TWI548591B - An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction - Google Patents
An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction Download PDFInfo
- Publication number
- TWI548591B TWI548591B TW104107111A TW104107111A TWI548591B TW I548591 B TWI548591 B TW I548591B TW 104107111 A TW104107111 A TW 104107111A TW 104107111 A TW104107111 A TW 104107111A TW I548591 B TWI548591 B TW I548591B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- powder
- nitrogen
- alumina
- atmosphere
- phenolic resin
- Prior art date
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims description 80
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 26
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 title claims description 18
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 25
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 21
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 18
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 16
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 12
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 11
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 claims description 9
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N urea group Chemical group NC(=O)N XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- -1 azide compound Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910021386 carbon form Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 claims 1
- 230000001112 coagulating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 3
- 238000005261 decarburization Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 3
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 2
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 2
- PPQREHKVAOVYBT-UHFFFAOYSA-H dialuminum;tricarbonate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O PPQREHKVAOVYBT-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940118662 aluminum carbonate Drugs 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005049 combustion synthesis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0726—Preparation by carboreductive nitridation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
- C01P2002/72—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
本發明係關於一種製備氮化鋁粉末的方法,特別是一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末的方法。
常見氮化鋁合成方式有:化學氣相沉積法、有機金屬前驅物法、直接氮化法、碳熱還原法、燃燒合成法等。相較而言,碳熱還原法可以簡單的製程,製得高純度、粒徑細、性能穩定的氮化鋁粉末,為最常被使用的氮化鋁粉末製備方法。傳統上以碳黑與氧化鋁粉末混合,再以碳熱還原法製備氮化鋁粉末。碳黑與氧化鋁粉末混合均勻度不易控制,需在大於1600℃的較高溫度下合成氮化鋁粉末,且其具有較高的碳黑混合比率(氧化鋁及碳黑重量比為1:0.36),造成脫碳過程需較長時間達成。
本發明以化學溶液法將碳材料均勻包覆於γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁)表面,經由氣氛控制的碳熱還原法製備氮化鋁粉末可用較少的碳含量,在較低的溫度下合成氮化鋁。
先將γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁)及酚醛樹脂以重量比為1:0.4~0.8的比率均勻混合,混合後加入40%~60%的乙醇水溶液,將酚醛樹脂溶解,形成均勻混合的溶液,再將溶液置於烘箱中加熱烘乾成粉末凝團。
烘乾後的粉末凝團於500℃~700℃的溫度條件下進行碳化,酚醛樹脂即轉換為碳黑,並在氧化鋁表面形成均勻鍍層。
碳化後的粉末聚集成團,先經初碎過程將粉末研磨至粒徑小於2mm的凝團顆粒。
研磨後的凝團顆粒,再進行氮化形成氮化鋁粉末,氮化時於碳化後的凝團顆粒添加尿素,於溫度約為1400℃~1700℃下進行氮化反應,該氮化氣氛可為純氮氣、氮氣加氨氣或氮氣加氫氣。
氮化後的粉末於溫度600℃~700℃的條件下進行脫碳工作,脫碳後的粉末即為氮化鋁粉末。
S110~S180‧‧‧一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末之步驟
第1圖係為本發明製備方法之流程圖
第2圖係為使用本發明之方法,氮化氣氛為50%氮氣加50%氨氣,碳化凝團顆粒與尿素重量比為1:0.1產生之氮化鋁粉末的X光繞射圖譜
第3圖為使用本發明之方法,氮化氣氛分別為50%氮氣加50%氨氣、50%氮氣加50%氨氣、95%氮氣:5%氫氣,碳化凝團顆粒未加添加劑產生之氮化鋁粉末的X光繞射圖譜
第4圖為使用本發明之方法,氮化氣氛分別為50%氮氣加50%氨氣、純氮氣,碳化凝團顆粒未加添加劑產生之氮化鋁粉末的X光繞射圖譜
本發明主要提供一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末的方法,以下詳細說明本發明之實施方式,熟悉此技藝之人士可由本說明書所揭示內容輕易地瞭解本發明之其它優點與功效。其製備方法如下:
(1)如第1圖,步驟S110,提供一γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁),其中該γ-氧化鋁粒徑為0.08~2μm。
(2)如第1圖,步驟S120,提供一酚醛樹脂。
(3)如第1圖,步驟S130,將該γ-氧化鋁粉末及該酚醛樹脂混合後,加入化學溶液攪拌均勻,使酚醛樹脂溶解,形成一溶液,其中該化學溶液為濃度40%wt~60wt%的甲醇、乙醇、異丙醇、或正丁醇水溶液,該γ-氧化鋁粉末與該酚醛樹脂混合之重量比例為1:0.4~0.8。
(4)如第1圖,步驟S140,將經步驟S130形成的該溶液置於烘箱內乾燥,形成粉末凝團。
(5)如第1圖,步驟S150,將步驟S140乾燥後的粉末凝團置於氮氣氣氛,爐內溫度為500℃~700℃之高溫爐進行碳化,形成碳化後的粉末凝團。
(6)如第1圖,步驟S160,將經過步驟S150碳化後的粉末凝團研磨至粒徑小於2mm的凝團顆粒。
(7)如第1圖,步驟S170,將經步驟S160研磨後的凝團顆粒加入添加劑,置於氮氣氣氛,爐內溫度為1400℃~1700℃之高溫爐進行氮化,形成粉末,其中該研磨後的凝團顆粒與添加劑的重量比為1:0.1~1,該添加劑為尿素或疊氮化合物,該氮氣氣氛為純氮氣、氮氣與氫氣之混合氣、氮氣與氨氣之混合氣或純氨氣。
(8)如第1圖,步驟S180,將經步驟S170氮化後的粉末於空氣或氧氣氣氛下進行脫碳,形成氮化鋁粉末,其中該脫碳時間約為6小時~12小時。
以下為描述應用本發明所提方法之具體實施例,並以X光繞射圖譜檢驗以本發明所提方法產生之氮化鋁粉末。
實施例一
將80克的γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁)與32克的酚醛樹脂均勻混合,再加入50克乙醇水溶液混合成均勻的溶液,溶液於溫度約80℃的烘箱內烘1小時,形成粉末凝團。粉末凝團置於700℃的氮氣氣氛高溫爐內進行碳化,碳化時間為2小時。碳化後的凝團顆粒添加尿素(碳化粉末與尿素重量比為1:0.1),並以升溫速率為5℃/min,1450℃持溫10小時、1500℃持溫10小時及1600℃持溫7小時的條件於高溫爐下進行碳熱還原工作,碳熱還原時的氣氛為50%氮氣加50%氨氣。碳熱還原後之粉末於空氣中600℃進行脫碳工作,持溫10小時,除碳後粉末的X光繞射圖譜如第2圖所示,由繞射結果顯示,粉末皆呈現氮化鋁的單一純相。
實施例二
將80克的γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁)與32克的酚醛樹脂均勻混合,再加入50克乙醇水溶液混合成均勻的溶液,溶液於約80℃的烘箱內烘1小時,形成粉末凝團。粉末凝團置於700℃的氮氣氣氛高溫爐內進行碳化,碳化的時間為2小時。碳化後的粉末以升溫速率為5℃/min,1500℃持溫10小時、1600℃持溫10小時及1600℃持溫7小時的條件於高溫爐下進行碳熱還原工作,碳熱還原時的氣氛分別為50%氮氣加50%氨氣、95%氮氣加5%
氫氣,其碳化後之凝團顆粒皆未添加尿素。碳熱還原後之粉末於空氣中600℃進行脫碳工作,持溫10小時,除碳後粉末的X光繞射圖譜如第3圖所示,由繞射結果顯示,粉末皆呈現氮化鋁的單一純相。
實施例三
將80克的γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁)與32克的酚醛樹脂均勻混合,再加入50克乙醇水溶液混合成均勻的溶液,溶液於約80℃的烘箱內烘1小時,形成粉末凝團。粉末凝團置於700℃的氮氣氣氛高溫爐內進行碳化,碳化的時間為2小時。碳化後的粉末以升溫速率為5℃/min,1500℃持溫10小時的條件於高溫爐下進行碳熱還原工作,碳熱還原時的氣氛分別為純氮氣、50%氮氣加50%氨氣,其碳化後之凝團顆粒皆未添加尿素。碳熱還原後之粉末於空氣中600℃進行脫碳工作,持溫10小時,除碳後粉末的X光繞射圖譜如第4圖所示,由繞射的結果顯示,粉末經50%氮氣加50%氨氣氣氛下氮化後,呈現氮化鋁的單一純相,粉末於純氮氣下氮化則有α-氧化鋁(Alfa相-氧化鋁)的出現。
S110~S180‧‧‧一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末之步驟
Claims (10)
- 一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末的方法,其包括:(A)提供一γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁);(B)提供一酚醛樹脂;(C)將該γ-氧化鋁粉末及該酚醛樹脂加入化學溶液攪拌均勻,使酚醛樹脂溶解,形成一溶液;(D)將該(C)步驟形成的溶液置於烘箱內乾燥,形成粉末凝團;(E)將該粉末凝團置於氮氣氣氛之高溫爐進行碳化,形成碳化後的粉末凝團;(F)將該碳化後的粉末凝團研磨至粒徑小於2mm的凝團顆粒;(G)將該研磨後的凝團顆粒加入含氮添加劑置於氮氣氣氛之高溫爐進行氮化;(H)將該氮化後的粉末於空氣或氧氣氣氛下進行脫碳,形成氮化鋁粉末。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該γ-氧化鋁粉末之粒徑為0.08~2μm。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該化學溶液為濃度40wt%~60wt%的甲醇、乙醇、異丙醇、或正丁醇水溶液。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該γ-氧化鋁粉末與該酚醛樹脂混合之重量比例為1:0.4~0.8。
- 如申請專利範圍第1項之方法,其中該步驟(E)之高溫爐的爐內溫度為500℃~700℃。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該步驟(G)之高溫爐的爐內溫度溫度為1400℃~1700℃。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該添加劑為尿素或疊氮化合物。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中研磨後的凝團顆粒與添加劑的重量比例範圍為1:0.1~1。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該(G)步驟之氮氣氣氛為純氮氣、氮氣與氫氣之混合氣、氮氣與氨氣之混合氣或純氨氣。
- 一種氣氛控制碳熱還原製備氮化鋁粉末的方法,其包括:(A)提供一γ-氧化鋁粉末(Gamma相-氧化鋁),其中該γ-氧化鋁之粒徑為0.08~2μm;(B)提供一酚醛樹脂;(C)將該γ-氧化鋁粉末及該酚醛樹脂加入化學溶液攪拌均勻,使酚醛樹脂溶解,形成一溶液,其中該γ-氧化鋁與該酚醛樹脂混合之重量比例為1:0.4~0.8,該化學溶液為濃度40wt%~60wt%的甲醇、乙醇、異丙醇、或正丁醇水溶液;(D)將該(C)步驟形成的溶液置於烘箱內乾燥,形成粉末凝團;(E)將該粉末凝團置於氮氣氣氛,爐內溫度為500℃~700℃之高溫爐進行碳化,形成碳化後的粉末凝團;(F)將該碳化後的粉末凝團研磨至粒徑小於2mm的凝團顆粒;(G)將該研磨後的凝團顆粒加入含氮添加劑置於氮氣氣氛,爐內溫度為1400℃~1700℃之高溫爐進行氮化,其中該研磨後的凝團顆粒與添加劑的重量比例範圍為1:0.1~1,該添加劑為尿素或疊氮化合物,該氮氣氣氛為純氮氣、氮氣與氫氣之混合氣、氮氣與氨氣之混合氣或純氨氣;(H)將該氮化後的粉末於空氣或氧氣氣氛下進行脫碳,形成氮化鋁粉末。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW104107111A TWI548591B (zh) | 2015-03-06 | 2015-03-06 | An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction |
| JP2015210583A JP2016164112A (ja) | 2015-03-06 | 2015-10-27 | 雰囲気が制御される炭素熱還元法によって窒化アルミニウム粉体の製造方法 |
| US14/962,741 US20160257568A1 (en) | 2015-03-06 | 2015-12-08 | Method of preparing aluminum nitride powder through atmosphere controlled carbon-thermal reduction |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW104107111A TWI548591B (zh) | 2015-03-06 | 2015-03-06 | An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWI548591B true TWI548591B (zh) | 2016-09-11 |
| TW201632465A TW201632465A (zh) | 2016-09-16 |
Family
ID=56850462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW104107111A TWI548591B (zh) | 2015-03-06 | 2015-03-06 | An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20160257568A1 (zh) |
| JP (1) | JP2016164112A (zh) |
| TW (1) | TWI548591B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106810267B (zh) * | 2017-02-21 | 2020-01-14 | 河北利福光电技术有限公司 | 一种高纯氮化硅粉末的制备方法 |
| CN109437918A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-03-08 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 一种氮化铝粉体及其制备方法和应用 |
| CN113924270B (zh) | 2019-04-15 | 2024-06-04 | 中部电力株式会社 | 等离子体电极用碳化铪粉末、其制造方法、碳化铪烧结体和等离子体电极 |
| CN111017889A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-04-17 | 中色(宁夏)东方集团有限公司 | 一种氮化铌的制备方法 |
| CN113443611B (zh) * | 2021-07-23 | 2022-05-03 | 安徽壹石通材料科技股份有限公司 | 一种氮化物粉体的制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0362643B2 (zh) * | 1984-02-22 | 1991-09-26 | Tokuyama Soda Kk | |
| CN101973534A (zh) * | 2010-11-02 | 2011-02-16 | 北京科技大学 | 一种制备氮化铝陶瓷粉末的方法 |
| TW201348125A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-12-01 | Tokuyama Corp | 氮化鋁粉末之製造方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1329461C (en) * | 1987-04-14 | 1994-05-17 | Alcan International Limited | Process of producing aluminum and titanium nitrides |
| US4917877A (en) * | 1987-10-14 | 1990-04-17 | Nippon Light Metal Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride powder |
| JPH03271108A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-03 | Tokyo Tungsten Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| US5246683A (en) * | 1991-07-03 | 1993-09-21 | Alcan Internatonal Limited | Process for producing small particles of aluminum nitride and particles so-produced |
| JPH0524810A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| JPH06199506A (ja) * | 1991-08-07 | 1994-07-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| JPH05229805A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| JPH06191807A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-12 | Tokuyama Soda Co Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| FR2710047B1 (fr) * | 1993-09-17 | 1995-10-13 | Atochem Elf Sa | Procédé de préparation en continu de nitrure d'aluminium par carbonitruration d'alumine dans un réacteur à lit coulant. |
| JPH0952769A (ja) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 窒化アルミニウム質固形体の製造方法 |
| JP3571163B2 (ja) * | 1997-03-04 | 2004-09-29 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウムの製造方法 |
| JPH1121113A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 低酸素濃度窒化アルミニウムの製造方法 |
| JP2010024079A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Bridgestone Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| WO2011093488A1 (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 株式会社トクヤマ | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法及び該方法により得られた球状窒化アルミニウム粉末 |
-
2015
- 2015-03-06 TW TW104107111A patent/TWI548591B/zh active
- 2015-10-27 JP JP2015210583A patent/JP2016164112A/ja active Pending
- 2015-12-08 US US14/962,741 patent/US20160257568A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0362643B2 (zh) * | 1984-02-22 | 1991-09-26 | Tokuyama Soda Kk | |
| CN101973534A (zh) * | 2010-11-02 | 2011-02-16 | 北京科技大学 | 一种制备氮化铝陶瓷粉末的方法 |
| TW201348125A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-12-01 | Tokuyama Corp | 氮化鋁粉末之製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2016164112A (ja) | 2016-09-08 |
| US20160257568A1 (en) | 2016-09-08 |
| TW201632465A (zh) | 2016-09-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI548591B (zh) | An atmosphere - controlled method for the preparation of aluminum nitride powder by carbothermal reduction | |
| CN106882773B (zh) | 一种制备氮化铝的方法 | |
| WO2011093488A1 (ja) | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法及び該方法により得られた球状窒化アルミニウム粉末 | |
| JP6560796B2 (ja) | 球状窒化ケイ素粉体の製造方法 | |
| CN104177091A (zh) | 一种高致密度六方氮化硼陶瓷材料的制备方法 | |
| JP2018048033A (ja) | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| CN104724685A (zh) | 一种纳米氮化铝粉末的制备方法 | |
| JPS61151006A (ja) | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 | |
| JP7027196B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| CN109437921B (zh) | 基于表面改性低温合成制备氮化硅陶瓷粉体的方法 | |
| CN112225566B (zh) | 氮化硅粉体及其制备方法与应用、陶瓷材料 | |
| JP2009184897A (ja) | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 | |
| KR101728517B1 (ko) | 습식 혼합된 보헤마이트 슬러리를 이용한 질화알루미늄의 제조 방법 | |
| WO2023048149A1 (ja) | フィラー用六方晶窒化ホウ素粉末 | |
| CN112919914A (zh) | 一种AlN陶瓷粉体的制备方法 | |
| TWI579231B (zh) | 一種製備球形氮化鋁粉末的方法 | |
| CN105503198A (zh) | 氮化硅材料及其制备方法 | |
| TW201540655A (zh) | 高純度氮氧化鋁粉末之製備方法 | |
| JPH0323206A (ja) | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 | |
| CN111847403A (zh) | 一种氮化铝粉体的制备方法 | |
| KR20220090080A (ko) | 질화알루미늄 분말 제조 방법 | |
| CN114716252B (zh) | 一种易烧结高纯氮化硅粉体的制备方法 | |
| JP2019137595A (ja) | 金属含有窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JP2852087B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| CN112028042B (zh) | 一种CoP的碳热还原制备方法、产品及应用 |