TWI481541B - 板狀體搬送裝置及板狀體搬送方法 - Google Patents

Description

板狀體搬送裝置及板狀體搬送方法 發明領域

本發明係關於一種板狀體搬送裝置，和利用此種板狀體搬送裝置之板狀體搬送方法。板狀體搬送裝置設有朝矩形狀板狀體的下面供給清潔空氣，將板狀體於非接觸狀態下支撐在水平姿勢之送風式支撐工具，和接觸為該送風式支撐工具所支撐的板狀體的下面，對該板狀體給予在搬送方向上的推進力之推進力給予工具，並設有上游側搬送部、下游側搬送部和中轉搬送部；上游側搬送部沿主搬送方向搬送板狀體，下游側搬送部沿與前述主搬送方向直交的副搬送方向搬送板狀體，中轉搬送部將從前述上游側搬送部接收來的板狀體的搬送方向從前述主搬送方向切換到前述副搬送方向，並移送到前述下游側搬送部。

發明背景

這種板狀體搬送裝置是，在上游側搬送部沿主搬送方向搬送板狀體並將該板狀體移送到中轉搬送部，在中轉搬送部將板狀體的搬送方向從主搬送方向切換到副搬送方向，在中轉搬送部沿副搬送方向搬送板狀體並將該板狀體移送到下游側搬送部地搬送板狀體之裝置，係應用在要將板狀體的搬送方向從主搬送方向變更到副搬送方向的時候(例如，參照專利文獻1。)。

在該專利文獻1中，一對主搬送推進力給予工具當中， 位在副搬送方向的上游側之主搬送推進力給予工具，雖然是從上游側搬送部跨到中轉搬送部而配設，但是位在副搬送方向的下游側之主搬送推進力給予工具卻只配設在上游側搬送部而未配設在中轉搬送部。

另外，一對副搬送推進力給予工具當中，位在主搬送方向的下游側之副搬送推進力給予工具，雖然是從中轉搬送部跨到下游側搬送部而配設，但是位在主搬送方向的上游側之副搬送推進力給予工具卻只配設在下游側搬送部而未配設在中轉搬送部。

亦即，在中轉搬送部，沿主搬送方向搬送板狀體時，只讓位在副搬送方向的上游側之主搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面，對板狀體沿主搬送方向給予推進力；沿副搬送方向搬送板狀體時，只讓位在主搬送方向的下游側之副搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面，對板狀體沿副搬送方向給予推進力。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：特開2005-75543號公報

發明概要

上述的專利文獻1的板狀體搬送裝置中，於中轉搬送部設置副搬送方向下游側的主搬送推進力給予工具，和主搬送方向上游側的副搬送推進力給予工具，即使是在中轉搬 送部，沿主搬送方向搬送板狀體時，還是會讓主搬送推進力給予工具接觸板狀體在副搬送方向的兩端部的下面，再用一對主搬送推進力給予工具對板狀體沿主搬送方向適當地給予推進力，沿副搬送方向搬送板狀體時，則是會讓副搬送推進力給予工具接觸板狀體在主搬送方向的兩端部的下面，再用一對副搬送推進力給予工具對板狀體沿副搬送方向適當地給予推進力，藉而沿主搬送方向或副搬送方向搬送板狀體。

而，若在推進力給予工具附近用送風式支撐工具非接觸式支撐板狀體，則因板狀體的上浮，推進力給予工具對板狀體的接觸壓力會降低。為了抑制該推進力給予工具對板狀體的下面之接觸壓力的降低，在一對主搬送推進力給予工具之間，同時也是一對副搬送推進力給予工具之間設置的中轉送風式支撐工具，必須以相對於副搬送方向下游側的主搬送推進力給予工具是疏離副搬送方向的上游側，而且相對於主搬送方向上游側的副搬送推進力給予工具是疏離主搬送方向的下游側的狀態來設置。

然而，將板狀體從上游側搬送部搬送到中轉搬送部時，板狀體是在主搬送方向上游側的副搬送推進力給予工具和中轉送風式支撐工具之間所形成的第1間隙的上方被搬送，但是因為該第1間隙內並未設置送風式支撐工具，所以板狀體之副搬送方向的中央部會往下方彎，像這樣，就會有彎曲的板狀體在主搬送方向的下游側被搬送而接觸到中轉送風式支撐工具並且發生破損之虞。

另外，從中轉搬送部搬送到下游側搬送部的情形也一樣，在副搬送方向下游側的主搬送推進力給予工具和中轉送風式支撐工具之間所形成的第2間隙的上方被搬送時，會有板狀體的主搬送方向的中央部往下方彎而發生破損之虞。

本發明係有鑒於上述事實而完成的，目的在於提供一種對板狀體適當地給予推進力並且在搬送板狀體時，可以防範板狀體發生破損的情況於未然之板狀體搬送裝置。

本發明的板狀體搬送裝置係設有朝矩形狀的板狀體的下面供給清潔空氣，將板狀體以水平姿勢支撐於非接觸狀態下之送風式支撐工具，和接觸為該送風式支撐工具所支撐之板狀體的下面並對該板狀體給予在搬送方向的推進力之推進力給予工具，前述板狀體搬送裝置並設有上游側搬送部、下游側搬送部和中轉搬送部的裝置，上游側搬送部是在主搬送方向上搬送板狀體，下游側搬送部在與前述主搬送方向形成直交的副搬送方向上搬送板狀體，中轉搬送部將從前述上游側搬送部接收來之板狀體的搬送方向從前述主搬送方向切換到前述副搬送方向並移送到前述下游側搬送部；前述推進力給予工具設有從前述上游側搬送部跨到前述中轉搬送部而配設，並且接觸板狀體在前述副搬送方向的兩端部的下面，對該板狀體給予在前述主搬送方向的推進力之一對主搬送推進力給予工具，和從前述中轉搬送部 跨到前述下游側搬送部而配設，並且接觸板狀體在前述主搬送方向的兩端部的下面，對該板狀體給予在前述副搬送方向的推進力之一對副搬送推進力給予工具；前述送風式支撐工具設有在前述一對主搬送推進力給予工具之間，於前述副搬送方向上以疏離該對主搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述上游側搬送部的上游側送風式支撐工具，和在前述一對副搬送推進力給予工具之間，於前述主搬送方向上以疏離該對副搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述下游側搬送部的下游側送風式支撐工具，和在前述一對主搬送推進力給予工具之間，於前述副搬送方向上以疏離該對主搬送推進力給予工具的每一個的狀態，並且在前述一對副搬送推進力給予工具之間，於前述主搬送方向上以疏離該對副搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述中轉搬送部的中轉送風式支撐工具；前述中轉搬送部係配置成利用使前述一對主搬送推進力給予工具和前述一對副搬送推進力給予工具相對地昇降移動的方式，自由地切換成使前述一對主搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述主搬送方向之主搬送狀態，和使前述一對副搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述副搬送方向之副搬送狀態，設有將朝板狀體的下面供給清潔空氣之空氣供給部配設於前述中轉搬送部中之前述一對副搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙當中至少位在主搬送方向上游側之第1間隙的 主搬送補助送風工具，設有將前述空氣供給部配設於前述中轉搬送部中之前述一對主搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙當中至少位在副搬送方向下游側之第2間隙的副搬送補助送風工具；前述主搬送補助送風工具及前述副搬送補助送風工具各個都配置成可自由地切換成為了於非接觸狀態下支撐位在前述空氣供給部的上方之板狀體而供給清潔空氣的供給狀態，和停止從前述空氣供給部供給清潔空氣的供給停止狀態，並且設有送風狀態切換工具，當前述中轉搬送部從前述副搬送狀態切換成前述主搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給狀態，同時將前述副搬送補助送風工具切換前述供給停止狀態，而且，當前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換成前述副搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，同時將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。

亦即，通過將中轉搬送部切換到主搬送狀態，就可以利用一對主搬送推進力給予工具對板狀體沿主搬送方向給予推進力，可以將板狀體從上游側搬送部搬送到中轉搬送部。而，將板狀體搬送到中轉搬送部之後，通過將中轉搬送部切換到副搬送狀態，又可以利用一對副搬送推進力給予工具對板狀體沿副搬送方向給予推進力，可以將板狀體從中轉搬送部搬送到下游側搬送部。

而，在中轉搬送部被切換到主搬送狀態的情形中，因為將主搬送補助送風工具切換到供給狀態且將副搬送補助 送風工具切換到供給停止狀態，所以將板狀體從上游側搬送部搬送到中轉搬送部時，主搬送補助送風工具係切換在供給狀態，副搬送補助送風工具則切換在供給停止狀態。

因此，將板狀體從上游側搬送部搬送到中轉搬送部時，板狀體是在形成於主搬送方向上游側的副搬送推進力給予工具和中轉送風式支撐工具之間的第1間隙上方被搬送，第1間隙中設有主搬送補助送風工具的空氣供給部，該主搬送補助送風工具則是切換在供給狀態。因此，在第1間隙的上方搬送板狀體時，可以利用主搬送補助送風工具支撐板狀體，在沿主搬送方向搬送板狀體時抑制板狀體的彎曲，可以防範板狀體發生破損的情況於未然。

再就是，此時，第2間隙位在板狀體之副搬送方向下游側的端部的下方，雖然在該第2間隙設有副搬送補助送風工具的空氣供給部，但是因為副搬送補助送風工具切換在供給停止狀態，所以板狀體之副搬送方向下游側的端部並未受到副搬送補助送風工具的支撐。因此，接觸支撐該端部的主搬送推進力給予工具對板狀體的接觸壓未降低，可以利用一對主搬送推進力給予工具沿主搬送方向精確地搬送板狀體。

將板狀體從中轉搬送部搬送到下游側搬送部時，因為主搬送補助送風工具被切換到供給停止狀態且副搬送補助送風工具被切換到供給狀態，所以可以抑制沿副搬送方向搬送板狀體時之板狀體的彎曲，既可防範板狀體接觸他物而發生破損的情況於未然，又可以在副搬送推進力給予工 具對板狀體的接觸壓力不降低之下，用一對副搬送推進力給予工具沿副搬送方向精確地搬送板狀體。

總之，通過在中轉搬送部設置一對主搬送推進力給予工具和一對副搬送推進力給予工具，在第1間隙設置主搬送補助送風工具的空氣供給部，在第2間隙設置副搬送補助送風工具的空氣供給部，並根據中轉搬送部在副搬送狀態和主搬送狀態的切換情形，將主搬送補助送風工具及副搬送補助送風工具的狀態切換成供給狀態和供給停止狀態的方式，可以提供一種在沿主搬送方向和副搬送方向搬送板狀體時，既可對板狀體適當地給予推進力，又可以防範板狀體的破損於未然之板狀體搬送裝置。

在本發明之板狀體搬送裝置的實施態樣中，前述送風狀態切換工具宜配置成在前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態，前述中轉搬送部中開始將板狀體往前述副搬送方向搬送之前，會將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。

亦即，在中轉搬送部從主搬送狀態被切換到副搬送狀態，中轉搬送部中開始將板狀體往副搬送方向搬送之前，將主搬送補助送風工具切換到供給停止狀態且將副搬送補助送風工具切換到供給狀態，藉此，因為可以從搬送開始立即用副搬送補助送風工具非接觸地支撐板狀體，故可抑制沿副搬送方向搬送時之板狀體的彎曲，可以防範板狀體發生破損的情況於未然。

本發明之板狀體搬送裝置的實施態樣中理想的是，前述主搬送推進力給予工具配置成沿著前述主搬送方向並排設置複數個接觸板狀體的下面並對該板狀體給予推進力之旋轉體，前述副搬送推進力給予工具配置成沿著前述副搬送方向並排設置複數個前述旋轉體，前述主搬送補助送風工具中之前述空氣供給部，在平面視下，從前述第1間隙橫越前述副搬送推進力給予工具中沿前述副搬送方向相鄰的前述旋轉體之間地設置，前述副搬送補助送風工具中之前述空氣供給部在平面視下，從前述第2間隙橫越前述主搬送推進力給予工具中沿前述主搬送方向相鄰的前述旋轉體之間地設置。

亦即，不僅在第1間隙，從該第1間隙起，到並排設置在副搬送方向上的旋轉體之間為止都設了主搬送補助送風工具中的空氣供給部，藉此，因為可以對在主搬送方向上被搬送的板狀體，沿著主搬送方向用主搬送補助送風工具廣範圍地支撐板狀體，所以沿著主搬送方向搬送時，可以在主搬送方向上廣範圍地抑制板狀體的彎曲。而且，通過將空氣供給部設置在旋轉體之間，因為可以如上所述地，既廣範圍地支撐板狀體，又可以在受到旋轉體接觸支撐的板狀體附近設置空氣供給部，所以可以從空氣供給部噴出比較少量的清潔空氣來支撐板狀體。

另外，同樣從第2間隙跨到旋轉體之間地設置副搬送補助送風工具中的空氣供給部，在沿副搬送方向搬送時，可以在副搬送方向上廣範圍地抑制板狀體的彎曲，而且，可 以從空氣供給部噴出比較少量的清潔空氣來支撐板狀體。

本發明的板狀體搬送裝置的實施態樣中理想的是，前述主搬送補助送風工具的前述空氣供給部係橫過包含前述第1間隙之前述上游側送風式支撐工具，與前述中轉送風式支撐工具之間的間隙中的前述主搬送方向的全寬而設置，前述副搬送補助送風工具的前述空氣供給部則是橫過包含前述第2間隙之前述中轉送風式支撐工具，與前述下游側送風式支撐工具之間的間隙中的前述副搬送方向的全寬而設置。

亦即，在上游側送風式支撐工具和中轉送風式支撐工具之間，雖然為了設置副搬送推進力給予工具並形成第1間隙，而在主搬送方向上形成較大的間隙，但是因為在該間隙的全寬設置空氣供給部，所以沿著主搬送方向搬送板狀體時，在上游側送風式支撐工具和中轉送風式支撐工具之間的整個範圍都可以抑制板狀體的彎曲。

另外，因為在中轉送風式支撐工具和下游側送風式支撐工具之間的間隙的全寬設置空氣供給部，所以沿著副搬送方向搬送板狀體時，在中轉送風式支撐工具和下游側送風式支撐工具之間的整個範圍都可以抑制板狀體的彎曲。

本發明的板狀體搬送裝置的實施態樣中理想的是，前述主搬送補助送風工具中之前述空氣供給部係以前述中轉搬送部中之前述副搬送方向的端部側之該空氣供給部彼此的間隔比在前述中轉搬送部中之前述副搬送方向的中央部之該空氣供給部彼此的間隔大的狀態，沿前述副搬送方向 並排設置複數個，前述副搬送補助送風工具中之前述空氣供給部係以前述中轉搬送部中之前述主搬送方向的端部側之該空氣供給部彼此的間隔比在前述中轉搬送部中之前述主搬送方向的中央部之該空氣供給部彼此的間隔大的狀態，沿前述主搬送方向並排設置複數個。

亦即，沿主搬送方向被搬送之板狀體，因其副搬送方向的兩端部被一對主搬送推進力給予工具接觸支撐著，所以板狀體會形成副搬送方向的中央大幅度向下方彎曲的狀態，用主搬送補助送風工具非接觸支撐彎曲成那樣的板狀體時，因為在彎曲大的中央部是以狹窄的間隔設置空氣供給部以供給大量的清潔空氣，而越到彎曲漸小的端部側越是以寬間隔設置空氣供給部來供給少量的清潔空氣，故可對板狀體依其姿勢供給適量的清潔空氣，可以用主搬送補助送風工具適當地支撐沿主搬送方向被搬送的板狀體之副搬送方向的中央部。另外，同樣可以用副搬送補助送風工具適當地支撐沿副搬送方向搬送之板狀體的主搬送方向的中央部。

本發明之板狀體搬送裝置的實施態樣中，前述空氣供給部宜利用具有狹縫狀噴出口的噴嘴構成。

亦即，從狹縫狀噴出口噴出清潔空氣，藉以使清潔空氣從該噴出口噴出而可以對板狀體的下面供給清潔空氣，同時可以利用從該噴出口噴出的清潔空氣的氣流吸引周圍的清潔空氣，並將所吸引的周圍的清潔空氣也供給到板狀體的下面。

因此，噴出少量的清潔空氣就可以對板狀體的下面供給大量的清潔空氣，所以既可確保供給給板狀體的下面之清潔空氣的量又能達成空氣供給部的小型化。

本發明之板狀體搬送裝置的實施態樣中宜設置可以在限制位置和解除限制位置之間自由移動的抵接體，其中限制位置在前述主搬送狀態中是與受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體同高度，而且抵接於在前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體在前述主搬送方向的下游側的側面，解除限制接觸限制位置在前述主搬送狀態中是在受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面，在前述副搬送狀態中則是位在比受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面更下方側，而且比前述限制位置更往前述主搬送方向的下游側的位置。

亦即，讓抵接體先移動到限制位置時，可以擋住向主搬送方向的下游側搬送之板狀體，因為一對副搬送推進力給予工具位在被如此擋住的板狀體在主搬送方向的兩端部的下方，所以將中轉搬送部從主搬送狀態切換到副搬送狀態時，可以用一對副搬送推進力給予工具支撐板狀體之主搬送方向的兩端部的下面，可以將板狀體的搬送方向從主搬送方向適當地切換到副搬送方向。

而，讓抵接體先移動到解除限制位置時，因為用一對副搬送推進力給予工具沿副搬送方向搬送板狀體時，抵接體不會抵接板狀體，所以沿副搬送方向搬送板狀體時，可 以避免因抵接體抵接板狀體而導致之板狀體的破損。

另外，在解除限制位置時，因為抵接體位在比板狀體更下方的位置，所以沿副搬送方向搬送板狀體時，即使板狀體偏離主搬送方向，板狀體也不會抵接到抵接體。亦即，因為不須要考慮板狀體偏離主搬送方向的情形，而讓抵接體在主搬送方向的下游側大幅移動，所以可以沿主搬送方向將抵接體設於小空間內。

另外，使抵接體從限制位置直線狀地往解除限制位置移動時，該抵接體是在主搬送方向的下游側向斜下方移動。讓抵接體這樣地在主搬送方向下游側的斜下方移動而從限制位置移動到解除限制位置時，抵接體和被抵接體擋住的板狀體之間不會發生摩擦，可以防範由該摩擦所造成之板狀體的破損於未然。

另外，本發明中包含對應於上述構成的方法，在方法中可以期待有對應於上述構成的作用和效果。

亦即，根據本發明的方法係一種利用設有上游側搬送部、下游側搬送部和中轉搬送部的板狀體搬送裝置之板狀體搬送方法，其中板狀體搬送裝置的上游側搬送部設有朝矩形狀的板狀體的下面供給清潔空氣，將板狀體於非接觸狀態下支撐在水平姿勢之送風式支撐工具，和接觸為該送風式支撐工具所支撐之板狀體的下面並對該板狀體給予在搬送方向的推進力之推進力給予工具，下游側搬送部在與前述主搬送方向形成直交的副搬送方向上搬送板狀體，中轉搬送部將從前述上游側搬送部接收來之板狀體的搬送方 向從前述主搬送方向切換到前述副搬送方向並移送到前述下游側搬送部；前述推進力給予工具設有從前述上游側搬送部跨到前述中轉搬送部而配設，並且接觸板狀體在前述副搬送方向的兩端部的下面，對該板狀體給予在前述主搬送方向的推進力之一對主搬送推進力給予工具，和從前述中轉搬送部跨到前述下游側搬送部而配設，並且接觸板狀體在前述主搬送方向的兩端部的下面，對該板狀體給予在前述副搬送方向的推進力之一對副搬送推進力給予工具；前述送風式支撐工具設有在前述一對主搬送推進力給予工具之間，於前述副搬送方向上以疏離該對主搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述上游側搬送部的上游側送風式支撐工具，和在前述一對副搬送推進力給予工具之間，於前述主搬送方向上以疏離該對副搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述下游側搬送部的下游側送風式支撐工具，和在前述一對主搬送推進力給予工具之間，於前述副搬送方向上以疏離該對主搬送推進力給予工具的每一個的狀態，並且在前述一對副搬送推進力給予工具之間，於前述主搬送方向上以疏離該對副搬送推進力給予工具的每一個的狀態，設置在前述中轉搬送部的中轉送風式支撐工具；前述中轉搬送部係配置成利用使前述一對主搬送推進力給予工具和前述一對副搬送推進力給予工具相對地昇降移動的方式，自由地切換成使前述一對主搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述主搬送方向之主搬送狀態，和使前述一對副搬 送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述副搬送方向之副搬送狀態，設有將朝板狀體的下面供給清潔空氣之空氣供給部配設於前述中轉搬送部中之前述一對副搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙當中至少位在主搬送方向上游側之第1間隙的主搬送補助送風工具，設有將前述空氣供給部配設於前述中轉搬送部中之前述一對主搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙當中至少位在副搬送方向下游側之第2間隙的副搬送補助送風工具；前述主搬送補助送風工具及前述副搬送補助送風工具各個都配置成可自由地切換成為了於非接觸狀態下支撐位在前述空氣供給部的上方之板狀體而供給清潔空氣的供給狀態，和停止從前述空氣供給部供給清潔空氣的供給停止狀態；板狀體搬送方法包含，於前述中轉搬送部從前述副搬送狀態切換到前述主搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給狀態並且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態之送風狀態切換步驟。

本發明的實施態樣中，理想的是在前述送風狀態切換步驟中，於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態時，在前述中轉搬送部開始將板狀體往前述副 搬送方向搬送之前，先將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，並且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。

本發明的實施態樣中，設有可以在限制位置和解除限制位置之間自由移動的抵接體，其中限制位置在前述主搬送狀態中是與受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體同高度，而且抵接於在前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體在前述主搬送方向的下游側的側面，接觸限制位置在前述主搬送狀態中是在受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面，在前述副搬送狀態中則是位在比受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面更下方側，而且比前述限制位置更往前述主搬送方向的下游側的位置，理想的是包含於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態時，在前述中轉搬送部開始將板狀體往前述副搬送方向搬送之前，使前述抵接體從前述限制位置往前述解除限制位置移動之抵接體位置切換步驟。

圖式簡單說明

【第1圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的平面圖。

【第2圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的平面圖。

【第3圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的側面圖。

【第4圖】本發明的實施態樣之主搬送狀態的中轉搬送部的側面圖。

【第5圖】本發明的實施態樣之副搬送狀態的中轉搬送部的側面圖。

【第6圖】(a)~(b)本發明的實施態樣之補助送風工具的側面圖。

【第7圖】本發明的實施態樣之主昇降式推進力給予部的斜視圖。

【第8圖】本發明的實施態樣之並排設置的空氣供給部的示意圖。

【第9圖】(a)~(b)本發明的實施態樣之抵接體的示意圖。

【第10圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的搬送作用圖。

【第11圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的搬送作用圖。

【第12圖】本發明的實施態樣之控制方塊圖。

【第13圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的控制流程圖。

用以實施發明之形態

以下，將根據圖面說明本發明的板狀體搬送裝置。

如第1圖所示，板狀體搬送裝置的構成設有，向作為矩形狀板狀體之液晶用玻璃基板1的下面供給清潔空氣，以非接觸狀態支撐玻璃基板1之送風式支撐工具2，和接觸支撐玻璃基板1的下面並對玻璃基板1給予在搬送方向上的推進力之推進力給予工具3。

另外，板狀體搬送裝置由沿主搬送方向X搬送玻璃基板1之上游側搬送部A，和沿著與主搬送方向X形成直交之副搬送方向Y搬送玻璃基板1之下游側搬送部C，和將從上游側搬送部A接收來的玻璃基板1的搬送方向從主搬送方向X切換到副搬送方向Y並移送到下游側搬送部C之中轉搬送部B所構成，該等搬送部A~C，分別設有送風式支撐工具2及推進力給予工具3並且配置成單元狀。再者，搬送部A~C係設置成以相同高度搬送玻璃基板1。

在上游側搬送部A之主搬送方向X的下游側並排設置中轉搬送部B，並且配置成在用送風式支撐工具2以非接觸狀態支撐玻璃基板1，並且用推進力給予工具3以接觸狀態支撐玻璃基板1的狀態下，利用推進力給予工具3對玻璃基板1給予朝向主搬送方向X的下游側之推進力，將該玻璃基板1從上游側搬送部A搬送到中轉搬送部B，利用推進力給予工具3對玻璃基板1給予朝向主搬送方向X的上游側的推進力，將該玻璃基板1從中轉搬送部B搬送到上游側搬送部A。

另外，在中轉搬送部B的副搬送方向Y的下游側並排設置下游側搬送部C，並且配置成在用送風式支撐工具2以非接觸狀態支撐玻璃基板1，並且用推進力給予工具3以接觸狀態支撐玻璃基板1的狀態下，利用推進力給予工具3對玻璃基板1給予朝向副搬送方向Y的下游側的推進力，將該玻璃基板1從中轉搬送部B搬送到下游側搬送部C，利用推進力給予工具3對玻璃基板1給予朝向副搬送方向Y的上游側 的推進力，將該玻璃基板1從下游側搬送部C搬送到中轉搬送部B。

像這樣，板狀體搬送裝置被配置成除了，將玻璃基板1從上游側搬送部A經由中轉搬送部B搬送到下游側搬送部C之正方向搬送外，還執行將玻璃基板1從下游側搬送部C經由中轉搬送部B搬送到上游側搬送部A之反方向搬送。

[推進力給予工具]

推進力給予工具3設有一對主搬送推進力給予工具5和一對副搬送推進力給予工具6，前述一對主搬送推進力給予工具5是從上游側搬送部A跨到中轉搬送部B而配設且接觸到玻璃基板1在副搬送方向Y的兩端部的下面，並對該玻璃基板1給予沿主搬送方向X的推進力前述一對副搬送推進力給予工具6是從中轉搬送部B跨到下游側搬送部C而配設，接觸到玻璃基板1在主搬送方向X的兩端部的下面，並對該玻璃基板1給予沿副搬送方向Y的推進力。

如第2圖、第4圖及第5圖所示，一對主搬送推進力給予工具5各自配置成沿著主搬送方向X並排設置複數個作為接觸支撐玻璃基板1的下面在副搬送方向Y的端部之旋轉體的旋轉滾輪7，並對複數個旋轉滾輪7各自個別地設置旋轉驅動旋轉滾輪7之電動馬達8。於是形成了用電動馬達8使複數個旋轉滾輪7個別地旋轉驅動，從而對接觸旋轉滾輪7之玻璃基板1給予在主搬送方向X上的推進力。

如第4圖及第5圖所示，複數個旋轉滾輪7和旋轉驅動它的電動馬達8被一連串的支撐框9所支撐，複數個旋轉滾輪7 被支撐在相對於支撐框9是位在副搬送方向Y的送風式支撐工具2所位處的內方側，複數個電動馬達8則被支撐在相對於支撐框9是在副搬送方向Y的外方側的位置。

如第6圖及第7圖所示，配備於主搬送推進力給予工具5的各個旋轉滾輪7被配置成具備安裝著O形環載置支撐玻璃基板1的下面之小徑部7a，和位於比該小徑部7a再往副搬送方向Y的外方側，通過抵接玻璃基板1的側面來限制玻璃基板1往副搬送方向Y移動的大徑部7b。

而且，如第1圖所示，關於主搬送推進力給予工具5中被設置在上游側搬送部A的部分(以下，稱為主固定式推進力給予部5b)，是以位置固定狀態設置在上游側搬送部A，關於主搬送推進力給予工具5中被設置在中轉搬送部B的部分(以下，稱為主昇降式推進力給予部5a)，則是可自由昇降移動地設在中轉搬送部B。

另外，一對副搬送推進力給予工具6各自配置成沿副搬送方向Y並排設置複數個接觸支撐玻璃基板1的下面在主搬送方向X的端部之旋轉滾輪7，與沿著主搬送方向X設置的主搬送推進力給予工具5除了設置方向這一點不同以外，構成相同。亦即，副搬送推進力給予工具6雖然在沿著副搬送方向Y設置這一點與主搬送推進力給予工具5不同，但是與主搬送推進力給予工具5同樣在構成上都具備旋轉滾輪7和電動馬達8。而且，關於副搬送推進力給予工具6中被設置在中轉搬送部B的部分(以下，稱為副昇降式推進力給予部6a)，係可自由昇降移動地設在中轉搬送部B，關於副搬送 推進力給予工具6中被設置在下游側搬送部C的部分(以下，稱為副固定式推進力給予部6b)，則是以位置固定狀態設置在下游側搬送部C。

[送風式支撐工具]

另外，送風式支撐工具2設有在一對主搬送推進力給予工具5之間，以沿著副搬送方向Y疏離該對主搬送推進力給予工具5的各個的狀態，設在上游側搬送部A之上游側送風式支撐工具11，和在一對副搬送推進力給予工具6之間，以沿著主搬送方向X疏離該對副搬送推進力給予工具6的各個的狀態，設在下游側搬送部C之下游側送風式支撐工具13，和在一對主搬送推進力給予工具5之間，以沿著副搬送方向Y疏離該對主搬送推進力給予工具5的各個的狀態，且在一對副搬送推進力給予工具6之間，以沿著主搬送方向X疏離該對副搬送推進力給予工具6的各個的狀態，設置在中轉搬送部B之中轉送風式支撐工具12。

如第3圖所示，中轉送風式支撐工具12的構成具備去除塵埃之除塵過濾器14，和配置在該除塵過濾器14的下方，作為通過該除塵過濾器14向玻璃基板1的下面供給清潔空氣之送風工具的送風風扇15。加以說明的話，則中轉送風式支撐工具12的構成係如第1圖所示，沿主搬送方向X及副搬送方向Y並排設置複數個，將繞縱軸心旋轉的送風風扇15，和覆蓋該送風風扇15的上方之板狀的除塵過濾器14一體地組裝而構成之風機過濾機組16。

而且，中轉送風式支撐工具12係配置成利用送風風扇 15的送風作用，吸引中轉送風式支撐工具12下方的空氣，將通過除塵過濾器14的空氣當作清潔空氣噴向中轉送風式支撐工具12的上方；像這樣通過噴出清潔空氣，對被中轉搬送部B搬送的玻璃基板1的下面供給清潔空氣，藉而將玻璃基板1支撐在水平姿勢。再者，在本說明書中，「水平姿勢」的概念不僅包含玻璃基板1平行於水平方向的姿勢(完全水平姿勢)，也包含玻璃基板1對水平方向傾斜預定角度(例如，5度以下的角度或10度以下的角度等)之姿勢(大致水平姿勢)。再者，玻璃基板1以對水平方向呈傾斜的姿勢被支撐的狀態是因，例如，製造上的誤差而產生，或者，依設計故意實現的。

附帶一提，中轉送風式支撐工具12係以位置固定狀態，在中轉搬送部B中設置成噴出清潔空氣的上面位於比推進力給予工具3中支撐玻璃基板1的支撐高度再往下方的位置。

而，上游側送風式支撐工具11及下游側送風式支撐工具13，各自的構成也和中轉送風式支撐工具12一樣，具備除塵過濾器14及送風風扇15，除了風機過濾機組16的大小不同這點以外，構成相同。再者，上游側送風式支撐工具11及下游側送風式支撐工具13和中轉送風式支撐工具12設在相同高度。

[中轉搬送部]

接著，就中轉搬送部B做說明。

如第4圖及第5圖所示，中轉搬送部B係配置成通過使一 對主搬送推進力給予工具5和一對副搬送推進力給予工具6相對地昇降移動，可以自由地切換到使一對主搬送推進力給予工具5接觸玻璃基板1的下面以將玻璃基板1的搬送方向切換到主搬送方向X之主搬送狀態(參照第4圖)，和使一對副搬送推進力給予工具6接觸玻璃基板1的下面以將玻璃基板1的搬送方向切換到副搬送方向Y之副搬送狀態(參照第5圖)。

加以說明的話，則一對主昇降式推進力給予部5a係配置成利用主搬送用昇降操作工具17(參照第6圖)使支撐它的支撐框9昇降移動，藉而在與一對主固定式推進力給予部5b或一對副固定式推進力給予部6b相同高度的上昇位置(參照第4圖)，和比該上昇位置再往下方的下降位置(參照第5圖)自由地昇降移動。

另外，一對副昇降式推進力給予部6a也同樣配置成利用副搬送用昇降操作工具18使支撐它的支撐框9昇降移動，藉而在與一對主固定式推進力給予部5b或一對副固定式推進力給予部6b相同高度的上昇位置(參照第5圖)，和比該上昇位置再往下方的下降位置(參照第4圖)自由地昇降移動。

再者，在本例中，主搬送用昇降操作工具17及副搬送用昇降操作工具18，各自以氣缸做成。

於是，如第4圖所示，使主昇降式推進力給予部5a上昇到上昇位置且使副昇降式推進力給予部6a下降到下降位置時，中轉搬送部B就被切換到主搬送狀態。在像這樣切換到 主搬送狀態的狀態下，主昇降式推進力給予部5a會接觸到玻璃基板1的下面，副昇降式推進力給予部6a則從玻璃基板1的下面向下方疏離。

另外，如第5圖所示，通過使主昇降式推進力給予部5a下降到下降位置且使副昇降式推進力給予部6a上昇到上昇位置，中轉搬送部B就被切換到副搬送狀態。在像這樣被切換到副搬送狀態的狀態下，主昇降式推進力給予部5a從玻璃基板1的下面向下方疏離，副昇降式推進力給予部6a則接觸到玻璃基板1的下面。

[補助送風工具]

如第2圖所示，中轉搬送部B中，除送風式支撐工具2(中轉送風式支撐工具12)以外，設有用於以非接觸狀態支撐玻璃基板1的主搬送補助送風工具19及副搬送補助送風工具20。此等主搬送補助送風工具19及副搬送補助送風工具20，各個的構成都具備朝玻璃基板1的下面供給清潔空氣的空氣供給部21，和設在對該空氣供給部21供給清潔空氣的配管途中的過濾器(未圖示出)及開關閥(未圖示出)。

主搬送補助送風工具19及副搬送補助送風工具20各個都配置成可以通過開關閥的開關操作，自由地切換到為了將位在空氣供給部21的上方之玻璃基板1支撐於非接觸狀態而供給清潔空氣之供給狀態，和停止從空氣供給部21供給清潔空氣之供給停止狀態。

另外，空氣供給部21係如第6圖、第7圖所示，用具有狹縫狀的噴出口21a之噴嘴，即所謂的氣刀構成。附帶一 提，噴出口21a形成於空氣供給部21的上端部，空氣供給部21配置成從噴出口21a朝正上方噴出清潔空氣。另外，如第6圖所示，空氣供給部21係以位置固定狀態設在中轉搬送部B，形成其噴出口21a的高度位在比送風式支撐工具2的上面再往下方的位置。

主搬送補助送風工具19的構成是，將空氣供給部21配設在中轉搬送部B中之形成於一對副搬送推進力給予工具6(副昇降式推進力給予部6a)和中轉送風式支撐工具12之間的一對間隙當中之位於主搬送方向X的上游側之第1間隙g1及位於主搬送方向X的下游側之第3間隙g3之內的至少第1間隙g1中。本實施態樣中，如第2圖所示，主搬送補助送風工具19的構成是在第1間隙g1及第3間隙g3這兩者都配設空氣供給部21。

主搬送補助送風工具19中之設於第1間隙g1的空氣供給部21在本實施態樣中是沿著副搬送方向Y並排設置了複數個(換言之是多數，本例中是6個)。這複數個空氣供給部21各自以噴出口21a沿著主搬送方向X的姿勢，在平面視下從第1間隙g1，橫過位於主搬送方向X的上游側之副搬送推進力給予工具6中，沿副搬送方向Y相鄰的旋轉滾輪7之間而設置。而，主搬送補助送風工具19中之設於第3間隙g3的空氣供給部21也一樣，沿副搬送方向Y並排設置複數個，這複數個空氣供給部21各自以噴出口21a沿主搬送方向X的姿勢，在平面視下從第3間隙g3，橫過位於主搬送方向X的下游側之副搬送推進力給予工具6中，沿副搬送方向Y相鄰的 旋轉滾輪7之間而設置。

附帶一提，如第6圖所示，支撐空氣供給部21之支撐體24位於第1間隙g1(或第2間隙g2)，空氣供給部21被支撐體24懸臂狀地支撐著，並和旋轉滾輪7以在副搬送方向Y上排成行的狀態設置。

另外，如第1圖所示，主搬送補助送風工具19中之設於第1間隙g1的空氣供給部21及設於第3間隙g3的空氣供給部21，在本實施態樣中各自沿副搬送方向Y並排設置6個，位於副搬送方向Y最中央側的2個空氣供給部21之間有2個旋轉滾輪7，該空氣供給部21和靠近其副搬送方向Y的外方側之空氣供給部21之間有3個旋轉滾輪7，在該空氣供給部21和位於副搬送方向Y最外方側之空氣供給部21之間有4個旋轉滾輪7。

亦即，如第8圖所示，主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21是以中轉搬送部B中在副搬送方向Y的中央部之該空氣供給部21彼此的間隔比中轉搬送部B中在副搬送方向Y的端部側之空氣供給部21彼此的間隔要寬的狀態，沿副搬送方向Y並排設置複數個(本例中是6個)。

像這樣，主搬送補助送風工具19被配置成比起副搬送方向Y的端部側，對中央部供給更多量的清潔空氣，形成以高於玻璃基板1之副搬送方向Y的端部側之支撐力非接觸支撐中央部的情形。

另外，關於主搬送補助送風工具19中之設於第1間隙g1的空氣供給部21係如第6圖所示，橫過包含第1間隙g1之上 游側送風式支撐工具11，與中轉送風式支撐工具12之間的間隙中的主搬送方向X的全寬而設置。再者，本說明書中，所稱「橫過全寬」的概念不僅指空氣供給部21的寬度，和上游側送風式支撐工具11與中轉送風式支撐工具12之間的間隙的寬度(間隙寬度)一致的情形，即使相對於該間隙寬度，空氣供給部21的寬度小，只要空氣供給部21的寬度在該間隙寬度的規定比例(例如80%或90%等)以上都包含在內。本實施態樣中，如第6圖所示，空氣供給部21的寬度，是上游側送風式支撐工具11和中轉送風式支撐工具12之間的間隙寬度的90%左右，空氣供給部21對上游側送風式支撐工具11及中轉送風式支撐工具12雙方疏離地配置。

如果再加說明，則在上游側送風式支撐工具11和中轉送風式支撐工具12之間，為了設置副昇降式推進力給予部6a並且形成第1間隙g1，雖然在主搬送方向X形成比較大的間隙，但是通過如上所述地設置空氣供給部21，在上游側送風式支撐工具11和中轉送風式支撐工具12之間還是可以適當地支撐玻璃基板1。

副搬送補助送風工具20配置成在中轉搬送部B中形成於一對主搬送推進力給予工具5(主昇降式推進力給予部5a)和中轉送風式支撐工具12之間的一對間隙當中，將空氣供給部21配設於位在副搬送方向Y的下游側之第2間隙g2及位在副搬送方向Y的上游側的第4間隙g4當中的至少第2間隙g2。本實施態樣中，如第2圖所示，副搬送補助送風工具20係配置成在第2間隙g2及第4間隙g4雙方配設空氣供給部 21。

副搬送補助送風工具20中設於第2間隙g2的空氣供給部21，沿主搬送方向X並排設置複數個(換言之是多數，本例中是6個)，這複數個空氣供給部21各自以噴出口21a沿副搬送方向Y的姿勢，在平面視下從第2間隙g2，橫過在位於副搬送方向Y的下游側之主搬送推進力給予工具5中，沿主搬送方向X相鄰的旋轉滾輪7之間而設置。另外，副搬送補助送風工具20中設置於第4間隙g4的空氣供給部21也一樣，沿主搬送方向X並排設置複數個，這複數個空氣供給部21各自以噴出口21a沿副搬送方向Y的姿勢，在平面視下從第4間隙g4，橫過在位於副搬送方向Y的上游側之主搬送推進力給予工具5中，沿主搬送方向X相鄰的旋轉滾輪7之間而設置。

而且，副搬送補助送風工具20中的空氣供給部21，和主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21一樣，以在中轉搬送部B中主搬送方向X的端部側的空氣供給部21彼此的間隔，大於中轉搬送部B中在主搬送方向X的中央部之該空氣供給部21彼此的間隔的狀態，沿主搬送方向X並排設置複數個(本例中是6個)。

另外，關於副搬送補助送風工具20中設於第2間隙g2的空氣供給部21，和主搬送補助送風工具19中設於第1間隙g1的空氣供給部21一樣，在包含第2間隙g2之中轉送風式支撐工具12與下游側送風式支撐工具13之間的間隙中，橫過副搬送方向Y的全寬地設置。

[限制部件]

如第2圖所示，在中轉搬送部B設有限制被主搬送推進力給予工具5朝主搬送方向X的下游側正方向地搬送之玻璃基板1，被搬送到比主搬送方向X的下游側終端位置再往主搬送方向X的下游側之主搬送限制部件(相當於抵接體)25，和限制被副搬送推進力給予工具6朝副搬送方向Y的上游側反方向地搬送之玻璃基板1，被搬送到比副搬送方向Y的上游側終端位置再往副搬送方向Y的上游側之副搬送限制部件26。

附帶一提，在玻璃基板1位於主搬送方向X的下游側終端位置的狀態下，會形成副昇降式推進力給予部6a中之旋轉滾輪7的小徑部7a位在該玻璃基板1之主搬送方向X的兩端部各自的正下方，並且，副昇降式推進力給予部6a中之旋轉滾輪7的大徑部7b位在比該玻璃基板1的主搬送方向X的兩端再往外方側的狀態。另外，在玻璃基板1位於副搬送方向Y的上游側終端位置的狀態下，會形成主昇降式推進力給予部5a中之旋轉滾輪7的小徑部7a位在該玻璃基板1的副搬送方向Y的兩端部各自的正下方，並且，主昇降式推進力給予部5a中之旋轉滾輪7的大徑部7b位在比該玻璃基板1的副搬送方向Y的兩端再往外方側的狀態。

如第9圖所示，主搬送限制部件25被配置成可以在主搬送狀態中與被一對主搬送推進力給予工具5載置支撐的玻璃基板1高度相同，且抵接副搬送狀態中被一對副搬送推進力給予工具6載置支撐的玻璃基板1在主搬送方向X下游側 的側面之限制位置(參照第9圖(a))，和在比主搬送狀態中被一對主搬送推進力給予工具5載置支撐的玻璃基板1的下面及副搬送狀態中被一對副搬送推進力給予工具6載置支撐的玻璃基板1的下面更下方側，且比限制位置位在主搬送方向X的更下游側之解除限制位置(參照第9圖(b))間自由移動。亦即，主搬送限制部件25的限制位置在抵接於位在上述主搬送方向X的下游側終端位置之玻璃基板1在主搬送方向X的下游側的側面的位置。

而且配置成利用主限制用昇降操作工具28使支撐主搬送限制部件25的支撐部件27沿傾斜方向直線狀地昇降移動，以便主搬送限制部件25在限制位置和解除限制位置之間昇降移動。亦即，主搬送限制部件25被配置成從限制位置起邊向主搬送方向X的下游側移動邊向下方側移動，傾斜移動直到解除限制位置為止，另外，從解除限制位置起邊向主搬送方向X的上游側移動邊向上方側移動，傾斜移動直到限制位置為止。

另外，副搬送限制部件26也和主搬送限制部件25同樣地配置成利用副限制用昇降操作工具29使支撐副搬送限制部件26的支撐部件27直線狀地昇降移動，藉以在限制位置和解除限制位置間自由移動。該副搬送限制部件26的限制位置為副搬送狀態中和被一對副搬送推進力給予工具6載置支撐的玻璃基板1相同高度，且抵接主搬送狀態中被一對主搬送推進力給予工具5載置支撐的玻璃基板1在副搬送方向Y上游側的側面的位置，副搬送限制部件26的解除限制位 置為，比主搬送狀態中被一對主搬送推進力給予工具5載置支撐的玻璃基板1的下面及副搬送狀態中被一對副搬送推進力給予工具6載置支撐的玻璃基板1的下面再往下方側，且比限制位置再往副搬送方向Y的上游側的位置。亦即，副搬送限制部件26的限制位置係抵接於位在上述副搬送方向Y的上游側終端位置之玻璃基板1在副搬送方向Y上游側的側面的位置。

[控制裝置]

如第12圖所示，板狀體搬送裝置中設有控制送風式支撐工具2及推進力給予工具3的作動，及，中轉搬送部B中之主搬送補助送風工具19、副搬送補助送風工具20、主搬送用昇降操作工具17、副搬送用昇降操作工具18、主限制用昇降操作工具28及副限制用昇降操作工具29的作動之控制裝置H。再者，各工具的作動控制係以安裝在控制裝置H所配備的微電腦中之軟體程式來實施。

控制裝置H被配置成將中轉搬送部B從副搬送狀態切換到主搬送狀態時，將主搬送補助送風工具19切換到供給狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給停止狀態，而，將中轉搬送部B從主搬送狀態切換到副搬送狀態時，將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給狀態。再者，控制裝置H相當於送風狀態切換工具。

另外，設定成檢測玻璃基板1是否存在的主搬送第1檢測感測器31、主搬送第2檢測感測器32、副搬送第1檢測感 測器33及副搬送第2檢測感測器34的檢測資訊會被輸入控制裝置H。如第10圖所示，這4個檢測感測器31~34，在平面視下被設置在以一對主昇降式推進力給予部5a和一對副昇降式推進力給予部6a圍成的空間內。

而且，主搬送第2檢測感測器32比主搬送第1檢測感測器31設在主搬送方向X的更下游側，朝主搬送方向X的下游側搬送之玻璃基板1設定成被主搬送第1檢測感測器31檢測後，再被主搬送第2檢測感測器32檢測。

另外，副搬送第2檢測感測器34比副搬送第1檢測感測器33設在副搬送方向Y的更上游側，朝副搬送方向Y的上游側搬送之玻璃基板1設定成被副搬送第1檢測感測器33檢測後，再被副搬送第2檢測感測器34檢測。

再者，當玻璃基板1位在適當位置的狀態(玻璃基板1在主搬送方向X的下游側終端位置且位於副搬送方向Y的上游側終端位置的狀態)時，4個檢測感測器31~34全部處於檢測位在適當位置的玻璃基板1之狀態。

接著，將就依據控制裝置H而執行之中轉搬送部B的作動做說明。

首先，根據第13圖說明將玻璃基板1沿正方向搬送的情形。附帶一提，往正方向搬送玻璃基板1時，在玻璃基板1之主搬送方向X的下游側端部被搬送到第1間隙g1之前，先將中轉送風式支撐工具12切換到作動狀態，使主昇降式推進力給予部5a上昇移動到上昇位置，使副昇降式推進力給予部6a下降移動到下降位置，將主搬送補助送風工具19切 換到供給狀態，副搬送補助送風工具20切換到供給停止狀態，並使主搬送限制部件25移動到限制位置，副搬送限制部件26移動到解除限制位置，從而中轉搬送部B被切換到正方向主搬送狀態。

由於主搬送推進力給予工具5(主昇降式推進力給予部5a)的作動，玻璃基板1被以正常的搬送速度向主搬送方向X的下游側搬送〈S1〉。

此時，主搬送補助送風工具19被切換到供給狀態，因為可以利用從該主搬送補助送風工具19噴出的清潔空氣，非接觸支撐上游側送風式支撐工具11與中轉送風式支撐工具12之間所形成的間隙上的玻璃基板1，故可適當地支撐玻璃基板1。另外，因為副搬送補助送風工具20切換在供給停止狀態，所以玻璃基板1在副搬送方向Y的兩端難以從主搬送推進力給予工具5上浮，可以利用主搬送推進力給予工具5給予玻璃基板1適當地推進力。

往主搬送方向X的下游側搬送玻璃基板1，如第10圖所示，一旦主搬送第1檢測感測器31檢測到玻璃基板1〈S2〉，就使主昇降式推進力給予部5a(主搬送推進力給予工具5)的作動速度減速，將主搬送推進力給予工具5所帶動的搬送速度減速到低速搬送速度來搬送玻璃基板1〈S3〉。

之後，主搬送第2檢測感測器32如果檢測到玻璃基板1，就在從該檢測開始到停止用設定時間(從玻璃基板1被主搬送第2檢測感測器32檢測出，到被搬送至適當位置所需要的時間)經過後〈S4〉，讓主昇降式推進力給予部5a(主搬送 推進力給予工具5)的作動停止〈S5〉。此時，玻璃基板1被搬送到主搬送方向X的下游側終端位置而位在如第11圖所示的適當位置。

在如上所述之使玻璃基板1位於適當位置的狀態下，實施將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給狀態之送風狀態切換步驟，同時，實施使主昇降式推進力給予部5a下降且使副昇降式推進力給予部6a上昇，而且，讓主搬送限制部件25移動到解除限制位置之抵接體位置切換步驟，將中轉搬送部B切換到正方向副搬送狀態〈S6〉。附帶一提，此等主搬送補助送風工具19之往供給停止狀態的切換、副搬送補助送風工具20之往供給狀態的切換、副昇降式推進力給予部6a的上昇，主昇降式推進力給予部5a的下降、主搬送限制部件25之往解除限制位置的移動，其順序只要適當設定即可，同時進行其等的一部分或全部亦可。

像這樣，在中轉搬送部B從主搬送狀態被切換到副搬送狀態，中轉搬送部B中開始進行玻璃基板1往副搬送方向Y的搬送之前，設定成要將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給狀態。而，在中轉搬送部B從主搬送狀態被切換到副搬送狀態，中轉搬送部B中開始進行玻璃基板1往副搬送方向Y的搬送之前，設定成要執行主搬送限制部件25往解除限制位置的移動。

之後，讓副搬送推進力給予工具6開始作動，以正常的 速度向副搬送方向Y的下游側搬送玻璃基板1〈S7〉。

此時，因為主搬送補助送風工具19已經切換在供給停止狀態，所以玻璃基板1在主搬送方向X的兩端難於從副搬送推進力給予工具6上浮，故可由副搬送推進力給予工具6對玻璃基板1給予適當的推進力。另外，副搬送補助送風工具20被切換到供給狀態，利用從該副搬送補助送風工具20噴出的清潔空氣，可以非接觸支撐中轉送風式支撐工具12與下游側送風式支撐工具13之間所形成的間隙上的玻璃基板1，可以適當地支撐玻璃基板1。

開始副搬送推進力給予工具6的作動之後，切換用設定時間(玻璃基板1從中轉搬送部B被搬送到下游側搬送部C所需的時間)一過〈S8〉，中轉搬送部B就會被切換到正方向主搬送狀態〈S9〉。

接著，將就反方向搬送玻璃基板1的情形做說明。附帶一提，反方向搬送玻璃基板1時，在玻璃基板1從下游側搬送部C被搬送到中轉搬送部B之前，先將中轉送風式支撐工具12切換到作動狀態，讓主昇降式推進力給予部5a下降移動到下降位置，副昇降式推進力給予部6a上昇移動到上昇位置，將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態，副搬送補助送風工具20切換到供給狀態，讓主搬送限制部件25移動到解除限制位置，副搬送限制部件26移動到限制位置，從而中轉搬送部B被切換到反方向副搬送狀態。

然後，讓副搬送推進力給予工具6作動，將玻璃基板1以正常的搬送速度往副搬送方向Y的上游側搬送，副搬送第 1檢測感測器33一檢測到玻璃基板1，就將副搬送推進力給予工具6所帶動的搬送速度減速到低速搬送速度來搬送玻璃基板1，副搬送第2檢測感測器34檢測到玻璃基板1時，則從該檢測開始，在過了停止用設定時間後讓副搬送推進力給予工具6的作動停止。此時，玻璃基板1被搬送到副搬送方向Y的上游側終端位置位在適當位置。

在如上所述之使玻璃基板1位於適當位置的狀態下，實施將主搬送補助送風工具19切換到供給狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給停止狀態之送風狀態切換步驟，同時使主昇降式推進力給予部5a上昇且使副昇降式推進力給予部6a下降，而且，使副搬送限制部件26移動到解除限制位置，從而將中轉搬送部B切換到反方向主搬送狀態。

之後，讓主搬送推進力給予工具5作動，以正常的搬送速度將玻璃基板1往主搬送方向X的上游側搬送。

開始主搬送推進力給予工具5的作動之後，切換用設定時間(玻璃基板1的全體被搬送到上游側搬送部A所需時間)一過，中轉搬送部B就被切換到反方向副搬送狀態。

總之，由於在第1間隙g1設置主搬送補助送風工具19的空氣供給部21，在第2間隙g2設置副搬送補助送風工具20的空氣供給部21，並根據中轉搬送部B在副搬送狀態和主搬送狀態之間的切換，將主搬送補助送風工具19及副搬送補助送風工具20的狀態在供給狀態和供給停止狀態之間做切換，既可在主搬送方向X和副搬送方向Y上精確地搬送玻璃基板1，又可防範玻璃基板1的破損於未然。

[其他實施態樣]

(1)在上述實施態樣，雖然是在中轉搬送部B從主搬送狀態被切換到副搬送狀態，且中轉搬送部B中玻璃基板1往副搬送方向Y的搬送開始之前，已經將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態且副搬送補助送風工具20切換到供給狀態，但是也可以在中轉搬送部B中玻璃基板1往副搬送方向Y下游側的搬送開始的同時或緊跟著，才將主搬送補助送風工具19切換到供給停止狀態且將副搬送補助送風工具20切換到供給狀態。

(2)上述實施態樣中，雖然將主搬送推進力給予工具5配置成在主搬送方向X並排設置複數個接觸玻璃基板1的下面，對玻璃基板1給予推進力之旋轉滾輪7的滾輪式結構，但是也可以將主搬送推進力給予工具5配置成沿主搬送方向X配設接觸玻璃基板1的下面，對玻璃基板1給予推進力之無端皮帶的帶式結構。

附帶一提，在主搬送推進力給予工具5做成帶式結構的情形，作為旋轉體的無端皮帶可以沿主搬送方向X並排設置複數個，或者，沿主搬送方向X設置單一的無端皮帶亦可。

同樣地，關於副搬送推進力給予工具6也可以配置成帶式。

(3)上述實施態樣中，雖然將主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21，在平面視下從第1間隙g1橫越旋轉滾輪7之間地設置，並且在包含第1間隙g1之上游側送風式支撐工具11與中轉送風式支撐工具12之間的間隙中，對上游側送 風式支撐工具11及中轉送風式支撐工具12雙方形成疏離地配置，但是也可以將主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21設置成接觸上游側送風式支撐工具11及中轉送風式支撐工具12的任一方或雙方。另外，也可以將主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21設置成在平面視下僅位在第1間隙g1。

同樣地，可以將副搬送補助送風工具20中的空氣供給部21設置成接觸中轉送風式支撐工具12及下游側送風式支撐工具13的任一方或雙方，或者，也可以將副搬送補助送風工具20中的空氣供給部21設置成在平面視下僅位在第2間隙g2。

(4)上述實施態樣中，雖然將主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21，以中轉搬送部B中在副搬送方向Y的端部側之該空氣供給部21彼此的間隔，大於中轉搬送部B中在副搬送方向Y的中央部之該空氣供給部21彼此的間隔的狀態，沿副搬送方向Y並排設置複數個，但是也可以將主搬送補助送風工具19中的空氣供給部21沿副搬送方向Y等間隔並排設置複數個。附帶一提，即使是沿副搬送方向Y以等間隔並排設置複數個空氣供給部21的情形，也可以配置成讓來自位於副搬送方向Y的中央側之空氣供給部21的清潔空氣的流量，多於來自端部側之空氣供給部21的清潔空氣的流量，以便以高於玻璃基板1之副搬送方向Y的端部側之支撐力非接觸支撐中央部。關於副搬送補助送風工具20中的空氣供給部21也是同樣的。

(5)在上述實施態樣中，雖然用具有狹縫狀噴出口的噴嘴構成空氣供給部21，但是用具有1個或複數個圓形狀噴出口之噴嘴構成空氣供給部21亦可，另外，用小型的風機過濾機組構成空氣供給部21亦可。

另外，在上述實施態樣中，雖然在第1間隙g1和第2間隙g2並排設置複數個空氣供給部21，但是也可以將具有狹縫狀噴出口21a之噴嘴，以噴出口21a沿副搬送方向Y的姿勢設於第1間隙g1，並以噴出口21a沿主搬送方向X的姿勢設於第2間隙g2等，藉以將單一的空氣供給部21設於第1間隙g1和第2間隙g2。

(6)在上述實施態樣中設有主搬送限制部件25，雖然配置成使主搬送限制部件25的解除限制位置處於比限制位置更下方側且比限制位置在主搬送方向X的更下游側，並使位於限制位置的主搬送限制部件25向斜下方移動而移動到解除限制位置，但是也可以配置成使位於限制位置的主搬送限制部件25在主搬送方向X的下游側水平地移動而移動到解除限制位置，另外，也可以讓位於限制位置的主搬送限制部件25垂直向下移動，移動到解除限制位置。另外，亦可不設主搬送限制部件25。關於副搬送限制部件26也是一樣。

(7)上述實施態樣中，雖然在中轉搬送部B的主搬送方向X上游側並排設置上游側搬送部A，在中轉搬送部B的副搬送方向Y下游側並排設置下游側搬送部C，將板狀體搬送裝置配置成L字狀，但是也可以在中轉搬送部B的主搬送方 向X的下游側並排設置和上游側搬送部A相同構成的第2下游側搬送部，或者，在中轉搬送部B的副搬送方向Y的上游側並排設置和下游側搬送部C相同構成的第2上游側搬送部，將板狀體搬送裝置配置成T字狀，另外，也可以並排設置第2下游側搬送部和第2上游側搬送部雙方，將板狀體搬送裝置配置成十字狀。

附帶一提，在中轉搬送部B中可以不切換玻璃基板1的搬送方向，將玻璃基板1從上游側搬送部A經由中轉搬送部B搬送到第2下游側搬送部，或將玻璃基板1從第2上游側搬送部經由中轉搬送部B搬送到下游側搬送部C。

(8)在上述實施態樣中，雖然配置成使一對主搬送推進力給予工具5和一對副搬送推進力給予工具6這二者昇降移動，藉此將中轉搬送部B切換到主搬送狀態和副搬送狀態，但是也可以配置成使一對主搬送推進力給予工具5和一對副搬送推進力給予工具6的任一者昇降移動，藉此將中轉搬送部B切換到主搬送狀態和副搬送狀態。如此配置時，在主搬送狀態和副搬送狀態支撐板狀體1的高度雖然不同，但是可以讓中轉送風式支撐工具12的高度配合板狀體1的支撐高度的變化，配置成可以使中轉送風式支撐工具12自由昇降移動。

(9)在上述實施態樣，雖然是以液晶用的玻璃基板1相當於本發明中之「矩形狀的板狀體」的情形為例作說明，但是作為矩形狀的板狀體，也可以採用應用於液晶用以外的用途之玻璃基板，和玻璃以外的材料(例如半導體等)的板狀 體。

1‧‧‧玻璃基板(板狀體)

2‧‧‧送風式支撐工具

3‧‧‧推進力給予工具

5‧‧‧主搬送推進力給予工具

5a‧‧‧主昇降式推進力給予部

5b‧‧‧主固定式推進力給予部

6‧‧‧副搬送推進力給予工具

6a‧‧‧副昇降式推進力給予部

6b‧‧‧副固定式推進力給予部

7‧‧‧旋轉體

7a‧‧‧小徑部

7b‧‧‧大徑部

8‧‧‧電動馬達

11‧‧‧上游側送風式支撐工具

12‧‧‧中轉送風式支撐工具

13‧‧‧下游側送風式支撐工具

14‧‧‧除塵過濾器

15‧‧‧送風風扇

16‧‧‧風機過濾機組

17‧‧‧主搬送用昇降操作工具

18‧‧‧副搬送用昇降操作工具

19‧‧‧主搬送補助送風工具

20‧‧‧副搬送補助送風工具

21‧‧‧空氣供給部

21a‧‧‧噴出口

24‧‧‧支撐體

25‧‧‧主搬送限制部件(抵接體)

26‧‧‧副搬送限制部件

27‧‧‧支撐部件

28‧‧‧主限制用昇降操作工具

29‧‧‧副限制用昇降操作工具

31‧‧‧主搬送第1檢測感測器

32‧‧‧主搬送第2檢測感測器

33‧‧‧副搬送第1檢測感測器

34‧‧‧副搬送第2檢測感測器

A‧‧‧上游側搬送部

B‧‧‧中轉搬送部

C‧‧‧下游側搬送部

g1‧‧‧第1間隙

g2‧‧‧第2間隙

g3‧‧‧第3間隙

g4‧‧‧第4間隙

H‧‧‧送風狀態切換工具

X‧‧‧主搬送方向

Y‧‧‧副搬送方向

【第1圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的平面圖。

【第2圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的平面圖。

【第3圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的側面圖。

【第4圖】本發明的實施態樣之主搬送狀態的中轉搬送部的側面圖。

【第5圖】本發明的實施態樣之副搬送狀態的中轉搬送部的側面圖。

【第6圖】(a)~(b)本發明的實施態樣之補助送風工具的側面圖。

【第7圖】本發明的實施態樣之主昇降式推進力給予部的斜視圖。

【第8圖】本發明的實施態樣之並排設置的空氣供給部的示意圖。

【第9圖】(a)~(b)本發明的實施態樣之抵接體的示意圖。

【第10圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的搬送作用圖。

【第11圖】本發明的實施態樣之板狀體搬送裝置的搬送作用圖。

【第12圖】本發明的實施態樣之控制方塊圖。

【第13圖】本發明的實施態樣之中轉搬送部的控制流程圖。

1‧‧‧玻璃基板

2‧‧‧送風式支撐工具

3‧‧‧推進力給予工具

5‧‧‧主搬送推進力給予工具

5a‧‧‧主昇降式推進力給予部

5b‧‧‧主固定式推進力給予部

6‧‧‧副搬送推進力給予工具

6a‧‧‧副昇降式推進力給予部

6b‧‧‧副固定式推進力給予部

11‧‧‧上游側送風式支撐工具

12‧‧‧中轉送風式支撐工具

13‧‧‧下游側送風式支撐工具

16‧‧‧風機過濾機組

19‧‧‧主搬送補助送風工具

20‧‧‧副搬送補助送風工具

21‧‧‧空氣供給部

A‧‧‧上游側搬送部

B‧‧‧中轉搬送部

C‧‧‧下游側搬送部

g1‧‧‧第1間隙

g2‧‧‧第2間隙

g3‧‧‧第3間隙

g4‧‧‧第4間隙

Claims (10)

1. 一種板狀體搬送裝置，係設有朝矩形狀板狀體的下面供給清潔空氣而將板狀體以水平姿勢支撐於非接觸狀態下之送風式支撐工具，和接觸由該送風式支撐工具所支撐之板狀體的下面以對該板狀體給予在搬送方向的推進力之推進力給予工具，且前述板狀體搬送裝置設有在主搬送方向上搬送板狀體之上游側搬送部，和在與前述主搬送方向形成直交的副搬送方向上搬送板狀體之下游側搬送部，和將從前述上游側搬送部接收來的板狀體的搬送方向從前述主搬送方向切換到前述副搬送方向並移送到前述下游側搬送部的中轉搬送部之板狀體搬送裝置，其中前述推進力給予工具設有從前述上游側搬送部橫越前述中轉搬送部而配設且接觸板狀體中在前述副搬送方向的兩端部的下面並對該板狀體給予在前述主搬送方向上的推進力之一對主搬送推進力給予工具，和從前述中轉搬送部橫越前述下游側搬送部而配設且接觸板狀體中在前述主搬送方向的兩端部的下面並對該板狀體給予在前述副搬送方向上的推進力之一對副搬送推進力給予工具，前述送風式支撐工具設有在前述一對主搬送推進力給予工具之間，以從該對主搬送推進力給予工具的各個沿前述副搬送方向疏離的狀態設置於前述上游側搬送部之上游側送風式支撐工具，和在前述一對副搬送推 進力給予工具之間，以從該對副搬送推進力給予工具的各個沿前述主搬送方向疏離的狀態設置於前述下游側搬送部的下游側送風式支撐工具，和在前述一對主搬送推進力給予工具之間，以從該對主搬送推進力給予工具的各個沿前述副搬送方向疏離的狀態，並且在前述一對副搬送推進力給予工具之間，以從該對副搬送推進力給予工具的各個沿前述主搬送方向疏離的狀態，設於前述中轉搬送部之中轉送風式支撐工具，前述中轉搬送部配置成通過使前述一對主搬送推進力給予工具和前述一對副搬送推進力給予工具相對地昇降移動，而可自由地切換成使前述一對主搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述主搬送方向之主搬送狀態，和使前述一對副搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述副搬送方向之副搬送狀態，並且前述板狀體搬送裝置設有主搬送補助送風工具，其將朝板狀體的下面供給清潔空氣之空氣供給部配設在前述中轉搬送部中前述一對副搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙中之至少位於主搬送方向上游側之第1間隙，前述板狀體搬送裝置設有副搬送補助送風工具，其將前述空氣供給部配設在前述中轉搬送部中前述一對主搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙中之至少位於副搬送方向下游側之第2間 隙，前述主搬送補助送風工具及前述副搬送補助送風工具各自被配置成可以自由地切換成為了於非接觸狀態下支撐位在前述空氣供給部上方的板狀體而供給清潔空氣之供給狀態，和使來自前述空氣供給部之清潔空氣的供給停止之供給停止狀態，且前述板狀體搬送裝置設有送風狀態切換工具，其於前述中轉搬送部從前述副搬送狀態被切換到前述主搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給狀態並且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，而且，在前述中轉搬送部從前述主搬送狀態被切換到前述副搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。
2. 如申請專利範圍第1項記載之板狀體搬送裝置，其中前述送風狀態切換工具係配置成前述中轉搬送部從前述主搬送狀態被切換到前述副搬送狀態而前述中轉搬送部中開始進行板狀體往前述副搬送方向的搬送之前，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載之板狀體搬送裝置，其中，前述主搬送推進力給予工具配置成沿前述主搬送方向並排設置複數個接觸板狀體的下面並對該板狀體 給予推進力之旋轉體，前述副搬送推進力給予工具配置成沿前述副搬送方向並排設置複數個前述旋轉體，前述主搬送補助送風工具中之前述空氣供給部，在平面視中從前述第1間隙橫越前述副搬送推進力給予工具中沿前述副搬送方向相鄰的前述旋轉體之間而設置，前述副搬送補助送風工具中之前述空氣供給部，在平面視中從前述第2間隙橫越前述主搬送推進力給予工具中沿前述主搬送方向相鄰的前述旋轉體之間而設置。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項記載之板狀體搬送裝置，其中，前述主搬送補助送風工具的前述空氣供給部，在包含前述第1間隙的前述上游側送風式支撐工具和前述中轉送風式支撐工具之間的間隙中，橫越前述主搬送方向的全寬而設置，前述副搬送補助送風工具的前述空氣供給部，在包含前述第2間隙的前述中轉送風式支撐工具和前述下游側送風式支撐工具之間的間隙中，橫越前述副搬送方向的全寬而設置。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項記載之板狀體搬送裝置，其中，前述主搬送補助送風工具中之前述空氣供給部係以前述中轉搬送部中之前述副搬送方向的端部側之該空氣供給部彼此的間隔比在前述中轉搬送部中之前述 副搬送方向的中央部之該空氣供給部彼此的間隔大的狀態，沿前述副搬送方向並排設置複數個，前述副搬送補助送風工具中之前述空氣供給部係以前述中轉搬送部中之前述主搬送方向的端部側之該空氣供給部彼此的間隔比在前述中轉搬送部中之前述主搬送方向的中央部之該空氣供給部彼此的間隔大的狀態，沿前述主搬送方向並排設置複數個。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項記載之板狀體搬送裝置，其中前述空氣供給部係由具有狹縫狀噴出口的噴嘴構成。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項記載之板狀體搬送裝置，其中設有抵接體，可自由地移動到在前述主搬送狀態中受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體高度相同，且抵接於在前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體之前述主搬送方向下游側的側面之限制位置，和比前述主搬送狀態中受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面及前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面在更下方側，且位於比前述限制位置更往前述主搬送方向的下游側之解除限制位置。
8. 一種板狀體搬送方法，係利用板狀體搬送裝置的板狀體搬送方法，前述板狀體搬送裝置是設有朝矩形狀板狀體的下面供給清潔空氣而將板狀體以水平姿勢支撐於非 接觸狀態下之送風式支撐工具，和接觸由該送風式支撐工具所支撐之板狀體的下面以對該板狀體給予在搬送方向的推進力之推進力給予工具，且前述板狀體搬送裝置設有在主搬送方向上搬送板狀體之上游側搬送部，和在與前述主搬送方向形成直交的副搬送方向上搬送板狀體之下游側搬送部，和將從前述上游側搬送部接收來的板狀體的搬送方向從前述主搬送方向切換到前述副搬送方向並移送到前述下游側搬送部之中轉搬送部，其中前述推進力給予工具設有從前述上游側搬送部橫越前述中轉搬送部而配設且接觸板狀體中在前述副搬送方向的兩端部的下面並對該板狀體給予在前述主搬送方向上的推進力之一對主搬送推進力給予工具，和從前述中轉搬送部橫越前述下游側搬送部而配設且接觸板狀體中在前述主搬送方向的兩端部的下面並對該板狀體給予在前述副搬送方向上的推進力之一對副搬送推進力給予工具，前述送風式支撐工具設有在前述一對主搬送推進力給予工具之間，以該對主搬送推進力給予工具的各個沿前述副搬送方向疏離的狀態設置於前述上游側搬送部之上游側送風式支撐工具，和在前述一對副搬送推進力給予工具之間，以從該對副搬送推進力給予工具的各個沿前述主搬送方向疏離的狀態設置於前述下游側搬送部的下游側送風式支撐工具，和在前述一對主搬送推 進力給予工具之間，以從該對主搬送推進力給予工具的各個沿前述副搬送方向疏離的狀態，並且在前述一對副搬送推進力給予工具之間，以從該對副搬送推進力給予工具的各個沿前述主搬送方向疏離的狀態，設於前述中轉搬送部之中轉送風式支撐工具，前述中轉搬送部配置成通過使前述一對主搬送推進力給予工具和前述一對副搬送推進力給予工具相對地昇降移動，自由地切換成使前述一對主搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述主搬送方向之主搬送狀態，和使前述一對副搬送推進力給予工具接觸板狀體的下面並將板狀體的搬送方向切換到前述副搬送方向之副搬送狀態，並且前述板狀體搬送裝置設有主搬送補助送風工具，其將朝板狀體的下面供給清潔空氣之空氣供給部配設在前述中轉搬送部中前述一對副搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙中之至少位於主搬送方向上游側之第1間隙，前述板狀體搬送裝置設有副搬送補助送風工具，其將前述空氣供給部配設在前述中轉搬送部中在前述一對主搬送推進力給予工具和前述中轉送風式支撐工具之間的一對間隙中之至少位於副搬送方向下游側之第2間隙，前述主搬送補助送風工具及前述副搬送補助送風工具各個都配置成可自由地切換成為了於非接觸狀態 下支撐位在前述空氣供給部的上方之板狀體而供給清潔空氣的供給狀態，和停止從前述空氣供給部供給清潔空氣的供給停止狀態，前述板狀體搬送方法包含於前述中轉搬送部從前述副搬送狀態切換到前述主搬送狀態時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給狀態並且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態切換時，將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態之送風狀態切換步驟。
9. 如申請專利範圍第8項記載之板狀體搬送方法，其中在前述送風狀態切換步驟中，於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態時，在前述中轉搬送部開始將板狀體往前述副搬送方向搬送之前，先將前述主搬送補助送風工具切換到前述供給停止狀態，並且將前述副搬送補助送風工具切換到前述供給狀態。
10. 如申請專利範圍第8項或第9項記載之板狀體搬送方法，其中設有抵接體，可自由地移動到與在前述主搬送狀態中受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體高度相同，且抵接於在前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體之前述主搬送方向下游側的側面之限制位置，和比前述主搬送狀態中受前述一對主搬送推進力給予工具載置支撐的 板狀體的下面及前述副搬送狀態中受前述一對副搬送推進力給予工具載置支撐的板狀體的下面在更下方側，且位於比前述限制位置更往前述主搬送方向的下游側之解除限制位置且前述板狀體搬送方法包含於前述中轉搬送部從前述主搬送狀態切換到前述副搬送狀態時，在前述中轉搬送部開始將板狀體往前述副搬送方向搬送之前，使前述抵接體從前述限制位置往前述解除限制位置移動之抵接體位置切換步驟。