备16连接。过滤器、阀等可以按照需要设置在处理设备16与泵送单元12之间的入口线路18中。排出线路20从泵送单元12延伸。排出线路20由真空系统管道联接件24联接到减排单元14的入口线路22。排出线路26从减排单元14延伸，并且联接到排放线路28，通过该排放线路，由减排单元14清洁的气体从真空系统10输送离开。分流阀30可以设置在排出线路20中，以允许将在排出线路中流动的不需要清洁的气体分流到旁通线路32（该旁通线路通向排放线路28）中，从而绕过减排单元14。

参考图2和图3，真空系统管道联接件24包括第一联接构件36、第二联接构件38和用于将第一联接构件固定到第二联接构件的固定装置40。联接构件36、38中的每一个限定了贯穿通路，在使用中，通过该通路，气体或蒸汽可以在两个管道区段之间流动，这两个管道区段由真空系统管道联接件连接。

如图3中能够最佳看到的，第一联接构件36具有：第一端部部分42，该第一端部部分具有第一纵向延伸轴线44；第二端部部分46，该第二端部部分具有第二纵向延伸轴线48，该第二纵向延伸轴线相对于第一纵向延伸轴线偏移；以及第一连接部分50，该第一连接部分将第一端部部分连接到第二端部部分。第一和第二部分44、46以及连接部分50可以至少部分地由管道构件限定，该管道构件可以包括相互串联焊接的多个管道区段或单段管子。相似地，第二联接构件38具有：第三端部部分52，该第三端部部分具有第三纵向延伸轴线54；第四端部部分56，该第四端部部分具有第四纵向延伸轴线58，该第四纵向延伸轴线相对于第三纵向延伸轴线偏移；以及第二连接部分60，该第二连接部分将第三端部部分连接到第四端部部分。第三和第四端部部分52、56以及连接部分60可以至少部分地由管道构件限定，该管道构件可以包括相互串联焊接的多个管道区段或单段管子。尽管不是必要的，但是如图3中所图示，第一和第二联接构件36、38可以具有至少基本上相同的构造。

如图3中能够最佳看到的，连接部分50具有第五纵向延伸轴线62，该第五纵向延伸轴线横向于第一和第二纵向延伸轴线44、48延伸。相似地，连接部分60具有第六纵向延伸轴线64，该第六纵向延伸轴线横向于第三和第四纵向延伸轴线54、58延伸。第一和第二纵向延伸轴线44、48可以平行延伸，并且第五纵向延伸轴线62可以与第一和第二纵向延伸轴线成1°和45°之间的角度延伸。相似地，第三和第四纵向延伸轴线54、58可以平行延伸，并且第六纵向延伸轴线64可以与第三和第四纵向延伸轴线成5°和45°之间的角度延伸。

固定单元40可以包括任何合适的已知固定单元，它可操作成将真空管线的两个管道构件的端部可释放地相互固定。如所图示的示例中所示，第一和第三端部部分42、52可以进一步包括相应的法兰66、68。固定单元40可以包括适合于以面对面关系将两个法兰66、68夹紧在一起的任何已知的夹紧机构。例如，固定单元40可以包括图4中所示的Edwards KF(NW) 50不锈钢夹紧机构50，在这种情况下，法兰66、68可以设置有倾斜面66I、68I以与这种夹紧机构协作。图4中所示的夹紧机构包括通常为C形的夹紧环，该夹紧环具有由铰链部分74连接的相对臂70、72。臂70、72限定相应的通道76、78，以接收法兰62、64并且与倾斜面66I、68I接合。夹紧环的自由端部80、82由夹紧螺栓84连接。蝶形螺母86可以配合在夹紧螺栓84上，以允许用户选择性地将夹紧环拧紧到法兰66、68上。

虽然不是必要的，但是第二和第四端部部分46、56中的一个或两个可以设置有相应的法兰88、90，并且排出线路20和入口线路22的相应的端部区段20E、22E可以设置有相应的法兰（未示出），以允许使用固定单元92、94将第一和第二联接构件36、38联接到排出管道20和入口22，该固定单元92、94与固定单元40相对应。

端部区段20E具有纵向延伸轴线96，并且端部区段22E具有纵向延伸轴线98。轴线96、98未对准，使得它们之间存在偏移100。如下面参考图5更详细地说明的，通过在拧紧固定单元40、92、94之前使第一和第二联接构件36、38进行适当的相对旋转，用户能够对真空系统管道联接件24进行配置，使得第二纵向延伸轴线48与排出管道端部区段轴96对准，第四纵向延伸轴线58与入口线路端部区段轴线98对准，并且第一纵向延伸轴线44与第三纵向延伸轴线54对准，使得第一和第二联接构件36、38可以是刚性的并且没有柔性联接构件需要被包括在真空系统管道联接件24中以补偿偏移100。

参考图5，真空系统管道联接件24可以通过使用相应的固定单元92、94将第一和第二联接构件36、38松弛地连接到排出线路端部区段20E和入口线路端部区段22E来组装。在这个阶段中，第一和第二联接构件36、38仍然能够相对于排出线路端部区段20E和入口线路端部区段22E旋转并且相对于彼此旋转。由于排出线路20和入口线路22的相应端部区段20E、22E之间的偏移100，第一和第三纵向延伸轴线44、54和法兰66、68可能未对准，使得法兰不能够通过固定单元40相互固定。通过使第一和第二联接构件36、38绕第二和第四纵向延伸轴线48、58（它们与管道轴线96、98对准）进行适当的旋转，能够使第一和第三纵向延伸轴线44、54对准。在这个阶段中，法兰66、68以相对的面对面关系对准。固定单元40然后可以围绕法兰66、68配合，并且与固定单元92、94一起被拧紧，以将真空系统管道联接件牢固地固定在排出线路20与入口线路22之间。

参考图6，真空系统管道联接件24被示出为在另一个真空系统110中使用。真空系统110是模块化真空泵送系统，包括以并排关系布置的多个分立的功能模块。每个功能模块在功能上独立于系统中的一个或多个其它功能模块，并且可以就地与一个或多个邻接的功能模块连接以形成真空系统110。真空系统可以包括形式为泵送模块的至少一个功能模块和形式为减排模块的至少一个功能模块。替代地，真空系统可以包括多个泵送模块或多个减排模块。除了功能模块，真空系统110还可以包括设施模块。在由图6所图示的示例中，存在两个泵送模块112、114、减排模块116和设施模块118。泵送模块112包括至少一个泵送单元120和模块框架。所图示的示例被示出为具有一个泵送单元120，该泵送单元被示出为通过入口线路124与处理仪器122连接。排出线路126从泵送单元延伸到连接线路128，该连接线路将需要清洁的气体输送到减排模块116的第一入口线路130中。分流阀132可以设置在连接线路128中，以允许将在排出线路126中流动的不需要清洁的气体分流到旁通线路134（该旁通线路通向排放线路136）中，从而绕过减排模块116。这个或每个泵送单元120可以包括一个或多个真空泵，并且可以例如包括串联的两个真空泵，例如，充当初级泵或低真空泵的正排量泵和涡轮分子真空泵。

为了便于表示，在图6中只部分地示出了泵送模块114。与泵送模块112一样，泵送模块114包括安装在模块框架中的至少一个泵送单元138，并且这个或每个泵送单元包括一个或多个真空泵。所图示的示例被示出为具有一个泵送单元138。排出线路140从泵送单元138延伸，以将排出气体输送到连接线路142中，该连接线路将来自泵送单元138的排出气体输送到减排模块116的第二入口线路144。连接线路142可以设置有分流阀，以允许将在排出线路中流动的不需要清洁的气体分流到旁通线路148（该旁通线路通向排放线路136）中，从而绕过减排模块116。泵送单元138可以与泵送单元120相似的方式经由入口线路与处理仪器连接。处理仪器可以是处理仪器122或不同的处理仪器。

设施模块118配置为经由输入线路152从设施源150接收设施，并且经由输出线路154将它们分配给泵送模块112、114和减排模块116。设施模块118可以包括一个或多个模块控制器或系统主控制器。设施源150是客户的生产基础设施的一部分，而不是真空系统110的一部分。需要设施来允许泵送模块112、114和减排模块116正确地操作，或者监控或控制真空系统110的操作。例如，设施可以包括清洁的干燥空气、用于吹扫的氮气、用于冷却的水、用于减排过程的氧气和甲烷或等离子形成气体或用于为传感器或控制器供电的低功率（例如，24V DC）。

减排模块116包括至少一个减排单元156，该减排单元配置为减少从泵送模块112、114排出的气体。这个或每个减排单元可以包括燃烧室或等离子燃烧器，尽管可以使用任何其它合适的减排部件。减排头158可以连接到第一和第二入口线路130、144，以用于将来自泵送单元120、138的排出气体输送到减排单元116中。减排头158可以包括多个气体入口，以用于将气体运送到燃烧器中，以便气体只能够在燃烧温度（例如，1000℃）下的环境中混合。这种布置防止可以从泵送单元120、138排出的不相容气体发生上游混合，例如，其中，一种排出气体包括还原剂，而另一种包括氧化剂。排出线路160将来自减排单元156的减少气体输送到排放线路136中。如果真空系统110设计为在其中泵送单元120、138所排出的气体相容的处理环境中操作，则减排头158可以包括歧管，在该歧管中，气体在进入减排单元156之前混合。

在该示例中，真空系统管道联接件24被示出为补偿排出线路126与连接线路128之间的偏移162。然而，要理解，除了用于如图6中所示的直立管路中，真空系统管道联接件24也可以用于水平延伸的管路中。因此，真空系统管道联接件24能够用于补偿连接线路128、142中的一个中的偏移。也要理解，当存在包括未对准的管道区段或管道区段以及未对准的单元入口或出口端口的多个管路时，多个真空系统管道联接件24可以用于真空系统（诸如，真空系统110）中。

在至少一些示例中，每个功能模块都具有宽度W，该宽度W是整数值X的倍数。至少在横向方向上，功能单元（一个或多个泵送单元、在泵送模块和一个或多个减排单元中、在减排模块中）将是功能模块的最大部件。功能模块的宽度W由一个或多个功能单元（一个或多个最大部件）、需要可达性的任何部件和模块框架的宽度决定。一旦系统的所有功能需求都是已知的，真空系统宽度就能够被容易地确定，因为所有功能模块都尽可能地占用最小的空间，同时是将适合所有模块的最大整数值X的倍数。为此，整数值X不会非常小，例如，1mm，因为这将不是可被整除成所有模块宽度的最大整数。使用最大的整数值X允许需要用于可达性的功能单元和部件（其中，宽度可能对它们跨越真空系统的连续性或连接性至关重要）的最小数量的步骤。模块化真空系统可以附加地包括图6中所示的设施模块。设施模块也具有宽度，该宽度是整数值X的倍数。在制造和测试功能模块时，设施模块可以安装在功能模块前面，以为真空系统提供基准并且允许安装外部线路，诸如，图6中所示的连接线路128、142和设施线路152，其中，外部线路不是在安装真空系统之后定制和配合的。要理解，在由图6所图示的模块化真空系统中，可能更需要一种手段来补偿管道区段的未对准，特别是在一些情况下，管路可能是长的，并且具有公差累积的可能性。

图7示出了配合有管道加热器180的真空系统管道联接件24的联接构件36。管道加热器180包括一条柔性基底182，其设置有条184和扣件186。柔性基底182能够以袖带的方式围绕管道，并且通过使用条184和扣件186而被固定就位。管道加热器180进一步包括加热元件188，该加热元件可以被容纳在柔性基底182中或布置在基底的内部面190上。加热元件188可以是电阻加热元件。柔性基底182的内部面190能够跨越至少基本上其全部的宽度而接合管道构件36。在一些示例中，柔性基底182的内部面190之间可以存在至少基本上完全的表面接触。因此，通过选择大小适当的管道加热器180，例如，可以至少沿其基本上整个长度提供连接部分50的至少基本上均匀的加热，由此减少或避免存在冷点的风险，在这些冷点上，流动通过管道构件36的气体可以冷凝。要理解，大小适当的管道加热器可以覆盖联接构件的端部部分42、46，使得法兰之间的联接构件的基本上整个表面被管道加热器接合并且被管道加热器加热。要理解，这种优点不限于图7中所示的特定形式的管道加热器，并且要理解，在原则上，能够将任何合适的已知管道加热器安装在如所示出的通常平滑的圆柱表面（与波纹管的波纹表面相对）上，在至少降低了存在冷点的可能性的情况下，应导致管道构件的均匀加热。

第一和第二管道联接构件的管道构件可以由三个管道区段焊接端部制成，以将相应的法兰焊接到管道构件的相对端部上。方便地，在其它示例中，通过对管道进行CNC折弯，并且然后将法兰焊接到形成的管道的端部，可以在管道构件中产生偏移。技术人员要理解，这些只是可以制造诸如联接构件36、38的联接构件的众多方式的两个示例，并且要理解，给出的示例不应被视为是限制性的。

第一和第二联接构件可以由任何合适的金属制成。金属的选择可以由在使用时流动通过真空系统管道联接件的气体的性质决定。在许多示例中，第一和第二联接构件由合适的不锈钢制成。

要理解，当真空系统管道联接件在真空系统中被固定就位时，它不会变形或产生应力以致提供损坏联接件的可能性。此外，将真空系统管道联接件调整为补偿两个管道区段的未对准不需要向联接件施加很大的力来使其变形。反而，仅需要使第一和第二联接构件相对旋转，以在使用固定单元将管道构件固定就位之前使联接件的最内部的部分的纵向延伸轴线（图3中的第一和第三纵向延伸轴线44、54）对准。另外，因为联接构件不必变形，所以真空系统管道联接件的法兰将不相对于与真空系统管道联接件连接的管道区段上的法兰被弯曲或倾斜。因此，减少泄露形成的可能性。更进一步地，由于联接构件不必变形，安装比使用波纹管更容易，因为安装者在拧紧固定单元时不必保持联接构件上的变形力。

由包括具有如所图示的（例如，在图2和图3中）偏移端部部分的第一和第二联接构件的真空系统管道联接件所提供的进一步的优点是，存在设计联接件的可能性，该联接件与波纹管相比能够更大程度地补偿被连接的管道区段的未对准。参考图3，要理解，通过增加纵向延伸轴线44、54与纵向延伸轴线48、58之间的相应侧向偏移，通过联接件的旋转来产生更大的径向扫掠，从而允许补偿由真空系统管道联接件连接的管道区段之间的相应更大的侧向偏移。在原则上，能够补偿几十毫米的管道偏移的真空系统管道联接件是容易实现的。

在所图示的示例中，真空系统管道联接件被示出为包括两个相同的联接构件。这不是必须的。对于一些应用，可能期望使联接件中的一个比另一个长，以避免必须从具有相应更大数量的接头的更大数量的管道区段建立管道系统。因此，联接件中的一个可以包括足以提供所需的管路的一段管子。

本文中所描述和图示的真空系统管道联接件的示例提供了两个刚性联接构件，这些刚性联接构件具有：相应的外端部部分，该外端部部分能够可释放地固定到要被连接的两个管道区段的相应端部上；以及相应的内端部部分，该内端部部分相对于外端部部分侧向偏移，以便外端部部分绕其相应的纵向延伸轴线的相对旋转使内端部部分的纵向延伸轴线形成弧。通过联接件的适当的相对旋转，在通过固定单元（诸如，环夹紧机构）将内端部部分固定就位之前，内端部部分的纵向延伸轴线能够被对准。联接构件的内端部部分和外端部部分的相应端部可以由法兰和配合在相应法兰之间的联接构件限定，这些法兰设置在使用真空系统管道联接件来连接的管道区段的相应端部处。在联接构件的法兰和管道区段的法兰中的每一个都具有相同的配置的示例中，可以在所有的三个连接位置处使用相同类型的固定单元。

在本说明书中，参考连接管线（诸如，入口线路、排出线路或连接线路）的两个端部区段的真空系统管道联接件。要理解，在上下文中，两个端部区段中的一个可以由一件设备（诸如，泵送单元或减排单元）的入口或排出端口限定。

Claims (17)

1.一种真空系统管道联接件，包括：限定贯通通路的第一联接构件、限定贯通通路的第二联接构件以及固定单元，

其中，所述第一联接构件具有：第一端部部分，所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线；第二端部部分，所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线，所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及第一连接部分，所述第一连接部分连接所述第一端部部分与所述第二端部部分，

其中，所述第二联接构件具有：第三端部部分，所述第三端部部分具有第三纵向延伸轴线；第四端部部分，所述第四端部部分具有第四纵向延伸轴线，所述第四纵向延伸轴线相对于所述第三纵向延伸轴线侧向偏移；以及第二连接部分，所述第二连接部分连接所述第三端部部分与所述第四端部部分，以及

其中，所述固定单元被配置为在所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准的情况下将所述第一端部部分固定到所述第三端部部分。

2.根据权利要求1所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一端部部分包括第一法兰，并且所述第三端部部分包括第三法兰，并且所述固定单元被配置为通过以面对面关系将第一法兰固定到所述第三法兰上而将所述第一端部部分固定到所述第三端部部分。

3.根据权利要求1或2所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一连接部分具有第五纵向延伸轴线，并且所述第五纵向延伸轴线横向于所述第一纵向延伸轴线和所述第二纵向延伸轴线延伸。

4.根据权利要求1、2或3所述的真空系统管道联接件，其中，所述第二连接部分具有第六纵向延伸轴线，并且所述第六纵向延伸轴线横向于所述第三纵向延伸轴线和所述第四纵向延伸轴线延伸。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，以下项中的至少一项：

i）所述第一纵向延伸轴线和所述第二纵向延伸轴线为平行轴线；以及

ii）所述第三纵向延伸轴线和所述第四纵向延伸轴线为平行轴线。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一联接构件和所述第二联接构件包括相应的管道构件，其中，所述第一联接构件的所述管道构件至少部分地限定所述第一端部部分和所述第二端部部分以及所述第一连接部分，并且所述第二联接构件的所述管道构件至少部分地限定所述第三端部部分和所述第四端部部分以及所述第二连接部分。

7.根据权利要求6所述的真空系统管道联接件，其中，所述管道构件具有基本上恒定的直径。

8.根据权利要求6或7所述的真空系统管道联接件，进一步包括管道加热器，其中，所述管道加热器具有内部面，并且在使用中绕所述第一联接构件的所述管道构件缠绕，使得所述内部面接合所述管道构件，并且在所述内部面的纵向方向和横向方向中的至少一个上在所述内部面与所述第一联接构件之间的接合中不存在不连续。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的真空系统管道联接件，其中，所述第一联接构件和所述第二联接构件是刚性体。

10.一种真空系统，包括：泵送单元，所述泵送单元具有入口和出口；以及管线，所述管线联接到所述入口和所述出口中的一个，

其中，所述管线包括：第一管道，所述第一管道具有纵向延伸轴线；以及第二管道，所述第二管道具有相对于所述第一管道的所述纵向延伸轴线侧向偏移的纵向延伸轴线，并且

其中，所述第一管道由所布置的根据前述权利要中的任一项所述的真空系统管道联接件联接到所述第二管道，使得所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准。

11.一种真空系统，包括：减排单元，所述减排单元具有入口和出口；以及管线，所述管线联接到所述入口和所述出口中的一个，

其中，所述管线包括：第一管道，所述第一管道具有纵向延伸轴线；以及第二管道，所述第二管道具有相对于所述第一管道的所述纵向延伸轴线侧向偏移的纵向延伸轴线；并且

其中，所述第一管道由所布置的根据权利要1至9中的任一项所述的真空系统管道联接件联接到所述第二管道，使得所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准。

12.一种制造真空系统管道联接件的方法，所述真空系统管道联接件包括：限定贯穿通路的第一联接构件、限定贯穿通路的第二联接构件以及固定单元，所述固定单元用于将所述第一联接构件固定到所述第二联接构件以提供通过所述第一管道构件和所述第二管道构件的连续流动路径，所述方法包括：

为所述联接构件中的每一个配置：第一端部部分，所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线；第二端部部分，所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线，所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及连接部分，所述连接部分将所述第一端部部分连接到所述第二端部部分。

13.根据权利要求12所述的制造真空系统管道联接件的方法，其中，所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分是通过使管道构件弯曲而被限定的。

14.根据权利要求13所述的制造真空系统管道联接件的方法，其中，所述第一端部部分进一步包括相应的法兰，所述法兰限定所述第一联接构件和所述第二联接构件的相应端部。

15.一种联接真空系统中的第一管道和第二管道的相应端部的方法，其中，所述第一管道具有纵向延伸轴线，并且所述第二管道具有相对于所述第一管道的所述纵向延伸轴线侧向偏移的纵向轴线，并且所述方法包括：

将第一联接构件附接到所述第一管道，其中，所述第一联接构件限定贯穿通路并且具有：第一端部部分，所述第一端部部分具有第一纵向延伸轴线；第二端部部分，所述第二端部部分具有第二纵向延伸轴线，所述第二纵向延伸轴线相对于所述第一纵向延伸轴线侧向偏移；以及第一连接部分，所述第一连接部分将所述第一端部部分连接到所述第二端部部分；

将第二联接构件附接到所述第二管道，其中，所述第二联接构件限定贯穿通路并且具有：第三端部部分，所述第三端部部分具有第三纵向延伸轴线；第四端部部分，所述第四端部部分具有第四纵向延伸轴线，所述第四纵向延伸轴线相对于所述第三纵向延伸轴线侧向偏移；以及第二连接部分，所述第二连接部分将所述第三端部部分与所述第四端部部分连接；

使所述第一联接构件和所述第二联接构件相对旋转，以在所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准的情况下使所述第一端部部分和所述第三端部部分形成面对关系；以及

用固定单元将所述第一端部部分固定到所述第二端部部分。

16.根据权利要求15所述的联接的方法，其中，所述第一联接构件和所述第二联接构件由相应的固定单元附接到所述第一管道和所述第二管道，并且所述方法进一步包括：在使所述第一纵向延伸轴线和所述第三纵向延伸轴线对准之后，通过操作所述固定单元，将所述第一联接构件和所述第二联接构件固定到所述第一管道和所述第二管道。

17.根据权利要求15或16所述的联接的方法，进一步包括：将管道加热器配合到所述第一联接构件，使得所述管道加热器的内部面接合所述第一联接构件，并且在所述内部面的纵向方向和横向方向中的至少一个上在所述内部面与所述第一联接构件之间的接合中不存在不连续。

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