TWI393205B - 基板搬送裝置及基板搬送方法 - Google Patents

Description

基板搬送裝置及基板搬送方法

本發明係有關一種用以將例如半導體晶圓及平板面板顯示器用玻璃板等之基板進行單片式搬送之基板搬送裝置及基板搬送方法。

本申請案係主張2006年9月11日所申請之日本專利申請案特願2006-245829號之優先權，在此援用其內容。

於製造半導體裝置之工廠，及製造液晶裝置、PDP、EL裝置等之平板面板顯示器之工廠等所設置之基板搬送裝置，係搬送半導體晶圓及玻璃板等之基板，並使用承載器及機器人臂等，在薄膜形成裝置、蝕刻裝置、試驗裝置等各種處理裝置與搬送路徑之間進行基板之交接。在如上述之搬送裝置中，基板係一般以收容在可收容複數張基板之匣具之狀態被搬送(參照專利文獻1)。

近年來，伴隨液晶電視等之平板面板顯示器之大畫面化，基板亦大型化。因此，用以收容基板之匣具等亦大型化、重量化，而使搬送速度下降，藉此招致例如未完成品庫存之增大等，使有效率的搬送變得困難。

因此，將基板一張一張地高速搬送之單片式搬送受到矚目(參照專利文獻1)。

(專利文獻1)日本特開平9-58844號公報

然而，比起藉由匣具搬送之情況，將基板單片式搬送之情況下所搬送之個數會增加。因此，為了謀求與以往同等或其以上之處理速度，係必須更加將基板高速搬送。

尤其，在主輸送帶及與該主輸送帶水平分歧之分歧輸送帶之間之基板的交接速度，係在謀求基板之搬送速度上非常地重要。因此，期望有提高在主輸送帶與分歧輸送帶之間之基板的交接速度之技術。

又，在將玻璃板單片式搬送之基板搬送裝置中，在主輸送帶與分歧輸送帶之間，會有須在未改變相對於行進方向之朝向之狀態下交接基板之情況。

在將基板收容於匣具來進行搬送之習知基板搬送裝置中，例如在未改變相對於行進方向之朝向之狀態下，將基板自主輸送帶交接至分歧輸送帶時，係將搬送於主輸送帶上之匣具之搬送暫時停止，而在使匣具轉動後交接至分歧輸送帶。

然而，於將基板單片式搬送之基板搬送裝置中，以同樣的方法，進行基板之交接時，由於必須進行停止基板搬送之步驟與將停止後之基板交接至分歧輸送帶之步驟，而會花費時間在主輸送帶與分歧輸送帶間之基板交接上。

本發明係有鑑於上述問題點而研創者，其目的在於在未改變基板之行進方向之狀態下，在主輸送帶與分歧輸送帶之間交接基板時，提高在主輸送帶與分歧輸送帶間之基板交接速度。

為達成上述目的，本發明之基板搬送裝置，係具備：主輸送帶，係對基板進行單片式搬送；分歧輸送帶，係自該主輸送帶水平地分歧；以及基板交接部，係在維持(未改變)相對於該基板之行進方向之朝向之狀態下一面使該基板水平轉動，一面將該基板自該主輸送帶交接至該分歧輸送帶、或自該分歧輸送帶交接至該主輸送帶。

藉由該基板搬送裝置，在自上述主輸送帶對分歧輸送帶或自上述分歧輸送帶對主輸送帶進行基板之交接時，藉由基板交接部，可在維持(不變化)相對於基板之行進方向之朝向的狀態下將基板一面水平轉動一面進行基板之交接。

又，本發明之基板搬送裝置，該基板交接部係可採用具備下述構件之構成：頭部，係用以固持該基板外緣；驅動部，係以預定之轉動軸為中心使該頭部水平轉動；以及臂部，係將一端連接於該頭部，並且將另一端連接於該驅動部。

又，本發明之基板搬送裝置，係可採用具備在由該基板交接部進行該基板之交接之期間，將該基板自下方予以支持之支持部之構成。

又，本發明之基板搬送裝置中，上述支持部係可採用使用壓縮空氣使該基板浮起並予以支持之構成。

接著，本發明之基板搬送方法，係藉由主輸送帶對基板進行單片式搬送，且在維持相對於該基板之行進方向之朝向之狀態下，一面使該主輸送帶上之該基板水平轉動，一面將該基板自該主輸送帶交接至水平分歧的分歧輸送帶。

藉由該基板搬送方法，可在未改變相對於基板之行進方向之朝向之狀態下，一面將基板水平轉動一面將基板自主輸送帶交接至分歧輸送帶。

接著，本發明之基板搬送方法，係藉由從主輸送帶水平分歧的分歧輸送帶搬送基板，且在維持相對於該基板之行進方向之朝向之狀態下，一面使該分歧輸送帶上之該基板水平轉動，一面將該基板交接至該主輸送帶。

藉由該基板搬送方法，在未改變相對基板之行進方向之朝向之狀態下，可一面將基板水平轉動一面將基板自分歧輸送帶交接至主輸送帶。

藉由本發明，在維持相對於基板之行進方向之朝向(未改變)之狀態下，一面將基板水平轉動，一面將基板自主輸送帶交接至分歧輸送帶、或自分歧輸送帶交接至主輸送帶。因此，在主輸送帶或分歧輸送帶上，不須使基板停止而能高速進行基板之交接。

因而，藉由本發明，無須改變基板之行進方向而在主輸送帶與分歧輸送帶之間交接基板時，能提高在主輸送帶與分歧輸送帶間之基板之交接速度。

以下，參照圖式說明本發明基板搬送裝置及基板搬送方法之一實施形態。此外，於以下之圖式，為了使各構件作為可辨識之大小，而適當變更各構件之比例尺寸。

(第1實施形態)

第1圖係顯示本第1實施形態之基板搬送裝置1之示意圖。

基板搬送裝置1係於製造液晶裝置、PDP及EL裝置等之平板面板顯示器之工廠，將玻璃板P一張一張進行單片式搬送之裝置，係具備：主輸送帶10；複數個分歧輸送帶20，係相對於主輸送帶10於水平面內分歧；板交接部40，係在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間進行玻璃板P的交接；以及未圖示之控制部等，係統括地控制該等。

主輸送帶10係為將玻璃板P水平載置，並且於沿其表面之方向以固定速度進行搬送之裝置，係由：浮起單元12(支持部)，藉由空氣使玻璃板P浮起而以非接觸的方式予以支持；以及輸送帶部15等所構成(參照第2圖及第3圖)。如上所示，於本實施形態中，本發明之支持部的功能係被組入於主輸送帶10之一部分。

主輸送帶10係以大致直線狀配置在工廠之洗淨室內之地板面。又，在主輸送帶10之複數部位，相對於主輸送帶10以大致正交且水平地連接有分歧輸送帶20之一端。

分歧輸送帶20係與主輸送帶10同樣地，為將玻璃板P水平載置，並且於沿其表面之方向以固定速度進行搬送之裝置，係由空氣浮起單元12(支持部)、及輸送帶部15等構成(參照第2圖及第3圖)。如上所示，於本實施形態中，本發明之支持部的功能係亦組入於分歧輸送帶20之一部分。

在分歧輸送帶20之另一端側，係配置/連接有薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置。在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置中，分別平行配置有兩個分歧輸送帶20。

例如，連接於薄膜形成裝置5之分歧輸送帶21、22(分歧輸送帶20)之中，分歧輸送帶21係用以將玻璃板P搬入薄膜形成裝置5之輸送帶，而分歧輸送帶22係用以將玻璃板P自薄膜形成裝置5搬出之輸送帶。

同樣地，分歧輸送帶23、25(分歧輸送帶20)係用以將玻璃板P搬入蝕刻裝置6、試驗裝置7之輸送帶，而分歧輸送帶24、26(分歧輸送帶)係用以將玻璃板P自蝕刻裝置6、試驗裝置7搬出之輸送帶。

此外，將玻璃板P搬入各種處理裝置之分歧輸送帶21、23、25，係相對於自各種處理裝置將玻璃板P搬出之分歧輸送帶22、24、26而配置在主輸送帶10之上游側。

板交接部40係相對於將玻璃板P搬入各處理裝置之分歧輸送帶21、23、25而分別設在主輸送帶10之上游側，以及相對於自各處理裝置將玻璃板P搬出之分歧輸送帶22、24、26而分別設在主輸送帶10之下游側。

該等板交接部40係在未改變相對於玻璃板P之行進方向之朝向之狀態下，一面使玻璃板P水平轉動一面將玻璃板P自主輸送帶10交接至分歧輸送帶20或自分歧輸送帶20交接至主輸送帶10。

第2圖係顯示主輸送帶10之詳細構造的圖。

主輸送帶10係如上述所示，藉由空氣使玻璃板P浮起，並且搬送於水平方向之一方向之裝置，其係具備複數個空氣浮起單元12與輸送帶部15等。

空氣浮起單元12係具備平面狀的上表面之構件，在該上表面(載置面)，係以大致均等的配置密度形成有噴出壓縮空氣之複數個流體噴出孔13。空氣浮起單元12係形成為俯視矩形狀，且其長邊方向設成與玻璃板P之搬送方向一致。又，空氣浮起單元12之短邊方向(寬度方向)係形成為比玻璃板P之寬度方向(與搬送方向正交之方向)稍窄。

又，藉由自未圖示之壓縮空氣供應裝置將壓縮空氣供應至空氣浮起單元12，形成為壓縮空氣自各流體噴出孔13噴出之形態。藉此，藉由自各流體噴出孔13噴出之壓縮空氣，使載置在空氣浮起單元12上之玻璃板P浮起，而形成為可用非接觸的方式進行支持。

輸送帶部15係具備複數個滾輪16、及安裝在該複數個滾輪16周圍之皮帶17。又，在皮帶17之表面，係在皮帶17之長邊方向(主輸送帶10之搬送方向)，以均等的間隔設有複數個突起18。

輸送帶部15係沿玻璃板P之搬送方向而配置在空氣浮起單元12兩側。又，一對輸送帶部15之配置間隔(距離)係與玻璃板P之寬度方向大致相同。

輸送帶部15之各滾輪16上端係配置成位在同一水平面，藉此設在皮帶17表面之突起18配置成位在比空氣浮起單元12上表面稍微上方。然後，形成為突起18抵接在載置於空氣浮起單元12上之玻璃板P之下表面的外緣(寬度方向之兩端側)。

輸送帶部15之各滾輪16係形成為藉由未圖示之馬達等，以相同的旋轉速度旋轉於同一方向。藉此，藉由空氣浮起單元12將玻璃板P以非接觸的方式予以支持，並且可藉由輸送帶部15沿空氣浮起單元12來進行搬送。

又，輸送帶部15係藉由未圖示之升降裝置，構成為可於上下方向移動。

藉由升降裝置使輸送帶部15上升時，係形成各突起18位在比空氣浮起單元12上表面稍微上方。此時，輸送帶部15之突起18係抵接在玻璃板P之下表面，而能搬送玻璃板P。

另一方面，使輸送帶部15下降時，係形成各突起18位在比空氣浮起單元12上表面下方。此時，輸送帶部15(各突起18)係與玻璃板P分開，而玻璃板P係成為在空氣浮起單元12上完全以非接觸的方式被支持之狀態。因而，只要不施加外力於玻璃板P，玻璃板P係會在空氣浮起單元12上以停止之狀態被保持。

又，主輸送帶10係複數連接空氣浮起單元12與輸送帶部15而構成。亦即，各空氣浮起單元12與輸送帶部15為互相接近，而朝水平方向並列配置。此時，各空氣浮起單元12之上表面(載置面)係調整為位在同一水平面。

又，分歧輸送帶20亦藉由主輸送帶10所具備之空氣浮起單元12與輸送帶部15構成。此外，如第1圖所示，本實施形態中，分歧輸送帶20係藉由單一的空氣浮起單元12、與包挾該空氣浮起單元12而配置之兩個輸送帶部15所構成，但亦可進一步地藉由複數個空氣浮起單元12及輸送帶部15而構成。

第3圖係顯示主輸送帶10與分歧輸送帶20之分歧部分的構造的圖。

如第3圖所示，在主輸送帶10之相對於分歧輸送帶21之上游側，係設有板交接部40。

板交接部40係具備臂部41、頭部42及馬達43(驅動部)。

臂部41係一端連接於頭部42而另一端與馬達43相連接，且設成水平。

頭部42係構成為可固持玻璃板P之外緣部分，具體而言係可固持玻璃板P之寬度方向的一邊附近。藉由將玻璃板P側面予以吸附保持來固持玻璃板P亦可，或藉由挾持玻璃板P上面與下面來固持玻璃板P亦可。

馬達43係以垂直的轉動軸L為中心將頭部42水平地轉動者，且透過臂部41將頭部42轉動於第3圖所示箭頭方向(以及反箭頭方向)。

又，藉由具有如上述構成之板交接部40，將主輸送帶10上之玻璃板P，在相對於玻璃板P之行進方向未改變朝向之狀態下一面轉動一面交接至分歧輸送帶20。

此外，設在主輸送帶10之相對分歧輸送帶23、25上游側之板交接部40亦具有同樣之構造，係將主輸送帶10上之玻璃板P，在相對於玻璃板P之行進方向而未改變朝向之狀態下一面轉動一面交接至分歧輸送帶20。

又，設在主輸送帶10之相對於分歧輸送帶22、24、26之下游側的板交接部40，亦具有與第3圖所示板交接部40同樣之構造，但係在將分歧輸送帶20上之玻璃板P相對於玻璃板P之行進方向未改變朝向之狀態下一面轉動一面交接至主輸送帶10之點，與第3圖所示板交接部40不同。

接著，說明基板搬送裝置1之動作(基板搬送方法)。

參照第4A圖至第4D圖，說明將搬送於主輸送帶10上之玻璃板P交接至分歧輸送帶20之情況(相對於分歧輸送帶21、23、25而設在主輸送帶10上游側之板交接部40之動作)。

首先，對主輸送帶10及分歧輸送帶20之各空氣浮起單元12供應壓縮空氣，而自各流體噴出孔13噴出壓縮空氣。又，驅動輸送帶部15，使各滾輪16以固定的旋轉速度旋轉。此時，藉由未圖示之升降裝置先使各輸送帶部15上升。

然後，於主輸送帶10之上游側，藉由將玻璃板P一張張地載置，而對玻璃板P進行單片式搬送。

又，如第4A圖所示，當主輸送帶10上之玻璃板P移動至板交接部40之頭部42可到達的位置時，板交接部40之頭部42即移動到分歧輸送帶20之一端為止，而固持主輸送帶10上之玻璃板P的外緣。之後，主輸送帶10及分歧輸送帶20之輸送帶部15係藉由未圖示之升降裝置而下降。此時，玻璃板P係藉由自各空氣浮起單元12之各流體噴出孔13所噴出之壓縮空氣而浮起支持。

又，如第4B圖及第4C圖所示，固持玻璃板P之頭部42係藉由馬達43而透過臂部41於水平面內轉動，從而將玻璃板P從主輸送帶10上搬送至分歧輸送帶20上。此時，玻璃板P之行進方向係從主輸送帶10之行進方向變化為分歧輸送帶21、23、25之行進方向，但由於玻璃板P會轉動，故最前端相對於玻璃板P之行進方向係未改變。

亦即，藉由本實施形態之基板搬送裝置1，主輸送帶10上之玻璃板P係在相對於玻璃板之行進方向的朝向未改變之狀態下，一面水平轉動一面被交接至分歧輸送帶20。

此外，本實施形態中，由於頭部42為無法移動於與輸送帶部15之旋轉方向相同方向之構成，因此為防止玻璃板P與輸送帶部15相摩擦，最好在固持玻璃板P之外緣之際，將輸送帶部15之驅動停止。然而，在可使玻璃板P與輸送帶部15不會摩擦之情況(例如，能在頭部42固持玻璃板P之同時將輸送帶部15下降之情況；能先將輸送帶部15下降之後，再以頭部42固持玻璃板P之情況；及頭部能移動於與輸送帶部15之旋轉方向相同的方向之情況等)，並不一定須在固持玻璃板P外緣之際，將輸送帶部15之驅動停止。

又，如第4D圖所示，當玻璃板P被搬送至分歧輸送帶20上時，主輸送帶10及分歧輸送帶20之輸送帶部15係再次藉由未圖示之升降裝置而上升。之後，板交接部40之頭部42將玻璃板P之固持解除，藉此玻璃板P係藉由分歧輸送帶20而被搬送於離開主輸送帶10之方向。

此外，於本實施形態，解除玻璃板P由頭部42所進行之固持時，亦與固持上述之玻璃板P外緣時同樣地，為防止玻璃板P與輸送帶部15之摩擦，最好將輸送帶部15之驅動停止。

此外，玻璃板P係藉由分歧輸送帶20加以搬送，而交接至薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置。

此外，交接至各處理裝置(薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等)之玻璃板P，係於各處理裝置施以預定之處理後，搬出至各處理裝置之外部。

接著，參照第5A圖至第5D圖，說明將玻璃板P自分歧輸送帶20交接至主輸送帶10之情況(相對於分歧輸送帶22、24、26而設在主輸送帶10下游側之板交接部40之動作)。

將玻璃板P自分歧輸送帶20交接至主輸送帶10之動作，係使將玻璃板P自主輸送帶10交接至分歧輸送帶20之動作大致反轉者。

首先，對主輸送帶10及分歧輸送帶20之各空氣浮起單元12供應壓縮空氣，自各流體噴出孔13噴出壓縮空氣。又，驅動輸送帶部15，使各滾輪16以固定的旋轉速度旋轉。此時，藉由未圖示之升降裝置先使各輸送帶部15上升。

接著，將玻璃板P自薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置交接至分歧輸送帶20。玻璃板P係藉由分歧輸送帶20加以搬送，而移動到板交接部40之頭部42可到達之位置為止。又，如第5A圖所示，板交接部40之頭部42固持分歧輸送帶20上之玻璃板P外緣。之後，主輸送帶10及分歧輸送帶20之輸送帶部15係藉由未圖示之升降裝置下降。此時，玻璃板P係藉由自各空氣浮起單元12之各流體噴出孔13所噴出之壓縮空氣而浮起支持。

然後，如第5B圖、第5C圖及第5D圖所示，固持玻璃板P之頭部42藉由馬達43而透過臂部41於水平面內轉動，藉此將玻璃板P自分歧輸送帶20上搬送至主輸送帶10上。此時，玻璃板P之行進方向係自分歧輸送帶22、24、26之行進方向變化為主輸送帶10之行進方向，但由於玻璃板會轉動，故最前端相對於玻璃板P之行進方向係未改變。

亦即，藉由本實施形態之基板搬送裝置1，可將分歧輸送帶20上之玻璃板P在相對於玻璃板P之行進方向的朝向未改變之狀態下一面水平轉動一面交接至主輸送帶10。

如以上說明所示，本實施形態之基板搬送裝置1係具備：主輸送帶10，係將玻璃板P進行單片式搬送；分歧輸送帶20，係相對於主輸送帶10而水平分歧；以及板交接部40，係使玻璃板P在相對於玻璃板P之行進方向之朝向未改變之狀態下，一面轉動一面從主輸送帶10被交接至分歧輸送帶20或從分歧輸送帶20被交接至主輸送帶10。

根據如上述之本實施形態之基板搬送裝置1及基板搬送方法，可使玻璃板P在相對於玻璃板P之行進方向之朝向未改變之狀態下，一面轉動一面從主輸送帶10被交接至分歧輸送帶20或從分歧輸送帶20被交接至主輸送帶10。因此，無須為了配合相對於玻璃板P之行進方向之朝向，而於主輸送帶10或分歧輸送帶20上使玻璃板P停止，而能高速進行玻璃板P之交接。

因而，根據本實施形態之基板搬送裝置1及基板搬送方法，於未改變玻璃板P之行進方向而在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間交接玻璃板P時，能提高在主輸送帶10與分歧輸送帶20間之玻璃板P之交接速度。

又，於本實施形態之基板搬送裝置1中，係使用用以噴出壓縮空氣之各空氣浮起單元12，以自下方支持住在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間進行交接之玻璃板P。

如上述，藉由於交接之際將玻璃板P自下方支持，可抑制玻璃板P彎曲。

又，藉由使用壓縮空氣將玻璃板P浮起支持，玻璃板P係在相等於無摩擦阻抗之狀態下，於主輸送帶10與分歧輸送帶20之間進行交接。因此，使交接速度高速化時，亦不會因施加衝擊而損傷玻璃板P。

(第2實施形態)

接著，說明本發明第2實施形態。其中，於本第2實施形態之說明，與上述第1實施形態同樣之部分係省略其說明或簡略化。

第6圖係顯示在本實施形態基板搬送裝置之主輸送帶10與分歧輸送帶20之分歧部分之構造的圖。如第6圖所示，於本實施形態，主輸送帶10及分歧輸送帶21係取代上述第1實施形態之空氣浮起單元12，而具備複數排列有球狀自由滾輪300(支持部)之自由滾輪單元200而構成。

藉由具有如上述構成之本實施形態基板搬送裝置，在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間進行玻璃板P之交接時，玻璃板P係藉由球狀自由滾輪300自下方予以支持。

因而，藉由本實施形態基板搬送裝置，亦與上述第1實施形態基板搬送裝置1同樣地，在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間進行玻璃板P之交接時，能抑制玻璃板P之彎曲。

此外，於上述實施形態所示之各構成構件之諸形狀及組合，或動作順序等係為一例，且於未脫離本發明主旨之範圍而根據設計要求等能作各種變更。

例如，於上述實施形態，說明了主輸送帶10與分歧輸送帶20配置成直角之構造。然而，本發明並未限定於此，而亦能適用於主輸送帶10與分歧輸送帶20以不同角度配置之構造。

又，於上述實施形態，係構成為使輸送帶部15藉由未圖示之升降裝置下降，從而在主輸送帶10與分歧輸送帶20之間交接玻璃板P時，能防止玻璃板P與輸送帶部15之接觸。然而，本發明並非限定於此，取代輸送帶部15之下降，而藉由空氣浮起單元12之上升來防止玻璃板P與輸送帶部15之接觸亦可。此時，交接側之輸送帶的空氣浮起單元12之上面，係位在與上升後之空氣浮起單元上面12成為相同面的位置。

於上述實施形態，雖說明將玻璃板P單片式予以搬送之情況，但並未限於此。例如，為半導體晶圓等之薄板狀構件亦可。

於上述實施形態，雖說明在分歧輸送帶20之另一端側，配置/連接薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置之情況，但並未限於此。在分歧輸送帶20之下游側(另一端側)，進一步連接有分歧輸送帶20之情況亦可。

又，除了薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置之外，配置有將玻璃板P等之基板複數暫時保存之儲存庫(stocker)亦可。

於上述實施形態，雖說明在薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置，配置將玻璃板P搬入之分歧輸送帶21、23、25與將玻璃板P搬出之分歧輸送帶22、24、26之情況，但並未限於此。為一個分歧輸送帶20進行將玻璃板P搬入/搬出之情況亦可。

又，於上述第1實施形態，雖說明使用壓縮空氣將玻璃板P予以浮起支持之情況，但並未限於此。例如，藉由將傳播於空間之振動波賦予於玻璃板P而將玻璃板P浮起支持亦可。

[產業上的可利用性]

本發明之基板搬送裝置及基板搬送方法，係在未改變基板之行進方向之狀態下，在主輸送帶與分歧輸送帶之間交接基板之情況中，能利用於提高在主輸送帶與分歧輸送帶間之基板交接速度。

1．．．基板搬送裝置

5．．．薄膜形成裝置

6．．．蝕刻裝置

7．．．試驗裝置

10．．．主輸送帶

12．．．空氣浮起單元

13．．．流體噴出孔

15．．．輸送帶部

16．．．滾輪

17．．．皮帶

18．．．突起

20、21、22、23、24、25、26．．．分歧輸送帶

40．．．板交接部

41．．．臂部

42．．．頭部

43．．．馬達

200．．．自由滾輪單元

300．．．球狀自由滾輪

L．．．轉動軸

P．．．玻璃板

第1圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之示意圖。

第2圖係顯示主輸送帶之詳細構造的圖式。

第3圖係顯示與分歧輸送帶之板交接部的分歧部分之構造的圖式。

第4A圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之動作(將玻璃板自主輸送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。

第4B圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之動作(將玻璃板自主輸送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。

第4C圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之動作(將玻璃板自主輸送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。

第4D圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之動作(將玻璃板自主輸送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。

第5A圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置之動作(將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時)的圖式。

第5B圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置1之動作(將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時)的圖式。

第5C圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置1之動作(將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時)的圖式。

第5D圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置1之動作(將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時)的圖式。

第6圖係顯示在本發明第2實施形態之基板搬送裝置之與分歧輸送帶之板交接部的分歧部分之構造的圖式。

1．．．基板搬送裝置

5．．．薄膜形成裝置

6．．．蝕刻裝置

7．．．試驗裝置

10．．．主輸送帶

20、21、22、23、24、25、26．．．分歧輸送帶

40．．．板交接部

P．．．玻璃板

Claims (4)

1. 一種基板搬送裝置，係具備：主輸送帶，係具有可升降且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部，且對該基板進行單片式搬送；分歧輸送帶，係具有可升降且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部，且自該主輸送帶水平地分歧；基板交接部，係具有用以固持該基板外緣之頭部，並藉由沿著包含該搬送時的基板的水平面之轉動動作，在維持相對於該基板之行進方向的朝向之狀態下，一面使該基板水平轉動，一面以成為與基板的行進方向相同朝向之方式變更基板的朝向，而將該基板自該主輸送帶交接至該分歧輸送帶、或自該分歧輸送帶交接至該主輸送帶；交接手段，係在該頭部固持該基板且同時將該輸送帶部下降的情況、在該輸送帶部下降之後該頭部可固持該基板的情況、或在該頭部可朝向與該輸送帶部之轉動方向相同方向移動的情況，將該基板自該主輸送帶交接至該分歧輸送帶、或自該分歧輸送帶交接至該主輸送帶；以及支持手段，係於該主輸送帶之該輸送帶部及該分歧輸送帶之該輸送帶部正在下降時，藉由壓縮空氣而使該基板浮起支持。
2. 如申請專利範圍第1項之基板搬送裝置，其中，該基板交接部係具備：驅動部，係以預定之轉動軸為中心使該頭部水平轉動；以及臂部，係將一端連接於該頭部，並且將另一端連接於該驅動部。
3. 一種基板搬送方法，係藉由主輸送帶對基板進行單片式搬送，基板交接部係固持該基板的側面，藉由該基板交接部之沿著包含該搬送時的基板的水平面之轉動動作，在維持相對於該基板之行進方向的朝向之狀態下，一面使該主輸送帶上之該基板水平轉動，一面以成為與該基板的行進方向相同朝向之方式變更基板的朝向，而將該基板自該主輸送帶交接至水平分歧之分歧輸送帶；當設於該主輸送帶且可升降並且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部、及設於該分歧輸送帶且可升降並且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部正在下降時，轉動該基板且藉由壓縮空氣而使該基板浮起支持；在該頭部固持該基板且同時將該輸送帶部下降的情況、在該輸送帶部下降之後該頭部可固持該基板的情況、或在該頭部可朝向與該輸送帶部之轉動方向相同方向移動的情況，將該基板自該主輸送帶交接至該分歧輸送帶、或自該分歧輸送帶交接至該主輸送帶。
4. 一種基板搬送方法，係藉由從主輸送帶水平分歧之分歧輸送帶搬送基板，基板交接部係固持該基板的側面，藉由該基板交接部之沿著包含該搬送時的基板的水平面之轉動動作，在維持相對於該基板之行進方向的朝向之狀態下，一面使該分歧輸送帶上之該基板水平轉動，一面以成為與該基板的行進方向相同朝向之方式變更基板的朝向，而將該基板交接至該主輸送帶；當設於該主輸送帶且可升降並且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部、及設於該分歧輸送帶且可升降並且於上升時抵接於基板的下面而搬送該基板之輸送帶部正在下降時，轉動該基板且藉由壓縮空氣而使該基板浮起支持；在該頭部固持該基板且同時將該輸送帶部下降的情況、在該輸送帶部下降之後該頭部可固持該基板的情況、或在該頭部可朝向與該輸送帶部之轉動方向相同方向移動的情況，將該基板自該主輸送帶交接至該分歧輸送帶、或自該分歧輸送帶交接至該主輸送帶。