TWI690001B - 機台裝置、製程設備及製程設備之作動方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭示一種機台裝置，其包括一機台本體、一工作區及至少一工件置放區。該機台本體具有一前部分、一後部分及二側部分，該後部分係相對該前部分，該等側部分係延伸於該前部分及該後部分之間。該工作區位於該機台本體，用以對一待加工工件進行加工。該工作區係朝向該前部分開放。該工件置放區位於該機台本體之該等側部分中之一各別者，用以置放工件。該工件置放區之位置係對應於該工作區與該後部分之間。

Description

機台裝置、製程設備及製程設備之作動方法

本發明係關於一機台裝置、一製程設備及一製程設備之作動方法，以及係關於可從該機台裝置之該後部分取放工件之機台裝置、包含該機台裝置之製程設備以及該製程設備之作動方法。

現行大部分的打線機器（Wire Bond machine）係以操作員進行供料及取料，如此不但耗費人力且恐增加機台閒置率。有鑑於此，部分的打線製程工作站改以自動化設備代替操作員進行供料及取料以建立一自動化系統。常用的自動化設備分別為天車系統(Over Head Vehicle Controller)及無人搬運車(Automated Guided Vehicle, AGV)。其中，天車系統將軌道架設於廠房之天花板，並透過ㄧ懸吊設備進行貨料之運送。該懸吊設備係以直上直下之方式進行供料及取料之動作，然而打線機器的料盒(magazine)係為上下兩層配置（即，上層料盒係位於下層料盒之正上方），因此天車系統並無法越過上層料盒夾取下層料盒。

無人搬運車係為在廠房地面行駛的無人車且其具有一機械手臂。現行廠房機台配置以面對面方式進行擺設（亦即，一排打線機器之前面（前側）係面對另一排打線機器之前面（前側）），且該二排打線機器間之走道寬約100公分。該走道係供操作員進行作業（例如故障之排除）所站立之用。由於無人搬運車寬度約80公分，若於走道上增設無人搬運車，可能會發生無人搬運車與操作員碰撞的工安問題。

根據一項態樣，在一些實施例中，一種機台裝置包括一機台本體、一工作區及至少一工件置放區。該機台本體具有一前部分、一後部分及二側部分，該後部分係相對該前部分，該等側部分係延伸於該前部分及該後部分之間。該工作區位於該機台本體，用以對一待加工工件進行加工。該工作區係朝向該前部分開放。該工件置放區位於該機台本體之該等側部分中之一各別者，用以置放工件。該工件置放區之位置係對應於該工作區與該後部分之間。

根據另一態樣，在一些實施例中，一種製程設備包括一移動通道、至少一機台裝置及一搬運裝置。該機台裝置包括一機台本體及一工作區。該機台本體具有一前部分及一後部分，該後部分係相對該前部分。該工作區位於該機台本體，且朝向該前部分開放，以供一作業員進行作業。該機台裝置之後部分係朝向該移動通道。該搬運裝置位於該移動通道，以從該機台裝置之後部分進行取放作業。

根據另一態樣，在一些實施例中，一種製程設備之作動方法包括：(a)提供複數個機台裝置，每一機台裝置包括一機台本體及一工作區，該機台本體具有一前部分及一後部分，該後部分係相對該前部分，該工作區位於該機台本體，且朝向該前部分開放；其中，該等機台裝置係排成至少一排，且該等機台裝置之後部分係朝向一移動通道；(b)提供一搬運裝置於該移動通道；及(c)利用該搬運裝置從該等機台裝置之後部分進行料盒取放作業，且該機台裝置在該工作區進行加工。

貫穿圖式及詳細描述使用共用參考編號來指示相同或類似組件。本發明之實施例自結合附圖進行之以下詳細描述將更容易理解。

以下揭露內容提供用於實施所提供標的物之不同特徵的諸多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以揭示本發明之某些態樣。當然，此等僅為實例且並不意欲為限制性。舉例而言，在隨後描述中將第一特徵形成於第二特徵上方或其上可包含括其中第一特徵與第二特徵以直接接觸方式形成或安置的實施例，且亦可包括其中可在第一特徵與第二特徵之間形成或安置額外特徵使得第一特徵與第二特徵可不直接接觸的實施例。另外，本發明可在本文中所提供之各種實例中重複參考編號及/或字母。此重複係出於簡約及清楚之目的且自身並不指示所論述之各種實施例及/或組態之間的關係。

在一個比較實施例的打線機器（或打線機台）中，供/出料盒(magazine)係置放於靠近該打線機器之前面（前側）之載台，以利操作員搬運供/出料盒，而進行供/出料之作業。再者，該打線機器之打線區係朝向該打線機器之前面（前側），以利操作員面對該打線機器之前面（前側）進行打線區的故障的排除。亦即，供/出料盒(magazine)所置放之位置（即該等載台）係對應於該打線機器之前面（前側）與該打線機器之打線區之間。

此外，該打線機器包括二個升降裝置(Elevator)，其中一個升降裝置具有一夾頭以將載台上之供料盒搬運至該打線區之進料端，且另一個升降裝置具有一夾頭以將載台上之出料盒搬運至該打線區之出料端。該等升降裝置夾頭係朝向該等載台（即該打線機器之前面（前側））。亦即，該等升降裝置所在之位置係對應於該打線機器之背面（背側）與該打線機器之打線區之間。惟，由於操作員所佔之位置與供/出料盒皆鄰近於該打線機器之前面（前側），當設置自動化設備（例如：無人搬運車(Automated Guided Vehicle, AGV)）取代操作員時，由於該自動化設備（例如：無人搬運車(Automated Guided Vehicle, AGV)）需從該打線機器之前面（前側）進行自動供/出料，如此，容易發生該自動化設備（例如：無人搬運車(Automated Guided Vehicle, AGV)）與進行故障排除的作業員碰撞之工安問題。

另一方面，廠房機台配置以面對面方式進行擺設（亦即，一排打線機器之前面（前側）係面對另一排打線機器之前面（前側）），如果在該二排打線機器間之走道設置一軌道及一自動搬運裝置（例如：機械手臂），其中該自動搬運裝置（例如：機械手臂）可在該軌道上移動，以從該等打線機器之前面（前側）進行自動供/出料作業。然而，如此一來，因為該等打線機器與該自動搬運裝置形成一個封閉區域，當打線機器發生異常及/或故障時必須將該自動搬運裝置關閉，使操作員進入該區域進行處理以及故障的排除，以防止操作員與該自動搬運裝置發生碰撞，如此恐增加打線機器的閒置率。

承上，若多台打線機器搭配多台自動搬運裝置形成複數個封閉區域，當其中一台打線機器發生異常及/或故障時，僅需關閉其中一個區域內之自動搬運裝置及打線機器，而不會造成全部區域的打線機器停擺，可增加打線機器的稼動率。舉例而言，12台打線機器可分成A、B、C三個封閉區域，其中每4台打線機器共用一台自動搬運裝置，當A區之一台打線機器發生異常及/或故障時，僅需將A區的自動搬運裝置進行關閉，B區及C區則可繼續正常運作。但是，如此需增加自動搬運裝置的數量，且會使A區的所有打線機器閒置，導致打線機器成本增加以及產能下降。

本發明提供一種操作員與自動搬運裝置可在不同側作業的機台裝置，如此，操作員可於該機台裝置之前面（前側，或正面)進行異常或故障之排除，該自動搬運裝置是於該機台裝置之後面（後側，或背面)進行供/出料，以達到人機分道的功效。因此，不但可避免該自動搬運裝置與操作員碰撞的工安意外，更可減少該機台裝置的閒置率。

圖1說明根據本發明之一些實施例之機台裝置1的前視立體組合圖。圖2說明圖1中所展示之機台裝置1的後視立體組合圖。圖3說明圖1中所展示之機台裝置1的立體分解圖。圖4說明圖1中所展示之機台裝置1的前視部分立體組合圖，其中省略第一防護罩181及第二防護罩182。該機台裝置1包括一機台本體10、一工作區12、一打線裝置2、至少一工件置放區（包括例如一第一工件置放區14及一第二工件置放區16）、至少一第一載台（包括例如一第一上載台41及一第一下載台42）、至少一第二載台（包括例如一第二上載台43及一第二下載台44）、至少一升降載具（包括例如一第一升降載具46及一第二升降載具48）、至少一防護罩（包括例如一第一防護罩181及一第二防護罩182）、一鍵盤191及一電腦螢幕192。

該機台本體10具有一前部分101（或者又可稱為「前面」、「正面」、「前側」或「前方」）、一後部分102（或者又可稱為「後面」、「背面」、「後側」或「後方」）及二側部分（包含一第一側部分103（例如左側部分、左側面或左側方）及一第二側部分104（例如右側部分、右側面或右側方））。該前部分101係為操作員所面對的部分。亦即，當該操作員59（圖6）對該機台裝置1進行異常的排除或故障的排除時，該操作員59（圖6）所站立之位置（操作員站立區11）係鄰近該前部分101，且面朝向該前部分101。該後部分102係相對該前部分101。亦即，該後部分102係遠離該操作員59（圖6）所站立之位置。該等側部分（包含該第一側部分103及該第二側部分104）係延伸於該前部分101及該後部分102之間。該第一側部分103係相對該第二側部分104。

該工作區12係位於該機台本體10，用以對一待加工工件56進行加工。該工作區12係朝向該前部分101開放。在一實施例中，該工作區12係大致位於該機台本體10之中間位置，且該工作區12與該前部分101之間無任何阻擋之物，因此，該操作員59（圖6）可越過該機台本體10之前部分101而針對位於該工作區12之構件進行異常的排除或故障的排除。亦即，該工作區12之位置係位於該機台本體10之前部分101及該機台本體10之後部分102之間。

在一實施例中，該機台裝置1係為一打線機器，該打線裝置2係位於該工作區12，且附著至該機台本體10，用以對該待加工工件56進行打線加工。該打線裝置2包括一工作平台20、一線盒22、一進給裝置24及一打線機構26。該工作平台20係用以承載及移動該待加工工件56。該線盒22係用以儲存一導線54。該進給裝置24係用以調整來自該線盒22之該導線54之方向，使得該導線54可以朝下方進給。該打線機構26係接受來自該進給裝置24之導線54。該打線機構26具有一打線頭264（圖5），用以將該導線54連接至該待加工工件56。

該至少一工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）位於該機台本體10之該等側部分（包含該第一側部分103及該第二側部分104）中之一各別者，用以置放工件。該工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）之位置係對應於該工作區12與該後部分102之間。亦即，該工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）係比該工作區12更靠近該後部分102。該工作區12係比該工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）更靠近該前部分101。該工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）係位於靠近該工作區12之二側（例如一進料端32及一出料端34（圖3））之位置。在一實施例中，該第一工件置放區14係位於該第一側部分103且鄰近於該工作區12之進料端32，該第二工件置放區16係位於該第二側部分104且鄰近於該工作區12之出料端34。如圖1及圖3所示，該工作區12之進料端32係為第一側板31之透孔，且該工作區12之出料端34係為第二側板33之透孔。

如圖2所示，該至少一第一載台（包括例如該第一上載台41及該第一下載台42）位於該第一工件置放區14，且附著至該機台本體10，用以承載一料盒(magazine)57（圖6）。在一實施例中，該第一上載台41係位於該第一下載台42之正上方，且該工作區12之該進料端32係位於該第一上載台41及該第一下載台42之間。該第一上載台41係鄰近於該工作區12之該進料端32之上方，且該第一下載台42係鄰近於該工作區12之該進料端32之下方。此外，如圖1所示，該至少一第二載台（包括例如該第二上載台43及該第二下載台44）位於該第二工件置放區16，且附著至該機台本體10，用以承載一料盒。在一實施例中，該第二上載台43係位於該第二下載台44之正上方，且該工作區12之該出料端34係位於該第二上載台43及該第二下載台44之間。該第二上載台43係鄰近於該工作區12之該出料端34之上方，且該第二下載台44係鄰近於該工作區12之該出料端34之下方。

如圖1所示，該第二下載台44具有一突出緣441、一凹槽442及一前檔片443。該突出緣441係位於該第二下載台44之後端，且該凹槽442及該前檔片443係位於該第二下載台44之前端。亦即，該第二下載台44之該突出緣441係朝向該機台本體10之後部分102，且該第二下載台44之該凹槽442及該前檔片443係朝向該機台本體10之前部分101。在一實施例中，該第一上載台41、該第一下載台42及該第二上載台43之形狀與該第二下載台44大致相同。

該至少一升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）係位於該機台本體10之該等側部分（包含該第一側部分103及該第二側部分104）中之一各別者，且附著至該機台本體10之前部分101。在一實施例中，該第一升降載具46係位於該第一側部分103，且附著至該機台本體10之前部分101；該第二升降載具48係位於該第二側部分104，且附著至該機台本體10之前部分101。如圖2至圖4所示，該工作區12之位置係對應於該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）及該工件置放區（包括例如該第一工件置放區14及該第二工件置放區16）之間。該工作區12之該進料端32係位於該第一升降載具46及該至少一第一載台（包括例如該第一上載台41及該第一下載台42）之間。該工作區12之該出料端34係位於該第二升降載具48及該至少一第二載台（包括例如該第二上載台43及該第二下載台44）之間。

如圖4所示，該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）係鄰近於操作員站立區11，亦即，該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）比該至少一第一載台（包括例如該第一上載台41及該第一下載台42）及該至少一第二載台（包括例如該第二上載台43及該第二下載台44）係更靠近該操作員站立區11。換言之，該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）之位置係對應於該操作員站立區11及該工作區12之間。

如圖2及圖3所示，該第一升降載具46具有一第一架體461、一第一水平軌道462、一第一垂直軌道463、複數個第一馬達464、及一第一夾頭50。該第一水平軌道462係水平地設置於該機台本體10之該第一側部分103且鄰近於該第一工件置放區14。該第一水平軌道462係前後延伸。該第一架體461係為為一垂直主結構，其位於該第一水平軌道462上且可在該第一水平軌道462上前後移動。該第一垂直軌道463係垂直地附著在該第一架體461上，且上下延伸。該第一夾頭50係位於該第一垂直軌道463上，且可在該第一垂直軌道463上上下移動。該第一夾頭50係朝向該機台本體10之後部分102，用以夾取位於該第一工件置放區14之該至少一第一載台（包括例如該第一上載台41及該第一下載台42）上之一料盒57（圖6）。在一實施例中，該第一夾頭50包括一第一上夾爪501及一第一下夾爪502。該第一下夾爪502係可以穿過該第一上載台41及該第一下載台42之凹槽而接觸該料盒57（圖6）之下表面。該等第一馬達464係附著至該第一架體461上。在一實施例中，該第一升降載具46具有三個第一馬達464，其分別控制該第一架體461在水平方向的前後移動、該第一夾頭50在垂直方向的上下移動，以及該第一上夾爪501與該第一下夾爪502的各自移動。

如圖3及圖4所示，該第二升降載具48具有一第二架體481、一第二水平軌道482、一第二垂直軌道483、複數個第二馬達484、及一第二夾頭52。該第二水平軌道482係水平地設置於該機台本體10之該第二側部分104且鄰近於該第二工件置放區16。該第二水平軌道482係前後延伸。該第二架體481係為為一垂直主結構，其位於該第二水平軌道482上且可在該第二水平軌道482上前後移動。該第二垂直軌道483係垂直地附著在該第二架體481上，且上下延伸。該第二夾頭52係位於該第二垂直軌道483上，且可在該第二垂直軌道483上上下移動。該第二夾頭52係朝向該機台本體10之後部分102，用以夾取位於該第二工件置放區16之該至少一第二載台（包括例如該第二上載台43及該第二下載台44）上之一料盒57（圖6）。在一實施例中，該第二夾頭52包括一第二上夾爪521及一第二下夾爪522。該第二下夾爪522係可以穿過該第二上載台43及該第二下載台44之凹槽（例如：凹槽442）而接觸該料盒57（圖6）之下表面。該等第二馬達484係附著至該第二架體481上。在一實施例中，該第二升降載具48具有三個第二馬達484，其分別控制該第二架體481在水平方向的前後移動、該第二夾頭52在垂直方向的上下移動，以及該第二上夾爪521與該第二下夾爪522的各自移動。

該至少一防護罩（包括例如該第一防護罩181及該第二防護罩182）係用以覆蓋且罩住該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48），以保護該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）且防止操作員碰到該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）而發生公安意外事件。舉例而言，該第一防護罩181係覆蓋該第一升降載具46，且該第二防護罩182係覆蓋該第二升降載具48。

該電腦螢幕192係位於該工作區12之上方，且朝向該機台本體10之前部分101，以供操作員觀看。該鍵盤191係位於該機台本體10之前部分101，以供操作員輸入指令以操作該機台裝置1。如圖4所示，該升降載具（包括例如該第一升降載具46及該第二升降載具48）係分別位於該鍵盤191之左右二側。

圖5說明圖1中所展示之機台裝置1的打線機構26的立體放大示意圖。該打線機構26包括一張力調整元件261、一對準元件262、一打線頭夾持元件263、一打線頭264及一加熱元件265。該張力調整裝置261係位於該進給裝置24之下方，且接受來自該進給裝置24之導線54。該張力調整裝置261係用以調整該導線54之張力，且持續向下進給該導線54。該對準元件262係位於該張力調整元件261之下方，且接受來自該張力調整元件261之導線54。該對準元件262係用以將該導線54對準該打線頭264。該打線頭夾持元件263係位於該對準元件262之下方，且夾持該打線頭264。該打線頭264係用以接受來自該對準元件262之該導線54，以將該導線54連接至該待加工工件56。該加熱元件265係位於該打線頭夾持元件263之下方，用以加熱該導線54之末端。

圖6說明根據本發明之一些實施例之製程設備6的立體示意圖。該製程設備6包括一移動通道62、至少一個機台裝置1及一搬運裝置58。該機台裝置1係與圖1至圖4之機台裝置1相同，其包括一機台本體10、一工作區12、一打線裝置2、至少一工件置放區（包括例如一第一工件置放區14及一第二工件置放區16）、至少一第一載台（包括例如一第一上載台41及一第一下載台42）、至少一第二載台（包括例如一第二上載台43及一第二下載台44）、至少一升降載具（包括例如一第一升降載具46及一第二升降載具48）、至少一防護罩（包括例如一第一防護罩181及一第二防護罩182）、一鍵盤191及一電腦螢幕192。該機台本體10具有一前部分101及一後部分102，該後部分102係相對該前部分101。該機台裝置1之後部分102係朝向該移動通道62。該工作區12位於該機台本體10，且朝向該前部分101開放，以供一作業員59進行作業（例如：異常或故障排除之作業）。該搬運裝置58係位於該移動通道62，以從該機台裝置1之後部分102進行取放作業（例如：料盒57之取放作業）。

在一實施例中，該製程設備6更包括一軌道583及一移動平台582。該軌道583係位於該移動通道62。該移動平台582係位於該軌道583上，且可在該軌道583上移動（例如：滑動）。該搬運裝置58之下端係固設於該移動平台582上，使得該搬運裝置58係可在該軌道583上左右移動。在一實施例中，該搬運裝置58係可為一六軸機械手臂，且其前端具有一夾頭581，用以夾取且搬移該料盒57。可以理解的是，該搬運裝置58也可以是無人搬運車。

如圖6所示，該作業員59係站立在該操作員站立區11，其係鄰近該機台本體10之該前部分101，亦即，該作業員59係站立在該機台裝置1之前方。同時，該搬運裝置58係鄰近該機台本體10之該後部分102，而從該等機台裝置1之後部分102進行取放作業（例如：料盒57之取放作業），亦即，該搬運裝置58係位於該機台裝置1之後方。由於該作業員59與該搬運裝置58係分別位於該機台裝置1之前後不同側，因此，不會發生該搬運裝置58碰撞該作業員59之工安事件。此外，該作業員59與該搬運裝置58各自之作業係為獨立而不會互相影響，因此，當該操作員59對該機台裝置1進行異常的排除或故障的排除時，該搬運裝置58仍可繼續其作業，而不需停機，如此，可減少該機台裝置1的閒置率，以提高產能。

圖7至圖15說明根據本發明之一些實施例之製程設備6之作動方法。參考圖7，利用該搬運裝置58之夾頭581從該機台裝置1之後部分102（圖6）將一第一料盒571放置於該機台裝置1之該第一下載台42。該第一料盒571內容納至少一待加工工件56。在一實施例中，該第一料盒571內裝滿複數個待加工工件56，亦即，該第一料盒571係為貨盒。該第一料盒571具有一開口，其朝向該工作區12。

參考圖8，利用該搬運裝置58之夾頭581從該機台裝置1之後部分102（圖6）將一第二料盒572放置於該機台裝置1之該第二上載台43。該第二料盒572內並沒有容納任何工件，亦即，該第二料盒572係為空盒。該第二料盒572具有一開口，其朝向該工作區12。此時之狀態如圖9之立體示意圖所示，該第一料盒571（貨盒）位於該機台裝置1之該第一下載台42上，且該第二料盒572（空盒）位於該機台裝置1之該第二上載台43上。可以理解的是，該第二料盒572也可以由該作業員59以人工方式放置於該機台裝置1之該第二上載台43上。

接著，參考圖10，利用該第一升降載具46夾取該第一料盒571至該機台裝置1之該工作區12之進料端32。在一實施例中，該第一升降載具46沿著該第一水平軌道462朝後方移動，以利用該第一升降載具46之該第一夾頭50（包括該第一上夾爪501及該第一下夾爪502）夾取該第一料盒571。接著，該第一升降載具46沿著該第一水平軌道462朝前方移動，且該第一夾頭50連同該第一料盒571一起沿著該第一垂直軌道463朝上方移動，使得該第一料盒571之開口面對該工作區12之進料端32。

參考圖11，與圖10上述動作之同時，利用該第二升降載具48夾取該第二料盒572至該機台裝置之1該工作區12之出料端34。在一實施例中，該第二升降載具48沿著該第二水平軌道482朝後方移動，以利用該第二升降載具48之該第二夾頭52（包括該第二上夾爪521及該第二下夾爪522）夾取該第二料盒572。接著，該第二升降載具48沿著該第二水平軌道482朝前方移動，且該第二夾頭52連同該第二料盒572一起沿著該第二垂直軌道483朝下方移動，使得該第二料盒572之開口面對該工作區12之出料端34。

接著，該機台裝置1從該進料端32抽取該第一料盒571內之待加工工件56以於該工作區12進行加工（例如：利用該打線裝置2（圖1、圖3、圖4及圖5）進行打線加工），且將加工後之工件放入該第二料盒572。進行一段時間後，該第一料盒571內之所有待加工工件56皆加工完成，且皆被置入該第二料盒572。此時，該第一料盒571係為空盒，且該第二料盒572係為貨盒。

接著，參考圖12，利用該第一升降載具46將該第一料盒571放置於該機台裝置1之該第一上載台41。在一實施例中，該第一夾頭50連同該第一料盒571一起沿著該第一垂直軌道463朝上方移動，且該第一升降載具46沿著該第一水平軌道462朝後方移動，以將該第一料盒571放置於該機台裝置1之該第一上載台41。

同時，參考圖13，利用該第二升降載具48將該第二料盒572放置於該機台裝置1之該第二下載台44。在一實施例中，該第二夾頭52連同該第二料盒572一起沿著該第二垂直軌道483朝下方移動，且該第二升降載具48沿著該第二水平軌道482朝後方移動，以將該第二料盒572放置於該機台裝置1之該第二下載台44。此時之狀態如圖14之立體示意圖所示，該第一料盒571（空盒）位於該機台裝置1之該第一上載台41上，且該第二料盒572（貨盒）位於該機台裝置1之該第二下載台44上。

接著，參考圖15，利用該搬運裝置58從該機台裝置1之後部分102收取該第二料盒572（貨盒），且將該第二料盒572（貨盒）搬運至一儲料設備（例如第一儲料櫃64或第二儲料櫃66（圖16））。接著，該搬運裝置58從該機台裝置1之後部分102將該第一料盒571（空盒）從該機台裝置1之一第一上載台41搬運至該第二上載台43上。接著，利用該搬運裝置58之夾頭581從該機台裝置1之後部分102（圖6）將一貨盒放置於該機台裝置1之該第一下載台42，以重複上述步驟。

圖16說明根據本發明之一些實施例之製程設備6a的立體示意圖。該製程設備6a包括一移動通道62、複數個機台裝置1a,1b及一搬運裝置58。每一該等機台裝置1a,1b係與圖1至圖4之機台裝置1大致相同，其不同處在於每一該等機台裝置1a,1b更加裝一顯微鏡裝置於該工作區12上方。該等機台裝置1a,1b係排成至少一排。在一實施例中，該等機台裝置1a,1b係排成二排，即一第一排67及一第二排68。該第一排67包括該等機台裝置1a，該第二排68包括該等機台裝置1b，且該第一排67係大致平行該第二排68。每一該等機台裝置1a之該機台本體具有一前部分及一後部分102a，該後部分102a係相對該前部分。該等機台裝置1a之後部分102a皆係朝向該移動通道62。此外，每一該等機台裝置1b之該機台本體具有一前部分及一後部分102b，該後部分102b係相對該前部分。該等機台裝置1b之後部分102b皆係朝向該移動通道62。

如圖16所示，該移動通道62係位於該第一排67及該第二排68之間，因此，該第一排67之該等機台裝置1a之後部分102a係面對該第二排68之該等機台裝置1b之後部分102b。該搬運裝置58係位於該移動通道62，以從該等機台裝置1a,1b之後部分102a,102b進行取放作業（例如：料盒之取放作業）。

在一實施例中，該製程設備6a更包括一軌道583、一移動平台582（圖6）及一儲料設備（包括例如：第一儲料櫃64及第二儲料櫃66）。該軌道583係位於該移動通道62。該移動平台582（圖6）係位於該軌道583上，且可在該軌道583上移動（例如：滑動）。該搬運裝置58之下端係固設於該移動平台582上，使得該搬運裝置58係可在該軌道583上移動。在一實施例中，該搬運裝置58係可為一六軸機械手臂，且其前端具有一夾頭581（圖6），用以夾取且搬移料盒。可以理解的是，該搬運裝置58也可以是無人搬運車。該移動通道62係連通至該儲料設備(Stocker)（包括例如：第一儲料櫃64及第二儲料櫃66）。如圖16所示之實施例，該第一儲料櫃64及該第二儲料櫃66係分別位於該移動通道62之二端。在一實施例中，該搬運裝置58係將加工完成後之貨盒（例如圖13之第二料盒572）搬運至該第二儲料櫃66儲存，且該搬運裝置58係從該第一儲料櫃64取出待加工之貨盒（例如圖7之第一料盒571）及空盒（例如圖8之第二料盒572）。在另一實施例中，該搬運裝置58係僅從該第一儲料櫃64取出待加工之貨盒（例如圖7之第一料盒571），亦即，該第一儲料櫃64僅儲存待加工之貨盒（例如圖7之第一料盒571），而不儲存空盒（例如圖8之第二料盒572）。

以下說明根據本發明之一些實施例之製程設備6a（圖16）之作動方法。首先，提供複數個機台裝置1a,1b。該等機台裝置1a,1b係排成至少一排。在一實施例中，該等機台裝置1a,1b係排成二排，即該第一排67及該第二排68。該第一排67包括該等機台裝置1a，該第二排68包括該等機台裝置1b，且該第一排67係大致平行該第二排68。每一該等機台裝置1a包括一機台本體及一工作區，該機台本體具有一前部分及一後部分102a，該後部分102a係相對該前部分。該等機台裝置1a之後部分102a皆係朝向該移動通道62。此外，每一該等機台裝置1b包括一機台本體及一工作區，該機台本體具有一前部分及一後部分102b，該後部分102b係相對該前部分。該等機台裝置1b之後部分102b皆係朝向該移動通道62。如圖16所示，該移動通道62係位於該第一排67及該第二排68之間，因此，該第一排67之該等機台裝置1a之後部分102a係面對該第二排68之該等機台裝置1b之後部分102b。

接著，提供一搬運裝置58於該移動通道62。該搬運裝置58係可在該移動通道62中移動，以從該等機台裝置1a,1b之後部分102a,102b進行取放作業（例如：料盒之取放作業）。在一實施例中，該搬運裝置58係從該第一儲料櫃64取出待加工之貨盒（例如圖7之第一料盒571）及空盒（例如圖8之第二料盒572）至一機台裝置1a,1b。在另一實施例中，該空盒（例如圖8之第二料盒572）也可以由該作業員59以人工方式放置於該等機台裝置1a,1b上。接著，進行上述圖7至圖15之動作。接著，該搬運裝置58係將加工完成後之貨盒（例如圖13之第二料盒572）搬運至該第二儲料櫃66儲存。

除非另有規定，否則諸如「在...上面」、「在...下面」、「上」、「左」、「右」、「下」、「頂部」、「底部」、「垂直」、「水平」、「側面」、「較高」、「下部」、「上部」、「在...上方」、「在...下方」等等之空間描述為相對於圖中所展示之定向指示。應理解，本文中所使用之空間描述僅出於說明之目的，且本文中所描述之結構之實際實施方案可以任一定向或方式進行空間配置，只要此配置不背離本發明之實施例的優點。

如本文中所使用，術語「大約」，「基本上」，「基本」和「約」用於描述及考慮小變化。在結合事件或情形使用時，該等術語可係指其中事件或情形明確發生的情況以及其中事件或情形接近於發生的情況。舉例而言，當結合數值使用時，該等術語可係指小於或等於彼數值之±10%的變化範圍，諸如小於或等於±5%、小於或等於±4%、小於或等於±3%、小於或等於±2%、小於或等於±1%、小於或等於±0.5%、小於或等於±0.1%，或小於或等於±0.05%。舉例而言，若兩個數值之間的差小於或等於該等值之平均值的±10% (例如小於或等於±5%、小於或等於±4%、小於或等於±3%、小於或等於±2%、小於或等於±1%、小於或等於±0.5%、小於或等於±0.1%，或小於或等於±0.05%)，則該等值可被認為基本上相同或相等。

若兩個表面之間的位移不大於5 µm，不大於2 µm，不大於1 µm，或不大於0.5 µm，則兩個表面可被認為共面或基本上共面。

本文中所使用，除非上下文另有明確指示，否則單數術語「一(a)」、「一(an)」和「該」可包括複數對象。在一些實施例之描述中，提供在另一組件之「上」或「上方」之組件可囊括其中後一組件直接在前一組件上(例如，實體接觸)的狀況，以及其中一或多個介入組件可位於前一組件與後一組件之間的狀況。

另外，數量、比率及其他數值有時在本文中以範圍格式呈現。應理解，此範圍格式是出於便利及簡潔起見而使用且應靈活地理解為包含明確規定為範圍之限制的數值，而且亦包含彼範圍內囊括之所有個別數值或子範圍，猶如每一數值及子範圍為明確規定的。

雖然已參考本發明之特定實例描述並說明本發明，但此等描述及說明並非限制性。熟習此項技術者應理解，在不背離如隨附申請專利範圍所界定之本發明之真實精神及範疇的情況下，可做出各種改變且可替代等效物。說明可不必按比例繪製。由於製造過程及容差，因此本發明中之精巧呈現與實際設備之間可存在差異。可存在本發明之未具體說明之其他實施例。說明書及圖式應視為說明性而非限制性。可進行修改以使特定情況、材料、物質組合物、方法或程序適應本發明之目的、精神及範疇。所有此等修改意欲屬於隨附申請專利範圍之範疇內。雖然已參考以特定次序執行之特定操作來描述本文中所揭示之方法，但應理解，可在不背離本發明之教示的情況下將此等操作組合、細分或重新排序以形成等效方法。因此，除非本文中特別指明，否則操作之次序及分組並非本發明的限制。

1:機台裝置 1a:機台裝置 1b:機台裝置 2:打線裝置 6:製程設備 6a:製程設備 10:機台本體 11:操作員站立區 12:工作區 14:第一工件置放區 16:第二工件置放區 20:工作平台 22:線盒 24:進給裝置 26:打線機構 31:第一側板 32:進料端 33:第二側板 34:出料端 41:第一上載台 42:第一下載台 43:第二上載台 44:第二下載台 46:第一升降載具 48:第二升降載具 50:第一夾頭 52:第二夾頭 54:導線 56:待加工工件 57:料盒 58:搬運裝置 59:操作員 62:移動通道 64:第一儲料櫃 66:第二儲料櫃 67:第一排 68:第二排 101:前部分 102:後部分 102a:後部分 102b:後部分 103:第一側部分 104:第二側部分 181:第一防護罩 182:第二防護罩 191:鍵盤 192:電腦螢幕 261:張力調整元件 262:對準元件 263:打線頭夾持元件 264:打線頭 265:加熱元件 441:突出緣 442:凹槽 443:前檔片 461:第一架體 462:第一水平軌道 463:第一垂直軌道 464:第一馬達 481:第二架體 482:第二水平軌道 483:第二垂直軌道 484:第二馬達 501:第一上夾爪 502:第一下夾爪 521:第二上夾爪 522:第二下夾爪 571:第一料盒 572:第二料盒 581:夾頭 582:移動平台 583:軌道

當與附圖一起閱讀時，可自以下詳述描述容易理解本發明之一些實施例之態樣。應注意，各種結構可能並未按比例繪製，且為論述的清晰性可任意增加或減小各種結構之尺寸。    圖1說明根據本發明之一些實施例之機台裝置的前視立體組合圖。    圖2說明圖1中所展示之機台裝置1的後視立體組合圖。    圖3說明圖1中所展示之機台裝置1的立體分解圖。    圖4說明圖1中所展示之機台裝置1的前視部分立體組合圖，其中省略第一防護罩及第二防護罩。    圖5說明圖1中所展示之機台裝置1的打線機構的立體放大示意圖。    圖6說明根據本發明之一些實施例之製程設備的立體示意圖。    圖7根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖8根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖9根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖10根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖11根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖12根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖13根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖14根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖15根據本發明之一些實施例說明製程設備之作動方法之實例之一或複數個階段。    圖16說明根據本發明之一些實施例之製程設備的立體示意圖。

1:機台裝置

2:打線裝置

10:機台本體

11:操作員站立區

12:工作區

14:第一工件置放區

16:第二工件置放區

20:工作平台

22:線盒

24:進給裝置

26:打線機構

31:第一側板

32:進料端

33:第二側板

41:第一上載台

43:第二上載台

44:第二下載台

54:導線

56:待加工工件

101:前部分

102:後部分

103:第一側部分

104:第二側部分

181:第一防護罩

182:第二防護罩

191:鍵盤

192:電腦螢幕

441:突出緣

442:凹槽

443:前檔片

Claims (24)

1. 一種機台裝置，其包括：    一機台本體，具有一前部分、一後部分及二側部分，該後部分係相對該前部分，該等側部分係延伸於該前部分及該後部分之間；    一工作區，位於該機台本體，用以對一待加工工件進行加工，其中，該工作區係朝向該前部分開放；及    至少一工件置放區，位於該機台本體之該等側部分中之一各別者，用以置放工件，其中，該工件置放區之位置係對應於該工作區與該後部分之間。
2. 如請求項1之機台裝置，更包括一打線裝置，位於該工作區，且附著至該機台本體，用以對該待加工工件進行打線加工。
3. 如請求項2之機台裝置，其中該打線裝置包括：    一工作平台，用以承載一待加工工件；    一線盒，用以儲存一導線；    一進給裝置，用以調整該導線之方向，且進給該導線；及    一打線機構，接受來自該進給裝置之導線，其中該打線機構包括一打線頭，用以將該導線連接至該待加工工件。
4. 如請求項1之機台裝置，其中該工作區之位置係位於該機台本體之前部分及該機台本體之後部分之間。
5. 如請求項1之機台裝置，其中該等側部分包括一第一側部分及一第二側部分，該第一側部分係相對該第二側部分；該至少一工件置放區包括一第一工件置放區及一第二工件置放區，其中，該第一工件置放區係位於該機台本體之第一側部分，且鄰近於該工作區之一進料端，該第二工件置放區係位於該機台本體之第二側部分，且鄰近於該工作區之一出料端。
6. 如請求項5之機台裝置，更包括至少一第一載台及至少一第二載台，該至少一第一載台位於該第一工件置放區，且附著至該機台本體，用以承載一料盒(magazine)；該至少一第二載台位於該第二工件置放區，且附著至該機台本體，用以承載一料盒。
7. 如請求項6之機台裝置，其中該至少一第一載台包括一第一上載台及一第一下載台，該第一上載台係位於該第一下載台之上方，該工作區之該進料端係位於該第一上載台及該第一下載台之間；該至少一第二載台包括一第二上載台及一第二下載台，該第二上載台係位於該第二下載台之上方，該工作區之該出料端係位於該第二上載台及該第二下載台之間。
8. 如請求項1之機台裝置，更包括至少一載台，位於該工件置放區，且附著至該機台本體，用以承載一料盒。
9. 如請求項8之機台裝置，其中該載台具有一突出緣及一凹槽，該突出緣係位於該載台之一後端，該凹槽係位於該載台之一前端。
10. 如請求項1之機台裝置，更包括至少一升降載具，位於該機台本體之該等側部分中之一各別者，且附著至該機台本體之前部分。
11. 如請求項10之機台裝置，其中該升降載具具有一夾頭，該夾頭係朝向該機台本體之後部分，用以夾取位於該工件置放區之一料盒。
12. 如請求項10之機台裝置，其中該工作區之位置係對應於該升降載具及該工件置放區之間。
13. 一種製程設備，其包括：    一移動通道；    至少一機台裝置，其包括：    一機台本體，具有一前部分及一後部分，該後部分係相對該前部分；及    一工作區，位於該機台本體，且朝向該前部分開放，以供一作業員進行作業；其中該至少一機台裝置之後部分係朝向該移動通道；及    一搬運裝置，位於該移動通道，以從該機台裝置之後部分進行取放作業。
14. 如請求項13之製程設備，更包括一軌道，位於該移動通道，且該搬運裝置係可在該軌道上移動。
15. 如請求項13之製程設備，其中該搬運裝置係為一六軸機械手臂。
16. 如請求項13之製程設備，更包括一儲料設備(Stocker)，該移動通道係連通至該儲料設備。
17. 如請求項13之製程設備，其中，該至少一個機台裝置包括複數個機台裝置，該等機台裝置係排成至少一排，且該等機台裝置之後部分皆係朝向該移動通道。
18. 如請求項17之製程設備，該等機台裝置係排成一第一排及一第二排，該第一排係大致平行該第二排，該移動通道係位於該第一排及該第二排之間，且該第一排之該等機台裝置之後部分係面對該第二排之該等機台裝置之後部分。
19. 一種製程設備之作動方法，其包括：    (a)提供複數個機台裝置，每一機台裝置包括一機台本體及一工作區，該機台本體具有一前部分及一後部分，該後部分係相對該前部分，該工作區位於該機台本體，且朝向該前部分開放；其中，該等機台裝置係排成至少一排，且該等機台裝置之後部分係朝向一移動通道；    (b)提供一搬運裝置於該移動通道；及    (c)利用該搬運裝置從該等機台裝置之後部分進行料盒取放作業，且該機台裝置在該工作區進行加工。
20. 如請求項19之作動方法，其中在(a)中，該等機台裝置係排成一第一排及一第二排，該第一排係大致平行該第二排，該移動通道係位於該第一排及該第二排之間，且該第一排之該等機台裝置之後部分係面對該第二排之該等機台裝置之後部分。
21. 如請求項19之作動方法，其中在(b)中，該搬運裝置係可在該移動通道中移動。
22. 如請求項19之作動方法，其中(c)包括：    (c1)利用該搬運裝置從該機台裝置之後部分將一第一料盒放置於該機台裝置之一第一下載台，其中第一料盒內容納至少一待加工工件；    (c2)利用該搬運裝置從該機台裝置之後部分將一第二料盒放置於該機台裝置之一第二上載台，其中該第二料盒係為空盒；    (c3)利用一第一升降載具夾取該第一料盒至該機台裝置之該工作區之進料端，且利用一第二升降載具夾取該第二料盒至該機台裝置之該工作區之出料端；    (c4)該機台裝置抽取該第一料盒內之待加工工件以於該工作區進行加工，且將加工後之工件放入該第二料盒；    (c5)利用該第一升降載具將該第一料盒放置於該機台裝置之一第一上載台，且利用該第二升降載具將該第二料盒放置於該機台裝置之一第二下載台；及    (c6)利用該搬運裝置從該機台裝置之後部分收取該第二料盒。
23. 如請求項22之作動方法，其中(c6)更包括：    (c61)利用該搬運裝置將該第二料盒搬運至一儲料設備(Stocker)。
24. 如請求項22之作動方法，其中(c6)之後，該作動方法更包括：    (c7)利用該搬運裝置從該機台裝置之後部分將該第一料盒從該機台裝置之一第一上載台搬運至第二上載台。

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