TWI582531B - Dust film assembly container - Google Patents

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明是有關於一種製造導體裝置、IC封裝、印刷基板、液晶顯示元件或者有機發光顯示裝置(organic light emitting display，OLED)等時做為防塵器而使用的防塵薄膜組件的收納容器，且是有關於一種於收納至少一個邊長超過500mm的大型的防塵薄膜組件適用的防塵薄膜組件收納容器。

在大型積體電路(Large Scale Integration，LSI)、超大型積體電路等的半導體製造或液晶顯示元件等的製造中，要對半導體晶片或者液晶用玻璃板照射紫外光，以製作圖案，但是此時使用的光阻上如有灰塵附著，因該灰塵會遮蔽、或反射紫外光，而發生轉印的圖案變形、短路，而有品質受損的問題。

因此，這樣的作業通常在無塵室中進行，但是即使如此也難以總是保持光阻的清潔，故要在光阻表面貼附做為防塵器的防塵薄膜組件後再進行曝光。在該情形下，異物不在光阻的表面直接附著，而是附著在防塵薄膜組件上，在微影製程(lithography)時只要將焦點對焦在光阻的圖案上，防塵薄膜組件上的異物就不會影響轉印。

一般來說，該防塵薄膜組件是由透光良好的硝酸纖維素、醋酸纖維素或者氟樹脂等構成的透明的防塵膜，接著於由鋁、不銹鋼、工程塑膠等構成的防塵薄膜組件框架的上端面上而形成。然後，在防塵薄膜組件框架的下端，設置為了在光阻上進行安裝，由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯基樹脂、丙烯酸樹脂、矽酮樹脂等構成的黏著層以及以對黏著層的保護為目的離型層(分離片)。

另一方面，收納這樣的防塵薄膜組件，特別是邊長為超過500mm的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器，由載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和在其周緣部嵌合密閉的蓋體等構件而構成。這些構件，由厚度2~8mm左右的樹脂板真空成形(vacuum forming)或者壓縮成形(pressure forming)而製作，使用該製法，大型的容器也可以一體成形，加上內部發塵源少，故具有生產性高而能以低成本製造的優點。

為了提升附著的異物的可見性，防塵薄膜組件收納容器本體，以黑色為佳，而蓋體部份，為了易於觀察內部收納的防塵薄膜組件，則以透明或者有色半透明為佳(參照專利文獻1)。從這樣的觀點，在幾乎所有的場合，收納容器本體為黑色的丙烯-丁二烯-苯乙烯(acrylonitrile-butadiene-styrene，ABS)樹脂，蓋體為透明或半透明的丙烯-丁二烯-苯乙烯樹脂或者聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methyl methacrylate)，PMMA)樹脂。

這樣的樹脂因具有可燃性，對收納邊長超過500mm的大型防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器而言，做為可燃物的容 積以及重量相當大。例如，800x920mm罩幕用的防塵薄膜組件收納容器，其重量為10kg/個，1220x1400mm罩幕用的防塵薄膜組件收納容器，其重量為25kg/個，所以將這些防塵薄膜組件收納容器放在一處而進行大量保管時，其安全性成為問題。

因此，做為對策，使用具有難燃性的材料做為原料，例如改用金屬以及難燃性樹脂。但是，使用金屬時，即使蓋體使用鋁合金等的輕量材料，使用人工進行開閉仍然過重，而有操作上負擔大的問題。另一方面，使用難燃性的樹脂材料時，其材料可以例舉聚丙烯腈(polyacrylonitrile，PAN)、聚氯乙烯(polyvinyl chloride，PVC)等，但是這些材料能夠購得的板材尺寸制約多，再者，不易加熱成形之成份多，而有難以使用的問題。

從這樣的觀點，為了確保難燃性，最佳是常用於大型的防塵薄膜組件收納容器的材料的PMMA、ABS材料中添加難燃劑的方法。做為添加的難燃劑，可以例舉溴系化合物，磷系化合物，銻化合物，金屬氫氧化物等，此外也可例舉矽酮系化合物等，其中，實際情況是在PMMA、ABS的樹脂中經常使用溴系化合物。

但是，在使用添加了難燃劑的樹脂做為防塵薄膜組件收納容器的原料的情形下，如果在太陽光，特別是紫外線存在的環境中保管防塵薄膜組件收納容器時，難燃劑會因紫外線而分解、老化，使在收納容器內部收納的防塵薄膜組件產生污染(混濁)，原材料樹脂的老化也會加快，而有防塵薄膜組件收納容器的外觀會惡化的問題。

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2001-100394號公報

本發明鑒於上述問題而成，本發明的目的是提供一種防塵薄膜組件收納容器，所述防塵薄膜組件收納容器就算是使用添加了難燃劑的樹脂做為防塵薄膜組件收納容器的原料，難燃劑以及樹脂不會因紫外線而老化，而能使收納的防塵薄膜組件可以長期保持清潔。

本發明是一種防塵薄膜組件收納容器，所述防塵薄膜組件收納容器收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件，其特徵在於：所述防塵薄膜組件收納容器由載置防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體、和其周緣部嵌合而密閉的蓋體所構成，且至少蓋體為由真空成形或者壓縮成形的樹脂製成，該樹脂材料，含有難燃劑以及黑色化材料，為不透明且黑色。

再者，本發明中，黑色化材料的含量較佳為樹脂材料的重量比的0.5%~3%，難燃劑的含量較佳為樹脂材料的重量比的5%~25%。該難燃劑較佳為溴系化合物，樹脂材料較佳為ABS樹脂。

根據本發明，可以將防塵薄膜組件收納容器的原料中添加的難燃劑因紫外線造成的老化限制在最小限度，而可以長期保持所收納的防塵薄膜組件的清潔度。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

12‧‧‧蓋體

13‧‧‧針

14‧‧‧針支撐裝置

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧罩幕黏著層

23‧‧‧分離片

24‧‧‧防塵薄膜接著層

25‧‧‧防塵薄膜

A、B‧‧‧剖面線

圖1為本發明的防塵薄膜組件收納容器的概略平面圖。

圖2為本發明的防塵薄膜組件收納容器的圖1的AA線的剖面圖。

圖3為本發明的防塵薄膜組件收納容器的圖1的BB線的剖面圖。

圖4為將本發明的防塵薄膜組件收納容器的蓋體卸下後的平面圖。

圖5為本發明的防塵薄膜組件收納容器的斜視圖。

以下，對本發明的一實施方式參照附圖進行詳細說明，但是本發明並不限於此。

本發明的防塵薄膜組件收納容器10收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件，由防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12構成。防塵薄膜組件收納容器本體11載置防塵薄膜組件20，蓋體12在防塵薄膜組件收納容器本體11的周緣部嵌合並密閉， 將防塵薄膜組件20從外部的灰塵保護起來。再者，防塵薄膜組件收納容器本體11上載置的防塵薄膜組件20，透過由在框架側面設置的非貫通的孔(未圖示)中插入的針13和對該針進行支撐的針支撐裝置14構成的固定裝置，在防塵薄膜組件收納容器本體11上被固定。

防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12由厚度2~8mm的含有難燃劑的樹脂板進行真空成形或者壓縮成形製作而成，其品質、成本以及難燃性良好。再者，由使其具有帶電防止功能，異物附著減少的觀點，較佳為在所述防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12添加導電物質以及進行表面塗布。

在本發明的防塵薄膜組件收納容器10中，至少蓋體12在其原料樹脂中添加難燃劑的同時，為不透明且黑色。通常的蓋體由透明或者半透明的樹脂材料構成。將蓋體12設為不透明且黑色，可以防止紫外線侵入樹脂材料內部。因此，就可以防止防塵薄膜組件收納容器10的構成樹脂，特別是表面附近的樹脂中的難燃劑老化，難燃劑的老化造成的氣體狀物質的發生被抑制，因此，防塵薄膜組件收納容器內部以及收納的防塵薄膜組件不會被污染。

本發明中，為了使樹脂材料為不透明且黑色，較佳為含有含量為樹脂的重量比的0.5%~3%的碳黑等的黑色化材料。若未滿0.5%，黑色的程度淺而不充分；但是若添加超過3%，其效果並無差異。做為黑色化材料，除了碳黑之外，還可以例舉二氧化 鈦，四氧化三鐵等。

做為防塵薄膜組件收納容器10中使用的樹脂材料可以列舉各種各樣，特別以ABS樹脂較佳。其原因為，在其剛性以及成形性等均衡性良好之外，由於對紫外線的吸收程度大，由此會使到達材料內部的紫外線進一步減少，從而也能抑制含有的難燃劑的老化。再者，若設為黑色，因為也能防止因ABS樹脂本身的變黃，褪色等的外觀上的老化，故而更佳。

另一方面，通常用於防塵薄膜組件收納容器的丙烯酸樹脂(PMMA)，雖然透過添加難燃劑會使其難燃化，但是由於樹脂本身的紫外線透過率高，而容易促進其內部含有的難燃劑的老化，故不佳。再者，雖然如果使用樹脂材料本身為難燃性的樹脂材料，就沒有必要添加難燃劑，但是，例如，使用聚氯乙烯樹脂(PVC)時，不僅難以得到大尺寸的材料，還有廢棄處理困難的問題。另外，使用聚碳酸酯樹脂(PC)時，因其成形溫度極高，製造大型品時有真空成形或者壓縮成形困難的問題，難以採用。

在樹脂中添加的難燃劑的種類中，做為有機難燃劑，可以例舉四溴雙酚A(Tetrabromobisphenol A，TBBA)，十溴二苯醚(Decabromodiphenyl ether，DBDE)，六溴環十二烷(Hexabromo cyclododecane，HBCD)等的溴系化合物以及磷系化合物，氯系化合物等。再者，做為無機難燃劑，可以例舉氫氧化鋁以及氫氧化鎂的水合物，三氧化銻等的銻系以及硼化合物等。做為非鹵素有機系化合物，在三聚氰胺-三聚氰酸鹽(melamine cyanurate)之外， 也在開發矽酮系化合物等。

本發明中使用的難燃劑，可以單獨使用上述列舉之物，也可以數種並用，其含量較佳為樹脂材料的重量比的5%~25%左右。如難燃劑的量未滿5%，難燃性的效果不能充分發揮，但是如果超過25%，對樹脂材料的物性的影響過大，因而不佳。

再者，近年來，在難燃劑之中有部份因環境上的問題而成為管制物質，所以較佳為對該點也加以考慮而選擇。進一步，做為難燃性的程度的目標，可以按防塵薄膜組件收納容器的保管場所的要求來進行設定，但是較佳為至少達成由美國Underwriters Laboratories公司發布的塑膠可燃性標準(UL94)的等級V-1。

按照本發明，可以使用上述的各種難燃劑，但是較佳為含有溴系化合物。溴系化合物的難燃化效果高，再者在併用其他的難燃劑時的效果也高。特別是，溴系化合物和三氧化銻併用，其難燃效果高，故而較佳。

再者，溴系化合物雖然有容易因紫外線老化的缺點，但是透過將樹脂材料設為不透明且黑色，可以使老化的區域停留在表面，而能實質上防止溴系化合物的老化。從難燃性能以及環境管制上的理由，做為適用的溴系化合物的例子，可以列舉四溴雙酚A(TBBPA)，四溴雙酚BA低聚物(環氧系，碳酸酯系)，溴化聚苯乙烯(bromo polystyrene，BPS)等。它們的含有量，從難燃性的確保和樹脂物性維持的觀點，較佳為5%~25%的範圍。

本發明的防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12，根 據需要，可以設置肋條(rib)等的補強構造，也可設置金屬或者樹脂製的補強裝置、操作用手柄、以及對蓋體進行固定的扣環。

再者，在防塵薄膜組件邊長為超過1500mm的極大型的防塵薄膜組件收納容器的剛性有特別要求的情況，以及要更進一步提高難燃性的情況下，特別佳為僅將蓋體12用上述的樹脂製作，而防塵薄膜組件收納容器本體11用金屬製作。但是，防塵薄膜組件收納容器本體11用金屬製作的情況下，與全部用樹脂製作的情況相比，在重量的點上不利，但是由於不需要像蓋體12一樣用人工進行開閉的操作，所以沒有實質上的問題。

在使用金屬的情況，除了鋁合金、鎂合金等輕量材料之外，還可以用鐵、不銹鋼等的高剛性材料。在這樣的情況，在使用成形加工、薄板彎曲加工、沖壓成形(stamping)、焊接等方式進行成形之外，也可以利用鑄造方式。在其表面上較佳為進行防銹、防止發生灰塵的塗裝，特別佳為在賦予帶電防止性能之外，為了提高附著異物的可視性而設為黑色。

在本發明的防塵薄膜組件收納容器10中，做為將防塵薄膜組件20固定在防塵薄膜組件收納容器本體11上的固定手段，可以使用公知的各種方法。在圖4中所示的實施方式中，在防塵薄膜組件收納容器本體11上設置針支撐裝置14，透過將由該針支撐裝置14支撐的針13插入在防塵薄膜組件框架21側面設置的非貫通的孔(未圖示)的方式將防塵薄膜組件20進行固定，但是使用其他的公知的方法亦可。

再者，在圖4中所示的實施方式中，防塵薄膜組件框架21的下端面，設置罩幕黏著層22，在其下面設置保護罩幕黏著層22的分離片23，但是，如果是以不使罩幕黏著層22與防塵薄膜組件收納容器本體11接觸的方式，另外設置支撐防塵薄膜組件框架21的手段等的話，也可以省略分離片而構成。

[實施例]

以下，對本發明的實施例進行詳細說明。

實施例中，首先，用厚度5mm的ABS樹脂板，以真空成形的方式製造防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12。該防塵薄膜組件收納容器10的尺寸為，外尺寸940x1060x高度90mm。

該實施例中所使用的ABS樹脂板，是經混入溴系難燃劑(商品名：復雷卡特(Framecut)，東曹股份有限公司製)20wt%、三氧化銻(商品名：帕托斯(PATOX)，日本精礦股份有限公司製)2wt%以及碳黑(商品名：桑布拉克(SUNBLACK)，旭碳股份有限公司製)1wt%之後，利用擠出成形製得的不透明黑色產品。

然後，該防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12在真空成形後，對其周圍用NC起槽機(router)進行切削加工的修飾處理。之後，在該防塵薄膜組件收納容器本體11上，將針支撐裝置14從外面用螺栓固定(未圖示)而安裝。

另一方面，將該防塵薄膜組件收納容器10中收納的防塵薄膜組件20以如下規格進行製作。即，用A5052鋁合金進行機械切削加工，得到外尺寸756x940mm，內尺寸740x928mm，高度 5.8mm的防塵薄膜組件框架21，並對表面進行黑色防蝕鋁處理。再者，在各長邊中央附近開直徑1.5mm的通氣孔4處(未圖示)，各邊的角部附近設置直徑2.5mm的非貫通的夾具孔(未圖示)。

然後，在該防塵薄膜組件框架21的下端面，做為罩幕黏著層22形成厚度1.3mm矽酮黏著劑(商品名：KR-3700，信越化學工業株式會社)，並在其表面設置塗布有離型劑，且由PET薄膜構成的分離片23。再者，在防塵薄膜組件框架21側面的通氣孔上，用丙烯酸黏著劑貼附PTFE多孔質膜製的過濾器(未圖示)。進一步，在防塵薄膜組件框架21的上端面，做為防塵薄膜接著層24，塗布矽酮黏著劑(商品名：KR-3700，信越化學工業股份有限公司製)，其上，繃緊設置由氟樹脂(商品名：CYTOP，旭硝子股份有限公司製)構成的厚度約4.5μm的防塵薄膜25。

對如此製作的防塵薄膜組件20進行異物檢査，然後，用針13和針支撐裝置14將其在防塵薄膜組件收納容器本體11上固定後，利用蓋體12密閉。其後，將嵌合部周圍用PVC製黏著膠帶密封，用厚度0.1的帶電防止PE製包裝袋收納。另外，在收納防塵薄膜組件20時，防塵薄膜組件收納容器10在10級無塵室內用界面活性劑和純水進行良好的洗淨處理、乾燥。

最後，將如此收納防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件收納容器10搬入室溫22~28℃，濕度30~55%的空調室內，靜置保管1年。另外，在將該防塵薄膜組件收納容器10載置後，使之在1年之中，處於太陽光可透過玻璃窗照射的環境中。

1年後，將在該防塵薄膜組件收納容器10收納的防塵薄膜組件20在10級無塵室內取出，進行外觀、異物檢査，完全沒有發現防塵薄膜組件20中附著異物以及損傷，保持了清潔的狀態。再者，防塵薄膜組件收納容器10本身也沒有明顯的外觀上的變化。

[比較例]

<比較例1>

比較例1中，首先，與實施例完全同樣地製作防塵薄膜組件收納容器，但是，防塵薄膜組件收納容器蓋體的材質與上述實施例不同。即，蓋體使用的板材為由ABS樹脂擠出成形製得的產品，其材質為，含有溴系難燃劑(商品名：復雷卡特(Framecut)，東曹股份有限公司製)20wt%、和三氧化銻(商品名：帕托斯(PATOX)，日本精礦股份有限公司製)2wt%，但是，沒有加入黑色化用的碳黑，外觀偏白且透明。

然後，將該防塵薄膜組件收納容器在10級無塵室內用界面活性劑和純水良好洗淨、乾燥之後，對具有實施例相同的規格的防塵薄膜組件進行異物檢査、收納。然後，在與實施例完全相同的環境下靜置保管1年。

然後，1年後，在10級無塵室中，從該防塵薄膜組件收納容器中將防塵薄膜組件取出，進行外觀、異物檢查，發現收納的防塵薄膜組件的膜面上，雖然並沒有大的異物附著，但有多量φ0.5~3μm左右的異物附著。再者，有的地方，可以看到附著異物 的密集度高，混濁以及髒汙，這種狀態的產品通常是不可以使用的。進一步，防塵薄膜組件收納容器的蓋體，為黃白色不透明，做為商品是不可使用的外觀。

<比較例2>

比較例2也與實施例以及比較例1完全同樣地進行防塵薄膜組件收納容器的製造，防塵薄膜組件收納容器的蓋體的材質與上述實施例以及比較例1不同。即，蓋體使用的板材為由ABS樹脂擠出成形製得的產品，其材質為，添加無機系難燃劑氫氧化鎂35wt%以取代溴系難燃劑，且沒有加入黑色化用的碳黑，外觀為白色不透明。

然後，將該防塵薄膜組件收納容器在10級無塵室內用界面活性劑和純水良好洗淨、乾燥之後，對與實施例以及比較例1相同規格的防塵薄膜組件進行異物檢査、收納。然後，與實施例以及比較例1完全相同的環境下靜置保管1年。

然後，1年後，在10級無塵室中，從該防塵薄膜組件收納容器中將防塵薄膜組件取出，進行外觀、異物檢査，發現收納的防塵薄膜組件上，無異物的附著，保持了可以使用的狀態，但是，防塵薄膜組件收納容器的蓋體為白色不透明，外面有多處變黃，做為商品是不可使用的。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

11‧‧‧防塵薄膜組件收納容器本體

12‧‧‧蓋體

20‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧防塵薄膜組件框架

22‧‧‧罩幕黏著層

23‧‧‧分離片

24‧‧‧防塵薄膜接著層

25‧‧‧防塵薄膜

Claims (5)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，所述防塵薄膜組件收納容器收納至少一個邊長超過500mm的防塵薄膜組件，其特徵在於：其由載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體、以及在所述防塵薄膜組件收納容器本體的周緣部嵌合而密閉的蓋體所構成；至少所述蓋體為由真空成形或者壓縮成形的樹脂材料製成；所述樹脂材料含有難燃劑以及黑色化材料，為不透明且黑色。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述黑色化材料的含量為所述樹脂材料的重量比的0.5%~3%。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述難燃劑的含量為所述樹脂材料的重量比的5%~25%。
4. 如申請專利範圍第3項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述難燃劑為溴系化合物。
5. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述樹脂材料為ABS樹脂。