TWI465381B - 板狀體搬送裝置 - Google Patents

Description

板狀體搬送裝置 發明領域

本發明係有關於一種設有送風式支撐機構、推動力施與機構、及支撐體之板狀體搬送裝置，該送風式支撐機構係朝板狀體之下面供給清淨空氣，而將板狀體以非接觸狀態支撐者，該推動力施與機構係於前述搬送方向排列備置用以接觸支撐板狀體下面之與搬送方向垂直相交之寬度方向之端部的複數個旋轉輥，並以驅動機構旋轉驅動前述複數個旋轉輥，而對以前述送風式支撐機構支撐之板狀體施與前述搬送方向之推動力者，該支撐體係將前述複數個旋轉輥以前述複數個旋轉輥位於在前述寬度方向之前述送風式支撐機構所在之內側的狀態支撐成旋轉自如者。

發明背景

此板狀體搬送裝置係以送風式支撐機構將板狀體支撐成非接觸狀態，並以推動力施與機構接觸支撐板狀體，且藉以此推動力施與機構對板狀體施與搬送方向之推動力，而將板狀體沿著搬送方向搬送者。亦即，搬送作為板狀體之液晶用玻璃基板時，構造成以送風式支撐機構將玻璃基板之製品化之部份支撐成非接觸狀態，並以推動力施與機構接觸支撐玻璃基板在製品化之際要切斷之部份，而施與推動力，而且一面以非接觸方式支撐在搬送物不宜進行接觸支撐之部份，一面施與推動力。

又，在習知，推動力施與機構構造成於搬送方向排列具有用以接觸支撐板狀體下面之寬度方向之端部的複數個旋轉輥，並以驅動機構旋轉驅動複數個旋轉輥，而對以送風式支撐機構支撐之板狀體施與搬送方向之推動力，支撐複數個旋轉輥之支撐體設成於寬度方向之送風式支撐機構所在之側將複數個旋轉輥支撐成旋轉自如，此支撐體位於與搬送之板狀體之下面相同的高度(例如參照專利文獻1)。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本專利公開公報2005-29360號

發明概要

以送風式支撐機構供給至板狀體下面之空氣沿著該板狀體下面流動，其一部份沿著板狀體之下面於寬度方向流動。又，由於支撐體設於與搬送之板狀體之下面相同之高度，故沿著寬度方向在板狀體之下面流動之空氣撞擊支撐體，從於搬送方向排列之旋轉輥間通過支撐體與板狀體之間隙，捲揚至板狀體上。如此，因空氣捲揚至板狀體上，以旋轉輥等產生之塵埃亦一同捲揚，而有該捲揚之塵埃附著於板狀體之上面，而污染板狀體之可能性。

本發明即是鑑於上述實際情形而發明者，其目的在於提供可抑制板狀體之污染之板狀體搬送裝置。

本發明之板狀體搬送裝置係設有送風式支撐機構、推動力施與機構、及支撐體之板狀體搬送裝置，該送風式支撐機構係朝板狀體之下面供給清淨空氣，而將板狀體以非接觸狀態支撐者，該推動力施與機構係於搬送方向排列備置有用以接觸支撐板狀體下面之與前述搬送方向直交之寬度方向之端部的複數個旋轉輥，並以驅動機構旋轉驅動前述複數個旋轉輥，而對以前述送風式支撐機構支撐之板狀體施與前述搬送方向之推動力者，該支撐體係將前述複數個旋轉輥以前述複數個旋轉輥位於在前述寬度方向之前述送風式支撐機構所在之內側的狀態支撐成旋轉自如者，該板狀體搬送裝置形成有導入部，該導入部係使前述支撐體之前述寬度方向之內側與其反側之外側連通，而使沿著所搬送之板狀體之下面流動於前述寬度方向之空氣，在前述複數個旋轉輥間，且與所搬送之板狀體之下面相同之高度，從前述支撐體之寬度方向之內側流通至外側者。

即，由於形成有導入部，該導入部係使支撐體之寬度方向之內側及外側連通，而使沿著搬送之板狀體之下面於寬度方向流動之空氣在複數個旋轉輥間，且與搬送之板狀體之下面相同之高度，從支撐體之寬度方向之內側流通至外側者，故可使沿著板狀體之下面於寬度方向流動之空氣以導入部從支撐體之內側流動至外側。

又，藉使在支撐體之寬度方向之內側沿著板狀體下面於寬度方向流動之空氣從位於其流動之下游側之導入部導 入，而流通至支撐體之寬度方向之外側，可抑制沿著寬度方向流動至板狀體之下面之端部的空氣撞擊支撐體，空氣從支撐體與板狀體之間隙捲揚的情形。因而，可抑制塵埃隨著空氣之捲揚而捲揚至板狀體上，污染板狀體。如此，臻至可提供可抑制板狀體之污染之板狀體搬送裝置。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態中，在第1特徵結構中，用以覆蓋供設置前述送風式支撐機構及前述推動力施與機構之設置空間的側邊、及位於前述設置空間之上方之板狀體之搬送路徑的側邊之蓋體宜設成比前述支撐體還靠前述寬度方向之外側，前述送風式支撐機構構造成吸引前述送風式支撐機構之下方之空氣，而朝前述送風式支撐機構之上方噴出清淨空氣，該板狀體搬送裝置並形成有導出部，該導出部係使前述支撐體之前述寬度方向之內側與前述外側連通，在較前述導入部下方處，使空氣從前述支撐體之前述寬度方向之外側流動至內側者，並且，使前述送風式支撐機構之上方之空間與前述送風式支撐機構之下方之空間在前述支撐體之寬度方向之內側連通的內側流路係以形成於前述支撐體與前述送風式支撐機構間之空間所形成，而具有前述導入部及前述導出部，使前述送風式支撐機構之上方之空間與前述內側流路在前述支撐體之寬度方向之外側連通的外側流路則係以形成於前述支撐體與前述蓋體間之空間所形成。

即，送風式支撐機構構造成吸引送風式支撐機構之下方之空氣，朝送風式支撐機構之上方噴出。又，從導入部導入之空氣在外側流路流動後，從導出部導出至內側流路，與在此內側流路流動之空氣一同流動至送風式支撐機構之下方之空間。亦即，若從導出口導出至蓋體之側邊時，有該所導出之空氣因周圍之氣流之流動而捲揚至玻璃基板上之虞，而由於如上述構造成使從導入部導入之空氣流動至送風式支撐機構之下方之空間，故藉使從導入部所導入之空氣流動至送風式支撐機構之下方，從導出部所導出之空氣不易流動至板狀體上，而可有效地抑制板狀體之污染。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態中，前述驅動機構宜以對前述複數個旋轉輥個別設置之複數個電動馬達所構成，前述複數個電動馬達以前述支撐體支撐成位於前述寬度方向之外側，而配設於前述外側流路內。

即，藉將驅動機構以對複數個旋轉輥個別設之複數個電動馬達構成，相較於具有單一電動馬達及將此單一電動馬達連動連結於複數個旋轉輥之齒輪式連動設備來構成驅動機構時，不易從驅動機構產生塵埃，如此，即使將以複數個電動馬達構成之驅動機構配設於外側流路內，循環之空氣也不易遭受污染。是故，可以配設有驅動機構之空間形成外部流路。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態，在第2或第3特徵結構中，宜以前述支撐體之上緣部與前述蓋體之間隙形成前述導入部，以前述支撐體之下緣部與前述蓋體之間隙形成前述導出部。

即，僅將支撐體設成於支撐體之上緣部與蓋體間或支撐體之下緣部與蓋體間形成間隙，便可形成導入部或導出部，而不需為形成導入部或導出部，另外於支撐體設連通至內側及外側之構件，故易形成導入部及導出部。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態，在第4特徵結構中，前述支撐體之上緣部與前述蓋體之間隙及前述支撐體之下緣部與前述蓋體之間隙宜形成為在前述搬送方向位於相同之位置。

即，由於支撐體之上緣部與蓋體之間隙及支撐體之下緣部與蓋體之間隙形成為在搬送方向位於相同之位置，導入部及形成於比其還下方之導出部在搬送方向位於相同之位置，故易使從導入部所導入之空氣從導出部導出，而可使從導入部所導入之空氣順暢地從導出部導出。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態中，在第4或第5特徵結構中，前述支撐體其下端部宜連結於前述蓋體，而以前述蓋體支撐成單支撐狀，前述支撐體之上部與前述蓋體之間隙形成為沿著前述搬送方向連續。

即，由於可將支撐體藉將其下端部連結於蓋體而支撐於蓋體，故易使支撐體連結於蓋體。又，由於支撐體之上部與蓋體之間隙形成為沿著搬送方向連續，故可將導入部形成為於搬送方向寬度大，而易使空氣從導入部導入，故可有效地抑制因撞擊支撐體而引起之空氣之捲揚。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態，在第4或第5特徵結構中，前述支撐體其上端部及下端部宜連結於前述蓋體，而以前述蓋體支撐成雙支撐狀。

即，藉將支撐體其上端部及下端部分別連結於蓋體，可以蓋體穩固地支撐支撐體，而可以為如此穩定地支撐之支撐體支撐成旋轉自如的旋轉輥，對板狀體穩定地施與推動力。

在本發明之板狀體搬送裝置之實施形態，前述導入部之下端宜位於低於前述旋轉輥相對於板狀體之抵接點的高度之位置，前述導出部之上端位於低於前述旋轉輥之旋轉中心之位置。

圖式簡單說明

第1圖係第1實施形態之板狀體搬送裝置之平面圖。

第2圖係第1實施形態之板狀體搬送裝置之正面圖。

第3圖係顯示第1實施形態之驅動機構及支撐體之正面圖。

第4圖係顯示第1實施形態之驅動機構及支撐體之立體圖。

第5圖係顯示第1實施形態之空氣之流動的圖。

第6圖係顯示第2實施形態之驅動機構及支撐體之正面圖。

第7圖係顯示第2實施形態之驅動機構及支撐體之立體圖。

第8圖係顯示第2實施形態之空氣之流動的圖。

用以實施發明之形態

以下，依據圖式，說明本發明之板狀體搬送裝置。在此，說明複數個實施形態，一實施形態之特徵與另一實施形態之特徵之組合亦包含在本發明之範圍。

第1實施形態

如第1圖及第2圖所示，板狀體搬送裝置H設有朝作為板狀體之液晶用玻璃基板1下面供給清淨空氣，而將玻璃基板1以非接觸狀態支撐之送風式支撐機構2、接觸支撐玻璃基板1之下面，對玻璃基板1施與搬送方向之推動力之推動力施與機構3、及覆蓋送風式支撐機構2、推動力施與機構3及搬送之玻璃基板1之蓋體4而構成。此外，為橫亙複數個台板狀體搬送裝置H，來搬送玻璃基板1，板狀體搬送裝置H於搬送方向排列設置有複數台。

又，如第2圖所示，板狀體搬送裝置H構造成以送風式支撐機構2將玻璃基板1以非接觸狀態支撐，並以推動力施與機構3將玻璃基板1以接觸狀態支撐，且以推動力施與機構3對玻璃基板1施與搬送方向之推動力，而可沿著搬送方向搬送玻璃基板1。

送風式支撐機構2裝備有去除塵埃之除塵過濾器6及經由該除塵過濾器，朝玻璃基板1之下面供給清淨空氣之作為送風機構的送風風扇7。加以說明，將以繞縱軸芯方式旋轉之1個送風風扇7及覆蓋該1個送風風扇7上方之板狀除塵過濾器組裝成一體而構成之風扇過濾器單元8以於寬度方向隔著間隔之狀態排列設置有2台，以於搬送方向未隔著間隔之狀態排列設置有2台，送風式支撐機構2以於寬度方向及搬送方向排列設置之複數台風扇過濾器單元8構成。

又，送風式支撐機構2構造成以送風風扇7之送風作用，吸引送風式支撐機構2之下方之空氣，將經由除塵過濾器7之空氣作為清淨空氣朝送風式支撐機構2之上方噴出，藉如此噴出清淨空氣，可將清淨空氣供給至搬送之玻璃基板1之下面，而將玻璃基板1以水平或約水平姿勢支撐。此外，可藉送風式支撐機構2之空氣之吸引，將送風式支撐機構2之下方減壓，且可藉送風式支撐機構2之空氣之噴出，將送風式支撐機構2之上方空間加壓。

如第1圖及第2圖所示，推動力施與機構3構造成於搬送方向排列具有接觸支撐玻璃基板1之下面之與搬送方向垂直相交之寬度方向之端部的複數個旋轉輥10，以驅動機構11旋轉驅動複數個旋轉輥10，而對以送風式支撐機構2支撐之玻璃基板1施與搬送方向之推動力。又，驅動機構11以對複數個旋轉輥10個別設之複數個電動馬達12構成。

又，推動力施與機構3為支撐玻璃基板1之下面之寬度方向之兩端部，而設有接觸支撐玻璃基板1之下面之寬度方向之一端部的一端側推動力施與機構3及接觸支撐玻璃基板1下面之寬度方向之另一端部的另一端側推動力施與機構3之一對推動力施與機構3。附帶一提，送風送支撐機構2配設成位於一對推動力施與機構3之間，以將清淨空氣供給至玻璃基板1之下面之寬度方向的中間部，而以非接觸狀態來支撐。

蓋體4構造成覆蓋供設置送風式支撐機構2及推動力施與機構3之設置空間之側邊、位於此設置空間上方之玻璃基 板1之搬送路徑的側邊以及位於該等設置空間及其上方之玻璃基板1之搬送路徑的上方。加以說明，如第3圖及第4圖所示，蓋體4係於複數個框架材相互於上下方向及水平方向隔著間隔配置之組合框架14組裝覆蓋設置空間之側邊及玻璃基板1之搬送路徑之側邊的一對板狀側壁構件15、覆蓋設置空間及玻璃基板1之搬送路徑之上方之板狀上壁構件16而構成，而封閉了左右側邊及上方，並封閉了前方、後方及下方。

又，組合框架14之框架材設有於搬送方向觀看之4個角沿著搬送方向配設之主框架材14a等，側壁構件15設成位於左上主框架材14a與左下主框架材14a之間及右上主框架材14a與左下主框架材14a之間，以封閉該等之間，上壁構件16設成位於左上主框架材14a與右上主框架材14a之間，以封閉該等之間。此外，有將左上主框架材14a及右上主框架材14a稱為上側主框架材14a，將左下主框架材14a及右下主框架材14a稱為下側主框架材14a之情形。

然後，如第3圖所示，支撐推動力施與機構3之支撐體18以位於蓋體4之側壁構件15與送風式支撐機構2間之狀態支撐於蓋體4之組合框架14。此支撐體18構造成將複數個旋轉輥10以複數個旋轉輥10位於寬度方向之送風式支撐機構2所在之內側的狀態支撐成旋轉自如，且將電動馬達12支撐成複數個電動馬達12位於寬度方向之送風式支撐機構2不存在之外側。

加以說明，如第4圖所示，於支撐體18形成有使複數個電動馬達12之輸出軸插通之孔，複數個電動馬達12分別以使輸出軸插通孔之狀態支撐於支撐體18之外側。然後，旋轉輥10於從支撐體18之孔突出至內側之電動馬達12之輸出軸固著成一體旋轉，旋轉輥10亦藉由電動馬達12支撐於支撐體18。

又，就支撐體18之形狀加以說明，如第3圖及第4圖所示，具有支撐複數個電動馬達12，而形成有使輸出軸插通之孔，且於垂直方向延伸之支撐部份18a、連結於蓋體4之連結部份18b及連接支撐部份18a與連結部份18b之第1連接部份18c、連接相鄰之支撐部份18a之第2連接部份18d而構成，於支撐體18之下部形成有以支撐部份18a及第2連接部份包圍之通氣孔。此外，該等支撐部份18a、連結部份18b、第1連接部份18c及第2連接部份18d分別形成板狀。

然後，連結部份18b以從下側主框架材14a突出至寬度方向之內側之狀態設於組合框架14，支撐部份18a及第2連結部份18d設成從蓋體4之側壁構件15、下側主框架材14a及上側主框架材14a拉開間隔至寬度方向之內側，從蓋體4之上壁構件16或上側主框架材14a拉開間隔至下方側，從下側主框架材14a拉開間隔至上方側。如此，支撐體18其下端部連結於蓋體4，而以蓋體4形成單支撐狀，支撐體之上部全體與蓋體4於上下方向及寬度方向拉開間隔。

又，旋轉輥10以安裝有O形環之滑輪構成，具有安裝O形環，以載置支撐玻璃基板1之小徑部10a及藉在其寬度方向位於外側，抵接玻璃基板1之側面而限制玻璃基板1在寬度方向之移動的大徑部10b。附帶一提，考慮以NBR(腈橡膠)構成O形環，以尼龍構成滑輪、或以胺甲酸乙酯橡膠構成O形環，以ABS樹脂構成滑輪。

於板狀體搬送裝置H形成有導入部23及導出部24，該導入部係使支撐體18之寬度方向之內側及其反側之外側連通，而在複數個旋轉輥10間，且與搬送之玻璃基板1之下面相同之高度，使沿著搬送之玻璃基板1之下面於寬度方向流動之空氣從支撐體18之寬度方向之內側流淌至外側者，該導出部係使支撐體18之寬度方向之內側與外側連通，在比導入部23還下方，使從導入部23所導入之空氣從支撐體18之寬度方向之外側流淌至內側者。

又，如第5圖所示，於板狀體搬送裝置H形成有內側流路21及外側流路22，該內側流路係使送風式支撐機構2之上方之空間與送風式支撐機構2之下方之空間在支撐體18之寬度方向之內側連通者，該外側流路係具有導入部23及導出部24，使送風式支撐機構2之上方之空間與內側流路21在支撐體18之寬度方向之外側連通者。

首先，就導入部23及導出部24作說明，以支撐體18之上緣部與蓋體4之間隙形成導入部23，以形成於支撐體18之下緣部之通氣孔形成導出部24。亦即，支撐體18之上部全體與蓋體4於上下方向及寬度方向拉開間隔，以藉此拉開間隔形成，並沿著搬送方向形成一連串(即，連續)之支撐體18之上部與蓋體4的間隙形成導入部23。又，支撐體18之下部係於支撐體18之下部沿著搬送方向形成有複數個通氣孔，以沿著此搬送方向形成複數個之支撐體18之通氣孔形成導出部24。又，導入部23之下端位於低於前述旋轉輥10對板狀體之抵接點之高度的位置，導出部24之上端位於低於前述旋轉輥10之旋轉中心之位置。

然後，於支撐體18之上部與蓋體4之間沿著搬送方向形成一連串之間隙之一部份與於支撐體1之下部沿著搬送方向形成複數個之通氣孔以在寬度方向觀看於上下方向排列之狀態形成，以該等間隙及通氣孔形成之導入部23及導出部24也以在寬度方向觀看於上下方向排列之狀態形成。

接著，就內側流路21及外側流路22作說明，如第5圖所示，支撐體18以對送風式支撐機構2拉開間隔至寬度方向之外側之狀態而設，以此送風式支撐機構2與支撐體18間之空間形成內側流路21。又，支撐體18以從側壁部份15拉開間隔至寬度方向之內側之狀態而設，以此支撐體18與側壁部份15間之空間形成外側流路22。附帶一提，在送風式支撐機構2之上方，以送風式支撐機構2之噴出加壓，在送風式支撐機構2之下方，以送風式支撐機構2之吸引減壓，而在連通此種送風式支撐機構2之上方空間與送風式支撐機構2之下方空間之內側流路21，產生從送風式支撐機構2之上方空間側往送風式支撐機構2之下方空間側之氣流。又，在外側流路22也同樣地，產生從送風式支撐機構2之上方空間側往內側流路21側之氣流。

又，位於支撐體18之寬度方向之內側之複數個旋轉輥10配設於內側流路21內，位於支撐體18之寬度方向之外側之複數個電動馬達12配設於外側流路22內。此外，第2圖所示，以於寬度方向排列之風扇過濾器單元8間之空間，形成使送風式支撐機構2之上方空間與送風式支撐機構2之下方空間在送風式支撐機構2之寬度方向之中央部連通之內部流路20。

是故，如第5圖所示，以送風式支撐機構2朝玻璃基板1之下面供給之空氣沿著玻璃基板1之下面沿寬度方向流動後，藉如箭號a所示，在內側流路21流過或如箭號b所示，在外側流路22流過，而流淌至送風式支撐機構2之下方之空間，而使空氣循環。特別是沿著玻璃基板1之下面流動至寬度方向之外側之空氣中，通過於搬送方向排列之旋轉輥10間之空氣如箭號b所示，從導入部23導入至支撐體18之外側後，通過外側流路22，從導出部24導出至內側流路21。亦即，藉於在複數個旋轉輥10間，且與搬送之玻璃基板1之下面相同之高度，形成導入部23，通過於搬送方向排列之旋轉輥10間之空氣不易撞擊支撐體18，而可抑制空氣捲揚至玻璃基板1之上方。

第2實施形態

接著，就板狀體搬送裝置之第2實施形態作說明。此外，第2實施形態係蓋體及支撐體之形狀與第1實施形態不同，內側流路、外側流路、導入部及導出部之形成之方法隨之不同外，其餘與上述第1實施形態同樣地構成，故關於與第1實施形態相同之構成要件或具有相同作用之構成要件藉附上相同之標號，省略說明，主要說明與第1實施形態不同之結構。

如第6圖所示，蓋體4係於覆蓋供設置送風式支撐機構2及推動力賦與機構3之設置空間之側邊及玻璃基板1之搬送路徑之側邊的側壁用框架26組裝覆蓋設置空間及玻璃基板1之搬送路徑之上方的板狀上壁構件(圖中未示)而構成，與第1實施形態同樣地，左右側邊及上方密閉，前方、後方及下方開放。

又，側壁用框架26之上部以縱壁部26a、上壁部26b及下壁部26c形成在搬送方向觀看，內側開放之字形，藉橫亙該側壁用框架26之上壁部26b及下壁部26c設支撐體18，形成以縱壁部26a、上壁部26b、下壁部26c、支撐體18包圍之空間。亦即，支撐推動力施與機構3之板狀支撐體18以位於蓋體4之側壁用框架26之縱壁部26a與送風式支撐機構2間之狀態，支撐於蓋體4之側壁用框架26。

如第7圖所示，支撐體18具有支撐複數個電動馬達12，而形成有使輸出軸插通之孔之支撐部份18e、連結於上壁部26b之上連結部份18f、連結於下壁部26c之下連結部份18g、連接相鄰之諸支撐部份18e之連接部份18h而構成，於支撐體18之下部及上部分別形成有複數個切口。然後，支撐體18形成平板狀，支撐部份18e及連接部份18h設成從蓋體4之側壁用框架26之縱壁部26a拉開間隔至寬度方向之內側，從上壁部26b拉開間隔至下方，從下壁部26c拉開間隔至上方。如此，支撐體18其上端部以及下端部連結於蓋體4，而以蓋體4形成雙支撐狀，支撐體18之上部及下部藉各形成切口，部份與蓋體4於上下方向及寬度方向拉開間隔。

就導入部23及導出部24作說明，支撐體18之上緣部部份與蓋體4之上壁部26b於上下方向拉開間隔，且部份與蓋體4之縱壁部26a於寬度方向拉開間隔，以藉此拉開間隔形成，並沿著搬送方向分散而形成之支撐體18之上部與蓋體4的間隙形成導入部23。又，支撐體18之下部部份與蓋體4之下壁部26c於上下方向拉開間隔，且部份與蓋體4之縱壁部26a於寬度方向拉開間隔，而以藉此拉開間隔形成，並沿著搬送方向分散而形成之支撐體18之下部與蓋體4的間隙形成導出部24。

然後，於支撐體18之上部與蓋體4間沿著搬送方向分散而形成之間隙與於支撐體18之下部與蓋體4間沿著搬送方向分散而形成之間隙形成為在搬送方向位於相同之位置，以等間隙形成之導入部23及導出部24也皆形成為在搬送方向位於相同之位置。

接著，就內側流路21及外側流路22作說明，支撐體18以對送風式支撐機構2拉開間隔至寬度方向之外側之狀態而設，以此送風式支撐機構2與支撐體8間之空間形成內側流路21。又，支撐體18以從縱壁部26a拉開間隔至寬度方向之內側之狀態而設，以此支撐體18與縱壁部26a間之空間形成外側流路22。

然後，與第1實施形態相同，如第8圖所示，以送風式支機構2朝玻璃基板1之下面供給之空沿著玻璃基板1之下面沿寬度方向流動後，藉如箭號a所示，在內側流路21流過或如箭號b所示，在外側流路22流過，而使其流動至送風式支撐機構2之下方之空間，可使空氣循環。特別是沿著玻璃基板1之下面流動至寬度方向之外側之空氣中，通過於搬送方向排列之旋轉輥10間之空氣如箭號b所示，從導入部23導入至支撐體18之外側後，通過外側流路22，從導出部24導出至內側流路21。亦即，藉於在複數個旋轉輥10間，且與搬送之玻璃基板1之下面相同之高度，形成導入部23，通過於搬送方向排列之旋轉輥10間之空氣不易撞擊支撐體18，而可抑制空氣捲揚至玻璃基板1之上方。

其他實施形態

(1)在上述第1及第2實施形態中，以外側流路22使送風式支撐機構2之上方空間與內側流路21連通，亦可藉以外側流路22使送風式支撐機構2之上方空間與蓋體4之寬度方向之外側連通或使送風式支撐機構2之上方空間與蓋體4之下方空間連通，而不使外側流路22連通至內側流路21。又，亦可於導出部24設於從導出部24導出空氣時，去除塵埃之過濾器或用以從導入部23吸引空氣之吸引用風扇。

(2)在上述第1及第2實施形態中，以對複數個旋轉輥10個別設之複數個電路馬達12構成驅動機構11，亦可將驅動機構11以單一電動馬達及將此電動馬達12與複數個旋轉輥連動連結之連動設備構成。又，將驅動機構11配設於外側流路22內，亦可另外設驅動機構11配設用空間，將驅動機構11配設於外側流路22外。

(3)在上述第1及第2實施形態中，將支撐體18之上部與蓋體4之間隙及支撐體18之上部與蓋體4之間隙以在寬度方向觀看於上下方向排列之狀態形成，亦可將支撐體18之上部與蓋體4之間隙及支撐體18之上部與蓋體4之間隙以於搬送方向形成鋸齒狀，而在寬度方向觀看不於上下方向排列之狀態形成。

(4)在上述第1實施形態中，將支撐體18其下端部連結於蓋體4而以蓋體4支撐成單支撐狀，在上述第2實施形態中，將支撐體18其上端部及下端部連結於蓋體4而以蓋體4支撐成雙支撐狀，亦可將支撐體18其上端部連結於蓋體4而以蓋體4支撐成單支撐狀。附帶一提，此時，支撐部18之下部與蓋體4之間隙沿著搬送方向形成一連串。

(5)在上述第1及第2實施形態中，以支撐體18之上端部及蓋體4之間隙形成了導入部23，亦可形成支撐體18之導入部形成用通氣孔，而以此通氣孔形成導入部23。

又，在上述第1實施形態中，於支撐體18之下部形成導出部形成用通氣孔，而以此通氣孔形成了導出部24，亦可以支撐體18之下部與蓋體4之間隙形成導出部24。

又，在上述第2實施形態中，以支撐體18之下部與蓋體4之間隙形成導出部24，亦可於支撐體18形成導出部形成用通氣孔，而以此通氣孔形成導出部24。

(6)在上述第1及第2實施形態中，板狀體例示了矩形玻璃基板1，亦可為半導體晶圓等其他板狀體，又，亦可為圓形等其他形狀之板狀體。

(7)在上述第1及第2實施形態中，將蓋體4構造成覆蓋供設置送風式支撐機構2及推動力施與機構3之設置空間及位於此設置空間之上方之玻璃基板1之搬送路徑之側邊及上方，亦可藉在第1實施形態中，不設上壁構件15等，將蓋體4構造成僅覆蓋設置空間之側邊及玻璃基板1之搬送路徑之側邊，又，亦可藉在第1實施形態中，於下側主框架14a間設下壁構件等，將蓋體4構造成覆蓋設置空間之側邊與位於此設置空間之上方之玻璃基板1之搬送路徑的側邊、上方及下方。

(8)在上述第1及第2實施形態中，構造成以送風式支撐機構2將玻璃基板1以水平或約水平姿勢以非接觸狀態支撐，亦可構造成將送風式機構2以於寬度方向傾斜之姿勢而設，而以送風式支撐機構2將玻璃基板1以於寬度方向傾斜之傾斜姿勢支撐。附帶一提，此時，為對應於送風式支撐機構2之傾斜，而使推動力施與機構3(複數個旋轉輥10)傾斜，亦可將支撐體18以於寬度方向傾斜之姿勢而設。

1．．．玻璃基板

2．．．送風式支撐機構

3．．．推動力施與機構

4．．．蓋體

6．．．除塵過濾器

7．．．送風風扇

8．．．風扇過濾器單元

10．．．旋轉輥

10a．．．小徑部

10b．．．大徑部

11．．．驅動機構

12．．．電動馬達

14．．．組合框架

14a．．．主框架材

15．．．側壁構件

16．．．上壁構件

18．．．支撐體

18a．．．支撐部份

18b．．．連結部份

18c．．．第1連接部份

18d．．．第2連接部份

18e．．．支撐部份

18f．．．上連結部份

18g．．．下連結部份

18h．．．連接部份

20．．．內部流路

21．．．內側流路

22．．．外側流路

23．．．導入部

24．．．導出部

26．．．側壁用框架

26a．．．縱壁部

26b．．．上壁部

26c．．．下壁部

a，b．．．箭號

H．．．板狀體搬送裝置

第1圖係第1實施形態之板狀體搬送裝置之平面圖。

第2圖係第1實施形態之板狀體搬送裝置之正面圖。

第3圖係顯示第1實施形態之驅動機構及支撐體之正面圖。

第4圖係顯示第1實施形態之驅動機構及支撐體之立體圖。

第5圖係顯示第1實施形態之空氣之流動的圖。

第6圖係顯示第2實施形態之驅動機構及支撐體之正面圖。

第7圖係顯示第2實施形態之驅動機構及支撐體之立體圖。

第8圖係顯示第2實施形態之空氣之流動的圖。

1‧‧‧玻璃基板

2‧‧‧送風式支撐機構

3‧‧‧推動力施與機構

4‧‧‧蓋體

8‧‧‧風扇過濾器單元

10‧‧‧旋轉輥

11‧‧‧驅動機構

12‧‧‧電動馬達

14‧‧‧組合框架

14a‧‧‧主框架材

15‧‧‧側壁構件

16‧‧‧上壁構件

18‧‧‧支撐體

21‧‧‧內側流路

22‧‧‧外側流路

23‧‧‧導入部

24‧‧‧導出部

a，b‧‧‧箭號

Claims (8)

1. 一種板狀體搬送裝置，設有：送風式支撐機構，朝板狀體之下面供給清淨空氣，以非接觸狀態支撐板狀體；推動力施與機構，於搬送方向排列備置有接觸支撐板狀體下面之與前述搬送方向直交之寬度方向之端部的複數個旋轉輥，並以驅動機構旋轉驅動前述複數個旋轉輥，對以前述送風式支撐機構支撐之板狀體施與前述搬送方向之推動力；及支撐體，將前述複數個旋轉輥以前述複數個旋轉輥位於在前述寬度方向之前述送風式支撐機構所在之內側的狀態支撐成旋轉自如；且形成有使前述支撐體之前述寬度方向的內側與其相反側的外側連通之導入部，前述導入部使沿著所搬送之板狀體之下面流動於前述寬度方向之空氣，在前述複數個旋轉輥間，且與所搬送之板狀體之下面相同之高度，從前述支撐體之前述寬度方向的內側流通至外側。
2. 如申請專利範圍第1項之板狀體搬送裝置，其中用以覆蓋供設置前述送風式支撐機構及前述推動力施與機構之設置空間的側邊、及位於前述設置空間之上方之板狀體搬送路徑的側邊之蓋體，係設成較前述支撐體更靠前述寬度方向之外側，前述送風式支撐機構構造成吸引前述送風式支撐 機構之下方之空氣，而朝前述送風式支撐機構之上方噴出清淨空氣，且形成有導出部，該導出部使前述支撐體之前述寬度方向之內側與外側連通，且在較前述導入部下方處，使空氣從前述支撐體之前述寬度方向之外側流通至內側，使前述送風式支撐機構之上方之空間與前述送風式支撐機構之下方之空間在前述支撐體之前述寬度方向之內側連通的內側流路，係由形成於前述支撐體與前述送風式支撐機構間之空間所形成，具有前述導入部及前述導出部，使前述送風式支撐機構之上方之空間與前述內側流路在前述支撐體之前述寬度方向之外側連通的外側流路，係由形成於前述支撐體與前述蓋體間之空間所形成。
3. 如申請專利範圍第2項之板狀體搬送裝置，其中前述驅動機構係以對前述複數個旋轉輥個別設置之複數個電動馬達所構成，前述複數個電動馬達係以前述支撐體支撐成位於前述寬度方向之外側，而配設於前述外側流路內。
4. 如申請專利範圍第2或3項之板狀體搬送裝置，其中以前述支撐體之上緣部與前述蓋體之間隙形成前述導入部，以前述支撐體之下緣部與前述蓋體之間隙形成前述導出部。
5. 如申請專利範圍第4項之板狀體搬送裝置，其中前述支撐體之上部與前述蓋體之間隙及前述支撐體之下部與 前述蓋體之間隙形成為在前述搬送方向位於相同之位置。
6. 如申請專利範圍第4項之板狀體搬送裝置，其中前述支撐體其下端部連結於前述蓋體，而以前述蓋體支撐成單支撐狀，前述支撐體之上部與前述蓋體之間隙形成為沿著前述搬送方向連續。
7. 如申請專利範圍第4項之板狀體搬送裝置，其中前述支撐體其上端部及下端部連結於前述蓋體，而以前述蓋體支撐成雙支撐狀。
8. 如申請專利範圍第2項之板狀體搬送裝置，其中前述導入部之下端位於低於前述旋轉輥相對於板狀體之抵接點之高度的位置，前述導出部之上端位於低於前述旋轉輥之旋轉中心的位置。