JP2016119408A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の基板収納容器は、工程内には工程内用基板収納容器、基板Ｗの出荷には出荷用基板収納容器を、それぞれ専用容器として使用していた。そのため、ほぼ同じ形状を有する容器本体と蓋体であっても、それぞれの用途別に準備しなければならないという課題があった。【解決手段】基板収納容器１において、リテーナと支持部材を着脱可能に固定できるよう形成し、工程内用基板収納容器のリテーナ３５と基板支持部材５を、出荷用基板収納容器のリテーナ３５Ａと基板支持部材５Ａに組み替える事でどちらの使用用途にも対応出来る基板収納容器を提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場の工程内搬送や、ウェーハメーカーからデバイスメーカーへのウェーハの搬送（出荷）のための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、リテーナが設けられている。リテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の前側の周縁部を支持可能である。また、リテーナと対をなすようにして、基板を載置するための基板載置部が設けられた基板支持部材が壁部に設けられている。この基板支持部材の奥には、奥側基板支持部が設けられている。この奥側基板支持部は、基板支持部材と一体的に形成されているものだけでなく、別体として形成されていてもよい。奥側基板支持部は、複数の基板の奥側の周縁部を支持可能である。

容器本体を閉塞する為に容器本体開口部に蓋体が取り付けられると、基板支持部材の基板載置部に載置された複数の基板は、基板載置部から上方向に離間された状態で、リテーナと奥側基板支持部により支持させる。その際、リテーナの基板を支持する部分と、奥側基板支持部とには、Ｖ溝形状が形成されており、このＶ溝形状で基板の周縁部を支持する。通常このような容器は、基板の出荷容器（出荷用基板収納容器）として用いられる。（特許文献１参照）

また、容器本体を閉塞する為に容器本体開口部に蓋体が取り付けられる際に、基板載置部から基板が離間せず、リテーナと奥側基板支持部により複数の基板を支持する容器もある。このような容器は、半導体工場等の工程内で使用する容器（工程内用基板収納容器）として用いられている。その場合、基板の前方を押え、容器本体内で基板の移動を抑制し、容器や基板の製造上のばらつきや厚さの異なる基板への対応のために、リテーナの基板を受ける平面を、基板の厚さの２倍程度の高さを有する垂直平面とした容器も検討されている。（特許文献２参照）

特許第４１４６７１８号公報 特許第４１５３８７４号公報

上記のように、出荷用基板収納容器および工程内用基板収納容器には容器本体に基板載置部、蓋体にリテーナが形成されているが、工程内容器は工程内用基板収納容器、出荷容器は出荷用基板収納容器として、それぞれ専用容器として使用されていた。そのため、ほぼ同じ形状を有する容器本体と蓋体であっても、それぞれの用途別に準備しなければならないという課題があった。

本発明は、基板支持部材とリテーナを着脱可能な形状とし、ユーザーの使用用途に合わせて基板支持部材とリテーナを組み替え、工程内用基板収納容器、出荷用基板収納容器のどちらにも対応出来る容器を提供する事を目的とする。

本発明は、一端部に開口部が形成された内部に基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口部に着脱可能に取り付け、前記開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板の周縁部を保持する前記蓋体に設けられた着脱可能なリテーナと、前記容器本体の対向する２つの内面に設けられた前記基板を載置するための複数の着脱可能な基板支持部材とを備えた基板収納容器であって、出荷用基板収納容器向けの前記リテーナおよび／または前記基板支持部材と、工程内用基板収納容器向けの前記リテーナおよび／または前記基板支持部材を組み替える事によって、出荷用基板収納容器と工程内用基板収納容器を任意に切り替え可能であることを特徴とする。

また、前記出荷用基板収納容器向けの前記リテーナの前記基板の周縁部を保持する保持力が、前記工程内用基板収納容器向けの前記リテーナの前記基板の周縁部を保持する保持力よりも大きくすることが好ましい。

さらに、前記工程内用基板収納容器向けの前記リテーナと前記基板支持部材の前記基板を保持するために、前記基板の端面に当接する基板当接部は、前記基板の端面に対し、平面で接触する事が好ましい。

さらに、前記基板支持部材は、前記蓋体による前記開口部の開放又は閉鎖時のいずれの場合でも基板収納位置が変化しない事が好ましい。

また、前記出荷用基板収納容器向けの前記リテーナと前記基板支持部材の前記基板を保持するために、前記基板の端面に当接する基板当接部は、前記基板の端面に対し、２つの斜面で接触することが好ましい。

さらに、前記基板支持部材は、前記蓋体による前記開口部の開放時の第一の基板収納位置と、前記蓋体による前記開口部の閉鎖時の第２の基板収納位置を有することが好ましい。

本発明によれば、工程内用基板収納容器と出荷用基板収納容器において基板支持部材、リテーナを組み替える事でどちらの使用用途にも対応出来る基板収納容器を提供する事が出来る。また、リユース（一度使用した基板収納容器をそのまま、もしくは部品を替えて再使用すること。以下同じ。）時にも使用出来なくなった部品のみ組み替える事が出来る。そのため、組み替え部品のみ購入する事で工程内用基板収納容器と出荷用基板収納容器を容易に選択可能となり、コストダウンに大きく寄与する。

また、薄い基板や形状の異なる基板など、各種形状の基板への対応についても、基板支持部材とリテーナの組み換えのみにより対応でき、特殊な基板形状の基板収納容器を低コストで提供できる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る容器本体２において、第二側壁２６と上壁２３を省略した上方斜視図である。 本発明の実施形態に係る容器本体２における、基板支持部材５の部分の拡大図である。 本発明の実施形態に係る蓋体３において、基板収納空間２７側からみた側方斜視図である。 本発明の実施形態に係る工程内用基板収納容器向けのリテーナ３５の一部を拡大した側方斜視図である。 本発明の実施形態に係る出荷用基板収納容器向けのリテーナ３５Ａの一部を拡大した側方斜視図である。 本発明の実施形態に係る工程内用基板収納容器向けのリテーナ３５と基板支持部材５による基板Ｗの支持方法を説明する概念図である。 本発明の実施形態に係る出荷用基板収納容器向けのリテーナ３５Ａと基板支持部材５Ａによる基板Ｗの支持方法を説明する概念図である。

以下、本発明による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る容器本体２において、第二側壁２６と上壁２３を省略した上方斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る容器本体２における、基板支持部材５の部分の拡大図である。図４は、本発明の実施形態に係る蓋体３において、基板収納空間２７側からみた側方斜視図である。図５は、本発明の実施形態に係る工程内用基板収納容器向けのリテーナ３５の一部を拡大した側方斜視図である。図６は、本発明の実施形態に係る出荷用基板収納容器向けのリテーナ３５Ａの一部を拡大した側方斜視図である。図７は、本発明の実施形態に係る工程内用基板収納容器向けのリテーナ３５と基板支持部材５による基板Ｗの支持方法を説明する概念図である。図８は、本発明の実施形態に係る出荷用基板収納容器向けのリテーナ３５Ａと基板支持部材５Ａによる基板Ｗの支持方法を説明する概念図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向（前側）と定義し、その反対の方向を奥方向（奥側）と定義し、これらをあわせて前後方向と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向（上側）と定義し、その反対の方向を下方向（下側）と定義し、これらをあわせて上下方向と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向（左側）と定義し、その反対の方向を右方向（右側）と定義し、これらをあわせて左右方向と定義する。

図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内用基板収納容器として用いられたり、陸運手段、空輸手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷用基板収納容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部材としての基板支持部材５と、基板支持部材５の奥側に一体的に形成された後述する奥側基板支持部５０４（図３等）と、蓋体側基板支持部としての後述するリテーナ３５（図４等）とを有している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持部材５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

図２や図３に示すように、基板支持部材５は、基板収納空間２７内にリテーナ３５と対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持部材５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗを載置するための基板載置部５０１と基板載置部５０１の奥側に形成された基板Ｗの周縁部に当接する奥側基板支持部５０４により、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを支持可能である。基板載置部５０１には、基板載置部５０１の上面の前側に形成された前側載置突起５０２と、基板載置部５０１の上面の奥側で奥側基板支持部５０４の前側の近傍位置に形成された奥側載置部５０３が設けられている。基板Ｗは、前側載置突起５０２と奥側載置部５０３に載置される。

奥側基板支持部５０４は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの周縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの周縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部３１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図４に示すように、リテーナ３５は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。リテーナ３５は、基板収納空間２７の内部において基板支持部材５と対をなすように配置されている。

リテーナ３５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの周縁部に当接することにより複数の基板Ｗの周縁部の前部を支持可能である。リテーナ３５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板支持部材５と共働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。特に、リテーナ３５は、基板Ｗを保持する際に、ある程度の弾性が必要であるので、ポリブチレンテレフタレート、ポリエステルエラストマーやポリエーテルエーテルケトンなどを用いることができる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。

以下、各部について、詳細に説明する。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の奥端、下壁２４の奥端、第１側壁２５の奥端、及び第２側壁２６の奥端は、全て奥壁に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部３１を構成する。

開口周縁部３１は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部３１に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２６枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部３１の近傍の部分には、基板収納空間２７の外側へ向かって窪んだ上側ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂと下側ラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂが形成されている。上側ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、下側ラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２８が、上壁２３と一体成形されて設けられている。このリブ２８は、容器本体２の剛性を高めるために設けられている。

また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２９が固定される。トップフランジ２９は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

図１と図２に示すように、容器本体２の基板収納空間２７の第１側壁２５と第２側壁２６の内面には、基板支持部材５が形成されている。図３等に示すように、本実施形態においては、基板支持部材５は、第１側壁２５及び第２側壁２６に取り外し可能に固定されている。以下、第１側壁２５についてのみ説明するが、第２側壁２６も同様な構成である。

第１側壁２５には基板支持部材５を固定するために、第１側壁２５の前側に円柱状の前側被係合部２５０が、奥側に奥側中央被係合部２５１と奥側被係合部２５２と奥側被係合固定部２５３が、形成されている。基板支持部材５には、前側被係合部２５０と係合する孔形状の前側係合部５００と、奥側中央被係合部２５１と係合する奥側中央係合部５０５と、奥側被係合部２５２と結合する奥側係合部５０６と、奥側被係合固定部２５３と係合し基板支持部材５を固定する奥側係合固定部５０７と、が形成されている。

基板支持部材５は、略板状の基板載置部５０１が複数形成され、それらが上下方向に連結されている。本実施形態では、２６個の基板載置部５０１が形成されている。基板載置部５０１は、本実施形態においては１０ｍｍごとに設けられている。この値は載置する基板Ｗの上下方向に収納される際のピッチ高さに対応しているので、適宜変更可能である。

それぞれの基板載置部５０１は、基板Ｗを載置するための前側載置突起５０２と奥側載置部５０３を有している。また、奥側載置部５０３の奥側には、基板Ｗの端部を支持するための奥側基板支持部５０４が形成されている。この奥側基板支持部は、工程内用基板収納容器と出荷用基板収納容器では使用される目的に合わせて形状が異なる。後述するように、工程内用基板収納容器の奥側基板支持部５０４の形状としては、基板Ｗの端面に対し平面で接触する形状である。また、後述する出荷用基板収納容器の奥側基板支持部５０４Ａの形状としては、基板Ｗの端面に対して２つの斜面で接触するＶ溝形状である。

第１側壁２５への基板支持部材５の固定は次のように行う。基板支持部材５を容器本体開口部２１側から第１側壁２５に沿って奥方向に移動させて、基板支持部材５の係合部である前側係合部５００と奥側中央係合部５０５と奥側係合部５０６と奥側係合固定部５０７を、第１側壁２５の対応する被係合部である前側被係合部２５０と奥側中央被係合部２５１と奥側被係合部２５２と奥側被係合固定部２５３にスライドさせるように係合させる。その後、基板支持部材５の奥側係合固定部５０７と第１側壁２５の奥側被係合固定部２５３とを固定する。

逆に、第１側壁２５から基板支持部材５を外す場合には、奥側係合固定部５０７と奥側被係合固定部２５３との係合を解除し、基板支持部材５を前方向にスライドさせるように移動させ、他の係合部と被係合部との係合を解除する。

第２側壁２６に形成される基板支持部材５についても、同様に係合固定・取り外しが可能である。基板支持部材５と第１側壁、第２側壁との係合固定・取り外しの為の構成・方法は、上述した構成・方法に限られず、適宜変更可能である。

図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部３１に対して着脱可能であり、開口周縁部３１に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図４に示すように蓋体３の内面であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部３１のすぐ後方向の位置に形成された段差の部分の面（シール面３０）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部３１に装着されたときに、シール部材４は、シール面３０と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部３１から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図４に示すように、蓋体３の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部３３Ａ、３３Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３３Ａ、３３Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

図１に示すように蓋体３の外面においては操作部３４が設けられている。操作部３４を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部３３Ａ，３３Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向へ突出して、容器本体２の上側ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３３Ａ、３３Ｂが蓋体３の下辺から下方向へ突出して、容器本体２の下側ラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１に固定される。

図４に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３７が形成されている。凹部３７の部分には、リテーナ３５のリテーナ係合凸部３６に係合するリテーナ被係合部（図示せず）が設けられており、蓋体３の凹部３７にリテーナ３５が取り外し可能に固定されている。リテーナ３５は、複数のリテーナ部３０１が所定の間隔で左右対をなすように上下方向に配置されている。このリテーナ部３０１は、長方形状のリテーナフレーム３００の内側に固定されている。このリテーナ部３０１には、基板Ｗの前側端を支持するためのリテーナ基板受け部３０３が形成されている。それぞれのリテーナ部３０１は、アーム部３０２によりリテーナフレーム３００に連結されている。

このように構成された基板収納容器１が、工程内用基板収納容器として使用される場合と、出荷用基板収納容器として使用される場合とでは、基板収納容器のリテーナと基板支持部材の形状が異なる。つまり、基板収納容器１を工程内用基板収納容器から出荷用基板収納容器に変更する場合、また逆に、出荷用基板収納容器から工程内用基板収納容器に変更する場合は、リテーナと基板支持部材のみをそれぞれのタイプに交換することで容易に変更可能となる。

まず、基板収納容器１が工程内用基板収納容器の場合について詳細に説明する。
工程内用基板収納容器として基板収納容器１が使用される場合は、図５に示すように、工程内用基板収納容器のリテーナ３５のリテーナ基板受け部３０３は、基板Ｗの周縁部の端部と当接し支持するための平面であるリテーナ基板当接面３０６と、その上下に隣接して形成されている上側フランジ３０４と下側フランジ３０５を有している。このようなリテーナ基板受け部３０３は、左右方向に所定の間隔で離間して対をなすようにして配置されている。

また、図７に示すように、工程内用基板収納容器の基板支持部材５の奥側基板支持部５０４の形状は、基板Ｗの端面に対し平面で接触する形状となっている。

上述のような工程内用基板収納容器としての基板収納容器１において、基板Ｗの支持は、以下のとおりに行われる。
工場内の工程において基板収納容器１は、容器本体２において下壁２４は下部に位置し上壁２３は上部に位置して使用する。この基板収納容器１への基板Ｗの収納・保持をする場合は、まず、蓋体３を容器本体２から外した状態（開放）とする。

次に、基板Ｗを水平に維持した状態で、容器本体開口部２１から基板収納空間２７に挿入し、基板支持部材５に基板Ｗを載置する。図１および図７（Ａ）等に示すように、容器本体開口部２１から収納された基板Ｗは、基板支持部材５の所望の基板載置部５０１に載置される。その際、基板Ｗの下面は、前方は前側載置突起５０２に、奥側は奥側載置部５０３の上部に載置されるとともに、基板Ｗの奥側の周縁部の端部は、奥側基板支持部５０４に当接する。この際、基板Ｗの周縁部が、奥側基板支持部５０４と当接しない場合もある。その場合は、次に説明する蓋体３で容器本体２を閉塞する際に、リテーナ部３０１で基板Ｗの周縁部の前側を押すことで、奥側基板支持部５０４と当接することになる。

次に、蓋体３で容器本体２を閉塞（閉鎖）する際の基板Ｗの支持状況を説明する。
基板Ｗが基板載置部５０１に載置された状態で、蓋体３が容器本体２に取り付けられ、蓋体３の操作部３４を操作することで、蓋体３を容器本体２に着脱可能に固定され、容器本体２は閉塞される。その閉塞された状態を図７（Ｂ）に示す。リテーナ部３０１は、アーム部３０２の弾性力により基板Ｗを奥方向に押されるが、その際、基板載置部５０１の前側載置突起５０２と奥側載置部５０３には基板Ｗの裏面が当接したままの状態を維持する。つまり、蓋体による開口部の開放又は閉鎖時のいずれの場合でも基板収納の高さ位置が変化しない。特に、基板収納容器１の開放時に基板Ｗの周縁部の端部に、奥側基板支持部５０４が当接している場合には、基板収納容器１の開放―閉鎖により、基板収納位置が変化しない。

そのような状態で、基板Ｗは、リテーナ部３０１のリテーナ基板当接面３０６と奥側基板支持部５０４の平面により支持され、この支持力は、アーム部３０２の材質や形状により適宜調整可能である。上記説明したような方法により、工程内用基板収納容器向けのリテーナ３５と基板支持部材５を用いることで、工程内用基板収納容器としての基板収納容器１に基板を収納することができる。

このような工程内用基板収納容器向けの基板収納容器１から出荷用基板収納容器向けに変更（切り替え）するには、工程内用基板収納容器のリテーナ３５と基板支持部材５を、後述する出荷用基板収納容器のリテーナ３５Ａと基板支持部材５Ａとにそれぞれ交換することで実現する。

以下、基板収納容器１が出荷用基板収納容器の場合について詳細に説明する。
出荷用基板収納容器として基板収納容器１が使用される場合は、図６に示すように、出荷用基板収納容器のリテーナ３５Ａのリテーナ部３０１Ａの先端に形成されたリテーナ基板受け部３０３Ａには、基板Ｗの周縁部に対して２つの斜面（上側斜面３０７、下側斜面３０８）により当接するＶ溝形状が形成されている。このようなリテーナ基板受け部３０３Ａは、左右方向に所定の間隔で離間して対をなすようにして配置されている。

また、図８に示すように、出荷用基板収納容器の基板支持部材５Ａの奥側基板支持部５０４Ａの形状には、リテーナ３５Ａと同様に、基板Ｗの周縁部に対して２つの斜面（奥側基板支持上側斜面５０８、奥側基板支持下側斜面５０９）により当接するＶ溝形状が形成されている。

上述のような出荷用基板収納容器としての基板収納容器１において、基板Ｗの支持は、以下のとおりに行われる。
工程内用基板収納容器向けの基板収納容器１の場合と同様に、まず、蓋体３を容器本体２から外した状態（開放）とする。

次に、基板Ｗを水平に維持した状態で、容器本体開口部２１から基板収納空間２７に挿入し、図８（Ａ）に示すように基板支持部材５Ａに基板Ｗを載置する。容器本体開口部２１から収納された基板Ｗは、基板支持部材５Ａの所望の基板載置部５０１に載置される。その際、基板Ｗの下面は、前方は前側載置突起５０２に、奥側は奥側載置部５０３の上部に載置されるとともに、基板Ｗの奥側の周縁部は、奥側載置部５０３の奥側で、奥側基板支持部５０４Ａの奥側基板支持下側斜面５０９の下部に当接する。基板Ｗのこの位置を第一の基板収納位置とする。

次に、基板Ｗが基板載置部５０１に載置された状態で、蓋体３が容器本体２に取り付けられると、リテーナ部３０１Ａの下側斜面３０８により基板Ｗの前側の周縁部がすくい上げられ、リテーナ部３０１Ａの上側斜面３０７と下側斜面３０８の２つの斜面で基板Ｗの前側の縁部の上下が当接・保持される。その後、蓋体３が完全に容器本体２に取り付けられ、蓋体３の操作部３４が操作されることで、蓋体３が容器本体２に着脱可能に固定され、容器本体２は閉塞（閉鎖）される。その閉塞（閉鎖）された状態を図８（Ｂ）に示す。基板Ｗの奥側は、奥側載置部５０３から離間し、基板Ｗの奥側の周縁部の端部は、奥側基板支持上側斜面５０８と奥側基板支持下側斜面５０９の２つの斜面に当接し、保持される。よって、リテーナ部３０１Ａの２つの斜面と、奥側基板支持部５０４Ａの２つの斜面により、基板Ｗの周縁部の前側と奥側が保持・固定される。基板Ｗのこの位置を第二の基板収納位置とする。よって、基板Ｗは、基板収納容器１の開放時の第一の基板収納位置と、基板収納容器１の閉塞（閉鎖）時の第二の基板収納位置を取り得ることになる。基板支持部材５Ａは、上述の第一の基板収納位置と第二の基板収納位置を有する。

この時、基板の周縁部の保持力は、アーム部３０２の材質や形状により弾性力を調整することで、任意に設定可能である。出荷用基板収納容器として用いる場合には、長距離の輸送が必要な為、輸送に伴う振動に対応することから、出荷用基板収納容器向けのリテーナ３５Ａのアーム部３０２による基板Ｗの周縁部を保持する保持力は、工程内基板収納容器の基板Ｗの周縁部を保持する保持力よりも大きいことが必要である。

上記説明では、工程内用基板収納容器を出荷用基板収納容器に変更する場合について記載したが、出荷用基板収納容器を工程内用基板収納容器に変更する場合も、同様であることは言うまでもない。

出荷用基板収納容器と工程内用基板収納容器との大きな違いの一つが、基板の押え方にあることはすでに説明している。出荷用基板収納容器は、容器本体が蓋体により閉塞されているときに、基板の周縁部のみを保持するだけで、基板の裏面を保持しない。それに対して、工程内基板収納容器は、基板の裏面に接触しても良い代わりに、基板を保持する力を弱めている。

本実施形態では、出荷用基板収納容器と工程内用基板収納容器の組み換えの際に、リテーナと基板支持部材をそれぞれの形状に適したものを用いる場合について説明した。しかし、本発明はこれに限定されない。たとえば、リテーナ３５と基板支持部材５を含む工程内用基板収納容器から、リテーナ３５のみ図８に示すリテーナ３５Ａに組み替えることで、基板Ｗの裏面を保持しないで基板Ｗの周縁部のみの保持ができ、出荷用基板収納容器とすることができる。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
本発明の最大の利点は、基板収納容器のリテーナおよび／または基板支持部材を組み替えることで、いろいろな用途（出荷用、工程内に限られない）に容易に対応可能な基板収納容器を提供できることにある。

工程内用基板収納容器と出荷用基板収納容器の基板支持部材とリテーナを組み替える事でどちらの使用用途にも対応出来る基板収納容器を提供する事が出来る。従来、基板Ｗを専用の出荷用基板収納容器によりウェーハメーカーからデバイスメーカーに搬送後、工場内の工程では、専用の工程内用基板収納に移し替え、使用していた。そのため、基板収納容器としては、出荷用基板収納容器と工程内用基板収納容器をそれぞれ用意する必要があり、コストアップの要因となっていた。本発明によれば、リテーナおよび／または基板支持部材のみを交換することで、容器本体や蓋体を共通とすることができ、全く別の２種類の容器を準備する必要が無くなる。そのため、組み替え部品のみ購入する事で工程内用基板収納容器と出荷用基板収納容器を容易に選択可能となり、コストダウンに大きく寄与する。また、リユース時にも、リテーナおよび／または基板支持部材のみを、適切な物に選択することで、２種類の基板収納容器に対応することができる。

また、薄い基板や形状の異なる基板など、各種形状の基板への対応についても、リテーナおよび／または基板支持部材として特定の用途向けのものを準備し、組み換えのみにより対応でき、特殊な基板形状の基板収納容器を低コストで提供できる。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 基板支持部材（側方基板支持部）（工程内用基板収納容器向け）
５Ａ 基板支持部材（側方基板支持部）（出荷用基板収納容器向け）
３５ リテーナ（工程内用基板収納容器向け）
３５Ａ リテーナ（出荷用基板収納容器向け）
３６ リテーナ係合凸部
３７ 凹部
２５０ 前側被係合部
２５１ 奥側中央被係合部
２５２ 奥側被係合部
２５３ 奥側被係合固定部
３００ リテーナフレーム
３０１ リテーナ部（工程内用基板収納容器向け）
３０１Ａ リテーナ部（出荷用基板収納容器向け）
３０２ アーム部
３０３ リテーナ基板受け部（工程内用基板収納容器向け）
３０３Ａ リテーナ基板受け部（出荷用基板収納容器向け）
３０４ 上側フランジ
３０５ 下側フランジ
３０６ リテーナ基板当接面
３０７ 上側斜面
３０８ 下側斜面
５００ 前側係合部
５０１ 基板載置部
５０２ 前側載置突起
５０３ 奥側載置部
５０４ 奥側基板支持部（工程内用基板収納容器向け）
５０４Ａ 奥側基板支持部（出荷用基板収納容器向け）
５０５ 奥側中央係合部
５０６ 奥側係合部
５０７ 奥側係合固定部
５０８ 奥側基板支持上側斜面
５０９ 奥側基板支持下側斜面
Ｗ 基板

Claims (6)

1. 一端部に開口部が形成された内部に基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の前記開口部に着脱可能に取り付け、前記開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記基板の周縁部を保持する前記蓋体に設けられた着脱可能なリテーナと、
   前記容器本体の対向する２つの内面に設けられた前記基板を載置するための複数の着脱可能な基板支持部材とを備えた基板収納容器であって、
   出荷用基板収納容器向けの前記リテーナおよび／または前記基板支持部材と、工程内用基板収納容器向けの前記リテーナおよび／または前記基板支持部材を組み替える事によって、出荷用基板収納容器と工程内用基板収納容器を任意に切り替え可能であることを特徴とする基板収納容器。
2. 前記出荷用基板収納容器向けの前記リテーナの前記基板の周縁部を保持する保持力が、前記工程内用基板収納容器向けの前記リテーナの前記基板の周縁部を保持する保持力よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記工程内用基板収納容器向けの前記リテーナと前記基板支持部材の前記基板を保持するために、前記基板の端面に当接する基板当接部は、前記基板の端面に対し、平面で接触する事を特徴とする請求項１あるいは２に記載の基板収納容器。
4. 前記基板支持部材は、前記蓋体による前記開口部の開放又は閉鎖時のいずれの場合でも基板収納位置が変化しない事を特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
5. 前記出荷用基板収納容器向けの前記リテーナと前記基板支持部材の前記基板を保持するために、前記基板の端面に当接する基板当接部は、前記基板の端面に対し、２つの斜面で接触することを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の基板収納容器。
6. 前記基板支持部材は、前記蓋体による前記開口部の開放時の第一の基板収納位置と、前記蓋体による前記開口部の閉鎖時の第２の基板収納位置を有することを特徴とする請求項５に記載の基板収納容器。

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