TWI628126B - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

基板收納容器係具備容器本體、蓋體及側方基板支持部。側方基板支持部具有：具有平行的位置關係並支持複數個基板的緣部之複數個板部；及支持板部且被固定於側壁之板部支持部52，板部支持部52具有：朝和複數個板部交叉之方向而涵蓋複數個板部之整體地形成直線狀延伸的溝521A之溝形成部521；形成於溝521A內且以使與溝521A的延伸方向正交之方向的溝521A之寬度變窄的方式突出的突起522；及形成在溝521A的延伸方向之溝521A的中央部之被定位部523。又，在側壁的內面，存在可嵌合於溝521A之直線狀延伸的溝嵌合肋部，在溝嵌合肋部的延伸方向之溝嵌合肋部的中央部，存在可卡止被定位部的定位部。

Description

基板收納容器

本發明係有關一種收納半導體晶圓等之基板的基板收納容器。

在收納半導體晶圓等之基板的容器方面，自昔即知悉一種具備容器本體、蓋體、及基板支持板狀部之構成。

容器本體係具有一端部形成有容器本體開口部，而另一端部為被閉塞之筒狀的壁部。於容器本體內形成基板收納空間。基板收納空間係利用壁部包圍所形成，可收納複數個基板。蓋體可對容器本體開口部裝卸且可閉塞容器本體開口部。基板支持板狀部係以於基板收納空間內成一對的方式設置於壁部。基板支持板狀部在容器本體開口部未被蓋體閉塞時，在使鄰接的基板彼此以既定間隔隔開且並列之狀態，可支持複數個基板的緣部。

在蓋體的部分且為在閉塞容器本體開口部時和基板收納空間對向的部分，設置前保持器(front retainer)。前保持器在容器本體開口部被蓋體所閉塞時可支持複數個基板的緣部。又，裏側基板支持部以與前保持器成一對的方式設置於壁部。裏側基板支持部可支 持複數個基板的緣部。裏側基板支持部係在容器本體開口部被蓋體所閉塞時，透過協同前保持器支持複數個基板，在使鄰接的基板彼此以既定間隔隔開且並列的狀態下保持複數個基板。

容器本體的壁部具有裏壁、上壁、下壁、第1側壁、及第2側壁。基板支持板狀部係設置一對，以在基板收納空間內成一對的方式分別固定於第1側壁、第2側壁。更具體言之，在基板支持板狀部形成有孔部。透過形成在第1側壁、第2側壁的凸部卡合於基板支持板狀部的孔部，基板支持板狀部係分別被固定於第1側壁、第2側壁。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1 國際公開第99/39994號公報

專利文獻2 國際公開第2013/025629號公報

如同前述，由於透過形成在第1側壁、第2側壁的凸部卡合於基板支持板狀部的孔部，基板支持板狀部係分別被固定於第1側壁、第2側壁，故在基板支持板狀部產生變形的情況，難以充分矯正基板支持板狀部之變形。

又，因為形成於第1側壁、第2側壁凸部具有卡合於基板支持板狀部的孔部之構成，所以關於相互 卡合之孔部和凸部，彼此有必要進行尺寸調整。又，在欲使凸部與溝卡合而非卡合於孔部的情況中，難以將基板支持板狀部以高精度固定於第1側壁、第2側壁。

本發明之目的在於提供一種在基板支持板狀部產生變形之情況，可充分矯正基板支持板狀部之變形，且能以高的尺寸精度將基板支持板狀部固定於第1側壁、第2側壁之基板收納容器。

本發明係有關一種基板收納容器，係具備：容器本體，係具備在一端部形成有容器本體開口部而另一端部為被閉塞之筒狀的壁部，該壁部具有裏壁、上壁、下壁及一對的側壁，利用前述上壁的一端部、前述下壁的一端部及前述側壁的一端部形成前述容器本體開口部，利用前述上壁的內面、前述下壁的內面、前述側壁的內面及前述裏壁的內面而形成可收納複數個基板且連通於前述容器本體開口部之基板收納空間；蓋體，係可對前述容器本體開口部裝卸且可閉塞前述容器本體開口部；及側方基板支持部，以在前述基板收納空間內成一對的方式分別固定配置於前述一對的側壁，在前述容器本體開口部未被前述蓋體閉塞時，在使前述複數個基板中之鄰接的基板彼此以既定間隔隔開且並列的狀態下可支持前述複數個基板的緣部，前述側方基板支持部包含：具有平行的位置關係並支持前述複數個基板的緣部之複數個板部；及支持前述板部且被固定於前述側壁之板部支持部，前述板部支持部包含：朝和前述複數個板 部交叉的方向以涵蓋前述複數個板部的整體地形成直線狀延伸的溝之溝形成部；形成於前述溝內且以使和前述溝的延伸方向正交的方向之前述溝的寬度變窄之方式突出的突起；及形成於前述溝的延伸方向之前述溝的中央部之被定位部，在前述側壁的內面，存在可嵌合於前述溝之直線狀延伸的溝嵌合肋部，在前述溝嵌合肋部的延伸方向之前述溝嵌合肋部的中央部，存在可卡止前述被定位部的定位部。

又，較佳為，前述側壁的裏壁側之部分係具 有裏側卡止部，前述板部支持部，係利用從前述板部的長邊方向之一端部到另一端部而連接於前述板部的側端緣之板狀的支持壁所構成，前述溝形成部係存在於前述容器本體開口部側的屬前述支持壁的部分之開口側部，前述裏壁側的屬前述支持壁的部分之裏側部，係具有可卡止於前述裏側卡止部的裏側被卡止部。

又，較佳為，前述板部支持部的前述裏側被 卡止部，係具有可彈性變形且延伸於前述溝的開口方向之被卡止部延伸部、及形成於前述被卡止部延伸部的延伸端部且於前述溝的延伸方向形成比前述被卡止部延伸部還寬幅之被卡止板部，前述側壁的裏側卡止部，係具有形成設為可插入前述被卡止部延伸部但不能插入前述被卡止板部之窄通路的窄通路形成壁，在前述被卡止部延伸部插入前述窄通路時，前述被卡止板部卡止於前述窄通路形成壁。

又，較佳為，前述板部支持部的裏側部之端 部，係具有和連結前述裏壁與前述容器本體開口部之方向及連結前述上壁與前述下壁之方向平行之平坦端部面，前述被卡止部延伸部，係不比前述端部面還突向前述基板收納空間的內方而具有和前述端部面一致之位置關係，或位在比前述端部面還靠前述基板收納空間的外方位置。

又，較佳為，前述被卡止板部，係具有在卡 止於前述窄通路形成壁時可抵接於前述窄通路形成壁之卡合抵接面。

又，較佳為，前述板部支持部的裏側部之端 部，係具有和連結前述裏壁與前述容器本體開口部之方向及連結前述上壁與前述下壁之方向平行之平坦端部面，前述卡合抵接面，係不比前述端部面還突向前述基板收納空間的內方而具有和前述端部面一致之位置關係，或位在比前述端部面還靠前述基板收納空間的外方位置。

又，較佳為，前述卡合抵接面，係由隨著越 朝向前述基板收納空間內方逐漸朝向前述容器本體開口部之斜面所構成。

又，較佳為，具有和前述溝平行的位置關係 之直線狀的肋，其係涵蓋前述溝整體且呈對向地存在於前述支持壁。

依據本發明，可提供一種在基板支持板狀部產生變形之情況，可充分矯正基板支持板狀部之變形，且能以高尺寸精度將基板支持板狀部固定於第1側壁、第2側壁之基板收納容器。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器本體

3‧‧‧蓋體

5‧‧‧基板支持板狀部(側方基板支持部)

20‧‧‧壁部

21‧‧‧容器本體開口部

22‧‧‧裏壁

23‧‧‧上壁

24‧‧‧下壁

25‧‧‧第1側壁

26‧‧‧第2側壁

27‧‧‧基板收納空間

51‧‧‧板部

52‧‧‧支持壁(板部支持部)

251‧‧‧溝嵌合肋部

251A‧‧‧定位溝(定位部)

253‧‧‧窄通路形成壁(裏側卡止部)

253A‧‧‧窄通路

521‧‧‧溝形成部

521A‧‧‧溝

522‧‧‧突起

523‧‧‧對位肋(被定位部)

524‧‧‧直線狀的肋

525C‧‧‧口字狀框部(端部卡合部)

526‧‧‧被卡止部延伸部

527‧‧‧被卡止板部

529‧‧‧卡合抵接面

W‧‧‧基板

圖1係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1之分解斜視圖。

圖2係表示於本實施形態的基板收納容器1之容器本體2的基板收納空間27收納著基板W之狀態的分解斜視圖。

圖3係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方斜視圖。

圖4A係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方剖面圖。

圖4B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方放大剖面圖。

圖5A係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之前方斜視圖。

圖5B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大前方斜視圖。

圖6A係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之後方斜視圖。

圖6B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大後方斜視圖。

圖6C係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之平面圖。

圖6D係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大平面圖。

圖7係表示於本發明之第1實施形態的基板收納容器1之容器本體2的第1側壁25固定有基板支持板狀部5之樣子的側方斜視圖。

圖8A係表示於本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2固定有基板支持板狀部5之樣子的要部平面剖面圖。

圖8B係表示於本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2固定有基板支持板狀部5之樣子的平面放大剖面圖。

圖9A係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之前方斜視圖。

圖9B係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之放大前方斜視圖。

圖9C係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之平面剖面圖。

圖9D係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之被卡止部延伸部526及被卡止板部527的放大平面剖面圖。

圖10A係表示於本發明之第2實施形態的基板收納容器的容器本體2固定有基板支持板狀部5B的樣子之要部平面剖面圖。

圖10B係表示於本發明之第2實施形態的基板收納容器的容器本體2固定有基板支持板狀部5B的樣子之平面放大剖面圖。

圖11A係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5C之前方斜視圖。

圖11B係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5C之放大前方斜視圖。

圖11C係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5C之平面剖面圖。

圖11D係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5C之被卡止部延伸部526C及被卡止板部527的放大平面剖面圖。

以下，針對本發明之第1實施形態的基板收納容器1，一邊參照圖面一邊作說明。圖1係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的分解斜視圖。圖2係表示於本實施形態的基板收納容器1之容器本體2的基板收納空間27收納著基板W之狀態的分解斜視圖。圖3係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方斜視圖。圖4A係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方剖面圖。圖4B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2之側方放大剖面圖。

圖5A係表示本發明之第1實施形態的基板 收納容器1的基板支持板狀部5之前方斜視圖。圖5B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大前方斜視圖。圖6A係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之後方斜視圖。圖6B係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大後方斜視圖。圖6C係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之平面圖。圖6D係表示本發明之第1實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5之放大平面圖。

圖7係表示於本發明之第1實施形態的基板 收納容器1之容器本體2的第1側壁25固定著基板支持板狀部5的樣子之側方斜視圖。圖8A係表示於本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2固定著基板支持板狀部5的樣子之要部平面剖面圖。圖8B係表示於本發明之第1實施形態的基板收納容器1的容器本體2固定著基板支持板狀部5的樣子之平面放大剖面圖。

此處，為方便說明，將後述的從容器本體2 朝向蓋體3之方向(圖1中的左下方)定義成前方D11，其相反方向定義成後方D12，該等定義成前後方向D1。又，後述的從下壁24朝向上壁23之方向(圖1中的上方)定義成上方D21，其相反方向定義成下方D22，該等定義成上下方向D2。又，後述的從第2側壁26朝向第1側壁25之方向(圖1中的左上方)定義成左方D31，其相反方向定義成右方D32，該等定義成左右方向D3。

又，收納於基板收納容器1之基板W(參照圖 2)為圓盤狀的矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等，產業所使用的薄型物。本實施形態中之基板W為直徑450mm的矽晶圓。

如1圖所示，基板收納容器1具有容器本體2、蓋體3、及作為側方基板支持部之基板支持板狀部5。

容器本體2具有一端部形成有容器本體開口部21而另一端部為被閉塞之筒狀的壁部20。容器本體2內形成基板收納空間27。基板收納空間27係被壁部20包圍所形成。在壁部20的部分且是形成基板收納空間27的部分，配置基板支持板狀部5。如圖2所示，在基板收納空間27可收納複數個基板W。

基板支持板狀部5係以在基板收納空間27內於左右方向D3成一對的方式設置於壁部20。基板支持板狀部5係在容器本體開口部21未被蓋體3所閉塞時，在使鄰接的基板W彼此以既定間隔隔開且並列的狀態下可支持複數個基板W的緣部。在基板支持板狀部5的裏側，設置裏側基板支持部6(參照圖7等)。裏側基板支持部6在容器本體開口部21被蓋體3所閉塞時可支持複數個基板W的緣部的後部。

蓋體3可對容器本體開口部21裝卸且可閉塞容器本體開口部21。在蓋體3的部分且為在容器本體開口部21被蓋體3所閉塞時和基板收納空間27對向的部分(圖1所示的蓋體3之裏側的面)，設置前保持器(未圖示)。前保持器(未圖示)係以和裏側基板支持部6成一對的方式配置。

前保持器(未圖示)在容器本體開口部21被蓋 體3所閉塞時可支持複數個基板W的緣部之前部。前保持器(未圖示)係在容器本體開口部21被蓋體3所閉塞時，透過協同裏側基板支持部6支持複數個基板W，在使鄰接的基板W彼此以既定間隔隔開且並列的狀態下保持複數個基板W。

如圖1所示，在構成壁部20之後述的一對側 壁25、26，搬運構件8以沿著側壁25、26的外表面之方式分別和一對的側壁的外表面對向地配置設置。透過搬運構件8之肋82的下部被推高機(未圖示)的叉子所支持，基板收納容器1係可被推高機舉起。以下，針對各部作詳細說明。

如圖1所示，容器本體2的壁部20係具有裏壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及第2側壁26。裏壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及第2側壁26係利用塑膠材等所構成，在第1實施形態中，係利用聚碳酸酯使其一體成形所構成。

第1側壁25與第2側壁26對向，上壁23與下壁24對向。上壁23的後端、下壁24的後端、第1側壁25的後端、及第2側壁26的後端係全部連接於裏壁22。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側壁25的前端、及第2側壁26的前端係構成和裏壁22具對向的位置關係，形成呈大致長方形狀的容器本體開口部21之開口周緣部28。

開口周緣部28係設於容器本體2的一端部， 裏壁22係位在容器本體2的另一端部。利用壁部20的外表面所形成之容器本體2的外形係箱狀。壁部20的內面，即裏壁22的內面、上壁23的內面、下壁24的內面，第1側壁25的內面、及第2側壁26的內面係形成被該等所包圍之基板收納空間27。形成於開口周緣部28之容器本體開口部21係連通於被壁部20所包圍而形成在容器本體2的內部之基板收納空間27。藉由基板W的上面及下面成為大致水平的位置關係，最多可將25片的基板W收納於基板收納空間27。

如圖1所示，在上壁23及下壁24的部分且 為開口周緣部28之近旁的部分，形成朝基板收納空間27的外方凹陷的栓鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。栓鎖卡合凹部231A、231B、241A及241B係在上壁23及下壁24之左右兩端部近旁各1個，共計形成4個。

如圖1所示，凸緣固定部(未圖示)及肋 235A、235B係與上壁23一體成形地設置於上壁23的外表面。凸緣固定部(未圖示)配置在上壁23的中央部。如圖1所示，在凸緣固定部(未圖示)固定著頂凸緣236。頂凸緣236配置在上壁23的中央部。頂凸緣236係於AMHS(自動晶圓搬送系統)、PGV(晶圓基板搬送台車)等中在將基板收納容器1吊下時被掛於作為吊升構件之該等機械臂(未圖示)，因此基板收納容器1係由臂而被吊下。

肋235A從頂凸緣236向左前方、右前方分 別延伸複數條。又，肋235B從頂凸緣236向前方D11延伸複數條，且從頂凸緣236向後方D12延伸複數條。

第1側壁25具有和第2側壁26左右對稱形 狀，故而在以下僅針對第1側壁25作說明，針對第2側壁26係省略說明。如圖1~圖3等所示，第1側壁25具有裏部外表面凹陷部254。又，如圖3所示，第1側壁25具有溝嵌合肋部251、前方凸部252、及作為裏側卡止部之窄通路形成壁253。

如圖1、圖8A所示，裏部外表面凹陷部254， 係以從開口周緣部28朝後方D12慢慢地在左右方向D3之第1側壁25與側壁26之間的距離變小的方式形成階梯狀。

特別是，如圖8A所示，在第1側壁25之裏 側(後側)的裏部外表面凹陷部254的部分係建構成：一對的側壁25、26的外表面係沿著收納於基板收納空間27(參照圖1)之圓盤狀的基板W(參照圖2)的周緣呈階梯狀凹陷，且在左右方向D3之階差係大於在第1側壁25的前側之裏部外表面凹陷部254的部分之階差。裏部外表面凹陷部254的內面亦和裏部外表面凹陷部254的外表面同樣具有階梯狀。

如圖4A所示，溝嵌合肋部251係存在於屬 第1側壁25的內面之部分，即前後方向之容器本體2的縱深的大致3分之1的程度從開口周緣部28朝後方D12的部分。於此部分，存在位有於階梯狀的裏部外表面凹 陷部254之最前方D11的段部254G(圖3等)。溝嵌合肋部251係從第1側壁25的內面之部分，即朝該段部254G的內方進入的部分向前方突出，於上下方向D2呈直線狀延伸。

溝嵌合肋部251可嵌合於後述的溝521A。在 上下方向D2之溝嵌合肋部251的中央部，形成作為定位部的定位溝251A。定位溝251A係從溝嵌合肋部251的突出端，即前端朝後方D12形成缺口，可卡合於後述的作為被定位部的對位肋523。

如圖3等所示，前方凸部252係存在於階梯 狀的裏部外表面凹陷部254的一部分且係從裏壁22算起第1段的部分254B(具有和裏壁22大致平行之壁面的部分(參照圖8B))之內面。在裏部外表面凹陷部254的上端部近旁、下端部近旁、及上下方向D2的中央部共計設置3個前方凸部252。在正面看來，前方凸部252各自具有在上下方向D2偏長的字狀，且朝前方D11突出。後述的作為支持壁52的端部卡合部之口字狀框部525C可卡合於前方凸部252。

又，如圖3等所示，第1段的部分254B(參 照圖8B)和從裏壁22朝向第1段的部分254B的部分254A之連接部分，係具有朝容器本體2的外方突出之外方突出部254H。外方突出部254H的內面係形成朝容器本體2之外方凹陷的凹部。外方突出部254H係於上下方向D2成對地形成。外方突出部254H係在上下方向D2中存在於3個前方凸部252中之上側的前方凸部252與 中央的前方凸部252之間的位置、及下側的前方凸部252與中央的前方凸部252之間的位置。

如圖4B所示，窄通路形成壁253係於各外 方突出部254H分別存在有各1對。窄通路形成壁253係以於上下方向遮住外方突出部254H之前方上部的3分之1及下部的3分之1的程度，從外方突出部254H的內面朝基板收納空間27的內方(右方D32)突出。成對的窄通路形成壁253之間的部分係形成窄通路253A。藉外方突出部254H的內面所形成之空間253B係於前方D11，經由窄通路253A與屬基板收納空間27的部分之比窄通路形成壁253還前面的部分連通。關於空間253B，係與在朝基板收納空間27之內方的方向(右方D32)無需特別遮蔽之屬基板收納空間27的部分之空間253B以外的部分相連通。

基板支持板狀部5(參照圖1)係分別設置於第 1側壁25及第2側壁26，以在左右方向D3成一對之方式配置在基板收納空間27內。具體言之，如圖5A等所示，基板支持板狀部5具有板部51及作為板部支持部的支持壁52。

板部51和支持壁52係以樹脂一體成形所構 成，藉此，板部51被支持壁52所支持。板部51具有板狀的大致弧形狀。板部51係分別於第1側壁25、第2側壁26，在上下方向D2各25片共計設置50片。鄰接的板部51係於上下方向D2以10mm~12mm間隔相互隔開且平行的位置關係作配置。此外，於位在最上之板部 51的上方，配置與另一片板部51平行之板狀的構件59，此乃擔任引導件之角色的構件，其位於最上位置對要插入基板收納空間27內之基板W於該插入之際進行引導。

又，設於第1側壁25之25片的板部51和設 於第2側壁26之25片的板部51係彼此具有在左右方向D3對向之位置關係。又，50片的板部51及擔任與板部51平行之板狀引導件之角色的構件59，係具有和下壁24的內面平行之位置關係。如圖5A等所示，在板部51的上面設置凸部511。被板部51所支持的基板W係僅與凸部511的突出端接觸，不與板部51進行面接觸。

如圖6A所示，支持壁52係利用在上下方向D2及大致前後方向D1延伸之板狀的支持壁52所構成。如圖6A~圖6C所示，支持壁52係從板部51之長邊方向的一端部到另一端部，連接於板部51的側端緣。板狀的支持壁52係沿著板部51的外側端緣朝基板收納空間27彎曲。

亦即，設於第1側壁25之25片的板部51係與設於第1側壁25側之支持壁52連接。同樣地，設於第2側壁26之25片的板部51係與設於第2側壁26側之支持壁52連接。支持壁52係分別固定於第1側壁25、第2側壁26。

支持壁52具有溝形成部521、突起522、作為被定位部的對位肋523、直線狀的肋524、端部面525A、及作為裏側被卡止部之被卡止部延伸部526及被卡止板部527。如圖6A等所示，溝形成部521係存在於 容器本體開口部21之側的支持壁52之部分(開口側部)。更具體言之，開口側部係意味著支持壁52的前端部近旁，溝形成部521係存在於支持壁52的該前端部近旁。

溝形成部521在平面看來係具有朝基板收納 空間27外方延伸並折曲成直角，再朝後方延伸之大致L字狀。透過溝形成部521與支持壁52的外表面52A，形成朝後方D12開口的溝521A。溝521A係朝和複數個板部51交叉的方向，具體言之即朝上下方向D2涵蓋25片的板部51的整體呈直線狀延伸。

突起522在溝521A內形成共12個。在上下 方向D2將溝521A分成上側和下側之情況，於溝521A的上側及下側各自的上端部、中央部、及下端部，各自分別有2個隔著既定間隔存在著。突起522係從形成溝521A的支持壁52之外表面52A朝基板收納空間27外方(左方D31)突出。依此，突起522係使與溝521A的延伸方向正交的方向，即左右方向D3的溝521A之寬度變窄而設為既定寬度。

如圖6A所示，對位肋523係形成在屬溝521A 之延伸方向的上下方向D2之溝521A的中央部。如圖6B等所示，對位肋523係從溝形成部521延伸到支持壁52的外表面52A，而形成將溝521A分割成上側的部分和下側的部分。在上下方向D2之對位肋523的寬度係與在同方向之定位溝251A(圖3等)的寬度同等或小於同方向之定位溝251A的寬度。因此，定位溝251A可插入對位肋523，定位溝251A係依該插入而卡止對位肋523。

如圖6A所示，直線狀的肋524係存在於支 持壁52的外表面52A且為前後方向D1之大致中央位置。如圖6C、圖6D所示，直線狀的肋524在平面看來具有朝基板收納空間27外方延伸，折曲成直角，再朝後方延伸之大致L字狀。直線狀的肋524係以與溝521A(圖6A)具有平行的位置關係並朝上下方向延伸且涵蓋溝521A的大致整體呈對向地存在著。

支持壁52的裏側部之端部，即支持壁52之 後方D12的端部係具有端部壁525。端部壁525係具有和前後方向D1及上下方向D2平行的位置關係之板狀。 端部壁525係具有屬基板收納空間27之內方側的端部壁525之面的端部面525A。端部面525A係由與屬連結裏壁22與容器本體開口部21之方向的前後方向D1及屬連結上壁23與下壁24之方向的上下方向D2平行之平坦面所構成。

如圖5A、圖5B等所示，在端部壁525的上 下2個部位形成朝前方D11凹陷的凹部525B，被卡止部延伸部526係存在於凹部525B。被卡止部延伸部526係和形成凹部525B端部壁525的部分一體成形而連接。被卡止部延伸部526具有和端部壁525平行的位置關係，從構成凹部525B的端部壁525之部分朝屬於溝521A之開口方向的後方D12延伸。

被卡止部延伸部526係能朝端部面525A之 法線方向(左右方向D3)搖動般地可彈性變形。在上下方向D2之被卡止部延伸部526的寬度係小於成對的窄通路 形成壁253間的窄通路253A(參照圖4B)之寬度。因此，該窄通路253A可插入被卡止部延伸部526。如圖8B等所示，被卡止部延伸部526没有比端部面525A還突向基板收納空間27的內方(右方D32)。被卡止部延伸部526之在基板收納空間27的內方側之面(圖8B中的被卡止部延伸部526之右端面)係具有和端部面525A一致之位置關係(同一平面的位置關係)。

如圖5B所示，被卡止板部527係與被卡止 部延伸部526的延伸端部一體成形而形成連接。被卡止板部527係從被卡止部延伸部526的延伸端部朝被卡止部延伸部526的延伸方向(後方D12)稍微延伸，朝基板收納空間27的內方折曲延伸，再朝後方D12折曲並稍微延伸。如圖5B所示，被卡止板部527係在屬溝521A之延伸方向的上下方向D2形成比被卡止部延伸部526還寬幅。因此，上下方向D2之被卡止板部527的寬度係大於成對的窄通路形成壁253(參照圖4B)間的窄通路253A之寬度。因此，被卡止板部527不能插入於窄通路253A。 被卡止板部527之寬板狀的部分528係整體具有大致梯形的大致板狀，上下方向D2之被卡止板部527的寬度，係以被卡止板部527的前端朝被卡止板部527之板狀的部分528的延伸方向前端逐漸變細的方式變小。

連接於被卡止部延伸部526的延伸端部之被 卡止板部527的部分之上側及下側的部分，即被卡止板部527的前端係具有卡合抵接面529。如圖8B所示，卡合抵接面529具有和上下方向D2及左右方向D3平行之 位置關係。如後述，卡合抵接面529係在因被卡止板部527被卡止於窄通路形成壁253而使支持壁52固定於第1側壁25時，會和窄通路形成壁253之後方D12之側的面253C呈面抵接。如圖8B等所示，卡合抵接面529係没有比端部面525A還突向基板收納空間27的內方，而是位在比端部面525A還靠近基板收納空間27的外方位置。

如圖6A所示，在端部壁525的後端，存在 有分別形成長方形的貫通孔之3個口字狀框部525C。3個口字狀框部525C係於上下方向D2以等間隔配置，口字狀框部525C的貫通孔係在前後方向D1開口。口字狀框部525C的貫通孔可分別插入前方凸部252(參照圖3等)。

以上那種構成的基板支持板狀部5被固定於 第1側壁25、第2側壁26，基板支持板狀部5在複數個基板W中的鄰接之基板W彼此以既定間隔隔開之狀態且相互平行的位置關係之狀態，可支持複數個基板W的緣部。

如圖5B所示，裏側基板支持部6具有壁部 基板支持部60。壁部基板支持部60係於基板支持板狀部5的板部51之後端部及支持壁52之後端部，和板部51及支持壁52一體成形。此外，亦可為，裏側基板支持部6係與基板支持板狀部5分開，即壁部基板支持部60係與基板支持板狀部5的板部51及支持壁52分開構成。

壁部基板支持部60係設有與可收納於基板 收納空間27之每一片基板W對應的個數，具體言之，設置25個。設於第1側壁25及第2側壁26的壁部基板支持部60係具有在前後方向D1和後述的前保持器(未圖示)成一對之位置關係。透過在基板收納空間27內收納基板W且閉合蓋體3，使壁部基板支持部60挾持基板W的緣部的端緣。

如圖1所示，蓋體3具有和容器本體2的開 口周緣部28之形狀略呈一致的大致長方形狀。蓋體3可對容器本體2的開口周緣部28裝卸，藉由在開口周緣部28裝設蓋體3，蓋體3可閉塞容器本體開口部21。在蓋體3的內面(圖1所示的蓋體3之裏側的面)，即在蓋體3閉塞容器本體開口部21時與形成於開口周緣部28之正後方D12的位置之階差的部分之面(密封面281)對向的面上安裝有環狀的密封構件4。密封構件4係為以可彈性變形的POE(polyoxyethylene)製、PEE製為首的聚酯系、聚烯烴系等之各種熱可塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等製品。密封構件4係以繞蓋體3的外周緣部一周的方式配置。

在蓋體3裝設於開口周緣部28時，密封構件 4被密封面281和蓋體3的內面所包夾而彈性變形，蓋體3係以密閉容器本體開口部21之狀態進行閉塞。透過自開口周緣部28卸下蓋體3，成為可對容器本體2內的基板收納空間27取放基板W。

於蓋體3設置栓鎖機構。栓鎖機構係設在蓋 體3的左右兩端部近旁，如圖1所示，具備可自蓋體3的上邊朝上方D21突出的2個上側栓鎖部32A、及可自蓋體3的下邊朝下方D22突出的2個下側栓鎖部(未圖示)。2個上側栓鎖部32A係配置於蓋體3的上邊之左右兩端近旁，2個下側栓鎖部係配置於蓋體3的下邊之左右兩端近旁。

於蓋體3的外表面設置操作部33。透過自蓋 體3前側操作操作部33，能使上側栓鎖部32A、下側栓鎖部(未圖示)自蓋體3的上邊、下邊突出，且能形成不自上邊、下邊突出的狀態。透過使上側栓鎖部32A自蓋體3的上邊朝上方D21突出而卡合於容器本體2的栓鎖卡合凹部231A、231B，且下側栓鎖部自蓋體3的下邊朝下方D22突出而卡合於容器本體2的栓鎖卡合凹部241A、241B，使得蓋體3被固定於容器本體2的開口周緣部28。

於蓋體3的內側，形成朝基板收納空間27 的外方凹陷的凹部(未圖示)。前保持器被固定並設置在凹部(未圖示)及凹部的外側之蓋體3的部分(未圖示)。

前保持器具有前保持器基板承接部(未圖 示)。前保持器基板承接部係於左右方向D3以既定間隔隔開且成一對的方式配置各2個。如此作成一對的方式配置各2個的前保持器基板承接部，係以於上下方向D2並列25對的狀態作設置。透過在基板收納空間27內收納基板W且閉合蓋體3，使前保持器基板承接部挾持並支持基板W的緣部之端緣。

於上述構成的基板收納容器1中，基板支持 板狀部5對第1側壁25的裝卸係按以下方式進行。

要將基板支持板狀部5裝設於第1側壁25 時，首先，使對位肋523(參照圖6B)插入定位溝251A(參照圖3)，在使溝嵌合肋部251(參照圖3)嵌合於溝521A(參照圖6B)的同時，使前方凸部252近接配置於口字狀框部525C的貫通孔，俾可將前方凸部252(參照圖3)插入口字狀框部525C(參照圖6A)的貫通孔。然後，使被卡止部延伸部526(參照圖5B)可朝基板收納空間27的內方(圖8B中的右方D32)彎曲般地一邊彈性變形一邊使支持壁52的後部可接近於第1側壁25般地朝左方D31推壓。

藉此，卡合抵接面529(參照圖8B)的端緣越 過窄通路形成壁253之在延伸方向的端緣。然後，透過被卡止板部527卡止於窄通路形成壁253，即透過裏壁側的屬支持壁52的部分之裏側部卡止於裏側卡止部，使得支持壁52被固定於第1側壁25。此時，如圖8B所示，卡合抵接面529係與窄通路形成壁253的後方D12之側的面253C形成面抵接。又，被卡止部延伸部526被插入窄通路253A。又，前方凸部252(參照圖3)被插入口字狀框部525C(參照圖6A)的貫通孔。

在欲將基板支持板狀部5從第1側壁25卸下 時，首先，使被卡止部延伸部526(參照圖8B)可朝基板收納空間27的內方(圖8B中的右方D32)彎曲般地一邊彈性變形一邊將支持壁52的後部拉近到基板收納空間 27的內方。藉此，卡合抵接面529的端緣越過窄通路形成壁253的在延伸方向的端緣。因此透過被卡止板部527從窄通路形成壁253脫離，即透過裏壁側的支持壁52的部分(裏側部)從作為裏側卡止部之窄通路形成壁253脫離，以解除支持壁52朝第1側壁25之固定。

此時，前方凸部252從口字狀框部525C的 貫通孔脫離。然後，藉由將溝嵌合肋部251從溝521A肋卸下並解除嵌合，使基板支持板狀部5從第1側壁25卸下。

依據上述構成之第1實施形態的基板收納容器1，可獲得以下效果。

如同前述，支持壁52係具有朝和複數個板部51交叉的方向以涵蓋複數個板部51整體地形成有直線狀延伸的溝521A之溝形成部521，在第1側壁25的內面，存在可嵌合於溝521A之直線狀延伸的溝嵌合肋部251。

因此，可模仿變形少的容器本體2之溝嵌合肋部251對作為側方基板支持部之基板支持板狀部5的成形收縮所導致的變形，例如翹曲等進行矯正，能使支持基板W的構件之組立精度提升。

又，支持壁52係具有在溝521A的延伸方向之溝521A的中央部所形成之作為被定位部之對位肋523，在溝嵌合肋部251之延伸方向的溝嵌合肋部251的中央部，存在作為可卡止被定位部之定位部的定位溝251A。

因此，相較於將溝521A之延伸方向的一端 作為基準進行定位的情況，透過以定位溝251A卡止對位肋523，可使在溝521A兩端的複數個板部51間之間距方向的尺寸誤差成為1/2。該結果為，無需如同以往進行以下之調整，即在使銷與孔嵌合並將支持壁固定於容器本體而成的構成之情況，必需調整各銷、孔的尺寸。

又，基板支持板狀部5係具有使與形成於溝 521A內之溝521A的延伸方向正交的方向之溝521A的寬度變窄的方式突出之突起522。因此，透過調整突起522的突出量，可就基板支持板狀部5相對於第1側壁25之位置進行微調整。又，在基板支持板狀部5相對於第1側壁25產生晃動的情況，透過調整突起522的突出量，可消除晃動。

又，溝形成部521係存在於容器本體開口部 側之屬支持壁52的部分之開口側部，裏壁側之屬支持壁52的部分之裏側部係具有可卡止於裏側卡止部的裏側被卡止部。且裏側被卡止部係具有可彈性變形且在溝521A之開口方向延伸的被卡止部延伸部526、及形成於被卡止部延伸部526的延伸端部且以比被卡止部延伸部526還寬幅地形成在溝521A的延伸方向之被卡止板部527。 又，第1側壁25的裏側卡止部係具有形成設為可插入被卡止部延伸部526但不能插入被卡止板部527之窄通路253A的窄通路形成壁253。

因此，在將被卡止部延伸部526插入窄通路253A時，可將被卡止板部527卡止於窄通路形成壁253。 且因這樣被卡止，裏壁側之支持壁52的部分係被卡止於裏側卡止部。因此，在支持壁52的裏側和開口側部，可將支持壁52卡止於第1側壁25。

又，被卡止部延伸部526因為没有比端部面 525A還突向基板收納空間27的內方，具有和端部面525A一致的位置關係，故即便是基板支持板狀部5被拉往基板支持板狀部5自第1側壁25卸下的方向，即從裏側朝向開口側之方向(前方D11)的情況，仍可使被卡止板部527難以朝解除被卡止板部527朝窄通路形成壁253之卡止的方向，即基板收納空間27的內方移動。該結果為，可使作為側方基板支持部之基板支持板狀部5變得難以從第1側壁25脫落。

又，由於被卡止板部527具有在卡止於窄通 路形成壁253時可抵接於窄通路形成壁253之卡合抵接面529，故能穩定住被卡止板部527對窄通路形成壁253之卡止。

又，卡合抵接面529没有比端部面525A還 突向基板收納空間27的內方，而是位在端部面525A還靠基板收納空間27的外方位置。因此，即便是基板支持板狀部5被拉往基板支持板狀部5自第1側壁25卸下的方向，即從裏側朝向開口側之方向(前方D11)的情況，仍可使被卡止板部527難以解除被卡止板部527朝窄通路形成壁253之卡止的方向，即基板收納空間27的內方移動。該結果為，可使作為側方基板支持部之基板支持板狀部5變得難以從第1側壁25脫落。

又，具有和溝521A平行的位置關係之直線 狀的肋524以涵蓋溝521A的大致整體且呈對向地存在於支持壁52。因此，可於涵蓋複數個板部51間之間距方向的整體之範圍提高作為板部支持部之支持壁52的強度。

其次，針對本發明之第2實施形態的基板收 納容器，一邊參照圖9A~圖10B一邊作說明。圖9A係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之前方斜視圖。圖9B係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之放大前方斜視圖。圖9C係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B之平面剖面圖。圖9D係表示本發明之第2實施形態的基板收納容器的基板支持板狀部5B的被卡止部延伸部526及被卡止板部527之放大平面剖面圖。圖10A係表示於本發明之第2實施形態的基板收納容器的容器本體2固定有基板支持板狀部5B之樣子的要部平面剖面圖。圖10B係表示於本發明之第2實施形態的基板收納容器的容器本體2固定有基板支持板狀部5B之樣子的平面放大剖面圖。

第2實施形態的基板收納容器在基板支持板 狀部5B的卡合抵接面529B之方向不同這點上是不同於第1實施形態的基板收納容器1。針對和第1實施形態中之各構成同樣的構成，賦予同樣的符號並省略說明。

一邊對比圖8B一邊參照圖10B可明瞭，卡合抵接面529B係利用隨著越朝向基板收納空間27內方 (右方D32)而逐漸朝向容器本體開口部21的平坦斜面(朝向前方D11之平坦斜面)所構成。因此，在卡合抵接面529B，與窄通路形成壁253之後方D12之側的面253C抵接的僅為基板收納空間27內方側的端緣(右方D32側的端緣)。

依據上述構成之第2實施形態的基板收納容 器，可獲得以下效果。

卡合抵接面529B係由隨著越朝向基板收納 空間27的內方而逐漸朝向容器本體開口部的斜面所構成。因此，即便是基板支持板狀部5被拉往基板支持板狀部5自第1側壁25卸下的方向，即從裏側朝向開口側之方向(前方D11)的情況，仍可使被卡止板部527極難朝解除被卡止板部527朝窄通路形成壁253之卡止的方向，即基板收納空間27的內方移動。該結果為，能使作為側方基板支持部之基板支持板狀部5極難從第1側壁25脫落。

其次，針對本發明之第3實施形態的基板收 納容器，一邊參照圖11A~圖11D一邊作說明。圖11A係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5C之前方斜視圖。圖11B係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5C之放大前方斜視圖。圖11C係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5C之平面剖面圖。圖11D係表示本發明之第3實施形態的基板收納容器1的基板支持板狀部5C的被卡止部延伸部526C及被卡止板部527之放大平面剖面圖。

有關第3實施形態的基板收納容器在基板支 持板狀部5C的被卡止部延伸部526C是位在比端部面525A還朝向基板收納空間27的外方(左方D31)這點上，是不同於第1實施形態的基板收納容器1。針對和第1實施形態中之各構成同樣的構成，賦予同樣的符號並省略說明。

如圖11A~圖11D所示，被卡止部延伸部 526C係與構成凹部525B的端部壁525之部分且是比端部面525A還靠基板收納空間27的外方(左方D31)的部分一體成形而連接。而且被卡止部延伸部526C係從構成凹部525B的端部壁525之部分朝屬於溝521A的開口方向之後方D12延伸。因此，如圖11D等所示，被卡止部延伸部526C係不比端部面525A還突向基板收納空間27的內方，而係位在比端部面525A還靠基板收納空間27的外方(左方D31)位置。

又，被卡止部延伸部526C的延伸端部，係 與被卡止板部527的寬幅部分528且係寬幅部分528之位在最前側的部分一體成形而連接。

依據上述構成之第3實施形態的基板收納容 器，可獲得以下效果。

被卡止部延伸部526C係不比端部面525A還 突向基板收納空間27的內方而位在比端部面525A還靠基板收納空間27的外方位置。因此，即便是基板支持板狀部5被拉往基板支持板狀部5自第1側壁25卸下的方向，即從裏側朝向開口側之方向(前方D11)的情況，仍可 使被卡止板部527極難朝解除被卡止板部527朝窄通路形成壁253之卡止的方向，即基板收納空間27的內方移動。該結果為，能使作為側方基板支持部之基板支持板狀部5C極難從第1側壁25脫落。

本發明不受限於上述實施形態，可在申請專利範圍所記載之技術範圍中作變形。例如，基板收納容器1的形狀、構成不受限於上述實施形態的形狀、構成。具體言之，例如，卡合抵接面529係位在比端部面525A還靠基板收納空間27的外方位置，但不受此所限。例如，卡合抵接面亦可不比端部面525A還突向基板收納空間27之內方而具有和端部面525A一致的位置關係。

Claims (8)

1. 一種基板收納容器，係具備：容器本體，係具備在一端部形成有容器本體開口部而另一端部為被閉塞之筒狀的壁部，該壁部具有裏壁、上壁、下壁及一對的側壁，利用前述上壁的一端部、前述下壁的一端部及前述側壁的一端部形成前述容器本體開口部，利用前述上壁的內面、前述下壁的內面、前述側壁的內面及前述裏壁的內面而形成可收納複數個基板且連通於前述容器本體開口部之基板收納空間；蓋體，係可對前述容器本體開口部裝卸且可閉塞前述容器本體開口部；及側方基板支持部，以在前述基板收納空間內成一對的方式分別固定配置於前述一對的側壁，在前述容器本體開口部未被前述蓋體閉塞時，在使前述複數個基板中之鄰接的基板彼此以既定間隔隔開且並列的狀態下可支持前述複數個基板的緣部，前述側方基板支持部包含：具有平行的位置關係並支持前述複數個基板的緣部之複數個板部；及支持前述板部且被固定於前述側壁之板部支持部，前述板部支持部包含：朝和前述複數個板部交叉的方向以涵蓋前述複數個板部的整體地形成直線狀延伸的溝之溝形成部；形成於前述溝內且以使和前述溝的延伸方向正交的方向之前述溝的寬度變窄之方式突出的突起；及形成於前述溝的延伸方向之前述溝的中央部之被定位部，在前述側壁的內面，存在可嵌合於前述溝之直線狀延伸的溝嵌合肋部，在前述溝嵌合肋部的延伸方向之前述溝嵌合肋部的中央部，存在可卡止前述被定位部的定位部。
2. 如請求項1之基板收納容器，其中，前述側壁的裏壁側之部分係具有裏側卡止部，前述板部支持部，係利用從前述板部的長邊方向之一端部到另一端部而連接於前述板部的側端緣之板狀的支持壁所構成，前述溝形成部係存在於前述容器本體開口部側的屬前述支持壁的部分之開口側部，前述裏壁側的屬前述支持壁的部分之裏側部，係具有可卡止於前述裏側卡止部的裏側被卡止部。
3. 如請求項2之基板收納容器，其中，前述板部支持部的前述裏側被卡止部，係具有可彈性變形且延伸於前述溝的開口方向之被卡止部延伸部、及形成於前述被卡止部延伸部的延伸端部且於前述溝的延伸方向形成比前述被卡止部延伸部還寬幅之被卡止板部，前述側壁的裏側卡止部，係具有形成設為可插入前述被卡止部延伸部但不能插入前述被卡止板部之窄通路的窄通路形成壁，在前述被卡止部延伸部插入前述窄通路時，前述被卡止板部卡止於前述窄通路形成壁。
4. 如請求項3之基板收納容器，其中，前述板部支持部的裏側部之端部，係具有和連結前述裏壁與前述容器本體開口部之方向及連結前述上壁與前述下壁之方向平行之平坦端部面，前述被卡止部延伸部，係不比前述端部面還突向前述基板收納空間的內方而具有和前述端部面一致之位置關係，或位在比前述端部面還靠前述基板收納空間的外方位置。
5. 如請求項3之基板收納容器，其中，前述被卡止板部，係具有在卡止於前述窄通路形成壁時可抵接於前述窄通路形成壁之卡合抵接面。
6. 如請求項5之基板收納容器，其中，前述板部支持部的裏側部之端部，係具有和連結前述裏壁與前述容器本體開口部之方向及連結前述上壁與前述下壁之方向平行之平坦端部面，前述卡合抵接面，係不比前述端部面還突向前述基板收納空間的內方而具有和前述端部面一致之位置關係，或位在比前述端部面還靠前述基板收納空間的外方位置。
7. 如請求項5或6之基板收納容器，其中，前述卡合抵接面，係由斜面所構成，該斜面隨著朝向前述基板收納空間內方而朝向前述容器本體開口部傾斜。
8. 如請求項2之基板收納容器，其中，具有和前述溝平行的位置關係之直線狀的肋，係涵蓋前述溝整體且呈對向地存在於前述支持壁。