TWI750241B - 感光性組合物及硬化膜之形成方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種可抑制感光性組合物中之異物之產生且可良好地解析微細圖案之感光性組合物、及使用該感光性組合物之硬化膜之形成方法。 本發明係於含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、及溶劑(S)之感光性組合物中調配胺(E)，且組合使用肟酯化合物(C1)、與肟酯化合物以外之化合物(C2)作為光聚合起始劑(C)，並且將感光性組合物中之氯化物離子量設為1000質量ppm以下。

Description

感光性組合物及硬化膜之形成方法

本發明係關於一種感光性組合物及硬化膜之形成方法。

於如液晶顯示裝置之顯示裝置中，如絕緣膜之材料必須使從如背光裝置之光源發出之光效率良好地透過。因此，為了形成絕緣膜，要求能夠形成透明性優異之膜之材料。

通常此種透明絕緣膜於基板上被圖案化。作為形成經圖案化之透明絕緣膜之方法，已知有例如使用含有具有氧雜環丁烷環之鹼溶性樹脂、聚合性多官能化合物、及α-胺基烷基苯酮系光聚合起始劑之負型感光性組合物之方法(參照專利文獻1)。

此外，近年來，隨著液晶顯示器之生產台數增大，彩色濾光片之生產量亦不斷增大，就進一步提高生產性之觀點而言，期待能夠以低曝光量形成圖案之高感度之感光性組合物。

然而，於彩色濾光片所含之各種功能性膜中含有著色劑。於在感光性組合物中含有著色劑之情形時，若使用專利文獻1所記載之α-胺基烷基苯酮系之光聚合起始劑，則存在難以獲得充分高之感度之問題。

於此種狀況下，作為高感度之感光性組合物，本申請人提出有一種含有特定結構之肟酯化合物作為光聚合起始劑之感光性組合物(參照專利文獻2及3)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2012-173678號公報

[專利文獻2]日本專利特開2012-189996號公報

[專利文獻3]日本專利特開2012-189997號公報

然而，於含有肟酯化合物作為光聚合起始劑之感光性組合物中，雖然感度良好，但另一方面，存在感光性組合物中容易產生異物、或於顯影時不易解析微細之圖案之問題。

本發明係鑒於以上之狀況而完成者，其目的在於提供一種可抑制感光性組合物中之異物之產生且可良好地解析微細圖案之感光性組合物、使用該感光性組合物之硬化膜之形成方法。

本發明者等人發現，藉由在含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、及溶劑(S)之感光性組合物中調配胺(E)，且組合使用肟酯化合物(C1)、與肟酯化合物以外之化合物(C2)作為光聚合起始劑(C)，並且將感光性組合物中之氯化物離子量設為1000質量ppm以下，而可解決上述課題，從而完成本發明。具體而言，本發明提供以下者。

本發明之第1態樣係一種感光性組合物，其係含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、溶劑(S)、及胺(E)者，且光聚合起始劑(C)含有肟酯化合物(C1)、與肟酯化合物以外之化合物(C2)，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。

本發明之第2態樣係一種硬化膜之形成方法，其包括：將第1態樣之感光性組合物塗佈於基板上而形成塗佈膜；及對塗佈膜進行曝光。

根據本發明，可提供一種可抑制感光性組合物中之異物之產生且可良好地解析微細圖案之感光性組合物、及使用該感光性組合物之硬化膜之形成方法。

≪感光性組合物≫

感光性組合物含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、溶劑(S)、及胺(E)。

光聚合起始劑(C)含有肟酯化合物(C1)、與肟酯化合物以外之化合物(C2)。

又，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。

氯化物離子量可依照以下之方法，藉由離子層析法而測定。

(離子層析法測定條件)

管柱：IonPac AS17-C(Thermo Scientific Dionex公司製造)

溶離液：水與乙腈之混合溶液

注入量：1μL

先前已知之含有肟酯化合物(C1)之感光性組合物含有主要源自肟酯化合物(C1)之氯化物離子。因此，先前之感光性組合物中之氯化物離子之含量為超過1000質量ppm之較多量之情況較多。

因此，本發明者進行了研究，結果發現，感光性組合物之較高之氯 化物離子量與感光性組合物中之異物之產生相關。

又，僅含有肟酯化合物(C1)作為光聚合起始劑(C)之感光性組合物雖然感度良好，但另一方面，於曝光後之顯影時難以解析微細之圖案。

本發明者對該方面亦進行了研究，結果發現，關於光聚合起始劑(C)，藉由將肟酯化合物(C1)與肟酯化合物(C1)以外之化合物併用，而可使用感光性組合物解析微細之圖案。

如以上所述，上述感光性組合物可抑制感光性組合物中之異物之產生，且可良好地解析微細之圖案。

以下，對感光性組合物所含之必需或任意之成分進行說明。

<鹼溶性樹脂(A)>

所謂鹼溶性樹脂係指於藉由樹脂濃度20質量%之樹脂溶液(溶媒：丙二醇單甲醚乙酸酯)於基板上形成膜厚1μm之樹脂膜並且於濃度0.05質量%之KOH水溶液中浸漬1分鐘時，膜厚溶解0.01μm以上之樹脂。

作為鹼溶性樹脂(A)之適宜之例，可列舉具有Cardo結構之樹脂(A1)。藉由使用含有具有Cardo結構之樹脂(A1)作為鹼溶性樹脂(A)之感光性組合物，容易形成耐熱性、機械特性、耐溶劑性、耐化學品性等平衡良好而優異之硬化膜。

作為具有Cardo結構之樹脂(A1)，並無特別限定，可使用先前公知之樹脂。其中，較佳為下述式(a-1)所表示之樹脂。

上述式(a-1)中，X^a表示下述式(a-2)所表示之基。

上述式(a-2)中，R^a1分別獨立地表示氫原子、碳原子數1以上且6以下之烴基、或鹵素原子，R^a2分別獨立地表示氫原子或甲基，W^a表示單鍵或下述式(a-3)所表示之基。

又，上述式(a-1)中，Y^a表示從二羧酸酐中去除酸酐基(-CO-O-CO-)所獲得之殘基。作為二羧酸酐之例，可列舉：順丁烯二酸酐、丁二酸酐、亞甲基丁二酸酐、鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基內亞甲基四氫鄰苯二甲酸酐、氯橋酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、戊二酸酐等。

又，上述式(a-1)中，Z^a表示從四羧酸二酐中去除2個酸酐基所獲得之殘基。作為四羧酸二酐之例，可列舉：均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、聯苯四羧酸二酐、聯苯醚四羧酸二酐等。

又，上述式(a-1)中，m表示0以上且20以下之整數。

具有Cardo結構之樹脂(A1)之質量平均分子量(Mw：藉由凝膠滲透層析法(GPC)之聚苯乙烯換算獲得之測定值。於本說明書中相同)較佳為 1000以上且40000以下，更佳為2000以上且30000以下。藉由設為上述範圍，可獲得良好之顯影性，並且可獲得充分之耐熱性、膜強度。

就容易形成機械強度或對基板之密接性優異之膜之方面而言，亦可適宜地使用至少使不飽和羧酸(a1)聚合而成之共聚物(A2)作為鹼溶性樹脂(A)。

作為不飽和羧酸(a1)，可列舉：(甲基)丙烯酸、丁烯酸等單羧酸；順丁烯二酸、反丁烯二酸、甲基順丁烯二酸、甲基反丁烯二酸、亞甲基丁二酸等二羧酸；該等二羧酸之酸酐；等。該等中，就共聚合反應性、所獲得之樹脂之鹼溶性、獲得之容易性等方面而言，較佳為(甲基)丙烯酸及順丁烯二酸酐。該等不飽和羧酸(a1)可單獨使用或組合2種以上使用。

共聚物(A2)亦可為不飽和羧酸(a1)與含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)之共聚物。作為含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)，只要為具有脂環式環氧基之不飽和化合物，則無特別限定。構成脂環式環氧基之脂環式基可為單環，亦可為多環。作為單環之脂環式基，可列舉：環戊基、環己基等。又，作為多環之脂環式基，可列舉：降

基、異

基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基等。該等含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)可單獨使用或組合2種以上使用。

具體而言，作為含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)，例如可列舉下述式(a2-1)~(a2-15)所表示之化合物。該等中，為了使顯影性變得適度，較佳為下述式(a2-1)~(a2-5)所表示之化合物，更佳為下述式(a2-1)~(a2-3)所表示之化合物。

上述式中，R^a20表示氫原子或甲基，R^a21表示碳原子數1以上且6以下之二價之脂肪族飽和烴基，R^a22表示碳原子數1以上且10以下之二價烴基，t表示0以上且10以下之整數。作為R^a21，較佳為直鏈狀或支鏈狀之伸烷基，例如為亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基。作為R^a22，較佳為例如亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基、伸苯基、伸環己基、-CH₂-Ph-CH₂-(Ph表示伸苯基)。

共聚物(A2)亦可為使不具有環氧基之含有脂環式基之不飽和化合物(a3)與上述不飽和羧酸(a1)及上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)一併共聚合而成之共聚物。

作為含有脂環式基之不飽和化合物(a3)，只要為具有脂環式基之不飽和化合物，則無特別限定。脂環式基可為單環，亦可為多環。作為單環之脂環式基，可列舉：環戊基、環己基等。又，作為多環之脂環式基，可列舉：金剛烷基、降

基、異

基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基 等。該等含有脂環式基之不飽和化合物(a3)可單獨使用或組合2種以上使用。

具體而言，作為含有脂環式基之不飽和化合物(a3)，例如可列舉下述式(a3-1)~(a3-7)所表示之化合物。該等中，為了使顯影性變得適度，較佳為下述式(a3-3)~(a3-8)所表示之化合物，更佳為下述式(a3-3)、(a3-4)所表示之化合物。

上述式中，R^a23表示氫原子或甲基，R^a24表示單鍵或碳原子數1以上且6以下之二價之脂肪族飽和烴基，R^a25表示氫原子或碳原子數1以上且5以下之烷基。作為R^a24，較佳為單鍵、直鏈狀或支鏈狀之伸烷基，例如為亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基。作為R^a25，較佳為例如甲基、乙基。

又，共聚物(A2)亦可為使不具有脂環式基之含有環氧基之不飽和化合物(a4)與上述不飽和羧酸(a1)及上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)、進而上述含有脂環式基之不飽和化合物(a3)聚合而成之共聚物。

作為含有環氧基之不飽和化合物(a4)，可列舉：(甲基)丙烯酸縮水甘 油酯、(甲基)丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯等(甲基)丙烯酸環氧烷基酯類；α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸6,7-環氧庚酯等α-烷基丙烯酸環氧烷基酯類；等。該等中，就共聚合反應性、硬化後之樹脂之強度等方面而言，較佳為(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、及(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯。該等含有環氧基之不飽和化合物(a4)可單獨使用或組合2種以上使用。

又，共聚物(A2)亦可為進而使上述以外之其他化合物聚合而成之共聚物。作為此種其他化合物，可列舉：(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯醯胺類、烯丙基化合物、乙烯基醚類、乙烯酯類、苯乙烯類等。該等化合物可單獨使用或組合2種以上使用。

作為(甲基)丙烯酸酯類，可列舉：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸第三辛酯等直鏈狀或支鏈狀之(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸氯乙酯、(甲基)丙烯酸2,2-二甲基羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、三羥甲基丙烷單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸糠酯；等。

作為(甲基)丙烯醯胺類，可列舉：(甲基)丙烯醯胺、N-烷基(甲基)丙烯醯胺、N-芳基(甲基)丙烯醯胺、N,N-二烷基(甲基)丙烯醯胺、N,N-芳基(甲基)丙烯醯胺、N-甲基-N-苯基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基乙基-N-甲基(甲基)丙烯醯胺等。

作為烯丙基化合物，可列舉：乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、月桂酸烯丙酯、棕櫚酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙醯 乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯等烯丙酯類；烯丙氧基乙醇；等。

作為乙烯基醚類，可列舉：己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2,2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羥乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲胺基乙基乙烯基醚、二乙胺基乙基乙烯基醚、丁基胺基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氫糠基乙烯基醚等烷基乙烯基醚；乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2,4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基鄰胺苯甲基醚等乙烯基芳基醚；等。

作為乙烯酯類，可列舉：丁酸乙烯酯、異丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、苯基乙酸乙烯酯、乙醯乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、β-苯基丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、水楊酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、萘甲酸乙烯酯等。

作為苯乙烯類，可列舉：苯乙烯；甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙醯氧基甲基苯乙烯等烷基苯乙烯；甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等烷氧基苯乙烯；氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等鹵代苯乙烯；等。

源自上述不飽和羧酸(a1)之構成單元於共聚物(A2)中所占之比例較佳 為1質量%以上且50質量%以下，更佳為5質量%以上且45質量%以下。

又，於共聚物(A2)含有源自上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)之構成單元與源自上述含有環氧基之不飽和化合物(a4)之構成單元之情形時，源自含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)之構成單元於共聚物(A2)中所占之比例與源自上述含有環氧基之不飽和化合物(a4)之構成單元於共聚物(A2)中所占之比例之合計較佳為20質量%以上，更佳為40質量%以上且95質量%以下，進而較佳為50質量%以上且80質量%以下。尤其是源自上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)之構成單元於共聚物(A2)中所占之比例單獨計較佳為10質量%以上，更佳為20質量%以上且80質量%以下。藉由將源自上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)之構成單元之比例設為上述範圍，可進一步提高感光性組合物之經時穩定性。

又，於共聚物(A2)含有源自含有脂環式基之不飽和化合物(a3)之構成單元之情形時，上述源自含有脂環式基之不飽和化合物(a3)之構成單元於共聚物(A2)中所占之比例較佳為1質量%以上且30質量%以下，更佳為5質量%以上且20質量%以下。

共聚物(A2)之質量平均分子量較佳為2000以上且200000以下，更佳為3000以上且30000以下。藉由設為上述範圍，有容易取得感光性組合物之膜形成能力、曝光後之顯影性之平衡之傾向。

又，作為鹼溶性樹脂(A)，亦可適宜地使用含有至少具有源自上述不飽和羧酸(a1)之構成單元與具有可與下文所述之光聚合性化合物(B)聚合之部位之構成單元的共聚物(A3)之樹脂，或含有至少具有源自上述不飽和羧酸(a1)之構成單元、源自上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)及/或含有環氧基之不飽和化合物(a4)之構成單元及具有可與下文所述之光聚 合性化合物(B)聚合之部位之構成單元的共聚物(A4)之樹脂。於鹼溶性樹脂(A)含有共聚物(A3)、或共聚物(A4)之情形時，可提高使用感光性組合物所形成之膜對基板之密接性、或使用感光性組合物所獲得之硬化膜之機械強度。

共聚物(A3)、及共聚物(A4)亦可為使關於共聚物(A2)而作為其他化合物所記載之(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯醯胺類、烯丙基化合物、乙烯基醚類、乙烯酯類、苯乙烯類等進而共聚合而成之共聚物。

具有可與光聚合性化合物(B)聚合之部位之構成單元較佳為具有乙烯性不飽和基作為可與光聚合性化合物(B)聚合之部位。具有此種構成單元之共聚物化，係關於共聚物(A3)可藉由使含有源自上述不飽和羧酸(a1)之構成單元之聚合物所含之羧基之至少一部分與上述含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)及/或含有環氧基之不飽和化合物(a4)反應而調製。又，共聚物(A4)可藉由使具有源自上述不飽和羧酸(a1)之構成單元與源自含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)及/或含有環氧基之不飽和化合物(a4)之構成單元的共聚物中之環氧基之至少一部分與不飽和羧酸(a1)反應而調製。

共聚物(A3)中之源自不飽和羧酸(a1)之構成單元所占之比例較佳為1質量%以上且50質量%以下，更佳為5質量%以上且45質量%以下。共聚物(A3)中之具有可與光聚合性化合物(B)聚合之部位之構成單元所占之比例較佳為1質量%以上且45質量%以下，更佳為5質量%以上且40質量%以下。於共聚物(A3)以此種比率含有各構成單元之情形時，容易獲得可形成與基板之密接性優異之膜之感光性組合物。

共聚物(A4)中之源自不飽和羧酸(a1)之構成單元所占之比例較佳為1質量%以上且50質量%以下，更佳為5質量%以上且45質量%以下。共聚物 (A4)中之源自含有脂環式環氧基之不飽和化合物(a2)及/或含有環氧基之不飽和化合物(a4)之構成單元所占之比例較佳為20質量%以上，更佳為50質量%以上且95質量%以下，進而較佳為60質量%以上且80質量%以下。

共聚物(A4)中之具有可與光聚合性化合物(B)聚合之部位之構成單元所占之比例較佳為1質量%以上且45質量%以下，更佳為5質量%以上且40質量%以下。於共聚物(A4)以此種比率含有各構成單元之情形時，容易獲得可形成與基板之密接性優異之膜之感光性組合物。

共聚物(A3)、及共聚物(A4)之質量平均分子量較佳為2000以上且50000以下，更佳為5000以上且30000以下。藉由設為上述範圍，有容易取得感光性組合物之膜形成能力、曝光後之顯影性之平衡之傾向。

鹼溶性樹脂(A)之含量相對於除下文所述之溶劑(S)之質量以外之感光性組合物之質量，較佳為40質量%以上且85質量%以下，更佳為45質量%以上且75質量%以下。又，鹼溶性樹脂(A)於將鹼溶性樹脂(A)之含量、光聚合性化合物(B)之含量及光聚合起始劑(C)之含量之合計量設為100質量份之情形時，較佳為以感光性組合物中之光聚合性化合物(B)之含量成為5質量份以上且50質量份以下之方式調配為感光性組合物。

如上文所述，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。因此，必須亦將鹼溶性樹脂(A)中之氯化物離子量減小某種程度。

作為減小鹼溶性樹脂(A)中之氯化物離子量之方法，可列舉利用水、有機溶劑、有機溶劑之水溶液等之洗淨或調製鹼溶性樹脂(A)之溶液後使所獲得之溶液與陰離子交換樹脂接觸之方法等。

<光聚合性化合物(B)>

作為光聚合性化合物(B)，可較佳地使用具有乙烯性不飽和基之單 體。該具有乙烯性不飽和基之單體有單官能單體與多官能單體。

作為單官能單體，可列舉：(甲基)丙烯醯胺、羥甲基(甲基)丙烯醯胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸、反丁烯二酸、順丁烯二酸、順丁烯二酸酐、亞甲基丁二酸、亞甲基丁二酸酐、甲基順丁烯二酸、甲基順丁烯二酸酐、丁烯酸、2-丙烯醯胺-2-甲基丙磺酸、第三丁基丙烯醯胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羥基丙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基-2-羥基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、鄰苯二甲酸衍生物之半(甲基)丙烯酸酯等。該等單官能單體可單獨使用或組合2種以上使用。

另一方面，作為多官能單體，可列舉：乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、 2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基聚乙氧基苯基)丙烷、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚縮水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯(即，甲苯二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、或六亞甲基二異氰酸酯等與(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯之反應物)、亞甲基雙(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯胺亞甲基醚、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺之縮合物等多官能單體、或三丙烯酸基縮甲醛等。該等多官能單體可單獨使用或組合2種以上使用。

該等具有乙烯性不飽和基之單體中，就具有提高感光性組合物對基板之密接性、感光性組合物之硬化後之強度之傾向的方面而言，較佳為3官能以上之多官能單體，更佳為4官能以上之多官能單體，進而較佳為5官能以上之多官能單體。

光聚合性化合物(B)之組合物中之含量相對於除下文所述之溶劑(S)之質量以外之感光性組合物之質量，較佳為1質量%以上且50質量%以下，更佳為5質量%以上且40質量%以下。藉由設為上述範圍，具有容易取得感度、顯影性、解析性之平衡之傾向。

如上文所述，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。因此，必須亦將光聚合性化合物(B)中之氯化物離子量減小某種程度。

作為減小光聚合性化合物(B)中之氯化物離子量之方法，可列舉利用水、有機溶劑、有機溶劑之水溶液等之洗淨或進行蒸餾、再結晶而調製鹼 溶性樹脂(A)之溶液後使所獲得之溶液與陰離子交換樹脂接觸之方法等。

<光聚合起始劑(C)>

感光性組合物含有光聚合起始劑(C)。光聚合起始劑(C)組合含有肟酯化合物(C1)及肟酯化合物以外之化合物(C2)。以下，對肟酯化合物(C1)、及化合物(C2)進行說明。

(肟酯化合物(C1))

感光性組合物必須含有肟酯化合物(C1)作為光聚合起始劑。作為肟酯化合物(C1)，只要為作為光聚合起始劑而發揮作用之化合物，並且為含有經酯化之肟基且作為光聚合起始劑而發揮作用之化合物，則無特別限定。

典型而言，作為肟酯化合物(C1)，可適宜地使用下述式(1)所表示之化合物。包含

(式(1)中，R¹、R²、及R³分別獨立為具有與碳原子鍵結之鍵結鍵之一價有機基。n0為0或1)

所表示之化合物。因此，感光性組合物之感度優異。

然而，若僅使用肟酯化合物(C1)作為光聚合起始劑(C)，則難以解析微細之圖案。與此相對，若併用肟酯化合物(C1)與肟酯化合物以外之化合物(C2)作為光聚合起始劑(C)，則具有良好之感度，並且容易藉由顯影改造微細之圖案。

光聚合起始劑(C)可組合含有2種以上之肟酯化合物(C1)。

式(1)中，作為適宜作為R¹之有機基之例，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌

-1-基等。

又，作為R¹，亦較佳為環烷基烷基、芳香環上可具有取代基之苯氧基烷基、芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基。苯氧基烷基、及苯基硫基烷基可具有之取代基與R¹所含之苯基可具有之取代基相同。

於R¹為烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且6以下。又，於R¹為烷基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為R¹為烷基之情形時之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R¹為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

於R¹為烷氧基之情形時，烷氧基之碳原子數較佳為1以上且20以下， 更佳為1以上且6以下。又，於R¹為烷氧基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為R¹為烷氧基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R¹為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉：甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。

於R¹為環烷基或環烷氧基之情形時，環烷基或環烷氧基之碳原子數較佳為3以上且10以下，更佳為3以上且6以下。作為R¹為環烷基之情形時之具體例，可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R¹為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉：環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。

於R¹為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之碳原子數較佳為2以上且21以下，更佳為2以上且7以下。作為R¹為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉：乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一碳醯基、正十二碳醯基、正十三碳醯基、正十四碳醯基、正十五碳醯基、及正十六碳醯基等。作為R¹為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉：乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸 醯氧基、正十一碳醯氧基、正十二碳醯氧基、正十三碳醯氧基、正十四碳醯氧基、正十五碳醯氧基、及正十六碳醯氧基等。

於R¹為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之碳原子數較佳為2以上且20以下，更佳為2以上且7以下。作為R¹為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。

於R¹為苯基烷基之情形時，苯基烷基之碳原子數較佳為7以上且20以下，更佳為7以上且10以下。又，於R¹為萘基烷基之情形時，萘基烷基之碳原子數較佳為11以上且20以下，更佳為11以上且14以下。作為R¹為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉：苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為R¹為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉：α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。於R¹為苯基烷基、或萘基烷基之情形時，R¹亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。

於R¹為雜環基之情形時，雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或者為該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數最多為3。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉：呋喃、噻吩、吡咯、

唑、異

唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡

、嘧啶、嗒

、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚

、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞

、

啉、喹

啉、哌啶、哌

、嗎啉、哌啶、四氫吡喃、及四氫呋喃等。於R¹為雜環基之情形時，雜環基可進而具有取代基。

於R¹為雜環基羰基之情形時，雜環基羰基所含之雜環基與R¹為雜環基之情形時相同。

於R¹為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，有機基之適宜之例可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且21以下之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、及雜環基等。該等適宜之有機基之具體例與R¹相同。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉：甲基胺基、乙基胺基、二乙胺基、正丙基胺基、二正丙胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。

作為R¹所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、飽和脂肪族醯氧基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯硫基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、 可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、胺基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素原子、硝基、及氰基等。

於R¹所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於R¹所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

於取代基為烷基之情形時，較佳為碳原子數為1以上且20以下，更佳為碳原子數為1以上且6以下。於取代基為烷基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為取代基為烷基之情形時之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於取代基為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

於取代基為烷氧基之情形時，較佳為碳原子數為1以上且20以下，更佳為碳原子數為1以上且6以下。又，於取代基為烷氧基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為取代基為烷氧基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧 基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於取代基為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉：甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。

於取代基為環烷基或環烷氧基之情形時，較佳為碳原子數為3以上且10以下，更佳為碳原子數為3以上且6以下。作為取代基為環烷基之情形時之具體例，可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為取代基為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉：環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。

於取代基為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，較佳為碳原子數為2以上且20以下，更佳為碳原子數為2以上且7以下。作為取代基為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉：乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一碳醯基、正十二碳醯基、正十三碳醯基、正十四碳醯基、正十五碳醯基、及正十六碳醯基等。作為取代基為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉：乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一碳醯氧基、正十二碳醯氧基、正十三碳醯氧基、正十四碳醯氧基、正十五碳醯氧基、及正十六碳醯氧基等。

於取代基為烷氧基羰基之情形時，較佳為碳原子數為2以上且20以下，更佳為碳原子數為2以上且7以下。作為取代基為烷氧基羰基之情形時 之具體例，可列舉：甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。

於取代基為可具有取代基之苯基烷基之情形時，較佳為碳原子數為7以上且20以下，更佳為碳原子數為7以上且10以下。又，於取代基為可具有取代基之萘基烷基之情形時，較佳為碳原子數為11以上且20以下，更佳為碳原子數為11以上且14以下。作為取代基為可具有取代基之苯基烷基之情形時之具體例，可列舉：苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為取代基為可具有取代基之萘基烷基之情形時之具體例，可列舉：α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。

於取代基為可具有取代基之雜環基之情形時，上述雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或者為該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於上述雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數最多為3。作為構成該雜環基之雜環，可列舉：呋喃、噻吩、吡咯、

唑、異

唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡

、嘧啶、嗒

、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚

、苯并咪唑、苯并三唑、苯并

唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞

、

啉、及喹

啉等。

於取代基為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，作為有機基之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且 10以下之環烷基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、及雜環基等。該等適宜之有機基之具體例與上述關於取代基所例示之基相同。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉：甲基胺基、乙基胺基、二乙胺基、正丙基胺基、二正丙胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。

於上述取代基中，作為苯基、萘基、及雜環基等進而具有取代基之情形時之取代基之例，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基；碳原子數1以上且6以下之烷氧基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基；碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌

-1-基；鹵素原子；硝基；氰基。於上述取代基所含之苯基、萘基、及雜環基等進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於苯基、萘基、及雜環基等具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

於有機基中，作為R¹，較佳為烷基、環烷基、可具有取代基之苯基、或環烷基烷基、芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基。作為烷基，較佳為碳原子數1以上且20以下之烷基，更佳為碳原子數1以上且8以下之烷基，尤佳為碳原子數1以上且4以下之烷基，最佳為甲基。於可具有取代基之苯基中，較佳為甲基苯基，更佳為2-甲基苯基。環烷基烷基所含之環烷基之碳原子數較佳為5以上且10以下，更佳為5以上且8以下，尤佳為5或6。環烷基烷基所含之伸烷基之碳原子數較佳為1以上且8以下，更佳為1以上且4以下，尤佳為2。於環烷基烷基中，較佳為環戊基乙基。芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基所含之伸烷基之碳原子數較佳為1以上且8以下，更佳為1以上且4以下，尤佳為2。於芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基中，較佳為2-(4-氯苯基硫基)乙基。

又，作為R¹，亦較佳為-A^c1-CO-O-A^c2所表示之基。A^c1為二價有機基，較佳為二價烴基，較佳為伸烷基。A^b2為一價有機基，較佳為一價之烴基。

於A^c1為伸烷基之情形時，伸烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。於A^c1為伸烷基之情形時，伸烷基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下，尤佳為1以上且4以下。

作為A^c2之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且10以下之烷基、碳原子數7以上且20以下之芳烷基、及碳原子數6以上且20以下之芳香族烴基。作為A^c2之適宜之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、正己基、苯基、萘基、苄基、苯乙基、α-萘基甲基、及β-萘基甲基等。

作為-A^c1-CO-O-A^c2所表示之基之適宜之具體例，可列舉：2-甲氧基 羰基乙基、2-乙氧基羰基乙基、2-正丙氧基羰基乙基、2-正丁氧基羰基乙基、2-正戊氧基羰基乙基、2-正己氧基羰基乙基、2-苄氧基羰基乙基、2-苯氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基正丙基、3-乙氧基羰基正丙基、3-正丙氧基羰基正丙基、3-正丁氧基羰基正丙基、3-正戊氧基羰基正丙基、3-正己氧基羰基正丙基、3-苄氧基羰基正丙基、及3-苯氧基羰基正丙基等。

以上，已對R¹進行了說明，但作為R¹，較佳為下述式(c1a)或(c1b)所表示之基。

(式(c1a)及(c1b)中，R⁷及R⁸分別為有機基，p為0以上且4以下之整數，於R⁷及R⁸存在於苯環上鄰接之位置之情形時，R⁷與R⁸可互相鍵結而形成環，p為1以上且8以下之整數，r為1以上且5以下之整數，s為0以上且(r+3)以下之整數，R⁹為有機基)

關於式(c1a)中之R⁷及R⁸之有機基之例與R¹相同。作為R⁷，較佳為烷基或苯基。於R⁷為烷基之情形時，其碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且5以下，尤佳為1以上且3以下，最佳為1。即，R⁷最佳為甲基。

於R⁷與R⁸鍵結而形成環之情形時，該環可為芳香族環，亦可為脂肪族環。作為式(c1a)所表示且R⁷與R⁸形成環之基之適宜之例，可列舉萘-1-基、或1,2,3,4-四氫萘-5-基等。上述式(c1a)中，p為0以上且4以下之整數，較佳為0或1，更佳為0。

上述式(c1b)中，R⁹為有機基。作為有機基，可列舉與針對R¹所說明之有機基相同之基。

於作為R⁹之有機基中，較佳為烷基。烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀。烷基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且5以下，尤佳為1以上且3以下。作為R⁹，可較佳地例示甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基等，該等中，更佳為甲基。

上述式(c1b)中，r為1以上且5以下之整數，較佳為1以上且3以下之整數，更佳為1或2。上述式(c1b)中，s為0以上且(r+3)以下，較佳為0以上且3以下之整數，更佳為0以上且2以下之整數，尤佳為0。上述式(c1b)中，q為1以上且8以下之整數，較佳為1以上且5以下之整數，更佳為1以上且3以下之整數，尤佳為1或2。

式(1)中，R²為有機基。作為該有機基，較佳為可具有取代基之芳基、或可具有取代基之雜芳基。作為可具有取代基之芳基，例如可列舉可具有取代基之苯基。作為可具有取代基之雜芳基，例如可列舉可具有取代基之咔唑基。

於R²中，芳基、雜芳基、苯基、或咔唑基可具有之取代基於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定。作為芳基、雜芳基、苯基、或咔唑基可於碳原子上具有之適宜之取代基之例，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、飽和脂肪族醯氧基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯硫基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具 有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、胺基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素原子、硝基、及氰基等。

於R²為雜芳基或咔唑基之情形時，作為雜芳基可於氮原子等雜原子上具有之適宜之取代基、及咔唑基可於氮原子上具有之適宜之取代基之例，可列舉：烷基、環烷基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及可具有取代基之雜環基羰基等。該等取代基中，較佳為烷基，更佳為碳原子數1以上且20以下之烷基，進而更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基，尤佳為乙基。

關於芳基、雜芳基、苯基、或咔唑基可具有之取代基之具體例，關於烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、飽和脂肪族醯氧基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及經1個或2個有機基取代之胺基，與針對R¹所說明者相同。

於上述取代基中，關於苯基、萘基、及雜環基等進而具有取代基之情形時之取代基，與針對R¹所說明者相同。

於R²中，就感光性組合物之感度優異之方面而言，較佳為下述式(1-1)或(1-2)所表示之基，更佳為下述式(1-1)所表示之基，尤佳為下述式(1-1)所表示且A為S之基。

(R⁴為選自由一價有機基、胺基、鹵素原子、硝基、及氰基所組成之群中之基，A為S或O，n為0以上且4以下之整數)

(R⁵及R⁶分別為一價有機基)

於使用感光性組合物形成圖案之情形時，因形成圖案時之後烘烤之步驟中之加熱，導致圖案容易產生著色。然而，於感光性組合物中，於使用R²為上述式(1-1)所表示且A為S之基之式(1)所表示之肟酯化合物作為光聚合起始劑之情形時，容易抑制由加熱引起之圖案之著色。

於式(1-1)中之R⁴為有機基之情形時，可於不阻礙本發明之目的之範圍內，從各種有機基中選擇。作為式(1-1)中R⁴為有機基之情形時之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基；碳原子數1以上且6以下之烷氧基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基；碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基；具有碳原子數1以 上且6以下之烷基之二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌

-1-基；鹵素；硝基；氰基。

於R⁴中，較佳為：苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；硝基，更佳為：苯甲醯基；萘甲醯基；2-甲基苯基羰基；4-(哌

-1-基)苯基羰基；4-(苯基)苯基羰基。

又，於式(1-1)中，n較佳為0以上且3以下之整數，更佳為0以上且2以下之整數，尤佳為0或1。於n為1之情形時，較佳為R⁴所鍵結之位置相對於R⁴所鍵結之苯基與原子A鍵結之鍵結鍵而為對位。

式(1-2)中之R⁵可於不阻礙本發明之目的之範圍內，從各種有機基中選擇。作為R⁵之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基烷基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及可具有取代基之雜環基羰基等。

於R⁵中，較佳為碳原子數1以上且20以下之烷基、及碳原子數2以上且20以下之烷氧基烷基，更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基、及碳原子數2以上且6以下之烷氧基烷基，尤佳為乙基、及乙氧基乙基。

式(1-2)中之R⁶於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定，可從各種有機基中選擇。作為適宜作為R⁶之基之具體例，可列舉：碳原子數1 以上且20以下之烷基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之萘基、及可具有取代基之雜環基。作為R⁶，該等基中，更佳為可具有取代基之苯基、或可具有取代基之噻吩基，尤佳為2-甲基苯基、或噻吩基。

作為R⁴、R⁵、或R⁶所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基、碳原子數1以上且6以下之烷氧基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R⁴、R⁵、或R⁶所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於R⁴、R⁵、或R⁶所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

式(1)中，R³為有機基。作為有機基，並無特別限定，較佳為烷基、芳基。作為烷基，較佳為碳原子數1以上且11以下之烷基。作為芳基，為可具有取代基之苯基。可具有取代基之苯基中之取代基與針對R¹所說明之取代基相同。

作為R³，更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基、及苯基，尤佳為甲基、乙基、及苯基，最佳為甲基、及乙基。

作為以上所說明之式(1)所表示之肟酯化合物之適宜之具體例，可列舉以下之化合物。

作為式(1)所表示之化合物，亦較佳為使用下述式(c1)所表示之肟酯化合物。

(R^c1為選自由一價有機基、胺基、鹵素、硝基、及氰基所組成之群中之基，n1為0以上且4以下之整數，n2為0、或1，R^c2為可具有取代基之苯基、或可具有取代基之咔唑基，R^c3為碳原子數1以上且6以下之烷基)

式(c1)中，R^c1於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定，可從各種有機基中適當選擇。作為R^c1為有機基之情形時之適宜之例，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、飽和脂肪族醯氧基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、胺基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於n1為2以上且4以下之整數之情形時，R^c1可相同亦可不同。又，取代基之碳原子數中不包括取代基所進而具有之取代基之碳原子數。

於R^c1為烷基之情形時，較佳為碳原子數為1以上且20以下，更佳為碳原子數為1以上且6以下。又，於R^c1為烷基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為R^c1為烷基之情形時之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R^c1為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

於R^c1為烷氧基之情形時，較佳為碳原子數為1以上且20以下，更佳為碳原子數為1以上且6以下。又，於R^c1為烷氧基之情形時，可為直鏈， 亦可為支鏈。作為R^c1為烷氧基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R^c1為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉：甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。

於R^c1為環烷基、或環烷氧基之情形時，較佳為碳原子數為3以上且10以下，更佳為碳原子數為3以上且6以下。作為R^c1為環烷基之情形時之具體例，可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R^c1為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉：環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。

於R^c1為飽和脂肪族醯基、或飽和脂肪族醯氧基之情形時，較佳為碳原子數為2以上且20以下，更佳為碳原子數為2以上且7以下。作為R^c1為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉：乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一碳醯基、正十二碳醯基、正十三碳醯基、正十四碳醯基、正十五碳醯基、及正十六碳醯基等。作為R^c1為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉：乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一碳醯氧基、正十二碳醯氧基、正十三碳醯氧基、正十四碳醯氧基、正十五碳醯氧 基、及正十六碳醯氧基等。

於R^c1為烷氧基羰基之情形時，較佳為碳原子數為2以上且20以下，更佳為碳原子數為2以上且7以下。作為R^c1為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。

於R^c1為苯基烷基之情形時，較佳為碳原子數為7以上且20以下，更佳為碳原子數為7以上且10以下。又，於R^c1為萘基烷基之情形時，較佳為碳原子數為11以上且20以下，更佳為碳原子數為11以上且14以下。作為R^c1為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉：苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為R^c1為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉：α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。於R^c1為苯基烷基、或萘基烷基之情形時，R^c1亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。

於R^c1為雜環基之情形時，雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或者為該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數最多為3。作為構成該雜環基之雜環，可列舉：呋喃、噻吩、吡咯、

唑、異

唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡

、嘧啶、嗒

、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚

、苯并咪唑、苯并三唑、苯并

唑、苯并噻 唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞

、

啉、及喹

啉等。於R^c1為雜環基之情形時，雜環基可進而具有取代基。

於R^c1為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，有機基之適宜之例可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、及雜環基等。該等適宜之有機基之具體例與R^c1相同。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉：甲基胺基、乙基胺基、二乙胺基、正丙基胺基、二正丙胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。

作為R^c1所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基、碳原子數1以上且6以下之烷氧基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R^c1所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以 下。於R^c1所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

於R^c1中，就化學性穩定、或立體阻礙較少而容易合成肟酯化合物等方面而言，較佳為選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、碳原子數1以上且6以下之烷氧基、及碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基所組成之群中之基，更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基，尤佳為甲基。

關於R^c1於苯基上鍵結之位置，於將R^c1所鍵結之苯基中苯基與肟酯化合物之主骨架之鍵結鍵之位置設為1位，將甲基之位置設為2位之情形時，較佳為4位、或5位，更佳為5位。又，n1較佳為0以上且3以下之整數，更佳為0以上且2以下之整數，尤佳為0、或1。

R^c2為可具有取代基之苯基、或可具有取代基之咔唑基。又，於R^c2為可具有取代基之咔唑基之情形時，咔唑基上之氮原子可被取代為碳原子數1以上且6以下之烷基。

於R^c2中，苯基、或咔唑基所具有之取代基於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定。作為苯基、或咔唑基可於碳原子上具有之適宜之取代基之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數1以上且20以下之烷氧基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷氧基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基羰基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯硫基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲 醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、胺基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。

於R^c2為咔唑基之情形時，作為咔唑基可於氮原子上具有之適宜之取代基之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及可具有取代基之雜環基羰基等。該等取代基中，較佳為碳原子數1以上且20以下之烷基，更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基，尤佳為乙基。

關於苯基、或咔唑基可具有之取代基之具體例，關於烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及經1個或2個有機基取代之胺基，與R^c1相同。

於R^c2中，作為苯基、或咔唑基所具有之取代基所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基之例，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基；碳原子數1以上且6以下之烷氧基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基；碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基； 經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌

-1-基；鹵素；硝基；氰基。於苯基、或咔唑基所具有之取代基所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

於R^c2中，就容易獲得感度優異之光聚合起始劑之方面而言，較佳為下述式(c2)、或(c3)所表示之基，更佳為下述式(c2)所表示之基，尤佳為下述式(c2)所表示且A為S之基。

(R^c4為選自由一價有機基、胺基、鹵素、硝基、及氰基所組成之群中之基，A為S或O，n3為0以上且4以下之整數)

(R^c5及R^c6分別為一價有機基)

於式(c2)中之R^c4為有機基之情形時，可於不阻礙本發明之目的之範 圍內，從各種有機基中選擇。作為式(c2)中R^c4為有機基之情形時之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基；碳原子數1以上且6以下之烷氧基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基；碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基；碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基；具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌

-1-基；鹵素；硝基；氰基。

於R^c4中，較佳為：苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳原子數1以上且6以下之烷基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、及苯基所組成之群中之基所取代之苯甲醯基；硝基，更佳為：苯甲醯基；萘甲醯基；2-甲基苯基羰基；4-(哌

-1-基)苯基羰基；4-(苯基)苯基羰基。

又，於式(c2)中，n3較佳為0以上且3以下之整數，更佳為0以上且2以下之整數，尤佳為0或1。於n3為1之情形時，較佳為R^c4所鍵結之位置相對於R^c4所鍵結之苯基與氧原子或硫原子鍵結之鍵結鍵而為對位。

式(c3)中之R^c5可於不阻礙本發明之目的之範圍內，從各種有機基中選擇。作為R^c5之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且20以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基烷基、碳原子數2以上且20以下之烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘 氧基羰基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及可具有取代基之雜環基羰基等。

於R^c5中，較佳為碳原子數1以上且20以下之烷基或碳原子數2以上且20以下之烷氧基烷基，更佳為碳原子數1以上且6以下之烷基、或碳原子數2以上且6以下之烷氧基烷基，尤佳為乙基、或乙氧基乙基。

式(c3)中之R^c6於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定，可從各種有機基中選擇。作為適宜作為R^c6之基之具體例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之萘基、及可具有取代基之雜環基。作為R^c6，該等基中，更佳為可具有取代基之苯基、或可具有取代基之噻吩基，尤佳為2-甲基苯基、或噻吩基。

作為R^c4、R^c5、或R^c6所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基、碳原子數1以上且6以下之烷氧基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R^c4、R^c5、或R^c6所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於R^c4、R^c5、或R^c6所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

式(c1)中之R^c3為碳原子數1以上且6以下之烷基。作為R^c3，較佳為甲基、或乙基，更佳為甲基。

式(c1)所表示之肟酯化合物於p為0之情形時，可依照例如下述反應流 程1而合成。具體而言，使用下述式(c1-2)所表示之鹵羰基化合物，藉由佛瑞德-克來福特(Friedel-Crafts)反應將下述式(c1-1)所表示之芳香族化合物進行醯化，而獲得下述式(c1-3)所表示之酮化合物，藉由羥胺將所獲得之酮化合物(c1-3)進行肟化，而獲得下述式(c1-4)所表示之肟化合物，繼而，將式(c1-4)之肟化合物中之羥基醯化，而可獲得下述式(c1-7)所表示之肟酯化合物。作為醯化劑，較佳為使用下述式(c1-5)所表示之酸酐((R^c3CO)₂O)、或下述式(c1-6)所表示之醯鹵(R^c3COHal，Hal為鹵素)。再者，於下述式(c1-2)中，Hal為鹵素，於下述式(c1-1)、(c1-2)、(c1-3)、(c1-4)、及(c1-7)中，R^c1、R^c2、R^c3、及n1與式(c1)相同。

式(c1)所表示之肟酯化合物於n2為1之情形時，可依照例如下述反應流程2而合成。具體而言，於鹽酸之存在下，使下述式(c2-1)所表示之酮化合物與下述式(c2-2)所表示之亞硝酸酯(RONO，R為碳原子數1以上且6以下之烷基)反應，而獲得下述式(c2-3)所表示之酮肟化合物，繼而，將下述式(c2-3)所表示之酮肟化合物中之羥基進行醯化，而可獲得下述式(c2-6)所表示之肟酯化合物。作為醯化劑，較佳為使用下述式(c2-4)所表示之 酸酐((R^c3CO)₂O)、或下述式(c2-5)所表示之醯鹵(R^c3COHal，Hal為鹵素)。再者，於下述式(c2-1)、(c2-3)、(c2-4)、(c2-5)、及(c2-6)中，R^c1、R^c2、R^c3、及n1與式(c1)相同。

又，式(c1)所表示之肟酯化合物於n2為1，R^c1為甲基，且相對於鍵結於R^c1所鍵結之苯環之甲基，R^c1鍵結於對位之情形時，亦可藉由例如利用與反應流程1相同之方法將下述式(c2-7)所表示之化合物肟化、及醯化而合成。再者，於下述式(c2-7)中，R^c2與式(c1)相同。

於式(c1)所表示之肟酯化合物中，作為尤其適宜之化合物，可列舉下述之PI-1~PI-42。

又，下述式(c4)所表示之肟酯化合物亦作為光聚合起始劑而較佳。

(R^c7為氫原子、硝基或一價有機基，R^c8及R^c9分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子，R^c8與R^c9可互相鍵結 而形成環，R^c10為一價有機基，R^c11為可具有取代基之碳原子數1以上且11以下之烷基、或可具有取代基之芳基，n4為0以上且4以下之整數，n5為0或1)

此處，作為用以製造式(c4)之肟酯化合物之肟化合物，適宜為下式(c5)所表示之化合物。

(R^c7、R^c8、R^c9、R^c10、n4、及n5與式(c4)相同)

於式(c4)及(c5)中，R^c7為氫原子、硝基或一價有機基。R^c7於式(c4)中之茀環上鍵結於與和-(CO)_n5-所表示之基鍵結之6員芳香環不同之6員芳香環。於式(c4)中，R^c7對茀環之鍵結位置並無特別限定。於式(c4)所表示之化合物具有1個以上R^c7之情形時，就容易合成式(c4)所表示之化合物等方面而言，較佳為1個以上之R^c7中之1個鍵結於茀環中之2位。於R^c7為複數之情形時，複數個R^c7可相同亦可不同。

於R^c7為有機基之情形時，R^c7於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定，可從各種有機基中適當選擇。作為R^c7為有機基之情形時之適宜之例，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、飽和脂肪族醯氧基、烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基 羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌

-1-基等。

於R^c7為烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且6以下。又，於R^c7為烷基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為R^c7為烷基之情形時之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R^c7為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

於R^c7為烷氧基之情形時，烷氧基之碳原子數較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且6以下。又，於R^c7為烷氧基之情形時，可為直鏈，亦可為支鏈。作為R^c7為烷氧基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R^c7為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉：甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。

於R^c7為環烷基或環烷氧基之情形時，環烷基或環烷氧基之碳原子數 較佳為3以上且10以下，更佳為3以上且6以下。作為R^c7為環烷基之情形時之具體例，可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R^c7為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉：環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。

於R^c7為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之碳原子數較佳為2以上且21以下，更佳為2以上且7以下。作為R^c7為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉：乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一碳醯基、正十二碳醯基、正十三碳醯基、正十四碳醯基、正十五碳醯基、及正十六碳醯基等。作為R^c7為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉：乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一碳醯氧基、正十二碳醯氧基、正十三碳醯氧基、正十四碳醯氧基、正十五碳醯氧基、及正十六碳醯氧基等。

於R^c7為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之碳原子數較佳為2以上且20以下，更佳為2以上且7以下。作為R^c7為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉：甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。

於R^c7為苯基烷基之情形時，苯基烷基之碳原子數較佳為7以上且20以下，更佳為7以上且10以下。又，於R^c7為萘基烷基之情形時，萘基烷基之碳原子數較佳為11以上且20以下，更佳為11以上且14以下。作為R^c7為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉：苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為R^c7為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉：α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。於R^c7為苯基烷基、或萘基烷基之情形時，R^c7亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。

於R^c7為雜環基之情形時，雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或者為該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數最多為3。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉：呋喃、噻吩、吡咯、

唑、異

唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡

、嘧啶、嗒

、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚

、苯并咪唑、苯并三唑、苯并

唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞

、

啉、喹

啉、哌啶、哌

、嗎啉、哌啶、四氫吡喃、及四氫呋喃等。於R^c7為雜環基之情形時，雜環基可進而具有取代基。

於R^c7為雜環基羰基之情形時，雜環基羰基所含之雜環基與R^c7為雜環基之情形時相同。

於R^c7為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，有機基之適宜之例可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、碳原子數3以上且10以下之環烷基、碳原子數2以上且21以下之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7以上且20以下 之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11以上且20以下之萘基烷基、及雜環基等。該等適宜之有機基之具體例與R^c7相同。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉：甲基胺基、乙基胺基、二乙胺基、正丙基胺基、二正丙胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。

作為R^c7所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉：碳原子數1以上且6以下之烷基、碳原子數1以上且6以下之烷氧基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯基、碳原子數2以上且7以下之烷氧基羰基、碳原子數2以上且7以下之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1以上且6以下之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌

-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R^c7所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基之個數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1以上且4以下。於R^c7所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。

於以上所說明之基中，若作為R^c7而為硝基、或R^c12-CO-所表示之基，則有感度提高之傾向而較佳。R^c12於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定，可從各種有機基中選擇。作為適宜作為R^c12之基之例，可列舉：碳原子數1以上且20以下之烷基、可具有取代基之苯基、可具有取代 基之萘基、及可具有取代基之雜環基。作為R^c12，該等基中，尤佳為2-甲基苯基、噻吩-2-基、及α-萘基。

又，若R^c7為氫原子，則有透明性變得良好之傾向而較佳。再者，若R^c7為氫原子且R^c10為下文所述之式(c4a)或(c4b)所表示之基，則有透明性變得更良好之傾向。

於式(c4)中，R^c8及R^c9分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子。R^c8與R^c9可互相鍵結而形成環。該等基中，作為R^c8及R^c9，較佳為可具有取代基之鏈狀烷基。於R^c8及R^c9為可具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基可為直鏈烷基，亦可為支鏈烷基。

於R^c8及R^c9為不具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基之碳原子數較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且10以下，尤佳為1以上且6以下。作為R^c8及R^c9為鏈狀烷基之情形時之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R^c8及R^c9為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉：甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

於R^c8及R^c9為具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基之碳原子數較佳為1以上且20以下，更佳為1以上且10以下，尤佳為1以上且6以下。於該情形時，取代基之碳原子數不包含於鏈狀烷基之碳原子數中。具有取代基之鏈狀烷基較佳為直鏈狀。

烷基可具有之取代基於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限 定。作為取代基之適宜之例，可列舉：氰基、鹵素原子、環狀有機基、及烷氧基羰基。作為鹵素原子，可列舉：氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。該等中，較佳為氟原子、氯原子、溴原子。作為環狀有機基，可列舉：環烷基、芳香族烴基、雜環基。作為環烷基之具體例，與R^c7為環烷基之情形時之適宜之例相同。作為芳香族烴基之具體例，可列舉：苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。作為雜環基之具體例，與R^c7為雜環基之情形時之適宜之例相同。於R^c7為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基所含之烷氧基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基羰基所含之烷氧基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下。

於鏈狀烷基具有取代基之情形時，取代基之個數並無特別限定。較佳之取代基之個數係根據鏈狀烷基之碳原子數而變化。取代基之個數典型而言為1以上且20以下，較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下。

於R^c8及R^c9為環狀有機基之情形時，環狀有機基可為脂環式基，亦可為芳香族基。作為環狀有機基，可列舉：脂肪族環狀烴基、芳香族烴基、雜環基。於R^c8及R^c9為環狀有機基之情形時，環狀有機基可具有之取代基與R^c8及R^c9為鏈狀烷基之情形時相同。

於R^c8及R^c9為芳香族烴基之情形時，芳香族烴基較佳為苯基、或複數個苯環經由碳-碳鍵鍵結所形成之基、或複數個苯環縮合所形成之基。於芳香族烴基為苯基、或者複數個苯環鍵結或縮合所形成之基之情形時，芳香族烴基所含之苯環之環數並無特別限定，較佳為3以下，更佳為2以下，尤佳為1。作為芳香族烴基之較佳之具體例，可列舉：苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。

於R^c8及R^c9為脂肪族環狀烴基之情形時，脂肪族環狀烴基可為單環 式，亦可為多環式。脂肪族環狀烴基之碳原子數並無特別限定，較佳為3以上且20以下，更佳為3以上且10以下。作為單環式之環狀烴基之例，可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、降

基、異

基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基、及金剛烷基等。

於R^c8及R^c9為雜環基之情形時，雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或者為該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數最多為3。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉：呋喃、噻吩、吡咯、

唑、異

唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡

、嘧啶、嗒

、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚

、苯并咪唑、苯并三唑、苯并

唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞

、

啉、喹

啉、哌啶、哌

、嗎啉、哌啶、四氫吡喃、及四氫呋喃等。

R^c8與R^c9可互相鍵結而形成環。包含R^c8與R^c9所形成之環之基較佳為亞環烷基。於R^c8與R^c9鍵結而形成亞環烷基之情形時，構成亞環烷基之環較佳為5員環~6員環，更佳為5員環。

於R^c8與R^c9鍵結所形成之基為亞環烷基之情形時，亞環烷基可與1個以上其他環縮合。作為可與亞環烷基縮合之環之例，可列舉：苯環、萘環、環丁烷環、環戊烷環、環己烷環、環庚烷環、環辛烷環、呋喃環、噻吩環、吡咯環、吡啶環、吡

環、及嘧啶環等。

以上所說明之R^c8及R^c9中，作為適宜之基之例，可列舉式-A¹-A²所表示之基。可列舉式中，A¹為直鏈伸烷基，A²為烷氧基、氰基、鹵素原子、鹵化烷基、環狀有機基、或烷氧基羰基。

A¹之直鏈伸烷基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下。於A²為烷氧基之情形時，烷氧基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下。於A²為鹵素原子之情形時，較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。於A²為鹵化烷基之情形時，鹵化烷基所含之鹵素原子較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。鹵化烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。於A²為環狀有機基之情形時，環狀有機基之例與R^c8及R^c9作為取代基而具有之環狀有機基相同。於A²為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之例與R^c8及R^c9作為取代基而具有之烷氧基羰基相同。

作為R^c8及R^c9之適宜之具體例，可列舉：乙基、正丙基、正丁基、正己基、正庚基、及正辛基等烷基；2-甲氧基乙基、3-甲氧基正丙基、4-甲氧基正丁基、5-甲氧基正戊基、6-甲氧基正己基、7-甲氧基正庚基、8-甲氧基正辛基、2-乙氧基乙基、3-乙氧基正丙基、4-乙氧基正丁基、5-乙氧基正戊基、6-乙氧基正己基、7-乙氧基正庚基、及8-乙氧基正辛基等烷氧基烷基；2-氰基乙基、3-氰基正丙基、4-氰基正丁基、5-氰基正戊基、6-氰基正己基、7-氰基正庚基、及8-氰基正辛基等氰基烷基；2-苯基乙基、3-苯基正丙基、4-苯基正丁基、5-苯基正戊基、6-苯基正己基、7-苯基正庚基、及8-苯基正辛基等苯基烷基；2-環己基乙基、3-環己基正丙基、4-環己基正丁基、5-環己基正戊基、6-環己基正己基、7-環己基正庚基、8-環己基正辛基、2-環戊基乙基、3-環戊基正丙基、4-環戊基正丁基、5-環戊基正戊基、6-環戊基正己基、7-環戊基正庚基、及8-環戊基正辛基等環烷基烷基；2-甲氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基正丙基、4-甲氧基羰基正丁 基、5-甲氧基羰基正戊基、6-甲氧基羰基正己基、7-甲氧基羰基正庚基、8-甲氧基羰基正辛基、2-乙氧基羰基乙基、3-乙氧基羰基正丙基、4-乙氧基羰基正丁基、5-乙氧基羰基正戊基、6-乙氧基羰基正己基、7-乙氧基羰基正庚基、及8-乙氧基羰基正辛基等烷氧基羰基烷基；2-氯乙基、3-氯正丙基、4-氯正丁基、5-氯正戊基、6-氯正己基、7-氯正庚基、8-氯正辛基、2-溴乙基、3-溴正丙基、4-溴正丁基、5-溴正戊基、6-溴正己基、7-溴正庚基、8-溴正辛基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟正戊基等鹵化烷基。

作為R^c8及R^c9，上述中適宜之基為：乙基、正丙基、正丁基、正戊基、2-甲氧基乙基、2-氰基乙基、2-苯基乙基、2-環己基乙基、2-甲氧基羰基乙基、2-氯乙基、2-溴乙基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟正戊基。

作為R^c10之適宜之有機基之例，與R^c7同樣地，可列舉：烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌

-1-基等。該等基之具體例與針對R^c7之說明相同。又，作為R^c10，亦較佳為環烷基烷基、芳香環上可具有取代基之苯氧基烷基、芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基。苯氧基烷基、及苯基硫基烷基可具有之取代基與R^c7 所含之苯基可具有之取代基相同。

於有機基中，作為R^c10，較佳為烷基、環烷基、可具有取代基之苯基、或環烷基烷基、芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基。作為烷基，較佳為碳原子數1以上且20以下之烷基，更佳為碳原子數1以上且8以下之烷基，尤佳為碳原子數1以上且4以下之烷基，最佳為甲基。於可具有取代基之苯基中，較佳為甲基苯基，更佳為2-甲基苯基。環烷基烷基所含之環烷基之碳原子數較佳為5以上且10以下，更佳為5以上且8以下，尤佳為5或6。環烷基烷基所含之伸烷基之碳原子數較佳為1以上且8以下，更佳為1以上且4以下，尤佳為2。於環烷基烷基中，較佳為環戊基乙基。芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基所含之伸烷基之碳原子數較佳為1以上且8以下，更佳為1以上且4以下，尤佳為2。於芳香環上可具有取代基之苯基硫基烷基中，較佳為2-(4-氯苯基硫基)乙基。

又，作為R^c10，亦較佳為-A³-CO-O-A⁴所表示之基。A³為二價有機基，較佳為二價烴基，較佳為伸烷基。A⁴為一價有機基，較佳為一價之烴基。

於A³為伸烷基之情形時，伸烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。於A³為伸烷基之情形時，伸烷基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且6以下，尤佳為1以上且4以下。

作為A⁴之適宜之例，可列舉：碳原子數1以上且10以下之烷基、碳原子數7以上且20以下之芳烷基、及碳原子數6以上且20以下之芳香族烴基。作為A⁴之適宜之具體例，可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、正己基、苯基、萘基、苄基、苯乙基、α-萘基甲基、及β-萘基甲基等。

作為-A³-CO-O-A⁴所表示之基之適宜之具體例，可列舉：2-甲氧基羰基乙基、2-乙氧基羰基乙基、2-正丙氧基羰基乙基、2-正丁氧基羰基乙基、2-正戊氧基羰基乙基、2-正己氧基羰基乙基、2-苄氧基羰基乙基、2-苯氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基正丙基、3-乙氧基羰基正丙基、3-正丙氧基羰基正丙基、3-正丁氧基羰基正丙基、3-正戊氧基羰基正丙基、3-正己氧基羰基正丙基、3-苄氧基羰基正丙基、及3-苯氧基羰基正丙基等。

以上，已對R^c10進行了說明，但作為R^c10，較佳為下述式(c4a)或(c4b)所表示之基。

(式(c4a)及(c4b)中，R^c13及R^c14分別為有機基，n6為0以上且4以下之整數，於R^c13及R⁸存在於苯環上鄰接之位置之情形時，R^c13與R^c14可互相鍵結而形成環，n7為1以上且8以下之整數，n8為1以上且5以下之整數，n9為0以上且(n8十3)以下之整數，R^c15為有機基)

關於式(c4a)中之R^c13及R^c14之有機基之例與R^c7相同。作為R^c13，較佳為烷基或苯基。於R^c13為烷基之情形時，其碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且5以下，尤佳為1以上且3以下，最佳為1。即，R^c13最佳為甲基。於R^c13與R^c14鍵結而形成環之情形時，該環可為芳香族環，亦可為脂肪族環。作為式(c4a)所表示且R^c13與R^c14形成環之基之適宜之例，可列舉萘-1-基、或1,2,3,4-四氫萘-5-基等。上述式(c4a)中，n6為0以上且4以下之整數，較佳為0或1，更佳為0。

上述式(c4b)中，R^c15為有機基。作為有機基，可列舉與針對R^c7所說明之有機基相同之基。於有機基中，較佳為烷基。烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀。烷基之碳原子數較佳為1以上且10以下，更佳為1以上且5以下，尤佳為1以上且3以下。作為R^c15，可較佳地例示甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基等，該等中，更佳為甲基。

上述式(c4b)中，n8為1以上且5以下之整數，較佳為1以上且3以下之整數，更佳為1或2。上述式(c4b)中，n9為0以上且(n8+3)以下，較佳為0以上且3以下之整數，更佳為0以上且2以下之整數，尤佳為0。上述式(c4b)中，n7為1以上且8以下之整數，較佳為1以上且5以下之整數，更佳為1以上且3以下之整數，尤佳為1或2。

式(c4)中，R^c11為氫原子、可具有取代基之碳原子數1以上且11以下之烷基、或可具有取代基之芳基。作為R^c11為烷基之情形時可具有之取代基，可較佳地例示苯基、萘基等。又，作為R^c7為芳基之情形時可具有之取代基，可較佳地例示碳原子數1以上且5以下之烷基、烷氧基、鹵素原子等。

式(c4)中，作為R^c11，可較佳地例示氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、苯基、苄基、甲基苯基、萘基等，該等中，更佳為甲基或苯基。

式(c4)所表示之化合物係藉由包括將前述之式(c5)所表示之化合物所含之肟基(>C=N-OH)轉換為>C=N-O-COR^c11所表示之肟酯基之步驟之方法而製造。R^c11與式(c4)中之R^c11相同。

肟基(>C=N-OH)向>C=N-O-COR^c11所表示之肟酯基之轉換係藉由使前述之式(c5)所表示之化合物與醯化劑反應而進行。

作為提供-COR^c11所表示之醯基之醯化劑，可列舉(R^c11CO)₂O所表示之酸酐、或R^c11COHal(Hal為鹵素原子)所表示之醯鹵。

通式(c4)所表示之化合物於n5為0之情形時，可依照例如下述反應流程3而合成。於反應流程3中，使用下述式(c3-1)所表示之茀衍生物作為原料。R^c7為硝基或一價有機基之情形時、式(c3-1)所表示之茀衍生物可藉由周知之方法向9位被R^c8及R^c9取代之茀衍生物中導入取代基R^c7而獲得。9位被R^c8及R^c9取代之茀衍生物於例如R^c8及R^c9為烷基之情形時，可如日本專利特開平06-234668號公報所記載般，於鹼金屬氫氧化物之存在下，於非質子性極性有機溶媒中使茀與烷基化劑反應而獲得。又，藉由在茀之有機溶媒溶液中添加如鹵化烷基之烷基化劑、鹼金屬氫氧化物之水溶液、及如碘化四丁基銨或第三丁醇鉀之相轉移觸媒而進行烷基化反應，可獲得9,9-烷基取代茀。

藉由Friedel-Crafts醯化反應，向式(c3-1)所表示之茀衍生物中導入-CO-R^c10所表示之醯基，可獲得式(c3-3)所表示之茀衍生物。用以導入-CO-R^c10所表示之醯基之醯化劑可為鹵羰基化合物，亦可為酸酐。作為醯化劑，較佳為式(c3-2)所表示之鹵羰基化合物。式(c3-2)中，Hal為鹵素原子。於茀環上導入醯基之位置可藉由適當改變Friedel-Crafts反應之條件、或對醯化位置以外之位置實施保護及去保護之方法而選擇。

繼而，將所獲得之式(c3-3)所表示之茀衍生物中之-CO-R^c10所表示之基轉換為-C(=N-OH)-R^c10所表示之基，而獲得式(c3-4)所表示之肟化合物。將-CO-R^c10所表示之基轉換為-C(=N-OH)-R^c10所表示之基之方法並無特別限定，較佳為利用羥胺進行之肟化。使式(c3-4)之肟化合物與下式(c3-5)所表示之酸酐((R^c11CO)₂O)、或下述式(c3-6)所表示之醯鹵 (R^c11COHal，Hal為鹵素原子)反應，而可獲得下述式(c3-7)所表示之化合物。

再者，於式(c3-1)、(c3-2)、(c3-3)、(c3-4)、(c3-5)、(c3-6)、及(c3-7)中，R^c7、R^c8、R^c9、R^c10、及R^c11與式(c4)相同。

又，於反應流程3中，式(c3-2)、式(c3-3)、及式(c3-4)各自所含之R^c10可相同亦可不同。即，式(c3-2)、式(c3-3)、及式(c3-4)中之R^c10於以反應流程3所表示之合成過程中可被化學修飾。作為化學修飾之例，可列舉酯化、醚化、醯化、醯胺化、鹵化、胺基中之氫原子被有機基取代等。R^c10可受到之化學修飾並不限定於該等。

式(c4)所表示之化合物於n5為1之情形時，可依照例如下述反應流程4而合成。於反應流程4中，使用下述式(c4-1)所表示之茀衍生物作為原料。式(c4-1)所表示之茀衍生物係利用與反應流程3同樣之方法，藉由Friedel-Crafts反應向式(c3-1)所表示之化合物中導入-CO-CH₂-R^c10所表示之醯基而獲得。作為醯化劑，較佳為式(c3-8)：Hal-CO-CH₂-R^c10所表示 之羧醯鹵。繼而，將式(c4-1)所表示之化合物中存在於R^c10與羰基之間之亞甲基進行肟化，而獲得下式(c4-3)所表示之酮肟化合物。將亞甲基進行肟化之方法並無特別限定，較佳為於鹽酸之存在下使下述通式(c4-2)所表示之亞硝酸酯(RONO，R為碳原子數1以上且6以下之烷基)反應之方法。繼而，使下述式(c4-3)所表示之酮肟化合物與下述式(c4-4)所表示之酸酐(R^c11CO)₂O)、或下述式(c4-5)所表示之醯鹵(R^c11COHal，Hal為鹵素原子)反應，而可獲得下述式(c4-6)所表示之化合物。再者，於下述式(c4-1)、(c4-3)、(c4-4)、(c4-5)、及(c4-6)中，R^c7、R^c8、R^c9、R^c10、及R^c11與式(c4)相同。

於n5為1之情形時，有可進一步減少使用含有式(c4)所表示之化合物之感光性組合物所形成之圖案中之異物之產生的傾向。

又，於反應流程4中，式(c3-8)、式(c4-1)、及式(c4-3)各自所含之R^c10可相同亦可不同。即，式(c3-8)、式(c4-1)、及式(c4-3)中之R^c10於以反應流程4所表示之合成過程中可被化學修飾。作為化學修飾之例，可列舉酯化、醚化、醯化、醯胺化、鹵化、胺基中之氫原子被有機基取代等。R^c10可受到之化學修飾並不限定於該等。

<反應流程4>[化29]

作為式(c4)所表示之化合物之適宜之具體例，可列舉以下之PI-43~PI-83。

[化30]

[化31]

如上文所述，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。因此，必須亦將光聚合起始劑(C)中之氯化物離子量減小某種程度。

關於該方面，肟酯化合物(C1)因其製造方法而尤其容易含有氯化物離子。因此重要的是肟酯化合物(C1)之精製。

作為減小肟酯化合物(C1)中之氯化物離子量之方法，可列舉： 1)藉由包括使用氯化鋁進行Friedel-Crafts反應之步驟之方法合成肟酯化合物(C1)，且以儘量減小肟酯化合物之氯化物離子之含量之方式調整氯化鋁之使用量之方法；2)於肟酯化合物(C1)所表示之化合物之合成中使用不含氯原子之酸之方法；3)於肟酯化合物(C1)所表示之化合物之合成中，於Friedel-Crafts醯化反應或肟基之醯化中使用酸酐作為醯化劑之方法；4)藉由選自由蒸餾、再結晶、水洗、及管柱層析法所組成之群中之1種以上之方法精製肟酯化合物(C1)所表示之化合物之粗精製品之方法；5)將使肟酯化合物(C1)所表示之化合物之粗精製品溶解於疏水性有機溶劑中而成之溶液進行水洗後，從經洗淨之溶液中將肟酯化合物(C1)所表示之化合物回收之方法；及6)藉由陰離子交換樹脂對將肟酯化合物(C1)所表示之化合物之粗精製品溶解於疏水性有機溶劑中而成之溶液進行處理後，將肟酯化合物(C1)回收之方法。

(化合物(C2))

感光性組合物中作為光聚合起始劑(C)，於含有上文所述之肟酯化合物(C1)之同時含有肟酯化合物以外之化合物(C2)。化合物(C2)之種類只要不為肟酯化合物且可作為光聚合起始劑而發揮作用，則無特別限定。

作為化合物(C2)，具體而言，可列舉：1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、雙(4- 二甲胺基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-(苯甲醯氧基亞胺基)-1-[4-(苯基硫基)苯基]-1-辛酮、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、4-苯甲醯基-4'-甲基二甲基硫醚、4-二甲胺基苯甲酸、4-二甲胺基苯甲酸甲酯、4-二甲胺基苯甲酸乙酯、4-二甲胺基苯甲酸丁酯、4-二甲胺基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲胺基-2-異戊基苯甲酸、苄基-β-甲氧基乙基縮醛、苯偶醯二甲基縮酮、鄰苯甲醯基苯甲酸甲酯、2,4-二乙基-9-氧硫

、2-氯-9-氧硫

、2,4-二甲基-9-氧硫

、1-氯-4-丙氧基-9-氧硫

、硫

、2-氯硫

、2,4-二乙基硫

、2-甲基硫

、2-異丙基硫

、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、偶氮二異丁腈、過氧化苯甲醯、氫過氧化異丙苯、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并

唑、2-巰基苯并噻唑、2-(鄰氯苯基)-4,5-二(間甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4,4'-雙二甲胺基二苯甲酮、4,4'-雙二乙胺基二苯甲酮、4,4'-二氯二苯甲酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苯偶醯、安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香正丁醚、安息香異丁醚、安息香丁醚、苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、對二甲基苯乙酮、對二甲胺基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、對第三丁基苯乙酮、對二甲胺基苯乙酮、對第三丁基三氯苯乙酮、對第三丁基二氯苯乙酮、α,α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、9-氧硫

、2-甲基-9-氧硫

、2-異丙基-9-氧硫

、二苯并環庚酮、4-二甲胺基苯甲酸戊酯、9-苯基吖啶、1,7-雙-(9-吖啶基)庚烷、1,5-雙-(9-吖啶基)戊烷、1,3-雙-(9-吖啶基)丙烷、對甲氧基三

、2,4,6-三(三氯甲基)-均三

、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯 基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-[2-(4-二乙胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三

、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-均三

、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-均三

、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-均三

、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-均三

等。該等光聚合起始劑可單獨使用或組合2種以上使用。

該等中，就保持良好之感度，並且容易提高解析性之方面而言，較佳為：2-(鄰氯苯基)-4,5-二(間甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物等咪唑化合物；或2,2-二乙氧基苯乙酮、對二甲基苯乙酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮等烷基苯酮化合物。於烷基苯酮化合物中，較佳為2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮等α-胺基烷基苯酮化合物。

關於化合物(C2)，較佳為與肟酯化合物(C1)同樣地精製，並減少氯化物離子。

光聚合起始劑(C)之含量相對於除下文所述之溶劑(S)之質量以外之感光性組合物之質量，較佳為0.5質量%以上且30質量%以下，更佳為1質量%以上且20質量%以下。藉由將光聚合起始劑(C)之含量設為上述範圍，可獲得不易產生圖案形狀之不良之感光性組合物。

光聚合起始劑(C)中之肟酯化合物(C1)之含量就容易同時實現良好之 感度與良好之解析性之方面而言，相對於光聚合起始劑(C)之質量，較佳為10質量%以上且99.5質量%以下，更佳為30質量%以上且97質量%以下，尤佳為50質量%以上且95質量%以下。光聚合起始劑(C)中之化合物(C2)之含量較佳為0.5質量%以上且90質量%以下，更佳為1質量%以上且60質量%以下，尤佳為10以上質量%以上且40質量%以下。

又，亦可於光聚合起始劑(C)中組合光起始助劑。作為光起始助劑，可列舉：三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲胺基苯甲酸甲酯、4-二甲胺基苯甲酸乙酯、4-二甲胺基苯甲酸異戊酯、4-二甲胺基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲胺基乙酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4'-雙(二甲胺基)二苯甲酮、9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并

唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-5-甲氧基苯并噻唑、3-巰基丙酸、3-巰基丙酸甲酯、季戊四醇四巰基乙酸酯、3-巰基丙酸酯等硫醇化合物等。該等光起始助劑可單獨使用或組合2種以上使用。

<著色劑(D)>

感光性組合物亦可含有著色劑(D)。作為著色劑(D)，並無特別限定。作為著色劑(D)，較佳為使用例如色指數(C.I.；The Society of Dyers and Colourists公司發行)中被分類為顏料(Pigment)之化合物，具體而言，較佳為使用附注有如下所述之色指數(C.I.)編號之化合物。

作為可適宜地使用之黃色顏料之例，可列舉：C.I.顏料黃1(以下，「C.I.顏料黃」相同而僅記載編號)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73，74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、 116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、及185。

作為可適宜地使用之橙色顏料之例，可列舉：C.I.顏料橙1(以下，「C.I.顏料橙」相同而僅記載編號)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、及73。

作為可適宜地使用之紫色顏料之例，可列舉：C.I.顏料紫1(以下，「C.I.顏料紫」相同而僅記載編號)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、及50。

作為可適宜地使用之紅色顏料之例，可列舉：C.I.顏料紅1(以下，「C.I.顏料紅」相同而僅記載編號)2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48：1、48：2、48：3、48：4、49：1、49：2、50：1、52：1、53：1、57、57：1、57：2、58：2、58：4、60：1、63：1、63：2、64：1、81：1、83、88、90：1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、及265。

作為可適宜地使用之藍色顏料之例，可列舉：C.I.顏料藍1(以下，「C.I.顏料藍」相同而僅記載編號)、2、15、15：3、15：4、15：6、16、22、60、64、及66。

作為可適宜地使用之上述以外的色相之顏料之例，可列舉：C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料綠37等綠色顏料；C.I.顏料棕23、C.I.顏料棕25、C.I.顏料棕26、C.I.顏料棕28等棕色顏料；C.I.顏料黑1、C.I.顏料黑7等黑色顏料。

又，感光性組合物亦可含有遮光劑作為著色劑(D)。含有遮光劑之感光性組合物可適宜地用於液晶顯示面板中之黑矩陣或黑色管柱隔片之形成、或有機EL(Electroluminescence，電致發光)元件中之發光層之劃分用之觸排的形成。

於以著色劑(D)作為遮光劑之情形時，較佳為使用黑色顏料或紫顏料作為遮光劑。作為黑色顏料或紫顏料之例，可不論有機物、無機物而列舉：碳黑、苝系顏料、內醯胺系顏料、鈦黑、銅、鐵、錳、鈷、鉻、鎳、鋅、鈣、銀等之金屬氧化物、複合氧化物、金屬硫化物、金屬硫酸鹽或金屬碳酸鹽等各種顏料。

作為碳黑，可使用煙囪黑、爐黑、熱碳黑、燈黑等公知之碳黑。又，亦可使用樹脂被覆碳黑。

作為碳黑，亦較佳為已實施導入酸性基之處理之碳黑。導入至碳黑中之酸性基係表現出布忍斯特(Bronsted)之定義之酸性之官能基。作為酸性基之具體例，可列舉：羧基、磺酸基、磷酸基等。導入至碳黑中之酸性基亦可形成鹽。與酸性基形成鹽之陽離子於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定。作為陽離子之例，可列舉各種金屬離子、含氮化合物之陽離子、銨離子等，較佳為鈉離子、鉀離子、鋰離子等鹼金屬離子或銨離子。

於已實施以上所說明之導入酸性基之處理的碳黑中，就達成使用感 光性組合物所形成之遮光性之硬化膜之高電阻的觀點而言，較佳為具有選自由羧酸基、羧酸鹽基、磺酸基、及磺酸鹽基所組成之群中之1種以上之官能基的碳黑。

對碳黑導入酸性基之方法並無特別限定。作為導入酸性基之方法，例如可列舉以下之方法。

1)藉由使用濃硫酸、發煙硫酸、氯磺酸等之直接取代法或使用亞硫酸鹽、亞硫酸氫鹽等之間接取代法對碳黑導入磺酸基之方法。

2)使具有胺基與酸性基之有機化合物與碳黑重氮偶合之方法。

3)藉由威廉森(Williamson)之醚化法使具有鹵素原子與酸性基之有機化合物與具有羥基之碳黑反應之方法。

4)使具有鹵羰基與由保護基保護之酸性基之有機化合物與具有羥基之碳黑反應之方法。

5)使用具有鹵羰基與由保護基保護之酸性基之有機化合物對碳黑進行Friedel-Crafts反應後進行去保護之方法。

於該等方法中，就酸性基之導入處理容易且安全之方面而言，較佳為方法2)。作為方法2)中所使用之具有胺基與酸性基之有機化合物，較佳為於芳香族基鍵結有胺基與酸性基之化合物。作為此種化合物之例，可列舉如磺胺酸之胺基苯磺酸、或如4-胺基苯甲酸之胺基苯甲酸。

導入至碳黑中之酸性基之莫耳數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定。導入至碳黑中之酸性基之莫耳數相對於碳黑100g，較佳為1mmol以上且200mmol以下，更佳為5mmol以上且100mmol以下。

導入有酸性基之碳黑亦可實施利用樹脂進行之被覆處理。於使用含有由樹脂被覆之碳黑之感光性組合物之情形時，容易形成遮光性及絕緣 性優異、表面反射率較低之遮光性之硬化膜。再者，利用樹脂進行之被覆處理不會特別對使用感光性組合物所形成之遮光性之硬化膜的介電常數產生不良影響。作為可用於碳黑之被覆之樹脂之例，可列舉：酚系樹脂、三聚氰胺樹脂、二甲苯樹脂、鄰苯二甲酸二烯丙酯樹脂、甘酞樹脂、環氧樹脂、烷基苯樹脂等熱硬化性樹脂；或聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、改性聚苯醚、聚碸、聚對伸苯基對苯二甲醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺、聚胺基雙順丁烯二醯亞胺、聚醚碸聚苯碸、聚芳酯、聚醚醚酮等熱塑性樹脂。樹脂對碳黑之被覆量相對於碳黑之質量與樹脂之質量之合計，較佳為1質量%以上且30質量%以下。

又，作為遮光劑，亦較佳為苝系顏料。作為苝系顏料之具體例，可列舉下述式(d-1)所表示之苝系顏料、下述式(d-2)所表示之苝系顏料、及下述式(d-3)所表示之苝系顏料。於市售品中，可較佳地使用BASF公司製造之製品名K0084、及K0086或顏料黑21、30、31、32、33、及34等作為苝系顏料。

式(d-1)中，R^d1及R^d2分別獨立地表示碳原子數1以上且3以下之伸烷基，R^d3及R^d4分別獨立地表示氫原子、羥基、甲氧基、或乙醯基。

式(d-2)中，R^d5及R^d6分別獨立地表示碳原子數1以上且7以下之伸烷基。

式(d-3)中，R^d7及R^d8分別獨立為氫原子、碳原子數1以上且22以下之烷基，亦可含有N、O、S、或P之雜原子。於R^d7及R^d8為烷基之情形時，該烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀。

上述式(d-1)所表示之化合物、式(d-2)所表示之化合物、及式(d-3)所表示之化合物例如可使用日本專利特開昭62-1753號公報、日本專利特公昭63-26784號公報所記載之方法而合成。即，以苝-3,5,9,10-四羧酸或其二酐與胺類作為原料，於水或有機溶媒中進行加熱反應。然後，使所獲得之粗產物於硫酸中再沈澱，或者於水、有機溶媒或該等之混合溶媒中再結晶，藉此可獲得目標物。

為了使苝系顏料於感光性組合物中良好地分散，苝系顏料之平均粒徑較佳為10nm以上且1000nm以下。

又，亦可含有內醯胺系顏料作為遮光劑。作為內醯胺系顏料，例如可列舉下述式(d-4)所表示之化合物。

式(d-4)中，X^d表示雙鍵，作為幾何異構物而分別獨立為E體或Z體，R^d9分別獨立地表示氫原子、甲基、硝基、甲氧基、溴原子、氯原子、氟原子、羧基、或磺基，R^d10分別獨立地表示氫原子、甲基、或苯基，R^d11各自獨立地表示氫原子、甲基、或氯原子。

式(d-4)所表示之化合物可單獨使用或組合2種以上而使用。

R^d9就容易製造式(d-4)所表示之化合物之方面而言，較佳為鍵結於二氫吲哚酮環之6位，R^d11較佳為鍵結於二氫吲哚酮環之4位。就同樣之觀點而言，R^d9、R^d10、及R^d11較佳為氫原子。

式(d-4)所表示之化合物作為幾何異構物而具有EE體、ZZ體、EZ體，可為該等之任一種單一之化合物，亦可為該等幾何異構物之混合物。

式(d-4)所表示之化合物例如可藉由國際公開第2000/24736號，國際公開第2010/081624號所記載之方法而製造。

為了使內醯胺系顏料於組合物中良好地分散，內醯胺系顏料之平均粒徑較佳為10nm以上且1000nm以下。

進而，亦可較佳地使用以銀錫(AgSn)合金為主成分之微粒子(以下稱為「AgSn合金微粒子」)作為遮光劑。該AgSn合金微粒子只要AgSn合金為主成分即可，作為其他金屬成分，例如可含有Ni、Pd、Au等。

該AgSn合金微粒子之平均粒徑較佳為1nm以上且300nm以下。

AgSn合金於以化學式AgxSn表示之情形時，可獲得化學性穩定之AgSn合金之x之範圍為1≦x≦10，可同時獲得化學穩定性與黑色度之x之範圍為3≦x≦4。

此處，若於上述x之範圍內求出AgSn合金中之Ag之質量比，則於x=1之情形時，成為Ag/AgSn=0.4762；於x=3之情形時，成為3‧Ag/Ag3Sn=0.7317；於x=4之情形時，成為4‧Ag/Ag4Sn=0.7843；於x=10之情形時，成為10‧Ag/Ag10Sn=0.9008。

因此，該AgSn合金於含有47.6質量%以上且90質量%以下之Ag之情形時化學性穩定，於含有73.17質量%以上且78.43質量%以下之Ag之情形時，相對於Ag量，可有效地獲得化學穩定性與黑色度。

該AgSn合金微粒子可使用通常之微粒子合成法而製作。作為微粒子合成法，可列舉：氣相反應法、噴霧熱分解法、霧化法、液相反應法、冷凍乾燥法、水熱合成法等。

AgSn合金微粒子之絕緣性較高，但為了根據感光性組合物之用途而進一步提高絕緣性，亦可以絕緣膜覆蓋表面。作為此種絕緣膜之材料，適宜為金屬氧化物或有機高分子化合物。

作為金屬氧化物，可適宜地使用具有絕緣性之金屬氧化物，例如可適宜地使用氧化矽(silica)、氧化鋁(alumina)、氧化鋯(zirconia)、氧化釔(yttria)、氧化鈦(titania)等。

又，作為有機高分子化合物，可適宜地使用具有絕緣性之樹脂，例如可適宜地使用聚醯亞胺、聚醚、聚丙烯酸酯、聚胺化合物等。

為了充分提高AgSn合金微粒子之表面之絕緣性，絕緣膜之膜厚較佳為1nm以上且100nm以下之厚度，更佳為5nm以上且50nm以下。

絕緣膜可藉由表面改質技術或表面之塗佈技術而容易地形成。尤其是若使用四乙氧基矽烷、三乙醇鋁等烷氧化物，則可於相對低溫下形成膜厚均勻之絕緣膜，故而較佳。

作為遮光劑，可單獨使用上述苝系顏料、內醯胺系顏料、AgSn合金微粒子，亦可組合該等而使用。

此外，遮光劑亦可以色調調整之目的等而於含有上述黑色顏料或紫顏料之同時含有紅、藍、綠、黃等色相之色素。黑色顏料或紫顏料以外之色相之色素可從公知之色素中適當選擇。例如作為黑色顏料或紫顏料以外之色相之色素，可使用上述各種顏料。黑色顏料或紫顏料以外之其他色相之色素之使用量相對於遮光劑之總質量，較佳為15質量%以下，更佳為10質量%以下。

為了使上述著色劑於組合物中均勻地分散，可進而使用分散劑。作為此種分散劑，較佳為使用聚伸乙基亞胺系、聚胺酯樹脂系、丙烯酸樹脂系之高分子分散劑。尤其是於使用碳黑作為著色劑之情形時，較佳為使用丙烯酸樹脂系之分散劑作為分散劑。

再者，存在分散劑之分解導致從感光性組合物之硬化膜產生腐蝕性之氣體之情形。因此，亦較佳為不使用分散劑而對著色劑進行分散處理。

又，無機顏料與有機顏料可分別單獨使用，或可併用2種以上，於併用之情形時，較佳為相對於無機顏料與有機顏料之總量100質量份，而以10質量份以上且80質量份以下之範圍使用有機顏料，更佳為以20質量份以上且40質量份以下之範圍使用。

再者，感光性組合物中除了顏料以外，亦可使用染料作為著色劑(D)。該染料從公知之材料中適當選擇即可。

作為可用於本實施形態之感光性組合物之染料，例如可列舉：偶氮染料、金屬錯鹽偶氮染料、蒽醌染料、三苯基甲烷染料、

染料、花青染料、萘醌染料、醌亞胺染料、次甲基染料、酞菁染料等。

又，關於該等染料，可藉由進行色澱化(成鹽化)使之分散於有機溶劑等中，而將其用作著色劑(D)。

除了該等染料以外，例如亦可較佳地使用日本專利特開2013-225132號公報、日本專利特開2014-178477號公報、日本專利特開2013-137543號公報、日本專利特開2011-38085號公報、日本專利特開2014-197206號公報等所記載之染料等。

又，該等染料亦可與上文所述之顏料(例如苝系顏料、內醯胺系顏料、AgSn合金微粒子等)組合使用。

感光性組合物中之著色劑(D)之使用量可於不阻礙本發明之目的之範圍內適當選擇，典型而言，相對於感光性組合物之固形物成分整體之質量，較佳為5質量%以上且70質量%以下，更佳為25質量%以上且60質量%以下。

著色劑(D)較佳為於製成在分散劑之存在下或不存在下使其以適當之濃度分散而成之分散液後添加至感光性組合物中。

再者，於本說明書中，關於上述著色劑(D)之使用量，可定義為包括該存在之分散劑之值。

如上文所述，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。因此，必須亦將著色劑(D)中之氯化物離子量減小某種程度。

作為減小著色劑(D)中之氯化物離子量之方法，可列舉利用水、有機溶劑、有機溶劑之水溶液等之洗淨。於著色劑為染料之情形時，調製染料之溶液後，使所獲得之溶液與陰離子交換樹脂接觸後，從溶液中回收染料，藉此亦可減小氯化物離子量。

<胺(E)>

感光性組合物含有胺(E)。藉由感光性組合物含有胺(E)，容易調製具有能夠解析微細圖案之良好之解析性的感光性組合物。

胺(E)可單獨調配於感光性組合物中，亦可以含有於胺(E)以外之其他成分中之雜質之形式調配於感光性組合物中。

作為含有胺(E)之雜質，例如可列舉：以如醯胺鍵之形態含有氮原子之鹼溶性樹脂(A)、含有含氮化合物之光聚合性化合物(B)、含有含氮化合物之光聚合起始劑(C)、含有包含氮之化合物之著色劑(D)、含有醯胺鍵(-CO-NH-)、胺基甲酸酯鍵(-O-CO-NH-)、醯脲鍵(-NH-CO-NH-)等之樹脂等著色劑(D)用之分散劑或分散助劑等添加劑、及含有含氮極性有機溶劑之溶劑(S)等。

於將胺(E)以含有於光聚合起始劑(C)中之雜質之形式調配於感光性組合物中之情形時，作為化合物(C2)，較佳為使用咪唑化合物、或作為烷基苯酮化合物之α-胺基烷基苯酮化合物。

作為胺(E)之適宜之具體例，可列舉：氨、甲基胺、乙基胺、乙醇胺、丙基胺、異丙基胺、正丁基胺、正戊基胺、正己基胺、二甲基胺、二乙基胺、二乙醇胺、二正丙基胺、二異丙基胺、二正丁基胺、二正戊基胺、二正己基胺、三甲基胺、三乙基胺、三乙醇胺、三正丙基胺、三異丙基胺、三正丁基胺、三正戊基胺、三正己基胺、伸乙基二胺、1,3-丙二 胺、1,4-丁二胺、1,5-戊二胺、及1,6-己二胺等鏈狀脂肪族胺；吡咯啶、哌啶、哌

、嗎啉、吡咯、及咪唑等環式胺；苯胺、甲苯胺、及苯二胺等芳香族胺等。

感光性組合物中之胺(E)之含量於不阻礙本發明之目的之範圍內並無特別限定。

感光性組合物中之胺(E)之含量較佳為5000質量ppm以下，更佳為3000質量ppm以下。感光性組合物中之胺(E)之含量亦可為2000質量ppm以下，亦可為1000質量ppm以下，亦可為500質量ppm以下。

感光性組合物中之胺(E)之含量就容易獲得所需之效果之方面而言，較佳為50質量ppm以上，更佳為100質量ppm以上，尤佳為200質量ppm以上。

若感光性組合物中之胺(E)之含量為5000質量ppm以下，則容易減小使用感光性組合物形成塗佈膜時之塗佈膜之膜厚之不均。

感光性組合物中之胺(E)之含量可藉由離子層析法而測定。

<溶劑(S)>

感光性組合物以改善塗佈性、或調整黏度為目的而含有溶劑(S)。再者，溶劑(S)中不含液狀之胺化合物。

作為溶劑(S)，具體而言，可列舉：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丙醚、乙二醇單正丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丙醚、二乙二醇單正丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚等(聚)伸烷基二醇單烷基醚類；乙 二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、丙二醇單乙醚乙酸酯等(聚)伸烷基二醇單烷基醚乙酸酯類；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等其他醚類；甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類；2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等乳酸烷基酯類；2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧丁酸乙酯等其他酯類；甲苯、二甲苯等芳香族烴類；N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二甲基異丁基醯胺、N,N-二乙基乙醯胺、N,N-二乙基甲醯胺、N-甲基己內醯胺、1,3-二甲基-2-咪唑啶酮、吡啶、及N,N,N',N'-四甲基脲等含氮極性有機溶劑；等。

該等中，較佳為伸烷基二醇單烷基醚類、伸烷基二醇單烷基醚乙酸酯類、上述其他醚類、乳酸烷基酯類、上述其他酯類，更佳為伸烷基二醇單烷基醚乙酸酯類、上述其他醚類、上述其他酯類。

又，就各成分之溶解性、或著色劑(D)之分散性等方面而言，亦較佳為溶劑(S)含有含氮極性有機溶劑。作為含氮極性有機溶劑，較佳為N,N,N',N'-四甲基脲。

該等溶劑可單獨使用或組合2種以上使用。

於上述溶劑中，較佳為丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、環己酮、乙酸3-甲氧基丁酯，尤佳為使用丙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯。

溶劑(S)之含量較佳為感光性組合物之固形物成分濃度為5質量%以上且99質量%以下之量，更佳為感光性組合物之固形物成分濃度為15質量%以上且50質量%以下之量。

如上文所述，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。因此，必須亦將溶劑(S)中之氯化物離子量減小某種程度。

作為減小溶劑(S)中之氯化物離子量之方法，可列舉蒸餾、利用陰離子交換樹脂進行之處理等。

<其他成分>

於感光性組合物中可視需要而含有界面活性劑、密接性提高劑、熱聚合抑制劑、消泡劑、矽烷偶合劑等添加劑。任一添加劑均可使用先前公知者。

感光性組合物就容易形成形狀良好且對基板之密接性優異之硬化膜之方面而言，較佳為含有矽烷偶合劑。作為矽烷偶合劑，可無特別限制地使用先前已知者。

作為界面活性劑，可列舉陰離子系、陽離子系、非離子系等之化合物，作為熱聚合抑制劑，可列舉氫醌、氫醌單乙醚等，作為消泡劑，可列舉聚矽氧系、氟系化合物等。

<感光性組合物之調製方法>

以上所說明之感光性組合物可藉由將上述各成分分別以特定量混合 後利用攪拌機均勻地混合而獲得。再者，亦可使用過濾器加以過濾以使所獲得之混合物變得更均勻。

又，為了將感光性組合物之氯化物離子含量減少至所需之值，亦可藉由陰離子交換樹脂處理感光性組合物。

≪抑制使用感光性組合物所形成之膜中之異物之方法≫

於抑制使用感光性組合物所形成之膜中之異物之方法中所使用之感光性組合物含有分別於上文所述之鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、溶劑(S)、及胺(E)。感光性組合物可進而含有著色劑(D)等任意成分。

藉由將該感光性組合物中之氯化物離子之量設為1000質量%以下，可抑制使用感光性組合物所形成之膜中之異物之產生。

異物之數量係將感光性組合物旋轉塗佈於10cm×10cm之基板上後加以乾燥而獲得之膜厚1μm之膜中藉由異物檢測器檢測之異物之數量。

藉由上述方法，可將以上所說明之異物之數量抑制為未達1000。

≪硬化膜之形成方法≫

藉由利用曝光使以上所說明之使用感光性組合物所形成之薄膜硬化，而形成硬化膜。

作為硬化膜之用途，可列舉絕緣膜。於感光性組合物不含著色劑(D)之情形時形成透明絕緣膜。於感光性樹脂組合物含有著色劑(D)之情形時形成經著色之絕緣膜。尤其是於著色劑(D)為遮光劑之情形時形成遮光性之絕緣膜。

作為遮光性之黑色絕緣膜之適宜之例，可列舉各種圖像顯示裝置用 之面板所具備之黑矩陣中之黑色之間隔壁、或黑色管柱隔片。

又，於感光性樹脂組合物含有RGB等有彩色之著色劑(D)之情形時，可於由黑矩陣劃分之區域形成經著色之硬化膜而製造彩色濾光片。

例如，上述黑矩陣、或包含有彩色之硬化膜之彩色濾光片可於各種顯示裝置中適宜地使用。

作為硬化膜之適宜之製造方法，可列舉包括如下步驟之方法：將上文所述之感光性組合物塗佈於基板上而形成塗佈膜；及對塗佈膜進行曝光。

於使用感光性組合物形成硬化膜時，將感光性組合物塗佈於根據硬化膜之用途所選擇之基板上而形成塗佈膜。塗佈膜之形成方法並無特別限定，例如可使用輥塗機、反向塗佈機、棒塗機等接觸轉印型塗佈裝置或旋轉器(旋轉式塗佈裝置)、淋幕式平面塗佈機等非接觸型塗佈裝置而進行。

視需要將所塗佈之感光性組合物加以乾燥而構成塗佈膜。乾燥方法並無特別限定，例如可列舉：(1)藉由加熱板於80℃以上且120℃以下、較佳為90℃以上且100℃以下之溫度下乾燥60秒以上且120秒以下之間之方法；(2)於室溫下放置數小時以上且數日以下之間之方法；(3)於熱風加熱器或紅外線加熱器中放置數十分鐘以上且數小時以下而將溶劑去除之方法等。

繼而，對塗佈膜進行曝光。曝光係照射紫外線、準分子雷射光等活性能量線而進行。曝光例如可藉由介隔負型之遮罩進行曝光之方法等以位置選擇性地進行。所照射之能量線量根據感光性樹脂組合物之組成而有所不同，例如較佳為40mJ/cm²以上且200mJ/cm²以下左右。

於位置選擇性地使塗佈膜曝光之情形時，藉由利用顯影液將曝光後之膜進行顯影而圖案化為所需之形狀。顯影方法並無特別限定，例如可使用浸漬法、噴霧法等。顯影液可根據感光性組合物之組成而適當選擇。作為顯影液，例如可使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、氨、四級銨鹽等鹼性之水溶液。

藉由整個面曝光所形成之硬化膜、或經顯影之經圖案化之硬化膜可視需要於120℃以上且250℃以下之溫度下後烘烤。

以上述方式形成之硬化膜之異物之含量較少，並且可微細地圖案化，因此可適宜地用於各種用途。

[實施例]

以下，示出實施例對本發明更具體地進行說明，但本發明之範圍並不限定於該等實施例。

[實施例]

於實施例、及比較例中，以固形物成分成為15質量%之方式於表1所記載之種類之肟酯化合物(C1)100質量份、表1所記載之種類之化合物(C2)25質量份、鹼溶性樹脂(固形物成分55質量%，溶劑為乙酸3-甲氧基丁酯)310質量份、二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA，日本化藥股份有限公司製造)175質量份、及碳黑分散液(CF Black，禦國色素股份有限公司製造)450質量份之混合物中添加乙酸3-甲氧基丁酯，攪拌至均勻，而獲得感光性組合物。

鹼溶性樹脂使用與日本專利特開2010-32940號公報之段落[0063]~[0064]所記載之樹脂A-1相同之樹脂。

對於所獲得之感光性組合物，藉由離子層析法測定胺之含量，並且 藉由離子層析法測定氯化物離子之含量。將各感光性組合物之胺之含量與氯化物離子之含量記載於表1。

表1中之胺之種類E1、E2、及E3如以下所述。

E1：嗎啉

E2：三乙基胺

E3：咪唑

再者，實施例1~3、實施例6~11、比較例1~6、及比較例8~12之感光性組合物中之胺含量係由化合物(C2)之精製之程度而調整。

實施例4、實施例5、比較例7之感光性組合物中之胺含量係藉由使用實質上不含胺之化合物(C2)，並且於感光性組合物中添加特定量之三乙基胺而調整。

又，各感光性組合物中之氯化物離子含量係由肟酯化合物(C1)之精製之程度而調整。

於實施例及比較例中，使用下述C1a及下述C1b作為肟酯化合物(C1)。

於實施例及比較例中，使用以下之C2a、C2b、及C2c作為化合物(C2)。

C2a：2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮

C2b：2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮

C2c：2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物

對於所獲得之感光性組合物，依照以下之方法對異物、解析性、感度、及塗佈性進行評價。將該等評價結果記載於表1。

(異物評價)

使用旋轉塗佈機，將感光性樹脂組合物塗佈於10cm×10cm之玻璃而形成塗佈膜。繼而，於100℃下藉由加熱板將塗佈膜加熱120秒而從塗佈膜中去除溶劑，從而獲得膜厚1μm之塗佈膜。

藉由異物檢測器計測所獲得之塗佈膜中之異物數，將異物數為1000以上判定為×，將異物數未達100判定為○。

(解析性評價)

使用旋轉塗佈機，將感光性樹脂組合物塗佈於10cm×10cm之玻璃而形成塗佈膜。繼而，於100℃下藉由加熱板將塗佈膜加熱120秒而從塗佈膜中去除溶劑，從而獲得膜厚1μm之塗佈膜。

介隔描繪有線寬2、4、6、8、10、12、14、16、18、及20μm之線之光罩，以曝光量50mJ/cm²對所獲得之塗佈膜進行曝光。

曝光後，使用濃度0.05質量%之KOH水溶液將塗佈膜顯影60秒，確認所描繪之圖案中之最小之線寬。

將最小之線寬為10μm以上之情形判定為×，將最小之線寬未達10μm之情形判定為○。

(感度評價)

使用旋轉塗佈機，將感光性樹脂組合物塗佈於10cm×10cm之玻璃而形成塗佈膜。繼而，於100℃下藉由加熱板將塗佈膜加熱120秒而從塗佈膜中去除溶劑，從而獲得膜厚1μm之塗佈膜。

介隔描繪有線寬20μm之線之光罩，以曝光量50mJ/cm²對所獲得之塗佈膜進行曝光。

曝光後，使用濃度0.05質量%之KOH水溶液將塗佈膜顯影60秒，確認所描繪之圖案。

以曝光量25mJ/cm²、75mJ/cm²、100mJ/cm²進行同樣之操作。

將以75mJ/cm²以上之曝光量獲得所需尺寸之圖案之情形判定為×，將以50mJ/cm²以下之曝光量獲得所需尺寸之圖案之情形判定為○。

(塗佈性評價)

於10點測定異物測定所使用之塗佈膜之膜厚，算出最大膜厚與最小膜厚之差。再者，任一感光性組合物均為塗佈性無問題之水準。該評價係無問題之範圍內之塗佈性優劣之比較。

將膜厚差為0.1μm以上之情形判定為○，將膜厚差未達0.1μm之情形判定為◎。

根據表1可知，於含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、溶劑(S)、及胺(E)，且光聚合起始劑(C)含有肟酯化合物(C1)、與肟酯化合物以外之化合物(C2)，感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下之實施例之感光性組合物中，同時實現了異物之抑制與良好之解析性。

Claims (6)

1. 一種感光性組合物，其係含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、溶劑(S)、及胺(E)者，且上述光聚合起始劑(C)含有肟酯化合物(C1)、與上述肟酯化合物以外之化合物(C2)，上述化合物(C2)係選自由烷基苯酮化合物、及咪唑化合物所組成之群中之1種以上，上述胺(E)係選自由鏈狀脂肪族胺、環式胺、及芳香族胺所組成之群中之1種以上，上述環式胺係選自由吡咯啶、哌

   

   、嗎啉、及吡咯所組成之群中之1種以上，並且上述感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。
2. 一種感光性組合物，其係含有鹼溶性樹脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合起始劑(C)、著色劑(D)、溶劑(S)、及胺(E)者，且上述光聚合起始劑(C)含有肟酯化合物(C1)、與上述肟酯化合物以外之化合物(C2)，上述化合物(C2)係選自由烷基苯酮化合物、及咪唑化合物所組成之群中之1種以上，並且上述感光性組合物中之氯化物離子量為1000質量ppm以下。
3. 如請求項1之感光性組合物，其進而含有著色劑(D)。
4. 如請求項1至3中任一項之感光性組合物，其中上述感光性組合物中之上述胺(E)之含量為5000質量ppm以下。
5. 一種硬化膜之形成方法，其包括：將如請求項1至4中任一項之感光性組合物塗佈於基板上而形成塗佈膜；及對上述塗佈膜進行曝光。
6. 如請求項5之硬化膜之形成方法，其包括對上述塗佈膜進行位置選擇性地曝光，進而將經曝光之上述塗佈膜進行顯影。