JP2005089130A - 搬送装置又は搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送物に対して水平姿勢で行いやすい作業や起立姿勢で行いやすい作業に関わらず、両方の作業を行いやすくすることのできる搬送装置を提供する。
【解決手段】 送風式支持手段３にて搬送物２の下面に向けて清浄空気を供給することによりその搬送物を非接触状態に支持した搬送物に対して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成された姿勢変更用搬送手段６ａを備え、その姿勢変更用搬送手段６ａを、搬送物２を水平姿勢あるいは略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、搬送物２を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに変更可能に構成する。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、送風式支持手段にて搬送物の下面に向けて清浄空気を供給することにより非接触状態に支持した搬送物に対して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成された搬送手段が備えられている搬送装置に関するものである。

かかる搬送装置は、搬送手段が、送風式支持手段にて非接触状態に支持して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成されているものであり、搬送物としては液晶用のガラス基板等のように接触支持が好ましくないものを搬送するのに適している。
そして、従来かかる搬送装置としては、搬送手段にて搬送物を水平姿勢に支持するものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
また、従来かかる搬送装置としては、搬送手段にて搬送物を起立姿勢に支持するものもあった（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００２−３２１８２０号公報 特開２００２−３０８４２３号公報

例えば、搬送物としての液晶用のガラス基板を搬送する場合において、裁断する際にはガラス基板を水平姿勢とした方が行い易く、傷や欠け等の検査する際にはガラス基板を起立姿勢とした方が行い易いので、ガラス基板を水平姿勢あるいは略水平姿勢で支持して搬送する搬送手段を備えた水平用搬送装置と、ガラス基板を起立姿勢で支持して搬送する搬送手段を備えた起立用搬送装置とを備えて、水平状態で裁断したガラス基板を水平用搬送装置の搬送手段にて水平姿勢で支持しながら搬送方向に搬送し、その搬送された水平姿勢のガラス基板を、水平用搬送装置から起立用搬送装置に受け渡して、この起立用搬送装置の搬送手段にて起立姿勢で支持しながら搬送されるガラス基板に対して検査を行うというように、水平用搬送装置と起立用搬送装置との間でガラス基板を受け渡すようにする搬送システムを構成すると裁断と検査との両方の作業が行い易く便利である。
そして、水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間でのガラス基板の受け渡しに用いる搬送装置としては、水平用搬送装置の搬送手段に支持されているガラス基板をその側部を接当して位置ずれを規制しながら下面を接当する状態で掬い取り、且つ、その掬い取ったガラス基板の姿勢を変更して起立用搬送装置に受け渡す機構のものが考えられるが、この構成の搬送装置の場合には、水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間でガラス基板を受け渡す際にガラス基板を損傷させてしまう等、ガラス基板が損傷し易い虞がある。

また、搬送物を搬送する搬送ラインを構成するにあたり、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する状態と、搬送物を起立姿勢で搬送する状態とに切り換えることができるようにすると、例えば、薄くて破損し易い搬送物を搬送する際には、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する状態にして、搬送物の破損を抑制し、また、厚くて丈夫な搬送物を搬送する際には、搬送物を起立姿勢で搬送する状態にして、搬送途中の搬送物を目視し易いようにする等、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する利点と、搬送物を起立姿勢で搬送する利点とを得られるものとなって良い。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送したのち、起立姿勢に変更して搬送する等、搬送物の姿勢を変更しながら搬送する搬送システムを構成する際や、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する状態と搬送物を起立姿勢で搬送する状態に切り換えることができる搬送ラインを構成する際において、便利に使用できる搬送装置を提供する点にある。
また、別の目的は、搬送物の姿勢を水平姿勢あるいは略水平姿勢と起立姿勢との間で変更しながら搬送することを良好に行える搬送システムを提供する点にある。

本願発明の搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物の下面に向けて清浄空気を供給することにより非接触状態に支持した搬送物に対して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成された搬送手段が備えられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記搬送手段が、前記搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、搬送物を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに変更可能に構成されている点を特徴とする。

すなわち、搬送手段が水平搬送状態に変更された状態では、搬送物は水平姿勢あるいは略水平姿勢で送風式支持手段にて非接触状態で支持されながら推進力付与手段にて搬送方向での推進力が付与され、搬送手段が起立搬送状態に変更された状態では、搬送物は起立姿勢で送風式支持手段にて非接触状態で支持されながら推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与することができ、また、搬送手段を水平搬送状態から起立搬送状態あるいは起立搬送状態から水平搬送状態に変更する途中でも搬送物を送風式支持手段にて非接触状態で支持することができる。

従って、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で支持して搬送する搬送手段を備えた水平用搬送装置と搬送物を起立姿勢で支持して搬送する搬送装置を備えた起立用搬送装置とを備えて、水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間で搬送物を受け渡すようにする搬送システムを構成した場合に、その水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間で搬送物の受け渡しに請求項１記載の搬送装置（以下、水平用搬送装置や起立用搬送装置と区別するために請求項１の搬送装置を姿勢変更用搬送装置と称する）を用いることにより、水平用搬送装置の搬送手段と姿勢変更用搬送装置の搬送装置との間で搬送物を搬送する際や起立用搬送装置の搬送手段と姿勢変更用搬送装置の搬送手段との間で搬送する際、並びに、搬送物を水平姿勢から起立姿勢及び起立姿勢から水平姿勢へ姿勢変更させる際には、搬送物を送風式支持手段にて非接触状態で支持することができるので、水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間で搬送物を受け渡す際に搬送物を損傷させてしまう虞を抑えることができる。

また、姿勢変更用搬送装置を複数個並べて備えて、姿勢変更用搬送装置の搬送手段同士の間で受け渡すように搬送物を搬送する搬送ラインを構成することにより、例えば、薄くて破損し易い搬送物を搬送する際には、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する水平搬送状態にして、搬送物の破損を抑制し、また、厚くて丈夫な搬送物を搬送する際には、搬送物を起立姿勢で搬送する起立搬送状態にして、搬送途中の搬送物を目視し易いようにする等、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する利点と、搬送物を起立姿勢で搬送する利点とを得られるものとなる。

従って、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送したのち、起立姿勢に変更して搬送する等、搬送物の姿勢を変更しながら搬送する搬送システムを構成する際や、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する状態と搬送物を起立姿勢で搬送する状態に切り換えることができる搬送ラインを構成する際において、便利に使用できる搬送装置を提供することができる搬送装置を得られるに至った。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記搬送手段が、前記搬送方向に沿う横軸芯周りの揺動により、前記水平搬送状態と前記起立搬送状態との変更自在に構成されていることを特徴とする。
すなわち、搬送手段を水平搬送状態と起立搬送状態とに変更するのに、搬送物の搬送方向に沿う横軸芯周りで揺動する構成であるため、搬送手段を水平姿勢状態と起立姿勢状態とに変更可能とする構成を、例えば、搬送手段の一端側を枢支し、他端側をアクチュエータ等で昇降させて搬送手段を水平搬送状態と起立搬送状態とに変更するというように、構成の簡素化を図りやすくすることができる。

第３特徴構成は、上記第１又は第２特徴構成に加えて、前記送風式支持手段が、前記搬送手段を前記水平搬送状態から前記起立搬送状態へ変更するに伴い、搬送物の下面に向けて供給する清浄空気の量を減少させるように構成されていることを特徴とする。

すなわち、送風式支持手段による搬送物に対する支持力は水平状態に比べて起立姿勢のほうが小さくて済むものであるため、送風式支持手段にて起立姿勢の搬送物の下面に、水平姿勢の搬送物の下面に供給する量と同量の正常空気を供給すると、搬送物が浮き上がり過ぎてしまい、搬送物を起立姿勢で搬送している場合では送風式支持手段の存在側とは反対側に反転したり、搬送物の上方をカバーで覆っている場合ではそのカバーに接触してしまう可能性があった。
そこで、搬送手段が水平搬送状態から起立搬送状態に姿勢変更するに伴い、送風式支持手段の搬送物の下面に向けて供給する清浄空気の供給量を減少させることによって搬送物に対する支持力を低減させることによって、搬送物に対して姿勢に適した清浄空気の量を供給することができて、搬送手段を起立搬送状態にした際に、搬送物が送風式支持手段の存在側とは反対側へ反転したり他物と接触することをなくすことができる。

第４特徴構成は、上記第１〜第３の特徴構成のいずれか１つに加えて、前記推進力付与手段が、前記搬送物の下面における前記搬送方向と直交する横幅方向の一端側を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えた片側駆動式に構成されていることを特徴とする。

すなわち、推進力付与手段が、搬送物の下面における前記搬送方向と直交する横幅方向の一端側を接触支持して推進力を付与する片側駆動式に構成されているので、推進力付与手段としては、搬送物における横幅方向における一端側に対して推進力を付与する構成でよく、前記一端側の横幅方向での反対側の他端側に推進力を付与する必要がないので構成の簡素化や軽量化を図ることができる。
また、推進力付与手段における接触式の駆動部にて、搬送物の下面を支持しながら推進力を付与するものであるため、送風式支持手段との協同によって搬送物を支持することによって搬送物をより安定した状態で支持することができ、また、搬送物の厚さ方向の自重により搬送物の裏面が駆動部に押し付けられるので摩擦力が高まり、搬送物に対する推進力の付与も確実に行うことができて、搬送物を円滑に搬送することができる。

第５特徴構成は、上記第４特徴構成に加えて、前記搬送物における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記水平搬送状態では前記横幅方向への前記搬送物の移動を規制し、前記起立搬送状態では前記搬送物を支持する規制支持部が備えられ、前記送風式支持手段が、前記水平搬送状態において、前記搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するように構成されていることを特徴とする。

すなわち、搬送手段が水平搬送状態では、送風式支持手段は搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するため、搬送物は、搬送物の自重によって斜め下方に推進力が付与されて搬送物の傾きに沿って移動しようとするが、その搬送物の斜め下方への移動を、規制支持部が搬送物の側面に接当することにより受け止めることができ、また、搬送手段が起立搬送状態では、規制支持部を利用して起立姿勢の搬送物を支持することができる。よって、部材の兼用化により構成を簡素化することができる。

第６特徴構成は、上記第１〜第５特徴構成のいずれか１つに加えて、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されていることを特徴とする。

すなわち、送風手段と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送物の搬送方向に並べて備えるだけで、搬送される搬送物の下面に向けて清浄空気を供給して搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる搬送装置を提供することができる。

第７特徴構成は、上記第１〜第６の特徴構成のいずれか１つに加えて、前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタ側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体を備えて構成され、前記遮蔽体が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる多孔状体と、この多孔状体より前記除塵フィルタ側に位置するフィルタ状体とを備えて構成されていることを特徴としている。

すなわち、除塵フィルタを通した清浄空気を流動させ且つ除塵フィルタへの異物の落下を阻止する遮蔽体が備えられているので、その遮蔽体における多孔状体にて大きな異物の除塵フィルタ側への落下を阻止することができて除塵フィルタの破損を防止することができ、また、遮蔽体におけるフィルタ状体にて小さな異物の除塵フィルタ側への落下を阻止することができる。さらに、搬送物としてガラス基板を搬送する場合、その搬送されるガラス基板の傷や欠け等の検査を行うために、搬送装置の搬送面、つまり、搬送されるガラス基板の下面と対向する面を黒色とすることが要求されるが、遮蔽体を黒色とすることにより搬送面を容易に黒色とすることができる。

第８特徴構成は、上記第１〜第７特徴構成のいずれか１つの搬送装置を備えた搬送システムにおいて、前記搬送手段の搬送上手側又は搬送下手側に、水平又は起立姿勢で搬送物を搬送してこの搬送手段との間で搬送物を搬送する搬送姿勢固定型の搬送装置が設けられていることを特徴とする。

すなわち、上記第１〜第７特徴構成のいずれか１つの搬送装置の搬送上手側や搬送下手側に、搬送物の姿勢が水平姿勢に固定された搬送姿勢固定型の搬送装置である水平用搬送装置や、搬送物の姿勢が起立姿勢に固定された搬送姿勢固定型の搬送装置である起立用搬送装置を設けて搬送システムが構成されるものである。

従って、上記第１特徴構成にて示したように、水平用搬送装置の搬送手段と起立用搬送装置の搬送手段との間で搬送物を受け渡す際に搬送物を損傷させてしまう虞を抑えることができるので、搬送物の姿勢を水平姿勢あるいは略水平姿勢と起立姿勢との間で変更しながら搬送することを良好に行える搬送システムを提供することができるに至った。

以下、本発明の実施例を、搬送物として液晶用のガラス基板を搬送する搬送システムについて図面に基づいて説明する。

図１に示すように、搬送システムＨには、ガラス基板２を起立姿勢で搬送する起立用搬送ユニット１Ｃと、この起立用搬送ユニット１Ｃの搬送上手側と搬送下手側との両側に設けられたガラス基板２を略水平姿勢で搬送する水平用搬送ユニット１Ｂと、水平用搬送ユニット１Ｂと起立用搬送ユニット１Ｃとの間でガラス基板２を受け渡す姿勢変更用搬送ユニット１Ａが設けられている。
つまり、姿勢変更用搬送ユニット１Ａの搬送手段６ａ（以下、姿勢変更用搬送手段６ａと称する）は、ガラス基板２を略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、ガラス基板２を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに変更可能に構成されており、水平搬送状態に変更されていると、水平用搬送ユニット１Ｂとの間で略水平姿勢のガラス基板２を相互に搬送でき、また、姿勢変更用搬送手段６ａが起立搬送状態に変更されていると、起立用搬送ユニット１Ｃとの間で起立姿勢のガラス基板２を相互に搬送できるように構成されている。また、起立用搬送ユニット１Ｃの横側方には、起立用搬送ユニット１Ｃにて搬送される起立姿勢のガラス基板２の傷や割れ等の検査を行う検査エリアＦが形成されている。
尚、ガラス基板２を略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、ガラス基板２を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに姿勢変更用搬送手段６ａが変更可能に構成されている搬送装置が姿勢変更用搬送ユニット１Ａであり、ガラス基板２を略水平姿勢で支持する搬送姿勢固定型の搬送装置が水平用搬送ユニット１Ｂであり、ガラス基板２を起立姿勢で支持する搬送姿勢固定型の搬送装置が起立用搬送ユニット１Ｃである。

また、図１４に示すように、搬送システムＨには、搬送システムＨの運転開始、運転停止及び搬送停止を指令する人為操作式の運転切換スイッチＳや、この運転切換スイッチＳからの指令に基づいて、これら姿勢変更用搬送ユニット１Ａ、水平用搬送ユニット１Ｂ、起立用搬送ユニット１Ｃの運転を制御する制御装置Ｅも備えられている。

姿勢変更用搬送ユニット１Ａについて説明する。
図２〜図４に示すように、姿勢変更用ユニット１Ａは、前記姿勢変更用搬送手段６ａとその姿勢変更用搬送手段６ａを支持する支持枠体５とで構成されている。そして、姿勢変更用搬送手段６ａは、横幅方向の一端側に位置して搬送方向に沿う横軸芯Ｐ周りに揺動させることにより、ガラス基板２を略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、ガラス基板２を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに変更されるように、前記支持枠体５に連結支持されている。

姿勢変更用搬送手段６ａには、ガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を略水平姿勢で非接触状態に支持する送風式支持手段３と、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、これら送風式支持手段３並びに推進力付与手段４を収納するケース体７とを備えて構成されている。そして、推進力付与手段４は、ガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側に対して推進力を付与する片側駆動式に構成されている。以後、このガラス基板２における搬送方向と直交する横幅方向の一端側を推進一端側２ｂと称する。また、図１、図１２、図１３に示すように、ガラス基板２の搬送経路上にガラス基板２が存在するか否かを検出する在物センサＴを備えて構成されている。この在物センサＴは、投光部からの光が受光部にて受光されなければ、搬送経路上にガラス基板２が存在することを検出し、投光部からの光が受光部にて受光されると、搬送経路上にガラス基板２が存在しないことを検出するように構成されている。尚、在物センサＴは、その数や設置箇所などについては適宜変更が可能であり、姿勢変更用搬送手段６ａ上にガラス基板２の全体が存在するか否かを検出できるものであればよい。

前記ケース体７について説明すると、図３に示すように、前記ケース体７は、送風式支持手段３を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体９と、ユニット用枠体９の横幅方向の一端側に搬送方向に沿って備えた収納フレーム８と、その一端側とは反対側の他端側に連結して搬送方向に沿って備えたケース側壁１０と、収納フレーム８の上端部からケース側壁１０の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。図４に示すように、前記収納フレーム８は、搬送方向視で角筒状に構成されており、ユニット用枠体９と連結する内壁８ａ側とは反対側は開閉可能な収納カバー８ｃにて構成されている。そして、ユニット用枠体９と収納フレーム８とケース側壁１０と搬送カバー２０とによって搬送空間Ａが形成されており、収納フレーム８内に収納空間Ｂが形成されている。また、前記ユニット用枠体９には、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１１が形成されている。収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２１を備えるとともに、この外部排出口２１を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有するサブ送風ユニット２３が備えられており、このサブ送風ユニット２３にて収納空間Ｂ内の空気が外部に排出されるように構成されている。尚、搬送空間Ａは、搬送上手側や搬送下手側に備えられた他の搬送装置との間でガラス基板２を搬送可能なように搬送上手側端部と搬送下手側端部とが開放されており、収納空間Ｂは、収納ケース８の搬送上手側端部と搬送下手側端部とにそれぞれ備えられた図示しない閉塞部材にて閉塞されている。

図４、図８に示すように、収納フレーム８の内壁８ａには、ガラス基板２における推進一端側２ｂの側面に接当して、姿勢変更用搬送手段６ａが水平搬送状態では横幅方向へのガラス基板２の移動を規制し、姿勢変更用搬送手段６ａが起立搬送状態ではガラス基板２を支持する規制支持部としての規制支持ローラ１７が備えられており、この規制支持ローラ１７は少し傾けた縦軸芯周りで回転自在に構成されている。

前記送風式支持手段３について説明すると、図３、図４に示すように、送風式支持手段３は、搬送空間Ａに設けられており、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを一体的に組み付けた送風ユニットとしてのファンフィルタユニット１４を、搬送方向と搬送方向に直交する横幅方向とに並べて構成されている。つまり、図３、図５、図６に示すように、横幅方向に２つ並べたファンフィルタユニット１４を搬送方向に３列並べられており、送風式支持手段３には計６つのファンフィルタユニット１４が備えられている。そして、横幅方向に並ぶ２つの送風式支持手段３は、例えば推進力付与手段４が存在している側の送風式支持手段４に対して推進力付与手段４が存在していない側の送風式支持手段４の送風量を多くするというように、個別に清浄空気の供給量を変更できるように構成されている。

そして、図３、図４に示すように、前記ファンフィルタユニット１４が、１つの送風ファン１３と、この１つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを一体的に組み付けて構成されており、そのファンフィルタユニット１４の上部側に位置されて除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させ且つ除塵フィルタ１２側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体としての整風板１５が、図２、図６に示すように、６つのファンフィルタユニット１４の上方を覆うように備えられている。つまり、送風式支持手段３は、６つのファンフィルタユニット１４と１つの整風板１５とで構成されている。そして、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータ１３ａによりファンが回転駆動する電動式に構成されている。

図１０に示すように、整風板１５は、除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させる多孔状体３２と、この多孔状体３２より除塵フィルタ１２側に位置する図１０（ロ）あるいは図１０（ハ）に示すようなフィルタ状体３３の多数とを備えて構成されている。多孔状体３２は、パンチングにて多数の通気孔３２ａが形成されており、フィルタ状体３３は、同様に構成された２枚の多孔状体３２の間に挟まれる状態で、且つ、突起部３３ａを上側の多孔状体３２の通気孔３２ａの１つに嵌合して横方向への位置ずれを防止した状態で設けられている。

次に、前記推進力付与手段４について説明する。図４、図７〜図１０に示すように、推進力付与手段４は、ガラス基板２の下面２ａにおける推進一端側２ｂを接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部としての駆動ローラ２４を備えた片側駆動式に構成されており、この推進力付与手段４には、特に図８に示すように、電動式の駆動モータ２５と、この駆動モータ２５の出力ギヤと噛み合う平歯車２８を備えた伝動軸２７と、伝動軸２７に備えられた出力ギヤ２９と噛み合う入力ギヤ３０を備えた多数の出力軸２６とが備えられている。そして、駆動モータ２５及び伝動軸２７は前記搬送空間Ｂ内に配備されており、前記出力軸２６は、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する状態で前記内壁８ａに回転自在に支持されている。出力軸２６の収納空間Ｂに突出する部分には前記入力ギヤ３０が備えられており、出力軸２６の搬送空間Ａに突出する部分には前記駆動ローラ２４が備えられている。

次に、姿勢変更用搬送手段６ａの水平搬送状態と起立搬送状態とに姿勢変更する構成について説明する。図１１（イ）（ロ）に示すように、支持枠体５には電動式の揺動用シリンダ３５が備えられ、その揺動用シリンダ３５の先端が姿勢変更用搬送手段６ａのケース体７に連結されており、この揺動用シリンダ３５が伸縮することによって、姿勢変更用搬送手段６ａの姿勢が、図１１（イ）に示すような、搬送方向視にて収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように少し傾けた水平搬送状態と、図１１（ロ）に示すような、搬送方向視にて垂直姿勢から水平搬送状態側に少し傾けた起立搬送状態とに変更可能に構成されている。
つまり、姿勢変更用搬送手段６ａを水平搬送状態とすることによって送風式支持手段３は略水平状態となり、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２は略水平姿勢で支持される。また、姿勢変更用搬送手段６ａを起立搬送状態とすることによって送風式支持手段３も起立状態となり、その送風式支持手段３にて支持されるガラス基板２は起立姿勢で支持される。

そして、姿勢変更用搬送手段６ａを水平搬送状態から起立搬送状態へ姿勢変更させて姿勢変更用搬送手段６ａの角度が大きくなるにしたがって、前記制御装置Ｅにより送風式支持手段３にてガラス基板２の下面２ａに向けて供給される清浄空気の量が減少するように構成されている。また、姿勢変更用搬送手段６ａを起立搬送状態から水平搬送状態へ姿勢変更させて姿勢変更用搬送手段６ａの角度が小さくなるにしたがって、前記制御装置Ｅにより送風式支持手段３にてガラス基板２の下面２ａに向けて供給される清浄空気の量が増大するように構成されている。
従って、水平搬送状態では、送風式支持手段３にてガラス基板２の下面２ａの略全域に多量の清浄空気が供給されてガラス基板２を安定した状態で支持され、起立搬送状態では、送風式支持手段３にてガラス基板２の下面２ａの略全域に少量の清浄空気が供給されてガラス基板２が浮き上がりすぎないように支持することができる。

ガラス基板２の搬送について説明すると、水平搬送状態においても起立搬送状態においても、送風式支持手段３にて下面２ａの略全面が支持され、且つ、推進力付与手段４にて、ガラス基板２の推進一端側２ｂの下面２ａが駆動ローラ２４にて接触支持されている。そして、駆動ローラ２４が電動モータ２５にて駆動回転されることによって、推進一端側２ｂに対して搬送方向への推進力が付与されてガラス基板２が搬送される。
また、水平搬送状態においても起立搬送状態においても、送風式支持手段３にてガラス基板２は傾けた姿勢で支持されることになり、ガラス基板２の自重により横幅方向における傾斜下方側となる推進力付与手段４を備えた側に移動しようとするが、そのガラス基板２の移動は前記傾斜支持ローラ１７にて受け止められる。よって、ガラス基板２の横幅方向の一方側への移動は傾斜支持ローラ１７にて規制され、ガラス基板２の横幅方向の他端側へはガラス基板２の自重によって移動しにくくなるので、搬送終了時にガラス基板２を制動させる際等に、ガラス基板２が横幅方向にずれてしまったり搬送方向に対して姿勢が斜めになってしまったりすることを防ぐことができる。

そして、姿勢変更用搬送ユニット１Ａの姿勢変更用搬送手段６ａを水平搬送状態に変更することによって、図１２に示すように、この姿勢変更用搬送ユニット１Ａの搬送上手側あるいは搬送下手側に設けた水平用搬送ユニット１Ｂとの間でガラス基板２を搬送することができる。また、姿勢変更用搬送ユニット１Ａの姿勢変更用搬送手段６ａを起立搬送状態に変更することによって、図１３に示すように、この姿勢変更用搬送ユニット１Ａの搬送上手側あるいは搬送下手側に設けた起立用搬送ユニット１Ｃとの間でガラス基板２を搬送することができる。

水平用搬送ユニット１Ｂ及び起立用搬送ユニット１Ｃについて説明すると、水平用搬送ユニット１Ｂは、水平用搬送手段６ｂが搬送方向視にて収納フレーム８を備えている側ほど下方に位置するように少し傾けた水平搬送状態で水平用支持枠体３７に固定された状態で支持されて構成されており、起立用搬送ユニット１Ｃは、傾斜用搬送手段６ｃが搬送方向視にて垂直姿勢から水平搬送状態側に少し傾けた起立搬送状態で起立用支持枠体３８に固定された状態で支持されて構成されている。尚、姿勢変更用搬送手段６ａと水平用搬送手段６ｂと起立用搬送手段６ｃとは同様に構成された搬送手段を用いて構成されており、姿勢変更用搬送手段６ａには在物センサＴが後付けされている。

前記制御装置Ｅについて説明する。図１４に示すように、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳからの指令に基づいて、搬送システムＨに対する運転開始、運転停止及び搬送停止を制御するように構成する。つまり、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳから運転開始が指令されると、姿勢変更用搬送ユニット１Ａ、水平用搬送ユニット１Ｂ、起立用搬送ユニット１Ｃのそれぞれにおいて、送風式支持手段３、サブ送風ユニット２３、推進力付与手段４のそれぞれを作動させて、搬送システムＨの運転を開始させる。また、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳから運転停止が指令されると、姿勢変更用搬送ユニット１Ａ、水平用搬送ユニット１Ｂ、起立用搬送ユニット１Ｃのそれぞれにおいて、送風式支持手段３、サブ送風ユニット２３、推進力付与手段４の作動を停止させて、搬送システムＨの運転を停止させる。そして、運転切換スイッチＳから搬送停止が指令されると、姿勢変更用搬送ユニット１Ａ、水平用搬送ユニット１Ｂ、起立用搬送ユニット１Ｃのそれぞれにおいて、送風式支持手段３の作動を維持させたままで推進力付与手段４の作動を停止させて、搬送システムＨのガラス基板２の搬送を停止させる。

また、制御装置Ｅは、運転切換スイッチＳから運転開始が指令されている状態においては、前記在物センサＴの検出結果に基づいて、姿勢変更用搬送ユニット１Ａでは、送風式支持装手段３の清浄空気の供給量を変更させたり、推進力付与手段４の作動開始及び作動停止させたり、揺動用シリンダ３５を伸縮作動させたりし、水平用搬送ユニット１Ｂや起立用搬送ユニット１Ｃでは、推進力付与手段４を作動開始及び作動停止させたりするように構成されている。
尚、送風式支持装手段３の清浄空気の供給量の変更は、送風ファン１３における電動モータ１３ａの駆動速度を変更することで行う。

搬送システムＨの運転が開始されることによって、ガラス基板２は、搬送上手側の水平用搬送ユニット１Ｂから搬送下手側の水平用搬送ユニット１Ｂに順次乗り移って搬送される。そして、さらにガラス基板２が搬送されると、搬送下手側の水平用搬送ユニット１Ｂから水平搬送状態の姿勢変更用搬送ユニット１Ａに乗り移る。
以下、運転切換スイッチＳにて運転開始を指令されて搬送システムＨの運転が開始されている状態での制御装置Ｈの姿勢変更用搬送ユニット１Ａに対する制御動作について図１５に示すフローチャートに基づいて説明する。尚、水平用搬送ユニット１Ｂから姿勢変更用搬送ユニット１Ａを介して起立用搬送ユニット１Ｃに搬送する場合について説明し、起立用搬送ユニット１Ｃから姿勢変更用搬送ユニット１Ａを介して水平用搬送ユニット１Ｂに搬送する場合については説明を省略する。

水平用搬送ユニット１Ｂから姿勢変更用搬送用ユニット１Ａにガラス基板２が搬送されて、ガラス基板２の全体が姿勢変更用搬送ユニット１Ａに乗り移ったことを在物センサＴが検出する検出状態となると、姿勢変更用搬送ユニット１Ａの推進力付与手段４の作動を停止させる。その後、姿勢変更用搬送手段６ａの状態を起立搬送状態とすべく、揺動用シリンダ３５を伸長作動させ且つ送風式支持手段３の清浄空気の供給量を減少させる。

姿勢変更用搬送手段６ａが起立搬送状態となると、起立用搬送ユニット１Ｃの推進力付与手段４が作動している状態で姿勢変更用搬送ユニット１Ａの推進力付与手段４を作動させて、ガラス基板２を姿勢変更用搬送ユニット１Ａから起立用搬送ユニット１Ｃに搬送させる。そして姿勢変更用搬送ユニット１Ａが起立搬送状態に変更されてからの姿勢変更用搬送ユニット１Ａの推進力付与手段４が作動した時間が、姿勢変更用搬送ユニット１Ａからガラス基板２の全体を起立用搬送ユニット１Ｃに乗り移すために必要な所定時間経過すると、姿勢変更用搬送手段６ａの状態を水平搬送状態とすべく、揺動用シリンダ３５を短縮作動させ且つ送風式支持手段３の清浄空気の供給量を増大させる。

尚、姿勢変更用搬送手段６ａが水平搬送状態である状態以外で図示しない水平用搬送ユニット１Ｂの検出手段にて次のガラス基板２が搬送されてくることが検出されると、そのガラス基板２が姿勢変更用搬送ユニット１Ａに近接する前詰めの位置まで搬送して水平用搬送ユニット１Ｂの推進力付与手段４の作動を停止し、姿勢変更用搬送手段６ａが水平搬送状態である状態に変更されると水平用搬送ユニット１Ｂの推進力付与手段４の作動が再開される。

〔別実施の形態〕
（１） 上記実施の形態では、姿勢変更用搬送ユニット１Ａを用いて姿勢変更用搬送用ユニット１Ａと起立搬送用搬送ユニット１Ｂとの間でガラス基板２を受け渡すようにした搬送システムＨを構成したが、姿勢変更用搬送ユニット１Ａのみを備えた搬送ラインを構成してもよい。

つまり、複数の姿勢変更用搬送ユニット１Ａを搬送方向に並べて搬送ラインを構成して、例えば、薄くて破損し易い搬送物を搬送する際には、搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で搬送する水平搬送状態にして、搬送物の破損を抑制し、また、厚くて丈夫な搬送物を搬送する際には、搬送物を起立状態で搬送する起立搬送状態にして、搬送途中の搬送物を目視し易いようにしてもよい。

（２） 上記別実施の形態（１）のように構成する場合、姿勢変更用搬送手段６ａの状態を、水平搬送状態と起立搬送状態との間の傾斜搬送状態を加えた３段以上に変更可能に構成してもよい。

（３） 上記実施の形態では、姿勢変更用搬送手段６ａの揺動軸芯Ｐを横幅方向の一端側に位置させたが、横幅方向の一端側に限るものではない。つまり、姿勢変更用搬送手段６ａの揺動軸芯Ｐを、図１６（イ）に示すように横幅方向の中央部に位置させたり、図１６（ロ）に示すように姿勢変更用搬送手段６ａから大きく下方に離れた箇所に位置させてもよい。このように構成することによって、起立搬送状態時の高さを変えたり前後位置を変えたりすることができる。
また、姿勢変更用搬送手段６ａの揺動軸芯Ｐを、前後に複数備えたり上下に複数備えたりして使用勝手のよいものとしてもよい。

（４） 上記実施の形態では、送風式支持手段３を、除塵フィルタ１２と送風ファン１３とを一体的に組み付けたファンフィルタユニット１４の複数にて構成したが、除塵フィルタ５と送風ファン６とを別体として個別に組み付けて構成して送風式支持手段を構成してもよい。

（５） 上記実施の形態では、駆動部を複数の駆動ローラ２４にて構成したが、駆動部をタイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。

（６） 上記実施の形態では、搬送物として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、被支持体の形状や大きさは実施の形態に限定されるものではない。

搬送システムの斜視図 姿勢変更用搬送ユニットの斜視図 姿勢変更用搬送ユニットの背面図 姿勢変更用搬送ユニットの一部拡大図 姿勢変更用搬送ユニットの側面図 姿勢変更用搬送ユニットの平面図 推進力付与手段の側面図 推進力付与手段の背面図 推進力付与手段の一部拡大図 整風板を示す図 姿勢変更用搬送手段の水平搬送状態と起立搬送状態とを示す図 水平用搬送ユニットから姿勢変更用搬送ユニットにガラス基板が乗り移る状態を示す図 姿勢変更用搬送ユニットから起立用搬送ユニットにガラス基板が乗り移る状態を示す図 搬送システムの制御ブロック図 搬送システムのフローチャート 姿勢変更用搬送手段の横軸芯の位置を変更した状態を示す図

符号の説明

１Ａ 姿勢変更用搬送ユニット（搬送装置）
１Ｂ 水平用搬送ユニット（搬送装置）
１Ｃ 起立用搬送ユニット（搬送装置）
２ ガラス基板（搬送物）
２ａ 下面
２ｂ 一端側
３ 送風式支持手段
４ 推進力付与手段
６ａ 姿勢変更用搬送手段（搬送手段）
１２ 除塵フィルタ
１３ 送風ファン（送風手段）
１４ ファンフィルタユニット（送風ユニット）
１５ 遮蔽体
１７ 規制支持ローラ（規制支持部）
２４ 駆動ローラ（駆動部）
３２ 多孔状体
３３ フィルタ状体
Ｈ 搬送システム
Ｐ 横軸芯

Claims (8)

1. 送風式支持手段にて搬送物の下面に向けて清浄空気を供給することにより非接触状態に支持した搬送物に対して推進力付与手段にて搬送方向での推進力を付与するように構成された搬送手段が備えられている搬送装置であって、
   前記搬送手段が、前記搬送物を水平姿勢あるいは略水平姿勢で支持する水平搬送状態と、搬送物を起立姿勢で支持する起立搬送状態とに変更可能に構成されている搬送装置。
2. 前記搬送手段が、前記搬送方向に沿う横軸芯周りの揺動により、前記水平搬送状態と前記起立搬送状態とに変更自在に構成されている請求項１記載の搬送装置。
3. 前記送風式支持手段が、前記搬送手段を前記水平搬送状態から前記起立搬送状態へ変更するに伴い、前記搬送物の下面に向けて供給する清浄空気の量を減少させるように構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
4. 前記推進力付与手段が、前記搬送物の下面における前記搬送方向と直交する横幅方向の一端側を接触支持して推進力を付与する接触式の駆動部を備えた片側駆動式に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
5. 前記搬送物における推進力が付与される一端側の側面に接当して、前記水平搬送状態では前記横幅方向への前記搬送物の移動を規制し、前記起立搬送状態では前記搬送物を支持する規制支持部が備えられ、
   前記送風式支持手段が、前記水平搬送状態において、前記搬送物を前記推進力付与手段にて推進力が付与される一端側よりも前記横幅方向の他端側が上方に位置するように傾けた姿勢で支持するように構成されている請求項４記載の搬送装置。
6. 前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記搬送物の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、前記搬送方向に並べて構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
7. 前記送風式支持手段が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させ且つ前記除塵フィルタ側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体を備えて構成され、
   前記遮蔽体が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる多孔状体と、この多孔状体より前記除塵フィルタ側に位置するフィルタ状体とを備えて構成されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
8. 前記請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の搬送装置を備えた搬送システムであって、
   前記搬送手段の搬送上手側又は搬送下手側に、水平又は起立姿勢で搬送物を搬送してこの搬送手段との間で搬送物を搬送する搬送姿勢固定型の搬送装置が設けられている搬送システム。

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